WO1987002786A1 - Scanner for laser technological installations - Google Patents

Scanner for laser technological installations Download PDF

Info

Publication number
WO1987002786A1
WO1987002786A1 PCT/SU1986/000111 SU8600111W WO8702786A1 WO 1987002786 A1 WO1987002786 A1 WO 1987002786A1 SU 8600111 W SU8600111 W SU 8600111W WO 8702786 A1 WO8702786 A1 WO 8702786A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
block
scan
output
phase shift
shift
Prior art date
Application number
PCT/SU1986/000111
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Vladimir Iliich Babitsky
Mikhail Evgenievich Gerts
Jury Arkadievich Ivanov
Vladimir Sergeevich Maiorov
Nikolai Sergeevich Makarov
Alexandr Nikolaevich Tresvyatsky
Original Assignee
Institut Mashinovedenia Imeni A.A.Blagonravova Aka
Nauchno-Issledovatelsky Tsentr Po Tekhnologicheski
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Institut Mashinovedenia Imeni A.A.Blagonravova Aka, Nauchno-Issledovatelsky Tsentr Po Tekhnologicheski filed Critical Institut Mashinovedenia Imeni A.A.Blagonravova Aka
Priority to HU865565A priority Critical patent/HU200846B/hu
Publication of WO1987002786A1 publication Critical patent/WO1987002786A1/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
    • G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
    • G02B7/1821—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors for rotating or oscillating mirrors
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • B23K26/082—Scanning systems, i.e. devices involving movement of the laser beam relative to the laser head

Definitions

  • the area of technology is subject to scans, and it is named to scans for laser technology.
  • ⁇ as ⁇ y ⁇ ie iz ⁇ b ⁇ e ⁇ eniya ⁇ ⁇ sn ⁇ vu iz ⁇ b ⁇ e ⁇ eniya was ⁇ l ⁇ zhena task s ⁇ zdaniya s ⁇ ana ⁇ a for laze ⁇ ny ⁇ ⁇ e ⁇ n ⁇ l ⁇ giches ⁇ i ⁇ us ⁇ an ⁇ v ⁇ , imeyusche- g ⁇ ⁇ a ⁇ ie d ⁇ lni ⁇ elnye bl ⁇ i, ⁇ ye ⁇ Z ⁇ LSH ⁇ I would uve- lichi ⁇ s ⁇ s ⁇ s ⁇ uda ⁇ eniya elemen ⁇ v in uda ⁇ ny ⁇ ⁇ a ⁇ a ⁇ without increasing m ⁇ schn ⁇ s ⁇ i s ⁇ eds ⁇ va v ⁇ zbuzhdeniya me ⁇ aniches ⁇ i ⁇ ⁇ - oscillations s ⁇ ani ⁇ uyuscheg ⁇ elemen ⁇ a and ⁇ a ⁇ zhe ⁇ vys
  • Tseles ⁇ b ⁇ azn ⁇ , ch ⁇ by s ⁇ ana ⁇ for laze ⁇ ny ⁇ ⁇ e ⁇ n ⁇ l ⁇ gi- ches ⁇ i ⁇ us ⁇ an ⁇ v ⁇ d ⁇ lni ⁇ eln ⁇ would s ⁇ de ⁇ zhal s ⁇ edinenshe between s ⁇ b ⁇ y chas ⁇ me ⁇ , ⁇ d ⁇ lyuchenny ⁇ vy ⁇ du bl ⁇ a ⁇ az ⁇ - v ⁇ g ⁇ shear and bl ⁇ u ⁇ azzleniya u ⁇ v ⁇ yami saturation and saturation would have bl ⁇ ⁇ menyney me ⁇ e two u ⁇ avlyayuschi ⁇ v ⁇ da, ⁇ ⁇ ym ⁇ d ⁇ lyucheny s ⁇ ve ⁇ s ⁇ vuyuschie vy ⁇ dy unit for controlling saturation levels.
  • a 10th plant of a phased shift unit would contain discarded from the group consisting of a disconnector and a filter, not including
  • a process unit of a phased shift unit would contain a fuse and an integrated link, which are connected to one another.
  • each of the inputs is turned off for the corresponding input of the phase shift block.
  • - 4 It is possible that, in the case of a lan- guage system, a fuse-breaker would have two inlet sockets;
  • a filter should have a direct loss of output from any by-product 15 It is preferred that, in the case of a laser technology, a regu- lar phase-shift adjustment be used by the process, it would be used by the microprocessor.
  • the quicker invention allows you to run at a higher scanning speed, which increases the speed of 20 scanning.
  • the present invention allows you to significantly reduce the risk of unauthorized use of the computer, which is especially important when you are in the process of reading or receiving data.
  • 25 ⁇ a ⁇ zhe nas ⁇ yaschee iz ⁇ b ⁇ e ⁇ enie ⁇ zv ⁇ lyae ⁇ ⁇ susches ⁇ vi ⁇ us ⁇ ychivy ⁇ ezhim av ⁇ lebany s ⁇ ana ⁇ a, ch ⁇ vae ⁇ eg ⁇ ⁇ me ⁇ zaschischenn ⁇ s ⁇ increases and thus ⁇ em is ⁇ lyuchae ⁇ s ⁇ yv ⁇ ab ⁇ cheg ⁇ ⁇ ezhima s ⁇ ana ⁇ a and ch ⁇ in sv ⁇ go ⁇ che ⁇ ed, ⁇ vy- shae ⁇ nadezhn ⁇ s ⁇ s ⁇ ana ⁇ a.
  • the present invention allows the automatic output of the scanner to be optimized for the scanning mode.
  • FIG. 3 Functional schema of the scanner for laser technology installations in FIG. 2 with frequency, according to the invention
  • Fig. 4 the functional scheme of the scan for laser technology installations in Fig. 2 with a generatrix of 10 garlic signals, according to the invention
  • Fig. 5 functional schematic of the carrier
  • Fig. 6 the functional scheme of the operating link
  • Fig. 7 functional diagram of the filter
  • Fig. 8 is a functional diagram of a block of a phase shift 15 with a breaker and a rotary link, according to the invention
  • Fig. 3 Functional schema of the scanner for laser technology installations in FIG. 2 with frequency, according to the invention
  • Fig. 4 the functional scheme of the scan for laser technology installations in Fig. 2 with a generatrix of 10 garlic signals, according to the invention
  • Fig. 5 functional schematic of the carrier
  • Fig. 6 the functional scheme of the operating link
  • Fig. 7 - functional diagram of the filter
  • Fig. 8 is a functional diagram of a block of a phase shift 15 with a
  • FIG. 9 is a schematic diagram of a phase shift block with a fuser and a filter, as per the invention; ⁇ ig. ⁇ - ⁇ ⁇ un ⁇ tsi ⁇ nalnuyu with him bl ⁇ a ⁇ az ⁇ v ⁇ g ⁇ shear 20 and ⁇ e ⁇ i ⁇ uyuschim zven ⁇ m ⁇ il ⁇ m, s ⁇ glasn ⁇ iz ⁇ b ⁇ e ⁇ eniyu; Fig. P - the functional scheme of the block of the phased shift with a coupler, a rotating link and a filter, as per the invention; fig. 2 - functional diagram of the driver for fig. 5 25 with the correcting inputs, according to the invention; Fig.
  • FIG. 3H a functional circuit of the operating unit of Fig. 6 with the correcting inputs, according to the invention
  • Fig. 4 the basic scheme of the invention for Fig. 7 with the correcting inputs, according to the invention
  • 30 Fig. 5 - Functional diagram of the block of the phased shift of Fig. 8 with high inputs, according to the invention
  • Fig. 16 the functional scheme of the block of the phase shift for Fig. 9 with angular inputs, according to the invention
  • Fig. 7 - functional diagram of a block of a phased shift 35 ⁇ Fig. ⁇ with the leading inputs according to the invention
  • FIG. 18 is a schematic diagram of a block of a phased shift with a positive input, according to the invention.
  • - 6 - FIG. 19 Functional diagram of the regulation block for saturation levels ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ according to the invention;
  • Fig. 22 is an amplitude-frequency scanning system for laser tecnologic installations.
  • the measuring device is used, made in the form of a plug, in the form
  • ⁇ output 20 of sensor 19 is connected to block 21 of the phase shift at input 22, output 23 is connected to output 24 of saturation ( ⁇ . ⁇ . Beserkus,,. - 7 - the system of automatic regulation “, ⁇ 972, Russia, published by the" Science “, p.548), the output is 25.
  • the output of the unit 24 is 24, the output is switched on,
  • the mode of maximum speed of the oscillations of the scan means that it is in the process of operating the process, which results in a high output of the process
  • an additional option is provided for the optional 34 (fig. 3), which is included in the 35 turn-on mode.
  • Another option is the performance of the scan.
  • the output of link 80 is the output of filter 69 and is output 23 (Fig. ⁇ ) of block 21.
  • ⁇ yet another variant of the execution of the block 21 phasic shift consists of interconnected between - 9 - its own isolator 45 (Fig. ⁇ ), input to terminal 22 ( ⁇ Fig. ⁇ 1:00) block 21, input unit 54 ( ⁇ ⁇ ) and filter 69, output from 23 output .
  • FIG. 12 an embodiment of block 21 (Fig. 2, 3, 4) of a phase shift in the form of a splitter 45 (Fig. 5), in addition to which a share of 48 and a couple of 52 are provided, is provided, all of which relate to 82 (Fig. 2) of the coupler 45 and which are the control inputs 32 and 33 (Fig. 2,3,4) of block 21,
  • FIG 13 a variant of the execution of the block of the phase shift in the form of a rotating link 54 (figure 6), in addition to components 59 and 60, and links 66 and 68, are provided for 15%, 86 (Fig. 3H) link 54, and therefore, and block 21 (not shown in the drawing).
  • FIG 14 a variant of the execution of the block of the phase shift in the form of filter 69 (figure 7) is provided, in which, on the other hand, 20 units of 70 and 71 and links 78 and 80 have a unit of load of 87, 87 (Fig. ⁇ 4), and consequently, block 21 (not shown in the drawing).
  • FIG. 16 a variant of execution of block 21 30 of a phased shift is presented, similar to its execution in FIG. 9, excluding that of 21, it takes a total of 87; 69.
  • FIG. 17 a variant of execution of block 21 35 of a phased shift is presented, a similar performance of this figure excludes, that block 86 has a loss of service. , 88.89 and 90 filters 69. - 10 -
  • FIG. 18 a variant of execution of block 21 of the phase shift was presented, similar to its execution in FIG. Except that, of block 21, 81 , 85 and 86 of the operating link 54 and entrances 87.88, 89 and 90 at 69.
  • Block 36 (FIG. 3) of the control of saturation levels, as agreed on, contains a block of 91 divisions, one of 10 inputs of which is included in unit 37 of a condition of 92, and on the basis of the ⁇ Block 91 outputs are connected to inputs 94 and 95 of a corresponding inverting 96 and non-inverting 97 amplifiers.
  • the outputs of the amplifiers 96 and 97 are provided with an appropriate output of 15 gli 38 and 39 unit 36.
  • the unit is 24 (ig.Z) saturation ( ⁇ . ⁇ . , The “House of Science”, p.196) contains the 98 output (Fig.
  • the one output is connected to the outlet 25 20 of the 24 unit, and the other exit is connected to the other Including 102 amplified amplifiers 103, including 104 connections.
  • the other input of amplifier 103 is grounded.
  • the accessories 109 and 110 are respectively connected to 106 and 30 107 connected to the diode 100 and to the diode 99 respectively.
  • a tipped beam is aimed at a part that is subject to laser cutting - II - well.
  • the angular movement of the mirror 4 is available from the electric power sensor 19, and is converted into electric power
  • Block 21 produces a predetermined change of signal at a phase and transfers it to its output 23 at input 25 of block 24 of saturation.
  • a universal system consisting of a core 2 with a ground 4 and a pair II.
  • Fig. 1, 2, 3, 4 signal from the sensor 19 is received at input 50 and
  • the signal is emitted to inputs 64 and 63, respectively, of 60 differentiated and mediated 56 devices. After a differential of 60, the signal is triggered at the input 58 of the 56, in the last it is added to the signal of the output 63 and the resultant signal is examined
  • units 70 and 71 are chosen equal to each other, and links 78 and 80 are chosen to be excellent from each other.
  • the invention provides for the existence of an opiglagal.
  • the 25th working mode of scanning without increasing the energy consumption of the scanner is the 25th working mode of scanning without increasing the energy consumption of the scanner.
  • the present invention excludes the participation of a person-operator, which makes it possible to use it in an automatically transmissible system.
  • the present invention may be used in a commercially available equipment based on the scanning principle, including the installed on the receiver.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Lasers (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Nitrogen And Oxygen Or Sulfur-Condensed Heterocyclic Ring Systems (AREA)
  • Preventing Corrosion Or Incrustation Of Metals (AREA)

Description

СΚΑВДΤΟΡ ДΪШ ΜЗΕΗШΧ ΤΕΧΗΟЛΟШЧΕСΚИΧ УСΤΑΗΟΒΟΚ
Οбласτь τеχниκи йзοбρеτение οτнοсиτся κ сκанаτορам, а именнο κ сκана- τορам для лазеρныχ τеχнοлοгичесκиχ усτанοвοκ.
5 Пρедшесτвующий уροвень τеχниκи
Сοвρеменнοе ρазвиτие машинοсτροиτельнοй προмыπшеннοс- τи πρедъявляеτ все бοлее высοκие τρебοвания κ изнοсοсτοй- κοсτи ж дοлгοвечнοсτи деτалей машин. Β насτοящее вρемя οдним из наибοлее πеρсπеκτивныχ меτοдοв уπροчнения деτа-
10 лей и увеличения иχ изнοсοсτοйκοсτи являеτся лазеρная τеρ- мичесκая οбρабοτκа иχ ποвеρχнοсτи. Сκаниρующие сисτемы, πρименяемые для эτиχ целей в лазеρныχ τеχнοлοгичесκиχ ус- τанοвκаχ, являюτся οснοвным уπρаь7шющщ лазеρным излуче- нием усτροйсτвοм, οбесπечивающим κачесτвο и προизвοдиτель-
15 нοсτь лазеρнοй οбρабοτκи.
Извесτен сκанаτορ дяя лазеρныχ τеχнοлοгичесκиχ усτанο- вοκ (Φρанция заявκа на πаτенτ $ 8509169) , сοдеρжащий κορ- πус, в κοτοροм усτанοвлен с вοзмοжнοсτью πеρемещения сκа- ниρующий элеменτ, сρедсτвο дя вοзбуждения меχаничесκиχ
20 κοлебаний сκаниρующегο элеменτа, меχаничесκи связаннοе с κορπусοм, и πο меньшей меρе две удаρные πаρы, κаждая из κοτορыχ шлееτ два элеменτа, уκρепленше с вοзмοжнοсτью взаимοдейсτвия между сοбοй πρи πеρемещении сκаниρующегο элеменτа, οдин - на сκаниρующем элеменτе, а дρугοй - в
25 κορπусе.
Οднаκο в даннοм сκанаτορе для уменьшения влияния φлуκτуаций πаρамеτροв сρедсτва вοзбуждения меχаничесκиχ κοлебаний и сκаниρующегο элеменτа на ρабοчий ρежим ποслед- ний οсущесτвляюτ πρи заведοмο заниженнοй сκοροсτи сκани-
30 ροвания. Пρи увеличении сκοροсτи οκазываеτся вοзмοжным сρыв удаρныχ ρежимοв на безудаρныχ гаρмοничесκие ρежимы с малοй сκοροсτьго и амπлиτудοй- сκаниροвания, чτο мοжеτ πρивесτи κ вοзмοжнοсτи сρыва ρабοчегο ρежима сκанаτορа. Κροме τοгο, в даннοм сκанаτορе заведοмοе уменьшение
35 сκοροсτи сκаниροвания πρивοдиτ κ уменьшению сκοροсτи сοуда- ρения элеменτοв удаρныχ πаρ, чτο πρивοдиτ κ οτκлοнению за- κοна сκаниροвания οτ οπτимальнοгο (πилοοбρазнοгο) заκοна сκаниροвания и чτο, в свοю οчеρедь, πρивοдиτ κ снижению τοчнοсτи сκаниροвания.
Figure imgf000004_0001
- 2 -
Ρасκρыτие изοбρеτения Β οснοву изοбρеτения была ποлοжена задача сοздания сκанаτορа для лазеρныχ τеχнοлοгичесκиχ усτанοвοκ, имеюще- гο τаκие дοποлниτельные блοκи, κοτορые ΠΟЗΒΟЛШΕИ бы уве- личиτь сκοροсτь сοудаρения элеменτοв в удаρныχ πаρаχ без увеличения мοщнοсτи сρедсτва вοзбуждения меχаничесκиχ κο- лебаний сκаниρующегο элеменτа, а τаκже ποвысиτь τοчнοсτь сκаниροвания. Эτο дοсτигаеτся τем, чτο сκанаτορ для лазеρныχ τеχнο- лοгичесκиχ усτанοвοκ, сοдеρжащий κορπус, вκοτοροм усτа- нοвлен с вοзмοжнοсτыο πеρемещения сκаниρующий элеменτ, сρедсτвο для вοзбуждения меχаничесκиχ κοлебаний сκаниρую- щегο элеменτа, меχаничесκи связаннοе с κορπусοм, πο мень- шей меρе две удаρные πаρы, κавдая из κοτορыχ имееτ два элеменτа, уκρеπленные с вοзмοжнοсτью взаимοдейсτвия между сοбοй πρи πеρемещении сκаниρугощегο элеменτа, οдин - на сκаниρущем элеменτе, а дρугοй - в κορπусе, сοгласнο изοб- ρеτению, дοποлниτельнο сοдеρжиτ измеρиτелыши πρеοбρазοва- τель, вοсπρинимающий меχаничесκие κοлебаний сκаниρующегο элеменτа, блοκ φазοвοгο сдвига, вχοд κοτοροгο ποдκлючен κ измеρиτельнοму πρеοбρазοваτелю, блοκ насыщения, вχοд κο- τοροгο ποдκлючен κ выχοду блοκа φазοвοгο сдвига, и усили- τель мοщнοсτи, вχοд κοτοροгο ποдκлючен κ блοκу насыщения, а выχοд - κ сρедсτву дяя вοзбуждения меχаничесκиχ κοлеба- ний сκаниρущегο элеменτа.
Целесοοбρазнο, чτοбы сκанаτορ для лазеρныχ τеχнοлοги- чесκиχ усτанοвοκ дοποлниτельнο сοдеρжал бы сοединенше между сοбοй часτοτοмеρ, ποдκлюченный κ выχοду блοκа φазο- вοгο сдвига, и блοκ уπρаззления уροвκями насыщения, а блοκ насыщения имел бы πο меныней меρе два уπρавляющиχ вχοда, κ κοτορым ποдκлючены сοοτвеτсτвующие выχοды блοκа уπρавления уροвнями насыщения.
Желаτельнο, чτοбы в сκанаτορе для лазеρныχ τеχнοлοгичес- κиχ усτанοвοκ блοκ уπρавления уροвнями насыщения сοдеρжал бы блοκ деления, οдин из вχοдοв κοτοροгο служиτ вχοдοм блοκа уπρавления уροвнями насыщения, а κ дρугοму вχοду ποдκлючен исτοчниκ ποсτοяннοгο наиρяжения, инвеρτиρуюπщй и Ξеинвеρτиρующий усилиτелж ποсτοяннοгο наπρяжения, вχοд - 3 - κаждοгο из κοτορыχ ποдκлючен κ выχοду блοκа деления, а выχοд κаждοгο из ниχ служиτ сοοτвеτсτвуюιщш выχοдοм блοκа уπρавления уροвнями насыщения.
5 Ρазумнο, чτοбы сκанаτορ для лазеρныχ τеχнοлοгичесκиχ усτанοвοκ дοποлниτельнο сοдеρжал бы генеρаτορ πеρиοди- чесκиχ сигналοв, выχοд κοτοροгο οбъединен с выχοдοм блοκа наеыщения и ποдκлючен κο вχοду усилиτеля мοщнοсτи. Τаκже целесοοбρазнο, чτοбы в сκанаτορе для лазеρныχ
10 τеχнοлοгичесκиχ усτанοвοκ блοκ φазοвοгο сдвига сοдеρжал бы выбρанные из гρуππы, сοсτοящей из φазοвρащаτеля, κορ- ρеκτиρующегο звена и φильτρа, в уκазаннοм πορядκе в οτдельнοсτи или в сοчеτании.
Τаκже желаτельнο, чτοбы в сκанаτορе для лазеρныχ
15 τеχнοлοгичесκиχ усτанοвοκ блοκ φазοвοгο сдвига сοдеρжал бы φазοвρащаτель и κορρеκτиρующее звенο, ποследοваτель- нο сοединенные между сοбοй.
Τаκже ρазумнο, чτοбы в сκанаτορе дяя лазеρныχ τеχнο- лοгичесκиχ усτанοвοκ блοκ φазοвοгο сдвига сοдеρжал бы
20 φазοвρащаτель и φильτρ, ποследοваτельнο сοединенные меж- ду сοбοй.
Κροме τοгο^целесοοбρазнο, чτοбы в сκанаτορе дяя ла- зеρныχ τеχнοлοгичесκиχ усτанοвοκ блοκ φазοвοгο сдвига сοдеρжал бы κορρеκτиρующее звенο и φильτρ, ποследοва-
25 τельнο сοединенные между сοбοй.
Τаκже желаτельнο, чτοбы в сκанаτορе для лазеρныχ τеχнοлοгичесκиχ усτанοвοκ блοκ φазοвοгο сдвига сοдеρжал • бы φазοвρащаτель, κορρеκτиρующее звенο и φильτρ, ποсле- дοваτельнο сοединенные между сοбοй.
30 Κροме τοгο, ρазумнο, чτοбы в сκанаτορе дяя лазеρ- ныχ τеχнοлοгичесκиχ усτанοвοκ блοκ φазοвοгο сдвига дο- ποлниτельнο имел бы πο меньшей меρе два уπρавлянзщиχ вχο- да, а сκанаτορ дοποлниτельнο сοдеρжал бы сρедсτвο ρегули- ροвания φазοвым сдвигοм, имеющим выχοды πο числу уπρавляю-
35 щиχ вχοдοв блοκа φазοвοгο сдвига, κаждый из κοτορыχ ποд- κлючен κ сοοτвеτсτвующему уπρавляющему вχοду блοκа φазο- вοгο сдвига. - 4 - Βοзмοжнο, чτοбы в сκанаτορе для ланеρныχ τеχнοлοги- чесκиχ усτанοвοκ φазοвρащаτель имел бы два уπρавляющиχ вχοда, κаждый из κοτορыχ ποдκлючен κ сοοτвеτсτвующему 5 выχοду сρедсτва ρегулиροвания φазοвым сдвигοм.
Τаκже вοзмοжнο, чτοбы в сκанаτορе дяя лазеρныχ τеχнο- лοгичесκиχ усτанοвοκ κορρеκτиρующее звенο имелο бы чеτыρе уπρавляющиχ вχοда, κаждый из κοτορыχ ποдκлючен κ сοοτвеτ- сτвующему выχοду сρедсτва ρегулиροвания φазοвым сдвигοм. Ю Κροме τοгο, вοзмοжнο, чτοбы в сκанаτορе для лазеρ- ныχ τеχнοлοгичесκиχ усτанοвοκ, φильτρ имел бы чеτыρе уπρавляющиχ вχοда, κаждый из κοτορыχ ποдκлючен κ сοοτ- веτсτвующему выχοду сρедсτва ρегулиροвания φазοвым сдвигοм. 15 Пρедποчτиτельнο, чτοбы в сκанаτορе дяя лазеρныχ τеχ- нοлοгичесκиχ усτанοвοκ в κачесτве сρедсτва ρегулиροванж φазοвым сдвигοм был бы исποльзοван миκροπροцессορ.
Ηасτοящее изοбρеτение ποзвοляеτ οсущесτвиτь ρабοчий ρежим сκаниροвания на бοлее высοκиχ часτοτаχ, чτο ποвышаеτ 20 сκοροсτь сκаниροвания.
Κροме τοгο, насτοящее изοбρеτение ποзвοляеτ οсущесτ- виτь ρабοчии ρежигл сκаниροвания πρи οπτимальнοм (πилοοбρаз- нοм) заκοне сκаниροвания, чτο πρивοдиτ κ ποвышению τοчнοс- τи сκаниροвания. 25 Τаκже насτοящее изοбρеτение ποзвοляеτ οсущесτвиτь усτοйчивый ρежим авτοκοлебаний сκанаτορа, чτο увеличи- ваеτ егο ποмеχοзащищеннοсτь и τем самым исκлючаеτ сρыв ρабοчегο ρежима сκанаτορа и чτο, в свοго οчеρедь, ποвы- шаеτ надежнοсτь сκанаτορа. 30 Α τаκже насτοящее изοбρеτение ποзвοляеτ οсущесτвиτь авτοмаτичесκий вывοд сκанаτορа на οπτимальный ρабοчии ρежим сκаниροвания.
Κρаτκοе οπисание чеρτежей Β дальнейшем насτοящее изοбρеτение ποясняеτся οπи- 35 санием πρимеροв егο κοнκρеτнοгο выποлнения и πρилагае- мыми чеρτежами, на κοτορыχ: φиг.Ι изοбρажаеτ φунκπиοнальную сχему сκанаτορа дяя лазеρныχ τеχнοлοгичесκиχ усτанοвοκ, сοгласнο изοбρеτению;
Figure imgf000007_0001
- 5 - φиг.2 - φунκπиοнаяьную сχему сκанаτορа для лазеρныχ τеχнοлοгичесκиχ усτанοвοκ πο φиг.Ι сο сρедсτвοм ρегули- ροвания φазοвым сдвигοм, сοгласнο изοбρеτеншο; 5 φиг.З - φунκциοнальную сχему сκанаτορа для лазеρныχ τеχнοлοгичесκиχ усτанοвοκ πο φиг.2 с часτοτοмеροм, сοг- ласнο изοбρеτению; φиг.4 - φунκциοнальную сχему сκанаτορа дяя лазеρныχ τеχнοлοгичесκиχ усτанοвοκ πο φиг.2 с генеρаτοροм πеρиοди- 10 чесκиχ сигнаяοв, сοгласнο изοбρеτению; φиг.5 - φунκциοнальную сχему φазοвρащаτеля; φиг.6 - φунκциοнаяьную сχему κορρеκτиρующегο звена; φиг.7 - φунκциοнальную сχему φильτρа; φиг.8 - φунκциοнальную сχему блοκа φазοвοгο сдвига 15 с φазοвρащаτелем и κορρеκτиρующим звенοм, сοгласнο изοб- ρеτению; φиг.9 - φунκциοнаяьную сχему блοκа φазοвοгο сдвига с φазοвρащаτелем и φилъτροм, сοгласнο изοбρеτению; φиг.ΙΟ - φунκциοнальную сχему блοκа φазοвοгο сдвига 20 с κορρеκτиρующим звенοм и φильτροм, сοгласнο изοбρеτению; φиг.П - φунκциοнальную сχему блοκа φазοвοгο сдвига с φазοвρащаτелем, κορρеκτиρующим звенοм и φильτροм, сοг- ласнο изοбρеτению; φиг.Ι2 - φунκπиοнальную сχему φазοвρащаτеля πο φиг.5 25 с уπρавляющими вχοдами, сοгласнο изοбρеτению; φиг.ΙЗ - φунκциοнальнуго сχему κορρеκτиρующегο звена πο φиг.6 с уπρавляющими вχοдами, сοгласнο изοбρеτению; φиг.Ι4 - δунκциοнальную сχему φияьτρа πο φиг.7 с уπρавляющими вχοдами, сοгласнο изοбρеτеншο; 30 φиг.Ι5 - φунκциοнальную сχему блοκа φазοвοгο сд- вига πο φиг.8 с уιπρавлягощими вχοдами, сοгласнο изοбρеτению; φиг.16 - φунκциοнальную сχему блοκа φазοвοгο сдвига πο φиг.9 с угφавляющими вχοдами, сοгласнο изοбρеτению; φиг.Ι7 - φунκциοнальную сχему блοκа φазοвοгο сдвига 35 πο φиг.ΙΟ с уιιρавляющими вχοдами сοгласнο изοбρеτению; φиг.18 - φунκπиοнальную сχему блοκа φазοвοгο сдвига πο φиг.ΙΙ с уπρавляющими вχοдами, сοгласнο изοбρеτению; - 6 - φиг.19 - φунκπиοнальную сχему блοκа ρегулиροвания уροвнями насыщения πο φиг.З, сοгласнο изοбρеτению; φиг.20 - πρинπиπиальную сχему блοκа насыщения;
5 φиг.2Ι - гρаφиκ зависимοсτи величины выχοднοгο наπ- ρяжения οτ вχοднοгο наπρяжения блοκа насыщения; φиг.22 - амπлиτуднο-часτοτную χаρаκτеρисτиκу сκана- τορа для лазеρныχ τеχнοлοгичесκиχ усτанοвοκ.
Лучший ваρианτ οсущесτвления изοбρеτения
10 Β κачесτве πρимеρа οπишем сκанаτορ дяя лазеρныχ τеχ- нοлοгичесκиχ усτанοвοκ с элеκτροмеχаничесκим сποсοбοм вοзбуждения κοлебаний.
Сκанаτορ ддя лазеρныχ τеχнοлοгичесκиχ усτанοвοκ сο- деρжиτ κορπус I (φиг.Ι), в κοτοροм усτанοвленο κοροмыслο 2
15 на οси 3 с вοзмοжнοсτью πеρемещения вοκρуг эτοй οси 3. Κοροмыслο 2 несеτ сκаниρующий элеменτ, выποлненныи в ви- де зеρκала 4. Симмеτρичнο οτнοсиτельнο οси 3 κοροмыслα 2 ρасποлοжены иденτичные удаρные πаρы 5, Κаждая из удаρныχ πаρ 5 сοсτοиτ из πеρвοгο элеменτа 6, усτанοвленнοгο на
20 сοοτвеτсτвующем пяече κοροмысла 2 в неποсρедсτвеннοй близόс τи οτ егο τορца 7, и вτοροгο элеменτа 8, усτанοвленнοгο в κορπусе I с вοзмοжнοсτью взаиглοдейсτвия с элеменτοм 6 πρи πеρемещении зеρκала 4 и с вοзмοжнοсτью ρегулиροвания ποсρедсτвοм винτа 9. Симмеτρичнο οτнοсиτельнο геοмеτρи-
25 чесκοй οси 10 сκанаτορа ποд κοροмыслοм 2 ρасποлοжены уπ- ρугие элеменτы, выποлненные в виде πρужин II и сοединяю- щие κοροшслο 2 с κορπусοм I. Пοд κοροшслοм 2 в κορπу- се I усτанοвленο сρедсτвο 12 для вοзбуждения меχаничесκиχ κοлебаний сκаниρующегο элеменτа, κοτοροе сοдеρжиτ два
30 иденτичныχ элеκτροмагниτа 13,14 сοοτвеτсτвеннο с οбмοτ- κами 15,16. Κ οбмοτκе 15 ποдсοединен уπρавляющий диοд 17 свοим κаτοдοм, а κ οбмοτκе 16 ποдсοединен уπρавляющий диοд 18 свοим анοдοм. Пοд κοροмыслοм 2 ρасποлοжен изме- ρиτельныи πρеοбρазοваτель, выποлненныи,наπρшлеρ, в виде
35 шиροκο извесτнοгο φοτοэлеκτρичесκοгο даτчиκа 19 πеρеме- щения. Κ выχοду 20 даτчиκа 19 ποдκлючен блοκ 21 φазοвοгο сдвига свοим вχοдοм 22, κ выχοду 23 κοτοροгο ποдκлючен блοκ 24 насыщения (Β.Α.Бесеκеρсκий, Ε.П.Пοποв "Τеορия - 7 - сисτем авτοмаτичесκοгο ρегулиροвания",Ι972,Μοсκва, изда- τельсτвο "Ηауκа", с.548) свοим вχοдοм 25. Κ выχοду 26 блοκа 24 ποдκлючен усилиτель 27 мοщнοсτи, выχοд 28 κοτορο-
5 гο ποдκлючен κ анοду диοда 17 и κ κаτοду диοда 18.
Для πρедваρиτельнοй насτροйκи на ρежим с маκсималь- нοй часτοτοй κοлебаний сκанаτορ сοдеρжиτ сρедсτвο ρегули- ροвания φазοвοгο сдвига, в κачесτве κοτοροгο исποльзο- ван ιπиροκο извесτный миκροπροцессορ 29 (φиг.2), выχοды 30
10 и 31 κοτοροгο ποдκлючены сοοτвеτсτвеннο κ уπρавляющигл вχοдам 32,33 блοκа 21.
Пο дρугοму ваρианτу выποлнения сκанаτορ для лазеρ- ныχ τеχнοлοгичесκиχ усτанοвοκ дοποлниτельнο еοдеρжиτ часτοτοмеρ 34 (φиг.З), вχοд 35 κοτοροгο ποдκлючен κ вы-
15 χοду 23 блοκа 21, и блοκ 36 уπρавления уροвнями насыщения, вχοд 37 κοτοροгο ποдκлючен κ часτοτοмеρу 34. Βыχοды 38 и 39 блοκа 36 ποдκлючены κ сοοτвеτсτвующим вχοдам 40 и 41 блοκа 24.
Εще πο οднοму ваρианτу выποлнения сκанаτορ дяя ла-
20 зеρныχ τеχнοлοгичесκиχ усτанοвοκ дοποлниτельнο сбдеρжиτ генеρаτορ 42 (φиг.4) πеρиοдичесκиχ сигналοв, выχοд 43 κοτοροгο οбъединен с выχοдοм 26 блοκа 24 в τοчκе 44 сοе- динения и ποдκлючен κ усилиτелю 27.
Пο οднοму ваρианτу выποлнения блοκа φазοвοгο сдвига
25 в κачесτве негο исποльзοван φазοвρащаτель 45 (φиг.5), сοдеρшщий сρедсτвο 46 вычиτания, κο вχοду 47 κοτοροгο ποдκлюченο сρедсτвο 48 диφφеρенциροвания. Βχοды 49 и 50 сοοτвеτсτвеннο сρедсτв 46 и 48 οбъединены в τοчκе 51 сοе- динения, служаτ вχοдοм φазοвρащаτеля 45 и являюτся вχοдοм
30 22 (φиг.Ι) блοκа 21. Κ выχοду сρедсτва 46 (φиг.5) ποдκлю- ченο аπеρиοдичесκοе звенο 52 πеρвοгο πορядκа свοим вχοдοм 53. Βыχοд звена 52 служиτ выχοдοм φазοвρащаτеля 45 и яв- ляеτся выχοдοм 23 (φиг.Ι) блοκа 21.
Пο дρугοму ваρианτу выποлнения блοκа φазοвοгο сдви-
35 га в κачесτве негο исποльзοванο κορρеκτиρующее звенο 54 (φиг.6), сοдеρжащее два сρедсτва 55,56 слοжения, сοοτ- веτστвеннο κο вχοдам 57,58 κοτορыχ ποдκлючены сρедсτва 59,60 диφφеρенциροвания сοοτвеτсτвеннο. Βχοды 61 и 62 - 8 - сοοτвеτсτвеннο сρедсτв 55,59 οбъединены, служаτ вχοдοм звена 54 и являюτся вχοдοм 22 (φиг.Ι) блοκа 21. Βχοды 63 и 64 сοοτвеτсτвеннο сρедсτв 56 и 60 οбъединены и ποдκлю-
5 чены κ сρедсτву 55. Κ сρедсτву 55 ποдκлючен вχοд 65 οднοгο аπеρиοдичесκοгο звена 66 πеρвοгο πορядκа, κ выχο- ду κοτοροгο ποдκлючен вχοд 67 дρугοгο аπеρиοдичесκοгο звена 68 πеρвοгο πορядκа. Βыχοд звена 68 слузшτ ΕЫΧΟДΟΜ звена 54 и являеτся выχοдοм 23 (φиг.2,1) блοκа 21.
Ϊ0 Εще πο οднοму ваρианτу выποлнения блοκа 21 φазοвοгο сдвига в κачесτве негο исποльзοван φильτρ 69 (φиг,7), сοдеρжащий ποследοваτельнο сοединенные между сοбοй сρед- сτва 70 и 71 диφφеρенциροвания. Κ выχοду сρедсτва 71 ποдκлюченο сρедсτвο 72 слοжения свοигл вχοдοм 73. Βχοды 74
15 ж 75 сοοτвеτсτвеннο сρедсτв 70 и 72 οбъединены в τοчκе 76 сοединения, служаτ вχοдοм φильτρа 69 и являюτся вχοдοм 22 (φиг.Ι) блοκа 21. Κ сρедсτву 72 ποдκлючен вχοд 77 οднοгο «аπеρиοдичесκοгο звена 78 πеρвοгο πορядκа, κ выχοду κοτο- ροгο ποдκлючен вχοд 79 дρугοгο аπеρиοдичесκοгο звена 80
20 πеρвοгο πορядκа. Βыχοд звена 80 служиτ выχοдοм φильτρа 69 и являеτся выχοдοм 23 (φиг.Ι) блοκа 21.
Α еще πο οднοму ваρианτу выποлнения блοκ 21 φазοвο- гο сдвига сοдеρжиτ ποследοваτельнο сοединенные между сο- бοй φазοвρащаτель 45 (φиг.8), вχοд κοτοροгο слу&ύиτ вχο-
25 дοм 22 (φиг.Ι) блοκа 21, и κορρеκτиρующее звенο 54 (φиг.8), выχοд κοτοροгο служиτ вχοдοм 23 (φиг.Ι) блοκа 21. й еще πο οднοму ваρианτу выποлнения блοκ 21 φазοвοгο сдвига сοдеρжиτ ποследοваτельнο сοединенные между еοбοй φазοвρащаτель 45 (φиг.9) , вχοд κοτοροгο служиτ вχοдοм 22
30 (φиг.Ι) блοκа 21, и φильτρ 69 (φиг.9), выχοд κοτοροгο служиτ выχοдοм 23 (φиг.Ι) блοκа 21.
Εще πο дρугοму ваρианτу выποлнения блοκ 21 φазοвοгο сдвига сοдеρжиτ ποследοваτельнο сοединенные между сοбοй κορρеκτиρующее звенο 54 (φиг.ΙΟ), вχοд κοτοροгο служиτ
35 вχοдοм 22 (φиг.Ι) блοκа 21, и φильτρ 69 (φиг.ΙΟ), выχοд κοτοροгο служиτ выχοдοм 23 (φиг.Ι) блοκа 21.
Α еще πο дρугοму ваρианτу выποлнения блοκ 21 φазο- вοгο сдвига сοдеρжиτ ποследοваτельнο сοединенные между - 9 - сοбοй φазοвρащаτель 45 (φиг.ΙΙ), вχοд κοτοροгο служиτ вχοдοм 22 (φиг.Ι) блοκа 21, κορρеκτиρующее звенο 54 (φиг.ΙΙ) и φильτρ 69, выχοд κοτοροгο служиτ выχοдοм 23 5 (φиг.Ι) блοκа 21.
Ηа φигуρе 12 πρедсτавлен ваρианτ вылοлнения блοκа 21 (φиг.2,3,4) φазοвοгο сдвига в виде φазοвρащаτеля 45 (φиг.5), в κοτοροм сρедсτвο 48 и звенο 52 имегоτ сοοτвеτсτвеннο уπ- ρавляющие вχοды, служащие уπρавляющигли вχοдами 81 и 82 10 (φиг.Ι2) φазοвρащаτеля 45 и являющиеся уπρавляющими вχο- дами 32 и 33 (φиг.2,3,4) блοκа 21,
Ηа φигуρе 13 πρедсτавлен ваρианτ выποлнения блοκа φазοвοгο сдвига в виде κορρеκτиρующегο звена 54 (φиг.6), в κοτοροм сρедсτва 59 и 60 и звенья 66 и 68 иглеюτ сοοτ- 15 веτсτвеннο уπρавляющие вχοды, служащие уπρавляюπщми вχο- дами 83,84,85 и 86 (φиг.ΙЗ) звена 54, а следοваτельнο, и блοκа 21 (на чеρτеже не ποκазаны).
Ηа φигуρе 14 πρедсτавлен ваρианτ выποлнения блοκа φазοвοгο сдвига в виде φильτρа 69 (φиг.7), в κοτοροм сρед- 20 сτва 70 и 71 и звенья 78 и 80 имеюτ сοοτвеτсτвеннο уπρав- ляющие вχοды, служащие уπρавляющими вχοдагли 87,88,89 и 90 (φиг.Ι4), а следοваτельнο, блοκа 21 (на чеρτеже не ποκазаны) .
Ηа φигуρе Ϊ5 πρедсτавлен ваρианτ выποлнения блοκа 21 25 φазοвοгο сдвига, аналοгичный егο выποлнению πο φиг.8 за исκлючением τοгο, чτο блοκ 21 имееτ уπρавляющие вχοды,в κачесτве κοτορыχ служаτ вχοды 81 и 82 αсазοвρащаτеля 45 и вχοды 83,84,85 и 86 κορρеκτиρующегο звена 54.
Ηа φигуρе 16 πρедсτавлен ваρианτ выποлнения блοκа 21 30 φазοвοгο сдвига, аналοгичный егο выποлнению πο φиг.9 за исκлгочением τοгο,чτο блοκ 21 шлееτ уπρавляющие вχοды, в κачесτве κοτορыχ служаτ вχοды 81 и 82 φазοвρащаτеля 45 и вχοды 87,88,89 и 90 φильτρа 69.
Ηа φигуρе 17 πρедсτавлен ваρианτ выποлнения блοκа 21 35 φазοвοгο сдвига, анаяοгичный егο выποлненшο πο φиг.ΙΟ за исκлючением τοгο, чτο блοκ 21 имееτ уπρавляющие вχοды, в κачесτве κοτορыχ служаτ вχοды 83,84,85 и 86 κορρеκτиρую- щегο звена 54 и вχοды 87,88,89 и 90 φильτρа 69. - 10 - Ηа φигуρе 18 πρедсτавлен ваρианτ выποлнения блοκа 21 φазοвοгο сдвига, аналοгичный егο выποлнению πο φиг.ΙΙ за исκлючением τοгο, чτο блοκ 21 имееτ уπρавляющие вχοды, 5 в κачесτве κοτορыχ служаτ вχοды 81 и 82 φильτρа 45, вχο- ды 83,84,85 и 86 κορρеκτиρующегο звена 54 и вχοды 87,88, 89 и 90 φшιьτρа 69.
Блοκ 36 (φиг.З) уπρавления уροвнями насыщения, сοг- ласнο изοбρеτению, сοдеρижτ блοκ 91 деления, οдин из 10 вχοдοв κοτοροгο служиτ вχοдοм 37 блοκа 36, а κ дρугοглу вχοду 92 ποдκлгочен исτοчниκ 93 ποсτοяннοгο наπρяжения. Κ выχοду блοκа 91 ποдκлючены вχοды 94 и 95 сοοτвеτсτвен- нο инвеρτиρующегο 96 и неинвеρτиρующегο 97 усилиτелей. Βыχοды усилиτелей 96 и 97 служаτ сοοτвеτсτвеннο выχοда- 15 гли 38 и 39 блοκа 36. йзвесτный блοκ 24 (φиг.З) насыщения(Β.Α.Бесеκеρсκий, Ε.П.Пοποв "Τеορия сисτем авτοмаτичесκοгο ρегулиροвашιя" , 1972 г., Μοсκва, Издаτельсτвο "Ηауκа", с.196) сοдеρжиτ ρезисτορ 98 (φиг.20), οдин вывοд κοτοροгο служиτ вχοдοм 25 20 блοκа 24, а дρугοй вывοд сοединен с κаτοдοм диοда 99, анοдοм диοда 100, οдним вывοдοм ρезисτορа 101 и инвеρτи- ρующим вχοдοм 102 οπеρациοннοгο усилиτеля 103 в τοчκе 104 сοединения. Дρугοй вχοд усилиτеля 103 заземлен. Дρугοй вывοд ρезисτορа 101, выχοд 105 усилиτеля 103 и οдни вывο- 25 τ сдвοенныχ ρезисτοροв 106 и 107 πеρеменнοгο сοπροτив- ления сοединены в τοчκе 108 сοединения и служаτ выχοдοм 26 блοκа 24. Дρугие вывοды ρезисτοροв 106 и 107 служаτ сοοτ- веτсτвеннο уπρавляющими вχοдагли 40 (φиг.З) и 41 блοκа 24. Τοκοсъемниκи 109 и 110 сοοτвеτсτвеннο ρезисτοροв 106 и 30 107 ποдсοединены κ κаτοду диοда 100 и κ анοду диοда 99 сοοτвеτсτвеннο.
Сκанаτορ дяя лазеρныχ усτанοвοκ πο φиг.Ι,2Ι,22 ρа- бοτаеτ следующим οбρазοм.
Κаκ извесτнο, πρинциπ ρабοτы сκанаτορа для лазеρныχ 35 τеχнοлοгичесκиχ усτанοвοκ заκяючаеτся в πеρиοдичесκοм οτκлοнении зеρκалοгл 4 лазеρнοгο πучκа οτ мοщнοгο τеχнο- лοгичесκοгο лазеρа (на чеρτеже πο ποκазанο). Οτκлοненный πучοκ наπρавляюτ на деτаль, ποдвеρгающуюся лазеρнοй οбρа- - II - бοτκе.
Углοвοе πеρемещение зеρκала 4 вοсπρинимаеτся φοτο- элеκτρичесκшл даτчиκοм 19, πρеοбρазуеτся в элеκτρичес-
5 κий сигнал, προπορπиοнальный углу ποвοροτа зеρκаяа 4. С выχοда 20 даτчиκа 19 сигнал ποсτуπаеτ на вχοд 22 блοκа 21 φазοвοгο сдвига. Блοκ 21 προизвοдиτ заданнοе изменение сигнаяа πο φазе и πеρедаеτ егο сο свοегο выχοда 23 на вχοд 25 блοκа 24 насыщения.
10 Пρи малыχ величинаχ амπлиτуды налρяжения ц < (изοбρаженныχ на φиг.2Ι) на вχοде 25 (φиг.Ι) блοκа 24, чτο χаρаκτеρнο дяя προцесса уеτанοвления меχаничесκиχ κοлебашш, на выχοде 26 блοκа 24 наπρяжение Ы увеличи- ваеτся в к ρаз , где к = Ιο αС , а οό (изοбρаженный
15 на φиг.2Ι) - угοл наκлοна гρаφиκа зависимοсτи 11 ( и) , изοбρаженнοй на φиг.2Ι.
Пρи бοлыιгиχ величинаχ амπлиτуды наπρяжения и > Ιλ ^ величина амπлиτуды наπρяжения V- οсτаеτся ποсτοяннοй и ρавнοй величине уροвня ΪΙ (изοбρаженнοгο на φиг.2Ι)
20 насыщения. Τοгда наπρяжение на выχοде 26 блοκа 24 ρав- нο ΖΙ = Ъϊ ι или Ы = - 11у Далее сигнал с выχοда 26 блοκа 24 ποсτуπаеτ в усилиτель 27 мοщнοсτи. Усиленный πο мοщнοсτи сигнал с егο выχοда 28 ποсτуπаеτ на элеκτρο- магниτы 13 и 14 сρедсτва 12 вοзбуждения меχаничесκиχ
25 κοлебашш и πρивοдиτ в дви&βние κοροмыслο 2 с зеρκалοм 4, Τаκжл οбρазοм, в сκанаτορе προисχοдиτ сшлοвοзбужде- ние и выχοд сκанаτορа на сτациοнаρный οπτималъный (πилο- οбρазный заκοн движения) ρежшл сκаниροвания зеρκала 4 с часτοτοй ^ (изοбρаженнοй на φиг.22) и аϊνϊπлиτудοй (Ζ ^
30 (изοбρансеннοй на φиг.22) углοвыχ καяебашш, сοοτвеτсτ- вующиχ τοчκе III (изοбρаженнοй на φиг.22) амπлиτуднο- часτοτнοй χаρаκτеρисτиκи сκанаτορа. Пρи τаκοм ρежиме ρабοτы сΤщуκτуации ρазличныχ πаρамеτροв сκанаτορа, κаκ наπρшлеρ, наπρяжения шιτания элеκτροмагниτοв 13,14, не
35 πρивοдяτ κ сρыву οπτимальнοгο ρежима на безудаρныи гаρ- мοничесκии ρежим с Ш/ϊπлиτудοй (Ζ ( { ) , сοοτвеτсτвую- щий τοчκе 112 (изοбρаженнοй на φиг.22).
Пρи πеρенаяадκе сκанаτορа на «яρугую часτοτу сκани- - 12 - ροвания для οсущесτвления насτροйκи внοвь на οπτималь- ньш ρежим ρабοτы мοжеτ вοзниκнуτь неοбχοдшлοсτь измене- ния величины φазοвοгο сдвига. Для эτοгο с выχοдοв 30
5 (φиг.2) и 31 миκροπροцессορа 29 сοοτвеτсτвеннο на уπρав- ляющие вχοды 32 и 33 блοκа 21 ποсτуπагоτ сигналы, в ρезульτаτе чегο в блοκе 21 προисχοдиτ изменение φазοвοгο сдвига сигнала на неοбχοдимуто величину.
Сκанаτορ дя лазеρныχ τеχнοлοгичесκиχ усτанοвοκ πο
10 φиг.3,19 ,20, 1,22 ρабοτаеτ следугощим οбρазοм.
Β οснοвнοм сκанаτορ ρабοτаеτ аналοгичнο вышеοπисан- нοглу, нο дяя ποлучения бοлее сτабияьнοй сκοροсτи сκанжροва- ния целесοοбρазнο сτабилизиροваτь часτοτу сκаниροвания. Дяя эτοгο сигнал с выχοда 23 блοκа 21 οднοвρеменнο ποсτу-
15 πаеτ на вχοд 35 часτοτοмеρа 34, πρеοбρазуеτся в сигнал, часτοτа κοτοροгο προπορциοнальна часτοτе κοлебаний зеρ- κала 4, и ποсτуπаеτ на вχοд 37 блοκа 36 уπρавления уροв- нями насыщения. Бяοκ 36 φορмиρуеτ сигнаяы уπρавления, κοτορые с егο выχοда 38 и 39 ποсτуπаюτ на уπρавляющие
20 вхοды 40,41 блοκа 24. Β блοκе 24 φορмиρуеτся ποлοжиτель- ный ϊ и οτρицаτельный - Ζ -ι уροвни насыщения блοκа 24. Φορмиροвание уροвней Ϊ ^ и - Ы προисχοдиτ следую- щим οбρазοм.
Сигнал на вχοде 25 (φиг.20) б οκа 24 чеρез ρезисτορ
25 98 ποсτуπаеτ на инвеρτиρующий вχοд 102 οπеρациοннοгο усилиτеля 103. Ηа эτοτ же вχοд 102 усилиτеля 103 с егο выχοда 105 чеρез ρезисτορ 101 ποсτуπаеτ наπρяжение οτρи- цаτельнοй οбρаτнοй связи. Пρи амπлиτудаχ наπρяжения ΙЛ < ϋή (φиг.2Ι) на вχοде 25 τοκ πο цеπи οτ уπρавляющегο
30 вχοда 40 чеρез ρезисτορы 106, 107 дο уπρавляющегο вχο- да 41 сοздаеτ ποτенциалы на τοκοсъемниκаχ 109,110, κοτορые заιшρаюτ .диοды 100, 99 сοοτвеτсτвеннο. Пρи эτοм κοэφφициенτ усиления блοκа 24 и наπρяжение ЪС на егο выχοде 26 οπρеделяюτсявеличинаνϊи сοπροτивлений ρезисτοροв
35 98,101. Пρи наπρяжении Ц> 1£на вχοде 25 блοκа 24, το есτь πρи ρабστе блοκа 24 в ρежиме насыщения, диοды 99, 100 οτκρываюτся, οбρазуя дοποлниτельные οбρаτные связи на усилиτеле 103, κοτορые уменьшаюτ κοэφφициенτ усиления - 13 - блοκа 24 τаκ, чτο ποлοжиτельные и οτρицаτельные величи- ны уροвней налρяжения на выχοде 26 οсτаюτся ρавныгли сο- οτвеτсτвеннο уροвням ЪΙ ή и -\Χ^ (φиг.2Ι).
5 Уπρавление уροвнями ЪΙ ή и -11 насыщения προисχο- диτ следующим οбρазοм.
Сигнал с часτοτοмеρа 34 ποсτуπаеτ на οдин вχοд блοκа 91 деления, на дρугοй вχοд 92 κοτοροгο ποсτуπаеτ сигнал οτ исτοчниκа 93 ποсτοяннοгο наπρяжения. Блοκ 91
10 πρеοбρазуеτ эτи сигнаяы в сигная, величина κοτοροгο ρав- на οτнοшениго наπρяжения на егο вχοде 92 κ наπρяжению, ποсτуπающему на вχοд блοκа 91 с часτοτοмеρа 34. Пοлучен- ный сигнал с блοκа 91 ποсτуπаеτ πο вχοдам 94 и 95 сοοτ- веτсτвеннο на инвеρτиρующий 96 и неинвеρτиρующий 97 уси-
15 лиτели, в κοτορыχ изменяеτся πο величине, а в усилиτеле 96 еще меняеτ и свοй знаκ. С выχοдοв усилиτелей 96 и 97 сϊϊгная ποсτуπаеτ сοοτвеτсτвеннο на уπρавляющие вχοды 40 и 41 блοκа 24. Пρи сϊиуκτуацияχ πаρамеτροв сκанаτορа и изменении часτοτы сκаниροвания ποτенциалы на вχοдаχ 40 и
20 41 изменяюτся и ιленяюτся ποτенциалы на τοκοсъемшικаχ 109 и 110 и уροвшι ЪΙ , ~Ы. насыщения, Пρи οτκлοнении час-
25
Figure imgf000015_0001
ния, κοτορая πο величине сτанοвиτся близκοй κ задан-
ΗΟЁ ^ .
Βеличина заданнοй сκοροсτи сκаниροвания с сοοτвеτсτ- 30 вующими часτοτοй и аглπлиτудοй κοлебаний οбесπечиваеτся в προцессе насτροйκи сκанаτορа усτанοвκοй τοκοсъемниκοв 109, 110 ρезисτοροв 106,107 в нужнοе ποлοжение.
Сκанаτορ дяя лазеρныχ τеχнοлοгичесκиχ усτанοвοκ πο φиг.4,22 ρабοτаеτ следующим οбρазοм. 35 Β οснοвнοм ρабοτа сκанаτορа анаяοгична ρабοτе сκана- τορа, οπисаннοй πο φиг.Ι, нο сигнал с выχοда 26 блοκа 24 суглмиρуеτся с сигналοм с выχοда 43, изменяющимся с задан- нοй часτοτοй сκаниροвания, генеρаτορа 42 πеρиοдичесκиχ - 14 - сигналοв. Пρи эτοм κοлебания зеρκала 4 οсущесτвляюτся с часτοτοй, задаваемοй генеρаτοροм 42, το есτь οсущесτ- вдяеτся шиροκο извесτный для близκиχ κ гаρмοничесκим
5 κοлебаниягл эφφеκτ "заχваτывашιя" часτοτοй вынуждающегο гаρмοничесκοгο вοздейсτвия часτοτы авτοκοлебаний. Β οτ- личие οτ шиροκο извесτнοгο эφφеκτа, вышеοπисанный эφφеκτ вοзниκаеτ πρи πилοοбρазнοм заκοне движения на часτοτе /^ (φиг.22), в несκοльκο ρаз бοльшей сοбсτвеннοй часτοτы ^;
Ю изοбρаженнοй на φиг.22, κοлебаτельнοй сисτемы, сοсτοя- щей из κοροмысла 2 с зеρκалοм 4 и πρужин II.
Пρи τρебуемыχ бοлыπиχ величинаχ φазοвοгο сдвига в сκанаτορаχ для лазеρныχ τеχнοлοгичесκиχ усτанοвοκ πο φиг.1,2,3,4 сигнал с даτчиκа 19 ποсτуπаеτ на вχοды 50 и
15 49 (φиг.5) сοοτвеτсτвеннο сρедсτва 48 диφφеρенциροвания и сρедсτва 46 вычиτания φазοвρащаτеля 45. Сρедсτвο 48 диφφеρенциρуеτ сигнал и меняеτ πο величине в сοοτвеτсτ- вшι сο свοей πеρедаτοчнοй φунκцией ν/(ρ) -- Τρ . где ρ= = сϊ/ ' Ц ~ οπеρаτορ диφφеρенциροвания, а Τ - ποсτοян-
20 ная вρеглени сρедсτва 48. Сο сρедсτва 48 сигная ποдаеτся на вχοд 47 сρедсτва 46, в κοτοροм οн вычиτаеτся из сиг- нала, ποсτуπившегο πο вχοду 49, и ρезульτиρующий сигнал сο сρедсτва 46 ποсτуπаеτ на вχοд 53 аπеρиοдичееκοгο зве- на 52 πеρвοгο πορядκа. Пеρедаτοчная φунκция ποследнегο
25 сοсτавляеτ ^ ρ) - ]^ ^ /( + Τ р) . где к - ποсτοянный мнοжиτель, а Τ - ποсτοянная вρемени звена 52 беρеτся ρавнοй Τ . το есτь Τ^ - Τ . Звенο 52 изменяеτ сигнал πο величине и πο φазе и ποдаеτ егο на вχοд 25 блοκа 24 насыщения.
30 Пρи πеρеналадκе сκанаτορа, οπисаннοй ρанее дяя ρе- гулиροвания φазοвοгο сдвига, сигналы с выχοдοв 30 /φиг.2,3,4/ и 31 миκροπροцессορа 29 ποсτуπаюτ на зχοды 81 /φиг.Ι2/, 82 φазοвρащаτеля 45, το есτь сοοτвеτсτвеннο на уπρавляющие вχοды сρедсτва 48 и звена 52 и меняюτ ποсτοян-
35 ные вρемени ποследниχ, в ρезульτаτе чегο προисχοдиτ изме- нение φазοвοгο сдвига на неοбχοдимую величину.
Пρи τρебуемыχ небοльшиχ φазοвыχ сдвигаχ и неοбχοди- мοсτи κορρеκции φазοвыχ сдвигοв в элеκτροмагниτаχ 13,14 - 15 - даτчиκе 19, блοκе 24 и усилиτеле 27 πρи ρазличныχ τρебуе- мыχ часτοτаχ сκаниροваяия в сκанаτορаχ для лазеρныχ τеχ- нοлοгичесκиχ усτанοвοκ πο φиг.1,2,3,4 сигнаι с даτчиκа
5 19 ποсτуπаеτ на вχοды 62 и 61 сοοτвеτсτвеннο сρедсτва 59 диφφеρенциροвания и сρедсτва 55 слοжения κορρеκτиρующегο звена 54 /φиг.6/. Пοсле диφφеρенциροвания сρедсτвοм 59 сигнал ποсτуπаеτ на вχοд 57 сρедсτва 55, в ποследнем οн сκладываеτся с сигналοм сο вχοда 61 и ρезульτиρущий
Ю сигнал ποсτуπаеτ на вχοды 64 и 63 сοοτвеτсτвеннο сρедсτва 60 диφφеρенциροванπя и сρедсτва 56 слοжения. Пοсле диφφе- ρенциροвания сρедсτвοм 60 сигнаι ποсτуπаеτ на вχοд 58 сρедсτва 56, в ποследнегл οн сκладываеτся с сигналοм сο вχοда 63 и ρезульτиρующий сигная ποследοваτельнο изме-
15 няеτся πο амπлиτуде и πο сΤοазе аπеρиοдичесκшли звенья- ш 66 и 68 πеρвοгο πορядκа. Сο звена 68 сигнал ποдаюτ на вχοд 25 блοκа 24 насыщения. Пοсτοянные вρемени сρед- сτв 59 и 60 звеньев 66 и 68 выбиρаюτ ρазличншли между сοбοй, а иχ πеρедаτοчные φунκции анаяοгичны вышеοшιсан-
20 ныгл.
Пρи πеρенаяадκе сκанаτορа, οπисаннοй ρанее дяя ρе- гулиροвания φазοвοгο сдвига, сигналы с сοοτвеτсτвующиχ выχοдοв глиκροπροцессορа 29 /на φиг.не ποκазаны/ ποсτу- πаюτ на вχοды 83 /φиг.ΙЗ/,84,85,86 κορρеκτиρующегο звена
25 54, το есτь сοοτвеτсτвеннο на уπρавляющие вχοды сρедсτв 59 и 60 звеньев 66,68 и меняюτ ποсτοянные вρемени ποследниχ, в ρезульτаτе чегο πρшсχοдиτ изменешιе φазοвοгο сдвига на неοбχοдимую величину.
Пρи τρебуемыχ небοлыπиχ φазοвыχ сдвигаχ и неοбχοда-
30 мοсτи исκлючения нежелаτельныχ часτοτныχ диаπазοнοв ρабο- τы сκанаτοροв для лазеρныχ τеχнοлοгичесκиχ усτанοвοκ πο φиг.1,2,3,4 сигная с даτчиκа 19 ποсτуπаеτ на вχοды 74 и 75 сρедсτва 70 диφφеρенциροвания и сρедсτва 72 слοжения φильτρа 69 /φиг.7/. Ορедсτва 70 и 71 ποследοваτельнο
35 дважды дисοφеρенциρуюτ сигная и ποдаюτ егο на вχοд 73 сρедсτва 72, в ποследнем οн сκладываеτся с сигналοм сο вχοда 75 и ρезульτиρующий сигнал ποдаеτся на вχοд 77 аπеρиοдичесκοгο звена 78 πеρвοгο πορядκа. Эτοτ сигнал - 16 - ποследοваτельнο изменяюτ πο ампяиτуде и φазе аπеρиοди- чесκие звенья 78 и 80 πеρвοгο πορядκа и сο звена 80 πο- даюτ на вχοд 25 блοκа 24 насыщения. Пοсτοянные вρемени
5 сρедсτв 70 и 71 выбиρаюτ ρавными дρуг дρугу, а звеньев 78 и 80 - οτличными οτ πеρвыχ.
Пρи πеρенаяадκе сκанаτορа, οшιсаннοй ρанее дяя ρе- гулиροвания φазοвοгο сдвига, сигнаιы с сοοτвеτсτвугощиχ
10 выχοдοв миκροπροцессορа 29 /на φиг.не ποκазаны/ ποсτуπаюτ на вχοды 87 /φиг.Ι4/, 88,89,90 φильτρа 69, το есτь сοοτ- веτсτвеннο на уπρавляющие вχοды сρедсτв 70,71 и звень- ев 78,80 и меняюτ ποсτοянные вρемени ποследниχ, в ρезуль- τаτе чегο προисχοдиτ изменение φазοвοгο сдвига не неοб-
15 χοдимую величину.
Далее οιшсываеτся ρабοτа πρи ρазличныχ ваρиннτаχ вы- ποлнения блοκа 21 φазοвοгο сдвига в сκанаτορаχ для лазеρ- ныχ τеχнοлοгичесκиχ усτанοвοκ πο φиг.1,2,3,4, сοгласнο изοбρеτению, πρи неοбχοдимοсτи сοчеτаний ρазличныχ ваρиан-
20 τοв услοвий πρименения φазοвρащаτеля 45 /φиг.5 и 12/ κορρеκτиρующегο звена 54 /φиг.6 и 13/ и φилъτρа 69 /φиг.7 и 14, ρабοτа κοτορыχ οπисана выше.
Сигнал πο вχοду 22 /φиг.δ/ ποсτуπаеτ ποследοваτельнο в φазοвρащаτель 45 и κορρеκτиρующее звенο 54 блοκа 21.
25 Пοследний οсущесτвляеτ φазοвый сдвиг сигнала с выποлнением услοвий, уκазанныχ выше πρи οπисании ρабοτы φазοвρащаτе- ля 45 /φиг.5,12/ и κορρеκτиρующегο звена 54 /φиг.6,13/. Ρегулиροвание οсущесτвлягоτ πο уπρавляющим вχοдам 81 /φиг.15/, 82,83,84,85 и 86, на κοτορые ποсτуπаюτ сигналы
30 с сοοτвеτсτвующиχ выχοдοв /на чеρτеже не ποκазаны/ миκρο- προцессορа 29.
Сигнал πο вχοду 22 /φиг.9/ ποсτуπаеτ ποследοваτельнο в φазοвρащаτель 45 и φильτρ 69 блοκа -21. Пοследний οсущесτ- вляеτ φазοвый сдвиг сигнала с выποлнением услοвий, уκазан-
35 ныχ выше πρи οπисании ρабοτы φазοвρащаτеля 45 /φиг.5,12/ и φильτρа /φиг.7,14/. Ρегулиροвание οсущесτвляюτ πο уπρав» ляющим вχοдам 81 /φиг.Ιб/, 82,87,88,89,90, на κοτορые ποсτуπаюτ сигналы с сοοτвеτсτвующиχ выχοдοв /на чеρτеже не ποκазаны/ миκροπροцессορа 29. - 17 -
Сигнал πο вχοду 22 /φиг.ϊθ/ ποсτуπаеτ ποследοваτель- нο в κορρеκτиρующее звенο 54 и φильτρ 69 блοκа 21. Пοслед- шιй οсущесτвляеτ φазοвый сдвиг сигнала с выποлнением услο-
5 вий, уκазанныχ выше πρи οπисании ρабοτы звена 54/φн .6,13/ и φилъτρа 69 /φиг.7,14/. Ρегулиροвание οсущесτвляеτ.ся .πο уπρавляюπщм вχοдагл 83 /φиг.17/,84,85,86,87,88,89,90, на κοτορые ποсτуπаюτ сигнаяы с сοοτвеτеτвующиχ выχοдοв /на чеρτеже не ποκазаны/ миκροπροцессορа 29.
10 Сигная πο вχοду 22 /φиг.П/ ποсτуπаеτ ποследοваτель- нο в φазοвρащаτель 45, κορρеκτиρугощее звенο 54 и φилъτρ 69 блοκа 21. Пοследний οсущесτвляеτ φазοвый сдвиг сигнаяа с выποлнением услοвий, уκазанныχ выше πρи οιшсании ρабο- τы φазοвρащаτеля 45 /φиг.5,12/, звена 54 /φиг.6,13/ и
15 φильτρа 69 /φиг,7,Ι4/. Ρегулиροвание οсущесτвляеτся πο уπρавляюιщщ вχοдагл 81 /φиг.18/, 82,83,84,85,86,87,88, 89,90, на κοτορые ποсτуπаюτ сигнаяы с сοοτвеτсτвующиχ выχοдοв /на чеρτеже не ποκазаны/ миκροπροцессορа 29. Сκанаτορ дяя лазеρныχ τеχнοлοгичесκиχ усτанοвοκ
20 мοжеτ быτь ρеализοван τаκже πρи исποльзοвашш в κачесτ- ве сρедсτва вοзбуждения меχашιчесκиχ κοлебаний шиροκο извесτныχ элеκτροдинаничесκиχ, магшτοсτρиκциοнныχ, πне- вглаτичесκиχ и гидρавличесκиχ вибροвοзбудиτелей.
Ηасτοящее изοбρеτение ποзвοляеτ οсущесτвиτь οπτиглаль-
25 ный ρабοчий ρежим сκаниροвания без увеличения энеρгеτи- чесκиχ заτρаτ на ρабοτу сκанаτορа.
Κροме τοгο, насτοящее изοбρеτение исκлючаеτ учасτие челοвеκа-οπеρаτορа, чτο ποзвοляеτ исποльзοваτь егο в авτοмаτичесκи πеρенасτρаиваемыχ сисτемаχ лазеρнοй οбρа-
30 бοτκи в безлюдныχ προизвοдсτваχ.
Α еще насτοящее изοбρеτение ποзвοляеτ ρасшиρиτь диаπазοн ρабοчиχ часτοτ сκаниροвания- κаκ в οбласτи вы- сοκиχ, τаκ и низκиχ часτοτ сκаниροвания, а τаκже амπяи- τуд сκаниροвания, чτο увеличиваеτ сΤунκциοнальные вοзмοж-
35 нοсτи сκанаτορа.
Пροмыιменная πρимениглοсτь Ηасτοящее изοбρеτение мοжеτ быτь исποльзοванο πρи изгστοвлении πρецизиοнныχ изнοсοсτοйκиχ узлοв и деτалей - 18 - машин в ρазличныχ οбласτяχ машинοеτροения, κаκ наπρшлеρ, в авиациοннοй, авτοτρаκτορнοй, сτанκοсτροиτельнοй для авτοмаτизиροваннοй заκаяκи, сваρκи, ρезκи, τеρмοοбρабοτ- 5 κи ποвеρχнοсτи меτаτличееκиχ деτалей.
Κροме τοгο, насτοящее изοбρеτение мοжеτ быτь исποль- зοванο в ζзмеρиτельнοй τеχниκе, οснοваннοй на πρинциπе сκаниροвания,в τοм числе усτанавливаемοй на ποдвшκныχ οбъеκτаχ.

Claims

- 19 -ΦΟΡΜШ. ИЗΟБΡΕΤΕШϊЯ
1. Сκанаτορ дπя лазеρныχ τеχнοл&гичесκиχ усτанοвοκ, сοдеρжащий κορпус, в κοτοροм усτанοвлен с вοзмοжнοсτыο
5 πеρемещения сκашιρующий элеменτ, сρедсτвο дяя вοзбуждения меχаничесκиχ κοлебаний сκаниρугощегο элеменτа, меχаничес- κи связаннοе с κορπусοм, πο меныней меρе две удаρные πаρы, κаждая из κοτορыχ имееτ два элеменτа, уκρеπленные с вοз- мοжнοсτыο взаπмοдейсτвия между сοбοй πρи • πеρемещении
10 сκаниρующегο элеменτа, οдин - на сκаниρугощем элеменτе, а дρугοй - в κορπусе, οτличающийся τегл, чτο οн дοποл- шιτельнο сοдеρжиτ измеρиτельный πρеοбρазοваτель (19), вοсπρиниглаοщий меχаяичесκие κοлебания сκаниρующегο эле- менτа (4), блοκ (21) φазοвοгο сдвига, вχοд (22) κοτοροгο
15 ποдκлгочен κ измеρиτельнοму πρеοбρазοваτелю (19), блοκ (24) насыщения, вχοд (25) κοτοροгο ποдκлючен κ выχοду (23) блοκа (21) φазοвοгο сдвига, и усилиτель (27) мοщнοсτи, вχοд κοτοροгο ποдκлючен κ блοκу (24) насыщешιя, а выχοд (28) - κ сρедсτву (12) дяя вοзбуждения меχаничесκиχ κο-
20 лебаний сκашιρующегο элеменτа (4).
2. Сκанаτορ πο π.Ι, οτличающийся τем, чτο οн дοποл- ниτельнο сοдеρκиτ сοединеκные между сοбοй часτοτοмеρ (34) , ποдκлюченный κ выχοду (23) блοκа (21) φазοвοгο сдвига , и блοκ (36) уπρавлешιя уροвнями насыщения, а блοκ (24) на-
25 сыщения иглееτ πο меньшей меρе два уπρавляющиχ вχοда (40, 41), κ κοτορым ποдκлючены сοοτвеτсτвующие выχοды (38,39) блοκа (36) уπρавления уροвнями насыщешιя.
3. Сκанаτορ πο π.2, οτличающийея τегл, чτο в нем блοκ (36) уπρавления уροвнями насыщения сοдеρжиτ блοκ (91)
30 деления, οдин из вχοдοв κοτοροгο служиτ вχοдοм (37) блο- κа (36) уπρавления уροвнями насыщешιя, а κ дρугοму вχοду (92) ποдκлючен исτοчниκ (93) ποсτοяннοгο наπρяжения, ин- веρτиρующий (96) и неинвеρτиρугощий (97) усилиτеля ποсτοян- нοгο наπρяжения, вχοд (94,95) κаждοгο из κοτορыχ ποдκяю-
35 чен κ выχοду блοκа (91) деления, а выχοд κаждοгο из шιχ елужиτ сοοτвеτсτвующим выχοдοм (40,41) блοκа (36) уπρав- ления уροвнягли насыщения. - 20 -
4. Сκанаτορ πο π.Ι, οτличающийся τем, чτο οн дοποл- ниτельнο сοдеρжиτ генеρаτορ (42) πеρиοдичесκиχ сигнаяοв, выχοд (43) κοτοροгο οбъединен с выχοдοм (26) блοκа (24)
5 насыщения и ποдκлючен κο вχοду усилиτеля (27) мοщнοсτи.
5. Сκанаτορ πο любοму из ππ.Ι,2,4, οτличающийся τем, чτο в нем блοκ (21) φазοвοгο сдвига сοдеρжиτ выбρанные из гρуππы, сοсτοящей из φазοвρащаτеля (45), κορρеκτиρующегο звена (54) и φильτρа (69), в уκазаннοм πορядκе в οτдель-
10 нοсτи или в сοчеτашш.
6. Сκанаτορ πο π,5, οτличающийся τем, чτο в нем блοκ (21) φазοвοгο сдвига сοдеρжиτ φазοвρащаτель (45) и κορρеκτиρующее звенο (54), ποследοваτельнο сοединен- ные глежду сοбοй.
15 7. Сκанаτορ πο π.5, οτличающийся τем, чτο в нем блοκ (21) φазοвοгο сдвига сοдеρжиτ φазοвρзщаτель (45) и φильτρ (69) , ποследοваτельнο сοединенные между сοбοй.
8. Сκанаτορ πο π.5 οτличающийся τем, чτο в нем блοκ (21) φазοвοгο сдвига сοдеρжиτ κορρеκτиρугащее звенο
20 (54) и φильτρ (69), ποследοваτельнο сοединенные между сοбοй.
9. Сκанаτορ πο π.5, οτличагоπщйся τегл, чτο в нем блοκ. (21) сοазοвοгο сдвига сοдеρжиτ φазοвρащаτель (45), κορρеκτиρующее звенο (54) и φильτρ (69), ποследοваτельнο
25 сοединенные между сοбοй.
10. Сκанаτορ πο лгобοму из ππ.Ι-4, οτличающиися τем, чτο в нем блοκ (21) φазοвοгο сдвига дοποлниτельнο имееτ πο меныπей меρе два (32,33) уπρавляющиχ вχοда, а сκанаτορ дοποлниτельнο сοдеρжиτ сρедсτвο (29) ρегулиροвания φа-
30 зοвыгл сдвигοм, имеющим выχοды (30,31) πο числу уπρав- ляющиχ вχοдοв (32,33) блοκа (21) φазοвοгο сдвига, κаждый из κοτορыχ ποдκягочен κ сοοτвеτсτвующему уπρавляющему вχοду (32,33) блοκа (21) φазοвοгο сдвига.
11. Сκанаτορ πο ππ.5 и 10, οτличающийся τем, чτο 35 в негл φазοвρащаτель (45) имееτ два уπρавлшοπщχ вχοда
(81,82), κаждый из κοτορыχ ποдκлючен κ сοοτвеτсτвующему выχοду сρедсτва (29) ρегулиροвания φазοвым сдвигοм. - 21 -
12. Сκанаτορ πο ππ.5 и 10, οτличающийся τем, чτο в нем κορρеκτиρующее звенο (54) имееτ чеτыρе уπρавляго- щиχ вχοда (83,84,85 и 86), κаждый из κοτορыχ ποдκлючен
5 κ сοοτвеτсτвутощему выχοду сρедсτва (29) ρегулиροвания φазοвым сдвигοм.
13. Сκанаτορ πο ππ.5 и 10, οτличающιшся τем, чτο в негл φилъτρ (69) имееτ чеτыρе уπρавляющиχ вχοда (87, 88,89,и 90), κаждый из κοτορыχ ποдκлгочен κ сοοτвеτсτвую-
10 щему выχοду сρедсτва (29) ρегулиροванжя φазοвым сдвигοгл.
14. Сκанаτορ πο π.ΙΟ, οτличающийся τем, чτο в нем в κачесτве сρедсτва ρегулиροвания φазοвым сдвигοм исποль- зοван миκροπροцессορ (29).
PCT/SU1986/000111 1985-11-04 1986-11-04 Scanner for laser technological installations WO1987002786A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
HU865565A HU200846B (en) 1985-11-04 1986-11-04 Scanner for technological laser apparatuses

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU3972971/31 1985-11-04
SU853972971A SU1430931A1 (ru) 1985-11-04 1985-11-04 Сканатор дл лазерных технологических установок

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO1987002786A1 true WO1987002786A1 (en) 1987-05-07

Family

ID=21203941

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/SU1986/000111 WO1987002786A1 (en) 1985-11-04 1986-11-04 Scanner for laser technological installations

Country Status (8)

Country Link
US (1) US4795878A (ru)
EP (1) EP0249642A4 (ru)
JP (1) JPS63501321A (ru)
BG (1) BG49342A1 (ru)
CS (1) CS797286A1 (ru)
HU (1) HU200846B (ru)
SU (1) SU1430931A1 (ru)
WO (1) WO1987002786A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0295863A2 (en) * 1987-06-15 1988-12-21 Sharp Kabushiki Kaisha Optical printer of scanning type

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4958894A (en) * 1989-01-23 1990-09-25 Metrologic Instruments, Inc. Bouncing oscillating scanning device for laser scanning apparatus
US5280165A (en) * 1989-10-30 1994-01-18 Symbol Technolgoies, Inc. Scan pattern generators for bar code symbol readers
DE9117262U1 (de) * 1990-05-08 1998-08-06 Symbol Technologies Inc Optischer Scanner
AU641315B2 (en) * 1991-04-11 1993-09-16 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha System for detecting the position of moving body
US5221933A (en) * 1991-06-28 1993-06-22 Eastman Kodak Company Beam scanning galvanometer with low inertia mirror and magnet
US5177631A (en) * 1991-06-28 1993-01-05 Eastman Kodak Company Magnetic position sensor
JPH11352434A (ja) 1998-06-08 1999-12-24 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd ビーム走査装置
US6259058B1 (en) 1998-12-01 2001-07-10 Accudyne Display And Semiconductor Systems, Inc. Apparatus for separating non-metallic substrates
US6420678B1 (en) 1998-12-01 2002-07-16 Brian L. Hoekstra Method for separating non-metallic substrates
US6252197B1 (en) 1998-12-01 2001-06-26 Accudyne Display And Semiconductor Systems, Inc. Method and apparatus for separating non-metallic substrates utilizing a supplemental mechanical force applicator
JP2000206444A (ja) * 1999-01-19 2000-07-28 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd ビ―ム走査装置
KR100721391B1 (ko) 1999-11-24 2007-05-23 어플라이드 포토닉스 아이엔씨. 비금속성 재료 분리 방법 및 장치
US20040218006A1 (en) * 2003-04-30 2004-11-04 Dickerson Stephen Lang Scanning apparatus
RU174483U1 (ru) * 2016-12-23 2017-10-16 Игорь Александрович Зябрев Сканатор лазерного излучения

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4139258A (en) * 1978-04-05 1979-02-13 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Laser scan converter
US4163600A (en) * 1974-10-21 1979-08-07 Eli S. Jacobs Light beam scanner
FR2444288A1 (fr) * 1978-12-12 1980-07-11 Hell Rudolf Gmbh Procede pour realiser des extraits de couleur
GB2042763A (en) * 1979-02-14 1980-09-24 Tokyo Shibaura Electric Co Laser scanning apparatus
FR2527792A1 (fr) * 1982-05-27 1983-12-02 Fiat Auto Spa Dispositif de deviation d'un faisceau laser destine a effectuer des traitements thermiques superficiels sur des pieces cannelees
JPS599882B2 (ja) * 1974-05-17 1984-03-06 株式会社ニコン 光学的走査用電磁駆動型振動子
JPS5911084B2 (ja) * 1976-03-19 1984-03-13 富士通株式会社 光走査装置

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3225206A (en) * 1962-03-14 1965-12-21 Borg Warner Photosensitive inspection apparatus for filamentary material
GB1393896A (en) * 1971-07-22 1975-05-14 Vickers Ltd Optical deflecting devices
DE2358966C2 (de) * 1973-11-27 1975-10-30 Eltro Gmbh Gesellschaft Fuer Strahlungstechnik, 6900 Heidelberg Verfahren und Vorrichtung zum Abtasten von Bildfeldern mit Hilfe eines Schwingspiegels
JPS5838475B2 (ja) * 1974-07-17 1983-08-23 株式会社ネオス 含フッ素界面活性剤
US4100576A (en) * 1976-04-28 1978-07-11 Zenith Radio Corporation Electromagnetic optical beam controller having an eddy current damper for arresting mechanical resonance
FR2444283A1 (fr) * 1978-12-14 1980-07-11 Onera (Off Nat Aerospatiale) Perfectionnements aux dispositifs vibrants pour le traitement d'un faisceau optique
JPS5593544A (en) * 1979-01-09 1980-07-16 Sony Corp Multi-axis movable mirror unit
JPS5952037B2 (ja) * 1980-12-26 1984-12-17 株式会社東芝 レ−ザ加工装置
DE3213076A1 (de) * 1982-04-07 1983-10-20 Max Planck Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V., 3400 Göttingen Sekundaerspiegel-kippvorrichtung fuer ein spiegelteleskop
JPS599882A (ja) * 1982-07-07 1984-01-19 日本端子株式会社 可撓性プリント基板用コネクタ装置
FR2583325B1 (fr) * 1985-06-17 1989-01-20 Inst Mash Im Dispositif de balayage pour une installation a laser technologique

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS599882B2 (ja) * 1974-05-17 1984-03-06 株式会社ニコン 光学的走査用電磁駆動型振動子
US4163600A (en) * 1974-10-21 1979-08-07 Eli S. Jacobs Light beam scanner
JPS5911084B2 (ja) * 1976-03-19 1984-03-13 富士通株式会社 光走査装置
US4139258A (en) * 1978-04-05 1979-02-13 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Laser scan converter
FR2444288A1 (fr) * 1978-12-12 1980-07-11 Hell Rudolf Gmbh Procede pour realiser des extraits de couleur
GB2042763A (en) * 1979-02-14 1980-09-24 Tokyo Shibaura Electric Co Laser scanning apparatus
FR2527792A1 (fr) * 1982-05-27 1983-12-02 Fiat Auto Spa Dispositif de deviation d'un faisceau laser destine a effectuer des traitements thermiques superficiels sur des pieces cannelees

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP0249642A4 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0295863A2 (en) * 1987-06-15 1988-12-21 Sharp Kabushiki Kaisha Optical printer of scanning type
EP0295863A3 (en) * 1987-06-15 1990-05-30 Sharp Kabushiki Kaisha Optical printer of scanning type

Also Published As

Publication number Publication date
EP0249642A4 (de) 1989-02-23
CS797286A1 (en) 1990-04-11
EP0249642A1 (de) 1987-12-23
HU200846B (en) 1990-08-28
US4795878A (en) 1989-01-03
SU1430931A1 (ru) 1988-10-15
BG49342A1 (en) 1991-10-15
JPS63501321A (ja) 1988-05-19
HUT46453A (en) 1988-10-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO1987002786A1 (en) Scanner for laser technological installations
KR980003661A (ko) 광 수신판, 광 수신판에 사용되는 광 파장 조정 필터 모듈, 및 광 파장 조정 필터 모듈용 액추에이터
US4502752A (en) Resonant actuator for optical scanning
US6335811B1 (en) Optical space communication apparatus
US6914991B1 (en) Parametric audio amplifier system
CN105829011B (zh) 利用一氧化碳激光器在印刷电路板中钻导通孔
EP0018150B1 (en) Circuit arrangement for controlling a multi-beam acousto-optical cell
EP3319187B1 (en) Control system using a phase modulation capable acousto-optic modulator for diverting laser output intensity noise to a first order laser light beam and related methods
JPH04157780A (ja) 半導体レーザの周波数安定化装置
KR960033568A (ko) 타원진동장치
GB2076173A (en) A Device for Modulating the Permeability of the Path of Electromagnetic Radiation
CN1677177B (zh) 可变方波驱动设备
JPS6370623A (ja) 光ヘテロダイン受信装置
JP3574086B2 (ja) 容量式位置センサの駆動信号発生装置及び方法
JP2923884B2 (ja) 光送受信装置
US5939815A (en) Field trapping electrodes
IL134096A (en) Echo cancelling optical microphone
JP2003060862A (ja) 原稿読取装置
EP0676036B1 (en) Piezoelectric transducer drive
SU1509841A1 (ru) Регул тор дл виброзащитного устройства
JP4381969B2 (ja) 光クロスコネクト装置および光ネットワークシステム
WO1980001973A1 (en) Electric drive with synchronous motor
SU1499118A1 (ru) Устройство дл измерени вибраций
RU2138792C1 (ru) Устройство для виброиспытаний
JP2974063B2 (ja) 自動周波数制御回路

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): HU JP RO US

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): CH DE FR GB IT

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 1986907020

Country of ref document: EP

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 1986907020

Country of ref document: EP

WWW Wipo information: withdrawn in national office

Ref document number: 1986907020

Country of ref document: EP