UA57176C2 - Спосіб отримання зображення внутрішньої структури об'єкта з використанням рентгенівського випромінювання та пристрій для його здійснення - Google Patents

Спосіб отримання зображення внутрішньої структури об'єкта з використанням рентгенівського випромінювання та пристрій для його здійснення Download PDF

Info

Publication number
UA57176C2
UA57176C2 UA2001096676A UA200196676A UA57176C2 UA 57176 C2 UA57176 C2 UA 57176C2 UA 2001096676 A UA2001096676 A UA 2001096676A UA 200196676 A UA200196676 A UA 200196676A UA 57176 C2 UA57176 C2 UA 57176C2
Authority
UA
Ukraine
Prior art keywords
ray
radiation
point
measurement results
current measurement
Prior art date
Application number
UA2001096676A
Other languages
English (en)
Russian (ru)
Inventor
Мурадін Абубекірович Кумахов
Original Assignee
Мурадін Абубекірович Кумахов
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Мурадін Абубекірович Кумахов filed Critical Мурадін Абубекірович Кумахов
Publication of UA57176C2 publication Critical patent/UA57176C2/uk

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/22Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
    • G01N23/223Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/07Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission
    • G01N2223/076X-ray fluorescence
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/30Accessories, mechanical or electrical features
    • G01N2223/316Accessories, mechanical or electrical features collimators
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/50Detectors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/60Specific applications or type of materials
    • G01N2223/601Specific applications or type of materials density profile
    • GPHYSICS
    • G21NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21KTECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
    • G21K2201/00Arrangements for handling radiation or particles
    • G21K2201/06Arrangements for handling radiation or particles using diffractive, refractive or reflecting elements

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)

Abstract

Винахід стосується засобів, призначених для одержання у прийнятній для візуального сприйняття формі зображення внутрішньої структури об'єкта, зокрема біологічного, з використанням рентгенівського випромінювання. Рентгенівське випромінювання джерела 1 концентрують (наприклад, за допомогою рентгенівської лінзи 2) у зоні, що включає точку (4), до якої відносять поточні результати вимірювань, розташовану всередині досліджуваної області (7) об'єкта (5). Вторинне випромінювання, що виникає в цій зоні (комптонівське, флуоресцентне), транспортують (наприклад, за допомогою рентгенівської лінзи 2) до одного чи кількох детекторів (6). Переміщуючи вказану зону, здійснюють сканування досліджуваної області (7) об'єкта (5) і за сукупністю значень інтенсивності вторинного випромінювання, які одержують за допомогою одного чи кількох детекторів (6) і визначають одночасно з координатами точки (4), роблять висновок про густину речовини об'єкта в цій точці. Значення густини разом з відповідними ним значеннями координат, отриманих за допомогою датчика 11, використовують в засобі 12 обробки та відображення інформації для побудови картини розподілу густини речовини у досліджуваній області об'єкта.

Description

Опис винаходу
Пропоновані винаходи відносяться до засобів інтроскопії і призначені для одержання у прийнятній для 2 візуального сприйняття формі зображення внутрішньої структури об'єкта, зокрема біологічного, з використанням рентгенівського випромінювання. Переважними галузями застосування пропонованих винаходів є дефектоскопія і медична діагностика.
Відомі різноманітні способи та пристрої вказаного призначення, які реалізують традиційні принципи проекційної рентгеноскопії. В таких способах і пристроях видиме зображення, внутрішньої структури об'єкта, 70 наприклад тканин біологічного об'єкта, одержують у вигляді тіньової проекції. Густина одержуваного зображення в кожній з його точок визначається сумарним послабленням рентгенівського випромінювання, що пройшло крізь досліджуваний об'єкт на шляху від джерела до засобу детектування. Таким засобом є флуоресціюючий екран або рентгенівська плівка, яку для візуалізації зображення піддають хімічній обробці (див.: Политехнический словарь. М., "Советская знциклопедия", 1976 |1), с. 425; Физика визуализации изображений в медицине. Под 72 ред. С, Узбба. М., "Мир", 1991 (21, С.40-41).
У названих відомих способах і пристроях отримують зображення реальної тривимірної структури у вигляді згаданої двовимірної тіньової проекції, інтерпретація якої вимагає наявності у спеціаліста, який проводить аналіз об'єкта зокрема технічну чи медичну діагностику, відповідних досвіду і кваліфікації і в деяких випадках є складною справою. Причинами цього є низький контраст, невисоке відношення сигнал/шум, неминуче накладання зображень структурних елементів, неможливість кількісного співставлення окремих локальних фрагментів об'єкта за густиною. Різкість та контрастність одержуваного зображення понижуються також під впливом квантів вторинного комптонівського розсіяного випромінювання, що потрапляють на засіб детекування.
Відомі також способи і пристрої для рентгенівської комп'ютерної томографії, які дозволяють одержати двовимірне зображення тонкого шару тривимірного об'єкта (В.В. Пиклов, Н.Г. Преображенский. Вьічислительная с томография и физический зксперимент. Успехи физических наук, т. 141, вьп. З, ноябрь 1983, С.469-498 |З| див. (У також (2), с. 138-146). В таких способах здійснюють ОП багаторазове опромінення досліджуваного об'єкта з різних позицій та прийом випромінювання, що крізь нього пройшло, лінійкою детекторів. Розподіл густин тканин об'єкта в досліджуваному перерізі одержують в дискретній формі шляхом розв'язування із застосуванням комп'ютера системи рівнянь, порядок котрої та кількість елементів розділення відповідають добутку числа ее, позицій, з яких проводиться опромінення, на кількість детекторів. Проведення опромінення в різних перерізах - дозволяє отримати на основі набору двовимірних пошарових зображень тривимірне зображення об'єкта. Засоби комп'ютерної томографії принципово дозволяють одержати зображення достатньо високої якості, причому воно -- являє собою саме картину розподілу густин тканин (а не картину, зумовлену інтегральним поглинанням ї- речовини (наприклад, біологічних тканин), розташованої на шляху випромінювання від джерела до того чи
Іншого елемента спостережуваної проекції). Однак це досягається за рахунок збільшення кількості позицій, з о яких проводиться опромінення. При цьому збільшується доза поглинутого речовиною випромінювання, що є небажаним (а в медичних застосуваннях найчастіше є неприпустимим). Наявність комптонівського розсіяного випромінювання є негативним фактором і в цій групі відомих способів і пристроїв. Для медичних застосувань « способів і пристроїв обох розглянутих груп характерним є також те, що тканини й органи, які не являють З 50 інтересу при дослідженні, але розташовані на шляху випромінювання (як до, так і після досліджуваної області), с також зазнають інтенсивного опромінення (в способах і пристроях другої групи - меншого, ніж в способах і
Із» пристроях першої групи, завдяки тому, що при виборі різних позицій опромінюються різні тканини й органи, що оточують досліджувані).
Підвищення роздільної здатності в засобах другої групи, що вимагає збільшення кількості опромінень з різних позицій, обмежене насамперед внаслідок неприпустимого зростання дози опромінення. Технічні засоби і-й для одержання первинної інформації і подальшого реконструювання зображення є досить складними. Це -І зумовлено як необхідністю використання швидкодійних комп'ютерів зі спеціальним програмним забезпеченням, так і високими вимогами до точності механічних елементів конструкції, які повинні гарантувати правильну - локалізацію одних і тих же елементів розділення у досліджуваній області при опроміненні їх з різних позицій. -і 20 Останнє зумовлено тим, що в розрахунках при реконструюванні зображення повинні фігурувати фактичні дані, отримані в різних циклах опромінення, але такі, які відносяться до одних і тих же елементів розділення. щи Способи і пристрої другої з названих вище груп, в яких одержують інформацію в дискретній формі про густину кожного з елементів розділення, є найбільш близькими до пропонованих.
Задача винаходу полягає у підвищенні точності визначення відносних показників густини речовини об'єкта в 25 одержуваному зображенні у поєднанні з виключенням використання складних і високовартісних технічних
ГФ) засобів. При застосуванні пропонованих винаходів з діагностичною метою у медицині та інших дослідженнях, юю пов'язаних з дією на біологічні об'єкти, отримуваний результат полягає також у зменшенні дози опромінення тканин, що оточують досліджувані.
Поставлена задача вирішується тим що в пропонованому способі одержання зображення внутрішньої 60 структури об'єкта з використанням рентгенівського випромінювання концентрують рентгенівське випромінювання в зоні, що включає точку, до якої відносять поточні результати вимірювань, розташованій всередині досліджуваної області об'єкта. Вторинне випромінювання, що виникає в цій зоні (розсіяне комптонівське когерентне і некогерентне випромінювання, флуоресцентне випромінювання) транспортують до одного чи кількох детекторів. Переміщуючи вказану зону, здійснюють сканування досліджуваної області об'єкта. Одночасно бо визначають і фіксують координати точки зони концентрації рентгенівського випромінювання, до якої відносять поточні результати вимірювань. За сукупністю значень інтенсивності вторинного випромінювання, які одержують за допомогою одного чи кількох детекторів і визначають одночасно з координатами вказаної точки, роблять висновок про густину речовини об'єкта у цій точці. Одержані значення величин, які приймають за показники
Густини речовини об'єкта, разом з відповідними ним значеннями координат використовують для побудови картини розподілу густини речовини в досліджуваній області об'єкта. Переміщення зони концентрації рентгенівського випромінювання для сканування досліджуваної області об'єкта здійснюють шляхом відносного переміщення досліджуваного об'єкта та нерухомих відносно одне одного джерел рентгенівського випромінювання спільно із засобами його концентрації, засобів транспортування вторинного випромінювання до 70 детекторів та самих детекторів.
Спільним для відомих (21, С.138-146; |З), С.471-472) і пропонованого способів є дія на досліджуваний об'єкт рентгенівського випромінювання при відносному переміщенні досліджуваного об'єкта і рентгенооптичної системи, яка включає в себе джерела рентгенівського випромінювання разом із засобами керування ним та детекторами.
Одна з відмінностей пропонованого способу полягає в наявності операції концентрування рентгенівського випромінювання в зоні, що включає точку, до якої відносять поточні результати вимірювань. Сканування, наявність якого є спільною ознакою відомого і пропонованого способів, в останньому здійснюється цілком іншим чином - шляхом переносу поточного положення зони концентрації рентгенівського випромінювання до околу чергової точки, для котрої хочуть визначити густину речовини досліджуваного об'єкта. Відмітною рисою є також операція транспортування із зони концентрації до детектора (детекторів) збудженого в цій зоні вторинного випромінювання (розсіяного комптонівського когерентного і некогерентного випромінювання, флуоресцентного випромінювання).
При цьому на детектор (детектори) діє не випромінювання самого джерела, що пройшло крізь досліджуваний об'єкт, а вказане вторинне випромінювання. Інтенсивність останнього, як відомо (див. Дж. Джексон. сч об Классическая злектродинамика. М., "Мир", 1965, С.537-538 |4)), за інших рівних умов пропорційна густині речовини, у якій це випромінювання збуджено, незалежно від природи речовини. Завдяки цьому вторинне і) розсіяне випромінювання, яке є у відомому способі фактором, що заважає дослідженню, перетворюється в інформативний фактор. Використання поточних значень інтенсивності вторинного випромінювання як показника густини речовини в точці, до якої відносять поточні результати вимірювань, також є відмінністю пропонованого Ге зо способу.
Відмінності пропонованого способу від відомого охарактеризовані також нижче при описі можливих окремих - випадків його реалізації, які передбачають використання різних комбінацій засобів для концентрації «- рентгенівського випромінювання і транспортування вторинного розсіяного випромінювання.
В одному з таких окремих випадків концентрацію рентгенівського випромінювання в зоні, що включає точку, -
Зв ДО якої відносять поточні результати вимірювань, здійснюють за допомогою одного чи кількох коліматорів. При ю цьому використовують відповідну кількість рознесених у просторі рентгенівських джерел. Транспортування вторинного випромінювання, що виникає, до одного чи кількох детекторів також здійснюють за допомогою одного чи кількох коліматорів. При цьому всі коліматори орієнтують так, щоб осі їх центральних каналів перетиналися в точці, до якої відносять поточні результати вимірювань. «
В іншому окремому випадку концентрацію рентгенівського випромінювання в зоні, що включає точку, до Якої ета) с відносять поточні результати вимірювань, здійснюють за допомогою однієї чи кількох рентгенівських півлінз, що перетворюють розбіжне випромінювання відповідної кількості рознесених у просторі рентгенівських джерел у ;» квазіпаралельне. Транспортування вторинного випромінювання, що виникає, до одного чи кількох детекторів у цьому випадку здійснюють за допомогою однієї чи кількох рентгенівських півлінз або лінз, які фокусують це
Випромінювання на детекторах. Можливим також є транспортування вторинного випромінювання до одного чи с кількох детекторів за допомогою однієї чи кількох рентгенівських півлінз, що формують квазіпаралельне випромінювання. При цьому всі рентгенівські лінзи і півлінзи орієнтують так, щоб їх оптичні осі перетиналися
Ш- в точці, до якої відносять поточні результати вимірювань. - Ще в одному окремому випадку концентрацію рентгенівського випромінювання в зоні, що включає точку, до якої відносять поточні результати вимірювань, здійснюють за допомогою однієї чи кількох рентгенівських
Ш- півлінз, що перетворюють розбіжне випромінювання відповідної кількості рознесених у просторі джерел в
Ф квазіпаралельне, а транспортування вторинного випромінювання, що виникає, до одного чи кількох детекторів - за допомогою одного чи кількох коліматорів. При цьому рентгенівські півлінзи і коліматори орієнтують так, щоб оптичні осі всіх рентгенівських півлінз і центральних каналів усіх коліматорів перетиналися в точці, до якої ов Відносять поточні результати вимірювань.
Концентрацію рентгенівського випромінювання в зоні, що включає точку, до якої відносять поточні (Ф, результати вимірювань, можна здійснювати також, використовуючи одне чи кілька рознесених у просторі ка рентгенівських джерел і відповідну кількість рентгенівських лінз, що фокусують розбіжне рентгенівське випромінювання кожного із джерел в точці, до якої відносять поточні результати вимірювань, а транспортування бор Вторинного випромінювання, що виникає, до одного чи кількох детекторів - за допомогою рентгенівських лінз, що фокусують це випромінювання на детекторах і мають другий фокус у вказаній точці.
В окремому випадку, що передбачає концентрацію рентгенівського випромінювання в зоні, що включає точку, до якої відносять поточні результати вимірювань, з використанням одного чи кількох рознесених у просторі рентгенівських джерел і відповідної кількості рентгенівських лінз, що фокусують розбіжне рентгенівське 65 Випромінювання кожного із джерел у вказаній точці, транспортування вторинного випромінювання, що виникає, до одного чи кількох детекторів може здійснюватись за допомогою коліматорів, які орієнтують таким чином, щоб оптичні осі їх центральних каналів перетиналися в тій же точці.
Пропонований пристрій для одержання зображення внутрішньої структури об'єкта з використанням рентгенівського випромінювання складається із засобу позиціонування досліджуваного об'єкта, рентгенооптичної системи, засобу для відносного переміщення засобу позиціонування досліджуваного об'єкта та рентгенооптичної системи, засобу для обробки й відображення інформації, датчиків для визначення координат точки, до якої відносять поточні результати вимірювань, розташованої всередині досліджуваної області об'єкта, сполучених із засобом позиціонування досліджуваного об'єкта та рентгенооптичної системи, підключених своїми виходами до засобу для обробки й відображення інформації, при цьому рентгенооптична система складається з одного чи 7/0 Кількох рентгенівських джерел, засобів для концентрації випромінювання вказаних одного чи кількох рентгенівських джерел в зоні, що включає точку, до якої відносять поточні результати вимірювань, одного чи кількох засобів для транспортування вторинного випромінювання, що виникає, і розташованих біля їх виходів детекторів цього випромінювання, виходи яких підключені до засобу для обробки й відображення інформації.
Спільним для відомого і пропонованого пристроїв є наявність засобу позиціонування досліджуваного об'єкта, /5 рентгенооптичної системи, засобу для переміщення відносно один одного засобу позиціонування досліджуваного об'єкта і рентгенооптичної системи, координатних датчиків, а також засобу для обробки й відображення інформації.
На відміну від відомого, в пропонованому пристрої рентгенооптична система містить засоби для концентрації випромінювання вказаних одного чи кількох рентгенівських джерел в зоні, що включає точку, до якої відносять поточні результати вимірювань. Крім того, вона містить один чи кілька засобів для транспортування вторинного випромінювання, що виникає, до детекторів цього випромінювання, завдяки чому на входи детекторів надходить саме це випромінювання, а не випромінювання джерела (джерел), що пройшло крізь досліджуваний об'єкт.
Координатні датчики в пропонованому пристрої виконують іншу функцію, ніж у відомому - вони слугують для визначення координат точки, до якої відносять поточні результати вимірювань. Відмінною є й функція засобу для сч обробки й відображення інформації - він оперує із вхідними даними, які безпосередньо несуть інформацію про густину речовини та координати точки, до якої ці дані відносяться. Конструкція пропонованого пристрою і і) принцип його дії створюють передумови для повного виключення залежності точності й роздільної здатності від засобів обробки інформації, оскільки ці показники якості пристрою практично повністю визначаються параметрами використовуваних засобів концентрації рентгенівського випромінювання. Ге зо Інші відмінності, властиві пропонованому пристрою в різних можливих окремих випадках його виконання, охарактеризовані нижче. -
В одному з таких окремих випадків рентгенооптична система пропонованого пристрою містить кілька -" де рентгенівських джерел. При цьому кожен із засобів для концентрації їх випромінювання в зоні, що включає точку, до якої відносять поточні результати вимірювань, і засобів для транспортування вторинного ї- з5 Випромінювання, що в ній виникає, до детекторів виконаний у вигляді коліматора з каналами, орієнтованими в ю зону концентрації випромінювання рентгенівських джерел. Оптичні осі центральних каналів усіх коліматорів перетинаються в точці, до якої відносять поточні результати вимірювань.
У цьому окремому випадку рентгенівські джерела, що входять до складу рентгенооптичної системи, можуть бути квазіточковими. При цьому коліматори мають канали, що сфокусовані на цих джерелах і розходяться « (розширюються) в напрямку до засобу позиціонування досліджуваного об'єкта. Між виходом кожного з с рентгенівського джерела і входом відповідного коліматора розташовано екран з отвором.
Й У тому ж окремому випадку рентгенівські джерела, що входять до складу рентгенооптичної системи, можуть а бути протяжними. При цьому коліматори мають канали, що сходяться (звужуються) в напрямку до засобу позиціонування досліджуваного об'єкта.
В іншому окремому випадку виконання пропонованого пристрою рентгенівські джерела, що входять до с складу рентгенооптичної системи, є квазіточковими, кожен із засобів для концентрації рентгенівського випромінювання в зоні, що включає точку, до якої відносять поточні результати вимірювань, виконаний у вигляді
Ш- рентгенівської півлінзи, що перетворює розбіжне випромінювання відповідного джерела в квазіпаралельне, а - кожен із засобів для транспортування вторинного розсіяного комптонівського випромінювання, що виникає, до 5р детектора - у вигляді рентгенівської півлінзи, що фокусує це випромінювання на детекторі. При цьому оптичні
Ш- осі всіх рентгенівських півлінз перетинаються в точці, до якої відносять поточні результати вимірювань.
Ф У наступному окремому випадку виконання пропонованого пристрою, як і в попередньому, рентгенівські джерела, що входять до складу рентгенооптичної системи, є квазіточковими і кожен із засобів для концентрації рентгенівського випромінювання в зоні, що включає точку, до якої відносять поточні результати вимірювань, виконаний у вигляді рентгенівської півлінзи, що перетворює розбіжне випромінювання відповідного джерела у квазіпаралельне. Однак, на відміну від попереднього випадку, кожен із засобів для транспортування вторинного
Ф) випромінювання, що виникає, до детектора виконаний у вигляді рентгенівської півлінзи з фокусом у точці, до ка якої відносять результати вимірювань, яка перетворює вказане випромінювання в квазіпаралельне і спрямовує його на детектор. При цьому оптичні осі всіх рентгенівських півлінз перетинаються в точці, до якої відносять бо поточні результати вимірювань.
Ще в одному окремому випадку рентгенівські джерела, що входять до складу рентгенооптичної системи, також є квазіточковими і кожен із засобів для концентрації рентгенівського випромінювання в зоні, що включає точку, до якої відносять поточні результати вимірювань, виконаний у вигляді рентгенівської півлінзи, що перетворює розбіжне випромінювання відповідного джерела у квазіпаралельне. Однак, на відміну від 65 попереднього випадку, кожен із засобів для транспортування вторинного випромінювання, що виникає, до детектора виконано у вигляді рентгенівської лінзи, яка фокусує це випромінювання на детекторі і має другий фокус в зоні концентрації рентгенівського випромінювання, оптичні осі всіх рентгенівських півлінз і лінз перетинаються в точці, до якої відносять поточні результати вимірювань.
У наступному окремому випадку, як і в двох попередніх, рентгенівські джерела, що входять до складу рентгенооптичної системи, є квазіточковими і кожен із засобів для концентрації рентгенівського випромінювання в зоні, що включає точку, до якої відносять поточні результати вимірювань, виконаний у вигляді рентгенівської півлінзи, що перетворює розбіжне випромінювання відповідного джерела у квазіпаралельне. При цьому кожен із засобів для транспортування вторинного випромінювання, що виникає, до детектора виконаний у вигляді коліматора з каналами, що розходяться (розширюються) у напрямку до відповідного детектора, а оптичні осі всіх /о рентгенівських півлінз Її центральних каналів коліматорів перетинаються в точці, до якої відносять поточні результати вимірювань.
Рентгенооптична система пропонованого пристрою може бути виконана і наступним чином. Рентгенівські джерела, що входять до її складу, є квазіточковими, кожен із засобів для концентрації рентгенівського випромінювання в зоні, що включає точку, до якої відносять поточні результати вимірювань, виконаний у вигляді /5 рентгенівської півлінзи, що перетворює розбіжне випромінювання відповідного рентгенівського джерела у квазіпаралельне, а кожен із засобів для транспортування вторинного випромінювання, що виникає, до детектора - у вигляді коліматора з каналами, що сходяться (звужуються) у напрямку до відповідного детектора, а оптичні осі всіх рентгенівських півлінз і центральних каналів коліматорів перетинаються в точці, до якої відносять поточні результати вимірювань.
Можливе й таке виконання пропонованого пристрою, коли рентгенівські джерела, що входять до складу рентгенооптичної системи, є квазіточковими, кожен із засобів для концентрації рентгенівського випромінювання в зоні, що включає точку, до якої відносять поточні результати вимірювань, виконаний у вигляді рентгенівської лінзи, що фокусує розбіжне випромінювання рентгенівського джерела. При цьому кожен із засобів для транспортування вторинного випромінювання, що виникає, до детектора виконаний у вигляді рентгенівської с ов Лінзи, яка фокусує це випромінювання на відповідному детекторі, оптичні осі всіх рентгенівських лінз о перетинаються в точці, до якої відносять поточні результати вимірювань.
Наступний окремий випадок виконання пропонованого пристрою характеризується тим, що рентгенівські джерела, які входять до складу рентгенооптичної системи, є квазіточковими, кожен із засобів для концентрації рентгенівського випромінювання в зоні, що включає точку, до якої відносять поточні результати вимірювань, Ге зо виконаний у вигляді рентгенівської лінзи, що фокусує розбіжне випромінювання рентгенівського джерела, а кожен із засобів для транспортування вторинного випромінювання, що виникає, до детектора - у вигляді - коліматора з каналами, що сходяться (звужуються) у напрямку до відповідного детектора. При цьому оптичні осі «- всіх рентгенівських лінз і центральних каналів коліматорів перетинаються в точці, до якої відносять поточні результати вимірювань. -
Ще один можливий окремий випадок виконання пристрою характеризується тим, що рентгенівські джерела, ю які входять до складу рентгенооптичної системи, є квазіточковими, кожен із засобів для концентрації рентгенівського випромінювання в зоні, що включає точку, до якої відносять поточні результати вимірювань, виконаний у вигляді рентгенівської лінзи, що фокусує розбіжне випромінювання рентгенівського джерела, а кожен із засобів для транспортування вторинного комптонівського випромінювання, що виникає, до детектора - у «
Вигляді коліматора з каналами, що розширюються (розходяться) в напрямку до відповідного детектора. При з с цьому оптичні осі всіх рентгенівських лінз і центральних каналів коліматорів перетинаються в точці, до якої відносять поточні результати вимірювань. ;» Пропоновані винаходи ілюструються кресленнями, на яких показані: - на Фіг.1, яка пояснює принципи, покладені в основу пропонованого способу, - схематичне зображення взаємного розташування і сполучення основних елементів пристрою для реалізації пропонованого способу; с - на Фіг.2 і З - окремі випадки реалізації способу і виконання пристрою з використанням коліматорів для концентрації рентгенівського випромінювання і транспортування вторинного випромінювання до детекторів;
Ш- - на Фіг.4 і 5 - те ж саме з використанням рентгенівських півлінз; - - на Фігб - те ж саме з використанням рентгенівських півлінз для концентрації рентгенівського 5р Випромінювання і "повних" рентгенівських лінз - для транспортування вторинного випромінювання до детекторів;
Ш- - на Фіг.7 і 8 - те ж саме з використанням рентгенівських півлінз для концентрації рентгенівського
Ф випромінювання і коліматорів - для транспортування вторинного випромінювання до детекторів; - на Фіг9 - те ж саме з використанням рентгенівських лінз для концентрації рентгенівського випромінювання і транспортування вторинного випромінювання до детекторів; на Фіг10 і 11 - те ж саме з використанням рентгенівських лінз для концентрації рентгенівського випромінювання і коліматорів - для транспортування вторинного випромінювання до детекторів. (Ф, Пропонований спосіб здійснюється за допомогою пропонованого пристрою наступним чином. ка Розбіжне рентгенівське випромінювання від квазіточкового джерела 1 (Фіг.1) фокусується рентгенівською лінзою 2 в заданій точці 4 досліджуваної області 7 об'єкта 5 (наприклад, біологічного). Останній розміщено во потрібним чином за допомогою засобу 10 для позиціонування. Сфокусоване в точці 4 випромінювання збуджує вторинне розсіяне випромінювання речовини об'єкта 5 (когерентне і некогерентне комптонівське випромінювання, флуоресцентне випромінювання). Інтенсивність вторинного випромінювання з точністю до флуктуацій, зумовлених стохастичним характером процесу збудження вторинного випромінювання, пропорційна густині речовини, в якій воно виникає. В тій же самій точці 4 розташовується фокус другої рентгенівської 65 лінзи 3. Ця лінза фокусує захоплене нею розсіяне вторинне випромінювання на детекторі 6, який перетворює його в електричний сигнал, що подається на вхід засобу 12 обробки й відображення інформації. Вибір положення спільної фокусної точки 4 лінз 1 і З здійснюється шляхом переміщення відносно один одного засобу 10 для позиціонування об'єкта і групи елементів пристрою - рентгенооптичної системи 8, що включає джерело рентгенівського випромінювання 1, рентгенівські лінзи 2, З і детектор 6 випромінювання.
Пояснимо, що лінзи для керування рентгенівським випромінюванням (фокусування розбіжного випромінювання, формування квазіпаралельного пучка із розбіжного випромінювання, фокусування квазіпаралельного пучка та ін.) являють собою сукупність зігнутих каналів транспортування випромінювання, в яких випромінювання зазнає багаторазового повного зовнішнього відбивання (див., наприклад: В.А. Аркадьев,
А.И. Коломийцев, М.А. Кумахов и др. Широкополосная рентгеновская оптика с большой угловой апертурой. 7/0 Успехи физических наук, 1989, том 157, вьіпуск З, С.529-537 |6), де описано першу таку лінзу, і патент США
Мо5744813 (опубл. 28.04.98) І/Ї, де описано більш сучасну лінзу). Лінза в цілому має форму бочки (тобто звужується до обох торців), якщо вона призначена для фокусування розбіжного випромінювання, або півбочки (тобто звужується лише до одного з торців), якщо вона призначена для перетворення розбіжного випромінювання в квазіпаралельне або для фокусування такого випромінювання. Для позначення лінз двох /5 названих типів закріпилися відповідно терміни "повна лінза" та "півлінза".
Можливі два варіанти роботи й використання пристрою за Фіг.1. В одному з них засіб 10 для позиціонування досліджуваного об'єкта разом з розміщеним у ньому досліджуваним об'єктом 5 є нерухомими, а переміщується рентгенооптична система 8 (можливість її переміщення показано на Фіг.1 стрілками 9) зі збереженням взаємного розташування елементів 1, 2, З і б (а отже й збігання фокусів лінз 2 і 3). В іншому варіанті, навпаки, 2о рентгенооптична система 8 є нерухомою, а переміщується засіб 10 для позиціонування разом з досліджуваним об'єктом 5. Доцільність реалізації того чи іншого варіанту залежить від того, якими є розміри й маса об'єкта 5 у порівнянні з розмірами й масою групи перерахованих вище елементів, що утворюють рентгенооптичну систему 8.
Пристрій містить також координатний датчик 11, що реагує на взаємне переміщення рентгенооптичної сч об системи Ві засобу 10 для позиціонування і сполучений з останнім. Датчик 11 повинен бути відрегульований таким чином, щоб формувати сигнали, пропорційні поточним координатам спільної фокусної точки 4 лінз 2 і З і) відносно обраного початку відліку, пов'язаного із засобом 10 для позиціонування. Вихідні сигнали датчика 11, як і вихідний сигнал детектора 6, подаються на входи засобу 12 обробки й відображення інформації. Фокусна точка 4 є в даному випадку точкою, до якої відносять поточні результати вимірювань і в околі якої (з Ге зо урахуванням скінченного розміру фокусної зони рентгенівської лінзи 2) фактично сконцентровано випромінювання джерела 1. Засіб 12 обробки й відображення інформації забезпечує відтворення картини - розподілу густини речовини об'єкта, реалізуючи той чи інший алгоритм формування двовимірного чи «- тривимірного зображення на екрані (див., наприклад: Е. Лапшин. Графика для ІВМ РО. М., "Солон", 1995 |5І). У найпростішому випадку, коли, наприклад, сканування (переміщення зони концентрації рентгенівського ї- випромінювання, що включає точку 4, до якої відносять поточні результати вимірювань) здійснюють у ю якому-небудь плоскому перерізі об'єкта 5, синхронно зі скануванням може здійснюватись розгортка зображення на екрані засобу 12 з тривалим післясвітінням; можливим також є запам'ятовування певної кількості результатів вимірювань з подальшою періодичною розгорткою зображення |і т. п.
Принцип дії пропонованих винаходів грунтується на тому, що інтенсивність розсіяного вторинного « Комптонівського випромінювання (імовірність виникнення квантів цього випромінювання) за інших рівних умов з с (зокрема, при даній інтенсивності первинного рентгенівського випромінювання, що діє на речовину) пропорційна густині речовини. ;» Як уже відмічалося вище при розкритті сутності пропонованого способу й пристрою, використання квантів розсіяного вторинного комптонівського випромінювання як інформативних, на відміну від відомих способів і пристроїв, де вони заважають дослідженню, являє собою головну особливість цих винаходів. с Як уже відмічалося, при медичних застосуваннях пропонованих винаходів важливою перевагою є можливість одержання прийнятної точності при менших дозах опромінення біологічних тканин.
Ш- Для оцінки можливого виграшу приймемо наступні припущення: енергія фотонів Е - 5ОкеВ; зона концентрації - рентгенівського випромінювання розташовується на глибині 5Омм і має розміри 1мм х 1мм х 1мм (такі значення 5р характерні, наприклад, для умов спостереження і точності в маммографічних дослідженнях); детектор сприймає ш- 596 вторинного випромінювання, що виникає на глибині бсм (це припущення означає, що вторинне
Ф випромінювання, перш ніж попасти на вхід засобу транспортування його до детектора, проходить 5см в тілі пацієнта і при цьому кут захоплення лінзи або коліматора, що доставляє вторинне випромінювання до детектора, складає 0,05 х 42 стерадіан). Враховуючи, що лінійний коефіцієнт поглинання фотонів в тілі пацієнта близький до відповідного коефіцієнта у воді і при енергії Е - БОкеВ має порядок 2х10 72 1/см, о одержуємо, що, проникаючи на глибину 5см, первинний пучок випромінювання зменшує свою інтенсивність в ехр(2х1071х5) - е з 2,71 рази. Виходячи з тіла пацієнта, вторинне випромінювання (енергія фотонів якого є де досить близькою до 50кеВ), теж зменшує свою інтенсивність в е з 2,71 рази. Таким чином, загальна втрата інтенсивності внаслідок поглинання випромінювання в тілі пацієнта складе е хе з 7,3 рази. Занижуючи 60 оцінюваний виграш, врахуємо лише комптонівську складову вторинного випромінювання. На товщині лх імовірність утворення квантів вторинного комптонівського випромінювання дорівнює о-су хХ Ме х АХ, де су - 6,55 х 10725см2 - переріз вторинного комптонівського розсіяння; М ее - З х 1023 14/см? - густина електронів у воді.
Таким чином, при Ах - їмм - 107 см імовірність со-6,55 х 10729 х З х 1023 х 1071» 2 х 107, Інакше кажучи, для 65 утворення одного вторинного фотона на довжині дх - 1мм необхідно в середньому 1 : (2 х 10-23 - 50 фотонів первинного випромінювання.
Вимагатимемо, щоб похибка оцінки густини (тобто визначення кількості вторинних фотонів) мала порядок 1965. З урахуванням імовірнісного характеру процесу середньоквадратичне значення відносної похибки дорівнюватиме 5 - 1443722, де М - кількість зареєстрованих фотонів. Значенню 5 - 0,01 відповідає М - 10000.
Тепер ми можемо скласти нескладне рівняння для М ух -необхідної кількості первинних фотонів, які проникають на глибину 5см і створюють на цій глибині вторинне комптонівське випромінювання, яке проходить, у свою чергу, 5см і при цьому детектора досягають М - 10000 фотонів:
Мухе?хБх1072х2 х 1072 - 107,
Тут коефіцієнт 5х1072 означає, що з усієї кількості утворених вторинних фотонів потрапляють на детектор і 70 фіксуються лише 5965 - 5х10 7. З рівняння одержуємо Ме 7, Зх107,
Фотони з енергією Е - 50кеВ створюють дозу опромінення, що дорівнює 1 рентгену, якщо потік цих фотонів дорівнює 2,8х1019 4/см?2 (табличні дані для співвідношення між енергією фотонів, їх кількістю і дозою, див., наприклад, в (21). Якщо припустити, що поперечний переріз пучка первинного рентгенівського випромінювання при вході в тіло пацієнта дорівнює 1см, то потік 7,3Х10/ 1/см2 створить в тілі пацієнта дозу опромінення, рівну 2,6х107 рентген.
При традиційній рентгенівській томографії, наприклад, при дослідженні остеопорозу, доза опромінення звичайно складає 100-300 мілірентген (В.И. Мазуров, Е.Г. Зоткин. Актуальнье вопрось! диагностики и лечения остеопороза. Санкт-Петербург, ИКФ "Фолиант", 1998, с.47 |8)), тобто приблизно в 100 разів більше.
Дозу можна додатково зменшити у кілька разів, якщо опромінення вести за допомогою кількох джерел, пучки яких приходять в зону концентрації різними шляхами, не складаючись в тілі пацієнта.
Тому найбільш доцільними є варіанти реалізації пропонованого способу і пристрою, у яких використовуються кілька рознесених у просторі джерел рентгенівського випромінювання і детекторів з відповідною кількістю засобів концентрації випромінювання і транспортування вторинного комптонівського випромінювання до с ов детекторів (лінз, півлінз, коліматорів). З одного боку, це дозволяє досягти більш ефективної концентрації (у випадку єдиного засобу для концентрації це можливо лише при використанні рентгенівської лінзи, як показано на і)
Фіг.1) випромінювання і збільшити відношення сигнал/шум на виході детекторів. З іншого боку, це дає можливість зробити більш розподіленим вплив на досліджуваний об'єкт рентгенівського випромінювання і запобігти передозуванню опромінення частин об'єкта, що не підлягають дослідженню. Використання кількох «я зо детекторів з простим усередненням (чи більш складною обробкою вихідних сигналів різних детекторів в засобі 12 обробки й відображення інформації, наприклад "ваговим" усередненням або ж обробкою, що враховує - наявність кореляції густин в близьких одна до одної точках) за інших рівних умов дозволяє використовувати - джерела рентгенівського випромінювання меншої потужності без втрати точності. Крім того, при усередненні зменшується вплив інших факторів, що понижують точність (наприклад, неоднакового поглинання -
З5 Випромінювання джерел на шляху до різних точок, у яких визначається густина, і вторинного випромінювання на ю шляху від цих точок до входів засобів транспортування вторинного комптонівського випромінювання до детекторів).
Нижче (Фіг.2 - Фіг.11) розглядаються саме такі варіанти.
Найбільш прості з точки зору технічної реалізації варіанти, показані на Фіг.2 і Фіг.3. «
В схемі на Фіг.2 використовуються квазіточкові рентгенівські джерела 1 і коліматори 13 з каналами, що шщ с розходяться (розширюються) в напрямку розповсюдження випромінювання для концентрації його в зоні 16. Між джерелами 1 і коліматорами 13 встановлені екрани 14 з отворами для пропускання випромінювання на входи ;» коліматорів і запобігання його безпосереднього (поза коліматорами) попадання на об'єкт. Вторинне випромінювання транспортується до детекторів б за допомогою коліматорів 15 з каналами, які сходяться (звужуються) у напрямку розповсюдження випромінювання, тобто в напрямку до детекторів б, і можуть мати «сл фокус на їх чутливій поверхні. В ролі детекторів б можна використовувати, наприклад, напівпровідникові детектори з малою вхідною апертурою. - На Фіг.3 коліматори мають орієнтацію, протилежну показаній на Фіг.2. Для повного використання вхідної - апертури коліматорів 18, що концентрують" випромінювання в зоні 16, доцільно використовувати протяжні 5р рентгенівські джерела 17. З аналогічної причини доцільно використовувати детектори 20 з великою вхідною ш- апертурою (наприклад, сцинтиляційного типу).
Ф На Фіг.4 засоби концентрації випромінювання квазіточкових джерел 1 і засоби транспортування вторинного випромінювання виконані у вигляді рентгенівських півлінз 21, 22 відповідно. При цьому півлінзи 22 фокусують розсіяне вторинне випромінювання на детекторах 6.
На Фіг.5 засоби концентрації випромінювання квазіточкових джерел 1 і засоби транспортування вторинного випромінювання виконані у вигляді рентгенівських півлінз 21, 23 відповідно. При цьому півлінзи 23
Ф) перетворюють розсіяне вторинне випромінювання у квазіпаралельне і спрямовують його на детектори 20 з ка великою вхідною апертурою.
На Фіг.б показано комбінований варіант: засоби концентрації випромінювання квазіточкових джерел 1 бо Виконані у вигляді рентгенівських півлінз 21, що направляють в зону 16 паралельні пучки, а засоби транспортування вторинного комптонівського розсіяння до детекторів 6б-у вигляді "повних" рентгенівських лінз 3.
На Фіг.7 і 8 показані інші комбінації, які відрізняються від попередніх тим, що засоби транспортування вторинного комптонівського випромінювання до детекторів виконані у вигляді коліматорів.
На Фіг.7 коліматори 19 мають канали, що розширюються у напрямку до детекторів 6, а останні мають велику 65 Вхідну апертуру.
На Фіг.8, навпаки, коліматори 15 мають канали, що звужуються у напрямку до детекторів 6, а останні мають малу вхідну апертуру.
На Фіг.9 показано найбільш ефективний з точки зору точності й роздільної здатності варіант, у якому засоби концентрації випромінювання квазіточкових джерел 1 і засоби транспортування вторинного випромінювання до детекторів б виконані у вигляді "повних" лінз 2 і З відповідно (порівняйте цей варіант з показаним на Фіг.1).
На Фіг.10 ії 11 показані ще два комбінованих варіанти, їх об'єднує те, що в ролі засобів концентрації випромінювання квазіточкових джерел використані "повні" рентгенівські лінзи 2.
На Фіг.10 в ролі засобу для транспортування вторинного випромінювання до детекторів 6 з малою апертурою 7/0 показано використання коліматорів 15, що звужуються у напрямку до детекторів.
На Фіг.11 в ролі засобу для транспортування вторинного випромінювання до детекторів 20 з великою апертурою показано використання коліматорів 19, що розширюються в напрямку до детекторів.
Використання тієї чи іншої схеми реалізації способу і побудови пристрою визначається як наявністю можливості використання таких ефективних засобів концентрації і впливає і на вибір параметрів лінз та півлінз /5 (таких, як розмір фокусної плями, протяжність фокусної зони в напрямку оптичної осі лінзи та ін.). При цьому враховується, що реалізація досить високої роздільної здатності при використанні "повних" лінз (порядку долей міліметра і вищої), пов'язана зі збільшенням часу, необхідного для сканування досліджуваної області об'єкта.
Беруться до уваги й інші обставини, такі як наявність рентгенівських джерел потрібної потужності й розмірів та ін.
Наявність описаних і численних інших варіантів реалізації пропонованого способу і побудови пропонованого 2о пристрою надають широкі можливості для конструювання засобів внутрібачення, що задовольняють поставленим конкретним вимогам. 1. Политехнический словарь. М., "Советская знциклопедия", 1976. 2. Физика визуализации изображений в медицине. Под ред. С. Узбба. М., "Мир", 1991. 3. В.В. Пиклов, Н.Г. Преображенский. Вьічислительная томография и физический зксперимент. Успехи сч физических наук, 1983, том 141, вьіпуск 3. 4. Дж, Джексон. Классическая злектродинамика. М,, "Мир", 1965. (8) 5. Е. Лапшин. Графика для ІВМ РС. М., "Солон", 1995. 6. В.А. Аркадьев, А.И. Коломийцев, М.А. Кумахов и др. Широкополосная рентгеновская оптика з большой угловой апертурой. Успехи физических наук, 1989, том 157, вьіпуск 3. Ге зо 7. Патент США Мо5744813 (опубл. 28.04.98). 8. В.И. Мазуров, Е.Г. Зоткин. Актуальнье вопрось! диагностики и лечения остеопороза. Санкт-Петербург, -
ИКФ "Фолиант", 1998. «- ча

Claims (19)

Формула винаходу ІС в)
1. Спосіб одержання зображення внутрішньої структури об'єкта, при якому діють на об'єкт рентгенівським випромінюванням і використовують для одержання інформації про густину речовини об'єкта вихідні сигнали одного чи кількох детекторів випромінювання, який відрізняється тим, що рентгенівське випромінювання « 70 Концентрують у зоні, що включає точку (4), до якої відносять поточні результати вимірювань, розташовану з с всередині досліджуваної області (7) об'єкта (5), транспортують вторинне випромінювання, що виникає в цій зоні, до одного чи кількох детекторів (6), переміщуючи вказану зону, здійснюють сканування досліджуваної :з» області (7) об'єкта (5) і за сукупністю значень інтенсивності вторинного випромінювання, які одержують за допомогою одного чи кількох детекторів (6) і визначають одночасно з координатами точки (4) зони концентрації рентгенівського випромінювання, до якої відносять поточні результати вимірювань, роблять висновок про с густину речовини об'єкта в цій точці і використовують значення густини разом з відповідними ним значеннями координат для побудови картини розподілу густини речовини у досліджуваній області (7) об'єкта (5).
- 2. Спосіб за п. 1, який відрізняється тим, що концентрацію рентгенівського випромінювання в зоні (16), що - включає точку, до якої відносять поточні результати вимірювань, і яка розташована всередині досліджуваного об'єкта, здійснюють за допомогою одного чи кількох коліматорів (13, 18), використовуючи відповідну кількість - рознесених у просторі рентгенівських джерел (1), і транспортування вторинного випромінювання, що виникає, до Ф одного чи кількох детекторів (6, 20) також здійснюють за допомогою одного чи кількох коліматорів (15, 19), при цьому всі коліматори орієнтують так, щоб осі їх центральних каналів перетиналися в точці, до якої відносять поточні результати вимірювань.
З. Спосіб за п. 1, який відрізняється тим, що концентрацію рентгенівського випромінювання в зоні (16), що включає точку, до якої відносять поточні результати вимірювань, здійснюють за допомогою однієї чи кількох (Ф) рентгенівських півлінз (21), що перетворюють розбіжне випромінювання відповідної кількості рознесених у ГІ просторі рентгенівських джерел (1) в квазіпаралельне, а транспортування вторинного випромінювання, що виникає, до одного чи кількох детекторів (б, 20) - за допомогою однієї чи кількох рентгенівських півлінз во (22, 23), що фокусують це випромінювання на детекторах або формують квазіпаралельне випромінювання, при цьому всі рентгенівські півлінзи орієнтують так, щоб їх оптичні осі перетиналися в точці, до якої відносять поточні результати вимірювань.
4. Спосіб за п. 1, який відрізняється тим, що концентрацію рентгенівського випромінювання в зоні (16), що включає точку, до якої відносять поточні результати вимірювань, здійснюють за допомогою однієї чи кількох 65 рентгенівських півлінз (21), що перетворюють розбіжне випромінювання відповідної кількості рознесених у просторі рентгенівських джерел (1) в квазіпаралельне, а транспортування вторинного випромінювання, що виникає, до одного чи кількох детекторів (б) - за допомогою однієї чи кількох рентгенівських лінз (3), що фокусують це випромінювання на детекторах (б), при цьому всі рентгенівські півлінзи і лінзи орієнтують так, щоб їх оптичні осі перетиналися в точці, до якої відносять поточні результати вимірювань.
5. Спосіб за п. 1, який відрізняється тим, що концентрацію рентгенівського випромінювання в зоні (16), що включає точку, до якої відносять поточні результати вимірювань, і яка розташована всередині досліджуваної області, здійснюють за допомогою кількох рентгенівських півлінз (21), що перетворюють розбіжне випромінювання відповідної кількості рознесених у просторі рентгенівських джерел (1) в квазіпаралельне, а транспортування вторинного випромінювання, що виникає, до одного чи кількох детекторів (20) - за допомогою 7/0 одного чи кількох коліматорів (19), при цьому рентгенівські півлінзи і коліматори орієнтують так, щоб оптичні осі всіх рентгенівських півлінз і центральних каналів, всіх коліматорів перетиналися в точці, до якої відносять поточні результати вимірювань.
6. Спосіб за п. 1, який відрізняється тим, що концентрацію рентгенівського випромінювання в зоні (16), що включає точку, до якої відносять поточні результати вимірювань, і яка розташована всередині досліджуваної області (7), здійснюють, використовуючи одне чи кілька рознесених у просторі рентгенівських джерел (1) і відповідну кількість рентгенівських лінз (2), що фокусують розбіжне рентгенівське випромінювання кожного із джерел (1) в точці (4), до якої відносять поточні результати вимірювань, а транспортування вторинного випромінювання, що виникає, до одного чи кількох детекторів (6) здійснюють за допомогою рентгенівських лінз (3), що фокусують це випромінювання на детекторах (6) і мають другий фокус у вказаній точці.
7. Спосіб за п. 1, який відрізняється тим, що концентрацію рентгенівського випромінювання в зоні (16), що включає точку, до якої відносять поточні результати вимірювань, і яка розташована всередині досліджуваної області, здійснюють, використовуючи одне чи кілька рознесених у просторі рентгенівських джерел (1) та відповідну кількість рентгенівських лінз (2), що фокусують розбіжне випромінювання кожного із джерел (1) в точці, до якої відносять поточні результати вимірювань, а транспортування вторинного випромінювання, що сч об Виникає, до одного чи кількох детекторів (6, 20) здійснюють за допомогою коліматорів (15, 19) , орієнтованих таким чином, щоб оптичні осі їх центральних каналів перетинались у вказаній точці. і)
8. Пристрій для одержання зображення внутрішньої структури об'єкта з використанням рентгенівського випромінювання, який складається з засобу позиціонування (10) досліджуваного об'єкта (5), рентгенооптичної системи (8), засобу для відносного переміщення засобу позиціонування (10) досліджуваного об'єкта (5) |і Ге зо рентгенооптичної системи (8), засобу (12) для обробки й відображення інформації, який відрізняється тим, що рентгенооптична система (8) містить одне чи кілька рентгенівських джерел (1), засоби для концентрації (2) - випромінювання вказаних одного чи кількох рентгенівських джерел (1) в зоні, що включає точку (4), до якої «- відносять поточні результати вимірювань, один чи кілька засобів (3) для транспортування вторинного випромінювання, що виникає, і розташовані біля їх виходів детектори (6) цього випромінювання, виходи яких ї- з5 Підключені до засобу (12) для обробки й відображення інформації, із засобом позиціонування (10) ю досліджуваного об'єкта (5) і ренттенооптичною системою (8) сполучені датчики (11) для визначення координат точки (4), до якої відносять поточні результати вимірювань, розташованої всередині досліджуваної області (7) об'єкта (5), підключені своїми виходами до засобу (12) для обробки й відображення інформації.
9. Пристрій за п. 8, який відрізняється тим, що рентгенооптична система містить кілька рентгенівських « джерел (1; 17), кожен із засобів для концентрації їх випромінювання в зоні (16), що включає точку, до якої з с відносять поточні результати вимірювань, і кожен із засобів для транспортування вторинного випромінювання,
. що в ній виникає, до детекторів (б; 20) виконаний у вигляді коліматора (13, 15; 18, 19) з каналами, и?» орієнтованими до зони (16) концентрації випромінювання рентгенівських джерел, при цьому оптичні осі центральних каналів всіх коліматорів перетинаються в точці, до якої відносять поточні результати вимірювань.
10. Пристрій за п. 9, який відрізняється тим, що рентгенівські джерела (1), які входять до складу с рентгенооптичної системи, є квазіточковими, а коліматори (13, 15) мають канали, які сфокусовані на цих джерелах і розходяться в напрямку до засобу позиціонування досліджуваного об'єкта (5), між виходом кожного Ш- рентгенівського джерела (1) і входом відповідного коліматора (13) розташовано екран (14) з отвором. -
11. Пристрій за п. 9, який відрізняється тим, що рентгенівські джерела (17), які входять до складу 5р рентгенооптичної системи, є протяжними, а коліматори (18, 19) мають канали, що звужуються в напрямку до Ш- засобу позиціонування досліджуваного об'єкта. Ф
12. Пристрій за п. 8, який відрізняється тим, що рентгенівські джерела (1), які входять до складу рентгенооптичної системи, є квазіточковими, кожен із засобів для концентрації рентгенівського випромінювання в зоні (16), що включає точку, до якої відносять поточні результати вимірювань, виконаний у вигляді ов рентгенівської півлінзи (21), яка перетворює розбіжне випромінювання відповідного джерела (1) в квазіпаралельне, а кожен із засобів для транспортування вторинного випромінювання, що виникає, до детектора Ф) (б) - у вигляді рентгенівської півлінзи (22), що фокусує це випромінювання на детекторі (6), при цьому ка оптичні осі всіх рентгенівських півлінз перетинаються в точці, до якої відносять поточні результати вимірювань.
13. Пристрій за п. 8, який відрізняється тим, що рентгенівські джерела (1), які входять до складу бо рентгенооптичної системи, є квазіточковими, кожен із засобів для концентрації рентгенівського випромінювання в зоні (16), що включає точку, до якої відносять поточні результати вимірювань, виконаний у вигляді рентгенівської півлінзи (21), яка перетворює розбіжне випромінювання відповідного джерела (1) в квазіпаралельне, а кожен із засобів для транспортування вторинного випромінювання, що виникає, до детектора - у вигляді рентгенівської півлінзи (23), що формує квазіпаралельне випромінювання і має фокус в зоні (16) 65 концентрації рентгенівського випромінювання, при цьому оптичні осі всіх рентгенівських півлінз перетинаються в точці, до якої відносять поточні результати вимірювань.
14. Пристрій за п. 8, який відрізняється тим, що рентгенівські джерела (1), які входять до складу рентгенооптичної системи, є квазіточковими, кожен із засобів для концентрації рентгенівського випромінювання в зоні (16), що включає точку, до якої відносять поточні результати вимірювань, виконаний у вигляді рентгенівської півлінзи (21), яка перетворює розбіжне випромінювання відповідного джерела (1) в квазіпаралельне, а кожен із засобів для транспортування вторинного випромінювання, що виникає, до детектора (6) - у вигляді рентгенівської лінзи (3), що фокусує це випромінювання на детекторі (6) і має другий фокус в зоні концентрації (16) рентгенівського випромінювання, оптичні осі всіх рентгенівських півлінз і лінз перетинаються в точці, до якої відносять поточні результати вимірювань. 70
15. Пристрій за п. 8, який відрізняється тим, що рентгенівські джерела (1), які входять до складу рентгенооптичної системи, є квазіточковими, кожен із засобів для концентрації рентгенівського випромінювання в зоні (16), що включає точку, до якої відносять поточні результати вимірювань, виконаний у вигляді рентгенівської півлінзи (21), яка перетворює розбіжне випромінювання відповідного джерела в квазіпаралельне, а кожен із засобів для транспортування вторинного випромінювання, що виникає, до детектора (20) - у вигляді 7/5 Коліматора (19) з каналами, що розходяться в напрямку до відповідного детектора, оптичні осі всіх рентгенівських лінз і півліна і центральних каналів коліматорів перетинаються в точці, до якої відносять поточні результати вимірювань.
16. Пристрій за п. 8, який відрізняється тим, що рентгенівські джерела (1), які входять до складу рентгенооптичної системи, є квазіточковими, кожен із засобів для концентрації рентгенівського випромінювання 2о В зоні (16), що включає точку, до якої відносять поточні результати вимірювань, виконаний у вигляді рентгенівської півлінзи (21), яка перетворює розбіжне випромінювання відповідного джерела в квазіпаралельне, а кожен із засобів для транспортування вторинного випромінювання, що виникає, до детектора (б) - у вигляді коліматора (15) з каналами, що сходяться в напрямку до відповідного детектора, оптичні осі всіх рентгенівських півлінз і центральних каналів коліматорів перетинаються в точці, до якої відносять поточні сч ов результати вимірювань.
17. Пристрій за п. 8, який відрізняється тим, що рентгенівські джерела (1) які входять до складу і) рентгенооптичної системи, є квазіточковими, кожен із засобів для концентрації рентгенівського випромінювання в зоні, що включає точку (4), до якої відносять поточні результати вимірювань, виконаний у вигляді рентгенівської лінзи (2), яка і фокусує розбіжне випромінювання рентгенівського джерела (1), а кожен із Ге зо засобів для транспортування вторинного випромінювання, що виникає, до детектора (6) - у вигляді рентгенівської лінзи (3), що фокусує це випромінювання на відповідному детекторі, оптичні осі всіх - рентгенівських лінз перетинаються в точці, до якої відносять поточні результати вимірювань. «-
18. Пристрій за п. 8, який відрізняється тим, що рентгенівські джерела (1), які входять до складу рентгенооптичної системи, є квазіточковими, кожен із засобів для концентрації рентгенівського випромінювання ї- зв В зоні (16), що включає точку, до якої відносять поточні результати вимірювань, виконаний у вигляді ю рентгенівської лінзи (2), яка фокусує розбіжне випромінювання рентгенівського джерела (1), а кожен із засобів для транспортування вторинного випромінювання, що виникає, до детектора (6) - у вигляді коліматора (15) з каналами, що сходяться в напрямку до відповідного детектора, оптичні осі всіх рентгенівських лінз і центральних каналів коліматорів перетинаються в точці, до якої відносять поточні результати вимірювань. «
19. Пристрій за п. 8, який відрізняється тим, що рентгенівські джерела (1), які входять до складу з с рентгенооптичної системи, є квазіточковими, кожен із засобів для концентрації рентгенівського випромінювання . в зоні (16), що включає точку, до якої відносять поточні результати вимірювань, виконаний у вигляді и?» рентгенівської лінзи (2), яка фокусує розбіжне випромінювання рентгенівського джерела (1), а кожен із засобів для транспортування вторинного випромінювання, що виникає, до детектора (20) - у вигляді коліматора (19) з каналами, що розходяться в напрямку до відповідного детектора, оптичні осі всіх рентгенівських лінз і с центральних каналів коліматорів перетинаються в точці, до якої відносять поточні результати вимірювань. -І - - 50 42) Ф) іме) 60 б5
UA2001096676A 2000-02-11 2000-05-30 Спосіб отримання зображення внутрішньої структури об'єкта з використанням рентгенівського випромінювання та пристрій для його здійснення UA57176C2 (uk)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2000103190/28A RU2180439C2 (ru) 2000-02-11 2000-02-11 Способ получения изображения внутренней структуры объекта с использованием рентгеновского излучения и устройство для его осуществления
PCT/RU2000/000207 WO2001059439A1 (en) 2000-02-11 2000-05-30 Method for obtaining a picture of the internal structure of an object using x-ray radiation and device for the implementation thereof

Publications (1)

Publication Number Publication Date
UA57176C2 true UA57176C2 (uk) 2003-06-16

Family

ID=20230425

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
UA2001096676A UA57176C2 (uk) 2000-02-11 2000-05-30 Спосіб отримання зображення внутрішньої структури об'єкта з використанням рентгенівського випромінювання та пристрій для його здійснення

Country Status (11)

Country Link
US (2) US6754304B1 (uk)
EP (1) EP1202045A4 (uk)
JP (2) JP3722428B2 (uk)
KR (1) KR100485413B1 (uk)
CN (1) CN1189742C (uk)
AU (1) AU774687B2 (uk)
CA (1) CA2366547A1 (uk)
HK (1) HK1043403B (uk)
RU (1) RU2180439C2 (uk)
UA (1) UA57176C2 (uk)
WO (1) WO2001059439A1 (uk)

Families Citing this family (100)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2180439C2 (ru) * 2000-02-11 2002-03-10 Кумахов Мурадин Абубекирович Способ получения изображения внутренней структуры объекта с использованием рентгеновского излучения и устройство для его осуществления
UA59495C2 (uk) * 2000-08-07 2003-09-15 Мурадін Абубєкіровіч Кумахов Рентгенівський вимірювально-випробувальний комплекс
EP1482305A4 (en) * 2002-02-14 2007-01-24 Muradin Abubekirovich Kumakhov DEVICE FOR ILLUSTRATING THE INTERNAL STRUCTURE OF AN OBJECT
US6949748B2 (en) * 2002-04-16 2005-09-27 The Regents Of The University Of California Biomedical nuclear and X-ray imager using high-energy grazing incidence mirrors
US7070327B2 (en) * 2002-05-01 2006-07-04 Siemens Medical Solutions Usa, Inc. Focused radiation visualization
US6968035B2 (en) * 2002-05-01 2005-11-22 Siemens Medical Solutions Usa, Inc. System to present focused radiation treatment area
US20030206610A1 (en) * 2002-05-01 2003-11-06 Collins William F. Patient positioning system
US7245696B2 (en) * 2002-05-29 2007-07-17 Xradia, Inc. Element-specific X-ray fluorescence microscope and method of operation
US20050282300A1 (en) * 2002-05-29 2005-12-22 Xradia, Inc. Back-end-of-line metallization inspection and metrology microscopy system and method using x-ray fluorescence
DE10230990A1 (de) * 2002-07-10 2004-02-05 Elisabeth Katz Vorrichtung zur Durchführung einer Online-Elementanalyse
CN100464182C (zh) * 2003-03-28 2009-02-25 理学电机工业株式会社 荧光x射线分析装置
US7134786B2 (en) * 2003-04-10 2006-11-14 Ge Medical Systems Global Technology Examination table providing x-ray densitometry
JP4753872B2 (ja) * 2003-08-04 2011-08-24 エックス−レイ オプティカル システムズ インコーポレーテッド X線回折装置及びその方法
DE102004012704B4 (de) 2004-03-16 2008-01-03 Katz, Elisabeth Vorrichtung zur online-Analyse und Verwendung einer solchen Vorrichtung
US7809109B2 (en) * 2004-04-09 2010-10-05 American Science And Engineering, Inc. Multiple image collection and synthesis for personnel screening
US20050267457A1 (en) * 2004-05-25 2005-12-01 Hruschka James A Tissue ablation device using a lens to three dimensionally focus electromagnetic energy
US7120228B2 (en) * 2004-09-21 2006-10-10 Jordan Valley Applied Radiation Ltd. Combined X-ray reflectometer and diffractometer
US8242453B2 (en) * 2004-10-15 2012-08-14 Koninklijke Philips Electronics N.V. Imaging system for nuclear medicine
US7804934B2 (en) 2004-12-22 2010-09-28 Jordan Valley Semiconductors Ltd. Accurate measurement of layer dimensions using XRF
US7110491B2 (en) * 2004-12-22 2006-09-19 Jordan Valley Applied Radiation Ltd. Measurement of critical dimensions using X-ray diffraction in reflection mode
US7245695B2 (en) 2005-04-11 2007-07-17 Jordan Valley Applied Radiation Ltd. Detection of dishing and tilting using X-ray fluorescence
JP4694296B2 (ja) * 2005-07-26 2011-06-08 浜松ホトニクス株式会社 蛍光x線三次元分析装置
US7231017B2 (en) * 2005-07-27 2007-06-12 Physical Optics Corporation Lobster eye X-ray imaging system and method of fabrication thereof
WO2007015472A1 (ja) * 2005-08-04 2007-02-08 Sii Nanotechnology Inc. X線分析装置及び方法
US7321652B2 (en) * 2005-09-15 2008-01-22 Jordan Valley Semiconductors Ltd. Multi-detector EDXRD
KR101374308B1 (ko) * 2005-12-23 2014-03-14 조르단 밸리 세미컨덕터즈 리미티드 Xrf를 사용한 층 치수의 정밀 측정법
US20070274447A1 (en) * 2006-05-15 2007-11-29 Isaac Mazor Automated selection of X-ray reflectometry measurement locations
JP2007309685A (ja) * 2006-05-16 2007-11-29 Nec Electronics Corp 検査装置及び検査方法
US7499523B2 (en) * 2006-08-02 2009-03-03 General Electric Company Systems and methods for identifying a substance
JP4871060B2 (ja) * 2006-08-03 2012-02-08 トヨタ自動車株式会社 分析装置
JP4860418B2 (ja) * 2006-10-10 2012-01-25 株式会社リガク X線光学系
US7620147B2 (en) * 2006-12-13 2009-11-17 Oraya Therapeutics, Inc. Orthovoltage radiotherapy
IL180482A0 (en) * 2007-01-01 2007-06-03 Jordan Valley Semiconductors Inspection of small features using x - ray fluorescence
US7643609B2 (en) * 2007-01-03 2010-01-05 Andrea Clay Secondary X-ray imaging technique for diagnosing a health condition
US8576982B2 (en) 2008-02-01 2013-11-05 Rapiscan Systems, Inc. Personnel screening system
US8638904B2 (en) 2010-03-14 2014-01-28 Rapiscan Systems, Inc. Personnel screening system
US8995619B2 (en) 2010-03-14 2015-03-31 Rapiscan Systems, Inc. Personnel screening system
US7711089B2 (en) * 2007-04-11 2010-05-04 The Invention Science Fund I, Llc Scintillator aspects of compton scattered X-ray visualization, imaging, or information providing
US8041006B2 (en) * 2007-04-11 2011-10-18 The Invention Science Fund I Llc Aspects of compton scattered X-ray visualization, imaging, or information providing
US20080253525A1 (en) * 2007-04-11 2008-10-16 Boyden Edward S Compton scattered x-ray visualizing, imaging, or information providing of at least some dissimilar matter
US7623625B2 (en) * 2007-04-11 2009-11-24 Searete Llc Compton scattered X-ray visualization, imaging, or information provider with scattering event locating
US20080253527A1 (en) * 2007-04-11 2008-10-16 Searete Llc, A Limited Liability Corporation Of The State Of Delaware Limiting compton scattered x-ray visualizing, imaging, or information providing at particular regions
US7724871B2 (en) * 2007-04-11 2010-05-25 The Invention Science Fund I, Llc Compton scattered X-ray visualization, imaging, or information provider in soft matter such as tissue, organs, or blood, and/or in hard matter such as bones or teeth
US8837677B2 (en) * 2007-04-11 2014-09-16 The Invention Science Fund I Llc Method and system for compton scattered X-ray depth visualization, imaging, or information provider
US20080253522A1 (en) * 2007-04-11 2008-10-16 Searete Llc, A Limited Liability Corporation Of The State Of Delaware Tool associated with compton scattered X-ray visualization, imaging, or information provider
US20080312528A1 (en) * 2007-06-15 2008-12-18 Bertolina James A Guidance of medical instrument using flouroscopy scanner with multple x-ray sources
US7680243B2 (en) * 2007-09-06 2010-03-16 Jordan Valley Semiconductors Ltd. X-ray measurement of properties of nano-particles
US7653173B2 (en) * 2007-09-28 2010-01-26 Searete Llc Combining X-ray fluorescence visualizer, imager, or information provider
US20090086899A1 (en) * 2007-09-28 2009-04-02 Searete Llc, A Limited Liability Corporation Of The State Of Delaware Repositioning X-ray fluorescence visualizer, imager, or information provider
US20090086903A1 (en) * 2007-09-28 2009-04-02 Searete LLC, a limited liability corporation of Selective elemental color providing for X-ray fluorescence visualization, imaging, or information providing
US7773722B2 (en) * 2007-09-28 2010-08-10 The Invention Science Fund I, Llc Personal transportable X-ray fluorescence visualizing, imaging, or information providing
US7825376B2 (en) * 2007-09-28 2010-11-02 The Invention Science Fund I Scintillator aspects for X-ray fluorescence visualizer, imager, or information provider
US7664224B2 (en) * 2007-09-28 2010-02-16 Searete Llc X-ray fluorescence visualizing, imaging, or information providing of chemicals, compounds, or biological materials
US7660385B2 (en) * 2007-09-28 2010-02-09 Searete Llc Time of flight aspects for X-Ray fluorescence visualizer, imager, or information provider
US8000438B2 (en) * 2007-09-28 2011-08-16 The Invention Science Fund I, Llc Tool based X-ray fluorescence visualizing, imaging, or information providing
US7738627B2 (en) * 2007-09-28 2010-06-15 The Invention Science Fund I, Llc Geometric X-ray fluorescence visualizer, imager, or information provider
US7702066B2 (en) * 2007-09-28 2010-04-20 Searete Llc Portable aspects for x-ray fluorescence visualizer, imager, or information provider
US7724867B2 (en) * 2007-09-28 2010-05-25 Invention Science Fund I, Llc Proximity-based X-Ray fluorescence visualizer, imager, or information provider
US7649975B2 (en) 2007-09-28 2010-01-19 Searete Llc X-ray fluorescence visualizing, imaging, or information providing of chemicals, compounds, or biological materials
US8041005B2 (en) * 2007-09-28 2011-10-18 The Invention Science Fund I, Llc X-ray fluorescence visualizer, imager, or information provider
EA200702687A1 (ru) * 2007-11-30 2009-02-27 Фонд Сопровождения Инвестиционных Проектов "Генкей" Способ и устройство получения информации о внутренней структуре объекта и способ создания изображения объекта
US7839969B2 (en) * 2008-04-24 2010-11-23 Chevron U.S.A. Inc. Device and method for detecting deposition on an inner surface of a pipe
KR100948461B1 (ko) * 2009-03-30 2010-03-17 중앙대학교 산학협력단 물체 구성의 3차원 영상화 방법 및 장치
US8243878B2 (en) * 2010-01-07 2012-08-14 Jordan Valley Semiconductors Ltd. High-resolution X-ray diffraction measurement with enhanced sensitivity
CN107479085A (zh) 2010-03-14 2017-12-15 拉皮斯坎系统股份有限公司 多屏检测系统
JP5704711B2 (ja) * 2010-04-30 2015-04-22 公立大学法人大阪市立大学 蛍光x線検出装置及び蛍光x線検出方法
US8687766B2 (en) 2010-07-13 2014-04-01 Jordan Valley Semiconductors Ltd. Enhancing accuracy of fast high-resolution X-ray diffractometry
US8848871B2 (en) * 2010-11-04 2014-09-30 Ut-Battelle, Llc X-ray backscatter imaging of nuclear materials
US8437450B2 (en) 2010-12-02 2013-05-07 Jordan Valley Semiconductors Ltd. Fast measurement of X-ray diffraction from tilted layers
US8781070B2 (en) 2011-08-11 2014-07-15 Jordan Valley Semiconductors Ltd. Detection of wafer-edge defects
US9390984B2 (en) 2011-10-11 2016-07-12 Bruker Jv Israel Ltd. X-ray inspection of bumps on a semiconductor substrate
US9442083B2 (en) * 2012-02-14 2016-09-13 Aribex, Inc. 3D backscatter imaging system
CA2872729C (en) * 2012-06-01 2016-03-15 Landauer, Inc. Wireless, motion and position-sensing, integrating radiation sensor for occupational and environmental dosimetry
GB201213789D0 (en) * 2012-08-02 2012-09-12 Commw Scient Ind Res Org An X-ray fluorescence analyser
KR101399505B1 (ko) * 2012-11-08 2014-05-27 주식회사 아이에스피 에너지 분산형 형광 분석기의 프레임 누적 스캔 방법
US9389192B2 (en) 2013-03-24 2016-07-12 Bruker Jv Israel Ltd. Estimation of XRF intensity from an array of micro-bumps
JP6082634B2 (ja) * 2013-03-27 2017-02-15 株式会社日立ハイテクサイエンス 蛍光x線分析装置
JP6081260B2 (ja) * 2013-03-28 2017-02-15 株式会社日立ハイテクサイエンス 蛍光x線分析装置
US11280898B2 (en) 2014-03-07 2022-03-22 Rapiscan Systems, Inc. Radar-based baggage and parcel inspection systems
WO2015134802A1 (en) 2014-03-07 2015-09-11 Rapiscan Systems, Inc. Ultra wide band detectors
US9632043B2 (en) 2014-05-13 2017-04-25 Bruker Jv Israel Ltd. Method for accurately determining the thickness and/or elemental composition of small features on thin-substrates using micro-XRF
US9726624B2 (en) 2014-06-18 2017-08-08 Bruker Jv Israel Ltd. Using multiple sources/detectors for high-throughput X-ray topography measurement
US9606073B2 (en) 2014-06-22 2017-03-28 Bruker Jv Israel Ltd. X-ray scatterometry apparatus
US9594033B2 (en) * 2014-07-22 2017-03-14 The Boeing Company Visible X-ray indication and detection system for X-ray backscatter applications
JP6397690B2 (ja) * 2014-08-11 2018-09-26 株式会社日立ハイテクノロジーズ X線透過検査装置及び異物検出方法
US9829448B2 (en) 2014-10-30 2017-11-28 Bruker Jv Israel Ltd. Measurement of small features using XRF
US10134254B2 (en) 2014-11-25 2018-11-20 Rapiscan Systems, Inc. Intelligent security management system
US20180360402A1 (en) * 2015-12-17 2018-12-20 Koninklijke Philips N.V. Method and device for a medical image analysis
JP6999268B2 (ja) 2016-01-11 2022-01-18 ブルカー テクノロジーズ リミテッド X線スキャタロメトリーのための方法および装置
US10720300B2 (en) 2016-09-30 2020-07-21 American Science And Engineering, Inc. X-ray source for 2D scanning beam imaging
US10281414B2 (en) * 2016-12-01 2019-05-07 Malvern Panalytical B.V. Conical collimator for X-ray measurements
RU2658098C1 (ru) * 2017-04-06 2018-06-19 Олег Владимирович Кофнов Дифракционный способ определения внутренних дефектов изделий, выполненных по аддитивной технологии
CN108421174B (zh) * 2018-03-29 2024-03-19 上海伽玛星科技发展有限公司 新型放射源射线聚焦准直器
US10816487B2 (en) 2018-04-12 2020-10-27 Bruker Technologies Ltd. Image contrast in X-ray topography imaging for defect inspection
JP2019191168A (ja) 2018-04-23 2019-10-31 ブルカー ジェイヴィ イスラエル リミテッドBruker Jv Israel Ltd. 小角x線散乱測定用のx線源光学系
KR20210003113A (ko) * 2018-04-26 2021-01-11 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. 컬렉터 미러 등의 미러를 테스트하기 위한 시스템 및 컬렉터 미러 등의 미러를 테스트하는 방법
AU2019268796A1 (en) * 2018-05-18 2020-12-17 Enersoft Inc. Systems, devices, and methods for analysis of geological samples
US11181490B2 (en) 2018-07-05 2021-11-23 Bruker Technologies Ltd. Small-angle x-ray scatterometry
CN110208301A (zh) * 2019-07-05 2019-09-06 北京师范大学 一种深度分辨的x射线致辐射发光测量的装置及方法
US11781999B2 (en) 2021-09-05 2023-10-10 Bruker Technologies Ltd. Spot-size control in reflection-based and scatterometry-based X-ray metrology systems

Family Cites Families (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL247901A (uk) * 1960-01-29
US3418467A (en) * 1965-02-17 1968-12-24 Philips Corp Method of generating an x-ray beam composed of a plurality of wavelengths
US3980568A (en) * 1975-10-17 1976-09-14 Hankison Corporation Radiation detection system
DE3023263C2 (de) * 1980-06-21 1986-08-14 Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg Anordnung zur Ermittlung der inneren Struktur eines Körpers mittels monoenergetischer Strahlung
GB2208925A (en) * 1987-08-25 1989-04-19 Le N Proizv Ob Burevestnik Multichannel x-ray spectrometer
GB2214769A (en) * 1988-03-04 1989-09-06 Le N Proizv Ob Burevestnik Multichannel x-ray spectrometer
JP2853261B2 (ja) * 1989-05-16 1999-02-03 三菱マテリアル株式会社 金属分析方法および分析装置
FI894010A (fi) * 1989-08-25 1991-02-26 Micronas Oy Foerfarande foer kontrollering av en tillvaextprocess foer en med fosfor dopad kiseldioxidfilm.
US5181234B1 (en) * 1990-08-06 2000-01-04 Rapiscan Security Products Inc X-ray backscatter detection system
JP3090471B2 (ja) * 1990-10-31 2000-09-18 エックス−レイ オプティカル システムズ,インコーポレイテッド 粒子、x線およびガンマ線量子のビーム制御装置
US5497008A (en) * 1990-10-31 1996-03-05 X-Ray Optical Systems, Inc. Use of a Kumakhov lens in analytic instruments
JPH05346411A (ja) * 1992-04-16 1993-12-27 Rigaku Denki Kogyo Kk 蛍光x線分析装置
RU2072515C1 (ru) * 1993-01-26 1997-01-27 Акционерное общество "Элскорт" Многоканальный рентгеновский анализатор элементного состава
JP3258118B2 (ja) * 1993-03-19 2002-02-18 セイコーインスツルメンツ株式会社 帯状の試料の中心を検出する方法
US5325416A (en) * 1993-10-25 1994-06-28 Nisshin Steel Co., Ltd. Method for measuring Fe coating weight of Fe-coated stainless steel sheet
US5585603A (en) * 1993-12-23 1996-12-17 Design Systems, Inc. Method and system for weighing objects using X-rays
US5727044A (en) * 1994-07-19 1998-03-10 University Of Leicester Microchannel plates
US5570408A (en) * 1995-02-28 1996-10-29 X-Ray Optical Systems, Inc. High intensity, small diameter x-ray beam, capillary optic system
US5745547A (en) * 1995-08-04 1998-04-28 X-Ray Optical Systems, Inc. Multiple channel optic
CN1069136C (zh) * 1996-02-17 2001-08-01 北京师范大学 整体x光透镜及其制造方法及使用整体x光透镜的设备
US5778039A (en) * 1996-02-21 1998-07-07 Advanced Micro Devices, Inc. Method and apparatus for the detection of light elements on the surface of a semiconductor substrate using x-ray fluorescence (XRF)
US5696806A (en) * 1996-03-11 1997-12-09 Grodzins; Lee Tomographic method of x-ray imaging
JPH09329557A (ja) * 1996-06-11 1997-12-22 Seiko Instr Inc マイクロ蛍光x線分析装置
US5930326A (en) * 1996-07-12 1999-07-27 American Science And Engineering, Inc. Side scatter tomography system
JPH10227749A (ja) * 1997-02-14 1998-08-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd X線検査装置及びx線検査方法
JPH10339798A (ja) * 1997-06-07 1998-12-22 Horiba Ltd X線集光用ミラー
US6094472A (en) * 1998-04-14 2000-07-25 Rapiscan Security Products, Inc. X-ray backscatter imaging system including moving body tracking assembly
DE19820861B4 (de) * 1998-05-09 2004-09-16 Bruker Axs Gmbh Simultanes Röntgenfluoreszenz-Spektrometer
US6108398A (en) * 1998-07-13 2000-08-22 Jordan Valley Applied Radiation Ltd. X-ray microfluorescence analyzer
JP3361768B2 (ja) * 1999-03-18 2003-01-07 セイコーインスツルメンツ株式会社 蛍光x線分析装置およびx線照射位置確認方法
US6345086B1 (en) * 1999-09-14 2002-02-05 Veeco Instruments Inc. X-ray fluorescence system and method
US6381303B1 (en) * 1999-09-29 2002-04-30 Jordan Valley Applied Radiation Ltd. X-ray microanalyzer for thin films
DE10050116A1 (de) * 1999-10-21 2001-04-26 Koninkl Philips Electronics Nv Verfahren und Vorrichtung zum Untersuchen einer Probe mit Hilfe von Röntgenfluoreszenzanalyse
RU2180439C2 (ru) * 2000-02-11 2002-03-10 Кумахов Мурадин Абубекирович Способ получения изображения внутренней структуры объекта с использованием рентгеновского излучения и устройство для его осуществления
US6453002B1 (en) * 2000-04-18 2002-09-17 Jordan Valley Applied Radiation Ltd. Differential measurement of X-ray microfluorescence
US6477227B1 (en) * 2000-11-20 2002-11-05 Keymaster Technologies, Inc. Methods for identification and verification

Also Published As

Publication number Publication date
CA2366547A1 (en) 2001-08-16
JP2003522947A (ja) 2003-07-29
CN1189742C (zh) 2005-02-16
RU2180439C2 (ru) 2002-03-10
JP3722428B2 (ja) 2005-11-30
HK1043403B (zh) 2005-06-10
EP1202045A4 (en) 2006-07-26
WO2001059439A1 (en) 2001-08-16
US20050031078A1 (en) 2005-02-10
AU774687B2 (en) 2004-07-01
JP2005099030A (ja) 2005-04-14
HK1043403A1 (en) 2002-09-13
CN1346438A (zh) 2002-04-24
AU4961300A (en) 2001-08-20
KR20010110739A (ko) 2001-12-13
US6754304B1 (en) 2004-06-22
KR100485413B1 (ko) 2005-04-27
EP1202045A1 (en) 2002-05-02
US7130370B2 (en) 2006-10-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
UA57176C2 (uk) Спосіб отримання зображення внутрішньої структури об'єкта з використанням рентгенівського випромінювання та пристрій для його здійснення
JP5127249B2 (ja) X線装置の焦点‐検出器装置のx線光学透過格子
US7924973B2 (en) Interferometer device and method
US7433444B2 (en) Focus-detector arrangement of an X-ray apparatus for generating projective or tomographic phase contrast recordings
US9234856B2 (en) X-ray apparatus and X-ray measuring method
CN101405596A (zh) 使用具有多色分布的x射线束检测对象图像的系统和方法
Prall et al. High-energy proton imaging for biomedical applications
UA63038C2 (en) Method for radiation therapy of cancer, method for detecting localization of cancer, and device for its realization
US20210123873A1 (en) Methods and apparatus for determining information regarding chemical composition using x-ray radiation
US8995609B2 (en) X-ray compton scatter imaging on volumetric CT systems
US10371651B2 (en) Method for analyzing an object by X-ray diffraction
KR20170002592A (ko) 레이저-콤프턴 엑스레이 소스를 이용한 2-컬러 방사선 촬영 방법
US20170184739A1 (en) Method of calibrating an x ray diffraction analysis system
RU2209644C2 (ru) Рентгеновские средства для определения местоположения и лучевой терапии злокачественных новообразований
Asadchikov et al. Laboratory X-ray microtomographs with the use of monochromatic radiation
US11872071B2 (en) Method for correcting a spectral image
Yanoff et al. Quantum x-ray imaging for medical and industrial applications
Arhatari High resolution phase contrast x-ray radiography
RU2231101C2 (ru) Устройства для получения изображения внутренней структуры объекта
Reis Investigating the impact of beam and target parameters in particle imaging
Jakubek et al. Microradiography with semiconductor Pixel detectors
Speller PHOTON SCATTERING APPLICATIONS IN TISSUE CHARACTERISATION AND IMAGING
Özkan The controlled drift detector as an x-ray imaging device for diffraction enhanced imaging
JP2007279071A (ja) X線ct装置及びx線ct装置による撮像方法