TWM632463U - 輸送模組及光學檢測裝置 - Google Patents

輸送模組及光學檢測裝置 Download PDF

Info

Publication number
TWM632463U
TWM632463U TW111206858U TW111206858U TWM632463U TW M632463 U TWM632463 U TW M632463U TW 111206858 U TW111206858 U TW 111206858U TW 111206858 U TW111206858 U TW 111206858U TW M632463 U TWM632463 U TW M632463U
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
central axis
plane
along
tested
rotating shafts
Prior art date
Application number
TW111206858U
Other languages
English (en)
Inventor
蔡知典
胡智翔
Original Assignee
德律科技股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 德律科技股份有限公司 filed Critical 德律科技股份有限公司
Priority to TW111206858U priority Critical patent/TWM632463U/zh
Priority to JP2022003140U priority patent/JP3239876U/ja
Publication of TWM632463U publication Critical patent/TWM632463U/zh
Priority to KR2020220002350U priority patent/KR20240000025U/ko

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/22Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806Specially adapted optical and illumination features
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956Inspecting patterns on the surface of objects
    • G01N2021/95638Inspecting patterns on the surface of objects for PCB's
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/10Scanning
    • G01N2201/104Mechano-optical scan, i.e. object and beam moving
    • G01N2201/1042X, Y scan, i.e. object moving in X, beam in Y

Landscapes

  • Biochemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Inspection Of Paper Currency And Valuable Securities (AREA)
  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

一種輸送模組包含輸送帶、機台以及至少一轉軸。機台配置以驅動輸送帶至少部分於某一平面沿某一方向傳動。轉軸具有中心軸線,而轉軸配置以繞中心軸線轉動,且轉軸包含沿中心軸線相連接之錐形部以及柱形部。柱形部可轉動地連接機台,錐形部之表面至少部分重合上述之平面以承托輸送帶。

Description

輸送模組及光學檢測裝置
本創作是關於一種輸送模組,以及配置有此輸送模組的光學檢測裝置。
隨著現今人們對電子產品的需求日益增加,電子產品中零件部件的品質也因而成為半導體產業的重要課題。除了改善及提升零件部件的製造技術外,能夠準確地對零件部件進行檢測也變得越來越重要。
舉例而言,在半導體產業中,光學檢測裝置普遍被採用以對不同的印刷電路板進行各種光學檢測。因此,光學檢測裝置的作業效能無疑受到相當的關注。
本創作之目的之一在於提供一種輸送模組,其能輸送較重的待測物,並讓影像獲取元件及光源以相對待測物較貼近的角度對待測物的底部進行影像獲取及照明。
根據本創作的一實施方式,一種輸送模組包含輸送帶、機台以及至少一轉軸。機台配置以驅動輸送帶至少部分於某一平面沿某一方向傳動。轉軸具有中心軸線,而轉軸配置以繞中心軸線轉動,且轉軸包含沿中心軸線相連接之錐形部以及柱形部。柱形部可轉動地連接機台,錐形部之表面至少部分重合上述之平面以承托輸送帶。
在本創作一或多個實施方式中,上述之錐形部之表面圍繞而形成若干銳角,此銳角遠離柱形部。中心軸線與平面之間形成若干角度,上述之銳角等於上述之角度之兩倍。
在本創作一或多個實施方式中,上述之輸送模組更包含至少一軸承。此軸承設置於機台,轉軸的柱形部沿中心軸線穿越軸承。
在本創作一或多個實施方式中,上述之軸承之數量為複數個,這些軸承沿中心軸線彼此分離。
在本創作一或多個實施方式中,上述之轉軸之數量為複數個,這些轉軸沿上述之方向排列並彼此分離。
在本創作一或多個實施方式中,上述之中心軸線彼此平行。
本創作之目的之一在於提供一種光學檢測裝置,其能輸送較重的待測物,並讓影像獲取元件及光源以相對待測物較貼近的角度對待測物的底部進行影像獲取及照明。
根據本創作的一實施方式,一種光學檢測裝置包含兩輸送帶、機台、複數個轉軸以及影像獲取元件。輸送帶配置以承托並輸送待測物,輸送帶沿第一方向彼此分離。機台配置以驅動輸送帶分別至少部分於某一平面沿第二方向傳動,第二方向垂直於第一方向。轉軸沿第二方向排列成兩排,轉軸彼此分離並與輸送帶位於平面之相對兩側。轉軸分別具有中心軸線,且分別配置以繞中心軸線轉動。轉軸包含沿中心軸線相連接之錐形部以及柱形部。錐形部位於柱形部之間。柱形部可轉動地連接機台,錐形部之表面至少部分重合上述之平面以承托對應之輸送帶。影像獲取元件與轉軸位於上述之平面之相同側,並配置以獲取待測物之影像。
在本創作一或多個實施方式中,上述之錐形部之表面圍繞而形成若干銳角,此銳角遠離對應之柱形部,對應之中心軸線與平面之間形成若干角度,上述之銳角等於上述對應之角度之兩倍。
在本創作一或多個實施方式中,上述之光學檢測裝置更包含光源。此光源與轉軸位於上述之平面之相同側,並配置以朝向待測物照明。
在本創作一或多個實施方式中,上述之光學檢測裝置更包含複數個軸承。這些軸承設置於機台,轉軸的柱形部沿對應之中心軸線穿越至少一軸承。
本創作上述實施方式至少具有以下優點:
(1)由於轉軸的錐形部具有錐形的形狀,且錐形部之表面圍繞而形成銳角,因此,光源能夠以相對待測物較貼近的角度(相同於錐形部的銳角)朝向待測物的底部照明,而影像獲取元件亦能夠以相對待測物較貼近的角度(相同於錐形部的銳角)對待測物的底部進行影像獲取。而且,有賴於錐形部的形狀,待測物的底部靠近輸送帶因轉軸的遮擋而無法被影像獲取元件進行影像獲取或被光源照明的部分能夠有效縮減,因而能提升光學檢測裝置的操作靈活性。
(2)由於轉軸的錐形部具有錐形的形狀,且承托輸送帶的錐形部相對柱形部朝上傾斜,因此,轉軸具有堅固的幾何結構作為懸臂以承托輸送帶及待測物的重量。
(3)當待測物承托於輸送帶上並受到輸送帶的帶動而沿第二方向移動時,由於轉軸可繞中心軸線轉動,因此轉軸不會對承托於錐形部上的輸送帶產生過大的磨擦力。如此一來,對於重量較大的待測物,光學檢測裝置亦可容易地使其在輸送帶上沿第二方向移動。
以下將以圖式揭露本創作之複數個實施方式,為明確說明起見,許多實務上的細節將在以下敘述中一併說明。然而,應瞭解到,這些實務上的細節不應用以限制本創作。也就是說,在本創作部分實施方式中,這些實務上的細節是非必要的。此外,為簡化圖式起見,一些習知慣用的結構與元件在圖式中將以簡單示意的方式繪示之,而在所有圖式中,相同的標號將用於表示相同或相似的元件。且若實施上為可能,不同實施例的特徵係可以交互應用。
除非另有定義,本文所使用的所有詞彙(包括技術和科學術語)具有其通常的意涵,其意涵係能夠被熟悉此領域者所理解。更進一步的說,上述之詞彙在普遍常用之字典中之定義,在本說明書的內容中應被解讀為與本創作相關領域一致的意涵。除非有特別明確定義,這些詞彙將不被解釋為理想化的或過於正式的意涵。
請參照第1~2圖。第1圖為繪示依照本創作一實施方式之光學檢測裝置100的立體示意圖。第2圖為繪示第1圖之光學檢測裝置100的立體示意圖,其中輸送帶111及待測物200被省略。在本實施方式中,如第1~2圖所示,一種光學檢測裝置100包含兩輸送模組110,而每個輸送模組110包含輸送帶111(輸送帶111請見第1圖)、機台112以及複數個轉軸113(轉軸113請見第2圖)。具體而言,兩輸送模組110的機台112可為共同結構,而輸送帶111實際上可為皮帶。輸送帶111沿第一方向D1彼此分離,並配置以承托並沿第二方向D2輸送待測物200,第二方向D2垂直於第一方向D1。在實務的應用中,待測物200例如可為印刷電路板,但本創作並不以此為限。機台112配置以驅動輸送帶111分別至少部分於平面CP(平面CP請見第3~4圖)沿第二方向D2傳動,以使輸送帶111可沿第二方向D2輸送待測物200。實際上,輸送帶111例如係由機台112的馬達驅動,然而,為使圖式更簡潔,馬達未繪示於圖式中,而機台112的其他部件亦被省略。具體而言,轉軸113沿第二方向D2分成兩排排列,例如第2圖所示的左排AL及右排AR,而沿左排AL排列及沿右排AR排列的轉軸113均在第二方向D2上彼此分離。
請參照第3圖。第3圖為繪示第1圖沿線段A-A的剖面圖。在本實施方式中,轉軸113與輸送帶111連接於平面CP,亦即轉軸113與輸送帶111位於平面CP之相對兩側。如第3圖所示,輸送帶111位於平面CP之上方,而轉軸113則位於平面CP之下方。再者,轉軸113具有中心軸線XL,且轉軸113配置以繞中心軸線XL轉動,而轉軸113包含錐形部1131以及柱形部1132。錐形部1131與柱形部1132沿中心軸線XL相連接,而柱形部1132可轉動地連接機台112。具體而言,如第3圖所示,複數個轉軸113的錐形部1131位於柱形部1132之間,亦即複數個轉軸113的錐形部1131指向機台112的內側,以利承托待測物200。在本實施方式中,如第2圖所示,轉軸113的中心軸線XL彼此平行,而中心軸線XL實際上可垂直於第二方向D2。
另外,光學檢測裝置100更包含影像獲取元件120。影像獲取元件120與轉軸113位於平面CP之相同側,如第3圖所示,影像獲取元件120與轉軸113均位於平面CP之下方,而影像獲取元件120配置以獲得待測物200的底部之影像,從而讓使用者可對待測物200進行檢測。為使圖式更簡潔,影像獲取元件120未繪示於第1~2圖中。
再者,光學檢測裝置100更包含光源130。光源130與轉軸113位於平面CP之相同側,如第3圖所示,光源130與轉軸113均位於平面CP之下方,而光源130實際上相較影像獲取元件120更接近待測物200。具體而言,光源130配置以朝向待測物200的底部照明,以利影像獲取元件120獲取待測物200的底部之影像。為使圖式更簡潔,光源130未繪示於第1~2圖中。
請參照第4圖。第4圖為繪示第3圖之範圍B的局部放大示意圖,其中影像獲取元件120及光源130相對待測物200傾斜。如第4圖所示,錐形部1131之表面圍繞而形成銳角α,銳角α遠離柱形部1132,而對應之中心軸線XL與平面CP之間形成角度β。值得注意的是,在本實施方式中,銳角α等於角度β之兩倍,亦即角度β為銳角α之一半。換句話說,藉由轉軸113相對平面CP以角度β傾斜,錐形部1131之表面可至少部分重合平面CP以承托對應之輸送帶111。在實務的應用中,銳角α的範圍可在16度至20度之間,例如銳角α可為16度、17度、18度、19度或20度等,但本創作並不以此為限。舉例而言,當錐形部1131的銳角α等於18度時,角度β則等於9度,亦即轉軸113的中心軸線XL相對平面CP傾斜9度。
進一步而言,由於轉軸113的錐形部1131具有錐形的形狀,且錐形部1131之表面圍繞而形成銳角α,因此,光源130能夠以相對待測物200較貼近的角度(相同於銳角α)朝向待測物200的底部照明,而影像獲取元件120亦能夠以相對待測物200較貼近的角度(相同於銳角α)對待測物200的底部進行影像獲取,如第4圖所示。舉例而言,當錐形部1131的銳角α等於18度時,光源130能夠相對待測物200傾斜18度以朝向待測物200的底部照明,而影像獲取元件120亦能夠相對待測物200傾斜18度以對待測物200的底部進行影像獲取。
而且,有賴於錐形部1131的形狀,待測物200的底部靠近輸送帶111因轉軸113的遮擋而無法被影像獲取元件120進行影像獲取或被光源130照明的部分(或稱為“下陰影遮蔽區Z”,如第4圖所示)能夠有效縮減,因而能提升光學檢測裝置100的操作靈活性。在實務的應用中,舉例而言,下陰影遮蔽區Z的寬度可縮減至8.3公釐。
在實務的應用中,輸送模組110更包含複數個軸承114。這些軸承114設置於機台112,而轉軸113的柱形部1132沿對應之中心軸線XL穿越至少一軸承114。舉例而言,如第4圖所示,被柱形部1132穿越的軸承114之數量為兩個,且這些軸承114沿中心軸線XL彼此分離,因而有利於轉軸113支撐輸送帶111及待測物200的重量。
進一步而言,由於轉軸113的錐形部1131具有錐形的形狀,且承托輸送帶111的錐形部1131相對柱形部1132朝上傾斜,因此,轉軸113具有堅固的幾何結構作為懸臂以承托輸送帶111及待測物200的重量。
再者,當待測物200承托於輸送帶111上並受到輸送帶111的帶動而沿第二方向D2移動時,由於轉軸113可繞中心軸線XL轉動,因此轉軸113不會對承托於錐形部1131上的輸送帶111產生過大的磨擦力。如此一來,對於重量較大的待測物200,光學檢測裝置100亦可容易地使其在輸送帶111上沿第二方向D2移動。
舉例而言,藉由轉軸113堅固的結構,光學檢測裝置100可承托重達15公斤的待測物200,而藉由轉軸113可相對輸送帶111轉動的連接關係,光學檢測裝置100更可容易地使重達15公斤的待測物200在輸送帶111上沿第二方向D2移動。
請參照第5~6圖。第5圖為繪示第3圖之範圍B的局部放大示意圖,其中影像獲取元件120相對待測物200傾斜而光源130位於待測物200之正下方。第6圖為繪示第3圖之範圍B的局部放大示意圖,其中光源130相對待測物200傾斜而影像獲取元件120位於待測物200之正下方。在操作光學檢測裝置100時,根據實際狀況,影像獲取元件120與光源130分別相對待測物200的傾斜角度可以不同。舉例而言,如第5圖所示,影像獲取元件120相對待測物200以相同於銳角α的角度傾斜,而光源130則位於待測物200之正下方。另外,如第6圖所示,光源130相對待測物200以相同於銳角α的角度傾斜,而影像獲取元件120則位於待測物200之正下方。
綜上所述,本創作上述實施方式所揭露的技術方案至少具有以下優點:
(1)由於轉軸的錐形部具有錐形的形狀,且錐形部之表面圍繞而形成銳角,因此,光源能夠以相對待測物較貼近的角度(相同於錐形部的銳角)朝向待測物的底部照明,而影像獲取元件亦能夠以相對待測物較貼近的角度(相同於錐形部的銳角)對待測物的底部進行影像獲取。而且,有賴於錐形部的形狀,待測物的底部靠近輸送帶因轉軸的遮擋而無法被影像獲取元件進行影像獲取或被光源照明的部分能夠有效縮減,因而能提升光學檢測裝置的操作靈活性。
(2)由於轉軸的錐形部具有錐形的形狀,且承托輸送帶的錐形部相對柱形部朝上傾斜,因此,轉軸具有堅固的幾何結構作為懸臂以承托輸送帶及待測物的重量。
(3)當待測物承托於輸送帶上並受到輸送帶的帶動而沿第二方向移動時,由於轉軸可繞中心軸線轉動,因此轉軸不會對承托於錐形部上的輸送帶產生過大的磨擦力。如此一來,對於重量較大的待測物,光學檢測裝置亦可容易地使其在輸送帶上沿第二方向移動。
雖然本創作已以實施方式揭露如上,然其並非用以限定本創作,任何熟習此技藝者,在不脫離本創作之精神和範圍內,當可作各種之更動與潤飾,因此本創作之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
100:光學檢測裝置 110:輸送模組 111:輸送帶 112:機台 113:轉軸 1131:錐形部 1132:柱形部 114:軸承 120:影像獲取元件 130:光源 200:待測物 A-A:線段 AL:左排 AR:右排 B:範圍 CP:平面 D1:第一方向 D2:第二方向 XL:中心軸線 Z:下陰影遮蔽區 α:銳角 β:角度
第1圖為繪示依照本創作一實施方式之光學檢測裝置的立體示意圖。 第2圖為繪示第1圖之光學檢測裝置的立體示意圖,其中輸送帶及待測物被省略。 第3圖為繪示第1圖沿線段A-A的剖面圖。 第4圖為繪示第3圖之範圍B的局部放大示意圖,其中影像獲取元件及光源相對待測物傾斜。 第5圖為繪示第3圖之範圍B的局部放大示意圖,其中影像獲取元件相對待測物傾斜而光源位於待測物之正下方。 第6圖為繪示第3圖之範圍B的局部放大示意圖,其中光源相對待測物傾斜而影像獲取元件位於待測物之正下方。
110:輸送模組
111:輸送帶
112:機台
113:轉軸
1131:錐形部
1132:柱形部
114:軸承
120:影像獲取元件
130:光源
200:待測物
B:範圍
CP:平面
D1:第一方向
D2:第二方向
XL:中心軸線
Z:下陰影遮蔽區
α:銳角
β:角度

Claims (10)

  1. 一種輸送模組,包含: 一輸送帶; 一機台,配置以驅動該輸送帶至少部分於一平面沿一方向傳動;以及 至少一轉軸,具有一中心軸線,該轉軸配置以繞該中心軸線轉動,且該轉軸包含沿該中心軸線相連接之一錐形部以及一柱形部,該柱形部可轉動地連接該機台,該錐形部之表面至少部分重合該平面以承托該輸送帶。
  2. 如請求項1所述之輸送模組,其中該錐形部之表面圍繞而形成一銳角,該銳角遠離該柱形部,該中心軸線與該平面之間形成一角度,該銳角等於該角度之兩倍。
  3. 如請求項1所述之輸送模組,更包含: 至少一軸承,設置於該機台,該柱形部沿該中心軸線穿越該軸承。
  4. 如請求項3所述之輸送模組,其中該軸承之數量為複數個,該些軸承沿該中心軸線彼此分離。
  5. 如請求項1所述之輸送模組,其中該轉軸之數量為複數個,該些轉軸沿該方向排列並彼此分離。
  6. 如請求項5所述之輸送模組,其中該些中心軸線彼此平行。
  7. 一種光學檢測裝置,包含: 兩輸送帶,配置以承托並輸送一待測物,該些輸送帶沿一第一方向彼此分離; 一機台,配置以驅動該些輸送帶分別至少部分於一平面沿一第二方向傳動,該第二方向垂直於該第一方向; 複數個轉軸,沿該第二方向排列成兩排,該些轉軸彼此分離並與該些輸送帶位於該平面之相對兩側,該些轉軸分別具有一中心軸線,每一該些轉軸配置以繞該中心軸線轉動,且每一該些轉軸包含沿該中心軸線相連接之一錐形部以及一柱形部,該些錐形部位於該些柱形部之間,每一該些柱形部可轉動地連接該機台,每一該些錐形部之表面至少部分重合該平面以承托對應之該輸送帶;以及 一影像獲取元件,該影像獲取元件與該些轉軸位於該平面之相同側,並配置以獲取該待測物之一影像。
  8. 如請求項7所述之光學檢測裝置,其中每一該些錐形部之表面圍繞而形成一銳角,每一該些銳角遠離對應之該柱形部,對應之該中心軸線與該平面之間形成一角度,每一該些銳角等於對應之該角度之兩倍。
  9. 如請求項7所述之光學檢測裝置,更包含: 一光源,該光源與該些轉軸位於該平面之相同側,並配置以朝向該待測物射出一光線。
  10. 如請求項7所述之光學檢測裝置,更包含: 複數個軸承,設置於該機台,每一該些柱形部沿對應之該中心軸線穿越至少一該些軸承。
TW111206858U 2022-06-28 2022-06-28 輸送模組及光學檢測裝置 TWM632463U (zh)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW111206858U TWM632463U (zh) 2022-06-28 2022-06-28 輸送模組及光學檢測裝置
JP2022003140U JP3239876U (ja) 2022-06-28 2022-09-21 搬送モジュール及び光学検査装置
KR2020220002350U KR20240000025U (ko) 2022-06-28 2022-10-05 전송 모듈 및 광학 검사 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW111206858U TWM632463U (zh) 2022-06-28 2022-06-28 輸送模組及光學檢測裝置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TWM632463U true TWM632463U (zh) 2022-09-21

Family

ID=84027159

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW111206858U TWM632463U (zh) 2022-06-28 2022-06-28 輸送模組及光學檢測裝置

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP3239876U (zh)
KR (1) KR20240000025U (zh)
TW (1) TWM632463U (zh)

Also Published As

Publication number Publication date
JP3239876U (ja) 2022-11-17
KR20240000025U (ko) 2024-01-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7714996B2 (en) Automatic inspection system for flat panel substrate
US7564544B2 (en) Method and system for inspecting surfaces with improved light efficiency
TWI524064B (zh) 多重瑕疵檢出之光學檢測設備
KR101120226B1 (ko) 표면 검사 장치
WO2008110061A1 (fr) Système d'auto-test de substrat plan et procédé afférent
JP2008014697A (ja) 表面検査装置
JP2008131025A (ja) ウエーハ裏面検査装置
JP2012103256A (ja) 検査装置
JP7246938B2 (ja) 検査装置
TWM632463U (zh) 輸送模組及光學檢測裝置
KR101663755B1 (ko) 인덱스형 액정 셀 검사장치
US4593190A (en) Apparatus for inspecting capsules
JP2009236633A (ja) X線異物検査装置
JP2004309287A (ja) 欠陥検出装置、および欠陥検出方法
CN217478236U (zh) 输送模块及光学检测装置
TW202102839A (zh) 外觀檢查裝置
JP6067407B2 (ja) 検査装置
JP2005308623A (ja) 光学部材検査装置
TWM479416U (zh) 元件檢測裝置
KR101613738B1 (ko) 전송-모드 측정을 위한 오프-축 시트-처리 장치 및 방법
KR101280569B1 (ko) 기판검사장치
JP2009115532A (ja) パターン検査装置
TWI377341B (en) Optical inspection device for inspecting article surface
KR20120063870A (ko) 기판이송유닛 및 이를 이용한 기판검사장치
CN210269645U (zh) 光学检测装置

Legal Events

Date Code Title Description
GD4K Issue of patent certificate for granted utility model filed before june 30, 2004