KR20120063870A - 기판이송유닛 및 이를 이용한 기판검사장치 - Google Patents

기판이송유닛 및 이를 이용한 기판검사장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20120063870A
KR20120063870A KR1020100125031A KR20100125031A KR20120063870A KR 20120063870 A KR20120063870 A KR 20120063870A KR 1020100125031 A KR1020100125031 A KR 1020100125031A KR 20100125031 A KR20100125031 A KR 20100125031A KR 20120063870 A KR20120063870 A KR 20120063870A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
inspection
camera
transfer unit
housing
Prior art date
Application number
KR1020100125031A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101311852B1 (ko
Inventor
박장연
Original Assignee
엘아이지에이디피 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘아이지에이디피 주식회사 filed Critical 엘아이지에이디피 주식회사
Priority to KR1020100125031A priority Critical patent/KR101311852B1/ko
Publication of KR20120063870A publication Critical patent/KR20120063870A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101311852B1 publication Critical patent/KR101311852B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67784—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations using air tracks
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
    • B65G49/065—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position supported partially or completely on fluid cushions, e.g. a gas cushion
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G51/00—Conveying articles through pipes or tubes by fluid flow or pressure; Conveying articles over a flat surface, e.g. the base of a trough, by jets located in the surface
    • B65G51/02—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases
    • B65G51/03—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases over a flat surface or in troughs
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • H01L22/10—Measuring as part of the manufacturing process
    • H01L22/12—Measuring as part of the manufacturing process for structural parameters, e.g. thickness, line width, refractive index, temperature, warp, bond strength, defects, optical inspection, electrical measurement of structural dimensions, metallurgic measurement of diffusions
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • H01L22/30—Structural arrangements specially adapted for testing or measuring during manufacture or treatment, or specially adapted for reliability measurements

Abstract

본 발명에 따른 기판검사장치는 기판이 이송되는 영역이 구비된 프레임, 상기 프레임의 상부에 위치하고, 상기 기판의 상면을 촬영하는 상부검사모듈 및 상기 프레임에 회전 가능하게 설치되는 회전축과, 상기 회전축에 일정간격으로 설치되어 상기 기판과 접촉하는 이송롤러, 그리고 상기 기판이 부상되도록 상기 기판을 향해 기체를 분출하는 분사홀을 구비하는 기판이송유닛을 포함하여 이송롤러에 의해 발생하는 기판의 진동 등을 최소화하여 정밀한 검사가 가능하게 한다.

Description

기판이송유닛 및 이를 이용한 기판검사장치{SUBSTRATE TRANSFER UNIT AND INSPECTING APPARATUS USING THE SAME}
본 발명은 기판이송유닛 및 이를 이용한 기판검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판의 진동을 최소화하는 기판이송유닛 및 이를 이용한 기판검사장치에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼나 LCD, PDP, EL 등의 대형 기판을 생산할 때 기판에 남아 있는 이물질이나 각종 얼룩 및 스크래치 등의 결함 또는 기판에 형성된 패턴의 결함 여부를 확인하기 위하여 검사를 실시한다. 검사장치로는 검사자의 육안을 통한 마크로 검사장치(Macro Inspection)와, 광학렌즈와 CCD(charged coupled device) 카메라를 사용하는 인라인 자동광학검사장치(In-Line Automatic Optical Inspection)가 있다.
특히 인라인 자동광학검사장치는 광학렌즈와 CCD 카메라를 사용하여 검사 대상물의 이미지를 캡처(Capture)한 후 비전(Vision) 이미지 프로세싱 알고리즘을 적용하여 사용자가 찾아내고자 하는 각종 결함을 검출해 내는 장치이다.
자동광학검사장치 내에서 기판을 이송할 때, 컨베이어를 이용하는 경우가 있으나, 기판의 진동 등으로 인해 카메라에 의한 촬영 시 검사오류가 자주 발생하고 기판의 무게로 인해 기판과 이송장치의 접촉면에서 결함이 발생하는 문제가 있다.
또한, 기판 이송에 에어 슬라이더(Air Slider)를 이용하는 경우가 있으나, 컨베이어 이송장치에 비해 기판의 진동은 상대적으로 적지만 지나치게 고가이며, 기판이 대형화됨에 따라 기판 전면을 균일하게 부상시키기 어려우며 제작비용이 크게 상승하는 문제가 있다.
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 기판이송유닛 및 기판검사장치를 제공하기 위함이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 기판검사장치는 기판이 이송되는 영역이 구비된 프레임, 상기 프레임의 상부에 위치하고, 상기 기판의 상면을 촬영하는 상부검사모듈 및 상기 프레임에 회전 가능하게 설치되는 회전축과, 상기 회전축에 일정간격으로 설치되어 상기 기판과 접촉하는 이송롤러, 그리고 상기 기판이 부상되도록 상기 기판을 향해 기체를 분출하는 분사홀을 구비하는 기판이송유닛을 포함한다.
상기 기판이송유닛은 상기 분사홀이 형성된 하우징과, 상기 하우징 내부에 설치되어 상기 분사홀과 연통되는 공압실을 더 구비할 수 있다.
상기 회전축은 상기 하우징을 관통하여 설치되고, 상기 이송롤러의 원주면 일부는 상기 하우징의 외부로 돌출될 수 있다.
상기 상부검사모듈은, 상기 기판의 상면에서 반사되는 반사조명을 이용해 상기 기판의 상면을 촬영하는 상부검사카메라를 구비할 수 있다.
상기 상부검사모듈은, 상기 상부검사카메라보다 하류 측에 위치하여 상기 상부반사검사카메라가 촬영한 이미지 중 상기 기판의 결함의심영역으로 판단된 영역을 재촬영하는 상부리뷰카메라를 더 구비할 수 있다.
상기 기판 이송부의 하부에 위치하고 상기 회전축 사이에 설치되어 상기 기판의 하면을 촬영하는 하부검사모듈을 더 구비할 수 있다.
상기 하부검사모듈과 대응되는 위치에 상기 기판이송유닛을 더 구비할 수 있다.
또한, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 기판이송유닛은 기체가 분출되는 복수 개의 분사홀이 형성된 하우징, 상기 분사홀과 연통되는 공압실, 상기 하우징을 관통하며, 일측이 동력전달수단에 결합되어 회전가능하게 설치되는 회전축 및 상기 회전축에 일정간격으로 설치되며, 원주면의 일부가 상기 하우징의 외측으로 돌출되는 이송롤러를 포함한다.
상기 분사홀은 상기 하우징의 외측으로 돌출되는 상기 이송롤러의 주위에 위치될 수 있다.
상기 하우징은 상기 회전축에서 상기 동력전달수단과 결합되는 부분과, 상기 이송롤러가 설치되는 부분이 격리되도록 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 기판이송유닛은 기판과 이송롤러 사이에 발생할 수 있는 스크래치 등의 흠결을 방지하고, 이송 중 기판의 진동을 줄이는 효과가 있다.
본 발명에 따른 기판검사장치는 이송롤러에 의해 발생하는 기판의 진동 등을 최소화하여 정밀한 검사가 이루어지도록 하는 효과가 있다.
이상과 같은 본 발명의 기술적 효과는 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판이송유닛의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 기판이송유닛의 절개사시도이다.
도 3은 도 1의 A-A'선에 의한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 기판검사장치의 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 기판검사장치의 평면도이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 검사장치의 측면도이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 실시예는 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 위하여 과장되게 표현된 부분이 있을 수 있으며, 도면 상에서 동일 부호로 표시된 요소는 동일 요소를 의미한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판이송유닛의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 기판이송유닛의 절개사시도이며, 도 3은 도 1의 A-A'선에 의한 단면도이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 기판이송유닛(110)은 복수 개의 분사홀(115)이 형성된 하우징(111), 하우징(111)의 장축을 관통하는 회전축(112), 그리고 회전축(112)에 일정간격으로 설치되며 하우징(111) 상측으로 몸체의 일부가 돌출되는 이송롤러(113)를 구비한다.
하우징(111)의 상면에는 이송롤러(113)가 돌출될 수 있도록 장방형의 이송롤러홈(114)이 일정간격으로 복수 개 형성될 수 있고, 이송롤러홈(114)의 주변으로 기체가 분사되는 분사홀(115)이 형성될 수 있다. 분사홀(115)은 도시된 바와 같이 이송롤러홈(114)의 길이방향 좌우측에 형성될 수도 있으나, 이웃하는 이송롤러홈(114)의 사이에 위치할 수도 있다.
회전축(112)이 관통하는 하우징(111)의 측면에는 회전축(112)이 회전할 수 있도록 각각 베어링(116)이 설치될 수 있다. 따라서 회전축(112)이 회전 시에, 하우징(111)은 회전축(112)과는 독립적으로 고정되어 있을 수 있다.
회전축(112)에는 이송롤러홈(114)의 위치에 대응되도록 일정간격으로 복수 개의 이송롤러(113)가 설치된다. 회전축(112)의 회전시 진동을 최소화하기 위해 이송롤러(113)는 회전축(112)과 동축으로 설치됨이 바람직하다. 이송롤러(113)는 기판(미도시)이 이송될 때 기판의 하면과 직접 접촉하여, 기판을 지지하면서 회전에 의해 기판을 이송하므로, 기판과의 마찰력을 높임과 동시에 스크래치 등이 발생하지 않도록 고무 또는 합성수지 등으로 형성될 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 분사홀(115)은 하우징(111) 내에 위치하는 공압실(117)과 연통될 수 있다. 공압실(117)은 외부에 별도로 구비되는 기체공급장치(미도시)와 연결되어, 공압실(117)과 연통된 다수 개의 분사홀(115)로 동일한 압력의 기체가 분사될 수 있도록 하여 기판에 균일한 부상력을 제공할 수 있다. 공압실(117)은 회전축(112)의 좌우에 회전축(112)의 길이방향과 평행하게 구비될 수 있다. 그리고 좌우의 공압실(117)은 서로 연통될 수 있다. 또한 도시하진 않았지만, 공압실(117) 대신에 기체공급장치와 각 분사홀(115)을 직접 연결하는 기체공급라인을 구비할 수도 있다.
하우징(111)의 측면으로 노출된 회전축(112)의 일측으로는 회전축(112)을 회전가능하게 하는 동력전달수단이 결합된다. 예를 들면, 구동원인 구동모터가 회전축(112)에 직접 결합될 수도 있고, 또는 구동모터와 체인-스프라켓 또는 벨트-풀리 등의 결합으로 연결될 수도 있다. 또는 자력으로 동력을 전달하는 마그네틱 롤러를 이용할 수도 있다.
동력전달수단에서 발생되는 파티클이 이송롤러(113)나 분사홀(115)을 통해 기판을 오염시킬 수 있으므로, 회전축(112)에서 동력전달수단이 결합되는 부분과 이송롤러(113)가 결합되는 부분은 서로 격리될 수 있도록, 하우징(111)의 저면과 측면은 회전축(112)에서 이송롤러(113)가 결합된 부분과 이송롤러(113)를 감싸도록 형성될 수 있다. 또는 도시되진 않았지만, 회전축(112)과 동력전달수단이 결합되는 부분을 에워싸는 케이스가 구비될 수도 있다. 이 경우 케이스의 일측으로 케이스 내부에서 발생한 파티클을 배기하는 배기부가 구비될 수 있다.
상기와 같은 구성에 의해 본 발명의 일실시예에 따른 기판이송유닛(110)은 동력전달수단에 의해 회전축(112)에 회전력이 전달되면, 회전축(112)과 일체로 구비된 이송롤러(113)가 회전하게 된다. 이송대상인 기판은 하우징(111) 외부로 돌출된 이송롤러(113)에 의해 지지되며, 이송롤러(113)의 회전에 의해 이송된다.
그리고 동시에 기체공급장치(미도시)에서 공급된 기체는 공압실(117)을 거쳐 분사홀(115)을 통해 기판을 향해 분사되어, 기판을 부상시킨다. 따라서 이송롤러(113)가 지지하는 기판의 하중이 줄어들게 되고, 그 결과 기판의 무게로 인해 이송롤러(113)와의 접촉으로 인한 기판 하면에 발생할 수 있는 스크래치 등을 방지할 수 있고, 또한 기판의 진동을 최소화 할 수 있다. 다만 이송롤러(113)에 의한 기판의 이송을 위해 이송롤러(113)와 기판이 접촉을 유지할 수 있는 범위에서 기판을 부상시킴이 바람직하다.
본 발명에 따른 기판이송유닛(110)은 복수 개가 기판이송방향에 대략 수직으로 일정간격으로 설치되어 기판을 이송할 수 있으며, 기판검사장치 뿐만 아니라, 기판의 이송 및 정밀 이송이 필요한 장비에도 사용될 수 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 기판이송유닛(110)을 이용하는 기판검사장치(100)에 대해 설명한다. 설명의 편의를 위해 상술한 기판이송유닛(110)에 대하여 동일한 도면번호를 사용하고, 공통되는 부분은 설명을 생략한다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 기판검사장치의 사시도이고, 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 기판검사장치의 평면도이며, 도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 기판검사장치의 측면도이다.
도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 기판검사장치(100)는 기판(미도시)이 이송되는 영역이 구비된 프레임(101), 프레임(101)에 설치되어 기판을 이송하는 기판이송부, 프레임(101)의 상부에 위치하는 상부검사모듈(130), 기판이송부의 하부에 위치하는 하부검사모듈(150), 그리고 기판이송유닛(110)을 구비한다.
도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 프레임(101)에는 기판을 지지하며 이송하는 이송롤러(113), 이송롤러(113)와 일체로 형성되어 이송롤러(113)를 회전시키는 회전축(112), 회전축(112)에 회전력을 전달하는 구동원(124)과 동력전달수단(125, 126)을 구비하는 기판이송부가 설치될 수 있다.
프레임(101)에 회전 가능하게 설치되는 복수 개의 회전축(112)은 기판이송방향에 대략 수직으로 서로 일정간격 이격되어 설치될 수 있다. 그리고 각 회전축(112)에는 회전축(112)과 동축결합되는 이송롤러(113)가 회전축(112)에 일정간격으로 설치될 수 있다. 이송롤러(113)는 기판의 하면과 직접 접촉하여 기판을 지지하면서 회전에 의해 기판을 이송하므로, 기판과의 마찰력을 높임과 동시에 스크래치 등이 발생되지 않도록 고무 또는 합성수지 등으로 형성될 수 있다.
구동원(124)은 회전동력을 발생하는 전동모터가 사용될 수 있으며, 회전동력을 회전축(112)으로 전달하는 동력전달수단(125, 126)으로는 예를 들면, 도 5에 도시된 바와 같이 벨트(125)와 풀리(126)가 이용될 수 있다. 또는 체인과 스프라켓이 이용될 수 있으며, 그 외에도 자력에 의해 동력이 전달되는 마그네틱 롤러가 이용될 수도 있다.
기판의 상면을 촬영하는 상부검사모듈(130)은 프레임(101)으로부터 연장 지지되어, 기판이송부의 상부에 설치될 수 있다. 상부검사모듈(130)은 기판의 상면에서 반사된 조명에 의해 기판의 상면을 촬영하는 상부검사카메라(131)와 기판 상면의 흠결 의심 영역을 정밀 검사하는 상부리뷰카메라(132)를 포함할 수 있다.
도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상부검사카메라(131)는, 기판이송부의 상부에 설치되는 카메라지지대(133)에 설치될 수 있다.
더욱 자세하게는, 상부검사카메라(131)는 기판의 폭 전체를 촬영할 수 있도록 카메라지지대(133)의 일면에 기판이송부를 향해 기판의 폭 방향으로 다수 개가 배열될 수 있다. 상부검사카메라(131)로는 CCD(charged coupled device) 카메라를 사용할 수 있다.
도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상부검사카메라(131)의 일측에는 제1 조명부(134)가 위치할 수 있다. 제1 조명부(134)는 상부검사카메라(131)가 기판 상면의 이미지를 획득할 수 있도록, 상부검사카메라(131)에 조명을 제공한다. 제1 조명부(134)는 각각의 상부검사카메라(131)마다 구비될 수 있다.
그리고 제1 조명부(134)와 상부검사카메라(131)의 중심축이 교차하는 위치에는 하프미러(미도시)가 구비될 수 있다. 제1 조명부(134)에서 조사된 빛은 하프미러에 의해 반사되어 기판을 향해 조사된다. 기판에 조사된 빛은 기판 상면에서 반사되어 다시 하프미러에 조사되고, 이 빛은 하프미러를 통과해 상부검사카메라(131)에 입사된다. 그 결과 상부검사카메라(131)는 기판 상면의 이미지를 획득할 수 있게 된다.
도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상부리뷰카메라(132)는 기판이송부의 상부에 설치되는 갠트리(gantry)(135)에 설치될 수 있다. 갠트리(135)는 상부검사카메라(131)가 설치되는 카메라지지대(133)보다 기판 이동방향으로 일정간격 이격되어 카메라지지대(133)와 대략 평행하게 설치될 수 있다.
상부리뷰카메라(132)는 갠트리(135)의 일면에 기판의 폭 방향으로 이동 가능하게 설치될 수 있다. 상부리뷰카메라(132)는 상부검사카메라(131)가 촬영한 이미지를 기초로, 흠결이 존재하는 것으로 의심되는 영역으로 이동되어 해당 영역을 상부검사카메라(131)보다 높은 해상도로 촬영할 수 있다. 또는, 갠트리(135)의 일면에 다수 개의 상부리뷰카메라(132)가 고정식으로 배열될 수도 있다.
상부검사모듈(130)에 구비된 상부검사카메라(131), 상부리뷰카메라(132) 중 적어도 하나 이상의 카메라가 지향하는 곳과 대응되는 기판이송부에는 기판이송유닛(110)이 설치될 수 있다.
이는 기판검사과정에서 이송롤러(113)에 의한 기판의 요동으로 인해 정밀한 검사가 이루어지지 않는 것을 방지하기 위함이다. 즉 기판을 검사하는 카메라가 촬영하는 위치에서는 기판이송유닛(110)에 의해 기판을 부상시켜 이송롤러(113)에 의한 진동을 최소화하여 기판 검사의 정밀도를 향상할 수 있다.
도 6에 도시된 바와 같이, 기판이송부의 하부에 위치하는 하부검사모듈(150)은, 기판의 하면에서 반사된 조명에 의해 기판의 하면을 촬영하는 하부검사카메라(151)와, 기판 하면의 흠결 의심 영역을 정밀 검사하는 하부리뷰카메라(152)를 포함할 수 있다.
프레임(101) 내부의 저면에는 베이스(153)가 구비된다.
베이스(153) 상면에는 하부검사카메라(151)를 지지하는 제1 지지대(154)가 구비되며, 제1 지지대(154)의 일측에는 하부검사카메라(151)가 기판 하면의 폭 전체를 촬영할 수 있도록 기판이송부의 회전축(112) 사이에 위치하여 기판의 폭 방향으로 다수 개가 설치될 수 있다. 하부검사카메라(151)는 CCD(charged coupled device) 카메라를 사용할 수 있다.
도 6에 도시된 바와 같이, 하부검사카메라(151)의 일측에는 제2 조명부(156)가 위치할 수 있다. 제2 조명부(156)는 하부검사카메라(151)가 기판 하면의 이미지를 획득할 수 있도록, 하부검사카메라(151)에 조명을 제공한다. 제2 조명부(156)는 각각의 하부검사카메라(151)마다 구비될 수 있다.
제2 조명부(156)와 하부검사카메라(151)의 중심축이 교차하는 위치에는 하프미러(미도시)가 구비될 수 있다. 제2 조명부(156)에서 조사된 빛은 하프미러에 의해 반사되어 기판 하면을 향해 조사된다. 기판에 조사된 빛은 기판 하면에서 반사되어 다시 하프미러에 조사되고, 이 빛은 하프미러를 통과해 하부검사카메라(151)에 입사된다. 그 결과 하부검사카메라(151)는 기판 하면의 이미지를 획득할 수 있게 된다.
베이스(153)의 상부에는 하부리뷰카메라(152)를 지지하고 이동시키는 제2 지지대(157)가 구비될 수 있다. 제2 지지대(157)는 제1 지지대(154)로부터 기판 이동방향으로 일정간격 이격되어 제1 지지대(154)와 대략 평행하게 설치될 수 있다.
하부리뷰카메라(152)는 제2 지지대(157)의 일면에 기판의 폭 방향으로 이동 가능하게 설치될 수 있다. 하부리뷰카메라(152)는 하부검사카메라(151)가 촬영한 이미지를 기초로, 흠결이 존재하는 것으로 의심되는 영역으로 이동하여 해당 영역을 하부검사카메라(151)보다 높은 해상도로 촬영할 수 있다. 또는, 제2 지지대(157)의 일면에 다수 개의 하부리뷰카메라(152)가 고정식으로 배열될 수도 있다.
하부검사모듈(150)에 구비된 하부검사카메라(151), 하부리뷰카메라(152) 중 적어도 하나 이상의 카메라가 지향하는 곳과 대응되는 기판이송부에는 기판이송유닛(110)이 설치될 수 있다.
이는 상술한 바와 같이, 기판검사과정에서 이송롤러(113)에 의한 기판의 요동으로 인해 정밀한 검사가 이루어지지 않는 것을 방지하기 위함이다.
이하에서는, 본 발명의 일실시예에 따른 기판검사장치(100)의 작동에 대해 설명한다.
본 실시예에 따른 기판검사장치(100)는 기판 상에 형성된 패턴의 크기, 단차 및 결함 등을 검사할 수 있다. 동시에 기판 하부에 발생한 이물질 부착 및 스크래치 등의 흠결을 검사할 수 있다. 이러한 검사는 하나의 단위공정이 끝날 때마다 이루어지도록 할 수 있고, 또는 기판이 완성된 상태에서 검사가 이루어지도록 할 수도 있다.
본 실시예에 따른 기판검사장치(100)는 이전 공정에서 공정이 완료된 기판이 진입하면 기판을 이송롤러(113) 위에 안착시키고 기판의 위치를 정렬한다. 정렬이 완료되면, 구동원(124)이 회전축(112)에 회전력을 전달하고 회전축(112)과 이송롤러(113)가 함께 회전하며 기판을 이송시킨다.
동시에 기판이송유닛(110)에 형성된 분사홀(115)을 통해 기체가 공급되며, 기판이 기판이송유닛(110)을 지날 때 분사홀(115)을 통해 분출된 기체에 의해 부상되게 된다.
기판의 이동 중에, 상부검사카메라(131)는 기판의 폭 전체를 계속하여 촬영한다. 상부검사카메라(131)에 의해 촬영된 이미지는 별도로 구비되는 제어부(미도시)에 전송되고, 제어부는 기 설정된 비전(Vision) 이미지 프로세싱 알고리즘를 이용해 흠결이 의심되는 영역을 판단한다.
기판이 계속 이동하여 해당 의심영역이 상부리뷰카메라(132)가 위치한 라인에 도달하면, 제어부는 상부리뷰카메라(132)를 흠결이 의심되는 영역으로 수평 이동시켜 해당 영역을 정밀 촬영하고, 이를 바탕으로 결함여부를 확인한다.
기판의 상부에 대해 상부검사모듈(130)의 검사가 이루어지는 동안 기판의 하면에 대하여도 하부검사모듈(150)에 의해 검사가 이루어진다.
기판이 기판이송유닛(110)이 의해 부상하여 이동할 때, 하부검사카메라(151)는 기판의 하면에 대해 기판의 폭 전체를 계속하여 촬영한다. 하부검사카메라(151)에 의해 촬영된 이미지는 제어부로 전송되고, 제어부는 기 설정된 비전 이미지 프로세싱 알고리즘을 이용해 흠결이 의심되는 영역을 판단한다.
기판이 계속 이동하여 해당 의심영역이 하부리뷰카메라(152)가 위치한 라인에 도달하면, 제어부는 하부리뷰카메라(152)를 흠결이 의심되는 영역으로 수평 이동시켜 해당 영역을 정밀 촬영하고, 이를 바탕으로 결함여부를 확인할 수 있다.
상기와 같은 구성에 의해 본 발명에 따른 기판검사장치(100)는, 이송롤러(113)를 이용하여 기판을 이송하므로, 에어 슬라이더를 사용하는 검사장치에 비해 제작비용이 훨씬 저렴하며, 이송롤러(113)에 의해 발생하는 기판의 진동 등을 기판이송유닛(110)에 의해 최소화하여 기판을 검사하는 카메라가 정밀한 검사를 할 수 있도록 한다.
또한 하부검사모듈(150)의 설치에 있어서, 에어 슬라이더를 사용하는 검사장치는 하부검사모듈(150)의 카메라가 기판의 하면을 촬영할 수 있도록 에어 슬라이더를 관통하는 창을 형성하여야 하고 이에 의한 제작비용 상승을 초래하나, 본 발명에 따른 기판검사장치(100)는 회전축(112) 사이에 카메라를 위치시킴으로 기판의 하면을 촬영할 수 있는 장점이 있다.
앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 일 실시예는, 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.
100: 기판검사장치 131: 상부검사카메라
110: 기판이송유닛 132: 상부리뷰카메라
111: 하우징 134: 제1 조명부
112: 회전축 151: 하부검사카메라
113: 이송롤러 152: 하부리뷰카메라
114: 이송롤러홈 153: 베이스
115: 분사홀 156: 제2 조명부
117: 공압실
124: 구동원
125: 벨트
126: 폴리

Claims (10)

  1. 기판이 이송되는 영역이 구비된 프레임;
    상기 프레임의 상부에 위치하고, 상기 기판의 상면을 촬영하는 상부검사모듈; 및
    상기 프레임에 회전 가능하게 설치되는 회전축과, 상기 회전축에 일정간격으로 설치되어 상기 기판과 접촉하는 이송롤러, 그리고 상기 기판이 부상되도록 상기 기판을 향해 기체를 분출하는 분사홀을 구비하는 기판이송유닛을 포함하는 기판검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기판이송유닛은 상기 분사홀이 형성된 하우징과, 상기 하우징 내부에 설치되어 상기 분사홀과 연통되는 공압실을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 회전축은 상기 하우징을 관통하여 설치되고, 상기 이송롤러의 원주면 일부는 상기 하우징의 외부로 돌출되는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 상부검사모듈은, 상기 기판의 상면에서 반사되는 반사조명을 이용해 상기 기판의 상면을 촬영하는 상부검사카메라를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 상부검사모듈은, 상기 상부검사카메라보다 하류 측에 위치하여 상기 상부반사검사카메라가 촬영한 이미지 중 상기 기판의 결함의심영역으로 판단된 영역을 재촬영하는 상부리뷰카메라를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 기판 이송부의 하부에 위치하고 상기 회전축 사이에 설치되어 상기 기판의 하면을 촬영하는 하부검사모듈을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 하부검사모듈과 대응되는 위치에 상기 기판이송유닛을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  8. 기체가 분출되는 복수 개의 분사홀이 형성된 하우징;
    상기 분사홀과 연통되는 공압실;
    상기 하우징을 관통하며, 일측이 동력전달수단에 결합되어 회전가능하게 설치되는 회전축; 및
    상기 회전축에 일정간격으로 설치되며, 원주면의 일부가 상기 하우징의 외측으로 돌출되는 이송롤러를 포함하는 기판이송유닛.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 분사홀은 상기 하우징의 외측으로 돌출되는 상기 이송롤러의 주위에 위치하는 것을 특징으로 하는 기판이송유닛.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 하우징은 상기 회전축에서 상기 동력전달수단과 결합되는 부분과, 상기 이송롤러가 설치되는 부분이 격리되도록 형성된 것을 특징으로 하는 기판이송유닛.
KR1020100125031A 2010-12-08 2010-12-08 기판이송유닛 및 이를 이용한 기판검사장치 KR101311852B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100125031A KR101311852B1 (ko) 2010-12-08 2010-12-08 기판이송유닛 및 이를 이용한 기판검사장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100125031A KR101311852B1 (ko) 2010-12-08 2010-12-08 기판이송유닛 및 이를 이용한 기판검사장치

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120088546A Division KR101231047B1 (ko) 2012-08-13 2012-08-13 기판검사장치의 기판이송유닛

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20120063870A true KR20120063870A (ko) 2012-06-18
KR101311852B1 KR101311852B1 (ko) 2013-09-27

Family

ID=46684183

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020100125031A KR101311852B1 (ko) 2010-12-08 2010-12-08 기판이송유닛 및 이를 이용한 기판검사장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101311852B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103552824A (zh) * 2013-11-18 2014-02-05 深圳市润天智数字设备股份有限公司 一种用于传输板状构件的延伸平台
KR20150121649A (ko) * 2014-04-21 2015-10-29 신포니아 테크놀로지 가부시끼가이샤 부품 피더용 화상 처리 장치 및 부품 피더

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004196482A (ja) 2002-12-18 2004-07-15 Maruyasu Kikai Kk ローラコンベア
KR100915691B1 (ko) * 2008-03-04 2009-09-08 주식회사 케이엔제이 평판디스플레이 패널의 검사장치 및 방법
KR20100009412A (ko) * 2008-07-18 2010-01-27 주식회사 포스코 공기 부양식 이송 테이블 장치
KR101032089B1 (ko) * 2008-12-31 2011-05-02 엘아이지에이디피 주식회사 기판검사장치

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103552824A (zh) * 2013-11-18 2014-02-05 深圳市润天智数字设备股份有限公司 一种用于传输板状构件的延伸平台
KR20150121649A (ko) * 2014-04-21 2015-10-29 신포니아 테크놀로지 가부시끼가이샤 부품 피더용 화상 처리 장치 및 부품 피더

Also Published As

Publication number Publication date
KR101311852B1 (ko) 2013-09-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI540667B (zh) Processing method of processing station and flat substrate for flat substrate
TWI486578B (zh) Plate glass inspection unit and manufacturing equipment
KR102131996B1 (ko) 비전검사장치
KR101454823B1 (ko) 외관 검사 장치
KR101954416B1 (ko) 검사 장치
CN114643208B (zh) 一种光学镜片瑕疵自动检测设备
JP2012073036A (ja) ガラス基板欠陥検査装置及びガラス基板欠陥検査方法
KR20110077681A (ko) 진공흡착 컨베이어 벨트를 이용한 박막 이송 검사장치 및 이송 검사방법
KR101311852B1 (ko) 기판이송유닛 및 이를 이용한 기판검사장치
KR101231047B1 (ko) 기판검사장치의 기판이송유닛
KR101577767B1 (ko) 인라인 무빙 스테이지 장치
KR101111065B1 (ko) 기판검사장치
KR100715199B1 (ko) 인쇄회로기판 자동 검사장비
KR101197709B1 (ko) 기판검사장치
TW201832313A (zh) 對準裝置
KR101280569B1 (ko) 기판검사장치
KR101186272B1 (ko) 기판검사장치
KR101178409B1 (ko) 피시비 기판 검사장치
KR101275863B1 (ko) 웨이퍼 검사장치
KR101197708B1 (ko) 기판검사장치
TW201831962A (zh) 邊緣探測裝置及對準裝置
KR101318212B1 (ko) 글라스 이송 장치
KR101590454B1 (ko) 발광 소자 패키지 모듈용 렌즈 편심 검사 장치
KR101365851B1 (ko) 글래스 반송 장치
CN116718605B (zh) Pcb板的校正检测系统及相应的pcb板自动检测机

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
A107 Divisional application of patent
E90F Notification of reason for final refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160920

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170918

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180918

Year of fee payment: 6