TWM473607U - 貼膜機之供膜裝置 - Google Patents

Description

貼膜機之供膜裝置

本新型是關於一種供膜裝置，特別是指一種可以提供晶圓所需之貼膜的貼膜機之供膜裝置。

一般晶圓在加工過程中，為了保護晶圓以及由晶圓切割而成的晶粒，通常會利用一台貼膜機將貼膜黏貼在一個載板上，所述晶圓即可黏貼在該貼膜上，並受到該載板的保護。為了製作尺寸大小符合需要的貼膜，一般貼膜機大都如M445760號新型專利所示，先在一個機台上架設一個膜捲，再利用一個切膜機構將該膜捲裁切成預定大小的貼膜，之後將該貼膜貼設在載板上。當該膜捲使用完後，再更換一個新的膜捲繼續進行裁切及貼膜的動作。

習知貼膜機雖然可以利用切膜機構及其他元件之配合，將膜捲裁切成預定大小的貼膜後貼設在該載板上，但是在連續加工的過程中，當該膜捲被使用完後，操作人員必需停機裝上新的膜捲，然後重新啟動該貼膜機，因此，習知貼膜機不僅無法一貫化作業，在使用的過程中也需要停機更換膜捲，故其生產效率較低，也會影響到作業的順暢性。

本新型之目的是在提供一種可以提高生產效率及作業順暢性之貼膜機的供膜裝置。

本新型貼膜機的供膜裝置，包含一個具有一個進膜側的切膜單元，以及一個鄰近該切膜單元之進膜側的供膜單元，該供膜單元包括一個供膜座、一個供膜驅動件，以及至少兩個可更換地安裝在該供膜座上的膜捲，該供膜驅動件可帶動設於該供膜座之該等膜捲對應該切膜單元，每個膜捲都具有一個可被該切膜單元裁切成數片貼膜的膜帶。

本新型有益的效果在於：利用該供膜驅動件來帶動設於該供膜座上之膜捲移動，可以快速地移動備用的膜捲對應該切膜單元，以提高該貼膜機的生產效率及作業順暢性。

1‧‧‧基架

11‧‧‧框體

12‧‧‧固定板

13‧‧‧底板

14‧‧‧支撐台

2‧‧‧切膜單元

20‧‧‧進膜側

21‧‧‧貼膜基座

22‧‧‧貼膜驅動件

23‧‧‧夾膜組件

231‧‧‧固定塊

232‧‧‧夾膜導桿

233‧‧‧夾膜座

24‧‧‧切膜組件

241‧‧‧裁切底座

242‧‧‧切膜刀

243‧‧‧切膜壓缸

25‧‧‧夾膜方向

26‧‧‧後退方向

3‧‧‧供膜單元

31‧‧‧供膜座

311‧‧‧架設壁

312‧‧‧底壁

313‧‧‧側壁

314‧‧‧第一軸管

315‧‧‧第二軸管

316‧‧‧膜施放軸

317‧‧‧膜導引軸

32‧‧‧供膜驅動件

33‧‧‧升降導桿

34‧‧‧第一膜捲

34’‧‧‧第二膜捲

341‧‧‧捲軸

342‧‧‧膜帶

343‧‧‧受拉端

344‧‧‧貼膜

本新型之其他的特徵及功效，將於參照圖式的實施方式中清楚地呈現，其中：圖1是本新型供膜裝置之一第一較佳實施例的一個立體示意圖；圖2是該第一較佳實施例的一個前視示意圖，圖中該供膜裝置之一供膜單元位在一個第一位置；圖3是該第一較佳實施例之一局部俯視圖，主要說明該供膜單元；圖4是一個類似圖2的前視示意圖，圖中該供膜單元 位在一個第二位置；及圖5是一個類似圖2的前視示意圖，說明本新型供膜裝置之一第二較佳實施例。

在本新型被詳細描述之前，應當注意在以下的說明內容中，類似的元件是以相同的編號來表示。

參閱圖1、2、3，本新型供膜裝置之一第一較佳實施例包含：一個基架1、一個安裝在基架1上的切膜單元2，以及一個鄰近該切膜單元2之一進膜側20的供膜單元3。

該基架1包括一個矩形立體的框體11、一片水平並懸空地架設在該框體11上的固定板12，以及一片底板13。該切膜單元2包括一個水平的貼膜基座21、一個架設在該固定板12下方並可頂撐該貼膜基座21升降的貼膜驅動件22、一個安裝在該固定板12上方的夾膜組件23，以及一個切膜組件24。該貼膜基座21本身具有吸附貼膜的作用力，而該夾膜組件23及該切膜組件24分別位在該貼膜基座21的相反側，其中，該切膜組件24並鄰近該切膜單元2之進膜側20。該夾膜組件23具有兩對固定地安裝在該固定板12上方的固定塊231、兩支前後平行地架設在該等固定塊231的其中兩個間的夾膜導桿232，以及一個可沿著一個夾膜方向25及一個後退方向26往復移動地架設在該等夾膜導桿232間的夾膜座233，所述夾膜導桿232並平行於該夾膜方向25。

而該切膜組件24位於該貼膜基座21及該供膜 單元3之間，並具有一個安裝在該固定板12上的裁切底座241、一個與該裁切底座241上下對應的切膜刀242，以及一個驅動該切膜刀242升降的切膜壓缸243。

本實施例該供膜單元3是一種升降式的設計，其是安裝在該基架1之底板13上，並且鄰近該切膜單元2之進膜側20，在設計上，該供膜單元3並不以安裝在該底板13上為必要，其亦可直接裝設在工廠的地板上。該供膜單元3包括一個供膜座31、一個可帶動該供膜座31在一個第一位置及一個第二位置間轉換的供膜驅動件32、兩支架設在該基架1之底板13上並導引該供膜座31順利升降的升降導桿33、一個安裝在該供膜座31上的第一膜捲34，以及至少一個安裝在該供膜座31上的第二膜捲34’。

該供膜座31具有一片直立的架設壁311、兩個由該架設壁311往前水平突出的底壁312、一個位在該架設壁311側邊並與該等底壁312連接的側壁313、兩個分別安裝在該等底壁312上並上下對應的第一軸管314、兩個上下對應地安裝在該底壁312上並鄰近後方的第二軸管315、兩支水平地架設在該架設壁311上的膜施放軸316，以及兩支水平地架設在該架設壁311上的膜導引軸317，上述第一軸管314及該等第二軸管315分別位在該架設壁311的相反側，即以圖3所示，該等第一軸管314位於該架設壁311的左前方，而該等第二軸管315位於該架設壁311的右後方，所述升降導桿33分別穿過該等第一軸管314以及該等第二軸管315，而該等膜導引軸317分別位在該等膜施放軸 316的其中之一以及該切膜單元2之進膜側20之間。

本實施例之第一膜捲34及第二膜捲34’的構造相同，並分別具有一支可轉動地套裝在該等膜施放軸316上的捲軸341，以及一個捲收在該捲軸341上且為長帶狀的膜帶342，上述膜帶342並受到該等膜導引軸317導引，並具有一個由該切膜單元2之進膜側20往該切膜單元2之貼膜基座21移近的受拉端343。

參閱圖1、2、4，本實施例該供膜裝置之供膜座31位在圖2所示的第一位置時，該第一膜捲34對應該切膜單元2的進膜側20。當該切膜單元2之夾膜組件23的夾膜座233受到驅動沿著該夾膜方向25移動時，可以夾持該第一膜捲34之膜帶342的受拉端343，之後沿著該後退方向26移動，當該第一膜捲34之膜帶342覆蓋在該貼膜基座21的上方時，該切膜組件24之切膜壓缸243就會帶動該切膜刀242下移，並完成裁切的動作。如此往復的作動，即可將該第一膜捲34之膜帶342裁切成一片片長度相同的貼膜344。由於該貼膜344的後續使用與本新型改良重點無關，不再說明。

當該第一膜捲34的膜帶342使用完後，該供膜驅動件32就會驅動該供膜座31上移，並使得原本位於下方且備用的第二膜捲34’上升對應該切膜單元2之進膜側20，即如圖4所示，當該供膜單元3位在該第二位置時，藉由該切膜單元2的往復運作，可以將上升之第二膜捲34’的膜帶342裁切成一片片適當長度的貼膜344，而在該貼膜 機裁切該第二膜捲34’的過程中，操作人員可以更換該第一膜捲34，以等待下一次的使用。以此類推，隨著該供膜座31的上升及下降，可以讓該第一膜捲34及該第二膜捲34’快速地移到該切膜單元2的進膜側20，以持續進行裁切的動作。

在設計上，本新型亦可在該供膜座31上裝設數個第二膜捲34’，即該第二膜捲34’的數量不以實施例所揭露的單個為限。而該切膜單元2及該供膜單元3亦不以架設在該基架1上為必要，即只要該供膜單元3鄰近該切膜單元2之進膜側20，即可達到本新型預期的目的。

參閱圖5，本新型供膜裝置之一第二較佳實施例亦包含一個基架1、一個切膜單元2，以及一個供膜單元3，其中該切膜單元2的構造與第一實施例相同，不再贅述，而該基架1包括一個往上突起的支撐台14。本實施例該供膜單元3是一種旋轉式的設計，其主要包括一個安裝在該支撐台14上的供膜座31、一個帶動該供膜座31圍繞一旋轉中心旋轉的供膜驅動件32、一個安裝在該供膜座31上的第一膜捲34，以及數個安裝在該供膜座31上的第二膜捲34’，該第一膜捲34及該等第二膜捲34’圍繞該旋轉中心，而該供膜座31具有一個圓盤形的架設壁311、數個自該架設壁311往前突出的底壁312，以及分別鄰近該等底壁312的數支膜施放軸316、數支膜導引軸317。

當該馬達型式之供膜驅動件32帶動該供膜座31旋轉時，可以帶動該第一膜捲34及該等第二膜捲34’對應 該切膜單元2，故本實施例藉由改變該供膜單元3的結構，同樣可以達到預期的效果。本新型該供膜單元3的設置方式，除了可以如第二較佳實施例所示與該切膜單元2左右設置之外，亦可將該供膜座31的安裝方向旋轉九十度。

由以上說明可知，本新型該供膜裝置在使用時，可以隨時保持在該供膜座31上具有備用的第二膜捲34’如此一來，當該第一膜捲34上的膜帶342被使用完後，可以藉由該供膜驅動件32的操作，快速地使用該第二膜捲34’。故本新型該供膜裝置的設計不但結構新穎，更可提高該貼膜機的生產效率及作業順暢性，同時讓該貼膜機可以一貫化作業。

惟以上所述者，僅為本新型之較佳實施例而已，當不能以此限定本新型實施之範圍，即大凡依本新型申請專利範圍及專利說明書內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本新型專利涵蓋之範圍內。

1‧‧‧基架

11‧‧‧框體

12‧‧‧固定板

13‧‧‧底板

2‧‧‧切膜單元

20‧‧‧進膜側

21‧‧‧貼膜基座

23‧‧‧夾膜組件

231‧‧‧固定塊

232‧‧‧夾膜導桿

233‧‧‧夾膜座

24‧‧‧切膜組件

241‧‧‧裁切底座

242‧‧‧切膜刀

243‧‧‧切膜壓缸

3‧‧‧供膜單元

31‧‧‧供膜座

311‧‧‧架設壁

312‧‧‧底壁

313‧‧‧側壁

32‧‧‧供膜驅動件

33‧‧‧升降導桿

34‧‧‧第一膜捲

34’‧‧‧第二膜捲

341‧‧‧捲軸

342‧‧‧膜帶

Claims (9)

1. 一種貼膜機之供膜裝置，包含：一個切膜單元，具有一個進膜側；及一個供膜單元，鄰近該切膜單元之進膜側，並包括一個供膜座、一個供膜驅動件，以及至少兩個安裝在該供膜座上的膜捲，該供膜驅動件可帶動設於該供膜座上之該等膜捲對應該切膜單元的進膜側，每個膜捲都具有一個可被該切膜單元裁切成數片貼膜的膜帶。
2. 如請求項1所述的貼膜機之供膜裝置，其中，該供膜驅動件可帶動該供膜座升降。
3. 如請求項1所述的貼膜機之供膜裝置，其中，該供膜驅動件可帶動該供膜座沿著一個旋轉中心旋轉。
4. 如請求項2或請求項3所述的貼膜機之供膜裝置，其中，該供膜單元之供膜座具有一片架設壁，以及至少兩支水平地架設在該架設壁上的膜施放軸，而該等膜捲還具有一個可轉動地架設在該等膜施放軸的其中之一上並供該膜帶捲繞的捲軸。
5. 如請求項4所述的貼膜機之供膜裝置，其中，該供膜單元之供膜座還具有至少兩支水平地架設在該架設壁上的膜導引軸，該等膜導引軸分別鄰近該等膜施放軸，並且介於該膜施放軸及該切膜單元之進膜側間。
6. 如請求項5所述的貼膜機之供膜裝置，其中，該切 膜單元包括一個貼膜基座、一個可頂撐該貼膜基座升降的貼膜驅動件、一個可夾持該等膜捲之膜帶的一個受拉端的夾膜組件，以及一個用來裁切該等膜帶的切膜組件。
7. 如請求項6所述的貼膜機之供膜裝置，其中，該夾膜組件及該切膜組件分別位在該貼膜基座的相反側，且該切膜組件鄰近該進膜側。
8. 如請求項2所述的貼膜機之供膜裝置，其中，該供膜單元之供膜座具有一片直立的架設壁、兩個上下對應的第一軸管，以及兩個上下對應的第二軸管，該等第一軸管及該等第二軸管分別位在該架設壁的相反側，而該供膜單元還包括兩支分別穿設在該等第一軸管以及該等第二軸管的升降導桿。
9. 如請求項3所述的貼膜機之供膜裝置，其中，該供膜單元之供膜座具有一片被該供膜驅動件帶動旋轉的架設壁，以及數支安裝在該架設壁上並供該等膜捲安裝的膜施放軸。