TWM419617U - Wind knife having composite cutting edge - Google Patents

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TWM419617U
TWM419617U TW100214847U TW100214847U TWM419617U TW M419617 U TWM419617 U TW M419617U TW 100214847 U TW100214847 U TW 100214847U TW 100214847 U TW100214847 U TW 100214847U TW M419617 U TWM419617 U TW M419617U
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TW
Taiwan
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air
partition plate
screw
knife device
knife
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TW100214847U
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English (en)
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Chuan-Yi Chen
Wen-Cheng Li
jun-jie Chen
Mian-Ying Gong
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Manz Taiwan Ltd
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M419617 五、新型說明: 【新型所屬之技術領域】 •本創作為可應驗大面積基板吹拂乾燥製程的風刀裝置。 【先前技術】 清洗平板顯示元件用基板的製程主要以向基板表面喷射(供 -給)清洗細如去離子水)的方絲進行,所賴程是在具備如流 鲁體喷射用噴嘴的清洗單元的清洗裝置内進行,且所述清洗置為氣 室形狀。如此,用所述清洗裝置對基板進行清洗時,重要的是去 除基板上的殘留清洗液的同時要對基板進行乾燥處理。例如在進 行清洗製程後,若基板上存在前清洗液,财表面會產生水斑 (water spot),這有可能成為降低清洗品質的因素。 因此,進行基板清洗製程同時,需要進行乾燥製程,這種乾 燥製程大部分通過風刀吹出乾燥空氣,從而吹去基板上的殘留清 _洗液來進行的’這方式是所屬技術領域中已被廣泛知曉的技術。 習知的風刀具有單一出氣口,其對基板表面進行吹乾程序 時,是以傾斜一角度的狀態使氣體吹向板件表面以將所殘留的水 份徹底排除;由於吹出的氣流速度極快,以致於會在出氣口的銳 角側產生真空效應,進而將基板吸起和風刀刀體接觸,可能因而 對基板造成刮傷。 中國專利CN101639316號則提供一種氣刀裝置,該氣刀裝置 係在一主體設置有空氣流入口、第一氣室與第二氣室,空氣流入 3 口供給空氣進人第-氣室與第二氣室,再從第一吐出口與第二吐 出口噴出祕空氣’基板被輸送的過程中,依序被第—吐出口與 第二吐出口所喷出的高麼空氣吹拂;亦即,中國專利CN1__ 號係提供-種具有雙出氣σ的風刀,企圖解決歧f知單一出氣 口可能產生真空效果而吸起基板的問題。 惟’中國專利C_1639316號雖然可以調整吹出的風速大小, 但因為受到結構本身的限制,卻無法單獨針對各別域口的風速 進行調整’以致於_出氣σ均僅能同時吹出相同的風速;此外, 料個出氣口均由同-進氣口供給空氣,以致於在特別需要時, 热法在兩個出氣D分別供應不同溫度的高壓空氣。 【新型内容】 本幻作的目的’在於解決習知具有兩個出氣口之風刀裝置, 無法單獨針對各別出氣口的風速進行嫉,僅朗時吹出相同風 速’且無法在兩個出氣Π分別供應不同溫度的高壓空氣的問題。 本創作的特徵’是在風刀裝置設置至少二個獨立的刀體,每 一個刀體各自具有獨立的進氣口與出氣σ,且每—刀體可以被草 獨調整出氣量與蚊速度,藉此,可以依實際需要_整不同出 氣口的吹氣速度,以及在不同的出氣口吹出不同溫度的氣體。 基於此,本創作提供的複刀口風骑置,包括有至少二刀體 與至少-隔板,每一刀體具有連通的—進氣口、一氣室、—整流 區與一出氣口,該隔板設於兩該刀體之間,軸板與刀體之間構 隔板利用可調整的固定單元予以固定,並 大:,==以:整每—氣流通道與該每的尺寸 度及控制由該每—出氣π翻的風量。t人出的乱體速 穿孔蝴;丨'的ί創作在刀體麵板分別設有至少—對應的貫 ,細定單調為—個螺絲,藉__過刀體的貫 穿乂=再鎖人隔板的螺孔而使刀體和隔板狀,並藉由旋轉螺絲 調王刀體和隔板之間的氣流通道與出氣Π之尺寸大小。 本創作之複數刀體配合隔板組合後,複數個出氣口依對待吹 物品的距離依序由近至遠排列。 和習知具有兩個出氣Π的風刀裝置相較之下,本創作除了同 樣可以消除單1氣口在銳_產生的真纽應外,還可以依實 際的需要分別調整各別岐口的氣體吹出速度,以及能分別供應 及吹出不同溫度的高壓氣體。 【實施方式】 以下配合圖式及讀符號對本創作的實施方式做更詳細的說 明,俾使熟習該項技藝者在研讀本綱書後能據以實施。 第-圖至第二圖係以本創作包含有二個出氣口的實施例做說 明’當然’在相同的原理與技術手段條件下,也可以設為三個刀 體’二個出氣口或更多刀體與出氣口。如第一圖至第三圖所示, 本創作提供的複刀口風刀裝置,包括有一第一刀體1Α、一第二刀 M419617 體1B與一隔板2,第一刀體ία與第二刀體π分別具有—第一進 氣口 1A1與一第二進氣口 1B1、一第一氣室1A2與一第二氣室1β2、 一第一氣流通道1A3與一第二氣流通道1B3、一第一整流區U4 與一第二整流區1B4、一第一出氣口 1A5與一第二出氣口 1B5 ;第 一氣室1A2、第一氣流通道1A3、第一整流區1A4與第一出氣口 均為不同程度地低於第一刀體1A 一側表面的適當空間;第二氣室 1B2、第二氣流通道1B3、第二整流區1B4與第二出氣口 1β5均為 不同程度地低於第二刀體1β 一側表面的適當空間。第一刀體Μ 與第二刀體1Β的侧壁還分別設有貫穿孔i 。所述隔板2為相對兩 面呈平滑面的板體,使由1A1 ’ 1B1所供給之氣體(在此為空氣) 撞擊到隔板2賴得平_導流效果,避免產生擾流而影響出氣 的穩定性’該隔板2的相對兩側面分別設有對應前述第—刀體以 與第一刀體1B之貫穿孔11的螺孔21。 如第三圖所示,本創作的元件組合方式,是將第—刀體^鱼 第二刀體1Β呈對稱設置’並將隔板2設於第—刀體μ 刀、 體1Β之間,再將固定單元3穿過第一刀體1Α與第二刀體㈣I 穿孔11後鎖入隔板2的螺孔21;當固定單 、貝 -氣流通細及㈠氣口 1Α5與二= 編,第 或第二氣流通謂及第二出氣鳴與隔板⑽愈接近, 愈接近,也就繼财辑⑽协 當固定單元3被鎖得愈鬆時,則第—氣流通道鳴料。 1Α5與隔板2的-侧面之間愈離開 帛-出氣口 $第一讀通道1Β3及第二出 6 =二2的另—細之間愈離開,也就是氣流通道與出 :二 即間隙愈大。由於固定單元3是沿著刀趙的 流通道M h π ^ 糟由轉動固疋兀件3來調整氣 行㈣ 的操作方式,是各別轉_定元件3進 § •^亦可齡專㈣具或量具來控伽定單元 以獲得職_峨峨w大小。在此,晴元Γ可 絲ϊ亦可為二個各自獨立的螺絲,用以分別調整該螺絲之 々緊整所對應之該氣流通道與該出氣口的大小。 因此’當第一進氣口 1A1與第二進氣口 1B1分別連接氣源並 供應南壓空氣後,高壓空氣即進入第一氣室1A2與第二氣室1B2 儲存,高壓空氣再經由第-氣流通道1A3與第二氣流通道⑽分 J進入第區遍與第二整流區ΐβ4後,再分別從第一出氣 口 1A5與第二出氣口 1B5喷出高壓空氣。當第一進氣口 μ與第 二進氣口 1B1分別連接不同溫度的氣源時,則可以從第—出氣口 與第二出氣口喷出不同溫度的高壓空氣。 在本創作的較佳實施例,所述第一刀體丨八與第二刀體化具 有不同咼度,因此’當第一刀體1A、第二刀體以與隔板2組合後, 所述第一出氣口 1A5與第二出氣口 1B5可以依對待吹物品(在此 為一基板)的距離依序由近至遠排列。,藉此使不同的出氣口以 不同角度吹出高壓空氣;在此第一出氣口 1A5,是指相封接近待吹 氣之基板表面的出氣口,第二出氣口 1B5,是指相對遠離待吹氣之 基板表面的出氣口。由於第一出氣口 1A5較第二出氣口 1B5接近 ivm9617 基板表面,因此第—出氣口 1A5吹出的氣流較第二出氣口 1B5吹 出的氣流更集中’而第二出氣口 1B5吹出的氣流則較為擴散;藉 此,當基板被輸送通過風刀時,可以先由第—出氣口⑽吹出的 ,速氣流將板面上的液體排除,排除液體後的板面再通過第二出 氣口 1B5時’則由較為擴散的氣流將板面進一步吹乾並且可消 除第-出氣π在網側產生的真空效應。 在本到作的另—触實闕巾,兩刀體與隔板分別亦可分別 設有兩對互不對應的貫穿孔與螺孔(未示於圖),以供固定單元3 (在此為—個各自獨立的螺絲)用來分別穿過各自對應的言空力
氣流通道糾氣口的尺寸大小。 I較佳實施例,並非企圖具以對本 义,凡有在相同之創作精神下所作 ’皆仍應包括在本創作意圖保護之 以上僅為__補作之錄實補,並非企圖
M419617 【圖式簡單說明】 第一圖為顯示本創作風刀裝置之前視平面示意圖。 第二圖為第一圖之A-A剖面示意圖。 第三圖為第二圖之元件組合關係平面分解圖。 【主要元件符號說明】 1A……第一刀體 • 1A1……第一進氣口 1A2……第一氣室 1A3……第一氣流通道 1A4……第一整流區 1A5……第一出氣口 1B……第二刀體 1B1……第二進氣口 鲁,1B2……第二氣室 1B3……第二氣流通道 1B4……第二整流區 1B5……第二出氣口 11……貫穿孔 2……隔板 21……螺孔 3……固定單元

Claims (1)

  1. M419617 六、申請專利範圍: 1. 一種複刀口風刀裝置,包括: 至少二刀體,每一刀體具有連通的一進氣口、-氣室、-整流 區與一出氣口; k板。又於兩该刀體之間,該隔板與刀體之間構成氣流通 道; y蚊單元’設於該刀體與隔板,用以固定該兩刀體與該隔板, 並可藉由調整该固定單元以調整該每一氣流通道與該每一出氣 口的大小,以控制由該每一出氣口排出的風量。 2. 依據申請專利範圍第丨項之複刀口風骑置,其中,該兩刀體 與該隔板分觀有互相對應的貫穿孔與螺孔,以供該固定單元 用來穿過該貫穿孔再鎖入該螺孔。 3. 依據申請專利範圍第!或第2項之複刀口風刀裝置,其中,該 複數個出氣口依對待吹物品的距離依序由近至遠排列。 4. 依據巾料概圍第2項之複刀口風刀裝置,其巾,該固定單 元係為一個螺絲。 5. 依據申請專利範圍第2項之複刀口風刀裝置,其中,該固定單 元係為二各自獨立的螺絲,用以分別調整該螺絲之鬆緊度以調 整所對應之該氣流通道與該出氣口的尺寸大小。 6. 依據申請專利範圍第1項之複刀口風刀裝置,其中,該兩刀體 與該隔板分別設有兩對互不對應的貫穿孔與螺孔,以供該固定 單元用來穿過該貫穿孔再鎖入該螺孔。 M419617 7. 依據申請專利範圍第6項之複刀口風刀裝置,其中,該固定單 元係為二各自獨立的螺絲,用以分別調整該螺絲的鬆緊度以調 整所對應之該氣流通道與該出氣口的尺寸大小。 8. 依據申請專利範圍第7項之複刀口風刀裝置,其中,該複數個 出氣口依對待吹物品的距離依序由近至遠排列。
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