TWI565923B - Air knife structure - Google Patents

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風刀結構
本發明係有關於一種風刀結構，尤指一種提升出風口寬度的調整彈性以及消弭熱脹冷縮係數之風刀結構。
按，清洗平板顯示元件用基板的製程主要以向基板表面噴射清洗液的方式來進行，使用該清洗裝置對基板進行清洗時，是去除基板上的殘留清洗液的同時要對基板進行乾燥處理，例如在進行清洗製程後，若基板上存在殘留清洗液，則其表面會產生水斑(water spot)，這有可能成為降低清洗品質的因素；因此，須將洗淨後的基板進行乾燥，以便進行下一步的加工程序。
現有基板的乾燥方式大多採用風刀將清洗液吹乾，風刀主要原理乃是藉由產生高速之氣流而產生高壓風，據以快速乾燥基板。詳言之，風刀係於本體上開設有入風口與出風口，藉由入風口與出風口之結構尺寸變化，使得由入風口流入之氣流，形成高速氣流經出風口吹出，因此形成風刀作用。以習知的風刀結構而言，風刀之本體於上半部設有通往最小氣室之一狹長形流道，作為出風口，於狹長形流道之兩側設有裝配孔，可利用螺絲穿過裝配孔鎖固於本體上，藉由操作螺絲的鬆緊度來調整狹長形流道的寬度，具以控制風量大小。然而，於運作時，風刀受熱變形後，螺絲容易被卡緊而無法調整縮緊度，甚至因過度操作而使螺絲破碎或損壞，進而影響風刀之效能；再者，螺絲穿設於狹長形流道上，當氣室內的氣流通往狹長形流道至外時，會受到螺絲的阻擋而使出風量不均勻，而影響乾燥效果。
有鑑於此，本發明遂針對上述先前技術之缺失，提出一種風刀結構，以有效克服上述之該等問題。
本發明的主要目的在於提供一種風刀結構，其利用調整元件調整整流層結構與頂層結構的兩側相對距離，以改善出風不均以及風刀結構受熱變形而使調整元件損壞之問題。
為達以上之目的，本發明提供一種風刀結構，包括一階層式刀體、二蓋板及複數個調整元件；階層式刀體內具有一空間，階層式刀體由大漸小分為底層結構、整流層結構及頂層結構，且頂層結構具有開放式出風口，整流層結構的相對兩側壁設有複數個橢圓形開孔。二蓋板分別設於階層式刀體相對兩端，二蓋板分別設有一進氣孔，其對應底層結構，進氣孔連通空間。此些調整元件分別設於此些橢圓形開孔上，運作時，可將氣體自二蓋板之進氣孔傳送至空間內，經底層結構、整流層結構及頂層結構由大漸小的空間壓縮後，再從開放式出風口高速噴出，可藉由操作調整元件來調整整流層結構與頂層結構之兩側壁的相對距離，以有效調整風刀結構的出風強度。再者，利用此些橢圓形開孔與此些調整元件的搭配應用，增加此些調整元件的活動裕度，不僅可消弭風刀結構的熱脹冷縮係數，又可讓出風量更均勻。
底下藉由具體實施例詳加說明，當更容易瞭解本發明之目的、技術內容、特點及其所達成之功效。
10‧‧‧階層式刀體
101‧‧‧空間
102‧‧‧底層結構
103‧‧‧整流層結構
104‧‧‧頂層結構
105‧‧‧開放式出風口
106‧‧‧橢圓形開孔
107‧‧‧第一螺孔
12‧‧‧蓋板
122‧‧‧進氣孔
124‧‧‧第二螺孔
14‧‧‧調整元件
142‧‧‧螺帽
144‧‧‧螺栓
146‧‧‧螺絲
16‧‧‧螺絲
18‧‧‧第一階層式刀片
20‧‧‧第二階層式刀片
第1圖為本發明之立體圖。
第2圖為本發明之分解圖。
第3圖為本發明之局部放大圖。
第4圖為本發明之局部組裝示意圖。
第5圖為本發明之另一結構剖視圖。
請同時參閱第1圖及第2圖，分別為本發明之立體圖及分解圖。風刀結構包括一階層式刀體10、二蓋板12及複數個調整元件14。階層式刀體10內具有一空間101，階層式刀體10由大漸小分為底層結構102、整流層結構103及頂層結構104，且頂層結構104具有開放式出風口105；其中，底層結構102、整流層結構103及頂層結構104的內部空間也是由大漸小。整流層結構103的相對兩側壁設有複數個橢圓形開孔106，二蓋板12分別設於階層式刀體10的相對兩端，二蓋板12分別設有一進氣孔122，其對應底層結構102，進氣孔122連通空間101。此些調整元件14分別設於此些橢圓形開孔106上，每一調整元件14包括二螺帽142、二螺栓144及一螺絲146，二螺帽142分別位於對應之二橢圓形開孔106內側；二螺栓144、分別自對應之二橢圓形開孔106外側置入以螺合二螺帽142，最後再將螺絲146螺合於二螺帽142與二螺栓144中，可藉由螺合之鬆緊度以調整整流層結構103與頂層結構104之兩側壁的相對距離；此螺中螺的調整設計，使得更具調整彈性。
請同時配合第3圖，為本發明之局部放大圖。整流層結構103的相對兩側壁的此些橢圓形開孔106，其寬度略大於螺栓144，使得螺栓144恰好可以穿設於橢圓形開孔106中，其長度大於螺栓144，使得螺栓144於橢圓形開孔106中具有H1及H2的調整空間，利用此些橢圓形開孔106與此些調整元件14的搭配應用，增加此些調整元件14的活動裕度。運作時，可利用送風裝置輸出一氣體自二蓋板12之進氣孔122傳送至空間101內，此氣體可為冷風或熱風，依序經底層結構102、整流層結構103，氣體經過整流後輸送至頂層結構104，再從開放式出風口105高速排出，形成風刀效果。由於運作時，整體結構會產生熱漲冷縮的作用，故可藉由此些橢圓形開孔106的形狀設計，來消弭熱漲冷縮係數，使得此些調整元件14不會因熱漲冷縮的作用而被卡緊而無法操作，以及解決因受熱變形而受損等問題。
更進一步而言，由於此些橢圓形開孔106具有足夠的調整空間可供此些調整元件14自由操作調整鬆緊度，因此能根據乾燥需求來操作調整元件14，據以調整整流層結構103與頂層結構104之兩側壁的相對距 離，以有效調整風刀結構的出風強度。舉例來說，若螺絲146鎖的越緊，整流層結構103與頂層結構104之兩側壁的相對距離越小，開放式出風口105的寬度就越小，風量強度越強；反之，若螺絲146鎖的越鬆，整流層結構103與頂層結構104之兩側壁的相對距離越大，開放式出風口105的寬度就越大，風量強度越弱。其中，此些調整元件14穿設於整流層結構103的內部空間並固定於兩側壁上，由於整流層結構103的內部空間大於頂層結構104，因此氣體輸送過程不會因螺絲146的阻擋而影響出風均勻度，能夠讓氣體通往頂層結構104而被集中以產生較大的氣體壓力，經由開放式出風口105吹出至外，使得出風量相當均勻，且能精準的控制風量強度。
其中，階層式刀體10之材質係為鋁合鐵或不鏽鋼，階層式刀體10之兩端側邊更設有複數個第一螺孔107，二蓋板12之側邊設有對應此些第一螺孔107之複數個第二螺孔124，利用複數個螺絲16分別螺合固定於此些第一螺孔107與此些第二螺孔124，據以將二蓋板12分別固定於階層式刀體10的相對兩端。當然，除了使用鎖固方式之外，如第4圖所示，為本發明之局部組裝示意圖，二蓋板12係以焊接方式分別接合於階層式刀體10的相對兩端，二蓋板12的形狀係搭配階層式刀體10，能夠有效密封階層式刀體10的端口，且二蓋板12之進氣孔122對應底層結構102，並連通空間101。
其中，階層式刀體10可為一體成型設計，亦可為組合式設計，如第5圖所示，為本發明之另一結構剖視圖。階層式刀體10係由二對稱之一第一階層式刀片18及一第二階層式刀片20相互連接而成，且具有一空間101，階層式刀體10由大漸小分為底層結構102、整流層結構103及頂層結構104。其中，第一階層式刀片18及第二階層式刀片20之底部重疊，並利用雷射打洞連接而成，例如利用雷射方式將複數個柳釘於底部穿洞後，再將柳釘抽出，可利用交叉打洞方式來減少製程工時，同時也能解決習知因焊接連接兩片風刀所造成的受熱變形而有銜接漏縫的問題。
綜上所述，本發明藉由操作調整元件來調整整流層結構與頂層結構的兩側相對距離，能有效改善出風不均，以及風刀結構受熱變形而使調整元件損壞之問題。再者，透過特殊的橢圓形開孔設計，不僅能增加 調整元件調整的活動欲度，又能消弭風刀結構的熱脹冷縮係數，可延長風刀結構的使用壽命。
唯以上所述者，僅為本發明之較佳實施例而已，並非用來限定本發明實施之範圍。故即凡依本發明申請範圍所述之特徵及精神所為之均等變化或修飾，均應包括於本發明之申請專利範圍內。
10‧‧‧階層式刀體
101‧‧‧空間
102‧‧‧底層結構
103‧‧‧整流層結構
104‧‧‧頂層結構
105‧‧‧開放式出風口
106‧‧‧橢圓形開孔
107‧‧‧第一螺孔
12‧‧‧蓋板
122‧‧‧進氣孔
124‧‧‧第二螺孔
14‧‧‧調整元件
142‧‧‧螺帽
144‧‧‧螺栓
146‧‧‧螺絲
16‧‧‧螺絲

Claims (7)

  1. 一種風刀結構，包括：一階層式刀體，其內具有一空間，該階層式刀體由大漸小分為底層結構、整流層結構及頂層結構，且該頂層結構具有開放式出風口，該整流層結構的相對兩側壁設有複數個橢圓形開孔；二蓋板，分別設於該階層式刀體相對兩端，該二蓋板分別設有一進氣孔，其對應該底層結構，該進氣孔連通該空間；以及複數個調整元件，分別設於該些橢圓形開孔上，以調整該整流層結構與該頂層結構之兩側壁的相對距離。
  2. 如請求項1所述之風刀結構，其中該階層式刀體係由二對稱之一第一階層式刀片及一第二階層式刀片相互連接而成，且由大漸小分為底層結構、整流層結構及頂層結構。
  3. 如請求項2所述之風刀結構，其中該第一階層式刀片及該第二階層式刀片之底部重疊，並利用雷射打洞連接而成。
  4. 如請求項1所述之風刀結構，其中每一該調整元件包括二螺帽、二螺栓及一螺絲，該二螺帽分別位於對應之二該橢圓形開孔內側，該二螺栓分別自對應之二橢圓形開孔外側置入以螺合該二螺帽，該螺絲係螺合於該二螺帽與該二螺栓中，可藉由螺合之鬆緊度以調整該整流層結構與該頂層結構之兩側壁的相對距離。
  5. 如請求項1所述之風刀結構，其中該階層式刀體之材質係為鋁合鐵或不鏽鋼。
  6. 如請求項1所述之風刀結構，其中該階層式刀體之兩端側邊設有複數個第一螺孔，該二蓋板之側邊設有對應該些第一螺孔之複數個第二螺孔，利用複數個螺絲分別螺合固定於該些第一螺孔與該些第二螺孔，據以將該二蓋板分別固定於該階層式刀體相對兩端。
  7. 如請求項1所述之風刀結構，其中該二蓋板係以焊接方式分別接合於該階層式刀體相對兩端。
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