TWI823244B - 冷熱雙風流烘乾系統 - Google Patents

冷熱雙風流烘乾系統 Download PDF

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一種冷熱雙風流烘乾系統包括送風器、多個渦流管模組、熱風儲氣桶、 第一鼓風機、第一熱風刀本體、冷風儲氣桶、第二鼓風機、第一冷風刀本體與控制器。送風器用以接收外部空氣且通過空氣過濾模組以輸出乾淨空氣。多個渦流管模組之每一個各具有進氣通口、熱風通口與冷風通口,該些渦流管模組之每一個進氣通口皆連接至送風器以接收乾淨空氣,並且在對應的熱風通口與冷風通口分別輸出熱風與冷風。熱風儲氣桶之側邊具有多個倍壓器且分別連接至多個渦流管模組之熱風出口以儲存熱風。冷風儲氣桶之側邊連接至多個渦流管模組之冷風通口以儲存冷風。

Description

冷熱雙風流烘乾系統
一種風刀系統,尤指一種可同時產生冷風刀與熱風刀的冷熱雙風流烘乾系統。
按,清洗平板顯示的玻璃基板及電路基板的製程主要以向基板表面噴射清洗液的方式來進行,使用該清洗裝置對基板進行清洗時,是去除基板上的殘留清洗液的同時要對基板進行乾燥處理,例如在進行清洗製程後,若基板上存在殘留清洗液,則其表面會產生水斑(water spot),這有可能成為降低清洗品質的因素;因此,須將洗淨後的基板進行乾燥,以便進行下一步的加工程序。
現有基板的乾燥方式大多採用風刀將清洗液吹乾,風刀主要原理乃是藉由產生高速之氣流而產生高壓風,據以快速乾燥基板。詳言之,風刀係於本體上開設有入風口與出風口,藉由入風口與出風口之結構尺寸變化,使得由入風口流入之氣流,形成高速氣流經出風口吹出,因此形成風刀作用。以習知的風刀結構而言,風刀之本體於上半部設有通往最小氣室之一狹長形流道,作為出風口,於狹長形流道之兩側設有裝配孔,可利用螺絲穿過裝配孔鎖固於本體上,藉由操作螺絲的鬆緊度來調整狹長形流道的寬度,具以控制風量大小。然而,於運作時,風刀受熱變形後,螺絲容易被卡緊而無法調整縮緊度,甚至因過度操作而 使螺絲破碎或損壞,進而影響風刀之效能;再者,螺絲穿設於狹長形流道上,當氣室內的氣流通往狹長形流道至外時,會受到螺絲的阻擋而使出風量不均勻,而影響乾燥效果。
習知上用來吹乾前述板件的高壓空氣是通過位於上、下方的「風刀」來產生的。所謂的「風刀」是在一具有適當內空間的元件設置一條很細的出風口,該內空間被通入高壓空氣,高壓空氣再由該出風口高速噴出而形成如刀片狀的「風面」,因而藉由該上、下方的風面將板件上、下面的水分吹乾。傳統的風刀結構係以金屬板材一體彎曲成型,或以鋁材擠製成型為一端呈圓管狀,而另一端呈楔形狀的風刀結構,而且該金屬板材的兩端係共同構成楔形的端部,並且在該楔形的端部形成一條縫隙般的出風口。風刀的一端是密封的,高壓空氣由風刀另一端進入,再由出風口吹出以形成如刀片狀的風面。然而,傳統風刀結構,在高壓空氣由寬大的圓管內部擠出出風口時,高壓空氣的壓力會推動其楔形側壁而造成出風口的寬度擴大,進而降低高壓空氣吹出時的風速;甚至會造成楔形側壁抖動而使吹出的高壓空氣壓力不穩定。再者,前述傳統的風刀是吹出冷空氣將板件上的水分排除,然後再將板件送進烘乾設備進行烘乾作業;如此一來,倘若板件上的水分未能完全被排除即被送入烘乾設備,則在殘留水分的位置被烘乾後會留下水痕。
又,對於傳統厚度較大的板件,利用前述習知的風刀來排除板件上的水分固然可以達到預期的效果,但對於厚度日益薄小的板件而言,則高壓空氣作用於薄板件則會造成板件過度撓曲,進而在輸送過程中造成卡板現象。 此外,現在的電路板或玻璃基板在烘乾的時候需要大量的電熱及壓縮空氣,在能耗雙控及全球減碳的需求下,對於能源的節省變成產業的必要發展方向
是以,如何解決上述現有技術之問題與缺失,即為相關業者所亟欲研發之課題所在。
本發明提出一種冷熱雙風流烘乾系統,能夠同時產生冷熱風、儲存且應用熱風刀與冷風刀至板件的吹乾程序,以大幅提高生產良率、降低生產成本且降低能源損耗,由於大幅減少電熱器或不使用電熱器,在習用的烘乾裝置高達5KW電熱器需要6組,將使得烘乾的能源耗用非常大,同時電熱器的使用也引響了烘乾空氣流體的氣流道及電熱器產生的許多氧化粉塵。
本發明提供一種冷熱雙風流烘乾系統,尤用於對一板件進行吹乾程序。冷熱雙風流烘乾系統包括送風器、多個渦流管模組、熱風儲氣桶、第一鼓風機、第一熱風刀本體、冷風儲氣桶、第二鼓風機、第一冷風刀本體與控制器。送風器之內部具有空氣過濾模組,送風器用以接收外部空氣且通過空氣過濾模組以輸出乾淨空氣。多個渦流管模組之每一個各具有一進氣通口、一熱風通口與一冷風通口,該些渦流管模組之每一個進氣通口皆連接至送風器以接收乾淨空氣,並且在對應的熱風通口與冷風通口分別輸出熱風與冷風。熱風儲氣桶之側邊具有多個倍壓器且分別連接至多個渦流管模組之熱風出口以儲存熱風,其中熱風儲氣桶具有熱風輸出口。第一鼓風機連接至熱風儲氣桶之熱風輸出口,第一鼓風機用以運輸熱風。第一熱風刀本體連接至第一鼓風機以接收熱風,第一熱風刀本體具有第一熱風刀進風口與第一熱風刀出風口。冷風儲氣桶之側邊連接至多個渦流管模組之冷風通口以儲存冷風,其中冷風儲氣桶具有冷 風輸出口。第二鼓風機連接到冷風儲氣桶之冷風輸出口,第二鼓風機用以運輸冷風。第一冷風刀本體連接至第二鼓風機以接收冷風,冷風刀本體具有第一冷風刀進風口與第一冷風刀出風口。控制器連接至第一鼓風機與第二鼓風機,該控制器用以至少控制氣體流速、氣體壓力、氣體溫度與工作頻率。
在本發明之一實施例中,冷熱雙風流烘乾系統更包括第三鼓風機、第二熱風刀本體、第四鼓風機與第二冷風刀本體。第三鼓風機連接至控制器與第一熱風刀本體之第一熱風返流出風口,第三鼓風機用以運輸熱風。第二熱風刀本體連接至第三鼓風機以接收熱風,第二熱風刀本體具有第二熱風刀進風口與第二熱風刀出風口。第四鼓風機連接至控制器與第一冷風刀本體之第一冷風返流出風口,第四鼓風機用以運輸冷風。第二冷風刀本體連接至第四鼓風機以接收冷風,第二冷風刀本體具有第二冷風刀進風口與第二冷風刀出風口。
在本發明之一實施例中,冷熱雙風流烘乾系統更包括第一壓力偵測器,其設置連接至熱風儲氣桶與控制器,第一壓力偵測器用以偵測熱風儲氣桶內之氣體壓力。
在本發明之一實施例中,冷熱雙風流烘乾系統更包括第二壓力偵測器,其設置連接至冷風儲氣桶與控制器,第二壓力偵測器用以偵測冷風儲氣桶內之氣體壓力。
在本發明之一實施例中,冷熱雙風流烘乾系統更包括第一溫度偵測器,其設置連接至熱風儲氣桶與控制器,第一溫度偵測器用以偵測熱風儲氣桶內之氣體溫度。
在本發明之一實施例中,冷熱雙風流烘乾系統更包括第二溫度偵測器,其設置連接至冷風儲氣桶與控制器,第二溫度偵測器用以偵測冷風儲氣桶內之氣體溫度。
在本發明之一實施例中,冷熱雙風流烘乾系統更包括第一流速偵測器,其設置連接至熱風儲氣桶與控制器,第一流速偵測器用以偵測熱風儲氣桶內之氣體流速。
在本發明之一實施例中,冷熱雙風流烘乾系統更包括第二流速偵測器,其設置連接至冷風儲氣桶與控制器,第二流速偵測器用以偵測冷風儲氣桶內之氣體流速。
在本發明之一實施例中,第一冷風刀本體之第一冷風刀出風口由第一冷風出流口與第一冷風返流口所組成,其中第一冷風出流口具有正壓力且第一冷風返流口具有負壓力,以誘導周遭環境氣流流進而倍增且加速第一冷風出流口之輸出氣流,其中第一冷風返流口所返流的冷風透過第四鼓風機來進行運輸至第二冷風刀本體之第二冷風刀進風口。
在本發明之一實施例中,第一熱風刀本體之第一熱風刀出風口由第一熱風出流口與第一熱風返流口所組成,其中第一熱風出流口具有正壓力且第一熱風返流口具有負壓力,以誘導周遭環境氣流流進而倍增且加速第一熱風出流口之輸出氣流,其中第一熱風返流口所返流的熱風透過第三鼓風機來進行運輸至第二熱風刀本體之第二熱風刀進風口。
在本發明之一實施例中,如果熱風儲氣桶內之氣體壓力超過第一預設定氣壓門檻值,則控制器則會控制熱風儲氣桶進行洩壓作業。
在本發明之一實施例中,如果冷風儲氣桶內之氣體壓力超過第二預設定氣壓門檻值,則控制器則會控制冷風儲氣桶進行洩壓作業。
在本發明之一實施例中,冷熱雙風流烘乾系統更包括超音波共振器。超音波共振器連接至控制器、第一熱風刀本體、第一冷風刀本體、第二熱風 刀本體與第二冷風刀本體,超音波共振器透過控制器之控制來產生超音波,以讓板件進行共振,進而讓水分子從該板件之縱深孔洞內被震出。
綜上所述,本發明所揭露之冷熱雙風流烘乾系統能夠具有以下功效:1.同時產生熱風刀與冷風刀;2.可模組化且鏡像式擴充為多組熱風刀與多組冷風刀;3.在高溫烘乾後可快速降溫以去除水痕,提高後製程良率;及4.降低生產成本且降低能源損耗。
底下藉由具體實施例詳加說明,當更容易瞭解本發明之目的、技術內容、特點及其所達成之功效。
100:冷熱雙風流烘乾系統
111:空氣過濾模組
110:送風器
120:渦流管模組
121:進氣通口
122:熱風通口
123:冷風通口
130:熱風儲氣桶
131:倍壓器
132:熱風輸出口
140:第一鼓風機
150:第一熱風刀本體
151A:第一熱風刀進風口
151B:第一熱風返流出風口
152:第一熱風刀出風口
152A:第一熱風出流口
152B:第一熱風返流口
155:制壓滾輪
160:冷風儲氣桶
162:冷風輸出口
170:第二鼓風機
180:第一冷風刀本體
181A:第一冷風刀進風口
181B:第一冷風返流出風口
182:第一冷風刀出風口
182A:第一冷風出流口
182B:第一冷風返流口
185:制壓滾輪
190:控制器
210:第一壓力偵測器
220:第二壓力偵測器
310:第一溫度偵測器
320:第二溫度偵測器
410:第一流速偵測器
420:第二流速偵測器
510:第三鼓風機
520:第二熱風刀本體
521A:第二熱風刀進風口
522:第二熱風刀出風口
530:第四鼓風機
540:第二冷風刀本體
541A:第二冷風刀進風口
542:第二冷風刀出風口
610:超音波共振器
AG:熱風
BG:冷風
CG:乾淨空氣
EXG:外部空氣
PA:板件
第一圖係為本發明的冷熱雙風流烘乾系統之架構示意圖。
第二圖係為本發明的冷熱雙風流烘乾系統之另一架構示意圖。
第三圖係為本發明的冷熱雙風流烘乾系統之再一架構示意圖。
第四圖係為本發明的第一熱風刀本體之第一熱風刀出風口之結構示意圖。
第五圖係為本發明的第一冷風刀本體之第一冷風刀出風口之結構示意圖。
第六圖係為本發明的冷熱雙風流烘乾系統之應用示意圖。
為能解決現有板件於烘乾製程中使用風刀所產生的諸多問題,發明人經過多年的研究及開發,據以改善現有產品的詬病,後續將詳細介紹本發明如何以一種冷熱雙風流烘乾系統來達到最有效率的功能訴求。
請參閱第一圖,第一圖係為本發明的冷熱雙風流烘乾系統之架構示意圖。如圖所示,本揭露內容之冷熱雙風流烘乾系統100,能夠有效率地同時產生、儲存且應用熱風或冷風至設備內,尤其用於對一板件進行吹乾程序,其中該板件為薄板件或厚板件,且板件為電路板或玻璃基板。冷熱雙風流烘乾系統100包括送風器110、多個渦流管模組120、熱風儲氣桶130、第一鼓風機140、第一熱風刀本體150、冷風儲氣桶160、第二鼓風機170、第一冷風刀本體180與控制器190,其中本實施例之熱風刀與冷風刀具有高度自動調整的能力,以實現烘乾裝置最好的流體效果。
關於送風器110,送風器110之內部具有至少一個空氣過濾模組111且其用來過濾掉外部空氣的髒污灰塵,送風器110用以接收外部空氣EXG且通過空氣過濾模組111以輸出乾淨空氣CG。關於渦流管模組120,多個渦流管模組120之每一個各具有一進氣通口121、一熱風通口122與一冷風通口123,該些渦流管模組120之每一個進氣通口121皆連接至送風器110以接收乾淨空氣CG,並且在對應的熱風通口122與冷風通口123分別輸出熱風AG與冷風BG。在本發明實施例中,冷熱雙風流烘乾系統100具有一整排或陣列式的渦流管模組120,可利用渦流管的原理來同時產生熱風AG或冷風BG,也就是說使用渦流管在其中一端注入氣體,另外一端就會排出熱氣及冷氣的做法,利用空氣流動的層流角速度不同產生冷熱氣流的一種實現方法。接下來,就是進一步說明如何有效且安全地儲存渦流管模組120所產生的熱風AG或冷風BG。
關於熱風儲氣桶130,本發明實施例之熱風儲氣桶130之側邊具有多個倍壓器131且分別連接至多個渦流管模組120之熱風出口122以儲存熱風AG,其中熱風儲氣桶130具有熱風輸出口132。也就是說,渦流管模組120所產生的熱風AG會經過倍壓器131再進入到熱風儲氣桶130之內部以被儲存下來。接下來,關於第一鼓風機140,第一鼓風機140連接至熱風儲氣桶130之熱風輸出口132,第一鼓風機140用以運輸熱風AG且壓縮該熱風AG。關於第一熱風刀本體150,第一熱風刀本體150連接至第一鼓風機140以接收熱風AG,第一熱風刀本體150具有第一熱風刀進風口151A、第一熱風返流出風口151B(繪於第二圖)與第一熱風刀出風口152。進一步來說,當要開始使用儲存於熱風儲氣桶130的熱風AG時,透過開關的控制程序與第一鼓風機140的作用,熱風AG會從熱風儲氣桶130之熱風輸出口132流出且經過第一鼓風機140而進入到第一熱風刀本體150。在壓縮熱風AG的情況下且由於第一熱風刀本體150之口徑大小的設計,熱風AG會以一定流速從第一熱風刀本體150之第一熱風刀出風口152流動而出,進而可對板件進行熱風吹乾程序以帶走大量水氣。在上述過程中,熱風AG的氣體溫度、氣體流速與可由設計者依據環境參數或構件參數來進行事先設計或動態調整。
在本發明冷熱雙風流烘乾系統100之實施例中還能夠具備同時產生冷風刀的效果,以對剛經過熱風吹乾程序而處於高溫的板件來迅速降溫,以避免有任何水痕或其它非理想物質存在。換句話說,一般在製造印刷電路板等板件時,必須經由多數道濕製程後,再讓板件進入後製程;基於對品質的要求,板件在完成濕製程後而進入後製程之前,必須將板件上殘留的水分徹底排除,否則所殘留的水珠甚至水痕會影響後製程的良率。傳統上對於前述板件在經過濕製程後所殘留的水分的排除方式必須經過吹乾與烘乾兩道程序;其中的吹乾程序是在板件輸送過程中利用高壓空氣以傾斜方向吹向板件的上、下面,使得板件上、 下面所殘留的水分徹底地排除,然後再使板件進入烘乾程序而將板件完全地乾燥,最後才能讓板件進入後製程;倘若在吹乾的程序中未能將板件上的水分完全排除或讓板件自然降溫(緩慢降溫),則在將板件烘乾後會留下水痕,如此必將會影響後製程的良率。接下來將進一步說明冷熱雙風流烘乾系統100之冷風刀來快速降溫以完全去除水痕的相關動作。
關於冷風儲氣桶160,冷風儲氣桶160之側邊連接至多個渦流管模組120之冷風通口123以儲存冷風BG,其中冷風儲氣桶160具有冷風輸出口162。也就是說,渦流管模組120所產生的冷風BG會直接進入到冷風儲氣桶160之內部以被儲存下來。關於第二鼓風機170,第二鼓風機170連接到冷風儲氣桶160之冷風輸出口162,第二鼓風機170用以運輸冷風BG且壓縮該冷風BG。關於第一冷風刀本體180,第一冷風刀本體180連接至第二鼓風機170以接收冷風BG,第一冷風刀本體180具有第一冷風刀進風口181A、第一冷風返流出風口181B(繪於第二圖)與第一冷風刀出風口182。進一步來說,當要開始使用儲存於冷風儲氣桶160的冷風BG時,透過開關的控制程序與第二鼓風機170的作用,冷風BG會從冷風儲氣桶160之冷風輸出口162流出且經過第二鼓風機170而進入到第一冷風刀本體180。在壓縮冷風BG的情況下且由於第一冷風刀本體180之口徑大小的設計,冷風BG會以一定流速從第一冷風刀本體180之第一冷風刀出風口182流動而出,進而可對板件進行冷風快速降溫程序。在上述過程中,冷風BG的氣體溫度、氣體流速與可由設計者依據環境參數或構件參數來進行事先設計或動態調整。
接下來,請參照第二圖,第二圖係為本發明的冷熱雙風流烘乾系統之另一架構示意圖。首先,關於控制器190,控制器190連接至第一鼓風機140、第二鼓風機170,第三鼓風機510與第四鼓風機530。控制器190用以至少控制熱風AG或冷風BG的氣體流速、氣體壓力、氣體溫度與工作頻率(冷熱雙風流烘乾系 統100具有變頻效果)。在另一實施例中,控制器190更可以透過內建的無線射頻模組與網際網路連接到遠端控制系統來遠端進行調整與控制(圖未示)。本發明之冷熱雙風流烘乾系統100可以做進一步的熱風刀或冷風刀的模組擴充且其數量並無限制。舉例來說,如第二圖所示,冷熱雙風流烘乾系統100更包括第三鼓風機510、第二熱風刀本體520、第四鼓風機530與第二冷風刀本體540。第三鼓風機510連接至控制器190與第一熱風刀本體150之第一熱風返流出風口151B,第三鼓風機510用以運輸熱風AG至第二熱風刀本體520之第二熱風刀進風口521A。第二熱風刀本體520連接至第三鼓風機510以接收熱風AG,第二熱風刀本體520具有第二熱風刀進風口521A與第二熱風刀出風口522。第四鼓風機530連接至控制器190與第一冷風刀本體180之第一冷風返流出風口181B,第四鼓風機530用以運輸冷風BG至第二冷風刀本體540之第二冷風刀進風口541A。第二冷風刀本體540連接至第四鼓風機530以接收冷風BG,第二冷風刀本體540具有第二冷風刀進風口541A與第二冷風刀出風口542。上述之擴充實施例為以兩個熱風刀本體150及520與兩個冷風刀本體180及540為例子,實際應用上可以使用N個熱風刀本體與N個冷風刀本體來進行擴充,其中N為大於一之正整數,例如為10組熱風刀本體與10組冷風刀本體。
接下來,請參照第三圖,第三圖係為本發明的冷熱雙風流烘乾系統之再一架構示意圖。冷熱雙風流烘乾系統100更包括第一壓力偵測器210、第二壓力偵測器220、第一溫度偵測器310、第二溫度偵測器320、第一流速偵測器410與第二流速偵測器420與超音波共振器610。第一壓力偵測器210係設置連接至熱風儲氣桶130與控制器190,第一壓力偵測器210用以偵測熱風儲氣桶130內之氣體壓力。第二壓力偵測器220係設置連接至冷風儲氣桶160與控制器190,第二壓力偵測器220用以偵測冷風儲氣桶160內之氣體壓力。進一步來說,如果熱風儲氣桶 130內之氣體壓力超過第一預設定氣壓門檻值,則控制器190則會控制熱風儲氣桶130進行洩壓作業,其中第一預設定氣壓門檻值可由設計者根據實際情況或需求來進行設定;如果冷風儲氣桶160內之氣體壓力超過第二預設定氣壓門檻值,則控制器190則會控制冷風儲氣桶160進行洩壓作業,其中第二預設定氣壓門檻值可由設計者根據實際情況或需求來進行設定。
此外,第一溫度偵測器310設置連接至熱風儲氣桶130與控制器190,第一溫度偵測器310用以偵測熱風儲氣桶130內之氣體溫度。第二溫度偵測器320設置連接至冷風儲氣桶160與控制器190,第二溫度偵測器320用以偵測冷風儲氣桶160內之氣體溫度。進一步來說,熱風儲氣桶130內之氣體溫度與冷風儲氣桶160內之氣體溫度可由設計者依據實際情況或需求來進行設計,在一實施例中,氣體溫度可高達攝氏120度(熱風儲氣桶130內),也可低至攝氏負10度(冷風儲氣桶160內),但並不以此數據為限。另外,第一流速偵測器410設置連接至熱風儲氣桶130與控制器190,第一流速偵測器410用以偵測熱風儲氣桶130內之氣體流速,在另一實施中,第一流速偵測器410更連接到第一熱風刀本體150以偵測第一熱風刀出風口152之氣體流速(圖未示)。第二流速偵測器420設置連接至冷風儲氣桶160與控制器190,第二流速偵測器420用以偵測冷風儲氣桶160內之氣體流速,在另一實施中,第二流速偵測器420更連接到第一冷風刀本體180以偵測第一冷風刀出風口182之氣體流速(圖未示)。除了透過控制器190來控制第一鼓風機140及第二鼓風機170以控制氣體流速外,更可以透過第一熱風刀本體150之進出口口徑尺寸大小與第一冷風刀本體180之進出口口徑尺寸大小來控制氣體流速。最後,超音波共振器610連接至控制器190、第一熱風刀本體150、第一冷風刀本體180、第二熱風刀本體520與第二冷風刀本體540,超音波共振器610透過控制器190之控制來產生超音波,以讓板件進行共振,進而讓水分子從板件之縱深孔洞 內被震出,如此更可進一步讓風刀進行更完整的烘乾程序,其中超音波共振器610本身具有電源與發振子,而發振子連接至第一熱風刀本體150與第一冷風刀本體180之制壓滾輪。進一步來說,請同時參照第三圖至第五圖,第四圖係為本發明的第一熱風刀本體之第一熱風刀出風口之結構示意圖。第五圖係為本發明的第一冷風刀本體之第一冷風刀出風口之結構示意圖。超音波共振器610所產生的超音波會使得制壓滾輪155及185產生共振,進而使得板件PA產生共振,其中制壓滾輪155及185為接觸於板件PA。
在第四圖與第五圖中,須注意的是,第一熱風刀本體150之第一熱風刀出風口152由第一熱風出流口152A與第一熱風返流口152B所組成,其中第一熱風出流口152A具有正壓力且第一熱風返流口152B具有負壓力,以誘導周遭環境氣流流進而倍增且加速第一熱風出流口152A之輸出氣流。在本實施例中,如第四圖所示,冷熱雙風流烘乾系統100之第一熱風刀本體150正在對一板件PA進行高溫烘乾程序,制壓滾輪155在板件PA上移動(制壓滾輪155接觸板件PA或不接觸到板件PA)且也具有熱風導流效果,熱風AG從第一熱風出流口152A快速流出以對板件PA進行烘乾且熱風會從第一熱風返流口152B再度返回流進第一熱風刀本體150內,之後由第三鼓風機510來將熱風AG自第一熱風刀本體150內經由第一熱風返流出風口151B抽出且搬運熱風AG至第二熱風刀本體520之第二熱風刀進風口521A。如此的設計可以讓第一熱風出流口152A呈現出正壓力且第一熱風返流口152B呈現出負壓力(第二熱風刀本體520之第二熱風刀出風口522也是同樣的設計,但其返流抽回的熱風AG係由第三鼓風機510來進行抽回),進一步倍增第一熱風出流口152A之氣體流速與氣體流量,藉此高速氣流以增加烘乾效果。
另一方面,第一冷風刀本體180之第一冷風刀出風口182由第一冷風出流口182A與第一冷風返流口182B所組成,其中第一冷風出流口182A具有正壓力且第一冷風返流口182B具有負壓力,以誘導周遭環境氣流流進而倍增且加速第一冷風出流口182A之輸出氣流。在本實施例中,如第五圖所示,冷熱雙風流烘乾系統100之第一冷風刀本體180正在對一剛經過第一熱風刀本體150之吹乾程序之板件PA進行快速降溫程序,制壓滾輪185在板件PA上移動(制壓滾輪185接觸板件PA或不接觸到板件PA)且也具有冷風導流效果,冷風BG從第一冷風出流口182A快速流出以對板件PA快速降溫且冷風會從第一冷風返流口182B再度返回流進第一冷風刀本體180內,之後由第四鼓風機530來將冷風BG自第一冷風刀本體180內經由第一冷風返流出風口181B抽出且搬運冷風BG至第二冷風刀本體540之第二冷風刀進風口541A。如此的設計可以讓第一冷風出流口182A呈現出正壓力且第一冷風返流口182B呈現出負壓力(第二冷風刀本體540之第二冷風刀出風口542也是同樣的設計,但其返流抽回的冷風BG係由第四鼓風機530來進行抽回),進一步倍增第一冷風出流口182A之氣體流速與氣體流量,藉此高速氣流以增加烘乾效果。這樣一來,第一冷風刀本體180使板件PA快速降溫,並與第二冷風刀本體540能夠產生高速吹吸氣流動,移除板件PA孔洞內的水氣。。透過上述對氣體溫度、氣體壓力、氣體流速與工作頻率的控制,冷熱雙風流烘乾系統100除了可以應用在厚板件上,也可以應用在薄板件上面,當高壓空氣作用於薄板件時,則不會造成板件過度撓曲,進而不會在輸送過程中造成卡板現象。
請參照第六圖,第六圖係為本發明的冷熱雙風流烘乾系統之應用示意圖。在一具體實施例中,板件PA在經過濕製程後,會進入烘乾製程,該板件PA在烘乾程序中,左右或上下各有一組冷熱雙風流烘乾系統100來進行烘乾。 整體運作機制,如第一圖至第五圖所述,在經過本發明之冷熱雙風流烘乾系統100所烘乾之板件PA,能夠幾乎完全地去除板件PA上的水份且不留下任何水痕。
綜上所述,本發明所揭露之冷熱雙風流烘乾系統能夠具有以下功效:1.同時產生熱風刀與冷風刀;2.可模組化且鏡像式擴充為多組熱風刀與多組冷風刀;3.在高溫烘乾後可快速降溫以去除水痕,提高後製程良率;及4.降低生產成本且降低能源損耗。
唯以上所述者,僅為本發明之較佳實施例而已,並非用來限定本發明實施之範圍。故即凡依本發明申請範圍所述之特徵及精神所為之均等變化或修飾,均應包括於本發明之申請專利範圍內。
100:冷熱雙風流烘乾系統
111:空氣過濾模組
110:送風器
120:渦流管模組
121:進氣通口
122:熱風通口
123:冷風通口
130:熱風儲氣桶
131:倍壓器
132:熱風輸出口
140:第一鼓風機
150:第一熱風刀本體
151A:第一熱風刀進風口
151B:第一熱風返流出風口
152:第一熱風刀出風口
160:冷風儲氣桶
162:冷風輸出口
170:第二鼓風機
180:第一冷風刀本體
181A:第一冷風刀進風口
181B:第一冷風返流出風口
182:第一冷風刀出風口
190:控制器
210:第一壓力偵測器
220:第二壓力偵測器
310:第一溫度偵測器
320:第二溫度偵測器
410:第一流速偵測器
420:第二流速偵測器
510:第三鼓風機
520:第二熱風刀本體
521A:第二熱風刀進風口
522:第二熱風刀出風口
530:第四鼓風機
540:第二冷風刀本體
541A:第二冷風刀進風口
542:第二冷風刀出風口
610:超音波共振器
AG:熱風
BG:冷風
CG:乾淨空氣
EXG:外部空氣

Claims (13)

  1. 一種冷熱雙風流烘乾系統,尤用於對一板件進行吹乾程序,包括:一送風器,其內部具有一空氣過濾模組,該送風器用以接收一外部空氣且通過該空氣過濾模組以輸出一乾淨空氣;多個渦流管模組,各具有一進氣通口、一熱風通口與一冷風通口,該些渦流管模組之每一該進氣通口皆連接至該送風器以接收該乾淨空氣,並且在對應的該熱風通口與該冷風通口分別輸出一熱風與一冷風;一熱風儲氣桶,其側邊具有多個倍壓器且分別連接至該些渦流管模組之該熱風通口以儲存該熱風,其中該熱風儲氣桶具有一熱風輸出口;一第一鼓風機,其連接至該熱風儲氣桶之該熱風輸出口,該第一鼓風機用以運輸該熱風;一第一熱風刀本體,其連接至該第一鼓風機以接收該熱風,該第一熱風刀本體具有一第一熱風刀進風口與一第一熱風刀出風口;一冷風儲氣桶,其側邊連接至該些渦流管模組之該冷風通口以儲存該冷風,其中該冷風儲氣桶具有一冷風輸出口;一第二鼓風機,其連接到該冷風儲氣桶之該冷風輸出口,該第二鼓風機用以運輸該冷風;一第一冷風刀本體,其連接至該第二鼓風機以接收該冷風,該第一冷風刀本體具有一第一冷風刀進風口與第一冷風刀出風口;以及一控制器,其連接至該第一鼓風機與該第二鼓風機,該控制器用以至少控制一氣體流速、一氣體壓力、一氣體溫度與一工作頻率。
  2. 如請求項1所述之冷熱雙風流烘乾系統,更包括: 一第三鼓風機,其連接至該控制器與該第一熱風刀本體之一第一熱風返流出風口,該第三鼓風機用以運輸該熱風;一第二熱風刀本體,其連接至該第三鼓風機以接收該熱風,該第二熱風刀本體具有一第二熱風刀進風口與一第二熱風刀出風口;一第四鼓風機,其連接至該控制器與該第一冷風刀本體之一第一冷風返流出風口,該第四鼓風機用以運輸該冷風;以及一第二冷風刀本體,其連接至該第四鼓風機以接收該冷風,該第二冷風刀本體具有一第二冷風刀進風口與一第二冷風刀出風口。
  3. 如請求項1所述之冷熱雙風流烘乾系統,更包括一第一壓力偵測器,其設置連接至該熱風儲氣桶與該控制器,該第一壓力偵測器用以偵測該熱風儲氣桶內之該氣體壓力。
  4. 如請求項1所述之冷熱雙風流烘乾系統,更包括一第二壓力偵測器,其設置連接至該冷風儲氣桶與該控制器,該第二壓力偵測器用以偵測該冷風儲氣桶內之該氣體壓力。
  5. 如請求項1所述之冷熱雙風流烘乾系統,更包括一第一溫度偵測器,其設置連接至該熱風儲氣桶與該控制器,該第一溫度偵測器用以偵測該熱風儲氣桶內之該氣體溫度。
  6. 如請求項1所述之冷熱雙風流烘乾系統,更包括一第二溫度偵測器,其設置連接至該冷風儲氣桶與該控制器,該第二溫度偵測器用以偵測該冷風儲氣桶內之該氣體溫度。
  7. 如請求項1所述之冷熱雙風流烘乾系統,更包括一第一流速偵測器,其設置連接至該熱風儲氣桶與該控制器,該第一流速偵測器用以偵測該熱風儲氣桶內之該氣體流速。
  8. 如請求項1所述之冷熱雙風流烘乾系統,更包括一第二流速偵測器,其設置連接至該冷風儲氣桶與該控制器,該第二流速偵測器用以偵測該冷風儲氣桶內之該氣體流速。
  9. 如請求項2所述之冷熱雙風流烘乾系統,其中該第一冷風刀本體之該第一冷風刀出風口由一第一冷風出流口與一第一冷風返流口所組成,其中該第一冷風出流口具有正壓力且該第一冷風返流口具有負壓力,以誘導周遭環境氣流流進而倍增且加速該第一冷風出流口之輸出氣流,其中該第一冷風返流口所返流的該冷風透過該第四鼓風機來進行運輸至該第二冷風刀本體之該第二冷風刀進風口。
  10. 如請求項2所述之冷熱雙風流烘乾系統,其中該第一熱風刀本體之該第一熱風刀出風口由一第一熱風出流口與一第一熱風返流口所組成,其中該第一熱風出流口具有正壓力且該第一熱風返流口具有負壓力,以誘導周遭環境氣流流進而倍增且加速該第一熱風出流口之輸出氣流,其中該第一熱風返流口所返流的該熱風透過該第三鼓風機來進行運輸至該第二熱風刀本體之該第二熱風刀進風口。
  11. 如請求項1所述之冷熱雙風流烘乾系統,其中如果該熱風儲氣桶內之該氣體壓力超過一第一預設定氣壓門檻值,則該控制器則會控制該熱風儲氣桶進行洩壓作業。
  12. 如請求項1所述之冷熱雙風流烘乾系統,其中如果該冷風儲氣桶內之該氣體壓力超過一第二預設定氣壓門檻值,則該控制器則會控制該冷風儲氣桶進行洩壓作業。
  13. 如請求項2所述之冷熱雙風流烘乾系統,更包括: 一超音波共振器,其連接至該控制器、該第一熱風刀本體、該第一冷風刀本體、該第二熱風刀本體與該第二冷風刀本體,該超音波共振器透過該控制器之控制來產生超音波,以讓該板件進行共振,進而讓水分子從該板件之縱深孔洞內被震出。
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009063824A1 (ja) * 2007-11-14 2009-05-22 Fujifilm Corporation 塗布膜の乾燥方法及び平版印刷版原版の製造方法
TW201445101A (zh) * 2013-05-21 2014-12-01 Chih Chong V Entpr Co Ltd 風刀結構
CN106643084A (zh) * 2016-12-26 2017-05-10 通富微电子股份有限公司 一种干燥装置及具有该干燥装置的清洗机
TWM628655U (zh) * 2022-01-27 2022-06-21 黃乃為 冷熱雙風流烘乾系統

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009063824A1 (ja) * 2007-11-14 2009-05-22 Fujifilm Corporation 塗布膜の乾燥方法及び平版印刷版原版の製造方法
TW201445101A (zh) * 2013-05-21 2014-12-01 Chih Chong V Entpr Co Ltd 風刀結構
CN106643084A (zh) * 2016-12-26 2017-05-10 通富微电子股份有限公司 一种干燥装置及具有该干燥装置的清洗机
TWM628655U (zh) * 2022-01-27 2022-06-21 黃乃為 冷熱雙風流烘乾系統

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