TWM311922U - Hang pasting apparatus for photo negatives of exposing machine - Google Patents

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TWM311922U
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TW
Taiwan
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TW95217826U
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Hung-Ming Jang
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Hung-Ming Jang
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  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Description

M311922 八、新型說明: 【新型所屬之技術領域】 本創作係有關一種曝光機之底片垂貼裝置,尤指一種在 抽氣裝置之抽氣管路,三通連接一導大氣電磁閥,且將工作 底片周緣貼附定位之設計者。 : 【先前技術】 按,如第一圖所示,曝光機係藉抽氣裝置將底片吸附定 位,而一般之抽氣裝置(1〇〇)乃包括有: •一真空產生器(10),用以產生真空吸力; 數抽氣嘴(20),設置於曝光框之曝光玻璃(30),藉抽氣管 路(40)經一逆止閥(11),而與該真空產生器(10)形成連接關係, 且得先經三通接頭1(41)再連接至抽氣管路(40),俾以利用真 空產生器(10)所產生真空吸力,將工作底片(50)吸附定位於 曝光玻璃(30); 一真空電磁閥(60),藉閉氣管路(42)與該真空產生器(1〇) 形成連接關係,而用以控制該真空產生器(1〇)真空吸力之產 生狀態; 一吹氣電磁閥(70),藉吹氣管路(43)經三通接頭n(44), 而連接於數抽氣嘴(2〇)與逆止閥(π)間之抽氣管路(4〇),俾以 、 控制是否導入氣壓源之高壓氣,吹落藉數抽氣嘴(20)吸附定 • 位於曝光破璃(3〇)之工作底片(50),此乃更換吸附工作底片 (50)前之程序;以及 壓力錶(80),藉測壓管路(45)經三通接頭ih(46),而連 接於數抽氣嘴(2〇)與逆止閥(11)間之抽氣管路(4〇)者。 M311922 於是,因放置於曝光框内部之待曝光基板(圖未示),係與 被數抽氣嘴(20)吸附定位於曝光玻璃(30)之工作底片(50), 留有供待曝光基板進行對位工作之間隙,且此對位間隙會留 存至進行曝光工作,而成為曝光間隙,但此曝光間隙對於曝 光精度具有負面之影響。 【新型内容】 本創作之主要目的,係欲解決先前技術留存有曝光間隙 之問題,而具有消除曝光間隙之功效。 為達上述功效,本創作之結構特徵,係包括有: 一導大氣電磁閥,藉導大氣管路經三通接頭連接於一抽 氣裝置之抽氣管路;以及將工作底片周緣貼附定位之貼附 件。 【實施方式】 首先,請參閱第二圖所示,本創作係包括有: 一導大氣電磁閥(90),藉導大氣管路(47)經三通接頭IV (48),而連接於一抽氣裝置(100)之抽氣管路(40);以及 諸如膠帶之貼附件(51),將工作底片(50)周緣貼附定位 於曝光框之曝光玻璃(30)者。 又,該抽氣裝置(100)乃包括有: 一真空產生器(10),用以產生真空吸力; 數抽氣嘴(20),設置於曝光框之曝光玻璃(30),藉抽氣管 路(40)經一逆止閥(11),而與該真空產生器(10)形成連接關係, 且得先經三通接頭1(41)再連接至抽氣管路(40); 一真空電磁閥(60),藉閉氣管路(42)與該真空產生器(10) M311922 形成連接關係; 一吹氣電磁閥(70),藉吹氣管路(43)經三通接頭11(44), 而連接於數抽氣嘴(20)與逆止閥(11)間之抽氣管路(40);以 及 一壓力錶(80),藉測壓管路(45)經三通接頭111(46),而連 接於數抽氣嘴(20)與逆止閥(11)間之抽氣管路(40)者。 基於如是之構成,本創作令被數抽氣嘴(20)吸附定位於 曝光玻璃(30)之工作底片(50),再以貼附件(51)將其周緣貼 附定位;因此,當完成對位工作而要轉換至曝光工作之際,則 由導大氣電磁閥(90)讓導大氣管路(91)呈現開通之狀態,將 大氣經抽氣管路(40)導流至數抽氣嘴(20),解除施加於工作 底片(50)之吸附力;並因工作底片(50)周緣已被貼附件(51) 貼附定位,而使得工作底片(50)之圖像區域自然垂落,藉以 消除曝光間隙,提升曝光精度。 另當完成曝光工作之後,只需讓導大氣電磁閥(90)將導 大氣管路(91)封閉,即可由抽氣裝置(100)之真空產生器(10) 產生真空吸力,再度將工作底片(50)吸附定位於曝光玻璃 (30),進行下一次之對位工作,且因該工作底片(50)已被貼附 件(51)所貼附定位,並不會讓其再度吸附定位之工作位置有 所偏移,維持對位工作得順利進行;是以,本創作具有消除曝 光間隙之功效。 綜上所述,本創作所揭示之構造,為昔所無,且確能達到 預期之功效,並具可供產業利用性,完全符合新型專利要件, 祈請貴審查委員核賜專利,以勵創新,無任德感。 惟,上述所揭露之圖式、說明,僅為本創作之較佳實施例, M311922 大凡熟悉此項技藝人士,依本案精神範疇所作之修飾或等效 變化,仍應包括在本案申請專利範圍内。
-8- M311922 【圖式簡單說明】 第一圖係一般抽氣裝置之結構說明圖。 第二圖係本創作之結構說明圖。 【主要元件符號說明】 (100)抽氣裝置 (45)測壓管路 (10)真空產生器 (46)三通接頭III (11)逆止閥 (47)導大氣管路 (20)抽氣嘴 (48)三通接頭IV (30)曝光玻璃 (50)工作底片 (40)抽氣管路 (51)貼附件 (41)三通接頭I (60)真空電磁閥 (42)閉氣管路 (70)吹氣電磁閥 (43)吹氣管路 (80)壓力錶 (44)三通接頭II (90)導大氣電磁閥

Claims (1)

  1. M311922 九、申請專利範圍: 1 . -種曝光機之底片垂貼裴置,係包括有: -導大氣電磁閥,藉導大氣管路連接於—抽氣裝置之抽 氣管路;以及 貼附件,將工作底片周緣貼附定位者。 2如申明專利範圍第1項所述之曝光機之底片垂貼 裝置,其中,該貼附件為膠帶。 3·如申請專利範圍第1項所述之曝光機之底片垂貼 裝置,其中,該抽氣裴置乃包括有·· 真空產生器,用以產生真空吸力; 、,數抽氣嘴,設置於曝光框之曝光玻璃,藉抽氣管路經一 逻止閥,而與該真空產生器形成連接關係; —真空電磁閥,藉閉氣管路與該真空產生器形成連接關 係; 鲁 一吹氣電磁閥,藉吹氣管路連接於數抽氣嘴與逆止閥間 之抽氣管路;以及 一壓力錶,藉測壓管路連接於數抽氣嘴與逆止閥間之抽 氣管路者。 • 4 ·如申請專利範圍第3項所述之曝光機之底片垂貼 破置,其中,該導大氣管路、數抽氣嘴、吹氣管路及測壓管路 經三通接頭連接於抽氣管路。 -10-
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI416276B (zh) * 2010-09-10 2013-11-21 Chime Ball Technology Co Ltd An exposure method for improving the size of the solder resist window, and an exposure frame for implementing the method
CN113840093A (zh) * 2020-06-24 2021-12-24 北京小米移动软件有限公司 图像生成方法及装置

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