CN217097828U - 一种用于硅片搬运的机械爪 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于硅片搬运的机械爪，包括机械爪本体，机械爪本体包括位于前部的负压吸嘴部和位于后部的手柄部，所述机械爪本体包括从上之下依次连接的第一玻璃层、第二玻璃层和第三玻璃层，使得第一玻璃层、第二玻璃层和第三玻璃层内部共同构成第一通道和第二通道，所述第一通道和第二通道连通，所述第一玻璃层上设置有多个与第一通道连通的负压吸孔和与第二通道连通的抽气孔，本结构采用玻璃材质作为机械爪的材料一方面可提高机械爪表面的光洁度，使其不会对硅片产生划伤，另一方面则利用玻璃材质的平整度，使得机械爪表面和硅片紧密接触，防止其在搬运过程中发生机械爪和硅片的相对位移，同时采用玻璃材质还能降低机械爪的生产成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片机械爪领域，特别涉及一种用于硅片搬运的机械爪。
背景技术
硅片机械爪是一种搬运硅片的搬运机构，目前的硅片机械爪均为金属或陶瓷材质，因此对其表面加工要求很高，由于还需要加工通气槽，因此金属或陶瓷表面很容易发生变形，而对搬运硅片的机械爪的平面平整度的要求非常高，同时要求机械爪表面不易变形且光洁度高，而目前的机械爪很难同时满足上述要求。
实用新型内容
本实用新型解决的技术问题是提供一种不易变形、且表面光洁度高的用于硅片搬运的机械爪。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种用于硅片搬运的机械爪，包括机械爪本体，所述机械爪本体包括位于前部的负压吸嘴部和位于后部的手柄部，所述机械爪本体包括从上之下依次连接的第一玻璃层、第二玻璃层和第三玻璃层，所述第二玻璃层中部设置有位于负压吸嘴部的第一通气槽和位于手柄部的第二通气槽，使得第一玻璃层、第二玻璃层和第三玻璃层内部共同构成第一通道和第二通道，所述第一通道和第二通道连通，所述第一玻璃层位于负压吸嘴部处设置有多个与第一通道连通的负压吸孔，所述第一玻璃层位于手柄部尾端设置有与第二通道连通的抽气孔。
进一步的是：所述第一玻璃层、第二玻璃层和第三玻璃层之间通过胶膜黏连。
进一步的是：所述第一玻璃层、第二玻璃层和第三玻璃层为浮法玻璃。
进一步的是：所述第一玻璃层和第二玻璃层的负压吸嘴部前端均为相互匹配的斜面结构。
进一步的是：所述机械爪本体的负压吸嘴部前部由第一玻璃层由第二玻璃层组成。
本实用新型的有益效果是：本结构采用玻璃材质作为机械爪的材料一方面可提高机械爪表面的光洁度，使其不会对硅片产生划伤，另一方面则利用玻璃材质的平整度，使得机械爪表面和硅片紧密接触，使得其能够在负压工作时减少漏气，从而防止在搬运过程中发生机械爪和硅片的相对位移，同时采用玻璃材质还能降低机械爪的生产成本。
附图说明
图1为一种用于硅片搬运的机械爪的结构示意图。
图2为一种用于硅片搬运的机械爪的底部结构示意图。
图3为一种用于硅片搬运的机械爪的第二玻璃层的结构示意图。
图4为一种用于硅片搬运的机械爪的前端结构示意图。
图中标记为：第一玻璃层1、第二玻璃层2、第三玻璃层3、第一通气槽4、第二通气槽5、负压吸孔6、抽气孔7、斜面结构8。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
如图1至图3所示，本申请的实施例公开了一种用于硅片搬运的机械爪，包括机械爪本体，所述机械爪本体包括位于前部的负压吸嘴部和位于后部的手柄部。所述机械爪本体包括从上之下依次连接的第一玻璃层1、第二玻璃层2和第三玻璃层3。所述第二玻璃层2中部设置有位于负压吸嘴部的第一通气槽4和位于手柄部的第二通气槽5，使得第一玻璃层1、第二玻璃层2和第三玻璃层3内部共同构成第一通道和第二通道。所述第一通道和第二通道连通，所述第一玻璃层1位于负压吸嘴部处设置有多个与第一通道连通的负压吸孔6，所述第一玻璃层1位于手柄部尾端设置有与第二通道连通的抽气孔7。
具体的，上述结构中，第一玻璃层1、第二玻璃层2和第三玻璃层3可采用浮法玻璃，第一玻璃层1、第二玻璃层2和第三玻璃层3采用胶膜黏连固定。
具体工作时，该机械爪可安装于其他动力装置上，然后将抽气孔7与外界抽气装置连接，外部动力装置驱动机械爪从硅片底部插入，接着外部抽气装置抽气，使得机械爪通过负压吸孔6将硅片牢牢的吸附在机械爪表面，接着由机械爪将其搬运至其他地点。
上述结构中，采用玻璃代替金属的设计，一方面可提高机械爪表面的光洁度，使其不会对硅片产生划伤，另一方面则利用玻璃材质的平整度，使得机械爪表面和硅片紧密接触，使得其能够在负压工作时减少漏气，从而防止在搬运过程中发生机械爪和硅片的相对位移，同时采用玻璃材质还能降低机械爪的生产成本。
本实施例中，如图4所示，所述第一玻璃层1和第二玻璃层2的负压吸嘴部前端均为相互匹配的斜面结构8。
具体工作时，机械爪先要铲入硅片底部，才可将硅片吸附托起，再转移到另一处地方。
上述结构中，通过将第一玻璃层1和第二玻璃层2的前端设计成斜面，可方便将机械爪本体插入硅片下方，进而进行下一步的吸附托起操作。
本实施例中，所述机械爪本体的负压吸嘴部前部由第一玻璃层1由第二玻璃层2组成。
上述结构中，通过将机械爪本体前端的三层玻璃结构改为两层玻璃结构，从而使得机械爪本体的前端结构更薄，从而能更方便准确的将该机械爪插入硅片下方。
以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种用于硅片搬运的机械爪，其特征在于：包括机械爪本体，所述机械爪本体包括位于前部的负压吸嘴部和位于后部的手柄部，所述机械爪本体包括从上之下依次连接的第一玻璃层(1)、第二玻璃层(2)和第三玻璃层(3)，所述第二玻璃层(2)中部设置有位于负压吸嘴部的第一通气槽(4)和位于手柄部的第二通气槽(5)，使得第一玻璃层(1)、第二玻璃层(2)和第三玻璃层(3)内部共同构成第一通道和第二通道，所述第一通道和第二通道连通，所述第一玻璃层(1)位于负压吸嘴部处设置有多个与第一通道连通的负压吸孔(6)，所述第一玻璃层(1)位于手柄部尾端设置有与第二通道连通的抽气孔(7)。
2.如权利要求1所述的用于硅片搬运的机械爪，其特征在于：所述第一玻璃层(1)、第二玻璃层(2)和第三玻璃层(3)之间通过胶膜黏连。
3.如权利要求1所述的用于硅片搬运的机械爪，其特征在于：所述第一玻璃层(1)、第二玻璃层(2)和第三玻璃层(3)为浮法玻璃。
4.如权利要求1所述的用于硅片搬运的机械爪，其特征在于：所述第一玻璃层(1)和第二玻璃层(2)的负压吸嘴部前端均为相互匹配的斜面结构(8)。
5.如权利要求1所述的用于硅片搬运的机械爪，其特征在于：所述机械爪本体的负压吸嘴部前部由第一玻璃层(1)由第二玻璃层(2)组成。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202220667278.4U CN217097828U (zh) | 2022-03-24 | 2022-03-24 | 一种用于硅片搬运的机械爪 |
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Publications (1)
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| CN217097828U true CN217097828U (zh) | 2022-08-02 |
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ID=82604428
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
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Country Status (1)
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| CN (1) | CN217097828U (zh) |
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2022
- 2022-03-24 CN CN202220667278.4U patent/CN217097828U/zh active Active
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