TWI836860B - 工件保持系統及工件保持裝置 - Google Patents

Abstract

一種工件保持系統(10)包括：抽吸載台(12)，形成 有一個以上的用於抽吸載置於上表面的載置物的抽吸孔(20)；以及工件保持裝置(16)，載置於所述抽吸載台(12)之上，並保持工件(100)。所述工件保持裝置(16)具有：底座(30)，載置於所述抽吸載台(12)之上；保持載台(32)，供載置所述工件(100)，且能夠相對於所述底座(30)變更姿勢；抽吸通路(38)，與所述抽吸孔(20)連通；以及致動器(34)，利用藉由經由所述抽吸通路(38)抽吸或供給空氣而產生的空壓進行驅動，且變更所述保持載台(32)的姿勢。

Description

工件保持系統及工件保持裝置

本說明書是有關於一種可旋轉地保持工件的工件保持裝置、及具有所述工件保持裝置的工件保持系統。

習知以來，抽吸保持工件的抽吸載台被熟知。於該抽吸載台形成有一個以上的抽吸孔。於抽吸孔連接有抽吸泵。並且，在將工件載置於抽吸載台的狀態下驅動抽吸泵，以將該抽吸孔堵住，藉此抽吸保持工件。

[現有技術文獻]

[專利文獻]

專利文獻1：日本專利特開2021-110558號公報

然而，根據對工件所實施的處理的內容，在處理過程中，有時要變更工件的姿勢。例如，有時要一邊變更工件的姿勢，一邊多次對工件進行拍攝，並基於所獲得的多個圖像來對工件進行檢查。在欲使用普通抽吸載台進行所述檢查的情況下，每次拍攝 時，必須暫時解除抽吸並變更工件的姿勢，非常麻煩。

因此，亦想到藉由追加專用動力源(例如馬達或電磁缸等)來變更工件的姿勢。然而，如上所述的動力源的追加會導致成本增加。

再者，於專利文獻1中揭示有一種具有滑動載台的檢查系統。藉由該檢查系統，能夠變更工件的位置。然而，於專利文獻1中，滑動載台是手動滑動。因此，為了變更載置於滑動載台的工件的位置，需要操作員的手動操作，仍然麻煩。

因此，在本說明書中揭示一種不追加專用動力源，便能夠變更工件的姿勢的工件保持系統及工件保持裝置。

本說明書中所揭示的工件保持系統包括：抽吸載台，形成有一個以上的抽吸孔，用於抽吸載置於上表面的載置物；以及工件保持裝置，載置於所述抽吸載台之上，並保持工件，其中，所述工件保持裝置包括：底座，載置於所述抽吸載台之上；保持載台，供載置所述工件，且能夠相對於所述底座變更姿勢；抽吸通路，與所述抽吸孔連通；以及致動器，利用藉由經由所述抽吸通路抽吸或供給空氣而產生的空壓進行驅動，且變更所述保持載台的姿勢。

在此情況下，亦可為，所述保持載台設置為能夠繞上下方向軸旋轉，所述致動器接收所述空壓而使所述保持載台旋轉。

而且，亦可為，所述致動器包含氣缸，所述氣缸接收所 述空壓而伸長或收縮。

而且，亦可為，所述致動器包含棘輪齒輪，所述棘輪齒輪隨著所述氣缸的伸縮，僅沿一方向旋轉；所述保持載台與所述棘輪齒輪一起旋轉。

而且，亦可為，本發明的工件保持系統更包括：傾斜機構，使所述保持載台相對於所述底座傾斜。

在此情況下，亦可為，本發明的工件保持系統更包括：工具頭，設置於所述抽吸載台的上側，能夠相對於所述抽吸載台升降而對所述工件實施規定處理；所述傾斜機構包括：力點部，是能夠繞水平軸擺動的桿，且能夠由所述工具頭按壓；以及作用點部，隔著所述水平軸位於所述力點部的相反側，藉由按壓所述力點部而上推所述保持載台。

而且，亦可為，所述保持載台的底面具有：第一底面部，以第一角度傾斜；以及第二底面部，以與所述第一角度不同的第二角度傾斜。在上推所述第一底面部的情況、及上推所述第二底面部的情況下，所述抽吸載台的上表面的斜率變化。

而且，亦可為，本發明的工件保持系統更包括：基準面，與所述保持載台一起旋轉，即便所述保持載台的斜率變更，所述基準面亦不會傾斜；在所述保持載台的底面及所述基準面分別設置有一個以上的磁性元件，所述一個以上的磁性元件是藉由相互磁性抽吸而維持所述保持載台的傾斜狀態。

本說明書中所揭示的工件保持裝置，載置於抽吸載台之 上，並保持工件，所述工件保持裝置亦可包括：底座，載置於所述抽吸載台之上；保持載台，供載置所述工件，且能夠相對於所述底座變更姿勢；抽吸通路，與形成於所述抽吸載台的抽吸孔連通；以及致動器，利用藉由經由所述抽吸通路抽吸或供給空氣而產生的空壓進行驅動，且變更所述保持載台的姿勢。

根據本說明書中所揭示的技術，不追加專用動力源，便能夠變更工件的姿勢。

10:工件保持系統

12:抽吸載台

14:檢查頭

16:工件保持裝置

18:控制器

18a:處理器

18b:記憶體

20:抽吸孔

22:抽吸泵

23:大氣壓釋放閥

24:檢查照相機

26:按壓體

30:底座

32:保持載台

34:致動器

38:抽吸通路

38a:連通孔

38b:中繼埠

38c:連接配管

40:固定螺栓

42:旋轉軸

43:單向離合器

46:載置面

48:載台擺動軸

50f:第一底面部

50s:第二底面部

52f:第一磁鐵

52s:第二磁鐵

60:氣缸

62:缸筒

64:活塞

66:活塞桿

68f:第一壓力室

68s:第二壓力室

70:抽吸埠

72:開放埠

74:輔助彈簧

76:連結板

78:進退桿

80:擺動塊

81:塊擺動軸

82:棘輪銷

83、98:彈簧

83a、84a:基準面

84:棘輪齒輪

85:齒

85f:第一齒

85s:第二齒

85t:第三齒

86a:第一邊

86b:第二邊

88:支持構件

90:傾斜桿

92:桿擺動軸

94:力點部

96:作用點部

100:工件

R+:正旋轉方向

S+:進出方向

S-:退避方向

圖1是表示工件保持系統10的概略性結構的圖。

圖2是工件保持裝置16的平面圖。

圖3是圖2的A-A剖視圖。

圖4是圖2的B-B剖視圖。

圖5是圖2的B-B剖視圖。

圖6是氣缸的示意圖。

圖7是將擺動塊與棘輪齒輪抽出的圖。

圖8是對擺動塊與棘輪齒輪的動作進行說明的圖。

圖9是自圖2的C方向觀察傾斜桿的圖。

以下，參照圖式對工件保持系統10進行說明。圖1是 表示工件保持系統10的概略性結構的圖。而且，圖2是工件保持裝置16的平面圖。

工件保持系統10是保持工件100並且能夠變更該工件100的姿勢的系統。本例的工件保持系統10被組入至基於工件100的拍攝圖像而檢查工件100的品質的檢查裝置中。因此，工件保持系統10的一部分構成元件如下所述，直接沿用檢查裝置的構成元件。

工件保持系統10包括：抽吸載台12、檢查頭14、工件保持裝置16、及控制器18。抽吸載台12是抽吸保持載置於其上表面的對象物的載台。在抽吸載台12形成有一個以上的抽吸孔20。抽吸孔20連接於抽吸泵22。藉由驅動抽吸泵22，使真空抽吸力作用於抽吸孔20，藉此，能夠抽吸保持載置於抽吸載台12的上表面的對象物。而且，在抽吸孔20與抽吸泵22之間設置有大氣壓釋放閥23。藉由停止抽吸泵22的驅動，並且打開大氣壓釋放閥23，能夠解除對象物的抽吸。該抽吸載台12原本設置於檢查裝置中。在檢查裝置中，通常將檢查對象的工件100載置於抽吸載台12，但在本例中，將工件保持裝置16載置於抽吸載台12之上，並利用該工件保持裝置16保持工件100。製成該結構的理由在下文中進行敘述。

檢查頭14設置於抽吸載台12的上側。檢查頭14是作為工具頭而發揮功能，所述工具頭具有對工件100實施處理的工具。在本例的情況下，檢查頭14具有：對工件100進行拍攝的檢 查照相機24作為工具。檢查照相機24具有向下的光軸，對由工件保持裝置16保持的工件100進行拍攝。

檢查頭14可藉由未圖示的移動機構，在水平方向及垂直方向上移動。該檢查頭14亦原本設置於檢查裝置中。但是，在本例中，於檢查頭14進而設置有按壓體26。該按壓體26是向下方大幅突出的棒狀構件，該按壓體26的下端位於較檢查照相機24的下端更靠下側。按壓體26是用於對下述傾斜桿90(參照圖2)的力點部94進行按壓而設置。

工件保持裝置16是保持工件100並且變更該工件100的姿勢的裝置。工件保持裝置16具有：能夠相對於抽吸載台12旋轉及擺動的保持載台32。檢查對象的工件100載置於該保持載台32。關於使保持載台32旋轉及擺動的機構，在下文中進行敘述。

控制器18控制抽吸泵22及檢查頭14、檢查照相機24的驅動，並且對由檢查照相機24獲得的圖像進行分析，而判斷工件100的品質。該控制器18在物理方面而言是具有處理器18a及記憶體18b的電腦。該控制器18亦原本設置於檢查裝置中。

繼而，對工件保持裝置16的結構詳細進行說明。使用工件保持裝置16時，將該工件保持裝置16載置於抽吸載台12。工件保持裝置16具有：底座30、保持載台32、使保持載台32旋轉的致動器34、及使保持載台32擺動的傾斜機構。

底座30是載置於抽吸載台12的上表面的板材。如圖2所示，底座30的外形大於抽吸載台12的外形，底座30自上側完 全覆蓋抽吸載台12。底座30藉由固定螺栓40固定於抽吸載台12。再者，在本例中，使底座30大於抽吸載台12，但只要底座30覆蓋至少一個抽吸孔20即可，其形狀及尺寸可適當進行變更。例如，於在抽吸載台12形成有兩個抽吸孔20的情況下，底座30亦可製成僅覆蓋一個抽吸孔20而未覆蓋另一抽吸孔20的形狀。在此情況下，為了防止空氣洩露，只要於未經覆蓋的抽吸孔20配置某種封閉構件(例如堵塞抽吸孔20的接著帶等)即可。

而且，如圖1所示，在底座30形成有沿厚度方向貫通的連通孔38a。該連通孔38a形成於將底座30固定於抽吸載台12時與抽吸孔20連通的位置。中繼埠38b插入連通孔38a的上端開口，於中繼埠38b進而連接有連接配管38c。在中繼埠38b的內部形成有使連通孔38a與連接配管38c連通的通路。以下，將包含連通孔38a、中繼埠38b、及連接配管38c的通路稱為抽吸通路38。

保持載台32是供載置工件100的載台。在本例中，工件100接著於保持載台32的上表面(以下稱為「載置面46」)。保持載台32如圖2所示，形成為如將圓板沿直徑方向分成3份時的正中部分的形狀。換言之，保持載台32在俯視下是上緣及下緣為圓弧狀的大致長方形。

該保持載台32可繞垂直軸旋轉，而且，可繞水平軸擺動。參照圖2、圖3對此進行說明。圖3是圖2的A-A剖視圖。如圖2、圖3所示，在保持載台32的下側配置有棘輪齒輪84。自棘輪齒輪84的上表面(以下稱為「基準面84a」)豎立了兩個支持 構件88。兩個支持構件88配置於保持載台32的水平方向兩側。換言之，保持載台32成為在俯視下夾在一對支持構件88之間的狀態。各支持構件88具有沿水平方向突出的載台擺動軸48。保持載台32可相對於支持構件88擺動地由該載台擺動軸48支持。

而且，如上所述，支持構件88固定於棘輪齒輪84的基準面84a。因此，在棘輪齒輪84繞沿著垂直方向延伸的旋轉軸42旋轉的情況下，支持構件88、及由支持構件88支持的保持載台32亦繞旋轉軸42旋轉。

繼而，對致動器34進行說明。致動器34是用於使保持載台32繞旋轉軸42旋轉的致動器。該致動器34具有：氣缸60、進退桿78、擺動塊80(在圖1中未圖示)、及棘輪齒輪84。棘輪齒輪84如上所述，而且，如圖3等所示，配置於保持載台32的下側。棘輪齒輪84經由單向離合器43安裝於旋轉軸42。單向離合器43在俯視下，容許棘輪齒輪84沿順時針方向旋轉，阻礙棘輪齒輪沿逆時針方向旋轉。以下，將單向離合器43所容許的旋轉方向稱為「正旋轉方向」。

氣缸60藉由使活塞桿66進退，而使棘輪齒輪84沿正旋轉方向旋轉。在本例中，使該氣缸60進退的動力源是藉由經由抽吸通路38抽吸空氣而產生的負壓的空壓，使供給至抽吸載台12的抽吸力。參照圖6對此進行說明。圖6是氣缸60的示意圖。氣缸60具有：缸筒62、活塞64、及活塞桿66。活塞64將缸筒62的內部空間分割成兩份。以下，將較活塞64靠紙面右側的空間稱 為第一壓力室68f，將較活塞64靠紙面左側的空間稱為第二壓力室68s。活塞64可於缸筒62的內部進退。藉由使活塞64進退，第一壓力室68f及第二壓力室68s的體積變動。活塞桿66自活塞64突出。活塞桿66突出至缸筒62的外側為止。活塞桿66的前端固定於連結板76，且於連結板76進而固定有進退桿78。在連結板76與缸筒62之間，設置有將兩者向相互遠離的方向彈推的輔助彈簧74。

在第一壓力室68f及第二壓力室68s分別設置有與外部相連的抽吸埠70、開放埠72。於形成於第二壓力室68s中的開放埠72未連接配管，第二壓力室68s開放大氣壓。另一方面，於形成於第一壓力室68f中的抽吸埠70連接有連接配管38c。換言之，第一壓力室68f經由抽吸通路38(連接配管38c、中繼埠38b、連通孔38a)與抽吸孔20連通。因此，藉由驅動抽吸泵22，能夠對第一壓力室68f賦予負壓的空壓、即抽吸力。

對該結構中的氣缸60的動作進行說明。若驅動抽吸泵22，則第一壓力室68f的壓力降低，活塞64向紙面右側(以下稱為「退避方向S-」)移動。隨之，活塞桿66及連結於活塞桿66的進退桿78亦向退避方向S-移動。然後，停止驅動抽吸泵22，打開大氣壓釋放閥23。在此情況下，作用於活塞64的抽吸力消失，藉由輔助彈簧74的彈推力，而進退桿78及與其連結的活塞桿66及活塞64向紙面左側(以下稱為「進出方向S+」)移動。即，根據本例，藉由交替地進行抽吸泵22的驅動與大氣壓釋放，能夠使 氣缸60、以及進退桿78進退。再者，在本例中，打開大氣壓釋放閥23來使活塞桿66進出，但亦可反驅動抽吸泵22，並經由抽吸通路38對第一壓力室68f供給空氣來代替如上所述的處理。而且，在本例中，是利用抽吸力、即負壓的空壓使氣缸60移動，但亦可利用正壓的空壓使氣缸60移動。即，亦可反驅動抽吸泵22，並經由抽吸通路38對第一壓力室68f供給空氣，藉此使氣缸60伸長，利用輔助彈簧74的彈推力使氣缸60收縮。而且，作為另一形態，亦可不利用輔助彈簧74，而僅利用空壓使氣缸60進退。例如，亦可為利用負壓的空壓使氣缸60收縮，利用正壓的空壓使氣缸60伸長。

如圖2所示，於進退桿78安裝有擺動塊80。擺動塊80是能以垂直方向的軸即塊擺動軸81為中心在水平面內擺動的構件。在擺動塊80的前端附近，設置有沿垂直方向延伸的棘輪銷82(在圖2中省略符號)。棘輪銷82位於棘輪齒輪84的周緣附近，與棘輪齒輪84的齒卡合。

參照圖7對如上所述的擺動塊80與棘輪齒輪84的結構進行說明。圖7是抽出棘輪齒輪84及擺動塊80的示意圖。如上所述，棘輪齒輪84經由單向離合器43安裝於旋轉軸42，僅容許向紙面順時針方向、即正旋轉方向R+的旋轉。如圖7所示，於棘輪齒輪84的周緣形成有鋸狀的齒85。各齒85是由與直徑方向大致平行的第一邊86a及相對於直徑方向大幅傾斜的第二邊86b包圍的大致三角形狀。再者，第二邊86b位於較屬於相同齒85的第 一邊86a更靠正旋轉方向R+下游側。

棘輪銷82通常進入棘輪齒輪84的齒85與齒85之間、即凹部。進退桿78沿與該凹部中的棘輪齒輪84的切線方向大致平行的方向進退。擺動塊80由彈簧83向將棘輪銷82與棘輪齒輪84密接的方向彈推。

繼而，參照圖8對棘輪齒輪84及擺動塊80的動作進行說明。在圖8的第一段中，棘輪銷82位於第一齒85f與第二齒85s之間的凹部。此時，氣缸60為收縮狀態。設在該狀態下，氣缸60伸長，進退桿78向進出方向S+移動。在該情況下，如圖8的第二段所示，棘輪銷82亦向進出方向移動。此時，因齒85的形狀的關係，棘輪銷82隨著向進出方向S+的移動，能夠容易地越過第二齒85s。棘輪銷82由彈簧83向與棘輪齒輪84密接的方向彈推。因此，當棘輪銷82越過第二齒85s時，如圖8的第三段所示，棘輪銷82進入第二齒85s與第三齒85t之間的凹部。

繼而，使氣缸60收縮。若氣缸60收縮，則擺動塊80及棘輪銷82亦向退避方向S-移動。此時，因齒85的形狀的關係，棘輪銷82無法越過第二齒85s。結果，隨著棘輪銷82向退避方向S-移動，棘輪齒輪84被按壓至棘輪銷82，僅沿正旋轉方向R+旋轉一齒量。

根據以上說明明確，每進行一次氣缸60的進退時，棘輪齒輪84僅旋轉一齒量。並且，藉由使棘輪齒輪84旋轉，設置於該棘輪齒輪84的上側的保持載台32亦旋轉。

以下，對傾斜機構的結構進行說明。如上所述，而且，如圖3所示，保持載台32由載台擺動軸48支持，能夠以該載台擺動軸48為中心擺動。為了使該保持載台32擺動以使保持載台32傾斜，於工件保持裝置16設置有傾斜桿90。傾斜桿90如圖2所示，其前端(即，下述的作用點部96的附近部分)配置於如位於保持載台32的正下方的部位。圖9是自圖2的箭頭C方向對傾斜桿90進行觀察的圖。

如圖9所示，傾斜桿90由沿水平方向延伸的桿擺動軸92支持，能夠以該桿擺動軸92為中心擺動。於傾斜桿90中遠離保持載台32的方向的端部附近，設置有力點部94。力點部94是由檢查頭14的按壓體26自上側按壓的部分。而且，隔著桿擺動軸92在力點部94的相反側，設置有作用點部96。作用點部96位於保持載台32的正下方。在力點部94的下側設置有彈簧98。彈簧98將力點部94向上方彈推。因此，在力點部94未被按壓體26按壓的情況下，力點部94向上方升起，作用點部96下降至其底面部與底座30抵接的位置為止。另一方面，若與彈簧98的彈推力對抗而由按壓體26按壓力點部94，則作用點部96向上方升起，將保持載台32上推至上側。藉此，使保持載台32擺動。

因此，在本例中，於保持載台32的底面設置具有互不相同的斜率的第一底面部50f及第二底面部50s，以使隨著保持載台32的擺動而變更載置面46的斜率。參照圖4、圖5對此進行說明。圖4、圖5是圖2的B-B剖視圖。

第一底面部50f及第二底面部50s隔著載台擺動軸48設置於180度對稱的位置。在第一底面部50f如圖4所示般與棘輪齒輪84的上表面(即基準面84a)抵接的情況下，載置面46具有如成為大致水平的斜率。而且，在第二底面部50s如圖5所示般與基準面84a抵接的情況下，載置面46具有如相對於基準面84a傾斜的斜率。

而且，於第一底面部50f固接有第一磁鐵52f，於第二底面部50s固接有第二磁鐵52s。於基準面84a的至少一部分設置有使該第一磁鐵52f及第二磁鐵52s之間產生磁性吸引力的磁性元件。例如，亦可利用強磁性體(例如鋼材等)形成整個棘輪齒輪84。而且，亦可將強磁性體或磁鐵固接於基準面84a的一部分。而且，作為另一形態，亦可於第一底面部50f、第二底面部50s配置強磁性體，於基準面84a配置磁鐵。不管怎樣，均是使第一磁鐵52f或第二磁鐵52s與基準面84a抵接，藉此，在第一磁鐵52f、第二磁鐵52s與基準面84a之間產生磁性吸引力，來維持保持載台32的傾斜狀態。

此處，設在圖4的狀態下對傾斜桿90的力點部94進行按壓，而使作用點部96升起。在此情況下，作用點部96上推保持載台32的第一底面部50f。隨之，保持載台32如圖5所示，以載台擺動軸48為中心擺動，從而使第二底面部50s抵接至基準面84a。並且，藉此變更為載置面46相對於基準面84a傾斜的狀態。

在欲自傾斜狀態返回至水平狀態的情況下，使棘輪齒輪 84旋轉180°，使第二底面部50s移動至作用點部96的附近。接下來，在該狀態下擺動傾斜桿90，使第二底面部50s向上方升起即可。

根據以上說明可以清楚地知道，藉由本例，能夠利用原本設置於檢查裝置中的檢查頭14使保持載台32擺動。而且，如上所述，在本例中，利用原本設置於檢查裝置中的抽吸泵22使保持載台32旋轉。結果是，藉由本例，無須另外準備專用動力源或用於驅動該動力源的專用驅動器等，來變更工件100的位置及姿勢。結果是，能抑制成本，並且能利用簡易結構變更工件100的位置及姿勢。

再者，上述結構是一個例子，只要能夠利用經由抽吸載台12的抽吸孔20供給的抽吸力來變更工件100的姿勢即可，其他結構亦可進行變更。例如，在所述說明中，利用氣缸60與棘輪齒輪84使保持載台32旋轉。但是，亦可使用其他機構(例如活塞-曲柄機構等)使保持載台32旋轉。而且，在本例中，將空壓用於保持載台32的旋轉，亦可將空壓用於保持載台32的擺動。例如，亦可設為隨著伸縮，而利用氣缸60對傾斜桿90的力點部94進行按壓的結構。而且，在本例中，是使保持載台32旋轉及擺動，亦可省略其中任一者的動作。而且，所述工件保持系統10只要為具有抽吸載台12的裝置即可，並不限於組入檢查裝置中，亦可組入其他裝置中。

10:工件保持系統

12:抽吸載台

14:檢查頭

16:工件保持裝置

18:控制器

18a:處理器

18b:記憶體

20:抽吸孔

22:抽吸泵

23:大氣壓釋放閥

24:檢查照相機

26:按壓體

30:底座

32:保持載台

34:致動器

38:抽吸通路

38a:連通孔

38b:中繼埠

38c:連接配管

42:旋轉軸

43:單向離合器

48:載台擺動軸

60:氣缸

66:活塞桿

76:連結板

78:進退桿

84:棘輪齒輪

88:支持構件

100:工件

Claims (9)

1. 一種工件保持系統，其特徵在於包括： 抽吸載台，形成有一個以上的抽吸孔，用於抽吸載置於上表面的載置物；以及 工件保持裝置，載置於所述抽吸載台之上，並保持工件， 其中，所述工件保持裝置包括： 底座，載置於所述抽吸載台之上； 保持載台，供載置所述工件，且能夠相對於所述底座變更姿勢； 抽吸通路，與所述抽吸孔連通；以及 致動器，利用藉由經由所述抽吸通路抽吸或供給空氣而產生的空壓進行驅動，且變更所述保持載台的姿勢。
2. 如請求項1所述的工件保持系統，其中， 所述保持載台設置為能夠繞上下方向軸旋轉， 所述致動器接收所述空壓而使所述保持載台旋轉。
3. 如請求項2所述的工件保持系統，其中， 所述致動器包含氣缸， 所述氣缸接收所述空壓而伸長或收縮。
4. 如請求項3所述的工件保持系統，其中， 所述致動器包含棘輪齒輪， 所述棘輪齒輪隨著所述氣缸的伸縮，僅沿一方向旋轉， 所述保持載台與所述棘輪齒輪一起旋轉。
5. 如請求項1至請求項4中任一項所述的工件保持系統，更包括： 傾斜機構，使所述保持載台相對於所述底座傾斜。
6. 如請求項5所述的工件保持系統，更包括： 工具頭，設置於所述抽吸載台的上側，能夠相對於所述抽吸載台升降來對所述工件實施規定處理， 所述傾斜機構包括： 力點部，是能夠繞水平軸擺動的桿，且能夠由所述工具頭按壓；以及 作用點部，隔著所述水平軸位於所述力點部的相反側，藉由按壓所述力點部而上推所述保持載台。
7. 如請求項6所述的工件保持系統，其中， 所述保持載台的底面具有： 第一底面部，以第一角度傾斜；以及 第二底面部，以與所述第一角度不同的第二角度傾斜， 在上推所述第一底面部的情況、及上推所述第二底面部的情況下，所述抽吸載台的上表面的斜率變化。
8. 如請求項5所述的工件保持系統，更包括： 基準面，與所述保持載台一起旋轉，即便所述保持載台的斜率變更，所述基準面亦不會傾斜， 在所述保持載台的底面及所述基準面分別設置有一個以上的磁性元件，所述一個以上的磁性元件是藉由相互磁性抽吸來維持所述保持載台的傾斜狀態。
9. 一種工件保持裝置，載置於抽吸載台之上，並保持工件，所述工件保持裝置的特徵在於包括： 底座，載置於所述抽吸載台之上； 保持載台，供載置所述工件，且能夠相對於所述底座變更姿勢； 抽吸通路，與形成於所述抽吸載台的抽吸孔連通；以及 致動器，利用藉由經由所述抽吸通路抽吸或供給空氣而產生的空壓進行驅動，且變更所述保持載台的姿勢。