TWI820191B - 用於支撐物體的裝置及方法 - Google Patents

Abstract

一種支撐裝置可以包括：圓柱形桿，沿著第一旋轉軸延伸，且包括裝設有第一凸球形節段的第一端部及裝設有第二凸球形節段的第二端部。可以將第一區域配置為接收該第一凸球形節段的一部分。可以將第二區域配置為接收該第二凸球形節段的一部分。該圓柱形桿可以圍繞與該第一旋轉軸垂直的第一樞轉軸樞轉。在一些實施例中，支撐物體的方法可以包括以下步驟：用該圓柱形桿的外表面接合該物體的表面，其中在該第一圓柱形桿被該第一流體墊及該第二流體墊支撐的同時，該第一圓柱形桿支撐該物體的重量。

Description

用於支撐物體的裝置及方法

此申請案主張於2018年8月29日所提出的第62/724,174號的美國臨時申請案的優先權權益，該申請案的整體內容於本文中以引用方式依附及併入本文中。

本揭示內容大致與用於支撐物體的裝置及方法相關，且更詳細而言是與用於支撐物體的重量的裝置及方法相關。

通常將玻璃條帶從一個位置輸送到另一個位置。在一些實施例中，可以抵著玻璃條帶的主要面提供壓力以幫助在運輸期間支撐玻璃條帶的重量。例如，已經知道將玻璃條帶支撐在接觸玻璃條帶的空氣墊上以使玻璃條帶懸浮在空氣墊上。

下文呈現了本揭示內容的簡化概要，以提供詳細說明中所述的一些實施例的基本瞭解。

在一些實施例中，一種支撐裝置可以包括：第一圓柱形桿，包括第一端部及第二端部，其中該第一圓柱形桿從該第一圓柱形桿的該第一端部向該第二端部沿著第一旋轉軸延伸。該第一端部可以裝設有第一凸球形節段，且第二端部可以裝設有第二凸球形節段。該支撐裝置可以更包括：第一區域，被配置為在該第一圓柱形桿可以圍繞該第一凸球形節段的第一樞轉軸樞轉的情況下接收該第一凸球形節段的一部分，該第一樞轉軸與該圓柱形桿的該第一旋轉軸垂直。第一流體端口可以與該第一區域流體連通。該支撐裝置可以更包括：第二區域，被配置為在該第一圓柱形桿可以圍繞該第二凸球形節段的第一樞轉軸樞轉的情況下接收該第二凸球形節段的一部分，該第一樞轉軸與該圓柱形桿的該第一旋轉軸垂直且與該第一凸球形節段的該第一樞轉軸平行。第二流體端口可以與該第二區域流體連通。

在一些實施例中，可以將該支撐裝置的該第一區域配置為在該第一圓柱形桿可以圍繞該第一凸球形節段的第二樞轉軸樞轉的情況下接收該第一凸球形節段的該部分，該第二樞轉軸與該圓柱形桿的該第一旋轉軸垂直且與該第一凸球形節段的該第一樞轉軸垂直。可以將該支撐裝置的該第二區域配置為在該第一圓柱形桿可以圍繞該第二凸球形節段的第二樞轉軸樞轉的情況下接收該第二凸球形節段的該部分，該第二樞轉軸與該第一凸球形節段的該第二樞轉軸平行且與該圓柱形桿的該第一旋轉軸垂直且與該第二凸球形節段的該第一樞轉軸垂直。

在一些實施例中，可以將該支撐裝置的該第一區域配置為在該第一圓柱形桿可以圍繞該第一凸球形節段的該第二樞轉軸樞轉達從約10°到約30°的情況下接收該第一凸球形節段的該部分。可以將該支撐裝置的該第二區域配置為在該第一圓柱形桿可以圍繞該第二凸球形節段的該第二樞轉軸樞轉達從約10°到約30°的情況下接收該第二凸球形節段的該部分。

在一些實施例中，可以將該第一球形節段配置為由該第一區域自由支撐。可以將該第二球形節段配置為由該第二區域自由支撐。

在一些實施例中，可以將該支撐裝置的該第一區域配置為在該第一圓柱形桿可以圍繞該第一凸球形節段的該第一樞轉軸樞轉達從約10°到約30°的情況下接收該第一凸球形節段的該部分。可以將該支撐裝置的該第二區域配置為在該第一圓柱形桿可以圍繞該第二凸球形節段的該第一樞轉軸樞轉達從約10°到約30°的情況下接收該第二凸球形節段的該部分。

在一些實施例中，可以將該支撐裝置的該第一區域配置為在該第一圓柱形桿可以圍繞該第一凸球形節段的該第一樞轉軸樞轉達360°的情況下接收該第一凸球形節段的該部分。可以將該支撐裝置的該第二區域配置為在該第一圓柱形桿可以圍繞該第二凸球形節段的該第一樞轉軸樞轉達360°的情況下接收該第二凸球形節段的該部分。

在一些實施例中，該支撐裝置可以包括：接頭，該接頭被配置為在該第一圓柱形桿的該第一旋轉軸的方向上相對於支撐面可調整地安裝該第一區域。

在一些實施例中，該支撐裝置可以包括圍束該第一區域的第一唇部及圍束該第二區域的第二唇部。

在一些實施例中，該支撐裝置可以包括用從第一凸球形節段的第一半徑的約20%到約80%的範圍內的最大深度凹陷於該第一唇部下方的該第一區域。並且，該第二區域可以用從該第二凸球形節段的第二半徑的約20%到約80%的範圍內的最大深度凹陷於該第二唇部下方。

在一些實施例中，該支撐裝置可以包括：圓柱形桿，包括選自由以下項目所組成的群組的一或更多種材料：氧化鋁、熔融石英、莫來石、碳化矽、及石墨。

在一些實施例中，該支撐裝置可以包括由第一凹面節段所界定的該第一區域。

在一些實施例中，該支撐裝置可以包括：該第一凹面節段，包括第一凹球形節段。

在一些實施例中，該支撐裝置可以包括由第二凹面節段所界定的該第二區域。

在一些實施例中，該支撐裝置可以包括：該第二凹面，包括第二凹球形節段。

在一些實施例中，該支撐裝置可以包括第二圓柱形桿。

在一些實施例中，該支撐裝置可以包括該第一圓柱形桿的第一旋轉軸，該第一旋轉軸與該第二圓柱形桿的第二旋轉軸平行。

在一些實施例中，該支撐裝置可以包括該第一圓柱形桿的第一旋轉軸，該第一旋轉軸相對於該第二圓柱形桿的第二旋轉軸用銳角延伸。

在一些實施例中，該第一旋轉軸及該第二旋轉軸不沿著共同的平面延伸。

在一些實施例中，該第一旋轉軸及該第二旋轉軸沿著共同的平面延伸。

依據一些實施例，一種方法可以包括以下步驟：用上文所論述的支撐裝置中的任一者的支撐裝置支撐物體。方法可以包括以下步驟：將第一流體流傳遞通過該第一流體端口，以形成可以使該第一凸球形節段懸浮的第一流體墊。並且，方法可以包括以下步驟：將第二流體流傳遞通過該第二流體端口，以形成可以使該第二凸球形節段懸浮的第二流體墊。此外，方法可以包括以下步驟：用該第一圓柱形桿的外表面接合該物體的表面，其中在該第一圓柱形桿被該第一流體墊及該第二流體墊支撐的同時，該第一圓柱形桿可以支撐該物體的重量。

在一些實施例中，方法可以更包括以下步驟：使該物體沿著行進方向橫移，其中在該第一圓柱形桿被該第一流體墊及該第二流體墊支撐的同時，該物體驅動該第一圓柱形桿旋轉。

在一些實施例中，方法可以用來支撐包括玻璃條帶的物體。

在一些實施例中，方法可以用來支撐包括從約500℃到約1200℃的範圍內的溫度的物體。

在一些實施例中，方法可以藉由該第一區域自由支撐該第一球形節段。該第二球形節段可以自由支撐該第二區域。同時，該第一圓柱形桿可以支撐該物體。

在一些實施例中，方法可以更包括以下步驟：在該第一圓柱形桿支撐該物體的同時，調整該第一區域與該第二區域之間的距離。

現將在下文中參照附圖來更完整地描述實施例，該等附圖中示出了示例實施例。儘可能地在所有附圖中使用了相同的參考標號來指稱相同的或類似的部件。然而，可以用許多不同的形式來實施此揭示內容，且此揭示內容不應被視為限於本文中所闡述的實施例。

要瞭解，本文中所揭示的具體實施例旨在是示例性的且因此是非限制性的。出於本揭示內容的目的，儘管不需要，但也可以將支撐物體的支撐裝置或方法用在玻璃製造裝置中。此類玻璃製造裝置可以可選地包括玻璃形成裝置，該玻璃形成裝置從一定量的熔融材料形成玻璃片及/或玻璃條帶。例如，玻璃製造裝置可以可選地包括例如為槽拉裝置、浮浴裝置、下拉裝置、上拉裝置、壓軋裝置、或其他玻璃形成裝置的玻璃形成裝置。此外，出於本揭示內容的目的，儘管不需要，但此類玻璃製造裝置也可以包括用於儲存先前形成的玻璃條帶的儲存設備。例如，儘管未示出，但玻璃製造裝置也可以可選地包括儲存捲軸，該儲存捲軸包括纏繞在該儲存捲軸上的一定長度的玻璃條帶。在一些實施例中，該裝置可以在玻璃條帶具有大於室溫的溫度的同時，在用玻璃製造裝置形成該玻璃條帶時支撐該玻璃條帶。在替代性的實施例中，可以使用該裝置來支撐冷卻到室溫的玻璃條帶。在另外的實施例中，本揭示內容的裝置可以支撐呈玻璃片的形式的玻璃條帶。出於本揭示內容的目的，對於玻璃條帶的指稱指的是從玻璃製造裝置拉出的玻璃條帶、從玻璃條帶儲存捲軸展開的玻璃條帶、及/或從更大長度的玻璃條帶分離的玻璃片。

或者，可以將支撐物體的支撐裝置或方法用在矽晶圓製造裝置中或用於運輸由矽晶圓製造裝置所產生的矽晶圓的期間。可以合併本揭示內容的態樣的矽晶圓製造裝置的實施例可以可選地包括錠料生長裝置、切片裝置、研磨裝置、及/或清潔裝置。

圖 1 繪示用於支撐物體的支撐裝置101 的實施例的立面圖。物體可以包括材料片（例如，玻璃條帶、矽晶圓）或包括可以由如下文更全面地論述的支撐裝置101 接合的表面的其他物體。在所繪示的實施例中，物體包括呈玻璃片的形式的玻璃條帶103 ，然而物體也可以包括分離成玻璃條帶103 片之前的玻璃條帶。例如，可以從玻璃條帶捲軸拉出或從將熔融材料形成為玻璃條帶的形成裝置拉出玻璃條帶130 。支撐裝置101 可以在支撐裝置101 支撐物體時接合物體的表面以支撐物體的重量的至少一部分。例如，如圖 1 中所示，玻璃條帶103 可以包括第一主要面105a 及第二主要面105b ，其中厚度107 被界定在玻璃條帶103 的第一主要面105a 與第二主要面105b 之間。如所示，支撐裝置101 可以接合（例如，實體接觸）玻璃條帶103 的第一主要面105a 以支撐玻璃條帶103 的重量的至少一部分。在一些實施例中，如所示，支撐裝置101 可以在玻璃條帶103 相對於支撐裝置101 沿著行進方向109 行進的同時，接合玻璃條帶103 的第一主要面105a 以支撐玻璃條帶103 的重量的至少一部分。在所繪示的實施例中，行進方向109 可以沿著所繪示的方向座標「x 」水平延伸，方向座標「x 」與沿著所繪示的方向座標「x 」的重力垂直。在一些實施例中，行進方向109 可以具有仰傾，其中行進方向109 包括與重力方向相對的方向分量。或者，行進方向109 可以具有俯傾，其中行進方向109 包括在重力的方向上的方向分量。在一些實施例中，行進方向109 可以在水平行進路徑、仰傾路徑、及/或俯傾路徑中的一或更多者之間俯仰地交替。此外，在實施例中的任一者中，玻璃條帶103 可以圍繞繪示為方向座標「x 」的行進方向在一或更多個方向上傾斜。例如，圖4中用假想線繪示了此類傾斜。

圖 1 繪示本揭示內容的實施例的支撐裝置101 的透視圖。如所示，支撐裝置101 可以包括一或更多個圓柱形桿111 。所繪示的實施例的特徵在於四個圓柱形桿111 ，然而另外的實施例也可以包括一個、兩個、三個、或多於四個的圓柱形桿111 。此外，如所示，在一些實施例中，每個圓柱形桿111 均可以彼此相同，然而也可以在另外的實施例中提供不同的圓柱形桿設計。

在一些實施例中，每個圓柱形桿111 均可以從圓柱形桿111 的第一端部115a 向第二端部115b 沿著旋轉轉113 延伸。如所示，旋轉軸113 可以包括延伸通過圓柱形桿111 的對稱中心的線性旋轉軸。在一些實施例中，複數個圓柱形桿111 中的一或更多者的旋轉軸113 可以與該複數個圓柱形桿111 中的一或更多個其他圓柱形桿111 的旋轉軸113 平行。例如，參照圖 1 ，該複數個圓柱形桿111 中的所有圓柱形桿111 的旋轉軸113 都可以在方向座標「y 」上的水平方向上彼此平行地延伸。或者，在一些實施例中，可以將圓柱形桿111 中的一或更多者的旋轉軸113 定位為相對於複數個圓柱形桿111 中的一或更多個其他圓柱形桿111 的旋轉軸113 用銳角延伸。例如，參照圖 5 中所示的支撐裝置501 的替代性實施例的俯視平面圖，每個圓柱形桿111 的每個旋轉軸113 均可以相對於其他圓柱形桿111 中的每一者用銳角延伸，然而在另外的實施例中，一個圓柱形桿111 的旋轉軸113 也可以與一或更多個其他圓柱形桿111 的旋轉軸113 平行。圖 2 及4 的立面端視圖可以代表圖 1 中所示的支撐裝置101 及/或圖 5 的支撐裝置501 。因此，如由圖 2 及4 所表示，在一些實施例中，圓柱形桿111 的旋轉軸113 可以可選地沿著共同平面延伸，無論圓柱形桿111 的旋轉軸113 是否彼此平行（如圖 1 中所示）或相對於彼此成角度（如圖 5 中所示）。

在一些實施例中，圓柱形桿111 中的一者的旋轉軸113 並不與圓柱形桿111 中的另一者的旋轉軸113 沿著共同平面延伸。例如，參照圖 4 ，用假想線示出的圓柱形桿111 的旋轉軸113 及用實線示出的圓柱形桿111 的旋轉軸113 相對於彼此用銳角延伸且不與圓柱形桿111 的旋轉軸113 沿著共同平面延伸。

如圖 2 中所示，圓柱形桿111 中的一者或全部可以包括外周面201 。如所示，外周面可以在圓柱形桿111 的第一端部115a 與第二端部115b 之間跨圓柱形桿111 的中心部分包括相同的直徑203 。如此，在一些實施例中，外周面201 可以包括圓柱形表面，如圖 1-5 中所示。儘管未示出，但外周面201 也可以具有跨圓柱形桿的中心部分帶有相同直徑203 的圓柱形表面以外的形狀。例如，外周面可以包括匹配由支撐裝置101 所支撐的玻璃條帶103 的曲率的形狀。在另外的實施例中，可以將外周面201 設計為在玻璃條帶103 的運輸期間促進玻璃條帶103 的對準。例如，在一些實施例中，圓柱形桿111 的中心部分的中間部分可以具有減少的直徑，該直徑在朝向第一端部115a 及第二端部115b 的每個方向上均增加。在此類實施例中，外周面201 朝向第一端部115a 及第二端部115b 向外張開。此類實施例可以有助於順應弓形玻璃條帶103 的形狀。此物，玻璃條帶103 可以是柔性的，在該情況下，玻璃條帶103 可以暫時彎曲成弓形配置以幫助對準玻璃條帶103 ，使得玻璃條帶103 將傾向在運輸期間正確地對準而順著圓柱形桿111 的中心部分的中間行進。在另外的實施例中，圓柱形桿111 的直徑203 可以連續地或甚至不連續地跨該圓柱形桿的長度而改變。在另外的實施例中，與圓柱形桿111 在其他地方所具有的直徑相比，該圓柱形桿可以在該圓柱形桿接觸受支撐的物體（例如，玻璃條帶103 ）的區域中包括不同的直徑。

在一些實施例中，圓柱形桿111 可以由具有高熔點、低導熱率、低熱膨脹係數、及中等靜摩擦係數的材料製作。可以將圓柱形桿111 設計為在受支撐的物體（例如，玻璃條帶103 ）的溫度（該溫度可以視為支撐裝置101 的操作溫度）下維持其機械性質。在一些實施例中，物體可以是剛才拉出的玻璃條帶103 。在此類實施例中，圓柱形桿111 可以由具有大於1600℃的熔化溫度的材料製作。若圓柱形桿111 包括非晶材料，則操作溫度可以小於該材料的玻璃轉化溫度。在一些實施例中，受支撐的物體（例如，玻璃條帶103 ）的溫度可以是在從-50℃到約1200℃或從約500℃到約1200℃的範圍內。

並且，圓柱形桿111 可以由具有低導熱率的材料製作。在此類實施例中，圓柱形桿111 可以不充當有效的散熱器及/或可以不明顯影響可能在受支撐的物體（例如，玻璃條帶103 ）上執行的任何加熱或冷卻操作。在一些實施例中，可以快速冷卻物體，而在其他的實施例中，可以將物體保持在給定的溫度範圍中以將其退火。對於此類實施例而言，材料可以包括約30W m^-1 K^-1 或更小、從約0.01 W m^-1 K^-1 到約50 W m^-1 K^-1 、或從約0.25 W m^-1 K^-1 到約30 W m^-1 K^-1 的導熱率。在其他的實施例中，可以容許較高的導熱率。

此外，圓柱形桿111 可以由具有低熱膨脹係數的材料製作。儘管非必要，但低的熱膨脹係數可以允許圓柱形桿111 的相對一致的尺度穩定性，即使在圓柱形桿111 跨其長度經歷熱不均勻時也是如此。例如，在一些實施例中，可能在受支撐的物體上施加特定的熱分佈以獲得目標的內部張應力或壓縮應力分佈。進一步地，圓柱形桿111 在此類條件下可以不變形或翹曲。對於低熱膨脹係數是合乎需要的實施例而言，材料可以包括約10x10^-6 K^-1 或更小、從約0.15x10^-6 K^-1 到約30x10^-6 K^-1 、或從約3x10^-6 K^-1 到約20x10^-6 K^-1 的熱膨脹係數。

在一些實施例中，對於所支撐的物體（例如，玻璃條帶103 ）平移的實施例而言，圓柱形桿111 可以由具有中等靜摩擦係數的材料製作。圓柱形桿111 可以在物體相對於支撐面119 平移的同時圍繞旋轉軸113 而旋轉而不會抵抗物體的移動，只要在物體的行進方向109 上傳送到圓柱形桿111 的力小於傳送到圓柱形桿111 的由物體的重量所產生的法向力以及物體與圓柱形桿111 之間的靜摩擦係數的乘積。在一些實施例中，圓柱形桿111 可以包括空心管以將較小的質量及對應地較小的慣性矩提供給圓柱形桿111 ，以最小化在與物體接合之後對圓柱形桿111 的旋轉的阻力。如此，可以避免物體（例如，玻璃條帶103 ）相對於圓柱形桿111 的外周面201 滑動，藉此避免圓柱形桿111 磨損及/或玻璃條帶103 的第一主要面105a 損傷。在一些實施例中，可以不將過低的靜摩擦係數提供給圓柱形桿111 以防止圓柱形桿111 的外周面201 相對於所支撐的物體表面滑動。在一些實施例中，圓柱形桿111 的材料可以包括從約0.3到約1.0、從約0.2到約1.5、或從約0.35到約0.75的範圍內的靜摩擦係數。

在一些實施例中，圓柱形桿111 可以包括氧化鋁。在其他的實施例中，圓柱形桿111 可以包括熔融石英。在又其他的實施例中，圓柱形桿111 可以包括莫來石，莫來石是一種包括氧化鋁與二氧化矽的組合的礦物。在又其他的實施例中，圓柱形桿111 可以包括碳化矽（SiC）。在一些實施例中，圓柱形桿111 可以包括石墨。在另外的實施例中，圓柱形桿111 可以包括選自氧化鋁、熔融石英、莫來石、及碳化矽的群組的材料中的二或更多者的組合。

如圖 1-5 中進一步示出，支撐裝置101 、501 的實施例可以將每個圓柱形桿111 提供為具有圓柱形桿111 的第一端部115a 處的第一凸球形節段117a 及圓柱形桿111 的第二端部115b 處的第二凸球形節段117b 。在整篇揭示內容內，凸球形節段可以包括以下性質：用凸球形節段的外凸面為界的部分中的任兩個點可以由不與凸球形節段的外表面交叉的一條線所連接。例如，凸球形節段117a 、117b 用凸球形節段117a 、117b 的外凸面319 （參照圖 3 ）為界。如圖 3 中進一步示出，凸球形節段117a 、117b 可以是實質實心的，然而在另外的實施例中也可以提供空心的凸球形節段。

在一些實施例中，可以將第一凸球形節段117a 及/或第二凸球形節段117b 附接到對應的第一端部115a 及第二端部115b 。例如，如圖 3 中所示，第一端部115a 及第二端部115b 可以各自裝設有外螺紋部分301 ，該外螺紋部分可以螺紋地接收在第一凸球形節段117a 及第二凸球形節段117b 的內螺紋孔腔303 內。在一些實施例中，螺紋連接可以容許從圓柱形桿111 的對應的第一端部115a 及第二端部115b 移除第一凸球形節段117a 及第二凸球形節段117b 。在另外的實施例中，螺紋連接可以包括永久連接，例如其中螺紋連接相對於彼此壓入配合。在另外的實施例中，可以使用黏著劑來促進連接。在另外的實施例中，可以不提供螺紋連接。例如，第一端部115a 及第二端部115b 可以在沒有螺紋連接的情況下壓入配合在凸球形節段117a 、117b 的孔腔內。在又另外的實施例中，凸球形節段117a 、 117b 可以與圓柱形桿111 一體成形。例如，可以機械加工（例如，在車床上轉動）單塊材料體以由相同的單塊體形成圓柱形桿111 及凸球形節段117a 、117b 。在額外的另外的實施例中，可以將第一凸球形節段117a 及第二凸球形節段117b 焊接到圓柱形桿111 的對應端部115a 、115b 。

在一些實施例中，第一凸球形節段117a 及第二凸球形節段117b 可以是實心且具有孔腔（例如，內螺紋孔腔303 ），然而在另外的實施例中，第一凸球形節段及第二凸球形節段也可以包括空心主體。將球形節段提供為空心主體可以減少用來旋轉使用中的圓柱形桿111 的力，且因此避免了圓柱形桿111 的外周面201 與物體的受支撐表面（例如，玻璃條帶103 的第一主要面105a ）之間的不想要的滑動。在一些實施例中，凸球形節段117a 、117b 可以包括與圓柱形桿111 相同的組成。在其他的實施例中，凸球形節段117a 、117b 可以包括上文針對圓柱形桿111 所論述的示例性材料中的一者或組合。在又其他的實施例中，凸球形節段117a 、117b 可以包括具有某一熱膨脹係數的材料，該熱膨脹係數與圓柱形桿111 的材料的熱膨脹係數相差約10x10^-6 K^-1 或更小、約5x10^-6 K^-1 或更小、或約1x10^-6 K^-1 或更小。

可以將第一凸球形節段117a 及第二凸球形節段117b 配置為減少對相關聯的圓柱形桿111 圍繞旋轉軸113 的旋轉運動的摩擦阻力。如此，可以減少圓柱形桿111 的外周面201 與物體的受支撐表面（例如，玻璃條帶103 的受支撐的第一主要面105a ）之間的滑動以幫助保留玻璃條帶103 的原始的第一主要面105a ，且在一些實施例中幫助減少對圓柱形桿111 的損傷。在一些實施例中，如下文所論述的，第一凸球形節段117a 及第二凸球形節段117b 可以各自懸浮於流體墊325 上以幫助在圓柱形桿111 的旋轉期間減少摩擦。

可以用各式各樣的方式來實現第一凸球形節段117a 及第二凸球形節段117b 在流體墊325 （例如，氣體墊）上的懸浮。在一些實施例中，支撐裝置101 、501 可以包括接收第一凸球形節段117a 的一部分的第一區域及接收第二凸球形節段117b 的一部分的第二區域。可以將接收第一凸球形節段117a 及第二凸球形節段117b 的第一區域及第二區域包括在支撐面119 內（亦即，作為支撐面119 的整體部分）。或者，如圖 1 中所示，可以藉由可以提供以供相對於支撐面119 安裝的第一基部121a 及第二基部121b 來提供第一區域及第二區域。以此種方式，可以將支撐裝置101 、501 定制及安裝在預先製造的支撐面119 上。例如，如圖 1 中所示，取決於特定的應用，每個第一凸球形節段117a 及第二凸球形節段117b 均可以被包括為具有對應的第一基部121a 及第二基部121b ，該第一基部及該第二基部可以各自安裝到預定位置處的支撐面119 。第一基部121a 及第二基部121b 可以經由附接構件123 固定到支撐面119 。在一些實施例中，附接構件123 可以是按扣、卡環、螺釘、螺栓、帶扣、鉤環緊固件、閂鎖、束線帶、帶環、銷、或栓釘。

在其他的實施例中，如圖 2 中示意性地示出的，支撐裝置也可以可選地裝設有一或更多個接頭125 ，該一或更多個接頭被配置為在圓柱形桿111 的旋轉軸113 的方向124 上相對於支撐面119 可調整地安裝包括對應區域305 的對應基部121a 、121b 。例如，如所示，可以用接頭125 相對於支撐面119 安裝第一基部121a 以供沿著對應圓柱形桿111 的旋轉軸113 的方向124 相對於支撐面平移第一基部121a 。附加性或替代性地，可以用接頭125 相對於支撐面119 安裝第二基部121b 以供沿著對應圓柱形桿111 的旋轉軸113 的方向124 相對於支撐面119 平移第二基部121b 。在此類實施例中，至少一個基部121a 、121b 用接頭125 相對於支撐面119 可調整地安裝以沿著圓柱形桿111 的旋轉軸113 的方向124 平移可以允許調整第一基部121a 與第二基部121b 之間的距離，以補償圓柱形桿111 沿著旋轉軸113 的熱膨脹或收縮以及支撐裝置101 的其他部分由使用期間的溫度改變引起的熱膨脹或收縮。在一些實施例中，接頭125 可以包括滑件接頭、銷槽接頭、或空氣軸承。

如圖 3 中所示，第一基部121a 及第二基部121b 可以各自包括對應的區域305 ，該區域接收第一凸球形節段117a 及第二凸球形節段117b 中的每一者的對應部分311 。如圖 3 中所示，第一基部121a 及第二基部121b 中的每一者可以包括圍束區域305 的對應的唇部307 。如圖 3 中所示，第一凸球形節段117a 及第二凸球形節段117b 的凸起部分309 可以凸起於對應的唇部307 上方及區域305 外部，而第一凸球形節段117a 及第二凸球形節段117b 中的每一者的對應部分311 （例如，對應的下部）可以延伸於對應的唇部307 下方及區域305 內。在一些實施例中，第一凸球形節段117a 及第二凸球形節段117b 的外凸面319 的延伸於對應的唇部下方的部分可以包括由兩個向量之間的角度「A 」所界定的弧，該等兩個向量包括外凸面319 的中心點及球形凹入表面313 的相交的相對外周點。由角度「A 」所界定的弧圍繞延伸通過外凸面319 的中心點且通過球形凹入表面313 的中心對稱軸的軸的旋轉可以界定外凸面319 的延伸於唇部307 下方的一部分。在一些實施例中，角度「A 」可以是在從約10°到約180°的範圍內，例如從約20°到約175°、從約45°到約170°、或從約70°到約165°，然而也可以提供其他的角度。在一些實施例中，角度「A 」可以是約180°或更小，以允許第一凸球形節段117a 及第二凸球形節段117b 垂直升出區域305 。

在整篇揭示內容內，若在具有圓柱形桿的支撐裝置支撐物體同時凸球形節段被空氣墊支撐的操作期間，可以將凸球形節段從基部121a 、121b 的區域305 移除且遠離基部121a 、121b ，則凸球形節段被認為是被基部自由支撐。在一些實施例中，因為在具有圓柱形桿的支撐裝置支撐物體同時凸球形節段被空氣墊支撐的操作期間，不存在防止凸球形節段垂直升出基部121a 、 121b 的區域305 且垂直地遠離基部121a 、121b 的結構，所以凸球形節段可以被基部自由支撐。例如，如圖 2 中所示，因為每個凸球形節段117a 、117b 均被對應的基部121a 、121b 自由支撐，可以藉由單純在與重力相對的方向上垂直升舉圓柱形桿111 來實現圓柱形桿111 及對應的凸球形節段117a 、117b 的拆卸。因為不存在禁止凸球形節段117a 、117b 垂直升出區域305 的結構，所以由於不可能存在在拆卸之前要斷開或移除的部件，可以簡化圓柱形桿111 的拆卸。此外，因為凸球形節段117a 、117b 被配置為被對應的基部121a 、121b 自由支撐，所以因為可以藉由單純將附接到圓柱形桿111 的凸球形節段117a 、117b 投放到對應基部121a 、121b 的區域305 中來提供功能單元而不需要進一步組裝來提供支撐裝置依預期作用的能力，簡化了圓柱形桿111 相對於基部121a 、121b 的安裝。

參照圖 3 ，所示的凸球形節段117a 、117b 由對應的基部121a 、121b 用約180°或更小的角度「A 」所支撐，這意味著凸球形節段117a 、117b 可以垂直升出區域305 。在其他的實施例中，可以提供蛤殼式附接頂部（例如，籠）以允許有效角度「A 」為約180°或更大，同時防止從對應的區域305 意外移除第一凸球形節段117a 及第二凸球形節段117b 。然而，一些實施例可以不捕集球形節段（例如，利用約180°或更小的有效角度「A 」捕集）以簡化支撐裝置101 、501 的組裝及拆卸以及促進用饋送到間隙323 中的流體流329 清潔及/或冷卻第一凸球形節段117a 及第二凸球形節段117b 及相鄰區域。此外，在一些實施例中，減少的角度「A 」可以允許圓柱形桿111 的直徑203 的餘隙以及在圖 4 中用實線示出的位置與在圖 4 中用假想線示出的位置之間的傾斜，該傾斜在一些實施例中可能被圓柱形桿111 與基部的相關聯唇部307 之間的干擾所限制。此外，可以將角度「A 」選定為大到足以防止凸球形節段117a 、117b 在操作期間意外跳出區域305 。

如所示，第一基部121a 及第二基部121b 的凹陷表面313 可以界定對應的區域305 。如所示，第一基部121a 及第二基部121b 的區域305 可以凹陷於唇部307 下方達最大深度315 。可以將區域305 的最大深度315 界定為唇部307 與界定區域305 的凹陷表面313 的最低點之間的垂直距離。在一些實施例中，最大深度315 可以是在從對應的第一凸球形節段117a 及第二凸球形節段117b 的外凸面319 的半徑317 的約20%到約100%、約40%到約90%、約60%到約90%、或約80%的範圍內。與對應的第一基部121a 及第二基部121b 相關聯的區域305 的最大深度315 可以彼此相同或不同，該第一基部及該第二基部與每個圓柱形桿111 的凸球形節段相關聯。

如所示，第一凸球形節段117a 的外凸面319 的半徑317 可以與第二凸球形節段117b 的外凸面319 的半徑317 相同。儘管未示出，但在一些實施例中，第一凸球形節段117a 的外凸面319 的半徑317 也可以與第二凸球形節段117b 的外凸面319 的半徑317 不同。例如，如所示，在一些實施例中，第一凸球形節段117a 及對應的第一基部121a 可以是第二凸球形節段117b 及對應的第二基部121b 的相同鏡像。儘管未示出，但在一些實施例中，第一凸球形節段117a 及對應的第一基部121a 可以不是第二凸球形節段117b 及對應的第二基部121b 的相同鏡像。例如，第一凸球形節段117a 及對應的第一基部121a 的尺寸可以與第二凸球形節段117b 及對應的第二基部121b 不同（例如，尺寸較大或較小），或該第一凸球形節段及該第一基部的其他特性可以與第二凸球形節段117b 及/或對應的第二基部121b 的特性不相同。

界定區域305 的凹陷表面313 可以包括範圍廣泛的形狀及尺寸。例如，在一些實施例中，凹陷表面可以包括垂直圓柱形側表面以及平坦或其他形狀的底面。在其他的實施例中，凹陷表面可以包括向上圓錐形或截頭圓錐形形狀。在又其他的實施例中，凹陷表面可以包括向上的凹面形狀，例如向上的橢圓形狀。在另外的實施例中，如圖 3 中所示，凹陷表面可以包括具有半徑321 的球形凹面節段的球形凹入表面313 。在一些實施例中，如所示，球形凹面節段的球形凹入表面的半徑321 可以大於對應的第一凸球形節段117a 及第二凸球形節段117b 的外凸面319 的半徑317 ，然而在另外的實施例中，半徑321 也可以等於半徑317 。

在半徑321 大於半徑317 的實施例中，半徑的差異可以在球形凸面319 與球形凹面節段的球形凹入表面313 之間界定一致的間隙323 。在流體流329 循環時，一致的間隙323 可以允許具有恆定厚度（例如，半徑321 與半徑317 之間的差異）的流體墊325 產生且使第一凸球形節段117a 及第二凸球形節段117b 相對於第一基部121a 及第二基部121b 懸浮且防止其間的實體接觸，以最小化摩擦且藉此最小化對相關聯的圓柱形桿111 的旋轉運動的阻力。在一些又另外的實施例中，外凸面319 的半徑317 可以比球形凹面節段的球形凹入表面313 的半徑321 小達約20%或更小、達約15%或更小、達約10%或更小、達約5%或更小、達約2%或更小、達約1%或更小。在另外的實施例中，外凸面319 的半徑317 可以比球形凹面節段的球形凹入表面313 的半徑321 小達從約1%到約20%、達從約1%到約15%、達從約1%到約10%、或達約1%到約5%的範圍內。

支撐裝置101 、501 可以更包括與第一基部121a 及第二基部121b 中的每一者的區域305 流體連通的流體端口327 。在一些實施例中，如圖 3 中所示，流體端口327 可以由第一基部121a 及第二基部121b 的凹陷表面313 的底部中的單個孔口組成。在其他的實施例中，流體端口可以包括凹陷表面313 中的複數個孔口。在另外的實施例中，該複數個孔口可以沿著凹陷表面313 的橫截面等距隔開。在其他另外的實施例中，該複數個孔口可以跨凹陷表面313 的複數個橫截面分佈。在這些另外的實施例中的任一者中，可以使用限流器、節流閥、閥門、或繼電器控制的致動器獨立於其他孔口控制流動通過每個孔口或孔口子集的流體流329 。在一些實施例中，流體端口327 可以單純包括開口。在其他的實施例中，流體端口327 可以包括單向閥。在又其他的實施例中，如圖 3 中所示，流體端口327 可以包括袋部補償孔口，其中限制部分，例如所繪示的插塞328 具有插塞開口330 。如所示，在一些實施例中，插塞開口330 包括沿著與流動方向垂直的平面的橫截面積，該橫截面積小於導管333 的沿著與限制部分的上游及下游的位置處的流動截面積垂直的平面的橫截面積。實際上，在一些實施例中，如圖 3 中所示，具有插塞開口330 的插塞328 可以壓入配合於導管333 內且凹陷於導管333 內到流體端口327 上游的位置。在此類實施例中，因為導管的袋部332 的在限制部分（例如，插塞328 ）後方的容積可以足以抑制由間隙323 的改變或對應的圓柱形桿111 的裝載所造成的流體流329 的波動，所以可以避免氣錘不穩定性。如上所述，流體端口327 可以包括通過相應的凹陷表面313 的一或更多個開口以將流體流329 饋送到間隙323 中，以產生流體墊325 且維持該流體墊使第一凸球形節段117a 及第二凸球形節段117b 相對於對應的基部121a 、121b 懸浮。在一些實施例中，可以將流體供應器（例如所繪示的加壓軟管331 ）耦接到每個對應的基部121a 、121b 的導管333 ，以將流體流329 遞送到流體端口327 且此後遞送到區域305 。

在一些實施例中，流體流329 可以包括氣體，例如空氣、氮氣、氦氣、氬氣、二氧化碳、或上述氣體的混合物。在此類實施例中，可以將支撐裝置101 的示於圖 3 中的部分稱為空氣軸承，且可以將間隙323 內的流體墊325 稱為空氣墊，即使在流體流329 包括空氣以外的氣體時也是如此。在此類實施例中，流體可以是可容易壓縮的。如此，因為來自流體供應器的壓縮氣體將在其穿過流體端口327 及間隙323 時與氣體的壓力改變成比例地擴張（如由波義耳定律及理想氣體定律所預測的），所以流體流329 可以自然地冷卻與間隙323 相關聯的結構。在其他的實施例中，流體流329 可以包括蒸氣（例如，水蒸氣）或超臨界流體（例如，超臨界二氧化碳）。在又其他的實施例中，流體流329 可以包括液體，例如水。在一些實施例中，流體供應器可以包括泵、罐、筒、鍋爐、壓縮機、及/或壓力容器。

除了饋送及維持流體墊325 以外，循環通過間隙323 的流體流329 還可以提供幾種技術益處中的至少一者。例如，流體流329 的循環可以對流地冷卻界定間隙323 的表面319 、313 。並且，流體流329 的循環可以執行自清潔功能，該自清潔功能移除及/或防止來自外凸面319 及在間隙323 附近的不需要的碎雜物或其他顆粒的累積。在流體流329 可壓縮的實施例中，如上文所論述地，可壓縮流體流在擴張之後可以冷卻界定間隙323 的表面319 、313 或提供對該等表面的溫度控制。此外，可壓縮流體流可以幫助將受支撐的物體（例如，玻璃條帶103 ）與環境振動隔離。在流體流329 具有低黏度的實施例中，在由流體墊325 所支撐的凸球形節段117a 、117b 旋轉之後，可以存在低的摩擦及低的熱產生。例如，氣體流可以包括約2x10^-5 Pa s或更小的動態黏度，而水具有約0.001 Pa s的動態黏度。在此類實施例中，低的黏度可以為約10^-3 Pa s或更小、約10^-4 Pa s或更小、或約2x10^-5 Pa s或更小。對懸浮在流體墊325 上的凸球形節段117a 的旋轉的低摩擦力可以減少對受支撐的物體（例如，玻璃條帶103 ）的移動的阻力，這將幫助減少物體（例如，玻璃條帶103 ）的表面（例如，第一主要面105a ）與圓柱形桿111 的外周面201 之間的滑動摩擦的發生。

現將描述組裝支撐裝置101 、501 的方法的實施例。如圖 1 中所示，在一個實施例中，可以將第一基部121a 及第二基部121b 相對於支撐面119 緊固。例如，在一些實施例中，所有第一基部121a 都可以沿著線性路徑相對於彼此對準且接著用附接構件123 （例如，自攻螺釘或其他緊固件）附接到支撐面119 。接下來，可以將第一凸球形節段117a 安插到每個對應的第一基部121a 的區域305 中。接下來，可以將第二基部定位為彼此對準且其中對應的第二凸球形節段117b 定位在每個對應的第二基部121b 的區域305 內。如此，由於與對應的基部121a 、121b 對的圓柱形桿111 相關聯的第一凸球形節段117a 及第二凸球形節段117b 已經正確地安置在對應的區域305 內，所以可以實現對應的基部121a 、121b 對之間的正確距離。一旦基部121a 、121b 與正確安置在對應的區域305 內的第一凸球形節段117a 及第二凸球形節段117b 隔開，就可以用附接構件123 將第二基部121b 緊固到支撐面119 。

此外，凸球形節段117a 、117b 的幾何形狀可以容忍一或更多個旋轉軸113 相對於另一個旋轉軸113 錯準而不會顯著影響支撐裝置101 、501 的效能。例如，儘管在一些實施例中可以實現每個圓柱形桿111 的旋轉軸113 的平行對準，但在安裝期間，由於安裝誤差或由於支撐面119 的特性，錯準仍然可能發生。如此，一或更多個圓柱形桿111 的旋轉軸113 之間的不平行佈置可能最終如圖 4-5 中所示地發生。然而，即使在錯準的情況下，仍然可以沿著行進方向109 進行運輸。例如，微小錯準可以並不顯著影響剛性物體（例如，剛性玻璃條帶103 ）。此外，即使顯著的錯準也可以允許運輸柔性物體（例如，柔性玻璃條帶103 ），因為柔性條帶會僅沿著由圓柱形桿111 所界定的任何非平面運輸路徑撓曲。實際上，在流體流329 產生支撐圓柱形桿的第一凸球形節段117a 及第二凸球形節段117b 的空氣墊時，在唇部307 低於圓柱形桿111 時，圓柱形桿111 在圖 4 中的頁面外的方向上（亦即，在x-y 平面上）的旋轉並不被接收部分阻礙。此外，只要由連接凸球形節段117a 、117b 的中心處的第一點及唇部307 上距離第一點最遠的第二點的線所形成的角度大於圓柱形桿111 的凸球形端部之間的垂直錯準，對於在「z 」方向上的微小或甚至中等的錯準而言，圓柱形桿的旋轉並不被接收部分或唇部307 阻礙。因此，凸球形節段117a 、117b 可以簡化及減少安裝支撐裝置101 、501 的費用、可以允許將支撐裝置101 、501 安裝在不規則的支撐面119 上、且可以幫助在物體（例如，玻璃條帶103 ）的運輸期間減少對圓柱形桿111 的旋轉的摩擦阻力。

在一些實施例中，可以圍繞第一凸球形節段117a 及/或第二凸球形節段117b 的第一樞轉軸可樞轉地調整圓柱形桿111 ，該第一樞轉軸可以與圓柱形桿111 的第一旋轉軸113 垂直。在另外的實施例中，第一樞轉軸可以是在「z」方向上，如由圖1-2及4-5中的參考標號118a、118b所指示。在一些實施例中，圓柱形桿111可以圍繞對應的凸球形節段117a、117b的第一樞轉軸(例如，118a、118b)樞轉達約10°到約30°的調整角度(且在一些實施例中達約10°到約360°的調整角度)。在又另外的實施例中，可以圍繞第一凸球形節段117a及/或第二凸球形節段117b的第二樞轉軸可樞轉地調整圓柱形桿111，該第二樞轉軸可以與圓柱形桿111的第一旋轉軸113及第一樞轉軸(例如，118a、118b)垂直。在此類實施例中，第二樞轉軸可以是在「x」方向上，如由圖1-2及4-5中的參考標號120a、120b所指示。在一些實施例中，在圓柱形桿111與基部121a、121b之間的接合防止進一步的樞轉之前，圓柱形桿111可以圍繞第二樞轉軸(例如，120a、120b)樞轉達約10°到約30°的調整角度。例如，如圖4中所示，在圓柱形桿111與基部121b的唇部307之間的交互作用由於其間的接觸而防止進一步樞轉之前，圓柱形桿111可以圍繞第一凸球形節段117a的第二樞轉軸(例如，120a)樞轉達約10°到約30°的調整角度，如圖4中用虛線示出的。

在其他的實施例中，第一樞轉軸可以是在「x」方向上，如由圖1-2及4-5中的參考標號120a所指示。在一些實施例中，第一圓柱形桿111可以圍繞第一凸球形節段117a及/或第二凸球形節段117b的第一樞轉軸(例如，120a、120b)樞轉達約10°到約30°的調整角度。在一些實施例中，在圓柱形桿111 與基部121a 、121b 之間的接合防止進一步的樞轉之前，圓柱形桿111 可以圍繞第一樞轉軸（例如，120a 、120b ）樞轉達約10°到約30°的調整角度。例如，再次如圖 4 中所示，在圓柱形桿111 與基部121b 的唇部307 之間的交互作用由於其間的接觸而防止進一步樞轉之前，圓柱形桿111 可以圍繞第一凸球形節段117a 的第一樞轉軸（例如，120a ）樞轉達約10°到約30°的調整角度，如圖 4 中用虛線示出的。

一些實施例涉及用上文所論述的支撐裝置101 、501 支撐物體（例如，玻璃條帶103 ）的方法。在一些實施例中，可以將流體流329 從加壓軟管331 傳遞通過導管333 及通過流體端口327 到每個對應的基部121a 、121b 的區域305 中，以使第一凸球形節段117a 及第二凸球形節段117b 懸浮於相應的流體墊325 上。在一些實施例中，流體流329 可以包括空氣流，其中流體墊325 包括空氣墊。在此類實施例中，可以藉由將物體的第一主要面105a 與圓柱形桿111 的外周面201 接合，使得圓柱形桿111 支撐物體的重量（例如，玻璃條帶103 的重量），來藉由此類支撐裝置101 、501 支撐物體（例如，玻璃條帶103 ）。在另外的實施例中，在物體（例如，玻璃條帶103 ）沿著行進方向109 平移時且在第一凸球形節段117a 及第二凸球形節段117b 各自懸浮在相應的流體墊325 上的同時，圓柱形桿111 可以與相關聯的第一凸球形節段117a 及第二凸球形節段117b 一起旋轉。在另外的實施例中，在第一圓柱形桿111 支撐物體（例如，玻璃條帶103 ）且第一凸球形節段117a 及第二凸球形節段117b 各自懸浮在相應的流體墊上的同時，第一凸球形節段117a 及第二凸球形節段117b 可以由對應的基部121a 、121b 的區域305 自由支撐。在其他的流體實施例中，第一基部121a 可以相對於支撐面119 在第一圓柱形桿111 的第一旋轉軸113 的方向上平移（例如，藉由使用接頭125 平移），以在第一圓柱形桿111 支撐物體（例如，玻璃條帶103 ）的同時調整第一基部121a 與第二基部121b 之間的距離，以補償第一圓柱形桿111 的熱膨脹或收縮。

可以由本揭示內容的支撐裝置101 、501 支撐各種物體。在一些實施例中，如上文所論述，物體可以包括玻璃條帶103 ，例如玻璃片。玻璃片例如常用於各種顯示應用中，例如液晶顯示器（LCD）、電泳動顯示器（EPD）、有機發光二極體顯示器（OLED）、電漿顯示面板（PDP）等等。玻璃片通常是藉由將熔融玻璃流動到形成主體來製造的，藉由該形成主體，可以藉由各種條帶形成製程來形成玻璃條帶103 ，例如槽拉法、浮製法、下拉法、熔融下拉法、軋製法、管拉法、或上拉法。可以將玻璃條帶103 的邊緣部分與玻璃條帶103 的中心部分分離，及/或可以將玻璃條帶103 週期性地分離成個別的玻璃片。可以在分離玻璃條帶103 的中心部分之前、在從玻璃條帶103 分離玻璃片之前、或在從玻璃條帶103 分離玻璃片之後用支撐裝置101 、501 支撐玻璃條帶103 。

在一些實施例中，在分離之前及/或分離成包括玻璃片的玻璃條帶103 的一部分之後，支撐裝置101 、501 可以在玻璃條帶103 形成之後立即支撐該玻璃條帶。支撐裝置101 、501 可以在玻璃條帶103 冷卻到足以保持其形狀之前支撐該玻璃條帶以避免將過量的張力或鬆弛引入到玻璃條帶中。一般而言，玻璃將在其達到應變點之前充分地冷卻，通常將應變點界定為玻璃條帶103 的黏度超過10^14.5 泊的溫度。利用支撐裝置101 、501 的支撐提供了圓柱形桿111 的外周面201 之間的直接實體接觸，且因此不需要空氣墊直接衝擊玻璃條帶103 。因此，在一些實施例中，由圓柱形桿111 所提供的直接接觸可以避免使用空氣墊來直接接觸玻璃條帶103 ，使用空氣墊來直接接觸玻璃條帶可能太快地不合需要地冷卻玻璃條帶103 。此外，由於由第一凸球形節段117a 及第二凸球形節段117b 在相應的流體墊325 上的懸浮所提供的對旋轉的減少的摩擦阻力，可以維持玻璃條帶103 的主要面105a 、105b 的原始表面的維持，儘管該等主要面被圓柱形桿111 的外周面201 實體接觸。

可以將支撐物體的方法用於各種應用。在一些應用中，受支撐的物體可以是玻璃條帶、切割玻璃片、矽晶圓、塑膠膜、或其他材料的片材。在另外的應用中，可以連續地或間歇地移動受支撐的物體以運輸物體。

如本文中所使用的，用語「該」或「一」意味著「至少一個」，且不應限於「只有一個」，除非明確地相反指示。例如，因此對於「一部件」的指稱包括了具有二或更多個此類部件的實施例，除非上下文另有清楚指示。

如本文中所使用的，用語「約」意味著，數量、尺寸、配方、參數、及其他量及特性是不準確或不需要是準確的，而是依需要可以是近似及/或較大或較小的反射容差、轉換因素、捨入、測量誤差等等、及本領域中的技術人員所已知的其他因素。在將用語「約」用於描述值或範圍的端點時，應將本揭示內容瞭解為包括所指稱的特定值或端點。無論本說明書中的數值或範圍端點是否記載「約」，數值或範圍端點都是要包括兩種實施例：一種被「約」修飾，而一種不被「約」修飾。將進一步瞭解，範圍中的每一者的端點與另一個端點相比是有意義的（significant）且是與另一個端點無關地有意義的。

如本文中所使用的，應將用語「包含」及「包括」及其變型解釋為是同義的及開放式的，除非另有指示。

如本文中所使用的用語「實質」、「實質上」、及其變型旨在敘述，所述特徵等於或幾乎等於一個值或描述。例如，「實質平坦」的表面旨在指示平坦或幾乎平坦的表面。此外，如上文所界定的，「實質類似」要用來指示兩個值是相等或幾乎相等的。在一些實施例中，「實質類似」可以指示在彼此約10%內的值，例如在彼此約5%內的值，或在彼此約2%內的值。

以上的實施例及彼等實施例的特徵是示例性的，且可以在不脫離本揭示內容的範圍的情況下被單獨提供或與本文中所提供的其他實施例的任何一個或更多個特徵用任何組合提供。

本領域中的技術人員將理解到，可以在不脫離本揭示內容的精神及範圍的情況下對本揭示內容作出各種更改及變化。因此，本揭示內容旨在涵蓋此揭示內容的變體及變型，條件是該等變體及變型落在隨附申請專利範圍及其等效物的範圍之內。

101:支撐裝置 103:玻璃條帶 107:厚度 109:行進方向 111:圓柱形桿 113:旋轉軸 119:支撐面 123:附接構件 124:方向 125:接頭 201:外周面 203:直徑 301:外螺紋部分 303:內螺紋孔腔 305:區域 307:唇部 309:凸起部分 311:對應部分 313:球形凹入表面 315:最大深度 317:半徑 319:外凸面 321:半徑 323:間隙 325:流體墊 327:流體端口 328:插塞 329:流體流 330:插塞開口 331:加壓軟管 332:袋部 333:導管 501:支撐裝置 105a:第一主要面 105b:第二主要面

115a:第一端部

115b:第二端部

117a:第一凸球形節段

117b:第二凸球形節段

118a:第一樞轉軸

118b:第一樞轉軸

120a:第二樞轉軸/第一樞轉軸

120b:第二樞轉軸/第一樞轉軸

121a:第一基部

121b:第二基部

A:角度

在參照附圖閱讀以下的詳細說明時，會更佳地瞭解這些及其他的特徵、態樣、及優點，在該等附圖中：

圖 1 繪示依據本揭示內容的實施例的支撐物體的支撐裝置的一些實施例的透視圖；

圖 2 繪示圖 1 的支撐裝置的立面正視圖；

圖 3 是沿著圖 1 中的線3-3 截取的支撐裝置的橫截面圖；

圖 4 是圖 1 的支撐裝置的另一個立面正視圖；及

圖 5 繪示圖 1 的支撐裝置的替代性實施例的俯視平面圖。

國內寄存資訊 (請依寄存機構、日期、號碼順序註記) 無

國外寄存資訊 (請依寄存國家、機構、日期、號碼順序註記) 無

101:支撐裝置

103:玻璃條帶

107:厚度

109:行進方向

111:圓柱形桿

113:旋轉軸

119:支撐面

123:附接構件

201:外周面

105a:第一主要面

105b:第二主要面

115a:第一端部

115b:第二端部

117a:第一凸球形節段

117b:第二凸球形節段

118a:第一樞轉軸

118b:第一樞轉軸

120a:第二樞轉軸/第一樞轉軸

120b:第二樞轉軸/第一樞轉軸

121a:第一基部

121b:第二基部

Claims (23)

1. 一種支撐裝置，包括：一圓柱形桿，該圓柱形桿包括一第一端部及一第二端部，其中該圓柱形桿從該圓柱形桿的該第一端部向該第二端部沿著一旋轉軸延伸，且其中該第一端部裝設有一第一凸球形節段，且該第二端部裝設有一第二凸球形節段；一第一區域，該第一區域被一第一唇部所圍束，該第一區域用從該第一凸球形節段的一第一半徑的約20%到約80%的一最大深度凹陷於該第一唇部下方，且該第一區域被配置為在該圓柱形桿可以圍繞該第一凸球形節段的一第一樞轉軸樞轉的情況下接收該第一凸球形節段的一部分，該第一樞轉軸與該圓柱形桿的該旋轉軸垂直；一第一流體端口，該第一流體端口與該第一區域流體連通；一第二區域，該第二區域被一第二唇部所圍束，該第二區域用從該第二凸球形節段的一第二半徑的約20%到約80%的一最大深度凹陷於該第二唇部下方，且該第二區域被配置為在該圓柱形桿可以圍繞該第二凸球形節段的一第一樞轉軸樞轉的情況下接收該第二凸球形節段的一部分，該第一樞轉軸與該圓柱形桿的 該旋轉軸垂直且與該第一凸球形節段的該第一樞轉軸平行；及一第二流體端口，該第二流體端口與該第二區域流體連通。
2. 如請求項1所述的支撐裝置，其中該第一區域被配置為在該圓柱形桿可以圍繞該第一凸球形節段的一第二樞轉軸樞轉的情況下接收該第一凸球形節段的該部分，該第一凸球形節段的該第二樞轉軸與該圓柱形桿的該旋轉軸垂直且與該第一凸球形節段的該第一樞轉軸垂直，且該第二區域被配置為在該圓柱形桿可以圍繞該第二凸球形節段的一第二樞轉軸樞轉的情況下接收該第二凸球形節段的該部分，該第二凸球形節段的該第二樞轉軸與該第一凸球形節段的該第二樞轉軸平行且與該圓柱形桿的該旋轉軸垂直且與該第二凸球形節段的該第一樞轉軸垂直。
3. 如請求項2所述的支撐裝置，其中該第一區域被配置為在該圓柱形桿可以圍繞該第一凸球形節段的該第二樞轉軸樞轉達從約10°到約30°的情況下接收該第一凸球形節段的該部分，且該第二區域被配置為在該圓柱形桿可以圍繞該第二凸球形節段的該第二樞轉軸樞轉達從約10°到約30°的情況下接收該第二凸球形節段的該部分。
4. 如請求項1所述的支撐裝置，其中該第一凸球形節段被配置為由該第一區域自由支撐，且該第二凸球形節段被配置為由該第二區域自由支撐。
5. 如請求項1所述的支撐裝置，其中該第一區域被配置為在該圓柱形桿可以圍繞該第一凸球形節段的該第一樞轉軸樞轉達從約10°到約30°的情況下接收該第一凸球形節段的該部分，且該第二區域被配置為在該圓柱形桿可以圍繞該第二凸球形節段的該第一樞轉軸樞轉達從約10°到約30°的情況下接收該第二凸球形節段的該部分。
6. 如請求項5所述的支撐裝置，其中該第一區域被配置為在該圓柱形桿可以圍繞該第一凸球形節段的該第一樞轉軸樞轉達360°的情況下接收該第一凸球形節段的該部分，且該第二區域被配置為在該圓柱形桿可以圍繞該第二凸球形節段的該第一樞轉軸樞轉達360°的情況下接收該第二凸球形節段的該部分。
7. 如請求項1所述的支撐裝置，更包括一接頭，該接頭被配置為在該圓柱形桿的該旋轉軸的一方向上相對於一支撐面可調整地安裝該第一區域。
8. 如請求項1所述的支撐裝置，其中該圓柱形桿包括選自由以下項目所組成的一群組的材料中的一者 或一組合：氧化鋁、熔融石英、莫來石、碳化矽、及石墨。
9. 如請求項1所述的支撐裝置，其中該第一區域由一第一凹面節段所界定。
10. 如請求項9所述的支撐裝置，其中該第一凹面節段包括一第一凹球形節段。
11. 如請求項1所述的支撐裝置，其中該第二區域由一第二凹面節段所界定。
12. 如請求項11所述的支撐裝置，其中該第二凹面節段包括一第二凹球形節段。
13. 如請求項1所述的支撐裝置，更包括一額外圓柱形桿。
14. 如請求項13所述的支撐裝置，其中該圓柱形桿的該旋轉軸與該額外圓柱形桿的一額外旋轉軸平行。
15. 如請求項13所述的支撐裝置，其中該圓柱形桿的一旋轉軸相對於該額外圓柱形桿的一額外旋轉軸用一銳角延伸。
16. 如請求項15所述的支撐裝置，其中該旋轉軸及該額外旋轉軸不沿著一共同平面延伸。
17. 如請求項14所述的支撐裝置，其中該旋轉軸及該額外旋轉軸沿著一共同平面延伸。
18. 一種用如請求項1所述的支撐裝置支撐一物體的方法，該方法包括以下步驟：將一第一流體流傳遞通過該第一流體端口，以形成使該第一凸球形節段懸浮的一第一流體墊；將一第二流體流傳遞通過該第二流體端口，以形成使該第二凸球形節段懸浮的一第二流體墊；及用該圓柱形桿的一外表面接合該物體的一表面，其中在該圓柱形桿被該第一流體墊及該第二流體墊支撐的同時，該圓柱形桿支撐該物體的一重量。
19. 如請求項18所述的支撐一物體的方法，更包括以下步驟：使該物體沿著一行進方向平移，其中在該圓柱形桿被該第一流體墊及該第二流體墊支撐的同時，該物體驅動該圓柱形桿圍繞該旋轉軸而旋轉。
20. 如請求項18所述的支撐一物體的方法，其中該物體包括一玻璃條帶。
21. 如請求項18所述的支撐一物體的方法，其中該物體包括從約500℃到約1200℃的一範圍內的一溫度。
22. 如請求項18所述的支撐一物體的方法，其中在支撐該物體的同時，該第一凸球形節段由該第一區域自由支撐，且該第二凸球形節段由該第二區域自由支撐。
23. 如請求項18所述的支撐一物體的方法，更包括以下步驟：在支撐該物體的同時，調整該第一區域與該第二區域之間的一距離。