CN112739633B - 用于支撑物体的装置及方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 81
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 106
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 19
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 5
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 claims description 4
- 229910052863 mullite Inorganic materials 0.000 claims description 4
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims description 3
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 15
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 10
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 6
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 6
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 5
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 3
- 238000007496 glass forming Methods 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 2
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000003280 down draw process Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000012768 molten material Substances 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 2
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 2
- 238000006124 Pilkington process Methods 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000003570 air Substances 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052500 inorganic mineral Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 230000009191 jumping Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000011707 mineral Substances 0.000 description 1
- 239000006060 molten glass Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 238000010079 rubber tapping Methods 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 238000003283 slot draw process Methods 0.000 description 1
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 1
- 239000013598 vector Substances 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
- B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G13/00—Roller-ways
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- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G13/00—Roller-ways
- B65G13/02—Roller-ways having driven rollers
- B65G13/04—Roller-ways having driven rollers all rollers driven
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G13/00—Roller-ways
- B65G13/02—Roller-ways having driven rollers
- B65G13/06—Roller driving means
- B65G13/065—Roller driving means with displacement of the roller
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G39/00—Rollers, e.g. drive rollers, or arrangements thereof incorporated in roller-ways or other types of mechanical conveyors
- B65G39/02—Adaptations of individual rollers and supports therefor
- B65G39/025—Adaptations of individual rollers and supports therefor having spherical roller elements
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B35/00—Transporting of glass products during their manufacture, e.g. hot glass lenses, prisms
- C03B35/14—Transporting hot glass sheets or ribbons, e.g. by heat-resistant conveyor belts or bands
- C03B35/16—Transporting hot glass sheets or ribbons, e.g. by heat-resistant conveyor belts or bands by roller conveyors
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B35/00—Transporting of glass products during their manufacture, e.g. hot glass lenses, prisms
- C03B35/14—Transporting hot glass sheets or ribbons, e.g. by heat-resistant conveyor belts or bands
- C03B35/16—Transporting hot glass sheets or ribbons, e.g. by heat-resistant conveyor belts or bands by roller conveyors
- C03B35/162—Transporting hot glass sheets or ribbons, e.g. by heat-resistant conveyor belts or bands by roller conveyors combined with means for thermal adjustment of the rollers, e.g. cooling
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B35/00—Transporting of glass products during their manufacture, e.g. hot glass lenses, prisms
- C03B35/14—Transporting hot glass sheets or ribbons, e.g. by heat-resistant conveyor belts or bands
- C03B35/16—Transporting hot glass sheets or ribbons, e.g. by heat-resistant conveyor belts or bands by roller conveyors
- C03B35/163—Drive means, clutches, gearing or drive speed control means
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B35/00—Transporting of glass products during their manufacture, e.g. hot glass lenses, prisms
- C03B35/14—Transporting hot glass sheets or ribbons, e.g. by heat-resistant conveyor belts or bands
- C03B35/16—Transporting hot glass sheets or ribbons, e.g. by heat-resistant conveyor belts or bands by roller conveyors
- C03B35/165—Supports or couplings for roller ends, e.g. trunions, gudgeons
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- C03B35/00—Transporting of glass products during their manufacture, e.g. hot glass lenses, prisms
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- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
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Abstract
一种支撑装置可以包括:圆柱形杆,沿着第一旋转轴延伸,且包括装设有第一凸球形节段的第一端部和装设有第二凸球形节段的第二端部。可以将第一区域配置为接收所述第一凸球形节段的一部分。可以将第二区域配置为接收所述第二凸球形节段的一部分。所述圆柱形杆可以围绕与所述第一旋转轴垂直的第一枢转轴枢转。在一些实施例中,支撑物体的方法可以包括:用所述圆柱形杆的外表面接合所述物体的表面,其中在所述第一圆柱形杆被所述第一流体垫和所述第二流体垫支撑的同时,所述第一圆柱形杆支撑所述物体的重量。
Description
技术领域
此申请案主张于2018年8月29日所提出的美国临时申请案第62/724,174号的优先权权益,该申请案的整体内容于本文中以引用方式依附和并入本文中。
本公开内容大致与用于支撑物体的装置及方法相关,且更详细而言是与用于支撑物体的重量的装置及方法相关。
背景技术
通常将玻璃条带从一个位置输送到另一个位置。在一些实施例中,可以抵着玻璃条带的主要面提供压力以帮助在运输期间支撑玻璃条带的重量。例如,已经知道将玻璃条带支撑在接触玻璃条带的空气垫上以使玻璃条带悬浮在空气垫上。
发明内容
下文呈现了本公开内容的简化概要,以提供详细说明中所述的一些实施例的基本了解。
在一些实施例中,一种支撑装置可以包括:第一圆柱形杆,包括第一端部和第二端部,其中所述第一圆柱形杆从所述第一圆柱形杆的所述第一端部向所述第二端部沿着第一旋转轴延伸。所述第一端部可以装设有第一凸球形节段,且第二端部可以装设有第二凸球形节段。所述支撑装置可以更包括:第一区域,被配置为在所述第一圆柱形杆可以围绕所述第一凸球形节段的第一枢转轴枢转的情况下接收所述第一凸球形节段的一部分,所述第一枢转轴与所述圆柱形杆的所述第一旋转轴垂直。第一流体端口可以与所述第一区域流体连通。所述支撑装置可以更包括:第二区域,被配置为在所述第一圆柱形杆可以围绕所述第二凸球形节段的第一枢转轴枢转的情况下接收所述第二凸球形节段的一部分,所述第一枢转轴与所述圆柱形杆的所述第一旋转轴垂直且与所述第一凸球形节段的所述第一枢转轴平行。第二流体端口可以与所述第二区域流体连通。
在一些实施例中,可以将所述支撑装置的所述第一区域配置为在所述第一圆柱形杆可以围绕所述第一凸球形节段的第二枢转轴枢转的情况下接收所述第一凸球形节段的所述部分,所述第二枢转轴与所述圆柱形杆的所述第一旋转轴垂直且与所述第一凸球形节段的所述第一枢转轴垂直。可以将所述支撑装置的所述第二区域配置为在所述第一圆柱形杆可以围绕所述第二凸球形节段的第二枢转轴枢转的情况下接收所述第二凸球形节段的所述部分,所述第二枢转轴与所述第一凸球形节段的所述第二枢转轴平行且与所述圆柱形杆的所述第一旋转轴垂直且与所述第二凸球形节段的所述第一枢转轴垂直。
在一些实施例中,可以将所述支撑装置的所述第一区域配置为在所述第一圆柱形杆可以围绕所述第一凸球形节段的所述第二枢转轴枢转达从约10°到约30°的情况下接收所述第一凸球形节段的所述部分。可以将所述支撑装置的所述第二区域配置为在所述第一圆柱形杆可以围绕所述第二凸球形节段的所述第二枢转轴枢转达从约10°到约30°的情况下接收所述第二凸球形节段的所述部分。
在一些实施例中,可以将所述第一球形节段配置为由所述第一区域自由支撑。可以将所述第二球形节段配置为由所述第二区域自由支撑。
在一些实施例中,可以将所述支撑装置的所述第一区域配置为在所述第一圆柱形杆可以围绕所述第一凸球形节段的所述第一枢转轴枢转达从约10°到约30°的情况下接收所述第一凸球形节段的所述部分。可以将所述支撑装置的所述第二区域配置为在所述第一圆柱形杆可以围绕所述第二凸球形节段的所述第一枢转轴枢转达从约10°到约30°的情况下接收所述第二凸球形节段的所述部分。
在一些实施例中,可以将所述支撑装置的所述第一区域配置为在所述第一圆柱形杆可以围绕所述第一凸球形节段的所述第一枢转轴枢转达360°的情况下接收所述第一凸球形节段的所述部分。可以将所述支撑装置的所述第二区域配置为在所述第一圆柱形杆可以围绕所述第二凸球形节段的所述第一枢转轴枢转达360°的情况下接收所述第二凸球形节段的所述部分。
在一些实施例中,所述支撑装置可以包括:接头,所述接头被配置为在所述第一圆柱形杆的所述第一旋转轴的方向上相对于支撑面可调整地安装所述第一区域。
在一些实施例中,所述支撑装置可以包括围束所述第一区域的第一唇部和围束所述第二区域的第二唇部。
在一些实施例中,所述支撑装置可以包括用从第一凸球形节段的第一半径的约20%到约80%的范围内的最大深度凹陷于所述第一唇部下方的所述第一区域。并且,所述第二区域可以用从所述第二凸球形节段的第二半径的约20%到约80%的范围内的最大深度凹陷于所述第二唇部下方。
在一些实施例中,所述支撑装置可以包括:圆柱形杆,包括选自由以下项目所组成的组的一或更多种材料:氧化铝、熔融石英、莫来石、碳化硅和石墨。
在一些实施例中,所述支撑装置可以包括由第一凹面节段所界定的所述第一区域。
在一些实施例中,所述支撑装置可以包括:所述第一凹面节段,包括第一凹球形节段。
在一些实施例中,所述支撑装置可以包括由第二凹面节段所界定的所述第二区域。
在一些实施例中,所述支撑装置可以包括:所述第二凹面,包括第二凹球形节段。
在一些实施例中,所述支撑装置可以包括第二圆柱形杆。
在一些实施例中,所述支撑装置可以包括所述第一圆柱形杆的第一旋转轴,所述第一旋转轴与所述第二圆柱形杆的第二旋转轴平行。
在一些实施例中,所述支撑装置可以包括所述第一圆柱形杆的第一旋转轴,所述第一旋转轴相对于所述第二圆柱形杆的第二旋转轴用锐角延伸。
在一些实施例中,所述第一旋转轴和所述第二旋转轴不沿着共同的平面延伸。
在一些实施例中,所述第一旋转轴和所述第二旋转轴沿着共同的平面延伸。
依据一些实施例,一种方法可以包括:用上文所论述的支撑装置中的任一者的支撑装置支撑物体。方法可以包括:将第一流体流传递通过所述第一流体端口,以形成可以使所述第一凸球形节段悬浮的第一流体垫。并且,方法可以包括:将第二流体流传递通过所述第二流体端口,以形成可以使所述第二凸球形节段悬浮的第二流体垫。此外,方法可以包括:用所述第一圆柱形杆的外表面接合所述物体的表面,其中在所述第一圆柱形杆被所述第一流体垫和所述第二流体垫支撑的同时,所述第一圆柱形杆可以支撑所述物体的重量。
在一些实施例中,方法可以更包括:使所述物体沿着行进方向横移,其中在所述第一圆柱形杆被所述第一流体垫和所述第二流体垫支撑的同时,所述物体驱动所述第一圆柱形杆旋转。
在一些实施例中,方法可以用来支撑包括玻璃条带的物体。
在一些实施例中,方法可以用来支撑包括从约500℃到约1200℃的范围内的温度的物体。
在一些实施例中,方法可以通过所述第一区域自由支撑所述第一球形节段。所述第二球形节段可以自由支撑所述第二区域。同时,所述第一圆柱形杆可以支撑所述物体。
在一些实施例中,方法可以更包括:在所述第一圆柱形杆支撑所述物体的同时,调整所述第一区域与所述第二区域之间的距离。
附图说明
在参照附图阅读以下的详细说明时,会更佳地了解这些和其他的特征、方面及优点,在这些附图中:
图1绘示依据本公开内容的实施例的支撑物体的支撑装置的一些实施例的透视图;
图2绘示图1的支撑装置的立面正视图;
图3是沿着图1中的线3-3截取的支撑装置的横截面图;
图4是图1的支撑装置的另一个立面正视图;和
图5绘示图1的支撑装置的替代性实施例的俯视平面图。
具体实施方式
现将在下文中参照附图来更完整地描述实施例,这些附图中示出了示例实施例。尽可能地在所有附图中使用了相同的参考标号来指称相同的或类似的部件。然而,可以用许多不同的形式来实施此公开内容,且此公开内容不应被视为限于本文中所阐述的实施例。
要了解,本文中所公开的具体实施例旨在是示例性的且因此是非限制性的。出于本公开内容的目的,尽管不需要,但也可以将支撑物体的支撑装置或方法用在玻璃制造装置中。此类玻璃制造装置可以可选地包括玻璃形成装置,所述玻璃形成装置从一定量的熔融材料形成玻璃片和/或玻璃条带。例如,玻璃制造装置可以可选地包括例如为槽拉装置、浮浴装置、下拉装置、上拉装置、压轧装置或其他玻璃形成装置的玻璃形成装置。此外,出于本公开内容的目的,尽管不需要,但此类玻璃制造装置也可以包括用于储存先前形成的玻璃条带的储存设备。例如,尽管未示出,但玻璃制造装置也可以可选地包括储存卷轴,所述储存卷轴包括缠绕在所述储存卷轴上的一定长度的玻璃条带。在一些实施例中,所述装置可以在玻璃条带具有大于室温的温度的同时,在用玻璃制造装置形成所述玻璃条带时支撑所述玻璃条带。在替代性的实施例中,可以使用所述装置来支撑冷却到室温的玻璃条带。在另外的实施例中,本公开内容的装置可以支撑呈玻璃片的形式的玻璃条带。出于本公开内容的目的,对于玻璃条带的指称指的是从玻璃制造装置拉出的玻璃条带、从玻璃条带储存卷轴展开的玻璃条带和/或从更大长度的玻璃条带分离的玻璃片。
或者,可以将支撑物体的支撑装置或方法用在硅晶片制造装置中或用于运输由硅晶片制造装置所产生的硅晶片的期间。可以合并本公开内容的方面的硅晶片制造装置的实施例可以可选地包括锭料生长装置、切片装置、研磨装置和/或清洁装置。
图1绘示用于支撑物体的支撑装置101的实施例的立面图。物体可以包括材料片(例如,玻璃条带、硅晶片)或包括可以由如下文更全面地论述的支撑装置101接合的表面的其他物体。在所绘示的实施例中,物体包括呈玻璃片的形式的玻璃条带103,然而物体也可以包括分离成玻璃条带103片之前的玻璃条带。例如,可以从玻璃条带卷轴拉出或从将熔融材料形成为玻璃条带的形成装置拉出玻璃条带130。支撑装置101可以在支撑装置101支撑物体时接合物体的表面以支撑物体的重量的至少一部分。例如,如图1中所示,玻璃条带103可以包括第一主要面105a和第二主要面105b,其中厚度107被界定在玻璃条带103的第一主要面105a与第二主要面105b之间。如所示,支撑装置101可以接合(例如,物理接触)玻璃条带103的第一主要面105a以支撑玻璃条带103的重量的至少一部分。在一些实施例中,如所示,支撑装置101可以在玻璃条带103相对于支撑装置101沿着行进方向109行进的同时,接合玻璃条带103的第一主要面105a以支撑玻璃条带103的重量的至少一部分。在所绘示的实施例中,行进方向109可以沿着所绘示的方向坐标“x”水平延伸,方向坐标“x”与沿着所绘示的方向坐标“z”的重力垂直。在一些实施例中,行进方向109可以具有仰倾,其中行进方向109包括与重力方向相对的方向分量。或者,行进方向109可以具有俯倾,其中行进方向109包括在重力的方向上的方向分量。在一些实施例中,行进方向109可以在水平行进路径、仰倾路径和/或俯倾路径中的一或更多者之间俯仰地交替。此外,在实施例中的任一者中,玻璃条带103可以围绕绘示为方向坐标“x”的行进方向在一或更多个方向上倾斜。例如,图4中用假想线绘示了此类倾斜。
图1绘示本公开内容的实施例的支撑装置101的透视图。如所示,支撑装置101可以包括一或更多个圆柱形杆111。所绘示的实施例的特征在于四个圆柱形杆111,然而另外的实施例也可以包括一个、两个、三个或多于四个的圆柱形杆111。此外,如所示,在一些实施例中,每个圆柱形杆111均可以彼此相同,然而也可以在另外的实施例中提供不同的圆柱形杆设计。
在一些实施例中,每个圆柱形杆111均可以从圆柱形杆111的第一端部115a向第二端部115b沿着旋转轴113延伸。如所示,旋转轴113可以包括延伸通过圆柱形杆111的对称中心的线性旋转轴。在一些实施例中,多个圆柱形杆111中的一或更多者的旋转轴113可以与所述多个圆柱形杆111中的一或更多个其他圆柱形杆111的旋转轴113平行。例如,参照图1,所述多个圆柱形杆111中的所有圆柱形杆111的旋转轴113都可以在方向坐标“y”上的水平方向上彼此平行地延伸。或者,在一些实施例中,可以将圆柱形杆111中的一或更多者的旋转轴113定位为相对于多个圆柱形杆111中的一或更多个其他圆柱形杆111的旋转轴113用锐角延伸。例如,参照图5中所示的支撑装置501的替代性实施例的俯视平面图,每个圆柱形杆111的每个旋转轴113均可以相对于其他圆柱形杆111中的每一者用锐角延伸,然而在另外的实施例中,一个圆柱形杆111的旋转轴113也可以与一或更多个其他圆柱形杆111的旋转轴113平行。图2和4的立面端视图可以代表图1中所示的支撑装置101和/或图5的支撑装置501。因此,如由图2和4所表示,在一些实施例中,圆柱形杆111的旋转轴113可以可选地沿着共同平面延伸,无论圆柱形杆111的旋转轴113是否彼此平行(如图1中所示)或相对于彼此成角度(如图5中所示)。
在一些实施例中,圆柱形杆111中的一者的旋转轴113并不与圆柱形杆111中的另一者的旋转轴113沿着共同平面延伸。例如,参照图4,用假想线示出的圆柱形杆111的旋转轴113和用实线示出的圆柱形杆111的旋转轴113相对于彼此用锐角延伸且不与圆柱形杆111的旋转轴113沿着共同平面延伸。
如图2中所示,圆柱形杆111中的一者或全部可以包括外周面201。如所示,外周面可以在圆柱形杆111的第一端部115a与第二端部115b之间跨圆柱形杆111的中心部分包括相同的直径203。如此,在一些实施例中,外周面201可以包括圆柱形表面,如图1-5中所示。尽管未示出,但外周面201也可以具有跨圆柱形杆的中心部分带有相同直径203的圆柱形表面以外的形状。例如,外周面可以包括匹配由支撑装置101所支撑的玻璃条带103的曲率的形状。在另外的实施例中,可以将外周面201设计为在玻璃条带103的运输期间促进玻璃条带103的对准。例如,在一些实施例中,圆柱形杆111的中心部分的中间部分可以具有减少的直径,所述直径在朝向第一端部115a和第二端部115b的每个方向上均增加。在此类实施例中,外周面201朝向第一端部115a和第二端部115b向外张开。此类实施例可以有助于顺应弓形玻璃条带103的形状。此外,玻璃条带103可以是柔性的,在该情况下,玻璃条带103可以暂时弯曲成弓形配置以帮助对准玻璃条带103,使得玻璃条带103将倾向在运输期间正确地对准而顺着圆柱形杆111的中心部分的中间行进。在另外的实施例中,圆柱形杆111的直径203可以连续地或甚至不连续地跨所述圆柱形杆的长度而改变。在另外的实施例中,与圆柱形杆111在其他地方所具有的直径相比,所述圆柱形杆可以在所述圆柱形杆接触受支撑的物体(例如,玻璃条带103)的区域中包括不同的直径。
在一些实施例中,圆柱形杆111可以由具有高熔点、低导热率、低热膨胀系数和中等静摩擦系数的材料制作。可以将圆柱形杆111设计为在受支撑的物体(例如,玻璃条带103)的温度(该温度可以视为支撑装置101的操作温度)下维持其机械性质。在一些实施例中,物体可以是刚才拉出的玻璃条带103。在此类实施例中,圆柱形杆111可以由具有大于1600℃的熔化温度的材料制作。若圆柱形杆111包括非晶材料,则操作温度可以小于该材料的玻璃转化温度。在一些实施例中,受支撑的物体(例如,玻璃条带103)的温度可以是在从-50℃到约1200℃或从约500℃到约1200℃的范围内。
并且,圆柱形杆111可以由具有低导热率的材料制作。在此类实施例中,圆柱形杆111可以不充当有效的散热器和/或可以不明显影响可能在受支撑的物体(例如,玻璃条带103)上执行的任何加热或冷却操作。在一些实施例中,可以快速冷却物体,而在其他的实施例中,可以将物体保持在给定的温度范围中以将其退火。对于此类实施例而言,材料可以包括约30W m-1K-1或更小、从约0.01W m-1K-1到约50W m-1K-1或从约0.25W m-1K-1到约30W m-1K-1的导热率。在其他的实施例中,可以容许较高的导热率。
此外,圆柱形杆111可以由具有低热膨胀系数的材料制作。尽管非必要,但低的热膨胀系数可以允许圆柱形杆111的相对一致的尺度稳定性,即使在圆柱形杆111跨其长度经历热不均匀时也是如此。例如,在一些实施例中,可能在受支撑的物体上施加特定的热分布以获得目标的内部张应力或压缩应力分布。进一步地,圆柱形杆111在此类条件下可以不变形或翘曲。对于低热膨胀系数是合乎需要的实施例而言,材料可以包括约10x10-6 K-1或更小、从约0.15x10-6 K-1到约30x10-6 K-1或从约3x10-6 K-1到约20x10-6 K-1的热膨胀系数。
在一些实施例中,对于所支撑的物体(例如,玻璃条带103)平移的实施例而言,圆柱形杆111可以由具有中等静摩擦系数的材料制作。圆柱形杆111可以在物体相对于支撑面119平移的同时围绕旋转轴113而旋转而不会抵抗物体的移动,只要在物体的行进方向109上传送到圆柱形杆111的力小于传送到圆柱形杆111的由物体的重量所产生的法向力以及物体与圆柱形杆111之间的静摩擦系数的乘积。在一些实施例中,圆柱形杆111可以包括空心管以将较小的质量和对应地较小的惯性矩提供给圆柱形杆111,以最小化在与物体接合之后对圆柱形杆111的旋转的阻力。如此,可以避免物体(例如,玻璃条带103)相对于圆柱形杆111的外周面201滑动,从而避免圆柱形杆111磨损和/或玻璃条带103的第一主要面105a损伤。在一些实施例中,可以不将过低的静摩擦系数提供给圆柱形杆111以防止圆柱形杆111的外周面201相对于所支撑的物体表面滑动。在一些实施例中,圆柱形杆111的材料可以包括从约0.3到约1.0、从约0.2到约1.5或从约0.35到约0.75的范围内的静摩擦系数。
在一些实施例中,圆柱形杆111可以包括氧化铝。在其他的实施例中,圆柱形杆111可以包括熔融石英。在又其他的实施例中,圆柱形杆111可以包括莫来石,莫来石是一种包括氧化铝与二氧化硅的组合的矿物。在又其他的实施例中,圆柱形杆111可以包括碳化硅(SiC)。在一些实施例中,圆柱形杆111可以包括石墨。在另外的实施例中,圆柱形杆111可以包括选自氧化铝、熔融石英、莫来石和碳化硅的组的材料中的二或更多者的组合。
如图1-5中进一步示出,支撑装置101、501的实施例可以将每个圆柱形杆111提供为具有圆柱形杆111的第一端部115a处的第一凸球形节段117a和圆柱形杆111的第二端部115b处的第二凸球形节段117b。在整篇公开内容内,凸球形节段可以包括以下性质:用凸球形节段的外凸面为界的部分中的任两个点可以由不与凸球形节段的外表面交叉的一条线所连接。例如,凸球形节段117a、117b用凸球形节段117a、117b的外凸面319(参照图3)为界。如图3中进一步示出,凸球形节段117a、117b可以是实质实心的,然而在另外的实施例中也可以提供空心的凸球形节段。
在一些实施例中,可以将第一凸球形节段117a和/或第二凸球形节段117b附接到对应的第一端部115a和第二端部115b。例如,如图3中所示,第一端部115a和第二端部115b可以各自装设有外螺纹部分301,所述外螺纹部分可以螺纹地接收在第一凸球形节段117a和第二凸球形节段117b的内螺纹孔腔303内。在一些实施例中,螺纹连接可以容许从圆柱形杆111的对应的第一端部115a和第二端部115b移除第一凸球形节段117a和第二凸球形节段117b。在另外的实施例中,螺纹连接可以包括永久连接,例如其中螺纹连接相对于彼此压入配合。在另外的实施例中,可以使用黏着剂来促进连接。在另外的实施例中,可以不提供螺纹连接。例如,第一端部115a和第二端部115b可以在没有螺纹连接的情况下压入配合在凸球形节段117a、117b的孔腔内。在又另外的实施例中,凸球形节段117a、117b可以与圆柱形杆111一体成形。例如,可以机械加工(例如,在车床上转动)单块材料体以由相同的单块体形成圆柱形杆111和凸球形节段117a、117b。在额外的另外的实施例中,可以将第一凸球形节段117a和第二凸球形节段117b焊接到圆柱形杆111的对应端部115a、115b。
在一些实施例中,第一凸球形节段117a和第二凸球形节段117b可以是实心且具有孔腔(例如,内螺纹孔腔303),然而在另外的实施例中,第一凸球形节段和第二凸球形节段也可以包括空心主体。将球形节段提供为空心主体可以减少用来旋转使用中的圆柱形杆111的力,且因此避免了圆柱形杆111的外周面201与物体的受支撑表面(例如,玻璃条带103的第一主要面105a)之间的不想要的滑动。在一些实施例中,凸球形节段117a、117b可以包括与圆柱形杆111相同的组成。在其他的实施例中,凸球形节段117a、117b可以包括上文针对圆柱形杆111所论述的示例性材料中的一者或组合。在又其他的实施例中,凸球形节段117a、117b可以包括具有某一热膨胀系数的材料,所述热膨胀系数与圆柱形杆111的材料的热膨胀系数相差约10x10-6 K-1或更小、约5x10-6 K-1或更小,或约1x10-6 K-1或更小。
可以将第一凸球形节段117a和第二凸球形节段117b配置为减少对相关联的圆柱形杆111围绕旋转轴113的旋转运动的摩擦阻力。如此,可以减少圆柱形杆111的外周面201与物体的受支撑表面(例如,玻璃条带103的受支撑的第一主要面105a)之间的滑动以帮助保留玻璃条带103的原始的第一主要面105a,且在一些实施例中帮助减少对圆柱形杆111的损伤。在一些实施例中,如下文所论述的,第一凸球形节段117a和第二凸球形节段117b可以各自悬浮于流体垫325上以帮助在圆柱形杆111的旋转期间减少摩擦。
可以用各式各样的方式来实现第一凸球形节段117a和第二凸球形节段117b在流体垫325(例如,气体垫)上的悬浮。在一些实施例中,支撑装置101、501可以包括接收第一凸球形节段117a的一部分的第一区域和接收第二凸球形节段117b的一部分的第二区域。可以将接收第一凸球形节段117a和第二凸球形节段117b的第一区域和第二区域包括在支撑面119内(即,作为支撑面119的整体部分)。或者,如图1中所示,可以通过可以提供以供相对于支撑面119安装的第一基部121a和第二基部121b来提供第一区域和第二区域。以此种方式,可以将支撑装置101、501定制和安装在预先制造的支撑面119上。例如,如图1中所示,取决于特定的应用,每个第一凸球形节段117a和第二凸球形节段117b均可以被包括为具有对应的第一基部121a和第二基部121b,所述第一基部和所述第二基部可以各自安装到预定位置处的支撑面119。第一基部121a和第二基部121b可以经由附接构件123固定到支撑面119。在一些实施例中,附接构件123可以是按扣、卡环、螺钉、螺栓、带扣、钩环紧固件、闩锁、束线带、带环、销或栓钉。
在其他的实施例中,如图2中示意性地示出的,支撑装置也可以可选地装设有一或更多个接头125,所述一或更多个接头被配置为在圆柱形杆111的旋转轴113的方向124上相对于支撑面119可调整地安装包括对应区域305的对应基部121a、121b。例如,如所示,可以用接头125相对于支撑面119安装第一基部121a以供沿着对应圆柱形杆111的旋转轴113的方向124相对于支撑面平移第一基部121a。附加性或替代性地,可以用接头125相对于支撑面119安装第二基部121b以供沿着对应圆柱形杆111的旋转轴113的方向124相对于支撑面119平移第二基部121b。在此类实施例中,至少一个基部121a、121b用接头125相对于支撑面119可调整地安装以沿着圆柱形杆111的旋转轴113的方向124平移可以允许调整第一基部121a与第二基部121b之间的距离,以补偿圆柱形杆111沿着旋转轴113的热膨胀或收缩以及支撑装置101的其他部分由使用期间的温度改变引起的热膨胀或收缩。在一些实施例中,接头125可以包括滑件接头、销槽接头或空气轴承。
如图3中所示,第一基部121a和第二基部121b可以各自包括对应的区域305,所述区域接收第一凸球形节段117a和第二凸球形节段117b中的每一者的对应部分311。如图3中所示,第一基部121a和第二基部121b中的每一者可以包括围束区域305的对应的唇部307。如图3中所示,第一凸球形节段117a和第二凸球形节段117b的凸起部分309可以凸起于对应的唇部307上方和区域305外部,而第一凸球形节段117a和第二凸球形节段117b中的每一者的对应部分311(例如,对应的下部)可以延伸于对应的唇部307下方和区域305内。在一些实施例中,第一凸球形节段117a和第二凸球形节段117b的外凸面319的延伸于对应的唇部下方的部分可以包括由两个向量之间的角度“A”所界定的弧,这两个向量包括外凸面319的中心点和球形凹入表面313的相交的相对外周点。由角度“A”所界定的弧围绕延伸通过外凸面319的中心点且通过球形凹入表面313的中心对称轴的轴的旋转可以界定外凸面319的延伸于唇部307下方的一部分。在一些实施例中,角度“A”可以是在从约10°到约180°的范围内,例如从约20°到约175°、从约45°到约170°或从约70°到约165°,然而也可以提供其他的角度。在一些实施例中,角度“A”可以是约180°或更小,以允许第一凸球形节段117a和第二凸球形节段117b垂直升出区域305。
在整篇公开内容内,若在具有圆柱形杆的支撑装置支撑物体同时凸球形节段被空气垫支撑的操作期间,可以将凸球形节段从基部121a、121b的区域305移除且远离基部121a、121b,则凸球形节段被认为是被基部自由支撑。在一些实施例中,因为在具有圆柱形杆的支撑装置支撑物体同时凸球形节段被空气垫支撑的操作期间,不存在防止凸球形节段垂直升出基部121a、121b的区域305且垂直地远离基部121a、121b的结构,所以凸球形节段可以被基部自由支撑。例如,如图2中所示,因为每个凸球形节段117a、117b均被对应的基部121a、121b自由支撑,可以通过单纯在与重力相对的方向上垂直升举圆柱形杆111来实现圆柱形杆111和对应的凸球形节段117a、117b的拆卸。因为不存在禁止凸球形节段117a、117b垂直升出区域305的结构,所以由于不可能存在在拆卸之前要断开或移除的部件,可以简化圆柱形杆111的拆卸。此外,因为凸球形节段117a、117b被配置为被对应的基部121a、121b自由支撑,所以因为可以通过单纯将附接到圆柱形杆111的凸球形节段117a、117b投放到对应基部121a、121b的区域305中来提供功能单元而不需要进一步组装来提供支撑装置依预期作用的能力,简化了圆柱形杆111相对于基部121a、121b的安装。
参照图3,所示的凸球形节段117a、117b由对应的基部121a、121b用约180°或更小的角度“A”所支撑,这意味着凸球形节段117a、117b可以垂直升出区域305。在其他的实施例中,可以提供蛤壳式附接顶部(例如,笼)以允许有效角度“A”为约180°或更大,同时防止从对应的区域305意外移除第一凸球形节段117a和第二凸球形节段117b。然而,一些实施例可以不捕集球形节段(例如,利用约180°或更小的有效角度“A”捕集)以简化支撑装置101、501的组装和拆卸以及促进用馈送到间隙323中的流体流329清洁和/或冷却第一凸球形节段117a和第二凸球形节段117b及相邻区域。此外,在一些实施例中,减少的角度“A”可以允许圆柱形杆111的直径203的余隙以及在图4中用实线示出的位置与在图4中用假想线示出的位置之间的倾斜,所述倾斜在一些实施例中可能被圆柱形杆111与基部的相关联唇部307之间的干扰所限制。此外,可以将角度“A”选定为大到足以防止凸球形节段117a、117b在操作期间意外跳出区域305。
如所示,第一基部121a和第二基部121b的凹陷表面313可以界定对应的区域305。如所示,第一基部121a和第二基部121b的区域305可以凹陷于唇部307下方达最大深度315。可以将区域305的最大深度315界定为唇部307与界定区域305的凹陷表面313的最低点之间的垂直距离。在一些实施例中,最大深度315可以是在从对应的第一凸球形节段117a和第二凸球形节段117b的外凸面319的半径317的约20%到约100%、约40%到约90%、约60%到约90%或约80%的范围内。与对应的第一基部121a和第二基部121b相关联的区域305的最大深度315可以彼此相同或不同,所述第一基部和所述第二基部与每个圆柱形杆111的凸球形节段相关联。
如所示,第一凸球形节段117a的外凸面319的半径317可以与第二凸球形节段117b的外凸面319的半径317相同。尽管未示出,但在一些实施例中,第一凸球形节段117a的外凸面319的半径317也可以与第二凸球形节段117b的外凸面319的半径317不同。例如,如所示,在一些实施例中,第一凸球形节段117a和对应的第一基部121a可以是第二凸球形节段117b和对应的第二基部121b的相同镜像。尽管未示出,但在一些实施例中,第一凸球形节段117a和对应的第一基部121a可以不是第二凸球形节段117b和对应的第二基部121b的相同镜像。例如,第一凸球形节段117a和对应的第一基部121a的尺寸可以与第二凸球形节段117b和对应的第二基部121b不同(例如,尺寸较大或较小),或所述第一凸球形节段和所述第一基部的其他特性可以与第二凸球形节段117b和/或对应的第二基部121b的特性不相同。
界定区域305的凹陷表面313可以包括范围广泛的形状和尺寸。例如,在一些实施例中,凹陷表面可以包括垂直圆柱形侧表面以及平坦或其他形状的底面。在其他的实施例中,凹陷表面可以包括向上圆锥形或截头圆锥形形状。在又其他的实施例中,凹陷表面可以包括向上的凹面形状,例如向上的椭圆形状。在另外的实施例中,如图3中所示,凹陷表面可以包括具有半径321的球形凹面节段的球形凹入表面313。在一些实施例中,如所示,球形凹面节段的球形凹入表面313的半径321可以大于对应的第一凸球形节段117a和第二凸球形节段117b的外凸面319的半径317,然而在另外的实施例中,半径321也可以等于半径317。
在半径321大于半径317的实施例中,半径的差异可以在球形凸面319与球形凹面节段的球形凹入表面313之间界定一致的间隙323。在流体流329循环时,一致的间隙323可以允许具有恒定厚度(例如,半径321与半径317之间的差异)的流体垫325产生且使第一凸球形节段117a和第二凸球形节段117b相对于第一基部121a和第二基部121b悬浮且防止其间的物理接触,以最小化摩擦且从而最小化对相关联的圆柱形杆111的旋转运动的阻力。在一些又另外的实施例中,外凸面319的半径317可以比球形凹面节段的球形凹入表面313的半径321小达约20%或更小、达约15%或更小、达约10%或更小、达约5%或更小、达约2%或更小、达约1%或更小。在另外的实施例中,外凸面319的半径317可以比球形凹面节段的球形凹入表面313的半径321小达从约1%到约20%、达从约1%到约15%、达从约1%到约10%或达约1%到约5%的范围内。
支撑装置101、501可以更包括与第一基部121a和第二基部121b中的每一者的区域305流体连通的流体端口327。在一些实施例中,如图3中所示,流体端口327可以由第一基部121a和第二基部121b的凹陷表面313的底部中的单个孔口组成。在其他的实施例中,流体端口可以包括凹陷表面313中的多个孔口。在另外的实施例中,所述多个孔口可以沿着凹陷表面313的横截面等距隔开。在其他另外的实施例中,所述多个孔口可以跨凹陷表面313的多个横截面分布。在这些另外的实施例中的任一者中,可以使用限流器、节流阀、阀门或继电器控制的致动器独立于其他孔口控制流动通过每个孔口或孔口子集的流体流329。在一些实施例中,流体端口327可以单纯包括开口。在其他的实施例中,流体端口327可以包括单向阀。在又其他的实施例中,如图3中所示,流体端口327可以包括袋部补偿孔口,其中限制部分,例如所绘示的插塞328具有插塞开口330。如所示,在一些实施例中,插塞开口330包括沿着与流动方向垂直的平面的横截面积,所述横截面积小于导管333的沿着与限制部分的上游和下游的位置处的流动截面积垂直的平面的横截面积。实际上,在一些实施例中,如图3中所示,具有插塞开口330的插塞328可以压入配合于导管333内且凹陷于导管333内到流体端口327上游的位置。在此类实施例中,因为导管的袋部332的在限制部分(例如,插塞328)后方的容积可以足以抑制由间隙323的改变或对应的圆柱形杆111的装载所造成的流体流329的波动,所以可以避免气锤不稳定性。如上所述,流体端口327可以包括通过相应的凹陷表面313的一或更多个开口以将流体流329馈送到间隙323中,以产生流体垫325且维持所述流体垫使第一凸球形节段117a和第二凸球形节段117b相对于对应的基部121a、121b悬浮。在一些实施例中,可以将流体供应器(例如所绘示的加压软管331)耦接到每个对应的基部121a、121b的导管333,以将流体流329递送到流体端口327且此后递送到区域305。
在一些实施例中,流体流329可以包括气体,例如空气、氮气、氦气、氩气、二氧化碳,或上述气体的混合物。在此类实施例中,可以将支撑装置101的示于图3中的部分称为空气轴承,且可以将间隙323内的流体垫325称为空气垫,即使在流体流329包括空气以外的气体时也是如此。在此类实施例中,流体可以是可容易压缩的。如此,因为来自流体供应器的压缩气体将在其穿过流体端口327和间隙323时与气体的压力改变成比例地扩张(如由波义耳定律和理想气体定律所预测的),所以流体流329可以自然地冷却与间隙323相关联的结构。在其他的实施例中,流体流329可以包括蒸气(例如,水蒸气)或超临界流体(例如,超临界二氧化碳)。在又其他的实施例中,流体流329可以包括液体,例如水。在一些实施例中,流体供应器可以包括泵、罐、筒、锅炉、压缩机和/或压力容器。
除了馈送和维持流体垫325以外,循环通过间隙323的流体流329还可以提供几种技术益处中的至少一者。例如,流体流329的循环可以对流地冷却界定间隙323的表面319、313。并且,流体流329的循环可以执行自清洁功能,所述自清洁功能移除和/或防止来自外凸面319和在间隙323附近的不需要的碎杂物或其他颗粒的累积。在流体流329可压缩的实施例中,如上文所论述地,可压缩流体流在扩张之后可以冷却界定间隙323的表面319、313或提供对这些表面的温度控制。此外,可压缩流体流可以帮助将受支撑的物体(例如,玻璃条带103)与环境振动隔离。在流体流329具有低黏度的实施例中,在由流体垫325所支撑的凸球形节段117a、117b旋转之后,可以存在低的摩擦和低的热产生。例如,气体流可以包括约2x10-5Pa s或更小的动态黏度,而水具有约0.001Pa s的动态黏度。在此类实施例中,低的黏度可以为约10-3Pa s或更小、约10-4Pa s或更小,或约2x10-5Pa s或更小。对悬浮在流体垫325上的凸球形节段117a的旋转的低摩擦力可以减少对受支撑的物体(例如,玻璃条带103)的移动的阻力,这将帮助减少物体(例如,玻璃条带103)的表面(例如,第一主要面105a)与圆柱形杆111的外周面201之间的滑动摩擦的发生。
现将描述组装支撑装置101、501的方法的实施例。如图1中所示,在一个实施例中,可以将第一基部121a和第二基部121b相对于支撑面119紧固。例如,在一些实施例中,所有第一基部121a都可以沿着线性路径相对于彼此对准且接着用附接构件123(例如,自攻螺钉或其他紧固件)附接到支撑面119。接下来,可以将第一凸球形节段117a安插到每个对应的第一基部121a的区域305中。接下来,可以将第二基部定位为彼此对准且其中对应的第二凸球形节段117b定位在每个对应的第二基部121b的区域305内。如此,由于与对应的基部121a、121b对的圆柱形杆111相关联的第一凸球形节段117a和第二凸球形节段117b已经正确地安置在对应的区域305内,所以可以实现对应的基部121a、121b对之间的正确距离。一旦基部121a、121b与正确安置在对应的区域305内的第一凸球形节段117a和第二凸球形节段117b隔开,就可以用附接构件123将第二基部121b紧固到支撑面119。
此外,凸球形节段117a、117b的几何形状可以容忍一或更多个旋转轴113相对于另一个旋转轴113错准而不会显著影响支撑装置101、501的性能。例如,尽管在一些实施例中可以实现每个圆柱形杆111的旋转轴113的平行对准,但在安装期间,由于安装误差或由于支撑面119的特性,错准仍然可能发生。如此,一或更多个圆柱形杆111的旋转轴113之间的不平行布置可能最终如图4-5中所示地发生。然而,即使在错准的情况下,仍然可以沿着行进方向109进行运输。例如,微小错准可以并不显著影响刚性物体(例如,刚性玻璃条带103)。此外,即使显著的错准也可以允许运输柔性物体(例如,柔性玻璃条带103),因为柔性条带会仅沿着由圆柱形杆111所界定的任何非平面运输路径挠曲。实际上,在流体流329产生支撑圆柱形杆的第一凸球形节段117a和第二凸球形节段117b的空气垫时,在唇部307低于圆柱形杆111时,圆柱形杆111在图4中的页面外的方向上(即,在x-y平面上)的旋转并不被接收部分阻碍。此外,只要由连接凸球形节段117a、117b的中心处的第一点和唇部307上距离第一点最远的第二点的线所形成的角度大于圆柱形杆111的凸球形端部之间的垂直错准,对于在“z”方向上的微小或甚至中等的错准而言,圆柱形杆的旋转并不被接收部分或唇部307阻碍。因此,凸球形节段117a、117b可以简化和减少安装支撑装置101、501的费用、可以允许将支撑装置101、501安装在不规则的支撑面119上、且可以帮助在物体(例如,玻璃条带103)的运输期间减少对圆柱形杆111的旋转的摩擦阻力。
在一些实施例中,可以围绕第一凸球形节段117a和/或第二凸球形节段117b的第一枢转轴可枢转地调整圆柱形杆111,所述第一枢转轴可以与圆柱形杆111的第一旋转轴113垂直。在另外的实施例中,第一枢转轴可以是在“z”方向上,如由图1-2和4-5中的参考标号118a、118b所指示。在一些实施例中,圆柱形杆111可以围绕对应的凸球形节段117a、117b的第一枢转轴(例如,118a、118b)枢转达约10°到约30°的调整角度(且在一些实施例中达约10°到约360°的调整角度)。在又另外的实施例中,可以围绕第一凸球形节段117a和/或第二凸球形节段117b的第二枢转轴可枢转地调整圆柱形杆111,所述第二枢转轴可以与圆柱形杆111的第一旋转轴113和第一枢转轴(例如,118a、118b)垂直。在此类实施例中,第一枢转轴可以是在“x”方向上,如由图1-2和4-5中的参考标号120a、120b所指示。在一些实施例中,在圆柱形杆111与基部121a、121b之间的接合防止进一步的枢转之前,圆柱形杆111可以围绕第二枢转轴(例如,120a、120b)枢转达约10°到约30°的调整角度。例如,如图4中所示,在圆柱形杆111与基部121b的唇部307之间的交互作用由于其间的接触而防止进一步枢转之前,圆柱形杆111可以围绕第一凸球形节段117a的第二枢转轴(例如,120a)枢转达约10°到约30°的调整角度,如图4中用虚线示出的。
在其他的实施例中,第一枢转轴可以是在“x”方向上,如由图1-2和4-5中的参考标号120a所指示。在一些实施例中,第一圆柱形杆111可以围绕第一凸球形节段117a和/或第二凸球形节段117b的第一枢转轴(例如,120a、120b)枢转达约10°到约30°的调整角度。在一些实施例中,在圆柱形杆111与基部121a、121b之间的接合防止进一步的枢转之前,圆柱形杆111可以围绕第一枢转轴(例如,120a、120b)枢转达约10°到约30°的调整角度。例如,再次如图4中所示,在圆柱形杆111与基部121b的唇部307之间的交互作用由于其间的接触而防止进一步枢转之前,圆柱形杆111可以围绕第一凸球形节段117a的第一枢转轴(例如,120a)枢转达约10°到约30°的调整角度,如图4中用虚线示出的。
一些实施例涉及用上文所论述的支撑装置101、501支撑物体(例如,玻璃条带103)的方法。在一些实施例中,可以将流体流329从加压软管331传递通过导管333和通过流体端口327到每个对应的基部121a、121b的区域305中,以使第一凸球形节段117a和第二凸球形节段117b悬浮于相应的流体垫325上。在一些实施例中,流体流329可以包括空气流,其中流体垫325包括空气垫。在此类实施例中,可以通过将物体的第一主要面105a与圆柱形杆111的外周面201接合,使得圆柱形杆111支撑物体的重量(例如,玻璃条带103的重量),来通过此类支撑装置101、501支撑物体(例如,玻璃条带103)。在另外的实施例中,在物体(例如,玻璃条带103)沿着行进方向109平移时且在第一凸球形节段117a和第二凸球形节段117b各自悬浮在相应的流体垫325上的同时,圆柱形杆111可以与相关联的第一凸球形节段117a和第二凸球形节段117b一起旋转。在另外的实施例中,在第一圆柱形杆111支撑物体(例如,玻璃条带103)且第一凸球形节段117a和第二凸球形节段117b各自悬浮在相应的流体垫上的同时,第一凸球形节段117a和第二凸球形节段117b可以由对应的基部121a、121b的区域305自由支撑。在其他的流体实施例中,第一基部121a可以相对于支撑面119在第一圆柱形杆111的第一旋转轴113的方向上平移(例如,通过使用接头125平移),以在第一圆柱形杆111支撑物体(例如,玻璃条带103)的同时调整第一基部121a与第二基部121b之间的距离,以补偿第一圆柱形杆111的热膨胀或收缩。
可以由本公开内容的支撑装置101、501支撑各种物体。在一些实施例中,如上文所论述,物体可以包括玻璃条带103,例如玻璃片。玻璃片例如常用于各种显示应用中,例如液晶显示器(LCD)、电泳动显示器(EPD)、有机发光二极管显示器(OLED)、等离子体显示面板(PDP)等等。玻璃片通常是通过将熔融玻璃流动到形成主体来制造的,通过所述形成主体,可以通过各种条带形成工艺来形成玻璃条带103,例如槽拉法、浮制法、下拉法、熔融下拉法、轧制法、管拉法或上拉法。可以将玻璃条带103的边缘部分与玻璃条带103的中心部分分离和/或可以将玻璃条带103周期性地分离成个别的玻璃片。可以在分离玻璃条带103的中心部分之前、在从玻璃条带103分离玻璃片之前或在从玻璃条带103分离玻璃片之后用支撑装置101、501支撑玻璃条带103。
在一些实施例中,在分离之前和/或分离成包括玻璃片的玻璃条带103的一部分之后,支撑装置101、501可以在玻璃条带103形成之后立即支撑所述玻璃条带。支撑装置101、501可以在玻璃条带103冷却到足以保持其形状之前支撑所述玻璃条带以避免将过量的张力或松弛引入到玻璃条带中。一般而言,玻璃将在其达到应变点之前充分地冷却,通常将应变点界定为玻璃条带103的黏度超过1014.5泊的温度。利用支撑装置101、501的支撑提供了圆柱形杆111的外周面201之间的直接物理接触,且因此不需要空气垫直接冲击玻璃条带103。因此,在一些实施例中,由圆柱形杆111所提供的直接接触可以避免使用空气垫来直接接触玻璃条带103,使用空气垫来直接接触玻璃条带可能太快地不合需要地冷却玻璃条带103。此外,由于由第一凸球形节段117a和第二凸球形节段117b在相应的流体垫325上的悬浮所提供的对旋转的减少的摩擦阻力,可以维持玻璃条带103的主要面105a、105b的原始表面的维持,尽管这些主要面被圆柱形杆111的外周面201物理接触。
可以将支撑物体的方法用于各种应用。在一些应用中,受支撑的物体可以是玻璃条带、切割玻璃片、硅晶片、塑料膜或其他材料的片材。在另外的应用中,可以连续地或间歇地移动受支撑的物体以运输物体。
如本文中所使用的,用语“所述”或“一”意味着“至少一个”,且不应限于“只有一个”,除非明确地相反指示。例如,因此对于“一部件”的指称包括了具有二或更多个此类部件的实施例,除非上下文另有清楚指示。
如本文中所使用的,用语“约”意味着,数量、尺寸、配方、参数和其他量及特性是不准确或不需要是准确的,而是依需要可以是近似和/或较大或较小的反射容差、转换因素、舍入、测量误差等等,以及本领域中的技术人员所已知的其他因素。在将用语“约”用于描述值或范围的端点时,应将本公开内容理解为包括所指称的特定值或端点。无论本说明书中的数值或范围端点是否记载“约”,数值或范围端点都是要包括两种实施例:一种被“约”修饰,而一种不被“约”修饰。将进一步了解,范围中的每一者的端点与另一个端点相比是有意义的(significant)且是与另一个端点无关地有意义的。
如本文中所使用的,应将用语“包含”和“包括”及其变型解释为是同义的和开放式的,除非另有指示。
如本文中所使用的用语“实质”、“实质上”及其变型旨在叙述,所述特征等于或几乎等于一个值或描述。例如,“实质平坦”的表面旨在指示平坦或几乎平坦的表面。此外,如上文所界定的,“实质类似”要用来指示两个值是相等或几乎相等的。在一些实施例中,“实质类似”可以指示在彼此约10%内的值,例如在彼此约5%内的值,或在彼此约2%内的值。
以上的实施例和那些实施例的特征是示例性的,且可以在不脱离本公开内容的范围的情况下被单独提供或与本文中所提供的其他实施例的任何一个或更多个特征用任何组合提供。
本领域中的技术人员将理解到,可以在不脱离本公开内容的精神和范围的情况下对本公开内容作出各种更改和变化。因此,本公开内容旨在涵盖此公开内容的变体和变型,条件是这些变体和变型落在所附权利要求书及其等效物的范围之内。
Claims (25)
1.一种支撑装置,包括:
第一圆柱形杆,包括第一端部和第二端部,其中所述第一圆柱形杆从所述第一圆柱形杆的所述第一端部向所述第二端部沿着第一旋转轴延伸,且其中所述第一端部装设有第一凸球形节段,且所述第二端部装设有第二凸球形节段;
第一区域,被配置为在所述第一圆柱形杆可以围绕所述第一凸球形节段的第一枢转轴枢转的情况下接收所述第一凸球形节段的一部分,所述第一枢转轴与所述圆柱形杆的所述第一旋转轴垂直;
第一流体端口,与所述第一区域流体连通;
第二区域,被配置为在所述第一圆柱形杆可以围绕所述第二凸球形节段的第一枢转轴枢转的情况下接收所述第二凸球形节段的一部分,所述第一枢转轴与所述圆柱形杆的所述第一旋转轴垂直且与所述第一凸球形节段的所述第一枢转轴平行;和
第二流体端口,与所述第二区域流体连通。
2.如权利要求1所述的支撑装置,其中所述第一区域被配置为在所述第一圆柱形杆可以围绕所述第一凸球形节段的第二枢转轴枢转的情况下接收所述第一凸球形节段的所述部分,所述第一凸球形节段的所述第二枢转轴与所述圆柱形杆的所述第一旋转轴垂直且与所述第一凸球形节段的所述第一枢转轴垂直,且所述第二区域被配置为在所述第一圆柱形杆可以围绕所述第二凸球形节段的第二枢转轴枢转的情况下接收所述第二凸球形节段的所述部分,所述第二凸球形节段的所述第二枢转轴与所述第一凸球形节段的所述第二枢转轴平行且与所述圆柱形杆的所述第一旋转轴垂直且与所述第二凸球形节段的所述第一枢转轴垂直。
3.如权利要求2所述的支撑装置,其中所述第一区域被配置为在所述第一圆柱形杆可以围绕所述第一凸球形节段的所述第二枢转轴枢转达从10°到30°的情况下接收所述第一凸球形节段的所述部分,且所述第二区域被配置为在所述第一圆柱形杆可以围绕所述第二凸球形节段的所述第二枢转轴枢转达从10°到30°的情况下接收所述第二凸球形节段的所述部分。
4.如权利要求1所述的支撑装置,其中所述第一凸球形节段被配置为由所述第一区域自由支撑,且所述第二凸球形节段被配置为由所述第二区域自由支撑。
5.如权利要求1所述的支撑装置,其中所述第一区域被配置为在所述第一圆柱形杆可以围绕所述第一凸球形节段的所述第一枢转轴枢转达从10°到30°的情况下接收所述第一凸球形节段的所述部分,且所述第二区域被配置为在所述第一圆柱形杆可以围绕所述第二凸球形节段的所述第一枢转轴枢转达从10°到30°的情况下接收所述第二凸球形节段的所述部分。
6.如权利要求5所述的支撑装置,其中所述第一区域被配置为在所述第一圆柱形杆可以围绕所述第一凸球形节段的所述第一枢转轴枢转达360°的情况下接收所述第一凸球形节段的所述部分,且所述第二区域被配置为在所述第一圆柱形杆可以围绕所述第二凸球形节段的所述第一枢转轴枢转达360°的情况下接收所述第二凸球形节段的所述部分。
7.如权利要求1所述的支撑装置,更包括接头,所述接头被配置为在所述第一圆柱形杆的所述第一旋转轴的方向上相对于支撑面可调整地安装所述第一区域。
8.如权利要求1所述的支撑装置,其中第一唇部围束所述第一区域,且第二唇部围束所述第二区域。
9.如权利要求8所述的支撑装置,其中所述第一区域用从所述第一凸球形节段的第一半径的20%到80%的最大深度凹陷于所述第一唇部下方,且所述第二区域用从所述第二凸球形节段的第二半径的20%到80%的最大深度凹陷于所述第二唇部下方。
10.如权利要求1所述的支撑装置,其中所述第一圆柱形杆包括选自由以下项目所组成的组的材料中的一者或组合:氧化铝、熔融石英、莫来石、碳化硅和石墨。
11.如权利要求1的支撑装置,其中所述第一区域由第一凹面节段所界定。
12.如权利要求11所述的支撑装置,其中所述第一凹面节段包括第一凹球形节段。
13.如权利要求1所述的支撑装置,其中所述第二区域由第二凹面节段所界定。
14.如权利要求13所述的支撑装置,其中所述第二凹面节段包括第二凹球形节段。
15.如权利要求1所述的支撑装置,更包括第二圆柱形杆。
16.如权利要求15所述的支撑装置,其中所述第一圆柱形杆的所述第一旋转轴与所述第二圆柱形杆的第二旋转轴平行。
17.如权利要求15所述的支撑装置,其中所述第一圆柱形杆的第一旋转轴相对于所述第二圆柱形杆的第二旋转轴用锐角延伸。
18.如权利要求17所述的支撑装置,其中所述第一旋转轴和所述第二旋转轴不沿着共同平面延伸。
19.如权利要求16所述的支撑装置,其中所述第一旋转轴和所述第二旋转轴沿着共同平面延伸。
20.一种用如权利要求1所述的支撑装置支撑物体的方法,所述方法包括:
将第一流体流传递通过所述第一流体端口,以形成使所述第一凸球形节段悬浮的第一流体垫;
将第二流体流传递通过所述第二流体端口,以形成使所述第二凸球形节段悬浮的第二流体垫;和
用所述第一圆柱形杆的外表面接合所述物体的表面,其中在所述第一圆柱形杆被所述第一流体垫和所述第二流体垫支撑的同时,所述第一圆柱形杆支撑所述物体的重量。
21.如权利要求20所述的支撑物体的方法,更包括:使所述物体沿着行进方向平移,其中在所述第一圆柱形杆被所述第一流体垫和所述第二流体垫支撑的同时,所述物体驱动所述第一圆柱形杆围绕所述第一旋转轴而旋转。
22.如权利要求20所述的支撑物体的方法,其中所述物体包括玻璃条带。
23.如权利要求20所述的支撑物体的方法,其中所述物体包括从500℃到1200℃的范围内的温度。
24.如权利要求20所述的支撑物体的方法,其中在支撑所述物体的同时,所述第一凸球形节段由所述第一区域自由支撑,且所述第二凸球形节段由所述第二区域自由支撑。
25.如权利要求20所述的支撑物体的方法,更包括:在支撑所述物体的同时,调整所述第一区域与所述第二区域之间的距离。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201862724174P | 2018-08-29 | 2018-08-29 | |
US62/724,174 | 2018-08-29 | ||
PCT/US2019/047835 WO2020046729A1 (en) | 2018-08-29 | 2019-08-23 | Apparatus and methods for supporting an object |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN112739633A CN112739633A (zh) | 2021-04-30 |
CN112739633B true CN112739633B (zh) | 2023-04-11 |
Family
ID=69644687
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201980061648.0A Active CN112739633B (zh) | 2018-08-29 | 2019-08-23 | 用于支撑物体的装置及方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11565883B2 (zh) |
JP (1) | JP2021536408A (zh) |
KR (1) | KR20210038981A (zh) |
CN (1) | CN112739633B (zh) |
TW (1) | TWI820191B (zh) |
WO (1) | WO2020046729A1 (zh) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114194267B (zh) * | 2021-12-20 | 2022-09-20 | 九江赛璐珞实业有限公司 | 一种赛璐珞板材加工工序用工件放置架 |
Family Cites Families (38)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3195963A (en) * | 1962-12-26 | 1965-07-20 | Anderson Thure | Stepped gas bearing |
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-
2019
- 2019-08-23 CN CN201980061648.0A patent/CN112739633B/zh active Active
- 2019-08-23 JP JP2021510752A patent/JP2021536408A/ja active Pending
- 2019-08-23 WO PCT/US2019/047835 patent/WO2020046729A1/en active Application Filing
- 2019-08-23 KR KR1020217008494A patent/KR20210038981A/ko unknown
- 2019-08-23 US US17/271,389 patent/US11565883B2/en active Active
- 2019-08-26 TW TW108130377A patent/TWI820191B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2020046729A1 (en) | 2020-03-05 |
TW202021033A (zh) | 2020-06-01 |
TWI820191B (zh) | 2023-11-01 |
US11565883B2 (en) | 2023-01-31 |
US20210339959A1 (en) | 2021-11-04 |
CN112739633A (zh) | 2021-04-30 |
KR20210038981A (ko) | 2021-04-08 |
JP2021536408A (ja) | 2021-12-27 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |