TWI819378B - 用於形成具有高熱穩定性的固化層之光可固化組成物 - Google Patents

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Abstract

一種光可固化組成物能包含可聚合材料和光起始劑，其中該可聚合材料能包含以該光可固化組成物之總重量計15wt%至85wt%之量的至少一種多官能乙烯苯和15wt%至85wt%之量的至少一種多官能丙烯酸酯單體。該光可固化組成物之光固化層能具有達400℃之高熱穩定性及至少135℃之玻璃轉換溫度。

Description

用於形成具有高熱穩定性的固化層之光可固化組成物
本揭示內容係關於一種光可固化組成物，尤其是關於一種用於噴墨適應平面化之包括二乙烯苯和至少一種多官能丙烯酸酯單體的光可固化組成物，其中從該光可固化組成物所製成之光固化層具有達400℃之高熱穩定性。
噴墨適應平面化(IAP)是一種藉由以下方式使基材(例如含電子電路之晶圓)之表面平面化的方法：將可固化組成物之液滴噴射在該基材表面上，且使平的上片與所添加之液體直接接觸以形成平的液體層。該平的液體層一般在暴露UV光下固化，且在移除該上片之後，獲得平面的表面，其能進行後續的加工步驟，例如燒烤、蝕刻、及/或進一步的沉積步驟。有需要改良的IAP材料以產生具有高熱穩定性之平面固化層。
在一具體例中，光可固化組成物能包含可聚合材料和光起始劑，其中該可聚合材料能包含以該光可固化組成物之總重量計15wt%至85wt%之量的至少一種多官能乙烯苯和15wt%至85wt%之量的至少一種多官能丙烯酸酯單體；且其中該光可固化組成物之光固化層能具有在以20℃/分鐘之速率從25℃加熱至350℃的期間，不大於10%之第一重量損失，以及在氮氣下以20℃/分鐘之速率從350℃進一步加熱至400℃的期間，不大於2.0%之第二重量損失。
在一態樣中，該光固化層之第一重量損失不可以大於5%。在另一態樣中，該光固化層之第二重量損失能為不大於1.5%。
在另一態樣中，在固化該光可固化組成物之後該光固化層之玻璃轉換溫度能為至少135℃。在某一特定態樣中，該玻璃轉換溫度能為至少160℃。
在該光可固化組成物之另一態樣中，該多官能丙烯酸酯單體能為三官能丙烯酸酯單體、四官能丙烯酸酯單體、或彼等之組合，且該多官能乙烯苯能為二乙烯苯(DVB)或1,3-二異丙烯苯(DPB)、或DVB和DPB之組合。
在一態樣中，以該光可固化組成物之總重量計DVB及/或DPB之量能在20wt%至50wt%之間，且該多官能丙烯酸酯單體之量能在35wt%至65wt%之間。
在該光可固化組成物之另一態樣中，以該光可固化組成物之總重量計該多官能丙烯酸酯單體之量能為至少60wt%，且該DVB及/或DPB之量可為不大於35wt%。
在該光可固化組成物之另一態樣中，以該光可固化組成物之總重量計該DVB及/或DPB之量能為至少70wt%。
在該光可固化組成物之一態樣中，DVB及/或DPB對該多官能丙烯酸酯單體的重量%之比率範圍能在1：7至7：1。
在另一態樣中，該光可固化組成物之黏度在50℃之溫度下能為不高於30mPa∙s。
在該光可固化組成物之另外的態樣中，以該光可固化組成物之總重量計該可聚合材料之量能為至少90wt%。
在一具體例中，一種層合體能包含基材和覆蓋該基材之光固化層，其中該光固化層能由上述光可固化組成物所形成。
在該層合體之一態樣中，該光固化層從350℃至400℃之第二重量損失能為不大於1.5%。
在該層合體之另外的態樣中，該光固化層能包含至少135℃之玻璃轉換溫度。
在另一具體例中，一種在基材上形成光固化層之方法能包含：施加一層光可固化組成物在該基材上，其中該光可固化組成物可包含可聚合材料和光起始劑，其中該可聚合材料能包含以該光可固化組成物之總重量計15wt%至85wt%之量的至少一種多官能乙烯苯和15wt%至85wt%之量的至少一種多官能丙烯酸酯單體；使該光可固化組成物與上片(superstrate)接觸；將該光可固化組成物照光以形成光固化層；且從該光固化層移除該上片，其中該光固化層包含在以20℃/分鐘之速率從25℃加熱至350℃之期間不大於10%之第一重量損失，以及在氮氣下以20℃/分鐘之速率從350℃進一步加熱至400℃期間，不大於2.0%之第二重量損失。
在該方法之一態樣中，該光可固化組成物之黏度在50℃之溫度下能為不大於30mPa∙s。
在該方法之另一態樣中，該光固化層之玻璃轉換溫度能為至少135℃。
在另外的具體例中，一種製造物件之方法能包含：施加一層光可固化組成物在基材上，其中該光可固化組成物能包含可聚合材料和光起始劑，該可聚合材料能包含以該光可固化組成物之總重量計15wt%至85wt%之量的至少一種多官能乙烯苯和15wt%至85wt%之量的至少一種多官能丙烯酸酯單體；使該光可固化組成物與上片接觸；將該光可固化組成物照光以形成光固化層；從該光固化層移除該上片；將圖案形成在該基材上；將該圖案已經在該形成時被形成於其上的基材加工；且從在該加工時所加工之該基材製造物件，其中該光固化層能包含在以20℃/分鐘之速率從25℃加熱至350℃之期間不大於10%之第一重量損失，以及在以20℃/分鐘之速率，在氮氣下，從350℃進一步加熱至400℃期間，不大於2%之第二重量損失。
[詳細說明]
提供以下說明以幫助了解在此所揭示之教示且將聚焦於該教示之特定實施和具體例。提供此種焦點以幫助說明該教示且不應被解釋為對該教示之範圍或適用性的限制。
除非另外定義，否則在此所用之所有技術和科學術語的意義係同於與本發明相關之一般技術人員普遍瞭解者。該等材料、方法、及實例僅供說明且無意做為限制。在此未描述之程度上，關於特定材料和加工作為的很多細節是平常的且可在教科書和在壓印和光刻技術內之其他來源中發現。
在此所用的，「包含」、「包括」、「具有」等詞、或其任何其他的變化詞意欲涵蓋非排他性的包括。例如，包含一系列特徵之程序、方法、物件、或設備無須僅限於那些特徵，而是可包括未清楚列述或對此等程序、方法、物件、或設備所固有的其他特徵。
在此所用的，且除非清楚地相反陳述，「或」是指包括性的或而非排他性的或。例如，條件A或B係藉由下列中任一者所滿足：A為真(或存在)且B為非(或不存在)，A為非(或不存在)且B為真(或存在)，以及A和B皆為真(或存在)。
並且，『一』之使用被利用以描述在此所述之元素或成分。此使用係僅供方便且為要對本發明之範圍給予一般觀念。除非明顯地另有所指，此說明應被解讀成包括一或至少一且該單數型也包括多數型。
本揭示內容係關於一種包含可聚合材料和光起始劑之光可固化組成物，其中該可聚合材料能包含至少一種多官能乙烯苯(MFV)和至少一種多官能丙烯酸酯(MFA)單體。在一態樣中，以該光可固化組成物之總重量計MFV之量能在15wt%至85wt%之間且MFA之量能在15wt%至85wt%之間。
令人訝異地觀察到：從本揭示內容之光可固化組成物製成之光固化層能具有高熱穩定性。在一態樣中，在氮氣下以20℃/分鐘之速率將該光固化層從25℃加熱至350℃的期間之重量損失(在此也稱為「第一重量損失」)能不大於10%，且以20℃/分鐘之速率從350℃進一步加熱至400℃的期間之重量損失(在此也稱為「第二重量損失」)可以不大於2.0%。
在此使用的，若未特別地另外註明，所有為要測量該第一重量損失和該第二重量損失的加熱是在氮氣環境下進行。
在某一態樣中，在該加熱期間的第一重量損失可以不大於8%，或不大於5%，或不大於3%。
在另外之某一態樣中，在該加熱期間的第二重量損失能不大於1.8%，或不大於1.5%，或不大於1.3%，或不大於1.0%。
該光可固化組成物能進一步具有該驚人的優點，就是該對應之光固化材料可具有高的玻璃轉換溫度(T g)。在一態樣中，在固化該光可固化組成物後之該光固化層之玻璃轉換溫度能為至少135℃。在其他特別態樣中，該T g能為至少140℃，或至少150℃，或至少160℃，或至少165℃，或至少170℃，或至少175℃，或至少180℃。
在此使用的，多官能丙烯酸酯單體(MFA)一詞係關於包括二或更多個丙烯酸酯單元之任何單體結構，其中該丙烯酸酯單元也能為一種經取代之丙烯酸酯單元，例如甲基丙烯酸酯單元。
在此使用的，多官能乙烯苯(MFV)一詞係關於包括含有至少二個乙烯基或經烷基取代之乙烯基的苯環之任何單體結構，例如二乙烯苯(DVB)、1,3-二異丙烯苯(DPB)、三乙烯苯、或四乙烯苯。再者，該MFV能為未取代或經取代之MFV，其中該苯環中H原子之一或多者能經烷基或鹵素或與乙烯基不同之官能基取代。
在一具體例中，該可聚合材料之MFA能為三官能丙烯酸酯單體、四官能丙烯酸酯單體、或彼等之組合。
在一特別具體例中，在該光可固化組成物中所含之該多官能乙烯苯(MFV)的量能為至少20wt%，或至少30wt%，或至少40wt%，或至少45wt%，或至少50wt%，或至少60wt%，或至少70wt%，或至少75wt%，或至少80wt%。在另一態樣中，該MFV之量以該光可固化組成物之總重量計，可為不大於83wt%，或不大於80wt%，或不大於75wt%，或不大於70wt%，或不大於65wt%，或不大於70wt%，或不大於60wt%，或不大於50wt%，或不大於45wt%，或不大於40wt%，或不大於30wt%，或不大於25wt%。MFV之量能為在以上所註明之最小數目與最大數目中任一者之間範圍內的值。
在另一具體例中，該多官能丙烯酸酯(MFA)單體的量能為至少20wt%，或至少30wt%，或至少40wt%，或至少45wt%，或至少50wt%，或至少60wt%，或至少70wt%，或至少75wt%，或至少80wt%。在另一態樣中，該MFA之量以該光可固化組成物之總重量計，可為不大於83wt%，或不大於80wt%，或不大於75wt%，或不大於70wt%，或不大於65wt%，或不大於70wt%，或不大於60wt%，或不大於50wt%，或不大於45wt%，或不大於40wt%，或不大於30wt%，或不大於25wt%。MFA之量能為在以上所註明之最小數目與最大數目中任一者之間範圍內的值。
在某些具體例中，該多官能乙烯苯(MFV)能為二乙烯苯(DVB)。在另外之某一具體例中，該MFV能為1,3-二丙烯苯(DPB)。在又另外的具體例中，該MFV可為DVB和DPB之組合。
在一態樣中，在該光可固化組成物中MFV對MFA之重量百分比的比率能為1：7至7：1，或1：4至4：1，或1：2至2：1，或1：1.5至1.5：1。
在一特別態樣中，DVB及/或DPB的量以該光可固化組成物之總重量計能在20wt%至50wt%之間，且MFA之量以該光可固化組成物之總重量計能在45wt%至65wt%之間。
在該光可固化組成物之另一特別態樣中，以該光可固化組成物之總重量計，MFA之量能為至少60wt%，且DVB之量可為不大於35wt%。
在又另外的特別態樣中，DVB及/或DPB之量以該光固化組成物之總重量計能為至少70wt%。
在另一態樣中，該光可固化組成物之可聚合材料能進一步包括特定量之可聚合單體、寡聚物、或聚合物，彼等並非多官能乙烯苯(MFV)或多官能丙烯酸酯(MFA)單體。此種可聚合化合物之非限制性實例能為單官能丙烯酸酯單體，例如丙烯酸苄酯、順丁烯二醯亞胺單體、乙烯醚、或苯乙烯衍生物。
在一具體例中，本揭示內容之光可固化組成物能具有可令這些組成物用在IAP應用中的低黏度。在一態樣中，該光可固化組成物在50℃之溫度下的黏度能為不大於35mPa∙s，諸如不大於30 mPa∙s，或不大於25 mPa∙s，不大於20 mPa∙s，不大於15 mPa∙s，或不大於10 mPa∙s，或不大於5 mPa∙s，或不大於3 mPa∙s。在另一態樣中，該黏度可以是至少1mPa∙s，或至少2mPa∙s，或至少3mPa∙s。在特別態樣中，該光可固化組成物能具有不大於30mPa∙s之黏度。在此所用的，所有黏度值係關於在特定溫度下利用布魯克非(Brookfield)方法所測得的黏度。
在另一態樣中，該光可固化組成物在23℃之溫度下的黏度不大於120mPa∙s，或不大於100mPa∙s，或不大於50mPa∙s，或不大於30mPa∙s，或不大於20mPa∙s，或不大於15mPa∙s，或不大於10mPa∙s。
在又另外的具體例中，在該光可固化組成物中所含之可聚合材料的量以該光可固化組成物之總重量計能為至少75wt%，諸如至少80wt%，至少85wt%，至少90wt%，或至少95wt%。在另一態樣中，可聚合材料之量可為不大於99.5wt%，諸如不大於99wt%，或不大於98wt%，或不大於97wt%，或不大於95wt%，或不大於93wt%，或不大於90wt%。再者，該可聚合材料之量能在含有以上所註明之最小和最大值之任何者的範圍內。在一特別態樣中，可聚合材料之量以該光可固化組成物之總重量計能為至少90wt%且不大於97wt%。
在另外的態樣中，本揭示內容之光可固化組成物可以不含溶劑。
為了要在曝光時起始該組成物之光固化，在該光可固化組成物中可包括一或多種光起始劑。
在某一態樣中，該固化也能在沒有光起始劑存在下進行。在另一特定態樣中，該固化能藉由光和熱固化之組合進行。
在另一態樣中，該光可固化組成物能含有至少一種隨意之添加劑。隨意添加劑之非限制性實例能為表面活性劑、分散劑、穩定劑、共溶劑、起始劑、抑制劑、染料、或其任何組合。
在另一具體例中，本揭示內容係關於一種包含基材和覆蓋該基材之光固化層的層合體，其中該光固化層能由上述之該光可固化組成物所形成。
在某一態樣中，該層合體能進一步包括在該基材與該固化層之間的一或多層，例如黏合層。
本揭示內容進一步關於一種形成光固化層的方法。該方法能包含將上述之該光可固化組成物施加在基材上；使該光可固化組成物與上片接觸；將該光可固化組成物照光以形成光固化層；且從該固化層移除該上片。
在一態樣中，該照光能利用具有在250nm至760nm之間的波長的光進行。在一較佳態樣中，該照光可利用具有在300nm至450nm之間的波長的光進行。
該基材和該固化(光固化)層可被額外加工以形成所需物件，例如藉由包括蝕刻程序以將圖像轉移至該基材中，該圖像對應於在該固化層及/或在該固化層底下之圖案化層之一或二者中的圖案。能對該基材進行已知之用於製造裝置(物件)的步驟和程序，包括例如固化、氧化、層形成、沉積、摻雜、平面化、蝕刻、可形成之材料的移除、切塊、黏合、及包裝等。在某一態樣中，該基片可被加工以製造多個物件(裝置)。
該光固化層可進一步被使用以作為半導體裝置(諸如LSI、LSI系統、DRAM、SDRAM、RDRAM、或D-RDRAM)之介層(interlayer)絕緣膜，或作為半導體製造程序中使用之光阻膜。
在該等實例中進一步說明的，令人訝異地發現：在光可固化組成物中之二乙烯苯和多官能丙烯酸酯單體的某些組合對IAP加工能具有極適合之性質。在某些具體例中，該光可固化組成物可具有低黏度且能形成具有高達400℃之異常高的熱穩定性之光固化層且能具有高達180℃以上之高的玻璃轉換溫度。 實例
以下非限制性實例說明在此所述之觀念。
實例1
光可固化IAP組成物之製備
製備光可固化組成物，其包括二乙烯苯和至少一種多官能丙烯酸酯單體。該組成物中二乙烯苯之量在約14.6wt%至87.4wt%間變化且多官能丙烯酸酯單體之量在9.7wt%至82.5wt%間變化。該光可固化組成物之其他變化參數是多官能丙烯酸酯單體之類型，其包括雙官能丙烯酸酯單體(二丙烯酸新戊二醇酯，在此被稱為A2)、三官能丙烯酸酯單體(三丙烯酸丙烷三甲酯，在此被稱為A3)、以及四官能丙烯酸酯單體(四丙烯酸甲烷四甲酯，在此被稱為A4)。再者，製備比較用組成物，其僅含有二乙烯苯或僅含有多官能丙烯酸酯單體作為單體。所有組成物另外含有Irgacure 907作為光起始劑及表面活性劑(Wonda Science, MA, USA之FS2000M1)。
以該光可固化組成物之總量計之每一單體類型的精確重量%的量係在表1中顯示。表1進一步指明使用何種類型之多官能丙烯酸酯單體諸如A2、A3、或A4。
包括1,3-二異丙烯苯之光可固化組成物
製備二種另外的光可固化組成物(S24和S25)，其中該可聚合材料含有作為多官能乙烯苯之該單體1,3-二異丙烯苯(DPB)，其與該三官能丙烯酸酯單體(三丙烯酸丙烷三甲酯，A3)結合。進一步製作比較用組成物，其僅包括1,3-二異丙烯苯(DPB)作為可聚合單體且無多官能丙烯酸酯單體。二種光可固化組成物含有得自BASF之2wt%之光起始劑Irgacure 907以及1wt%之表面活性劑(得自Dianel LAB之FS2000M1)。該組成物之摘要係在表2中顯示。
黏度
使用具有心軸尺寸#18及旋轉速度135rpm之布魯克非(Brookfield)黏度計LVDV-II + Pro，在200rpm下測量該光可固化組成物之黏度。為供黏度試驗，將約6至7毫升之樣本液體添加至該樣本池中，足以覆蓋該心軸頭。在該真實測量開始之前，將該池中所含之該樣本平衡約20分鐘以達到所需測量溫度(23℃或50℃)。為供所有的黏度試驗，進行至少三次測量且計算平均值。
大部分之該光可固化組成物在23℃下具有低於10mPa∙s之黏度。僅具有低量DVB和高量三官能或四官能丙烯酸酯單體之樣本(樣本15和16)具有高於10 mPa∙s之黏度，諸如在23℃下31 mPa∙s及106 mPa∙s。為要使這些組成物適合噴墨印刷，溫度提高至50℃能降低該黏度至低於30 mPa∙s之範圍，這對IAP程序是可接受的。
光固化層之熱穩定性
光固化膜係藉由以下方法製作：將300微米厚之經試驗的光可固化組成物的層施加在玻璃基材且在室溫(23℃)下以具有365nm之最大波長及14mW/cm 2之光強度的UV光固化該膜11.5分鐘，其對應於約10.0J/cm 2之固化能量劑量以形成固態層。對於含有多於50wt%之二乙烯苯的光可固化組成物，該固化時間被加倍成23分鐘以進行該光固化。
對該光固化膜進行以下熱處理方案：25mg之該光固化膜被置於鋁坩鍋中且使用Linseis STA PT 1000儀器進行TGA測量。以20℃/分鐘之加熱速率，在氮氣下，將該樣本從25℃加熱至450℃，且從該TGA曲線，讀取從25℃至350℃以及從350℃至400℃的累積重量損失百分率。該試驗樣本被加熱以超過其起初降解溫度，該起初降解溫度對大部分之該試驗樣本是在420至440℃之間的範圍中。
從表1和2中之數據能看見，二乙烯苯(DVB)或1,3-二異丙烯苯(DPB)與三丙烯酸酯單體或四丙烯酸酯單體之某些組合能形成具有優越熱穩定性之光固化層，其中在從25℃加熱至350℃的期間的重量損失(在此也稱為『第一重量損失』)不大於10%，且在從350℃進一步加熱至400℃的期間的重量損失(在此也稱為『第二重量損失』)不大於2%。特高之熱穩定性顯示樣本S24之光固化層(1,3-二異丙烯苯(DPB)與三丙烯酸丙烷三甲酯(A3)之組合)，其中在25℃至350℃之間的該第一重量損失是0.07%且在從350℃加熱至400℃的期間的第二重量損失是0.5%。
圖 1A 、 1B 、及 1C說明DVB對MFA之三個不同的濃度比率(皆取自表1)，其中MFA之類型選自二官能丙烯酸酯單體(A2)、三官能丙烯酸酯單體(A3)、及四官能丙烯酸酯單體(A4)。能看見：當使用該四官能丙烯酸酯單體時，在所有濃度比率內，發生最低重量損失，且利用三官能丙烯酸酯單體能獲得類似結果。相比之下，該二官能丙烯酸酯單體若低量(0.194wt%)被使用，則在從25℃加熱至350℃的期間具有高達25.8%之極高的重量損失，及在從350℃加熱至400℃之期間具有大於2%之相對高的重量損失。若DVB及該三官能或該四官能丙烯酸酯單體之量是在均等水平下(參見 圖 1B)，則獲得最佳熱穩定性。
樣本5和6以及比較用樣本4之TGA曲線的說明係在 圖 2中顯示。能見到：對於全部三個曲線，在從約25℃加熱至175℃之期間發生最大的重量降低。不侷限於理論，在25℃至175℃之間的重量損失顯然是因仍包含在該光固化層中之未反應的單體蒸發及/或降解。
另一類型的熱處理係藉由以下方式進行：將該光固化層在具有250℃之溫度的熱板上放置30分鐘，且之後令該等樣本冷卻至室溫且以20℃/分鐘將該樣本從25℃再加熱至400℃及以上之溫度，直至明顯觀察到降解(重量損失＞30%)。
對從樣本5和6形成之光固化層進行與該TGA測量結合之燒烤處理。據觀察：在該燒烤處理之後，該燒烤層(在此被稱為樣本5B和6B)具有高達400℃之溫度的優越熱穩定性。在25℃至350℃之範圍中(第一重量損失)以及從350℃至400℃之範圍中(第二重量損失)再加熱期間利用TGA所測量之樣本5和6的重量損失係在表3中顯示，且完整的TGA曲線在圖3中說明。
玻璃轉換溫度
利用與Hamamatsu Lightningcure LC8 UV來源耦合之Anton-Paar MCR-301流變計測量該光固化層之玻璃轉換溫度。該樣本以藉由Hamamatsu 365 nm UV功率計所控制之強度為100mW/cm 2的365nm UV照射。使用名為RheoPlus之軟體以控制流變計且進行數據分析。該溫度係藉由Julabo F25-ME水單元控制且設定成23℃作為開始溫度。為供每一樣本試驗，將7μl之阻劑樣本添加至定位在該流變計之測量系統正下方的玻璃板上。在開始該UV輻射之前，在玻璃板與測量單元之間的距離被減少成0.1mm之間隙。持續該UV輻射暴露直至儲存模數到達平原區，且該平原區的高度被記錄成該儲存模數。在完成UV固化之後，該固化的樣本之溫度藉由經控制之加熱而提高以測量該儲存模數與該溫度相關的改變以獲得該玻璃轉換溫度T g。對應於最大正切值(θ)的溫度被認為是玻璃轉換溫度T g。
表3包括從本揭示內容之代表的光可固化組成物所製成之光固化層的經測量的玻璃轉換溫度(T g)。能見到：該T g範圍是在137℃至180℃以上的值。如此高之T g值是合宜的，因為已知高的T g能在蝕刻期間減低線波紋(line waviness)且加強阻劑之蝕刻效能。
與本揭示內容之代表樣本的玻璃轉換溫度(T g)相對的，表4進一步包括藉由在該等實例中使用之單體所形成之均聚物(諸如二乙烯苯(DVB)、二丙烯酸新戊二醇酯(A2)、三丙烯酸丙烷三甲酯(A3)、及四丙烯酸甲烷四甲酯(A4)之均聚物)的T g。從出版的文獻數據獲得該等均聚物的T g。能見到：在該光可固化組成物中所含之該等單體的某些組合可獲得在固化後具有比該均聚物之T g高度提高的玻璃轉換溫度之聚合材料。
在此所述之具體例的規格和說明意圖提供對不同具體例之結構的一般了解。該規格和說明無意詳細廣泛地描述使用在此所述之結構或方法的設備和系統的所有元件和特徵。不同的具體例也可在單一具體例中組合提供，且相反地，在單一具體例之背景下為簡潔之故所描述之不同特徵也可分開地或在任何子組合中被提供。再者，在範圍中所陳述之值的引用包括在該範圍內之每一值。只在研讀本說明書之後，熟習該技術人員明瞭很多其他的具體例。其他具體例可被使用且從該揭示內容衍生，使得結構替代、合理替代、或其他改變可在不偏離本揭示內容之範圍下完成。因此，該揭示內容要被視為說明性而非限制性。
具體例係藉由實例說明且不限於附圖。
[圖1A]包括一個描繪光固化層在加熱期間的第一和第二重量損失的作圖，該光固化層係根據具體例之由含有約78wt%之二乙烯苯和約19wt%之多官能丙烯酸酯單體(具有不同類型之多官能丙烯酸酯單體)的光可固化組成物所製成。
[圖1B]包括一個描繪光固化層在加熱期間的第一和第二重量損失的作圖，該光固化層係根據具體例之由含有約47wt%之二乙烯苯和約47wt%之多官能丙烯酸酯單體(具有不同類型之多官能丙烯酸酯單體)的光可固化組成物所製成。
[圖1C]包括一個描繪光固化層在加熱期間的第一和第二重量損失的作圖，該光固化層係根據具體例之由含有約19wt%之二乙烯苯和約75wt%之多官能丙烯酸酯單體(具有不同類型之多官能丙烯酸酯單體)的光可固化組成物所製成。
[圖2]包括一個描繪根據具體例之經由熱圖形分析(TGA)在20℃/分鐘之速率下之光固化層的重量損失的作圖。
[圖3]包括一個描繪根據具體例之經由熱圖形分析(TGA)在20℃/分鐘之速率下之光固化層的重量損失的作圖，其中該TGA係在該光固化層於250℃下燒烤處理30分鐘之後進行。
熟習該技術之人員理解：在該等圖中之要件僅供簡單清楚的說明且無須按比例繪製。例如，在該等圖中某些要件在尺寸上可相對其他要件被增大以幫助改善對本發明之具體例的理解。

Claims (20)

  1. 一種包含可聚合材料和光起始劑之光可固化組成物，其中該可聚合材料包含以該光可固化組成物之總重量計15wt%至85wt%之量的至少一種多官能乙烯苯和以該光可固化組成物之總重量計15wt%至85wt%之量的至少一種多官能丙烯酸酯單體；且該光可固化組成物之光固化層包含在以20℃/分鐘之速率從25℃加熱至350℃的期間，不大於10%損失之第一重量損失，以及在氮氣下以20℃/分鐘之速率從350℃進一步加熱至400℃的期間，不大於2.0%之第二重量損失。
  2. 如請求項1之光可固化組成物，其中該第一重量損失不大於5%。
  3. 如請求項1之光可固化組成物，其中該第二重量損失不大於1.5%。
  4. 如請求項1之光可固化組成物，其中在固化該光可固化組成物之後該光固化層之玻璃轉換溫度是至少135℃。
  5. 如請求項3之光可固化組成物，其中該光固化層之玻璃轉換溫度是至少160℃。
  6. 如請求項1之光可固化組成物，其中該多官能丙烯酸酯單體是三官能丙烯酸酯單體、四官能丙烯酸酯單體、或彼等之組合，且該多官能乙烯苯是二乙烯苯(DVB)或1,3-二異丙烯苯(DPB)、或DVB和DPB之組合。
  7. 如請求項6之光可固化組成物，其中以該光可固化組成物之總重量計DVB及/或DPB之量在20wt%至50wt%之間，且以該光可固化組成物之總重量計該多官能丙烯酸酯單體之量在45wt%至65wt%之間。
  8. 如請求項6之光可固化組成物，其中以該光可固化組成物之總重量計該多官能丙烯酸酯單體之量是至少60wt%且不大於85wt%，及該DVB及/或DPB之量是至少15wt%且不大於35wt%。
  9. 如請求項6之光可固化組成物，其中以該光可固化組成物之總重量計該DVB及/或DPB之量是至少70wt%且不大於85wt%。
  10. 如請求項6之光可固化組成物，其中DVB及/或DPB對該多官能丙烯酸酯單體的重量%之比率範圍在1：7至7：1。
  11. 如請求項1之光可固化組成物，其中該光可固化組成物之黏度在50℃之溫度下不高於30mPa．s。
  12. 如請求項1之光可固化組成物，其中該可聚合材料之量以該光可固化組成物之總重量計是至少90wt%。
  13. 一種包含基材和覆蓋該基材之光固化層的層合體，其中該光固化層係由請求項1之光可固化組成物所形成。
  14. 如請求項13之層合體，其中該光固化層之第二重量損失不大於1.5%。
  15. 如請求項13之層合體，其中該光固化層包含至少135℃之玻璃轉換溫度。
  16. 一種在基材上形成光固化層之方法，其包含：施加一層光可固化組成物在該基材上，其中該光可固化組成物包含可聚合材料和光起始劑，其中該可聚合材料包含以該光可固化組成物之總重量計15wt%至85wt%之量的至少一種多官能乙烯苯和15wt%至85wt%之量的至少一種多官能丙烯酸酯單體；使該光可固化組成物與上片(superstrate)接觸；將該光可固化組成物照光以形成光固化層；且從該光固化層移除該上片，其中該光固化層包含在以20℃/分鐘之速率從25℃加熱至350℃之期間不大於10%之第一重量損失，以及在氮氣下以20℃/分鐘之速率從350℃進一步加熱至400℃期間，不大於2.0%之第二重量損失。
  17. 如請求項16之方法，其中該多官能丙烯酸酯單體是三官能丙烯酸酯單體或四官能丙烯酸酯單體。
  18. 如請求項16之方法，其中該光可固化組成物之黏度在50℃之溫度下不大於30mPa．s。
  19. 如請求項16之方法，其中該光固化層之玻璃轉換溫度是至少135℃。
  20. 一種製造物件之方法，其包含：施加一層光可固化組成物在基材上，其中該光可固化 組成物包含可聚合材料和光起始劑，該可聚合材料包含以該光可固化組成物之總重量計15wt%至85wt%之量的至少一種多官能乙烯苯和15wt%至85wt%之量的至少一種多官能丙烯酸酯單體；使該光可固化組成物與上片接觸；將該光可固化組成物照光以形成光固化層；從該光固化層移除該上片；將圖案形成在該基材上；將該圖案已經在該形成時被形成於其上的基材加工；且從在該加工時所加工之該基材製造物件，其中該光固化層包含在以20℃/分鐘之速率從25℃加熱至350℃之期間不大於10%之第一重量損失，以及在以20℃/分鐘之速率，在氮氣下，從350℃進一步加熱至400℃期間，不大於2.0%之第二重量損失。
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