TWI746912B - 脆性材料零件安裝裝置及採用其之電漿蝕刻機 - Google Patents
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Abstract
本發明公開了一種脆性材料零件安裝裝置，該裝置包含：脆性材料零件、複數個第一連接部件、第二連接部件以及固定件；脆性材料零件具有凹槽，該凹槽上包含有複數個卡抵槽，卡抵槽的上部設有凸出的抵擋部件；複數個第一連接部件設置在卡抵槽內；第二連接部件設置在凹槽上，且在第二連接部件上設有連接件；固定件用於連接並固定複數個第一連接部件和第二連接部件。連接件用於將待連接零件與脆性材料零件連接；卡抵槽的側壁在橫向上卡抵複數個第一連接部件的移動；抵擋部件在縱向上卡抵複數個第一連接部件的移動。本發明的裝置通過第一連接部件和第二連接部件同時將脆性零件壓緊，以第二連接部件直接和待連接零件直接連接，以間接地穩定安裝脆性零件，避免了脆性零件的破裂。
Description
本發明是關於一種零件安裝裝置，具體地，是關於一種脆性材料零件安裝裝置及採用其之電漿蝕刻機。
電漿蝕刻是乾式蝕刻中最常見的一種形式，其原理是暴露在電子區域的氣體形成電漿，由此產生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體，從而形成了電漿或離子，電離氣體原子通過電場加速時，會釋放足夠的力量與表面驅逐力緊緊黏合材料或蝕刻表面。
電漿蝕刻過程中採用的電漿蝕刻機，其組成一般包括電漿產生器(工業上常用RF激發法)、真空室和電極。其中，一些零部件使用脆性材料如矽、石英等，由於其材料特性比較脆，容易破裂，目前技術無法在這些材料上加工螺紋孔。
因此，這些脆性材料的安裝方式及安裝位置比較侷限，比如通過平面接觸靠重力作用和其他零件堆在一起。
本發明的目的是提供一種脆性材料零件安裝裝置及其應用，該裝置解決了現有技術中脆性材料的安裝方式及安裝位置的侷限性問題，能夠將脆性材料和其它零件穩定的安裝在一起，同時避免了脆性材料的破裂。
為了達到上述目的，本發明提供了一種脆性材料零件安裝裝置，該裝置包含：脆性材料零件，其具有凹槽，該凹槽上包含：複數個卡抵槽，複數個卡抵槽的上部設有：凸出的抵擋部件；複數個第一連接部件，其設置在複數個卡抵槽內；第二連接部件，其設置在凹槽上，且在第二連接部件上設有連接件；以及固定件，其用於連接並固定複數個第一連接部件和第二連接部件。
較佳地，連接件可以是用於將待連接零件與脆性材料零件連接。
較佳地，複數個卡抵槽的側壁可以在橫向上卡抵複數個第一連接部件的移動；抵擋部件在縱向上卡抵複數個第一連接部件的移動。
較佳地，複數個卡抵槽和抵擋部件可以由凹槽向脆性材料零件內部橫向凹進形成。
較佳地，在複數個卡抵槽上方，凹槽上部可以向脆性材料零件內部橫向凹進以形成支撐部。
較佳地，第二連接部件兩端可以設置在支撐部上，且與支撐部相匹配。
較佳地，複數個卡抵槽與卡設在其內的複數個第一連接部件可以相匹配。
較佳地，複數個卡抵槽可以包含圓弧狀結構。
較佳地，複數個卡抵槽的數目可以是兩個，其分別設置在凹槽的兩端。
較佳地，複數個第一連接部件可以包含基底以及設置在基底上的凸台。
較佳地，第二連接部件可以套設在凸臺上。
較佳地，基底可以具有對稱的圓弧狀結構，該圓弧狀結構與複數個卡抵槽的圓弧狀結構相匹配。
較佳地，凹槽上可以進一步包含有用於連接各卡抵槽的連通槽。
較佳地，基底的長軸的長度與具有圓弧狀結構的複數個卡抵槽的直徑可以是相一致的。
較佳地，在使用狀態時，複數個第一連接部件可以經連通槽推至複數個卡抵槽內，轉動以使基底卡置在複數個卡抵槽內，第二連接部件放置在凹槽上，且套置在凸臺上，複數個卡抵槽與基底卡緊，支撐部與第二連接部件卡緊。
較佳地，第二連接部件的下表面的形狀與當複數個第一連接部件放置在複數個卡抵槽內時凹槽內的空間形狀可以是相匹配的。
較佳地，固定件可以具有外螺紋，複數個第一連接部件具有與外螺紋相匹配的內螺紋，連接件具有螺紋孔結構。
本發明進一步提供了一種電漿蝕刻機，蝕刻機中使用的脆性零件採用如上所述的脆性材料零件安裝裝置。
本發明的脆性材料零件安裝裝置及其應用，解決了現有技術中脆性材料的安裝方式及安裝位置的侷限性問題，具有以下優點：
本發明的脆性材料零件安裝裝置能夠避免脆性材料與其它零件直接的安裝，通過第一連接部件和第二連接部件同時將脆性零件壓緊，以第二連接部件直接和待連接零件直接連接，以間接地穩定安裝脆性零件，避免了脆性材料直接與待連接部件安裝而導致的破裂。
1:抵擋部件
3:連接件
10:脆性材料零件
11:凹槽
11A:卡抵槽
11B:連通槽
13:支撐部
20:第一連接部件
21:基底
22:凸台
30:第二連接部件
40:固定件
圖1為本發明的脆性材料零件安裝裝置的爆炸圖。
圖2為本發明的脆性材料零件安裝裝置的結構示意圖。
圖3為本發明的脆性材料零件安裝裝置的剖面圖。
圖4為本發明的脆性材料零件的結構示意圖。
圖5為本發明的第一連接部件的結構示意圖。
圖6為本發明的第二連接部件的結構示意圖。
以下結合圖式和實施例對本發明的技術方案做進一步的說明。
一種脆性材料零件安裝裝置，如圖1所示，為本發明的脆性材料零件安裝裝置的爆炸圖，如圖2所示，為本發明的脆性材料零件安裝裝置的結構示意圖，如圖3所示，為本發明的脆性材料零件安裝裝置的剖面圖，該裝置包含：脆性材料零件10，其具有凹槽11，該凹槽11上包含：複數個卡抵槽11A，該卡抵槽11A的上部設有：凸出的抵擋部件1；第一連接部件20，其設置在卡抵槽11A內；第二連接部件30，其設置在凹槽11上，且在該第二連接部件30上設有連接件3；以及固定件40，其用於連接並固定第一連接部件20和第二連接部件30。
其中，連接件3用於將待連接零件與脆性材料零件10連接。
其中，卡抵槽11A的側壁在橫向上卡抵第一連接部件20的移動；抵擋部件1在縱向上卡抵第一連接部件20的移動。
卡抵槽11A和抵擋部件1由凹槽11向脆性材料零件10內部橫向凹進形成。
其中，在卡抵槽11A上方，凹槽11上部向脆性材料零件10內部橫向凹進形成支撐部13。第二連接部件30兩端設置在支撐部13上，且與支撐部13相匹配。
卡抵槽11A與卡設在其內的第一連接部件20相匹配。
卡抵槽11A包含：圓弧狀結構。
卡抵槽11A數目為兩個，其分別設置在凹槽11的兩端。
如圖5所示，為本發明的第一連接部件的結構示意圖，第一連接部件20包含：基底21，以及設置在基底21上的凸台22。其中，第二連接部件30套設在凸台22上。基底21具有對稱的圓弧狀結構，該圓弧狀結構與卡抵槽11A的圓弧狀結構相匹配。
如圖4所示，為本發明的脆性材料零件的結構示意圖，凹槽11上還包含：用於連接各卡抵槽11A的連通槽11B。
其中，基底21的長軸的長度與圓弧狀結構的卡抵槽11A的直徑相一致。
在使用狀態時，第一連接部件20經連通槽11B推至卡抵槽11A內，轉動以使基底21卡置在卡抵槽11A內，第二連接部件30放置在凹槽11上，且套置在凸台22上，卡抵槽11A與基底21卡緊，支撐部13與第二連接部件30卡緊。
如圖6所示，為本發明的第二連接部件的結構示意圖，第二連接部件30的下表面的形狀與當第一連接部件20放置在卡抵槽11A內時凹槽11內的空間形狀相匹配。
固定件40具有外螺紋，第一連接部件20具有與外螺紋相匹配的內螺紋，連接件3具有螺紋孔結構。
提供一種電漿蝕刻機，該蝕刻機中使用的脆性零件採用如上述脆性材料零件安裝裝置。
本發明的脆性材料零件安裝裝置使用方法，具體如下：將第一連接部件20卡置在卡抵槽11A內，將第二連接部件30放置在凹槽11及第一連接部件20上，第二連接部件30的下表面與凹槽內的空間相匹配，通過固定件40將第一連接部件20和第二連接部件30固定。
透過上述的安裝方法，可以將脆性材料零件10通過脆性材料零件安裝裝置與待連接零件安裝在一起，而且不用在脆性材料零件上加工螺紋孔，本發明的脆性材料零件安裝裝置能夠穩固的安裝脆性材料零件。
實施例1：
一種脆性材料零件安裝裝置，該裝置包含：脆性材料零件10、第一連接部件20、第二連接部件30和固定件40。
脆性材料零件10具有凹槽11，凹槽11內對稱設有位於兩端的卡抵槽11A和連接兩個卡抵槽11A的連通槽11B。
上述卡抵槽11A的上部設有：抵擋部件1，卡抵槽11A和抵擋部件1由凹槽11向脆性材料零件10內部橫向凹進形成的，該卡抵槽11A的形狀為圓柱狀。在卡抵槽11A上方，凹槽11上部向脆性材料零件10內部橫向凹進形成支撐部13，第二連接部件30兩端設置在支撐部13上，且與支撐部13相匹配。
第一連接部件20的形狀具有對稱性，其包含基底21，以及設置在基底21上的凸台22。基底21的形狀為垂直且對稱切除所剩的圓柱。基底21的長軸的長度與圓弧狀結構的卡抵槽11A的直徑相一致。
第一連接部件20設置在卡抵槽11A內。卡抵槽11A與卡設在其內的第一連接部件20相匹配。
第二連接部件30套設在凸台22上。第二連接部件30的中間設有連接件3，連接件3用於將待連接零件與脆性材料零件10連接。
第二連接部件30的下表面的形狀與在第一連接部件20放置在卡抵槽11A內時凹槽11內的空間形狀相匹配。
固定件40具有外螺紋，第一連接部件20具有與外螺紋相匹配的內螺紋，連接件3具有螺紋孔結構，通過螺紋連接。
實施例1的脆性材料零件安裝裝置的安裝方法具體如下：
首先，將第一連接部件20放置在連通槽11B內，經連通槽11B推至卡抵槽11A內，轉動第一連接部件20以使基底21卡置在卡抵槽11A內。
然後，將第二連接部件30放置在凹槽11上，且套置在凸台22上，第二連接部件30兩端剛好與凹槽兩端的支撐部13貼合，此時卡抵槽11A與基底21卡緊，支撐部13與第二連接部件30卡緊。
最後，在將脆性材料零件與待連接零件安裝時，通過螺紋連接方式與連接件3連接。
上述脆性材料零件安裝裝置安裝簡單、方便。
實施例2：
提供一種電漿蝕刻機，該蝕刻機中使用的脆性零件採用實施例1的脆性材料零件安裝裝置。
實施例3：
提供一種脆性材料零件安裝裝置，該裝置包含：脆性材料零件10、第一連接部件20、第二連接部件30和固定件40。
脆性材料零件10的形狀具有對稱性。
脆性材料零件10的長度較長，其具有凹槽11，該凹槽11包含：均勻間隔設置在凹槽上的四個卡抵槽11A，以及連接各卡抵槽11A的連通槽11B。在四個卡抵槽11A中，有兩個設置在凹槽11的兩端，這兩個卡抵槽11A具有圓弧狀結構，有兩個設置在凹槽11的中間，這兩個卡抵槽11A具有對稱的圓弧狀結構。
在卡抵槽11A上部設有：抵擋部件1，卡抵槽11A和抵擋部件1由凹槽11向脆性材料零件10內部橫向凹進形成的，該卡抵槽11A的形狀為圓柱狀。在卡抵槽11A上方，凹槽11上部向脆性材料零件10內部橫向凹進形成支撐部13，第二連接部件30兩端設置在支撐部13上，且與支撐部13相匹配。
第一連接部件20的形狀具有對稱性。
第一連接部件20包含：基底21，以及設置在基底21上的凸台22。基底21的形狀為垂直且對稱切除所剩的圓柱。基底21的長軸的長度與圓弧狀結構的卡抵槽11A的直徑相一致。
第一連接部件20設置在卡抵槽11A內。卡抵槽11A與卡設在其內的第一連接部件20相匹配。
第二連接部件30的形狀具有對稱性。
第二連接部件30套設在凸台22上。第二連接部件30的中間設有連接件3，連接件3用於將待連接零件與脆性材料零件10連接。
第二連接部件30的下表面的形狀與在第一連接部件20放置在卡抵槽11A內時凹槽11內的空間形狀相匹配。
固定件40具有外螺紋，第一連接部件20具有與外螺紋相匹配的內螺紋，連接件3具有螺紋孔結構，通過螺紋連接。
實施例3的脆性材料零件安裝裝置的安裝方法與實施例1的相同。
實施例4：
提供一種電漿蝕刻機，該蝕刻機中使用的脆性零件採用實施例3的脆性材料零件安裝裝置。
綜上所述，本發明的脆性材料零件安裝裝置及其應用，該裝置通過第一連接部件和第二連接部件同時將脆性零件壓緊，以第二連接部件直接和待連接零件直接連接，以間接地穩定安裝脆性零件，避免了脆性材料直接與待連接部件安裝而導致的破裂。
儘管本發明的內容已經通過上述較佳的實施例作了詳細介紹，但應當認識到上述的描述不應被認為是對本發明的限制。在本領域技術人員閱讀
了上述內容後，對於本發明的多種修改和替代都將是顯而易見的。因此，本發明的保護範圍應由所附的申請專利範圍來限定。
1:抵擋部件
3:連接件
10:脆性材料零件
11:凹槽
11A:卡抵槽
20:第一連接部件
30:第二連接部件
40:固定件
Claims (11)
- 一種脆性材料零件安裝裝置，其包含：一脆性材料零件，該脆性材料包含矽和/或石英，該脆性材料零件具有一凹槽，該凹槽上包含複數個卡抵槽，以及，與該卡抵槽連通的一連通槽；該複數個卡抵槽的上部設有凸出的一抵擋部件；複數個第一連接部件，其設置在該複數個卡抵槽內；該第一連接部件包含：一基底；該基底經該連通槽推至該卡抵槽內；一第二連接部件，其設置在該凹槽上，且在該第二連接部件上設有一連接件，該連接件具有一螺紋孔結構；以及一固定件，其連接並固定該複數個第一連接部件和該第二連接部件；其中該連接件係將待連接零件與該脆性材料零件連接；該複數個卡抵槽的側壁在橫向上卡抵該複數個第一連接部件以防止其移動；該抵擋部件在縱向上卡抵該複數個第一連接部件以防止其移動。
- 根據請求項1所述的脆性材料零件安裝裝置，其中，該複數個卡抵槽和該抵擋部件由該凹槽向該脆性材料零件內部橫向凹進而形成；一支撐部，在該複數個卡抵槽上方，並且由該凹槽上部向該脆性材料零件內部橫向凹進而形成；該第二連接部件兩端設置在該支撐部上，且與該支撐部相匹配。
- 根據請求項2所述的脆性材料零件安裝裝置，其中，該複數個卡抵槽與卡設在其內的該複數個第一連接部件相匹配。
- 根據請求項2所述的脆性材料零件安裝裝置，其中，該複數個卡抵槽包含一圓弧狀結構。
- 根據請求項4所述的脆性材料零件安裝裝置，其中，該複數個卡抵槽之數目為兩個，其分別設置在該凹槽的兩端。
- 根據請求項5所述的脆性材料零件安裝裝置，該複數個第一連接部件進一步包含：設置在該基底上的一凸台；其中該第二連接部件套設在該凸台上。
- 根據請求項6所述的脆性材料零件安裝裝置，該基底具有對稱的圓弧狀結構，並且該基底的該圓弧狀結構與該複數個卡抵槽的該圓弧狀結構相匹配。
- 根據請求項7所述的脆性材料零件安裝裝置，該連通槽連接各該複數個卡抵槽；其中該基底的長軸的長度與具有該圓弧狀結構的該複數個卡抵槽的直徑相一致；以及在使用狀態時，該複數個第一連接部件經該連通槽推至該複數個卡抵槽內，轉動以使該基底卡置在該複數個卡抵槽內，該第二連接部件放置在該凹槽上，且套置在該凸台上，該複數個卡抵槽與該基底卡緊，該支撐部與該第二連接部件卡緊。
- 根據請求項8所述的脆性材料零件安裝裝置，其中，該第二連接部件的下表面的形狀與當該複數個第一連接部件放置在該複數個卡抵槽內時該凹槽內的空間形狀相匹配。
- 根據請求項1-9中任一項所述的脆性材料零件安裝裝置，其中，該固定件具有外螺紋，該複數個第一連接部件具有與該外螺紋相匹配的一內螺紋。
- 一種電漿蝕刻機，其中，該蝕刻機中使用的脆性零件採用如請求項1-10中任一項所述的脆性材料零件安裝裝置。
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