CN109958681B - 一种脆性材料零件安装装置及其应用 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种脆性材料零件安装装置，该装置包含：脆性材料零件，其具有凹槽，该凹槽上包含：若干卡抵槽，该卡抵槽的上部设有：凸出的抵挡部件；若干第一连接部件，其设置在卡抵槽内；第二连接部件，其设置在凹槽上，且在该第二连接部件上设有连接件；以及固定件，其用于连接并固定第一连接部件和第二连接部件。连接件用于将待连接零件与脆性材料零件连接；卡抵槽的侧壁在横向上卡抵第一连接部件的移动；抵挡部件在纵向上卡抵第一连接部件的移动。本发明的装置通过第一连接部件和第二连接部件同时将脆性零件压紧，以第二连接部件直接和待连接零件直接连接，以间接地稳定安装脆性零件，避免了脆性零件的破裂。
Description
技术领域
本发明涉及一种零件安装装置，具体涉及一种脆性材料零件安装装置及其应用。
背景技术
等离子体刻蚀是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。
等离子体刻蚀过程中采用的等离子刻蚀机，其组成一般包括等离子发生器(工业上常用RF激发法)、真空室和电极。其中，一些零部件使用脆性材料如硅、石英等，由于其材料特性比较脆，容易破裂，目前技术无法在这些材料上加工螺纹孔。
因此，这些脆性材料的安装方式及安装位置比较局限，比如通过平面接触靠重力作用和其他零件堆在一起。
发明内容
本发明的目的是提供一种脆性材料零件安装装置及其应用，该装置解决了现有技术中脆性材料的安装方式及安装位置的局限性问题，能够将脆性材料和其它零件稳定的安装在一起，同时避免了脆性材料的破裂。
为了达到上述目的，本发明提供了一种脆性材料零件安装装置，该装置包含：脆性材料零件，其具有凹槽，该凹槽上包含：若干卡抵槽，该卡抵槽的上部设有：凸出的抵挡部件；若干第一连接部件，其设置在所述的卡抵槽内；第二连接部件，其设置在所述的凹槽上，且在该第二连接部件上设有连接件；以及固定件，其用于连接并固定第一连接部件和第二连接部件。
其中，所述的连接件用于将待连接零件与所述的脆性材料零件连接。
其中，所述的卡抵槽的侧壁在横向上卡抵所述的第一连接部件的移动；所述的抵挡部件在纵向上卡抵所述的第一连接部件的移动。
所述的卡抵槽和抵挡部件由所述的凹槽向所述的脆性材料零件内部横向凹进形成。
其中，在所述的卡抵槽上方，所述的凹槽上部向所述的脆性材料零件内部横向凹进形成支撑部。
其中，所述的第二连接部件两端设置在所述的支撑部上，且与所述的支撑部相适配。
所述的卡抵槽与卡设在其内的第一连接部件相适配。
所述的卡抵槽包含：圆弧状结构。
所述的卡抵槽数目为两个，其分别设置在凹槽的两端。
所述的第一连接部件包含：基底，以及设置在所述的基底上的凸台。
其中，所述的第二连接部件套设在所述的凸台上。
所述的基底具有对称的圆弧状结构，该圆弧状结构与所述的卡抵槽的圆弧状结构相适配。
所述的凹槽上还包含：用于连接各卡抵槽的连通槽。
其中，所述的基底的长轴的长度与圆弧状结构的卡抵槽的直径相一致。
在使用状态时，所述的第一连接部件经所述的连通槽推至所述的卡抵槽内，转动以使所述的基底卡置在所述的卡抵槽内，所述的第二连接部件放置在所述的凹槽上，且套置在所述的凸台上，所述的卡抵槽与所述的基底卡紧，所述的支撑部与所述的第二连接部件卡紧。
所述的第二连接部件的下表面的形状与当所述的第一连接部件放置在所述的卡抵槽内时所述的凹槽内的空间形状相适配。
所述的固定件具有外螺纹，所述的第一连接部件具有与所述的外螺纹相适配的内螺纹，所述的连接件具有螺纹孔结构。
本发明该提供了一种等离子体刻蚀机，该刻蚀机中使用的脆性零件采用如所述的脆性材料零件安装装置。
本发明的脆性材料零件安装装置及其应用，解决了现有技术中脆性材料的安装方式及安装位置的局限性问题，具有以下优点：
本发明的脆性材料零件安装装置能够避免脆性材料与其它零件直接的安装，通过第一连接部件和第二连接部件同时将脆性零件压紧，以第二连接部件直接和待连接零件直接连接，以间接地稳定安装脆性零件，避免了脆性材料直接与待连接部件安装而导致的破裂。
附图说明
图1为本发明的脆性材料零件安装装置的爆炸图。
图2为本发明的脆性材料零件安装装置的结构示意图。
图3为本发明的脆性材料零件安装装置的剖面图。
图4为本发明的脆性材料零件的结构示意图。
图5为本发明的第一连接部件的结构示意图。
图6为本发明的第二连接部件的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和实施例对本发明的技术方案做进一步的说明。
一种脆性材料零件安装装置，如图1所示，为本发明的脆性材料零件安装装置的爆炸图，如图2所示，为本发明的脆性材料零件安装装置的结构示意图，如图3所示，为本发明的脆性材料零件安装装置的剖面图，该装置包含：脆性材料零件10，其具有凹槽11，该凹槽11上包含：若干卡抵槽11A，该卡抵槽11A的上部设有：凸出的抵挡部件1；第一连接部件20，其设置在卡抵槽11A内；第二连接部件30，其设置在凹槽11上，且在该第二连接部件30上设有连接件3；以及固定件40，其用于连接并固定第一连接部件20和第二连接部件30。
其中，连接件3用于将待连接零件与脆性材料零件10连接。
其中，卡抵槽11A的侧壁在横向上卡抵第一连接部件20的移动；抵挡部件1在纵向上卡抵第一连接部件20的移动。
卡抵槽11A和抵挡部件1由凹槽11向脆性材料零件10内部横向凹进形成。
其中，在卡抵槽11A上方，凹槽11上部向脆性材料零件10内部横向凹进形成支撑部13。第二连接部件30两端设置在支撑部13上，且与支撑部13相适配。
卡抵槽11A与卡设在其内的第一连接部件20相适配。
卡抵槽11A包含：圆弧状结构。
卡抵槽11A数目为两个，其分别设置在凹槽11的两端。
如图5所示，为本发明的第一连接部件的结构示意图，第一连接部件20包含：基底21，以及设置在基底21上的凸台22。其中，第二连接部件30套设在凸台22上。基底21具有对称的圆弧状结构，该圆弧状结构与卡抵槽11A的圆弧状结构相适配。
如图4所示，为本发明的脆性材料零件的结构示意图，凹槽11上还包含：用于连接各卡抵槽11A的连通槽11B。
其中，基底21的长轴的长度与圆弧状结构的卡抵槽11A的直径相一致。
在使用状态时，第一连接部件20经连通槽11B推至卡抵槽11A内，转动以使基底21卡置在卡抵槽11A内，第二连接部件30放置在凹槽11上，且套置在凸台22上，卡抵槽11A与基底21卡紧，支撑部13与第二连接部件30卡紧。
如图6所示，为本发明的第二连接部件的结构示意图，第二连接部件30的下表面的形状与当第一连接部件20放置在卡抵槽11A内时凹槽11内的空间形状相适配。
固定件40具有外螺纹，第一连接部件20具有与外螺纹相适配的内螺纹，连接件3具有螺纹孔结构。
一种等离子体刻蚀机，该刻蚀机中使用的脆性零件采用如上述脆性材料零件安装装置。
本发明的脆性材料零件安装装置使用方法，具体如下：
将第一连接部件20卡置在卡抵槽11A内，将第二连接部件30放置在凹槽11及第一连接部件20上，第二连接部件30的下表面与凹槽内的空间相适配，通过固定件40将第一连接部件20和第二连接部件30固定。
经上述安装方法，可以将脆性材料零件10通过脆性材料零件安装装置与待连接零件安装在一起，而且不用在脆性材料零件上加工螺纹孔，本发明的脆性材料零件安装装置能够稳固的安装脆性材料零件。
实施例1
一种脆性材料零件安装装置，该装置包含：脆性材料零件10、第一连接部件20、第二连接部件30和固定件40。
脆性材料零件10具有凹槽11，凹槽11内对称设有位于两端的卡抵槽11A和连接两个卡抵槽11A的连通槽11B。
上述卡抵槽11A的上部设有：抵挡部件1，卡抵槽11A和抵挡部件1由凹槽11向脆性材料零件10内部横向凹进形成的，该卡抵槽11A的形状为圆柱状。在卡抵槽11A上方，凹槽11上部向脆性材料零件10内部横向凹进形成支撑部13，第二连接部件30两端设置在支撑部13上，且与支撑部13相适配。
第一连接部件20的形状具有对称性，其包含基底21，以及设置在基底21上的凸台22。基底21的形状为垂直且对称切除所剩的圆柱。基底21的长轴的长度与圆弧状结构的卡抵槽11A的直径相一致。
第一连接部件20设置在卡抵槽11A内。卡抵槽11A与卡设在其内的第一连接部件20相适配。
第二连接部件30套设在凸台22上。第二连接部件30的中间设有连接件3，连接件3用于将待连接零件与脆性材料零件10连接。
第二连接部件30的下表面的形状与在第一连接部件20放置在卡抵槽11A内时凹槽11内的空间形状相适配。
固定件40具有外螺纹，第一连接部件20具有与外螺纹相适配的内螺纹，连接件3具有螺纹孔结构，通过螺纹连接。
实施例1的脆性材料零件安装装置的安装方法具体如下：
首先，将第一连接部件20放置在连通槽11B内，经连通槽11B推至卡抵槽11A内，转动第一连接部件20以使基底21卡置在卡抵槽11A内。
然后，将第二连接部件30放置在凹槽11上，且套置在凸台22上，第二连接部件30两端刚好与凹槽两端的支撑部13贴合，此时卡抵槽11A与基底21卡紧，支撑部13与第二连接部件30卡紧。
最后，在将脆性材料零件与待连接零件安装时，通过螺纹连接方式与连接件3连接。
上述脆性材料零件安装装置安装简单、方便。
实施例2
一种等离子体刻蚀机，该刻蚀机中使用的脆性零件采用实施例1的脆性材料零件安装装置。
实施例3
一种脆性材料零件安装装置，该装置包含：脆性材料零件10、第一连接部件20、第二连接部件30和固定件40。
脆性材料零件10的形状具有对称性。
脆性材料零件10的长度较长，其具有凹槽11，该凹槽11包含：均匀间隔设置在凹槽上的四个卡抵槽11A，以及连接各卡抵槽11A的连通槽11B。在四个卡抵槽11A中，有两个设置在凹槽11的两端，这两个卡抵槽11A具有圆弧状结构，有两个设置在凹槽11的中间，这两个卡抵槽11A具有对称的圆弧状结构。
在卡抵槽11A上部设有：抵挡部件1，卡抵槽11A和抵挡部件1由凹槽11向脆性材料零件10内部横向凹进形成的，该卡抵槽11A的形状为圆柱状。在卡抵槽11A上方，凹槽11上部向脆性材料零件10内部横向凹进形成支撑部13，第二连接部件30两端设置在支撑部13上，且与支撑部13相适配。
第一连接部件20的形状具有对称性。
第一连接部件20包含：基底21，以及设置在基底21上的凸台22。基底21的形状为垂直且对称切除所剩的圆柱。基底21的长轴的长度与圆弧状结构的卡抵槽11A的直径相一致。
第一连接部件20设置在卡抵槽11A内。卡抵槽11A与卡设在其内的第一连接部件20相适配。
第二连接部件30的形状具有对称性。
第二连接部件30套设在凸台22上。第二连接部件30的中间设有连接件3，连接件3用于将待连接零件与脆性材料零件10连接。
第二连接部件30的下表面的形状与在第一连接部件20放置在卡抵槽11A内时凹槽11内的空间形状相适配。
固定件40具有外螺纹，第一连接部件20具有与外螺纹相适配的内螺纹，连接件3具有螺纹孔结构，通过螺纹连接。
实施例3的脆性材料零件安装装置的安装方法与实施例1的相同。
实施例4
一种等离子体刻蚀机，该刻蚀机中使用的脆性零件采用实施例3的脆性材料零件安装装置。
综上所述，本发明的脆性材料零件安装装置及其应用，该装置通过第一连接部件和第二连接部件同时将脆性零件压紧，以第二连接部件直接和待连接零件直接连接，以间接地稳定安装脆性零件，避免了脆性材料直接与待连接部件安装而导致的破裂。
尽管本发明的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍，但应当认识到上述的描述不应被认为是对本发明的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后，对于本发明的多种修改和替代都将是显而易见的。因此，本发明的保护范围应由所附的权利要求来限定。
Claims (11)
1.一种脆性材料零件安装装置，其特征在于，该装置包含：
脆性材料零件(10)，其具有凹槽(11)，该凹槽(11)上包含：若干卡抵槽(11A)，以及，与所述卡抵槽(11A)连通的连通槽(11B)；该卡抵槽(11A)的上部设有：凸出的抵挡部件(1)；
若干第一连接部件(20)，其设置在所述的卡抵槽(11A)内；所述的第一连接部件(20)包含：基底(21)；所述的基底(21)经所述的连通槽(11B)推至所述的卡抵槽(11A)内；
第二连接部件(30)，其设置在所述的凹槽(11)上，且在该第二连接部件(30)上设有连接件(3)；以及
固定件(40)，其用于连接并固定第一连接部件(20)和第二连接部件(30)；
所述的连接件(3)用于将待连接零件与所述的脆性材料零件(10)连接；
所述的卡抵槽(11A)的侧壁在横向上卡抵所述的第一连接部件(20)的移动；所述的抵挡部件(1)在纵向上卡抵所述的第一连接部件(20)的移动。
2.根据权利要求1所述的脆性材料零件安装装置，其特征在于，所述的卡抵槽(11A)和抵挡部件(1)由所述的凹槽(11)向所述的脆性材料零件(10)内部横向凹进形成；
在所述的卡抵槽(11A)上方，所述的凹槽(11)上部向所述的脆性材料零件(10)内部横向凹进形成支撑部(13)；
所述的第二连接部件(30)两端设置在所述的支撑部(13)上，且与所述的支撑部(13)相适配。
3.根据权利要求2所述的脆性材料零件安装装置，其特征在于，所述的卡抵槽(11A)与卡设在其内的第一连接部件(20)相适配。
4.根据权利要求2所述的脆性材料零件安装装置，其特征在于，所述的卡抵槽(11A)包含：圆弧状结构。
5.根据权利要求4所述的脆性材料零件安装装置，其特征在于，所述的卡抵槽(11A)数目为两个，其分别设置在凹槽(11)的两端。
6.根据权利要求5所述的脆性材料零件安装装置，其特征在于，所述的第一连接部件(20)包含：设置在所述的基底(21)上的凸台(22)；
所述的第二连接部件(30)套设在所述的凸台(22)上。
7.根据权利要求6所述的脆性材料零件安装装置，其特征在于，所述的基底(21)具有对称的圆弧状结构，该圆弧状结构与所述的卡抵槽(11A)的圆弧状结构相适配。
8.根据权利要求7所述的脆性材料零件安装装置，其特征在于，所述的连通槽(11B)连接各卡抵槽(11A)；
所述的基底(21)的长轴的长度与圆弧状结构的卡抵槽(11A)的直径相一致；
在使用状态时，所述的第一连接部件(20)经所述的连通槽(11B)推至所述的卡抵槽(11A)内，转动以使所述的基底(21)卡置在所述的卡抵槽(11A)内，所述的第二连接部件(30)放置在所述的凹槽(11)上，且套置在所述的凸台(22)上，所述的卡抵槽(11A)与所述的基底(21)卡紧，所述的支撑部(13)与所述的第二连接部件(30)卡紧。
9.根据权利要求8所述的脆性材料零件安装装置，其特征在于，所述的第二连接部件(30)的下表面的形状与当所述的第一连接部件(20)放置在所述的卡抵槽(11A)内时所述的凹槽(11)内的空间形状相适配。
10.根据权利要求1-9中任意一项所述的脆性材料零件安装装置，其特征在于，所述的固定件(40)具有外螺纹，所述的第一连接部件(20)具有与所述的外螺纹相适配的内螺纹，所述的连接件(3)具有螺纹孔结构。
11.一种等离子体刻蚀机，其特征在于，该刻蚀机中使用的脆性零件采用如权利要求1-10中任意一项所述的脆性材料零件安装装置。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| GR01 | Patent grant | ||
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