TWI743452B - 表面安裝於電路基板之電子零件 - Google Patents
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Abstract
本發明提供一種可確保供填充焊料之間隙之電子零件。
本發明之一實施形態之電子零件係以表面安裝於電路基板之方式構成。該電子零件具備絕緣性之基體、設置於上述基體之內部之內部導體、以與上述內部導體電性連接之方式設置於上述基體之上述安裝面之第1外部電極、及以與上述內部導體電性連接之方式設置於上述基體之上述安裝面之第2外部電極。於上述第1外部電極形成第1突起,於上述第2外部電極形成第2突起。藉由該第1突起及第2突起,而可確保基體之安裝面與電路基板之間有供填充焊料之間隙。
Description
本發明係關於一種表面安裝於電路基板之電子零件。更具體而言,本發明係關於一種焊接於電路基板之電子零件。
表面安裝於電路基板之電子零件一般具備絕緣性之基體、嵌入至該基體之內部之電路元件(電感器、電容器等)、及與該電路元件電性連接之外部電極。於多數情況下電子零件係藉由焊料與電路基板接合。為了將電子零件焊接於電路基板,於該電子零件與該電路基板之間需要供填充焊料之空隙(於本說明書中有時稱為「間隙(standoff)」)。
先前之電子零件有時以其基體之安裝面與外部電極成為同一平面之方式構成。尤其是,使用光微影法製作之電子零件於其製法上以基體之安裝面與外部電極成為同一平面之方式構成。使用光微影法製作之先前之電子零件於日本專利特開2006-324489號公報中有揭示。該公報之圖1所示之電子零件係以絕緣性樹脂104與外部電極100成為同一平面之方式構成。
[專利文獻1]日本專利特開2006-324489號公報
若基體之安裝面與外部電極平坦地構成,則無法確保電子零件與電路基板之間有供填充焊料之空隙(間隙)。又,若基體之安裝面與外部電極平坦地構成,則存在如下問題:於使用接觸探針進行檢查時,不易去除形成於該外部電極之氧化皮膜,其結果,接觸探針之接觸電阻值變高,而無法準確地進行檢查。
因此,本發明之目的之一在於提供一種可確保有供填充焊料之間隙之電子零件。又,本發明之目的在於當使用接觸探針進行檢查時,容易去除形成於電子零件之外部電極之氧化皮膜。本發明之該等以外之目的可通過說明書整體之記載而明確。
本發明之一實施形態之電子零件係以表面安裝於電路基板之方式構成。該電子零件具備絕緣性之基體、設置於上述基體之內部之內部導體、以與上述內部導體電性連接之方式設置於上述基體之上述安裝面之第1外部電極、及以與上述內部導體電性連接之方式設置於上述基體之上述安裝面之第2外部電極。於本發明之一實施形態中,該基體具有位於彼此對向之位置之一組主面、位於彼此對向之位置之一組端面、及位於彼此對向之位置之一組側面。藉由該等一組主面、一組端面及一組側面,而劃定該基體之外表面。該基體之該一組主面中之於安裝時與電路基板對向之面,於本說明書中有時稱為該基體之「安裝面」。又,於需要將該一組主面彼此加以區分時,有時將其中一者稱為安裝面,將除安裝面以外之面稱為上表面。該一組端面包括第1端面及第2端面。該一組側面包括第1側面及第2側面。
於本發明之一實施形態中,上述第1外部電極以具有第1電極部分及
第2電極部分之方式構成,該第1電極部分係以與上述基體之上述安裝面成為同一平面之方式設置,該第2電極部分設置於上述基體之上述第1端面。於本發明之一實施形態中,上述第2外部電極以具有第3電極部分及第4電極部分之方式構成,該第3電極部分以與上述基體之上述安裝面成為同一平面之方式設置,該第4電極部分設置於上述基體之上述第2端面。
於本發明之一實施形態中,於上述第1外部電極形成第1突起,於上述第2外部電極形成第2突起。藉由該第1突起及第2突起,而可確保第1外部電極及第2外部電極以及基體之安裝面與電路基板之間有供填充焊料之間隙。又,於使用接觸探針檢查該電子零件之電特性時,於第1突起及第2突起之位置,該接觸探針對電子零件作用之壓力變強。藉由該壓力,可將形成於第1外部電極及第2外部電極之氧化皮膜推除,因此,可抑制接觸探針之接觸電阻值之上升,從而可準確地進行檢查。
於本發明之一實施形態中,上述第1突起係形成於上述第1外部電極中之上述第1端面側之端部,又,上述第2突起係形成於上述第2外部電極中之上述第2端面側之端部。藉此,可增大上述基體之安裝面與電路基板之間之間隙。
於本發明之一實施形態中,上述第1突起及上述第2突起分別以距上述基體之上述安裝面之高度成為5μm以上之方式形成。於在第1外部電極及第2外部電極之表面形成薄膜(例如,Ni鍍覆層或Sn鍍覆層)之情形時,上述第1突起及上述第2突起之高度係指不包含該薄膜之高度。例如,於在第1外部電極及第2外部電極之表面形成Sn鍍覆層之情形時,上述第1突起及上述第2突起以距上述基體之上述安裝面之高度不包含該Sn鍍覆層而成為5μm以上之方式形成。於本發明之一實施形態中,上述第1突起及上述
第2突起分別以距上述基體之上述安裝面之高度成為50μm以下之方式形成。
於本發明之一實施形態中,上述基體係以上述第1端面與上述第2端面之間隔大於上述第1側面與上述第2側面之間隔且上述第1側面與上述第2側面之間隔大於上述上表面與上述安裝面之間隔之方式形成。藉此,即便於低背之電子零件中,亦可確保第1外部電極之第1電極部分及第2外部電極之第3電極部分以及基體之安裝面與電路基板之間有供填充焊料之間隙。
於本發明之一實施形態中,上述基體係以上述第1端面與上述第2端面之間隔大於上述第1側面與上述第2側面之間隔且上述上表面與上述安裝面之間隔大於上述第1側面與上述第2側面之間隔之方式形成。藉此,即便於高背之電子零件中,亦可確保第1外部電極之第1電極部分及第2外部電極之第3電極部分以及基體之安裝面與電路基板之間有供填充焊料之間隙。
於本發明之一實施形態中,上述基體包含絕緣性之樹脂及填料。根據該實施形態,藉由使用密度低於上述樹脂之填料,而可使該電子零件輕量化。
於本發明之一實施形態中,上述絕緣性之樹脂為透明樹脂。根據該實施形態,可視認設置於該樹脂內之內部導體,因此,安裝電子零件時可確認其方向正確。
於本發明之一實施形態中,於上述第1外部電極及上述第2外部電極之各自之表層設置Sn層。藉此,可使上述第1外部電極及上述第2外部電極之焊料潤濕性提昇。該Sn層可經由Ni層而設置於上述第1外部電極及上
述第2外部電極之各者。
根據本說明書之揭示,其目的之一在於提供一種可確保供填充焊料之間隙之電子零件。又,本發明之目的在於當使用接觸探針進行檢查時容易去除形成於電子零件之外部電極之氧化皮膜。於以基體之安裝面與外部電極成為同一平面之方式構成之電子零件中,可確保供填充焊料之間隙。
10:基體
11:絕緣體本體
12:上表面層
20:內部導體
20L:線圈部
21:柱狀導體
22:連結導體
23:引出部
24:梳齒阻擋部
30:外部電極
30A:第1電極部分、第3電極部分
30A1:平坦面
30A2:彎曲面
30B:第2電極部分、第4電極部分
31:第1外部電極
32:第2外部電極
100:電子零件
100A:積層體
101:第1主面
102:第2主面
103:第1端面
104:第2端面
105:第1側面
106:第2側面
110:絕緣層
112:絕緣層
113:絕緣層
114:絕緣層
115:絕緣層
116:絕緣層
200:電路基板
211:柱狀導體
212:柱狀導體
221:第1連結導體
222:第2連結導體
231:引出部
232:引出部
241:梳齒阻擋部
242:梳齒阻擋部
301:導體層
302:導體層
301a:突起部
302a:突起部
305:突起
306:突起
401a:毛邊
402a:毛邊
DB:刀片
H1:高度
H2:高度
L1(圖4):尺寸
L2(圖4):尺寸
L1(圖7):膜層
L2(圖7):電極層
L3:電極層
L4:電極層
L5:電極層
L6:電極層
S:間隙
S1:接合面
S2:接合面
S3:接合面
S4:接合面
V1:通孔導體
V2:通孔導體
W:晶圓
W1:寬度
W2:寬度
X:軸
Y:軸
Z:軸
圖1係本發明之一實施形態之電子零件之概略透視立體圖。
圖2係圖1之電子零件之概略透視側視圖。
圖3係圖1之電子零件之概略透視俯視圖。
圖4係將圖1之電子零件之安裝面附近放大之放大剖視圖。
圖5係自安裝面側觀察圖1之電子零件時之立體圖。
圖6係將圖1之電子零件之上下翻轉而進行表示之概略透視側視圖。
圖7A~F係構成圖1之電子零件之各電極層之概略俯視圖。
圖8A係表示用以將晶圓製成晶片以獲得圖1之電子零件之晶片化步驟之模式圖。
圖8B係表示用以將晶圓製成晶片以獲得圖1之電子零件之晶片化步驟之模式圖。
圖8C係表示用以將晶圓製成晶片以獲得圖1之電子零件之晶片化步驟之模式圖。
圖8D係表示用以將晶圓製成晶片以獲得圖1之電子零件之晶片化步驟之模式圖。
以下,適當參照圖式,對本發明之各種實施形態進行說明。再者,對複數個圖式中共通之構成元件,於該複數個圖式中標附相同之參照符號。需注意,為了便於說明,各圖式中並不一定會按照準確的比例進行記載。
圖1係本發明之一實施形態之電子零件之概略透視立體圖,圖2係其概略透視側視圖,圖3係其概略透視俯視圖。於該等圖中,作為電子零件之一例,示出表面安裝用之線圈零件。該線圈零件於電子電路中用於例如去除雜訊。該線圈零件可為組入至電源線中之功率電感器,亦可為於信號線中使用之電感器。又,可應用本發明之電子零件並不限於線圈零件。本發明除可應用於線圈零件以外,還可應用於例如電容器零件、電阻零件、多層配線基板及該等以外之各種電子零件。
電子零件100具備基體10、內部導體20及外部電極30。於本說明書中,除文中另作解釋之情形之外,電子零件100之「寬度」方向、「長度」方向及「厚度」方向分別設為圖1之「X」方向、「Y」方向及「Z」方向。
基體10具有第1主面101、第2主面102、第1端面103、第2端面104、第1側面105及第2側面106。基體10藉由該等6個面而劃定其外表面。第2主面102與電路基板(未圖示)對向,因此,於本說明書中有時稱為「安裝面」。
於本發明之一實施形態中,基體10形成為大致長方體形狀。基體10形成為於X軸方向上具有寬度方向、於Y軸方向上具有長度方向、於Z軸方向上具有高度方向之長方體形狀。基體10係以例如寬度尺寸(X方向之尺寸)成為0.05~0.3mm、長度尺寸(Y方向之尺寸)成為0.1~0.6mm、高度
尺寸(Z方向之尺寸)成為0.05~0.5mm之方式形成。
於本發明之一實施形態中,基體10係以其長度尺寸大於寬度尺寸且其寬度尺寸大於高度尺寸之方式形成。於該情形時,電子零件100成為低背。於本發明之一實施形態中,基體10係以其高度尺寸大於長度尺寸且其長度尺寸大於寬度尺寸之方式形成。於該情形時,電子零件100成為高背。
基體10具有絕緣體本體11及上表面層12。內部導體20係嵌入至絕緣體本體11中。於本發明之一實施形態中,上表面層12係印刷有文字或數字(例如電子零件100之型號)之印刷層。
於本發明之一實施形態中,絕緣體本體11係由分散有多個填料粒子之樹脂構成。於本發明之其他實施形態中,絕緣體本體11係由不包含填料粒子之樹脂構成。於本發明之一實施形態中,絕緣體本體11所包含之樹脂係絕緣性優異之熱硬化性之樹脂。
於本發明之一實施形態中,上表面層12係與絕緣體本體11同樣地,由分散有多個填料粒子之樹脂構成。上表面層12亦可由樹脂膜構成。
作為用於絕緣體本體10之熱硬化性樹脂之例,可列舉苯并環丁烯(BCB,benzocyclobutene)、環氧樹脂、酚系樹脂、不飽和聚酯樹脂、乙烯酯樹脂、聚醯亞胺樹脂(PI,Polyimide)、聚苯醚樹脂(PPO,Polyphenylene Oxide)、雙馬來醯亞胺三嗪氰酸酯樹脂、富馬酸酯樹脂、聚丁二烯樹脂、聚乙烯苄基醚樹脂。
用作絕緣體本體10之材料之樹脂材料亦可為各種透明樹脂。藉由使用透明樹脂作為絕緣體本體10之材料,而可自電子零件100之外部視認內部導體20。藉此,安裝電子零件100時可目視確認其方向正確。
於本發明之一實施形態中,用於絕緣體本體10之填料粒子例如為鐵氧體材料之粒子、金屬磁性粒子、SiO2或Al2O3等無機材料粒子或玻璃系粒子。用於絕緣體本體10之鐵氧體材料之粒子例如為Ni-Zn鐵氧體之粒子或Ni-Zn-Cu鐵氧體之粒子。用於絕緣體本體10之金屬磁性粒子為於未氧化之金屬部分呈現磁性之材料,例如為包含未氧化之金屬粒子或合金粒子之粒子。可應用於本發明之金屬磁性粒子包含例如Fe、合金系之Fe-Si-Cr、Fe-Si-Al、或者Fe-Ni、非晶質之Fe-Si-Cr-B-C或者Fe-Si-B-Cr、或該等混合材料之粒子。由該等粒子獲得之壓粉體亦可用作絕緣體本體10用之金屬磁性粒子。進而,於該等粒子或壓粉體之表面進行熱處理而形成氧化膜者亦可用作絕緣體本體10用之金屬磁性粒子。絕緣體本體10用之金屬磁性粒子係藉由例如霧化法而製造。又,絕緣體本體10用之金屬磁性粒子可使用霧化法以外之公知之方法進行製造。又,亦可使用作為絕緣體本體10用之金屬磁性粒子而市售之金屬磁性粒子。作為市售之金屬磁性粒子,例如有Epson Atmix(股)公司製造之PF-20F、日本霧化加工(股)公司製造之SFR-FeSiAl。
用於絕緣體本體10之填料粒子亦可製成由密度低於該絕緣體本體10中使用之樹脂之材料構成的粒子。藉此,可使電子零件100輕量化。
內部導體20係設置於基體10之內部。於本發明之一實施形態中,內部導體20具有複數個柱狀導體21及複數個連結導體22,由該等複數個柱狀導體21及連結導體22構成線圈部20L。
複數個柱狀導體21形成為具有與Z軸方向平行之軸心之大致圓柱形狀。於本發明之一實施形態中,複數個柱狀導體21係以其軸直方向(垂直於軸心之方向)之剖面形狀成為圓形、橢圓形或長圓形之方式構成。於複
數個柱狀導體21之軸直方向之剖面形成為橢圓形或長圓形之情形時,其長軸/短軸之比成為3以下。複數個柱狀導體21由在大致Y軸方向上彼此隔開而配置之2個導體群構成。其中一個導體群具備複數個第1柱狀導體211。該等複數個第1柱狀導體211之各者係與相鄰之第1柱狀導體211於X軸方向上隔著特定之間隔而排列。另一個導體群具備複數個第2柱狀導體212。該等複數個第2柱狀導體212亦同樣地,與相鄰之第2柱狀導體212於X軸方向上隔著特定之間隔而排列。
第1及第2柱狀導體211、212分別以大致相同直徑及大致相同高度構成。於圖示之例中,第1及第2柱狀導體211、212分別各設置有5根。如下所述,第1及第2柱狀導體211、212係藉由於Z軸方向上積層複數個通孔導體而構成。再者,所謂大致相同直徑,係用以抑制電阻之增加,且係指於同一方向上觀察之尺寸之偏差處於例如10%以內,所謂大致相同高度,係用以確保各層之疊放精度,且係指高度之偏差處於例如10μm之範圍。
複數個連結導體22係與XY平面平行地形成,由在Z軸方向上彼此對向之2個導體群構成。其中一個導體群具有複數個第1連結導體221,另一個導體群具有複數個第2連結導體222。於圖示之實施形態中,第1連結導體221由5個連結導體構成,第2連結導體222由4個連結導體構成。
複數個第1連結導體221之各者係配置於第1柱狀導體211與第2柱狀導體212之間。複數個第1連結導體221之各者沿Y軸方向延伸,與相鄰之第1連結導體221於X軸方向上隔著間隔而排列。該等複數個第2連結導體222之各者係配置於第1柱狀導體211與第2柱狀導體212之間。複數個第2連結導體222之各者相對於Y軸方向傾斜特定角度地延伸,與相鄰之第2連結導體222於X軸方向上隔著間隔而排列。
第1連結導體221與特定之一組柱狀導體211、212之各者之上端連接,第2連結導體222與特定之一組柱狀導體211、212之各者之下端連接。第1及第2柱狀導體211、212與第1及第2連結導體221、222以於X軸方向之四周描繪矩形之螺旋之方式彼此連接。藉此,於基體10之內部,形成有於X軸方向上具有軸心(線圈軸)之開口形狀為矩形之線圈部20L。
內部導體20進而具有引出部23及梳齒阻擋部24,經由該等而使線圈部20L與外部電極30(31、32)連接。
內部導體20係由例如Cu(銅)、Al(鋁)、Ni(鎳)、Ag(銀)等導電性優異之金屬材料形成。
引出部23具有第1引出部231及第2引出部232。第1引出部231與構成線圈部20L之一端之第1柱狀導體211之下端連接,第2引出部232與構成線圈部20L之另一端之第2柱狀導體212之下端連接。第1及第2引出部231、232與第2連結導體222配置於相同之XY平面上,與Y軸方向平行地形成。
梳齒阻擋部24具有第1梳齒阻擋部241及第2梳齒阻擋部242。第1梳齒阻擋部241與第2梳齒阻擋部242係以於Y軸方向上彼此隔開之方式配置。第1梳齒阻擋部241及第2梳齒阻擋部242分別具有複數個齒。如圖1所示,第1及第2梳齒阻擋部241、242係以其各者之齒之前端朝向圖1中之上方之方式構成。於基體10之兩端面103、104及安裝面102,梳齒阻擋部241、242之一部分露出。第1梳齒阻擋部241之各個齒係於其下端附近或其以外之位置與相鄰之齒電性連接,同樣地,第2梳齒阻擋部242之各個齒係於其下端附近或其以外之位置與相鄰之齒電性連接。
於第1及第2梳齒阻擋部241、242各者之特定之齒之間,分別連接第1及第2引出部231、232(參照圖3)。
於第1及第2梳齒阻擋部241、242各者之底部,分別設置構成外部電極30之基底層之導體層301、302(參照圖2)。導體層301、302係由例如Cu(銅)、Al(鋁)、Ni(鎳)、Ag(銀)等金屬材料形成。
導體層301及導體層302均形成為平板狀。於導體層301之第1端面103側之端部形成突起部301a,於導體層302之第2端面104側之端部形成突起部302a。該突起部301a及突起部302a如下所述,亦可於將晶圓單片化而製成電子零件之過程中利用晶圓切割機之刀片而形成。於本發明之一實施形態中,突起部301a係以朝向電子零件100之內側(即,朝向突起部302a)彎曲之方式形成。同樣地,突起部302a係以朝向電子零件100之內側(即,朝向突起部301a)彎曲之方式形成。
於該導體層301及導體層302之表面形成外部電極30。外部電極30係表面安裝用之外部端子。外部電極30具有第1外部電極31及第2外部電極32。第1外部電極31及第2外部電極32係以於Y軸方向上彼此隔開之方式配置。第1外部電極31及第2外部電極32係形成於基體10之安裝面102。第1外部電極31除可形成於基體10之安裝面102以外,亦可形成於端面103。又,第2外部電極32除可形成於基體10之安裝面102以外,亦可形成於端面104。
於本發明之一實施形態中,如圖2所示,第1及第2外部電極31、32具有各自將絕緣體層10之安裝102之Y軸方向兩端部被覆之第1及第3電極部分30A、及跨及特定之高度而將絕緣體層10之兩端面103、104被覆之第2及第4電極部分30B。第1及第3電極部分30A經由導體層301、302而與第1及第2梳齒阻擋部241、242之底部電性連接。第2及第4電極部分30B係以將第1及第2梳齒阻擋部241、242之側部被覆之方式形成於絕緣體層10之
端面103、104。於第1及第2梳齒阻擋部241、242之側部自第1端面103及第2端面104露出之情形時,第2及第4電極部分30B亦與第1及第2梳齒阻擋部241、242之側部電性連接。
於本發明之一實施形態中,於第1外部電極31之第1端面103側之端部形成突起305,於第2外部電極32之第2端面104側之端部形成突起306。於本發明之一實施形態中,突起305係形成於在Y方向上與導體層301之突起部301a對應之位置。又,突起306係形成於在Y方向上與導體層302之突起部302a對應之位置。
於本發明之一實施形態中,第1外部電極31及第2外部電極32由2層鍍覆層構成。該2層鍍覆層具有跨及特定之高度而將例如導體層301、導體層302及絕緣體層10之兩端面103、104被覆之第1鍍覆層、及以覆蓋該第1鍍覆層之方式形成之第2鍍覆層。第1鍍覆層為了保護導體層301及導體層302而以覆蓋導體層301及導體層302之整個下表面之方式形成。於本發明之一實施形態中,第1鍍覆層係包含鎳(Ni)之鎳鍍覆層。於本發明之一實施形態中,第2鍍覆層係包含錫(Sn)之錫鍍覆層。
於本發明之一實施形態中,第1外部電極31及第2外部電極32係由導電性材料之膏形成。該導電性膏例如為Ag膏。
參照圖4及圖5,進一步對本發明之一實施形態之電子零件100之第1外部電極31及第2外部電極32進行說明。圖4係將電子零件100之安裝面附近放大而進行表示之放大剖視圖,圖5係自安裝面側觀察電子零件100時之立體圖。
如圖示所示,第1外部電極31及第2外部電極32之第1及第3電極部分30A具有平坦之平坦面30A1及與該平坦面30A1之端面103側之端部連結並由彎
曲之面構成之彎曲面30A2。於本發明之一實施形態中,第1外部電極31及第2外部電極32之平坦面30A1係以與絕緣體本體11之底面102成為同一平面之方式形成。藉由第1外部電極31之彎曲面30A2劃定突起305之外表面,藉由第2外部電極32之彎曲面30A2劃定突起306之外表面。
於本發明之一實施形態中,突起305係以距導體層301之下表面之高度H2(即,距電子零件100之安裝面102之高度)成為5μm以上且50μm以下、6μm以上且30μm以下或7μm以上且15μm以下之方式形成。為了實現此種突起305之高度,導體層301之突起部301a以距導體層301之下表面之高度H1成為1μm以上且45μm以下、2μm以上且25μm以下或3μm以上且10μm以下之方式形成。
於本發明之一實施形態中,突起305係以其電子零件100之長度方向(Y方向)之尺寸L2成為電子零件100之長度方向之尺寸L1之1/100~1/10之方式形成。
突起306以具有與突起305相同之尺寸之方式形成。
如此,於外部電極31之表面形成突起305並於外部電極32之表面形成突起306,藉此,於電子零件100之安裝102與安裝基板200之間,形成間隙S。該間隙S係由電子零件100之安裝面102、安裝基板200之表面、及第1外部電極31、第2外部電極32之平坦面30A1、彎曲面30A2劃定。於將電子零件100焊接於安裝基板200時,於該間隙S填充焊料。
又,於使用接觸探針(未圖示)檢查該電子零件之電特性時,於突起305及突起306之位置,該接觸探針對電子零件100作用之壓力變強。藉由該壓力,可將形成於第1外部電極31及第2外部電極32之氧化皮膜推除,因此,可抑制接觸探針之接觸電阻值之上升,從而可準確地進行檢查。
其次,參照圖6及圖7,對電子零件100之積層構造進行說明。圖6係將電子零件100之上下翻轉而進行表示之概略透視側視圖,圖7A~圖7F分別為圖6中之膜層L1及電極層L2~L6之概略俯視圖。其中,於圖6及圖7中,省略外部電極30。
如圖6所示,電子零件100由膜層L1及複數個電極層L2~L6之積層體構成。電極層L2~L6經由接合面S1~S4(圖6)而於高度方向上積層。膜層L1及電極層L2~L6包含構成該等各層之基體10及內部導體20之元件。該膜層L1及複數個電極層L2~L6積層而成之積層體係藉由增層(build up)工法而製造。於本實施形態中,係藉由自上表面101朝向安裝面102於Z軸方向上依序積層膜層L1及電極層L1~L6而製作。與此相反,亦可自安裝面102朝向上表面101依序積層膜層L1及電極層L1~L6。又,層數並無特別限定,此處對6層之情形進行說明。膜層L1及電極層L1~L6積層而成之積層體並非由元件單元(零件單元)製成,而是由包含多個元件(零件)之晶圓單元製成。於圖6中,僅示出由晶圓單元製成之積層體中之與一個元件對應之部分。
膜層L1由形成基體10之上表面101之上表面層12構成(圖6A)。電極層L2包含構成基體10(絕緣體本體11)之一部分之絕緣層110(112)及第1連結導體221(圖6B)。電極層L3包含絕緣層110(113)及構成柱狀導體211、212之一部分之通孔導體V1(圖6C)。電極層L4除包含絕緣層110(114)、通孔導體V1以外,還包含構成梳齒阻擋部241、242之一部分之通孔導體V2(圖6D)。電極層L5除包含絕緣層110(115)、通孔導體V1、V2以外,還包含引出部231、232或第2連結導體222(圖6E)。而且,電極層L6包含絕緣層110(116)及通孔導體V2(圖6F)。
繼而,參照圖8A~圖8D,對電子零件100之製造步驟進行說明。首先,如圖8A所示,使用例如上述增層工法,製成具有圖6所示之積層構造之晶圓W。
其次,將該晶圓W切割為單元零件之大小。晶圓W之切割係使用例如晶圓切割機之刀片DB而進行。晶圓W之電極層L2~L6之各者係以如下方式構成,即,特定之單元零件之導體層301與和該特定之單元零件於長度方向上相鄰之其他單元零件之導體層302之間隔W2稍微窄於晶圓切割機之刀片DB之寬度W1。於本發明之一實施形態中,該間隔W2與W1相比大0.1%~10%左右。於本發明之一實施形態中,W2與W1相比僅大0.5%、1.0%、1.5%、2.0%、2.5%、3.0%、3.5%、4.0%、4.5%、5.0%、5.5%、6.0%、6.5%、7.0%、7.5%、8.0%、8.5%、9.0%、9.5%、10.0%、20.0%、或30.0%。
刀片DB自紙面之近前朝向遠處或自紙面之遠處朝向近前地、侵入至形成於晶圓W之特定之單元零件之導體層301與和該特定之單元零件於長度方向上相鄰之其他單元零件之導體層302之間。藉此,晶圓W如圖8B所示單片化(晶片化)為元件單元。
晶圓W係使用寬度為W1之刀片DB而被單片化,因此,於將晶圓W切斷時,刀片DB與導體層301及導體層302之側面接觸。藉此,如圖8B所示,於單片化之積層體100A中,於導體層301及導體層302之端部之各者形成毛邊401a及毛邊402a。
其次,使該毛邊401a及毛邊402a朝向積層體100A之內側彎曲,而形成突起部301a及突起部302a。以此方式形成之突起部301a及突起部302a如圖8C所示,向彼此靠近之方向彎曲。使毛邊401a及毛邊402a彎曲之步
驟係藉由例如滾筒加工而進行。
其次,如圖8D所示,於形成有突起部301a之導體層301及形成有突起部302a之導體層302,分別形成外部電極31及外部電極32。外部電極31及外部電極32例如為包括Ni鍍覆層及Sn鍍覆層之2層鍍覆層。藉此,於與外部電極31之突起部301a相當之位置,形成突起305,於與外部電極32之突起部302a相當之位置,形成突起306。於本發明之一實施形態中,導體層301與突起部301a、及導體層302與突起部302a係由相同之材料連續地形成。
如此,藉由使形成有多個電子零件(外部電極31、32除外)之晶圓單片化並於該單片化之積層體形成外部電極31、32,而可獲得電子零件100。
本說明書中所說明之各構成要素之尺寸、材料及配置並不限定於實施形態中明確地說明者,該各構成要素可變化為具有本發明之範圍內所包含之任意之尺寸、材料及配置。又,亦可將本說明書中未明確地說明之構成要素附加至所說明之實施形態,亦可省略各實施形態中所說明之構成要素之一部分。
10‧‧‧基體
11‧‧‧絕緣體本體
12‧‧‧上表面層
20‧‧‧內部導體
20L‧‧‧線圈部
21‧‧‧柱狀導體
22‧‧‧連結導體
23‧‧‧引出部
24‧‧‧梳齒阻擋部
30‧‧‧外部電極
30A‧‧‧第1電極部分
30B‧‧‧第2電極部分
31‧‧‧外部電極
32‧‧‧外部電極
100‧‧‧電子零件
101‧‧‧第1主面
102‧‧‧第2主面
103‧‧‧第1端面
104‧‧‧第2端面
211‧‧‧柱狀導體
212‧‧‧柱狀導體
221‧‧‧第1連結導體
222‧‧‧第2連結導體
231‧‧‧引出部
232‧‧‧引出部
241‧‧‧梳齒阻擋部
242‧‧‧梳齒阻擋部
301‧‧‧導體層
302‧‧‧導體層
301a‧‧‧突起部
302a‧‧‧突起部
305‧‧‧突起
306‧‧‧突起
X‧‧‧軸
Y‧‧‧軸
Z‧‧‧軸
Claims (13)
- 一種電子零件,其係表面安裝於電路基板之被動電子零件,且具備:絕緣性之基體,其具有於安裝時與上述電路基板對向之安裝面、以及以彼此對向之方式配置並藉由上述安裝面而連結之第1端面及第2端面;線圈部,其設置於上述基體之內部,且於與上述電路基板平行之方向上具有軸心;第1外部電極,其以與上述線圈部電性連接之方式設置於上述基體之上述安裝面;及第2外部電極,其以與上述線圈部電性連接之方式設置於上述基體之上述安裝面;且上述第1外部電極具有平坦面,且形成有第1突起,上述第2外部電極具有平坦面,且形成有第2突起。
- 如請求項1之電子零件,其中上述第1突起係形成於上述第1外部電極中之上述第1端面側之端部,上述第2突起係形成於上述第2外部電極中之上述第2端面側之端部。
- 如請求項1或2之電子零件,其中上述第1突起及上述第2突起分別以距上述基體之上述安裝面之高度成為5μm以上之方式形成。
- 如請求項1或2之電子零件,其中上述第1突起及上述第2突起分別以 距上述基體之上述安裝面之高度成為50μm以下之方式形成。
- 如請求項1或2之電子零件,其中上述基體具有以與上述安裝面對向之方式配置並藉由上述第1端面及上述第2端面而與上述安裝面連結之上表面、以及以彼此對向之方式配置並藉由上述安裝面而連結之第1側面及第2側面,上述基體係以上述第1端面與上述第2端面之間隔大於上述第1側面與上述第2側面之間隔且上述第1側面與上述第2側面之間隔大於上述上表面與上述安裝面之間隔之方式形成。
- 如請求項1或2之電子零件,其中上述基體具有以與上述安裝面對向之方式配置並藉由上述第1端面及上述第2端面而與上述安裝面連結之上表面、以及以彼此對向之方式配置並藉由上述安裝面而連結之第1側面及第2側面,上述基體係以上述第1端面與上述第2端面之間隔大於上述第1側面與上述第2側面之間隔且上述上表面與上述安裝面之間隔大於上述第1側面與上述第2側面之間隔之方式形成。
- 如請求項1或2之電子零件,其中上述基體包含絕緣性之樹脂及填料。
- 如請求項7之電子零件,其中上述絕緣性之樹脂為透明樹脂。
- 如請求項1或2之電子零件,其中於上述第1外部電極及上述第2外部電極之各自之表層設置有Sn層。
- 如請求項9之電子零件,其中上述Sn層經由Ni層而設置於上述第1外部電極及上述第2外部電極之各者。
- 如請求項2之電子零件,其中上述第1突起朝向上述第2突起彎曲。
- 如請求項11之電子零件,其中上述第2突起朝向上述第1突起彎曲。
- 如請求項1或2之電子零件,其中上述第1外部電極具有以與上述基體之上述安裝面成為同一平面之方式設置之第1電極部分、及設置於上述基體之上述第1端面之第2電極部分,上述第2外部電極具有以與上述基體之上述安裝面成為同一平面之方式設置之第3電極部分、及設置於上述基體之上述第2端面之第4電極部分,上述第1突起形成於第1外部電極之上述第1電極部分,上述第2突起形成於上述第2外部電極之上述第3電極部分。
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