TWI730583B - 薄膜剝離裝置 - Google Patents

Abstract

本創作係為一種薄膜剝離裝置，主要包括一輸送單元，輸送單元之前輸送段之後端具有一阻擋輾壓單元，供平板上至少一薄膜之前端緣產生皺摺；一第一內吸氣筒係定位於前輸送段之後端上方，第一內吸氣筒之筒身下半部設有至少一第一進氣孔並連接一吸氣裝置；而第一外滾筒係以可自轉之方式同軸連接第一內吸氣筒，第一外滾筒之筒身設有複數個繞著圓周間隔併列之第一排孔，任一第一排孔具有軸向間隔排列之複數個第一通孔，藉以在第一外滾筒轉動時，讓第一外滾筒之筒身下半部向上吸附薄膜之前端緣，並同步帶動薄膜捲動以剝離薄膜。

Description

薄膜剝離裝置

本創作係有關一種薄膜剝離裝置，尤指一種可將薄膜順暢且全面性剝離者。

在印刷電路板的製造過程中，基板在曝光之前，皆會在基板之上、下表面分別形成光阻層及黏附於光阻層表面之薄膜，在曝光之後，再將薄膜剝離以使光阻層外露，以進行後續之顯影及蝕刻程序。而早期剝膜機剝離薄膜之方式，主要是藉由一前輸送段以輸送上述印刷電路板之類的薄板，使沿著由前朝後的輸送方向移動，薄板經由一阻擋單元之阻擋定位，再經由一組壓花輪在薄膜表面上滾壓之後，讓薄板繼續延著一後輸送段向後輸送，並以一組黏輪將前端緣產生皺摺之薄膜逐步剝離。其在實際剝離薄膜的過程中發現，由於基板本身之厚度不大，容易會有彎曲不平的現象，當外徑一致的長直筒形黏輪黏著薄膜時，各個黏著位置之黏著力並不全然相同，且由於薄膜之厚度很薄且脆弱，常無法順暢且全面性的讓薄膜逐漸剝離，仍舊會有部份的薄膜脆片黏附於光阻層之表面上，並常由於薄膜脆片之面積太小而無法被偵測到，此種現象將會在整個印刷電路板的製造過程中，讓基板面臨報廢的結果。

因此，為了解決上述問題，目前即有一種「自動剝膜機」，其主要包括一輸送單元、一阻擋單元、一夾持單元、一輾壓單元、一第一吹氣單元以及一剝膜單元。其剝膜方法係先以輸送單元輸送平板，再以阻擋單元阻擋於平板之前端緣，同時以夾持單元夾持定位平板，之後再使輾壓單元移動以輾壓平板之前端緣，使平板上之至少一薄膜之前端緣產生至少一平行於平板前端緣之皺摺，同時以第一吹氣單元吹動並掀起至少一薄膜前端緣所產生之至少一皺摺，而在輾壓單元及夾持單元復位之後，讓平板繼續移動，使剝膜單元延著至少一薄膜之前端緣將至少一薄膜剝離。

惟，上述剝膜機主要是適用於厚度較厚平板的薄膜剝離使用，但是對於厚度在0.1mm以下，甚至於0.04mm的薄板或是軟板而言，其在實際薄膜剝離的過程中，由於剝膜單元主要是以垂直於平板板面之方向拉起薄膜，容易會有同時拉動或捲起整個平板之現象產生，而讓基板因此而報廢、影響生產效率，甚至於讓剝膜機之機件損壞。有鑑於此，為了提供一種有別於習用技術之結構，並改善上述之缺點，發明人積多年的經驗及不斷的研發改進，遂有本創作之產生。

本創作之一目的在提供一種薄膜剝離裝置，俾能解決習用剝膜機在薄板或是軟板的薄膜剝離過程中，容易會有同時拉動或捲起整個平板的問題，而能使薄膜能順暢且全面性的與基板分離，以提高作業品質，增加良率，並有效避免因捲起整個平板所產生之機件損壞，或因平板報廢所造成之材料浪費。

為達上述之目的，本創作所設之薄膜剝離裝置係供剝離一平板之一基板上之至少一薄膜，該薄膜剝離裝置包括一輸送單元、一阻擋輾 壓單元、一第一內吸氣筒以及一第一外滾筒。其中之輸送單元係包括一前輸送段及一後輸送段，供輸送平板使沿著薄膜剝離裝置之前端朝向後端之方向移動；阻擋輾壓單元位於前輸送段之後端，供阻擋並輾壓平板之前端緣，使至少一薄膜之前端緣產生平行於平板前端緣之一皺摺；第一內吸氣筒係定位於前輸送段之後端上方並平行平板之前端緣，第一內吸氣筒之筒身下半部設有至少一第一進氣孔，且第一內吸氣筒連接一吸氣裝置，供吸氣讓至少一第一進氣孔產生負壓，以向上吸引並掀起薄膜前端緣上方之皺摺；而第一外滾筒係以可自轉之方式同軸連接第一內吸氣筒，第一外滾筒之筒身設有複數個繞著圓周間隔併列之第一排孔，任一第一排孔具有軸向間隔排列之複數個第一通孔，藉以在第一外滾筒轉動時，讓第一外滾筒之筒身下半部之複數個第一排孔與第一內吸氣筒之至少一第一進氣孔連通，供向上吸附薄膜之前端緣，並同步帶動薄膜捲動以剝離薄膜。

實施時，第一進氣孔係為繞著第一內吸氣筒之筒身下半部所開設之弧形孔，且複數個第一進氣孔係以第一內吸氣筒之軸方向間隔併列。

實施時，本創作更包括一第一吹氣單元，第一吹氣單元定位於後輸送段之前端上方，且第一吹氣單元之前端具有一第一吹氣口，第一吹氣口平行平板之前端緣，供吹起薄膜前端緣上方之皺摺。

實施時，本創作更包括一第一中間套筒，第一中間套筒係以可相對於第一外滾筒軸向移動之方式同軸連接第一外滾筒，並套接第一內吸氣筒；第一中間套筒之筒身設有複數個繞著圓周間隔併列之第一中間排孔，任一第一中間排孔包括複數個軸向間隔排列且具有不同軸向長度之第一中間通孔，且複數個第一中間排孔之複數個第一中間通孔對應第一外滾 筒之複數個第一通孔，藉以在第一中間套筒軸向移動時，調整複數個第一中間通孔與複數個第一通孔之連通狀態。

實施時，第一中間排孔之軸線中段具有最大長度之一第一中間通孔，最大長度第一中間通孔兩側之其他複數個第一中間通孔係以長度漸短之方式分別往第一中間排孔之軸線兩端間隔排列。

實施時，本創作更包括一第二內吸氣筒及一第二外滾筒，第二內吸氣筒定位於前輸送段之後端下方並平行平板之前端緣，第二內吸氣筒之筒身上半部設有至少一第二進氣孔，第二內吸氣筒連接吸氣裝置，供吸氣讓至少一第二進氣孔產生負壓，以向下吸引並掀起薄膜前端緣下方之皺摺；第二外滾筒係以可自轉之方式同軸連接第二內吸氣筒，第二外滾筒之筒身設有複數個繞著圓周間隔併列之第二排孔，任一第二排孔具有軸向間隔排列之複數個第二通孔，藉以在第二外滾筒轉動時，讓第二外滾筒之筒身上半部之複數個第二排孔與第二內吸氣筒之至少一第二進氣孔連通，供向下吸附薄膜之前端緣，並同步帶動薄膜捲動以剝離薄膜。

實施時，第二進氣孔係為繞著第二內吸氣筒之筒身上半部所開設之弧形孔，且複數個第二進氣孔係以第二內吸氣筒之軸方向間隔併列。

實施時，本創作更包括一第二吹氣單元，第二吹氣單元定位於後輸送段之前端下方，且第二吹氣單元之前端具有一第二吹氣口，第二吹氣口平行平板之前端緣，供吹起薄膜前端緣下方之皺摺。

實施時，本創作更包括一第二中間套筒，第二中間套筒係以可相對於第二外滾筒軸向移動之方式同軸連接第二外滾筒，並套接第二內吸氣筒；第二中間套筒之筒身設有複數個繞著圓周間隔併列之第二中間排 孔，任一第二中間排孔包括複數個軸向間隔排列且具有不同軸向長度之第二中間通孔，且複數個第二中間排孔之複數個第二中間通孔對應第二外滾筒之複數個第二通孔，藉以在第二中間套筒軸向移動時，調整複數個第二中間通孔與複數個第二通孔之連通狀態。

實施時，第二中間排孔之軸線中段具有最大長度之一第二中間通孔，最大長度第二中間通孔兩側之其他複數個第二中間通孔係以長度漸短之方式分別往第二中間排孔之軸線兩端間隔排列。

為進一步了解本創作，以下舉較佳之實施例，配合圖式、圖號，將本創作之具體構成內容及其所達成的功效詳細說明如下。

1‧‧‧薄膜剝離裝置

11‧‧‧平板

111,112‧‧‧薄膜

2‧‧‧輸送單元

21‧‧‧前輸送段

22‧‧‧後輸送段

23‧‧‧第一吹氣單元

231‧‧‧第一吹氣口

24‧‧‧第二吹氣單元

241‧‧‧第二吹氣口

3‧‧‧阻擋輾壓單元

4‧‧‧第一內吸氣筒

41‧‧‧第一進氣孔

5‧‧‧第一外滾筒

51‧‧‧第一排孔

511‧‧‧第一通孔

6‧‧‧第一中間套筒

61‧‧‧第一中間排孔

611‧‧‧第一中間通孔

7‧‧‧第二內吸氣筒

71‧‧‧第二進氣孔

8‧‧‧第二外滾筒

81‧‧‧第二排孔

811‧‧‧第二通孔

9‧‧‧第二中間套筒

91‧‧‧第二中間排孔

911‧‧‧第二中間通孔

第1圖係為本創作之較佳實施例之側視圖。

第2圖係為本創作之較佳實施例之各筒之軸向剖面示意圖。

第3圖係為本創作之較佳實施例之各筒之徑向剖面示意圖。

第4圖係為本創作之較佳實施例之各筒之元件分解圖。

第5圖係為本創作之較佳實施例在剝離薄膜時之使用狀態示意圖。

第6圖係為本創作之較佳實施例在調整吸引薄膜寬度時之使用狀態示意圖。

本創作薄膜剝離裝置係供剝離一平板之一基板上之至少一薄膜，其中之平板可以為厚度在0.1mm以下，甚至於0.04mm的印刷電路板之類的薄板或是軟板。實施時，輸入平板之一端界定為薄膜剝離裝置之前端及平板之前端，輸出平板之一端界定為薄膜剝離裝置之後端及平板之後端。

請參閱第1圖所示，其為本創作薄膜剝離裝置1之較佳實施例，主要包括一輸送單元2、一阻擋輾壓單元3、一第一內吸氣筒4、一第一外滾筒5、一第一中間套筒6、一第二內吸氣筒7、一第二外滾筒8以及一第二中間套筒9。其中之輸送單元2包括一前輸送段21及一後輸送段22，前輸送段21係由複數水平間隔排列之滾筒所組成，並位於薄膜剝離裝置1之前端，供輸送一平板11使沿著由薄膜剝離裝置1前端朝向後端之輸送方向移動。阻擋輾壓單元3位於前輸送段21之後端，平板11經由阻擋輾壓單元3之阻擋定位，並以一組壓花輪分別在平板11上、下面之薄膜(111,112)表面上滾壓之後，即可在上、下薄膜(111,112)之前端邊緣分別形成平行於平板11前端緣之一皺摺。而一第一吹氣單元23係定位於後輸送段22之前端上方，第一吹氣單元23之前端具有一第一吹氣口231，第一吹氣口231平行平板11之前端緣，藉以吹起薄膜111前端緣上方之皺摺；一第二吹氣單元24係定位於後輸送段22之前端下方，且第二吹氣單元24之前端具有一第二吹氣口241，第二吹氣口241平行平板11之前端緣，藉以吹起薄膜112前端緣下方之皺摺。而當平板11繼續延著後輸送段22之方向向後移動以剝離薄膜(111,112)時，則可使薄膜(111,112)分別與基板分離，並分別掉落於容納箱內。

請參閱第2~4圖所示，第一內吸氣筒4係為橫向設置之固定圓筒，第一內吸氣筒4定位於前輸送段21之後端上方並平行平板11之前端緣，第一內吸氣筒4之筒身下半部設有至少一第一進氣孔41。在本實施例中，第一進氣孔41具有複數個，複數個第一進氣孔41係為繞著第一內吸氣筒4之筒身下半部所開設之弧形孔，且複數個第一進氣孔41係以第一內吸氣筒4之軸方向間隔併列。第一內吸氣筒4之一端連接一鼓風機，該鼓風機做為吸氣裝 置，藉以在吸氣裝置吸氣時，讓第一內吸氣筒4之筒身外部的空氣能經由複數個第一進氣孔41進入筒身內部，而形成負壓狀態；實施時，吸氣裝置亦可依需要而產生不同之負壓吸力。

第一外滾筒5係為橫向設置之圓筒，第一外滾筒5由外而內依序套接第一中間套筒6與第一內吸氣筒4，且第一外滾筒5與第一中間套筒6之一端連接一傳動機構，藉以讓第一外滾筒5與第一中間套筒6同時繞著第一內吸氣筒4同軸自轉。第一外滾筒5之筒身上設有複數個繞著圓周間隔併列之第一排孔51，任一第一排孔51具有軸向間隔排列之複數個第一通孔511，藉以在第一外滾筒5轉動時，讓第一外滾筒5之筒身下半部之複數個第一排孔51與第一內吸氣筒4之複數個第一進氣孔41連通，並讓第一外滾筒5之筒身上半部之複數個第一排孔51呈封閉狀態。藉此，如第5圖所示，即可在第一外滾筒5自轉而其筒身下半部之複數個第一排孔51與第一內吸氣筒4之複數個第一進氣孔41連通時，以負壓向上吸引並掀起薄膜111前端緣上方之皺摺，並同步帶動薄膜111向上捲動，而在第一外滾筒5繼續自轉但第一內吸氣筒4固定不動時，則可使第一外滾筒5筒身下半部原本連通之複數個第一排孔51呈封閉狀態，而解除負壓吸力，讓薄膜111之前端緣與第一外滾筒5分開以剝離薄膜111。

第一中間套筒6套接第一內吸氣筒5，且第一中間套筒6以可相對於第一外滾筒4與第一內吸氣筒5軸向移動之方式同軸連接第一外滾筒4。第一中間套筒6之筒身設有複數個繞著圓周間隔併列之第一中間排孔61，任一第一中間排孔61包括複數個軸向間隔排列且具有不同軸向長度之第一中間通孔611，位於任一第一中間排孔61之軸線中段之一第一中間通孔611 具有最大之長度，而同一第一中間排孔61之其他複數個第一中間通孔611則是位於該最大長度第一中間通孔611之兩側，並以長度漸短之方式分別往第一中間排孔61之軸線兩端間隔排列。第一中間套筒6筒身上之複數個第一中間排孔61之複數個第一中間通孔611分別對應第一外滾筒5筒身上之複數個第一排孔51之複數個第一通孔511。藉此，當第一外滾筒5之複數個第一通孔511全部對應連通第一中間套筒6之複數個第一中間通孔611時，即可具有最大長度之薄膜111分離效果；而如第6圖所示，當第一中間套筒6相對於第一外滾筒5軸向移動時，則會讓第一外滾筒5之筒身依序遮蔽最大長度第一中間通孔611兩側之複數個第一中間通孔611，讓能夠吸引並分離薄膜111之長度逐漸縮短，以適用於具有較短水平寬度之平板11。

而第二內吸氣筒7、第二外滾筒8與第二中間套筒9係為上下對應於第一內吸氣筒4、第一外滾筒5與第一中間套筒6之套筒結構，並位於前輸送段21之後端下方，同時平行平板11之前端緣。其中之第二內吸氣筒7之筒身上半部設有至少一第二進氣孔71，第二進氣孔71係為繞著第二內吸氣筒7之筒身上半部所開設之弧形孔，且複數個第二進氣孔71係以第二內吸氣筒7之軸方向間隔併列，第二內吸氣筒7連接吸氣裝置。第二外滾筒8係以可自轉之方式同軸連接第二內吸氣筒7，第二外滾筒8之筒身設有複數個繞著圓周間隔併列之第二排孔81，任一第二排孔81具有軸向間隔排列之複數個第二通孔811；而第二中間套筒9係以可相對於第二外滾筒8軸向移動之方式同軸連接第二外滾筒8，並套接第二內吸氣筒7；第二中間套筒9之筒身設有複數個繞著圓周間隔併列之第二中間排孔91，任一第二中間排孔91包括複數個軸向間隔排列且具有不同軸向長度之第二中間通孔911，第二中間排孔91之 軸線中段具有最大長度之一第二中間通孔911，最大長度第二中間通孔911兩側之其他複數個第二中間通孔911係以長度漸短之方式分別往第二中間排孔91之軸線兩端間隔排列，且複數個第二中間排孔91之複數個第二中間通孔911對應第二外滾筒8之複數個第二通孔811。藉此，即可以如第5圖所示之向下吸引並分離薄膜112，並調整可分離薄膜112之水平寬度。

因此，本創作具有以下之優點：

1、本創作係以上下兩端分別形成負壓之方式以分別吸取平板上下兩表面之薄膜，並在分別吸取薄膜之後，分別以捲繞之方式讓兩個薄膜分別與平板之基板分離，因此，可以經由對稱的分別捲起薄膜，並依需要而產生不同之負壓吸力，讓薄膜能順暢且全面性的與基板分離，以提高作業品質，增加良率，並有效避免因捲起整個平板所產生之機件損壞，或因平板報廢所造成之材料浪費。

2、本創作可以調整複數個第一中間通孔、複數個第一通孔之連通狀態，以及調整複數個第二中間通孔、複數個第二通孔之連通狀態，因此，能適用於具有不同水平寬度之平板，並讓吸力能有效集中以節省能源之消耗。

綜上所述，依上文所揭示之內容，本創作確可達到預期之目的，提供一種能將薄膜順暢且全面性剝離，並可節省能源消耗之薄膜剝離裝置，極具產業上利用之價值，爰依法提出發明專利申請。

4‧‧‧第一內吸氣筒

41‧‧‧第一進氣孔

5‧‧‧第一外滾筒

51‧‧‧第一排孔

511‧‧‧第一通孔

6‧‧‧第一中間套筒

61‧‧‧第一中間排孔

611‧‧‧第一中間通孔

7‧‧‧第二內吸氣筒

71‧‧‧第二進氣孔

8‧‧‧第二外滾筒

81‧‧‧第二排孔

811‧‧‧第二通孔

9‧‧‧第二中間套筒

91‧‧‧第二中間排孔

911‧‧‧第二中間通孔

Claims (10)

1. 一種薄膜剝離裝置，係供剝離一平板之一基板上之至少一薄膜，其中，輸入平板之一端界定為該薄膜剝離裝置之前端，輸出平板之一端界定為該薄膜剝離裝置之後端，該薄膜剝離裝置包括：

   一輸送單元，係包括一前輸送段及一後輸送段，供輸送平板使沿著該薄膜剝離裝置之前端朝向後端之方向移動；

   一阻擋輾壓單元，係位於該前輸送段之後端，供阻擋並輾壓平板之前端緣，使至少一薄膜之前端緣產生平行於平板前端緣之一皺摺；

   一第一內吸氣筒，係定位於該前輸送段之後端上方並平行平板之前端緣，該第一內吸氣筒之筒身下半部設有至少一第一進氣孔，且該第一內吸氣筒連接一吸氣裝置，供吸氣讓該至少一第一進氣孔產生負壓，以向上吸引並掀起薄膜前端緣上方之皺摺；以及

   一第一外滾筒，係以可自轉之方式同軸連接該第一內吸氣筒，該第一外滾筒之筒身設有複數個繞著圓周間隔併列之第一排孔，該任一第一排孔具有軸向間隔排列之複數個第一通孔，藉以在該第一外滾筒轉動時，讓該第一外滾筒之筒身下半部之該複數個第一排孔與該第一內吸氣筒之至少一第一進氣孔連通，供向上吸附薄膜之前端緣，並同步帶動薄膜捲動以剝離薄膜。
2. 如申請專利範圍第1項所述之薄膜剝離裝置，其中，該第一進氣孔係為繞著該第一內吸氣筒之筒身下半部所開設之弧形孔，且該複數個第一進氣孔係以該第一內吸氣筒之軸方向間隔併列。
3. 如申請專利範圍第1項所述之薄膜剝離裝置，其更包括一第一吹氣單元， 該第一吹氣單元係定位於該後輸送段之前端上方，且該第一吹氣單元之前端具有一第一吹氣口，該第一吹氣口平行平板之前端緣，供吹起薄膜前端緣上方之皺摺。
4. 如申請專利範圍第1、2或3項所述之薄膜剝離裝置，其更包括一第一中間套筒，該第一中間套筒係以可相對於該第一外滾筒軸向移動之方式同軸連接該第一外滾筒，並套接該第一內吸氣筒；該第一中間套筒之筒身設有複數個繞著圓周間隔併列之第一中間排孔，該任一第一中間排孔包括複數個軸向間隔排列且具有不同軸向長度之第一中間通孔，且該複數個第一中間排孔之該複數個第一中間通孔對應該第一外滾筒之該複數個第一通孔，藉以在該第一中間套筒軸向移動時，調整該複數個第一中間通孔與該複數個第一通孔之連通狀態。
5. 如申請專利範圍第4項所述之薄膜剝離裝置，其中，該第一中間排孔之軸線中段具有最大長度之一第一中間通孔，該最大長度第一中間通孔兩側之其他複數個第一中間通孔係以長度漸短之方式分別往該第一中間排孔之軸線兩端間隔排列。
6. 如申請專利範圍第1項所述之薄膜剝離裝置，其更包括一第二內吸氣筒及一第二外滾筒，該第二內吸氣筒係定位於該前輸送段之後端下方並平行平板之前端緣，該第二內吸氣筒之筒身上半部設有至少一第二進氣孔，該第二內吸氣筒連接該吸氣裝置，供吸氣讓該至少一第二進氣孔產生負壓，以向下吸引並掀起薄膜前端緣下方之皺摺；該第二外滾筒係以可自轉之方式同軸連接該第二內吸氣筒，該第二外滾筒之筒身設有複數個繞著圓周間隔併列之第二排孔，該任一第二排孔具有軸向間隔排列之複數 個第二通孔，藉以在該第二外滾筒轉動時，讓該第二外滾筒之筒身上半部之該複數個第二排孔與該第二內吸氣筒之至少一第二進氣孔連通，供向下吸附薄膜之前端緣，並同步帶動薄膜捲動以剝離薄膜。
7. 如申請專利範圍第6項所述之薄膜剝離裝置，其中，該第二進氣孔係為繞著該第二內吸氣筒之筒身上半部所開設之弧形孔，且該複數個第二進氣孔係以該第二內吸氣筒之軸方向間隔併列。
8. 如申請專利範圍第7項所述之薄膜剝離裝置，其更包括一第二吹氣單元，該第二吹氣單元係定位於該後輸送段之前端下方，且該第二吹氣單元之前端具有一第二吹氣口，該第二吹氣口平行平板之前端緣，供吹起薄膜前端緣下方之皺摺。
9. 如申請專利範圍第6、7或8項所述之薄膜剝離裝置，其更包括一第二中間套筒，該第二中間套筒係以可相對於該第二外滾筒軸向移動之方式同軸連接該第二外滾筒，並套接該第二內吸氣筒；該第二中間套筒之筒身設有複數個繞著圓周間隔併列之第二中間排孔，該任一第二中間排孔包括複數個軸向間隔排列且具有不同軸向長度之第二中間通孔，且該複數個第二中間排孔之該複數個第二中間通孔對應該第二外滾筒之該複數個第二通孔，藉以在該第二中間套筒軸向移動時，調整該複數個第二中間通孔與該複數個第二通孔之連通狀態。
10. 如申請專利範圍第9項所述之薄膜剝離裝置，其中，該第二中間排孔之軸線中段具有最大長度之一第二中間通孔，該最大長度第二中間通孔兩側之其他複數個第二中間通孔係以長度漸短之方式分別往該第二中間排孔之軸線兩端間隔排列。

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