TW201608946A - 剝膜機及其輾壓裝置 - Google Patents

Abstract

一種剝膜機，包含一輸送裝置、一輾壓裝置及一剝離裝置，輸送裝置可沿輸送方向輸送板件，輾壓裝置包括一驅動機構及一旋轉輾壓件，驅動機構可帶動旋轉輾壓件沿輾壓方向移動以經由板件的前端緣輾壓至外表面上，使薄膜凹陷變形形成壓痕，以破壞薄膜與光阻層之間的黏著力，當旋轉輾壓件移離薄膜時，薄膜與光阻層之間形成氣室，氣室的開口形成於前端緣與光阻層之間，剝離裝置包括一夾持吹氣機構及一剝離機構，夾持吹氣機構用以夾持前凸出部並可對開口吹氣以使薄膜鄰近前端緣的部位剝離光阻層，剝離機構用以銜接薄膜鄰近前端緣的部位以將薄膜剝離光阻層。

Description

剝膜機及其輾壓裝置

本發明是有關於一種剝膜機，特別是指一種用以將印刷電路板上之薄膜剝離光阻層的剝膜機及其輾壓裝置。

印刷電路板在製造過程中，基板表面通常形成有乾膜，基板在實施曝光步驟之前，乾膜具有一光阻層及一黏附於光阻層的薄膜，薄膜為一Mylar。當基板實施曝光步驟之後，需將薄膜剝離光阻層，使光阻層外露，以便對基板實施後續之顯影及蝕刻步驟。

現有用以剝離薄膜的剝膜機大都是藉由壓花輪在薄膜表面上滾壓，使薄膜形成皺摺。隨後，藉由黏輪黏著薄膜並將其剝離光阻層，以使薄膜與光阻層分離。

薄膜與光阻層之間是呈真空的黏著狀態，因此，壓花輪需施加一預定的壓力於薄膜上，才能使薄膜形成皺摺。由於光阻層及薄膜的厚度很薄，因此，壓花輪施力滾壓於薄膜的過程中，很容易因施力滾壓的力道過大進而造成光阻層及基板的受損。所以，現有剝膜機的剝膜方式 仍有進一步改善的空間。

因此，本發明之一目的，即在提供一種剝膜機，透過輾壓裝置的旋轉輾壓件輾壓薄膜使其凹陷變形形成壓痕的輾壓方式，能降低旋轉輾壓件輾壓薄膜的過程中造成光阻層及基板的受損。

本發明之另一目的，即在提供一種剝膜機，當旋轉輾壓件輾壓薄膜使其凹陷變形形成壓痕並且移離薄膜後，薄膜與光阻層之間會形成具有開口的氣室，藉此，能有效地破壞薄膜與光阻層之間的密合性，以便能可快速地將薄膜剝離光阻層。

於是本發明的剝膜機，適於將一板件的一薄膜由一光阻層上剝離，該薄膜具有一前端緣、一結合於該光阻層的結合面，及一相反於該結合面的外表面，該板件具有一結合於該光阻層相反於該薄膜一側的基板，該基板具有一凸伸出該前端緣的前凸出部。

剝膜機包含一輸送裝置、一輾壓裝置，及一剝離裝置，輸送裝置可沿一由後朝前的輸送方向輸送該板件，輾壓裝置位於該輸送裝置中段處，該輾壓裝置包括一固定框架、一設置於該固定框架的驅動機構，及一設置於該驅動機構的旋轉輾壓件，該驅動機構可帶動該旋轉輾壓件沿一輾壓方向移動以經由該前端緣輾壓至該外表面上，使該薄膜凹陷變形形成壓痕，以破壞該薄膜與該光阻層之間的黏著力，當該旋轉輾壓件移離該薄膜時，該薄膜與該光 阻層之間形成一氣室，該氣室的一開口形成於該前端緣與該光阻層之間，該驅動機構可帶動該旋轉輾壓件沿該輾壓方向在一位於該前凸出部與該前端緣之間且對齊於該前端緣前方的初始位置，及一輾壓於該外表面且間隔位於該前端緣後方的終止位置之間移動，該旋轉輾壓件包含一呈圓盤狀的輾壓刀，該輾壓刀包括一用以輾壓該薄膜的刀尖，剝離裝置位於該輾壓裝置前側，該剝離裝置包括一夾持吹氣機構，及一剝離機構，該夾持吹氣機構用以夾持該前凸出部並可對該氣室的該開口吹氣以使該薄膜鄰近該前端緣的部位剝離該光阻層，該剝離機構用以銜接該薄膜鄰近該前端緣的部位以將該薄膜剝離該光阻層。

該刀尖呈倒圓角狀。

該驅動機構包含一用以供該旋轉輾壓件樞接的殼件、一設置於該殼件內的偏壓彈簧，及一用以抵壓於該偏壓彈簧一端使其對該殼件朝下偏壓的壓力調整桿。

該驅動機構更包含一第一承載架、一第二承載架、一第三承載架、一第一氣缸、一第二氣缸，及一第三氣缸，該第一氣缸設置於該固定框架上用以驅使該第一承載架沿一平行於該前端緣的平移方向移動，該第二氣缸設置於該第一承載架上用以驅使該第二承載架沿一上下方向移動，該第三氣缸設置於該第二承載架上用以驅使該第三承載架沿該輾壓方向移動，該殼件可沿該上下方向移動地連接於該第三承載架上。

該輾壓方向是傾斜於該前端緣。

該夾持吹氣機構包含兩個用以夾持該前凸出部的夾爪，及一設置於對應的該夾爪並可對該開口吹氣的噴嘴，該剝離機構包含一擋止件、一回收滾筒、一捲繞於該回收滾筒上並可被該回收滾筒捲收的承接膜，及一接合模組，該承接膜部分貼靠於該擋止件上，該薄膜鄰近該前端緣的部位會被該噴嘴吹至貼靠於該擋止件並重疊於該承接膜的位置，該接合模組用以將該薄膜與該承接膜重疊的部位接合在一起。

本發明之又一目的，即在提供一種剝膜機的輾壓裝置，透過輾壓裝置的旋轉輾壓件輾壓薄膜使其凹陷變形形成壓痕的輾壓方式，能降低旋轉輾壓件輾壓薄膜的過程中造成光阻層及基板的受損。

本發明之再一目的，即在提供一種剝膜機的輾壓裝置，當旋轉輾壓件輾壓薄膜使其凹陷變形形成壓痕並且移離薄膜後，薄膜與光阻層之間會形成具有開口的氣室，藉此，能有效地破壞薄膜與光阻層之間的密合性。

於是本發明的剝膜機的輾壓裝置，適於輾壓一板件的一薄膜，該板件具有一光阻層，該薄膜具有一前端緣、一結合於該光阻層的結合面，及一相反於該結合面的外表面。

該輾壓裝置包括一固定框架、一驅動機構，及一旋轉輾壓件。

驅動機構設置於該固定框架上，旋轉輾壓件設置於該驅動機構，該驅動機構可帶動該旋轉輾壓件沿一輾 壓方向移動以經由該前端緣輾壓至該外表面上，使該薄膜凹陷變形形成壓痕，以破壞該薄膜與該光阻層之間的黏著力，當該旋轉輾壓件移離該薄膜時，該薄膜與該光阻層之間形成一氣室，該氣室的一開口形成於該前端緣與該光阻層之間，該驅動機構可帶動該旋轉輾壓件沿該輾壓方向在一對齊於該前端緣前方的初始位置，及一輾壓於該外表面且間隔位於該前端緣後方的終止位置之間移動，該旋轉輾壓件包含一呈圓盤狀的輾壓刀，該輾壓刀包括一用以輾壓該薄膜的刀尖。

本發明之功效在於：透過輾壓裝置的旋轉輾壓件輾壓薄膜，使薄膜凹陷變形形成壓痕，以破壞薄膜與光阻層之間的黏著力及密合性，藉此，能降低旋轉輾壓件輾壓薄膜的過程中造成光阻層及基板的受損。當旋轉輾壓件移離薄膜後，薄膜與光阻層之間形成具有開口的氣室，藉此，使得剝離裝置能方便且可快速地將薄膜剝離光阻層。

1‧‧‧板件

421‧‧‧第一承載架

10‧‧‧基板

422‧‧‧第二承載架

101‧‧‧前凸出部

423‧‧‧第三承載架

11‧‧‧光阻層

424‧‧‧第一氣缸

12‧‧‧薄膜

425‧‧‧第二氣缸

121‧‧‧前端緣

426‧‧‧第三氣缸

122‧‧‧後端緣

427‧‧‧斜導軌

123‧‧‧結合面

428‧‧‧殼件

124‧‧‧外表面

429‧‧‧偏壓彈簧

13‧‧‧壓痕

430‧‧‧壓力調整桿

14‧‧‧氣室

431‧‧‧容置槽

141‧‧‧開口

44‧‧‧旋轉輾壓件

200‧‧‧剝膜機

441‧‧‧輾壓刀

2‧‧‧機座

442‧‧‧刀尖

3‧‧‧輸送裝置

5‧‧‧剝離裝置

31‧‧‧後入料端

51‧‧‧夾持吹氣機構

32‧‧‧前出料端

511‧‧‧夾爪

33‧‧‧輸送滾輪

512‧‧‧噴嘴

4‧‧‧輾壓裝置

52‧‧‧剝離機構

41‧‧‧固定框架

521‧‧‧擋止件

411‧‧‧橫導軌

522‧‧‧回收滾筒

42‧‧‧驅動機構

523‧‧‧承接膜

524‧‧‧接合模組

D‧‧‧輾壓方向

525‧‧‧擋板部

H‧‧‧平移方向

526‧‧‧吸盤部

V‧‧‧上下方向

I‧‧‧輸送方向

本發明之其他的特徵及功效，將於參照圖式的實施方式中清楚地呈現，其中：圖1是本發明剝膜機之一實施例的立體圖，說明機座、輸送裝置、輾壓裝置及剝離裝置之間的組裝關係；圖2是本發明剝膜機之一實施例的側視圖；圖3是本發明剝膜機之一實施例所欲加工之板件的側視圖；圖4是本發明剝膜機之一實施例的輾壓裝置的立體圖 ；圖5是本發明剝膜機之一實施例的輾壓裝置的後視圖；圖6是本發明剝膜機之一實施例的輾壓裝置的局部立體圖，說明固定框架、驅動機構與旋轉輾壓件之間的組裝關係；圖7是本發明剝膜機之一實施例的輾壓裝置的局部後視圖；圖8是本發明剝膜機之一實施例的旋轉輾壓件的側視圖；圖9是本發明剝膜機之一實施例的局部側視圖，說明夾持吹氣機構與剝離機構的細部構造；圖10是本發明剝膜機之一實施例的夾持吹氣機構的立體圖；圖11是本發明剝膜機之一實施例的擋止件的前視圖；圖12是本發明剝膜機之一實施例的作動示意圖，說明旋轉輾壓件位於初始位置；圖13是本發明剝膜機之一實施例的作動示意圖，說明旋轉輾壓件位於初始位置；圖14是本發明剝膜機之一實施例的作動示意圖，說明旋轉輾壓件位於終止位置；圖15是本發明剝膜機之一實施例的作動示意圖，說明旋轉輾壓件的輾壓刀輾壓薄膜使其凹陷變形而形成壓痕；圖16是本發明剝膜機之一實施例的作動示意圖，說明 旋轉輾壓件復位至初始位置；圖17是本發明剝膜機之一實施例的作動示意圖，說明旋轉輾壓件移離薄膜時，薄膜與光阻層之間形成具有開口的氣室；圖18是本發明剝膜機之一實施例的作動示意圖，說明夾爪夾持基板的前凸出部；圖19是本發明剝膜機之一實施例的作動示意圖，說明噴嘴對氣室的開口吹氣以使薄膜鄰近前端緣的部位剝離光阻層並重疊於承接膜上；圖20是本發明剝膜機之一實施例的作動示意圖，說明接合模組移動至接合位置以將薄膜與承接膜重疊的部位接合在一起；及圖21是本發明剝膜機之一實施例的作動示意圖，說明回收滾筒捲收承接膜並拉動薄膜使其移動到承接位置。

參閱圖1、圖2及圖3，是本發明剝膜機之一實施例，剝膜機200是適用於印刷電路板的製程中，用以將一板件1的薄膜12由光阻層11上剝離。在本實施例中，板件1具有一基板10、兩分別形成於基板10正反面的光阻層11，及兩分別形成於兩光阻層11的薄膜12。各薄膜12是以Mylar為例，各薄膜12用以保護對應的光阻層11並具有一前端緣121、一後端緣122、一黏著於對應的光阻層11的結合面123，及一相反於結合面123的外表面124。基板10則具有一凸伸出各薄膜12的前端緣121的前凸出部 101。

參閱圖1、圖3、圖4及圖5，剝膜機200包含一機座2、一輸送裝置3、一輾壓裝置4，及一剝離裝置5。輸送裝置3設置於機座2上並包括一後入料端31、一前出料端32，及複數個位於後入料端31與前出料端32之間的輸送滾輪33，該等輸送滾輪33可沿一由後朝前的輸送方向I輸送板件1。輾壓裝置4位於輸送裝置3的中段處，輾壓裝置4包括一固設於機座2的固定框架41、兩個上下顛倒地設置於固定框架41的驅動機構42，及兩個分別設置於兩驅動機構42的旋轉輾壓件44。

參閱圖1、圖4、圖6及圖7，由於兩個驅動機構42的結構相同，且兩個旋轉輾壓件44的結構相同，因此，在以下說明書內容中將以位在上方的一組驅動機構42及旋轉輾壓件44為例作說明。驅動機構42包含一第一承載架421、一第二承載架422、一第三承載架423、一第一氣缸424、兩個第二氣缸425，及一第三氣缸426。第一承載架421可滑動地連接於固定框架41的一呈橫向延伸的橫導軌411，第一氣缸424固定地設置於固定框架41並與第一承載架421相連接，第一氣缸424用以驅使第一承載架421沿一平移方向H移動，其中，平移方向H平行於薄膜12的前端緣121並且垂直於輸送方向I。兩第二氣缸425固定地設置於第一承載架421上且分別鄰近於第一承載架421左右兩端，各第二氣缸425連接於第二承載架422頂端並且用以驅使第二承載架422沿一上下方向V移動，其中 ，上下方向V垂直於平移方向H。第三承載架423可滑動地連接於第二承載架422的一呈斜向延伸的斜導軌427，第三氣缸426固定地設置於第二承載架422上並與第三承載架423相連接，第三氣缸426用以驅使第三承載架423沿一輾壓方向D移動。本實施例的輾壓方向D是傾斜於薄膜12的前端緣121。

驅動機構42更包含一殼件428、一偏壓彈簧429，及一壓力調整桿430。殼件428可沿上下方向V移動地連接於第三承載架423上，殼件428形成有一用以供偏壓彈簧429容置的容置槽431。各旋轉輾壓件44可轉動地樞接於對應驅動機構42的殼件428上。本實施例的壓力調整桿430是以一螺接於第三承載架423的螺桿為例作說明，壓力調整桿430穿伸至容置槽431內用以抵壓於偏壓彈簧429頂端，使得偏壓彈簧429能對殼件428朝下偏壓，並且能藉由旋轉壓力調整桿430來調整偏壓彈簧429施加於殼件428上的壓力。藉此，能調整旋轉輾壓件44輾壓於薄膜12的外表面124(如圖3所示)時的力道。

參閱圖3、圖6及圖8，旋轉輾壓件44包含一呈圓盤狀的輾壓刀441，輾壓刀441包括一用以輾壓薄膜12的刀尖442，本實施例的刀尖442呈倒圓角狀。藉由輾壓刀441的刀尖442呈倒圓角狀的設計，能防止輾壓刀441在輾壓薄膜12的過程中切斷薄膜12。驅動機構42可帶動旋轉輾壓件44沿一輾壓方向D移動以經由薄膜12的前端緣121輾壓至外表面124上，使薄膜12凹陷變形形成一壓 痕13，以破壞薄膜12與光阻層11之間的黏著力及密合性。當旋轉輾壓件44移離薄膜12時，薄膜12與光阻層11之間形成一氣室14(如圖17所示)，氣室14的一開口141(如圖17所示)形成於前端緣121與光阻層11之間。

參閱圖3、圖9及圖10，剝離裝置5設置於機座2上且位於輾壓裝置4前側，剝離裝置5包括一夾持吹氣機構51，及一剝離機構52。夾持吹氣機構51包括兩個夾爪511，及兩個分別設置於兩夾爪511上的噴嘴512，兩夾爪511用以夾持板件1的基板10的前凸出部101，各噴嘴512用以對對應氣室14的開口141(如圖17所示)吹氣，以使薄膜12鄰近前端緣121的部位剝離光阻層11。

參閱圖9及圖11，剝離機構52用以銜接薄膜12鄰近前端緣121的部位以將薄膜12剝離光阻層11。剝離機構52包含兩個上下相間隔的擋止件521、兩個上下相間隔的回收滾筒522、兩分別捲繞於兩回收滾筒522上並可被回收滾筒522捲收的承接膜523，及兩個接合模組524。各擋止件521具有一擋板部525，及一位於擋板部525鄰近回收滾筒522一端的吸盤部526。本實施例的各承接膜523是以Mylar為例，各承接膜523的一部分捲繞於對應的回收滾筒522上，而另一部分則貼靠於對應擋止件521的吸盤部526上，吸盤部526可透過吸力吸附承接膜523，藉此，使得承接膜523的另一部分能平整地貼靠在吸盤部526上。

各薄膜12鄰近前端緣121的部位會被對應的噴 嘴512吹至貼靠於對應的擋止件521上，並且重疊在對應的承接膜523貼靠於吸盤部526的部位。藉由對應的接合模組524將薄膜12與承接膜523重疊的部位接合在一起，使得薄膜12能與承接膜523連接在一起。藉此，當各回收滾筒522捲收承接膜523時能同時拉動與承接膜523連接在一起的薄膜12，藉此，能將薄膜12完整地剝離光阻層11。

以下將針對剝膜機200的作動方式進行詳細說明：

參閱圖1及圖12，首先，將板件1由後入料端31放置於輸送裝置3的輸送滾輪33上，輸送滾輪33會沿輸送方向I輸送板件1移動。當板件1移動到鄰近於輾壓裝置4後側的一預定位置時，輸送滾輪33會停止輸送板件1移動。

參閱圖6、圖12及圖13，位於上方的一組驅動機構42的第二氣缸425會驅使第二、第三承載架422、423及旋轉輾壓件44沿上下方向V向下移動，而位於下方的另一組驅動機構42的第二氣缸425則會驅使第二、第三承載架422、423及旋轉輾壓件44沿上下方向V向上移動，使得兩旋轉輾壓件44能分別移動至一初始位置(如圖13所示)，當各旋轉輾壓件44在初始位置時，各旋轉輾壓件44位於基板10的前凸出部101與對應薄膜12的前端緣121之間，且各旋轉輾壓件44對齊於對應薄膜12的前端緣121前方。

參閱圖6、圖14及圖15，隨後，各驅動機構42的第三氣缸426會驅使第三承載架423及旋轉輾壓件44沿輾壓方向D移動，以使旋轉輾壓件44的輾壓刀441經由薄膜12的前端緣121輾壓至外表面124上，輾壓刀441輾壓的過程中其刀尖442會將薄膜12朝光阻層11方向擠壓，使薄膜12及光阻層11分別如圖15所示地凹陷變形，並且在薄膜12的外表面124上形成壓痕13，以破壞薄膜12與光阻層11之間的黏著力及密合性。當第三氣缸426驅使旋轉輾壓件44移動至一間隔位於前端緣121後方的終止位置(如圖14所示)時，第三氣缸426即停止驅使旋轉輾壓件44移動。

參閱圖6、圖16及圖17，之後，第三氣缸426會驅使旋轉輾壓件44由終止位置移動復位至初始位置(如圖16所示)。當旋轉輾壓件44的輾壓刀441與薄膜12的外表面124分離時，薄膜12的結合面123與光阻層11之間形成一氣室14，氣室14的一開口141形成於前端緣121與光阻層11之間。藉由第三氣缸426驅使旋轉輾壓件44在初始位置與終止位置之間進行多次的往復移動，便能重覆地對薄膜12進行輾壓的動作，藉此，能更為有效地破壞薄膜12與光阻層11之間的黏著力及密合性，以增加薄膜12與光阻層11分離的效果，使氣室14及其開口141的形成能更為顯著。

需說明的是，藉由第一氣缸424能驅使第一、第二、第三承載架421、422、423及旋轉輾壓件44沿平移 方向H移動，使得旋轉輾壓件44可在薄膜12的前端緣121不同位置進行輾壓的動作，以在薄膜12的外表面124上輾壓出多條彼此相間隔的壓痕13。藉此，可在薄膜12與光阻層11之間形成多個氣室14，能更為有效地破壞薄膜12與光阻層11之間的黏著力及密合性。

參閱圖9、圖18及圖19，當薄膜12的輾壓作業完成後，輸送滾輪33會沿輸送方向I輸送板件1移動。當板件1移動到前凸出部101位於兩夾爪511之間的一待夾持位置(如圖18所示)時，兩夾爪511會相互靠近並夾持住前凸出部101，使板件1定位在氣室14的開口141(如圖17所示)與噴嘴512對齊的位置。隨後，各噴嘴512會對氣室14的開口141吹氣，以使各薄膜12鄰近前端緣121的部位剝離光阻層11。各薄膜12鄰近前端緣121的部位會被對應的噴嘴512吹至貼靠於對應擋止件521上，並且重疊在對應的承接膜523貼靠於吸盤部526的部位。

參閱圖9及圖20，接著，各接合模組524會由一初始位置(如圖9所示)移動至一抵接於薄膜12與承接膜523重疊部位的接合位置(如圖20所示)，以將兩者重疊的部位接合在一起，使薄膜12與承接膜523相連接。隨後，各接合模組524會復位至初始位置，此時，各回收滾筒522便能捲收承接膜523以同時拉動與承接膜523相連接在一起的薄膜12，藉此，能將薄膜12完全地剝離光阻層11。在本實施例中，接合模組524可透過例如為熱融接或黏接或其他的接合方式將薄膜12與承接膜523重疊部位接合在 一起。

參閱圖20及圖21，接著，兩夾爪511會釋放前凸出部101，使輸送滾輪33沿輸送方向I輸送板件1移動至前出料端32(如圖1所示)，以便對板件1實施後續之顯影及蝕刻步驟。另一方面，各回收滾筒522捲收承接膜523後會拉動薄膜12使其移動至圖21所示的一承接位置，此時的薄膜12便充當為一承接膜使用。藉此，當下一片板件1的薄膜12鄰近前端緣121的部位剝離後便能與前述充當承接膜的薄膜12相連接，以再次地進行薄膜12的剝離及回收的作業。

綜上所述，本實施例的剝膜機200，透過輾壓裝置4的旋轉輾壓件44輾壓薄膜12，使薄膜12凹陷變形形成壓痕13，以破壞薄膜12與光阻層11之間的黏著力及密合性，藉此，能降低旋轉輾壓件44輾壓薄膜12的過程中造成光阻層11及基板10的受損。當旋轉輾壓件44移離薄膜12後，薄膜12與光阻層11之間形成具有開口141的氣室14，藉此，使得剝離裝置5能方便且可快速地將薄膜12剝離光阻層11，故確實能達成本發明之目的。

惟以上所述者，僅為本發明之實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍，即大凡依本發明申請專利範圍及專利說明書內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。

1‧‧‧板件

31‧‧‧後入料端

12‧‧‧薄膜

32‧‧‧前出料端

121‧‧‧前端緣

33‧‧‧輸送滾輪

200‧‧‧剝膜機

4‧‧‧輾壓裝置

2‧‧‧機座

5‧‧‧剝離裝置

3‧‧‧輸送裝置

I‧‧‧輸送方向

Claims (11)

1. 一種剝膜機，適於將一板件的一薄膜由一光阻層上剝離，該薄膜具有一前端緣、一結合於該光阻層的結合面，及一相反於該結合面的外表面，該板件具有一結合於該光阻層相反於該薄膜一側的基板，該基板具有一凸伸出該前端緣的前凸出部，該剝膜機包含：一輸送裝置，可沿一由後朝前的輸送方向輸送該板件，一輾壓裝置，位於該輸送裝置中段處，該輾壓裝置包括一固定框架、一設置於該固定框架的驅動機構，及一設置於該驅動機構的旋轉輾壓件，該驅動機構可帶動該旋轉輾壓件沿一輾壓方向移動以經由該前端緣輾壓至該外表面上，使該薄膜凹陷變形形成壓痕，以破壞該薄膜與該光阻層之間的黏著力，當該旋轉輾壓件移離該薄膜時，該薄膜與該光阻層之間形成一氣室，該氣室的一開口形成於該前端緣與該光阻層之間，該驅動機構可帶動該旋轉輾壓件沿該輾壓方向在一位於該前凸出部與該前端緣之間且對齊於該前端緣前方的初始位置，及一輾壓於該外表面且間隔位於該前端緣後方的終止位置之間移動，該旋轉輾壓件包含一呈圓盤狀的輾壓刀，該輾壓刀包括一用以輾壓該薄膜的刀尖，及一剝離裝置，位於該輾壓裝置前側，該剝離裝置包括一夾持吹氣機構，及一剝離機構，該夾持吹氣機構用以夾持該前凸出部並可對該氣室的該開口吹氣以使該 薄膜鄰近該前端緣的部位剝離該光阻層，該剝離機構用以銜接該薄膜鄰近該前端緣的部位以將該薄膜剝離該光阻層。
2. 如請求項1所述的剝膜機，其中，該刀尖呈倒圓角狀。
3. 如請求項2所述的剝膜機，其中，該驅動機構包含一用以供該旋轉輾壓件樞接的殼件、一設置於該殼件內的偏壓彈簧，及一用以抵壓於該偏壓彈簧一端使其對該殼件朝下偏壓的壓力調整桿。
4. 如請求項3所述的剝膜機，其中，該驅動機構更包含一第一承載架、一第二承載架、一第三承載架、一第一氣缸、一第二氣缸，及一第三氣缸，該第一氣缸設置於該固定框架上用以驅使該第一承載架沿一平行於該前端緣的平移方向移動，該第二氣缸設置於該第一承載架上用以驅使該第二承載架沿一上下方向移動，該第三氣缸設置於該第二承載架上用以驅使該第三承載架沿該輾壓方向移動，該殼件可沿該上下方向移動地連接於該第三承載架上。
5. 如請求項1至4其中任一項所述的剝膜機，其中，該輾壓方向是傾斜於該前端緣。
6. 如請求項1至4其中任一項所述的剝膜機，其中，該夾持吹氣機構包含兩個用以夾持該前凸出部的夾爪，及一設置於對應的該夾爪並可對該開口吹氣的噴嘴，該剝離機構包含一擋止件、一回收滾筒、一捲繞於該回收滾筒上並可被該回收滾筒捲收的承接膜，及一接合模組，該 承接膜部分貼靠於該擋止件上，該薄膜鄰近該前端緣的部位會被該噴嘴吹至貼靠於該擋止件並重疊於該承接膜的位置，該接合模組用以將該薄膜與該承接膜重疊的部位接合在一起。
7. 一種剝膜機的輾壓裝置，適於輾壓一板件的一薄膜，該板件具有一光阻層，該薄膜具有一前端緣、一結合於該光阻層的結合面，及一相反於該結合面的外表面，該輾壓裝置包括：一固定框架，一驅動機構，設置於該固定框架上，及一旋轉輾壓件，設置於該驅動機構，該驅動機構可帶動該旋轉輾壓件沿一輾壓方向移動以經由該前端緣輾壓至該外表面上，使該薄膜凹陷變形形成壓痕，以破壞該薄膜與該光阻層之間的黏著力，當該旋轉輾壓件移離該薄膜時，該薄膜與該光阻層之間形成一氣室，該氣室的一開口形成於該前端緣與該光阻層之間，該驅動機構可帶動該旋轉輾壓件沿該輾壓方向在一對齊於該前端緣前方的初始位置，及一輾壓於該外表面且間隔位於該前端緣後方的終止位置之間移動，該旋轉輾壓件包含一呈圓盤狀的輾壓刀，該輾壓刀包括一用以輾壓該薄膜的刀尖。
8. 如請求項7所述的剝膜機的輾壓裝置，其中，該刀尖呈倒圓角狀。
9. 如請求項8所述的剝膜機的輾壓裝置，其中，該驅動機 構包含一用以供該旋轉輾壓件樞接的殼件、一設置於該殼件內的偏壓彈簧，及一用以抵壓於該偏壓彈簧一端使其對該殼件朝下偏壓的壓力調整桿。
10. 如請求項9所述的剝膜機的輾壓裝置，其中，該驅動機構更包含一第一承載架、一第二承載架、一第三承載架、一第一氣缸、一第二氣缸，及一第三氣缸，該第一氣缸設置於該固定框架上用以驅使該第一承載架沿一平行於該前端緣的平移方向移動，該第二氣缸設置於該第一承載架上用以驅使該第二承載架沿一上下方向移動，該第三氣缸設置於該第二承載架上用以驅使該第三承載架沿該輾壓方向移動，該殼件可沿該上下方向移動地連接於該第三承載架上。
11. 如請求項7至10所述的剝膜機的輾壓裝置，其中，該輾壓方向是傾斜於該前端緣。