TWM597552U - 吸取薄膜結構 - Google Patents

Abstract

本創作係為一種吸取薄膜結構，主要包括一第一內吸氣筒，第一內吸氣筒固定連接於一剝膜機上，第一內吸氣筒之筒身下半部設有至少一第一進氣孔，第一內吸氣筒之一端連接一吸氣裝置，供吸氣讓氣流經由至少一第一進氣孔進入第一內吸氣筒之筒身內部；而一第一外滾筒係以可相對於第一內吸氣筒轉動之方式同軸套接第一內吸氣筒，第一外滾筒之筒身設有複數個繞著圓周間隔併列之第一排孔，任一第一排孔具有軸向間隔排列之複數個第一通孔，藉以在第一外滾筒轉動時，讓第一外滾筒之筒身下半部之複數個第一排孔連通或中斷空氣之流動以吸附或分離薄膜。

Description

吸取薄膜結構

本創作係有關一種吸取薄膜結構，尤指一種適用於剝膜機，而可吸附或分離薄膜，並將薄膜順暢、有效且全面性剝離者。

在印刷電路板的製造過程中，基板在曝光之前，皆會在基板之上、下表面分別形成光阻層及黏附於光阻層表面之薄膜，在曝光之後，再將薄膜剝離以使光阻層外露，以進行後續之顯影及蝕刻程序。而早期剝膜機剝離薄膜之方式，主要是藉由一前輸送段以輸送上述印刷電路板之類的薄板，使沿著由前朝後的輸送方向移動，薄板經由一阻擋單元之阻擋定位，再經由一組壓花輪在薄膜表面上滾壓之後，讓薄板繼續延著一後輸送段向後輸送，並以一組黏輪將前端緣產生皺摺之薄膜逐步剝離。其在實際剝離薄膜的過程中發現，由於基板本身之厚度不大，容易會有彎曲不平的現象，當外徑一致的長直筒形黏輪黏著薄膜時，各個黏著位置之黏著力並不全然相同，且由於薄膜之厚度很薄且脆弱，常無法順暢且全面性的讓薄膜逐漸剝離，仍舊會有部份的薄膜脆片黏附於光阻層之表面上，並常由於薄膜脆片之面積太小而無法被偵測到，此種現象將會在整個印刷電路板的製造過程中，讓基板面臨報廢的結果。

因此，為了解決上述問題，目前即有一種「自動剝膜機」， 其主要包括一輸送單元、一阻擋單元、一夾持單元、一輾壓單元、一第一吹氣單元以及一剝膜單元。其剝膜方法係先以輸送單元輸送平板，再以阻擋單元阻擋於平板之前端緣，同時以夾持單元夾持定位平板，之後再使輾壓單元移動以輾壓平板之前端緣，使平板上之至少一薄膜之前端緣產生至少一平行於平板前端緣之皺摺，同時以第一吹氣單元吹動並掀起至少一薄膜前端緣所產生之至少一皺摺，而在輾壓單元及夾持單元復位之後，讓平板繼續移動，使剝膜單元延著至少一薄膜之前端緣將至少一薄膜剝離。

惟，上述剝膜機主要是適用於厚度較厚平板的薄膜剝離使用，但是對於厚度在0.1mm以下，甚至於0.04mm的薄板或是軟板而言，其在實際薄膜剝離的過程中，由於剝膜單元主要是以垂直於平板板面之方向拉起薄膜，容易會有同時拉動或捲起整個平板之現象產生，而讓基板因此而報廢、影響生產效率，甚至於讓剝膜機之機件損壞。有鑑於此，為了提供一種有別於習用技術之結構，並改善上述之缺點，創作人積多年的經驗及不斷的研發改進，遂有本創作之產生。

本創作之一目的在提供一種薄膜剝離裝置，俾能解決習用剝膜機在薄板或是軟板的薄膜剝離過程中，容易會有同時拉動或捲起整個平板的問題，而能使薄膜能順暢且全面性的與基板分離，以提高作業品質，增加良率，並有效避免因捲起整個平板所產生之機件損壞，或因平板報廢所造成之材料浪費。

為達上述創作之目的，本創作所設之吸取薄膜結構係包括一第一內吸氣筒以及一第一外滾筒。其中之第一內吸氣筒係固定連接於一剝 膜機上，第一內吸氣筒之筒身下半部設有至少一第一進氣孔，第一內吸氣筒之一端連接一吸氣裝置，供吸氣讓氣流經由至少一第一進氣孔進入第一內吸氣筒之筒身內部；而第一外滾筒係以可相對於第一內吸氣筒轉動之方式同軸套接第一內吸氣筒，第一外滾筒之筒身設有複數個繞著圓周間隔併列之第一排孔，任一第一排孔具有軸向間隔排列之複數個第一通孔，藉以在第一外滾筒轉動時，讓第一外滾筒之筒身下半部之複數個第一排孔與第一內吸氣筒之至少一第一進氣孔連通，供向上吸氣，而在第一外滾筒之筒身下半部之複數個第一排孔繼續轉動至第一內吸氣筒之上半部時，中斷空氣由複數個第一排孔進入第一內吸氣筒之筒身內部。

實施時，第一進氣孔係為繞著第一內吸氣筒之筒身下半部所開設之弧形孔，且複數個第一進氣孔係以第一內吸氣筒之軸方向間隔併列。

實施時，本創作更包括一第一中間套筒，第一中間套筒係以可相對於第一外滾筒軸向移動之方式同軸連接第一外滾筒，並套接第一內吸氣筒；第一中間套筒之筒身設有複數個繞著圓周間隔併列之第一中間排孔，任一第一中間排孔包括複數個軸向間隔排列且具有不同軸向長度之第一中間通孔，且複數個第一中間排孔之複數個第一中間通孔對應第一外滾筒之複數個第一通孔，藉以在第一中間套筒軸向移動時，調整複數個第一中間通孔與複數個第一通孔之連通狀態。

實施時，第一中間排孔之軸線中段具有最大長度之一第一中間通孔，最大長度第一中間通孔兩側之其他複數個第一中間通孔係以長度漸短之方式分別往第一中間排孔之軸線兩端間隔排列。

實施時，第一外滾筒之筒身外周緣更設有複數個第一槽，第 一槽之兩端分別連通任一第一排孔之二個間隔相鄰之該第一通孔。

實施時，第一外滾筒之筒身外周緣更設有複數個第一導槽，第一導槽係以斜向連通於任二個相鄰併列之第一排孔之第一通孔之間。

實施時，本創作更包括一第二內吸氣筒及一第二外滾筒，第二內吸氣筒固定連接於剝膜機上，並平行定位於第一內吸氣筒之下方，第二內吸氣筒之筒身上半部設有至少一第二進氣孔，第二內吸氣筒連接吸氣裝置，供吸氣讓至少一第二進氣孔產生負壓；第二外滾筒係以可自轉之方式同軸連接第二內吸氣筒，第二外滾筒之筒身設有複數個繞著圓周間隔併列之第二排孔，任一第二排孔具有軸向間隔排列之複數個第二通孔，藉以在第二外滾筒轉動時，讓第二外滾筒之筒身上半部之複數個第二排孔與第二內吸氣筒之至少一第二進氣孔連通，供向下吸氣，而在第二外滾筒之筒身上半部之複數個第二排孔繼續轉動至第二內吸氣筒之下半部時，中斷空氣由複數個第二排孔進入第二內吸氣筒之筒身內部。

實施時，本創作更包括一第二中間套筒，第二中間套筒係以可相對於第二外滾筒軸向移動之方式同軸連接第二外滾筒，並套接第二內吸氣筒；第二中間套筒之筒身設有複數個繞著圓周間隔併列之第二中間排孔，任一第二中間排孔包括複數個軸向間隔排列且具有不同軸向長度之第二中間通孔，且複數個第二中間排孔之複數個第二中間通孔對應第二外滾筒之複數個第二通孔，藉以在第二中間套筒軸向移動時，調整複數個第二中間通孔與複數個第二通孔之連通狀態。

實施時，第一外滾筒之筒身外周緣更設有複數個第二槽，第二槽之兩端分別連通任一第二排孔之二個間隔相鄰之第二通孔。

實施時，第二外滾筒之筒身外周緣更設有複數個第二導槽，第二導槽係以斜向連通於任二個相鄰併列之第二排孔之第二通孔之間。

為進一步了解本創作，以下舉較佳之實施例，配合圖式、圖號，將本創作之具體構成內容及其所達成的功效詳細說明如下。

1‧‧‧吸取薄膜結構

2‧‧‧第一內吸氣筒

21‧‧‧第一進氣孔

3‧‧‧第一外滾筒

31‧‧‧第一排孔

311‧‧‧第一通孔

32‧‧‧第一槽

33‧‧‧第一導槽

4‧‧‧第一中間套筒

41‧‧‧第一中間排孔

411‧‧‧第一中間通孔

5‧‧‧第二內吸氣筒

51‧‧‧第二進氣孔

6‧‧‧第二外滾筒

61‧‧‧第二排孔

611‧‧‧第二通孔

62‧‧‧第二槽

63‧‧‧第二導槽

7‧‧‧第二中間套筒

71‧‧‧第二中間排孔

711‧‧‧第二中間通孔

9‧‧‧剝膜機

91‧‧‧平板

911,912‧‧‧薄膜

92‧‧‧輸送單元

921‧‧‧前輸送段

922‧‧‧後輸送段

93‧‧‧阻擋輾壓單元

94‧‧‧第一吹氣單元

95‧‧‧第二吹氣單元

第1圖係為本創作之較佳實施例安裝於剝膜機上之流程示意圖。

第2圖係為本創作之較佳實施例之各筒之軸向剖面示意圖。

第3圖係為本創作之較佳實施例之各筒之徑向剖面示意圖。

第4圖係為本創作之較佳實施例之各筒之元件分解圖。

第5圖係為本創作之較佳實施例在剝離薄膜時之使用狀態示意圖。

第6圖係為本創作之較佳實施例在調整吸引薄膜寬度時之使用狀態示意圖。

請參閱第1圖所示，本創作吸取薄膜結構1係供剝離一剝膜機9上之一平板91上下表面之至少一薄膜(911,912)，其中之平板91可以為厚度在0.1mm以下，甚至於0.04mm的印刷電路板之類的薄板或是軟板。實施時，該剝膜機9更包括一輸送單元92以及一阻擋輾壓單元93。其中之輸送單元92包括一前輸送段921及一後輸送段922，前輸送段921係由複數水平間隔排列之滾筒所組成，供輸送一平板91使朝向吸取薄膜結構1之方向移動。而阻擋輾壓單元93係位於前輸送段921之後端，平板91經由阻擋輾壓單元93之阻擋定位，並以一組壓花輪分別在平板91上、下面之薄膜(911,912)表面上滾壓之後，即可在上、下薄膜(911,912)之前端邊緣分別形成平行於平板91前端緣之 一皺摺。而一第一吹氣單元94係定位於後輸送段922之前端上方，第一吹氣單元94之前端具有一第一吹氣口，第一吹氣口平行平板91之前端緣，藉以吹起薄膜911前端緣上方之皺摺；一第二吹氣單元95係定位於後輸送段922之前端下方，且第二吹氣單元95之前端具有一第二吹氣口，第二吹氣口平行平板91之前端緣，藉以吹起薄膜912前端緣下方之皺摺。而當平板91繼續延著後輸送段922之方向向後移動時，則可以吸取薄膜結構1捲起薄膜(911,912)，使薄膜(911,912)分別與基板分離，並分別掉落於容納箱內。

請參閱第2~4圖所示，其為本創作吸取薄膜結構1之較佳實施例，主要包括一第一內吸氣筒2、一第一外滾筒3、一第一中間套筒4、一第二內吸氣筒5、一第二外滾筒6以及一第二中間套筒7。

第一內吸氣筒2係為橫向設置並固定連接於剝膜機9上之中空圓筒，第一內吸氣筒2定位於前輸送段921之後端上方並平行平板91之前端緣，第一內吸氣筒2之筒身下半部設有至少一第一進氣孔21，而在本實施例中，第一進氣孔21具有複數個，複數個第一進氣孔21係為繞著第一內吸氣筒2之筒身下半部所開設之弧形孔，且複數個第一進氣孔21係以第一內吸氣筒2之軸方向間隔併列。第一內吸氣筒2之一端連接一鼓風機，該鼓風機做為吸氣裝置，藉以在吸氣裝置吸氣時，讓第一內吸氣筒2之筒身外部的空氣能經由複數個第一進氣孔21進入筒身內部，而形成負壓狀態；實施時，吸氣裝置亦可依需要而產生不同之負壓吸力。

第一外滾筒3係為橫向設置之圓筒，第一外滾筒3由外而內依序套接第一中間套筒4與第一內吸氣筒2，且第一外滾筒3與第一中間套筒4之一端連接一傳動機構，藉以讓第一外滾筒3與第一中間套筒4同時繞著第 一內吸氣筒2同軸自轉。第一外滾筒3之筒身上設有複數個繞著圓周間隔併列之第一排孔31，任一第一排孔31具有軸向間隔排列之複數個第一通孔311，藉以在第一外滾筒3轉動時，讓第一外滾筒3之筒身下半部之複數個第一排孔31與第一內吸氣筒2之複數個第一進氣孔21連通，並讓第一外滾筒3之筒身上半部之複數個第一排孔31呈封閉狀態。藉此，如第5圖所示，即可在第一外滾筒3自轉而其筒身下半部之複數個第一排孔31與第一內吸氣筒2之複數個第一進氣孔21連通時，以負壓向上吸引並掀起薄膜911前端緣上方之皺摺，並同步帶動薄膜911向上捲動，而在第一外滾筒3繼續自轉但第一內吸氣筒2固定不動，亦即第一外滾筒3之筒身下半部之複數個第一排孔31繼續轉動至第一內吸氣筒2之上半部時，中斷空氣由複數個第一排孔31進入第一內吸氣筒2之筒身內部，使原本連通之複數個第一排孔31呈封閉狀態而解除負壓吸力，讓薄膜911之前端緣與第一外滾筒3分開以剝離薄膜911。另，第一外滾筒3之筒身外周緣更設有複數個第一槽32及複數個第一導槽33，其中之第一槽32的兩端分別連通任一第一排孔31之二個間隔相鄰之第一通孔311；而第一導槽33係以相互交叉之方式斜向連通於任二個相鄰併列之第一排孔31的第一通孔311之間，藉以讓氣流可以在各個第一通孔311、第一槽32及複數個第一導槽33之間流動，以吸附薄膜911之皺摺之邊角。

第一中間套筒4套接第一內吸氣筒2，且第一中間套筒4以可相對於第一外滾筒4與第一內吸氣筒2軸向移動之方式同軸連接第一外滾筒4。第一中間套筒4之筒身設有複數個繞著圓周間隔併列之第一中間排孔41，任一第一中間排孔41包括複數個軸向間隔排列且具有不同軸向長度之第一中間通孔411，位於任一第一中間排孔41之軸線中段之一第一中間通孔411 具有最大之長度，而同一第一中間排孔41之其他複數個第一中間通孔411則是位於該最大長度第一中間通孔411之兩側，並以長度漸短之方式分別往第一中間排孔41之軸線兩端間隔排列。第一中間套筒4筒身上之複數個第一中間排孔41之複數個第一中間通孔411分別對應第一外滾筒3筒身上之複數個第一排孔31之複數個第一通孔311。藉此，當第一外滾筒3之複數個第一通孔311全部對應連通第一中間套筒4之複數個第一中間通孔411時，即可具有最大長度之薄膜911分離效果；而如第6圖所示，當第一中間套筒4相對於第一外滾筒3軸向移動時，則會讓第一外滾筒3之筒身依序遮蔽最大長度第一中間通孔411兩側之複數個第一中間通孔411，讓能夠吸引並分離薄膜911之長度逐漸縮短，以適用於具有較短水平寬度之平板91。

而第二內吸氣筒5、第二外滾筒6與第二中間套筒7係為上下對應於第一內吸氣筒2、第一外滾筒3與第一中間套筒4之套筒結構，並位於前輸送段921之後端下方，同時平行平板91之前端緣。其中之第二內吸氣筒5之筒身上半部設有至少一第二進氣孔51，第二進氣孔51係為繞著第二內吸氣筒5之筒身上半部所開設之弧形孔，且複數個第二進氣孔51係以第二內吸氣筒5之軸方向間隔併列，第二內吸氣筒5連接吸氣裝置。第二外滾筒6係以可自轉之方式同軸連接第二內吸氣筒5，第二外滾筒6之筒身設有複數個繞著圓周間隔併列之第二排孔61，任一第二排孔61具有軸向間隔排列之複數個第二通孔611；而第二中間套筒7係以可相對於第二外滾筒6軸向移動之方式同軸連接第二外滾筒6，並套接第二內吸氣筒5；第二中間套筒7之筒身設有複數個繞著圓周間隔併列之第二中間排孔71，任一第二中間排孔71包括複數個軸向間隔排列且具有不同軸向長度之第二中間通孔711，第二中間排孔71之 軸線中段具有最大長度之一第二中間通孔711，最大長度第二中間通孔711兩側之其他複數個第二中間通孔711係以長度漸短之方式分別往第二中間排孔71之軸線兩端間隔排列，且複數個第二中間排孔71之複數個第二中間通孔711對應第二外滾筒6之複數個第二通孔611。藉此，即可以如第5圖所示向下吸引並分離薄膜912，並調整可分離薄膜912之水平寬度。另，第二外滾筒6之筒身外周緣更設有複數個第二槽62及複數個第二導槽63，其中之第二槽62的兩端分別連通任一第二排孔61之二個間隔相鄰之第二通孔611；而第二導槽63係以相互交叉之方式斜向連通於任二個相鄰併列之第二排孔61的第二通孔611之間，藉以讓氣流可以在各個第二通孔611、第二槽62及複數個第二導槽63之間流動，以吸附薄膜912之皺摺之邊角。

因此，本創作具有以下之優點：

1、本創作可以在上下兩端分別形成負壓以分別吸取平板上下兩表面之薄膜，並在分別吸取薄膜之後，分別以捲繞之方式讓兩個薄膜分別與平板之基板分離，因此，可以經由對稱的分別捲起薄膜，並依需要而產生不同之負壓吸力，讓薄膜能順暢且全面性的與基板分離，以提高作業品質，增加良率，並有效避免因捲起整個平板所產生之機件損壞，或因平板報廢所造成之材料浪費。

2、本創作可以調整複數個第一中間通孔、複數個第一通孔之連通狀態，以及調整複數個第二中間通孔、複數個第二通孔之連通狀態，因此，能適用於具有不同水平寬度之平板，並讓吸力能有效集中以節省能源之消耗。

3、本創作之外滾筒筒身的外周緣設有複數個軸向間隔排列及相互交叉之空氣流通槽道，且各個槽道分別連通各個通孔，因此，當薄膜之皺摺邊角不是剛好位於各個通孔上時，仍然可以防止皺摺之邊角翹起，以產生完 全吸附之效果。

綜上所述，依上文所揭示之內容，本創作確可達到預期之目的，提供一種能將薄膜順暢、有效且全面性剝離，並可節省能源消耗之吸取薄膜結構，極具產業上利用之價值，爰依法提出新型專利申請。

2‧‧‧第一內吸氣筒

21‧‧‧第一進氣孔

3‧‧‧第一外滾筒

31‧‧‧第一排孔

311‧‧‧第一通孔

32‧‧‧第一槽

33‧‧‧第一導槽

4‧‧‧第一中間套筒

41‧‧‧第一中間排孔

411‧‧‧第一中間通孔

5‧‧‧第二內吸氣筒

51‧‧‧第二進氣孔

6‧‧‧第二外滾筒

61‧‧‧第二排孔

611‧‧‧第二通孔

62‧‧‧第二槽

63‧‧‧第二導槽

7‧‧‧第二中間套筒

71‧‧‧第二中間排孔

711‧‧‧第二中間通孔

Claims (10)

1. 一種吸取薄膜結構，係包括：

   一第一內吸氣筒，係固定連接於一剝膜機上，該第一內吸氣筒之筒身下半部設有至少一第一進氣孔，該第一內吸氣筒之一端連接一吸氣裝置，供吸氣讓氣流經由該至少一第一進氣孔進入該第一內吸氣筒之筒身內部；以及

   一第一外滾筒，係以可相對於該第一內吸氣筒轉動之方式同軸套接該第一內吸氣筒，該第一外滾筒之筒身設有複數個繞著圓周間隔併列之第一排孔，該任一第一排孔具有軸向間隔排列之複數個第一通孔，藉以在該第一外滾筒轉動時，讓該第一外滾筒之筒身下半部之該複數個第一排孔與該第一內吸氣筒之至少一第一進氣孔連通，供向上吸氣，而在該第一外滾筒之筒身下半部之該複數個第一排孔繼續轉動至該第一內吸氣筒之上半部時，中斷空氣由該複數個第一排孔進入該第一內吸氣筒之筒身內部。
2. 如申請專利範圍第1項所述之吸取薄膜結構，其中，該第一進氣孔係為繞著該第一內吸氣筒之筒身下半部所開設之弧形孔，且該複數個第一進氣孔係以該第一內吸氣筒之軸方向間隔併列。
3. 如申請專利範圍第1項所述之吸取薄膜結構，其更包括一第一中間套筒，該第一中間套筒係以可相對於該第一外滾筒軸向移動之方式同軸連接該第一外滾筒，並套接該第一內吸氣筒；該第一中間套筒之筒身設有複數個繞著圓周間隔併列之第一中間排孔，該任一第一中間排孔包括複數個 軸向間隔排列且具有不同軸向長度之第一中間通孔，且該複數個第一中間排孔之該複數個第一中間通孔對應該第一外滾筒之該複數個第一通孔，藉以在該第一中間套筒軸向移動時，調整該複數個第一中間通孔與該複數個第一通孔之連通狀態。
4. 如申請專利範圍第3項所述之吸取薄膜結構，其中，該第一中間排孔之軸線中段具有最大長度之一第一中間通孔，該最大長度第一中間通孔兩側之其他複數個第一中間通孔係以長度漸短之方式分別往該第一中間排孔之軸線兩端間隔排列。
5. 如申請專利範圍第1至4項其中任一項所述之吸取薄膜結構，其中該第一外滾筒之筒身外周緣更設有複數個第一槽，該第一槽之兩端分別連通該任一第一排孔之二個間隔相鄰之該第一通孔。
6. 如申請專利範圍第5項所述之吸取薄膜結構，其中該第一外滾筒之筒身外周緣更設有複數個第一導槽，該第一導槽係以斜向連通於任二個相鄰併列之該第一排孔之該第一通孔之間。
7. 如申請專利範圍第1項所述之吸取薄膜結構，其更包括一第二內吸氣筒及一第二外滾筒，該第二內吸氣筒係固定連接於該剝膜機上，並平行定位於該第一內吸氣筒之下方，該第二內吸氣筒之筒身上半部設有至少一第二進氣孔，該第二內吸氣筒連接該吸氣裝置，供吸氣讓該至少一第二進氣孔產生負壓；該第二外滾筒係以可自轉之方式同軸連接該第二內吸氣筒，該第二外滾筒之筒身設有複數個繞著圓周間隔併列之第二排孔，該任一第二排孔具有軸向間隔排列之複數個第二通孔，藉以在該第二外滾 筒轉動時，讓該第二外滾筒之筒身上半部之該複數個第二排孔與該第二內吸氣筒之至少一第二進氣孔連通，供向下吸氣，而在該第二外滾筒之筒身上半部之該複數個第二排孔繼續轉動至該第二內吸氣筒之下半部時，中斷空氣由該複數個第二排孔進入該第二內吸氣筒之筒身內部。
8. 如申請專利範圍第7項所述之吸取薄膜結構，其更包括一第二中間套筒，該第二中間套筒係以可相對於該第二外滾筒軸向移動之方式同軸連接該第二外滾筒，並套接該第二內吸氣筒；該第二中間套筒之筒身設有複數個繞著圓周間隔併列之第二中間排孔，該任一第二中間排孔包括複數個軸向間隔排列且具有不同軸向長度之第二中間通孔，且該複數個第二中間排孔之該複數個第二中間通孔對應該第二外滾筒之該複數個第二通孔，藉以在該第二中間套筒軸向移動時，調整該複數個第二中間通孔與該複數個第二通孔之連通狀態。
9. 如申請專利範圍第7或8項所述之吸取薄膜結構，其中該第一外滾筒之筒身外周緣更設有複數個第二槽，該第二槽之兩端分別連通該任一第二排孔之二個間隔相鄰之該第二通孔。
10. 如申請專利範圍第9項所述之吸取薄膜結構，其中該第二外滾筒之筒身外周緣更設有複數個第二導槽，該第二導槽係以斜向連通於任二個相鄰併列之該第二排孔之該第二通孔之間。

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