TWM633058U - 薄膜剝離模組（二） - Google Patents

Abstract

一種薄膜剝離模組，其連接於一機架上，包括至少一前薄膜剝離單元以及一定位撕膜模組，至少一前薄膜剝離單元定位於一上剝膜單元之前端，前薄膜剝離單元包括一下勾部以及一上驅動件，上驅動件連接並帶動下勾部以向下抵壓基板之上表面，供薄板移動時以剝離上薄膜之前端緣；而定位撕膜模組係定位於上剝膜單元之後端，定位撕膜模組包括一上定位件以及一下定位件，上定位件具有至少一第一吹氣口以向前吹氣；下定位件連接於上定位件之下方，且上定位件與下定位件之間具有一通道，供基板由前端朝向後端之方向通過之後，再經由一後輸送段向後輸送。

Description

薄膜剝離模組　(二)

本創作係有關一種薄膜剝離模組，尤指一種可將薄膜有效的全面性剝離者。

在印刷電路板的製造過程中，基板在曝光之前，皆會在基板之上、下表面分別形成光阻層及黏附於光阻層表面之薄膜，在曝光之後，再將薄膜剝離以使光阻層外露，以進行後續之顯影及蝕刻程序。而現有剝膜機剝離薄膜之方式，主要是藉由一前輸送段以輸送上述印刷電路板之類的薄板，使沿著由前朝後的輸送方向移動，薄板經由一阻擋單元之阻擋定位，再經由一組壓花輪在薄膜之前端緣表面上滾壓之後，即會讓薄板繼續延著一後輸送段向後輸送，並以一組黏輪將產生皺摺之薄膜逐步剝離。

藉由上述剝膜機結構，確實可以提升剝離薄膜之效率。惟在實際剝離薄膜的過程中發現，當基板本身之厚度不大，尤其是對於厚度在0.1mm以下，甚至於0.04mm的薄板或是軟板而言，其容易會有彎曲不平的現象。當外徑一致的長直筒形黏輪黏著薄膜之前端緣時，由於各個黏著位置之黏著力不會完全相同，即無法先讓薄膜之前端緣與基板分離，再順暢且有效的讓薄膜全面性的剝離；且在薄膜剝離的過程中，由於長直筒形黏輪主要是以垂直於薄板板面之方向拉起薄膜，容易會有同時拉動或捲起整個薄板之現象產生，而讓基板因此而報廢，甚至於讓剝膜機之機件損壞。

有鑑於此，為了提供一種有別於習用技術之結構，並改善上述之缺點，創作人積多年的經驗及不斷的研發改進，遂有本創作之產生。

本創作之一目的在提供一種薄膜剝離模組，俾能解決習用剝膜機無法有效的讓薄膜之前端緣與基板分離，且容易同時拉動或捲起整個薄板或是軟板的問題，而能讓薄膜之前端緣能與基板有效的分離，以利於後續之整體薄膜剝離作業，並能有效的避免整個薄板被捲起所產生之機件損壞，或因薄板報廢所造成之材料浪費。

為達上述創作之目的，本創作所設之薄膜剝離模組係連接於一機架上，機架之前端具有一前輸送段，供輸送一薄板使沿著由前端朝向後端之輸送方向移動，經由一上剝膜單元將薄板之一基板上表面之一上薄膜剝離之後，再經由一後輸送段向後輸送，其主要之技術特點在於：薄膜剝離模組包括至少一前薄膜剝離單元以及一定位撕膜模組，其中之至少一前薄膜剝離單元定位於上剝膜單元之前端，前薄膜剝離單元包括一下勾部以及一上驅動件，上驅動件連接下勾部，上驅動件帶動下勾部以向下抵壓基板之上表面，供薄板移動時以剝離上薄膜之前端緣；定位撕膜模組定位於上剝膜單元之後端，定位撕膜模組包括一上定位件以及一下定位件，上定位件具有至少一第一吹氣口，供向前吹氣；下定位件連接於上定位件之下方，且上定位件與下定位件之間具有一通道，供基板由前端朝向後端之方向通過。

實施時，本創作更包括一上吹氣單元，上吹氣單元連接機架，供朝向下勾部之方向吹出空氣。

實施時，本創作更包括一上勾部以及一下驅動件，下驅動件連接上勾部，下驅動件帶動上勾部以向上抵壓基板之下表面，供薄板移動時以剝離基板下表面之一下薄膜之前端緣。

實施時，本創作更包括一下吹氣單元，下吹氣單元連接機架，供以朝向上勾部之方向吹出空氣。

實施時，至少一第一吹氣口連通上定位件與下定位件之間之通道，供向前吹氣。

實施時，下定位件具有至少一第二吹氣口，供向前吹氣。

實施時，上定位件與下定位件分別為上下對稱之平板，上定位件之前端具有一第一凸部，第一凸部由上定位件之後端朝向前端之方向向前延伸；下定位件之前端具有一第二凸部，第二凸部與第一凸部上下對稱，且第二凸部由下定位件之後端朝向前端之方向向前延伸。

實施時，第一凸部之一側具有一第一上斜邊，第一凸部之另一側具有一第二上斜邊，第一上斜邊與第二上斜邊分別以一角度向後延伸；第二凸部之一側具有一第一下斜邊，第二凸部之另一側具有一第二下斜邊，第一下斜邊與第二下斜邊分別以一角度向後延伸。

為便於對本創作能有更深入的瞭解，茲詳述於後：

本創作之薄膜剝離模組包括至少一前薄膜剝離單元以及一定位撕膜模組，其中之至少一前薄膜剝離單元係定位於一上剝膜單元之前端，前薄膜剝離單元包括一下勾部以及一上驅動件，上驅動件連接下勾部，上驅動件帶動下勾部以向下抵壓基板之上表面，供薄板移動時以剝離上薄膜之前端緣；而定位撕膜模組係定位於上剝膜單元之後端，定位撕膜模組主要包括一上定位件以及一下定位件，上定位件具有至少一第一吹氣口，下定位件連接於上定位件之下方，且上定位件與下定位件之間具有一通道，藉以在一基板之前端穿入通道內以定位基板，至少一第一吹氣口向前吹氣，且上剝膜單元同時剝離基板上之一上薄膜之後，可以讓基板通過通道，再經由一後輸送段向後輸送。

請參閱圖1~圖4所示，其為本創作薄膜剝離模組1之較佳實施例，係供連接於一機架11上。其中，機架11輸入薄板12之一端界定為機架11之前端，輸出薄板12之一端界定為機架11之後端，機架11之前端具有一前輸送段13，機架11之後端具有一後輸送段14，前輸送段13與後輸送段14分別由複數水平間隔排列之滾筒所組成，供輸送薄板12使沿著機架11之前端朝向後端之方向移動。上剝膜單元9與下剝膜單元91分別為橫向設置之圓筒，上剝膜單元9定位於前輸送段13之後端上方並平行薄板12之前端緣，上剝膜單元9之圓筒筒身上具有複數個吸氣孔92，且上剝膜單元9之一端具有連通複數個吸氣孔92之一鼓風機，藉以在鼓風機吸氣時，讓上剝膜單元9之筒身外部的空氣能經由複數個吸氣孔92進入筒身內部，形成負壓狀態以吸附一基板121上表面之一上薄膜122；而上剝膜單元9與下剝膜單元91上下相對應，並具有相同之結構，同樣可以經由下剝膜單元91以吸附基板121下表面之一下薄膜123。

本創作之薄膜剝離模組1包括一前薄膜剝離單元2以及一定位撕膜模組30。其中之前薄膜剝離單元2主要包括一上驅動件20、一下勾部221、一下驅動件20’ 以及上勾部262，實施時，前薄膜剝離單元2亦可設有複數個，複數個前薄膜剝離單元2在同一水平面上橫向間隔排列，且複數個前薄膜剝離單元2之排列方向垂直薄板12之輸送方向。

上驅動件20包括一上支軸21、一上懸臂22、一第一驅動件23、一上吹氣單元24。上支軸21連接機架11；上懸臂22之一端樞接上支軸21，上懸臂22之另一端具有一下勾部221，下勾部221之一尖角以遠離上懸臂22之方向向下凸出；第一驅動件23為一活塞組，第一驅動件23之下端連接上懸臂22之中段位置，藉以上、下移動上懸臂22之下勾部221；而上吹氣單元24係連接機架11，且上吹氣單元24之吹氣口朝向下勾部221之方向。藉此，當下勾部221向下抵壓基板121之上表面，薄板12向後移動，且上吹氣單元24朝向下勾部221吹出空氣時，即可剝離上薄膜122之前端緣。實施時，上驅動件20亦可為一氣壓缸或是一油壓缸，並在活塞桿之一端連接下勾部221，同樣可以帶動下勾部221以向下抵壓基板121之上表面，在薄板12移動時，剝離上薄膜122之前端緣。

而下驅動件20’ 包括一下支軸25、一下懸臂26、一第二驅動件27以及一下吹氣單元28。下支軸25連接機架11，並對應設置於上支軸21之下方；下懸臂26之一端樞接下支軸25，下懸臂26之中段位置具有一凸塊，凸塊具有底部開放之一凹槽，該凸塊做為限位部261，供定位一壓縮彈簧之頂端，該壓縮彈簧做為彈性件29；下懸臂26之另一端具有一上勾部262，上勾部262之一尖角以遠離下懸臂26之方向向上凸出；第二驅動件27為一活塞組， 第二驅動件27之上端具有一推壓部271，推壓部271向上連接彈性件29之底端，藉以向上推壓移動下懸臂26之上勾部262；而下吹氣單元28係連接於機架11上，且下吹氣單元28之吹氣口朝向上勾部262之方向。藉此，當上勾部262之尖角向上抵壓基板121之下表面，且下吹氣單元28朝向上勾部262吹出空氣時，即可剝離下薄膜123之前端緣。實施時，下驅動件20’亦可為一氣壓缸或是一油壓缸，並在活塞桿之一端連接上勾部262，同樣可以帶動上勾部262以向上抵壓基板121之下表面，在薄板12移動時，剝離下薄膜123之前端緣。

如圖5~圖7所示，定位撕膜模組30主要包括一上定位件3以及一下定位件4。其中之上定位件3為一平板，上定位件3之前端中央位置具有一第一凸部31，第一凸部31由上定位件3之後端朝向前端之方向向前延伸；第一凸部31之一側具有一第一上斜邊32，第一凸部31之另一側具有一第二上斜邊33，第一上斜邊32與第二上斜邊33分別以一角度向後延伸；上定位件3之底面後端具有複數個間隔排列之第一吹氣口34，複數個第一吹氣口34之一端連接鼓風機以向前吹氣。

上定位件3與下定位件4分別為上、下對稱之平板，上定位件3的底面與下定位件4的頂面之間具有一通道5；下定位件4之前端中央位置具有一第二凸部41，第一凸部31與第二凸部41上、下相對稱，第二凸部41由下定位件4之後端朝向前端之方向向前延伸；第二凸部41之一側具有一第一下斜邊42，第二凸部41之另一側具有一第二下斜邊43，第一下斜邊42與第二下斜邊43分別以一角度向後延伸；另，下定位件4之頂面後端具有複數個間隔排列之第二吹氣口44，複數個第二吹氣口44之一端連接鼓風機以向前吹氣。

藉此，當薄板12為印刷電路板之類的平板時，其主要包括一基板121，基板121之上表面具有上薄膜122，基板121之下表面具有下薄膜123。一薄板12由前輸送段13朝向後輸送段14向後輸送，在經由下勾部221之尖角剝離上薄膜122之前端緣，同時上勾部262之尖角剝離下薄膜123之前端緣之後，薄板12會繼續向後移動。當基板121之前端緣先插入第一凸部31與第二凸部41之間的通道5，再漸進式的插入第一上斜邊32、第二上斜邊33與第一下斜邊42、第二下斜邊43之間的通道5時，基板121維持定向移動，縱然是上剝膜單元9與下剝膜單元91分別形成負壓狀態以吸附上薄膜122與下薄膜123，仍可讓基板121在通過通道5之後，再經由後輸送段14向後輸出。而當通道5內之空氣由後端朝向前端之方向吹送，並分別通過上薄膜122、基板121之間的間隙與基板121、下薄膜123之間的間隙時，則有助於完全剝離上薄膜122與下薄膜123。

綜上所述，本創作能經由下勾部與上勾部分別剝離上薄膜與下薄膜之前端緣，以利於後續之整體薄膜剝離作業；能經由上定位件與下定位件之定位作用，在上剝膜單元與下剝膜單元分別吸附以捲起上薄膜與下薄膜時，仍能讓基板定位於通道內以維持定向移動，進而避免整個薄板之前端緣被捲起；並能經由將空氣吹進上薄膜與基板之間以及基板與下薄膜之間，在上剝膜單元與下剝膜單元同時作動時，讓上薄膜與下薄膜能夠更順暢且全面性的與基板分離，不會殘留薄膜脆片以提高作業品質；再者，由於第一凸部之兩側具有第一上斜邊與第二上斜邊，第二凸部之兩側具有第一下斜邊與第二下斜邊，則能夠讓基板之前端緣漸進式的插入上定位件與下定位件之間的通道內，以確保定位之效果，並有效避免因捲起整個薄板所產生之機件損壞，或因薄板報廢所造成之材料浪費。

本創作雖為實現上述目的而揭露了較佳的具體實施例，惟其並非用以限制本創作之構造特徵，任何該技術領域之通常知識者應知，在本創作的技術精神下，任何輕易思及之變化或修飾皆是可能的，且皆為本創作之申請專利範圍所涵蓋。

1:薄膜剝離模組 11:機架 12:薄板 121:基板 122:上薄膜 123:下薄膜 13:前輸送段 14:後輸送段 2:前薄膜剝離單元 20:上驅動件 20’:下驅動件 21:上支軸 22:上懸臂 221:下勾部 23:第一驅動件 24:上吹氣單元 25:下支軸 26:下懸臂 261:限位部 262:上勾部 27:第二驅動件 271:推壓部 28:下吹氣單元 29:彈性件 3:上定位件 30:定位撕膜模組 31:第一凸部 32:第一上斜邊 33:第二上斜邊 34:第一吹氣口 4:下定位件 41:第二凸部 42:第一下斜邊 43:第二下斜邊 44:第二吹氣口 5:通道 9:上剝膜單元 91:下剝膜單元 92:吸氣孔

﹝圖1﹞為本創作之較佳實施例安裝於機架上之立體外觀示意圖。 ﹝圖2﹞為圖1之A-A’剖面圖。 ﹝圖3﹞為本創作之較佳實施例之前薄膜剝離單元之立體外觀圖。 ﹝圖4﹞為本創作之較佳實施例之前薄膜剝離單元之使用狀態示意圖。 ﹝圖5﹞為本創作之較佳實施例之上定位件與下定位件之組合立體外觀圖。 ﹝圖6﹞為本創作之較佳實施例之上定位件與下定位件之分解立體外觀圖。 ﹝圖7﹞為本創作之較佳實施例之上定位件與下定位件之使用狀態示意圖。

1:薄膜剝離模組

11:機架

13:前輸送段

14:後輸送段

2:前薄膜剝離單元

20:上驅動件

20’:下驅動件

21:上支軸

22:上懸臂

23:第一驅動件

24:上吹氣單元

25:下支軸

26:下懸臂

27:第二驅動件

28:下吹氣單元

3:上定位件

30:定位撕膜模組

34:第一吹氣口

4:下定位件

44:第二吹氣口

5:通道

9:上剝膜單元

91:下剝膜單元

Claims (8)

1. 一種薄膜剝離模組，其連接於一機架上，該機架之前端具有一前輸送段，供輸送一薄板使沿著由前端朝向後端之輸送方向移動，經由一上剝膜單元將該薄板之一基板上表面之一上薄膜剝離之後，再經由一後輸送段向後輸送，其特徵在於，該薄膜剝離模組包括： 至少一前薄膜剝離單元，其定位於該上剝膜單元之前端，該前薄膜剝離單元包括一下勾部以及一上驅動件，該上驅動件連接該下勾部，該上驅動件帶動該下勾部以向下抵壓該基板之上表面，供該薄板移動時以剝離該上薄膜之前端緣；以及 一定位撕膜模組，其定位於該上剝膜單元之後端，該定位撕膜模組包括一上定位件以及一下定位件，該上定位件具有至少一第一吹氣口，供向前吹氣；該下定位件連接於該上定位件之下方，且該上定位件與該下定位件之間具有一通道，供該基板由前端朝向後端之方向通過。
2. 如請求項1之薄膜剝離模組，其更包括一上吹氣單元，該上吹氣單元連接該機架，供朝向該下勾部之方向吹出空氣。
3. 如請求項1或2之薄膜剝離模組，其更包括一上勾部以及一下驅動件，該下驅動件連接該上勾部，該下驅動件帶動該上勾部以向上抵壓該基板之下表面，供該薄板移動時以剝離該基板下表面之一下薄膜之前端緣。
4. 如請求項3之薄膜剝離模組，其更包括一下吹氣單元，該下吹氣單元連接該機架，供以朝向該上勾部之方向吹出空氣。
5. 如請求項1之薄膜剝離模組，其中該至少一第一吹氣口連通該上定位件與該下定位件之間之該通道，供向前吹氣。
6. 如請求項1之薄膜剝離模組，其中該下定位件具有至少一第二吹氣口，供向前吹氣。
7. 如請求項1、5或6之薄膜剝離模組，其中該上定位件與該下定位件分別為上下對稱之平板，該上定位件之前端具有一第一凸部，該第一凸部由該上定位件之後端朝向前端之方向向前延伸；該下定位件之前端具有一第二凸部，該第二凸部與該第一凸部上下對稱，且該第二凸部由該下定位件之後端朝向前端之方向向前延伸。
8. 如請求項7之薄膜剝離模組，其中該第一凸部之一側具有一第一上斜邊，該第一凸部之另一側具有一第二上斜邊，該第一上斜邊與該第二上斜邊分別以一角度向後延伸；該第二凸部之一側具有一第一下斜邊，該第二凸部之另一側具有一第二下斜邊，該第一下斜邊與該第二下斜邊分別以一角度向後延伸。

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