TWI712472B - 在自動機中提供錯準校正的方法及系統 - Google Patents

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Abstract

描述了校正自動機(例如雙葉式自動機)中之葉片之位置錯準的方法。在一或更多個實施例中，該等方法包括：一自動機，包括：可動臂及附接至該等可動臂中的一者的一端接器；一旗標，安置在該等可動臂中的一者或該端接器上；一腔室，被調適為受該端接器服務；一射束感測器，相對於該腔室以一距離定位；及校正該端接器的錯準，其中該錯準發生在一初始線性中心找尋位置及該腔室的經估算中心之間。亦揭露了進行此類電子設備校準的系統。提供了許多其他的態樣。

Description

在自動機中提供錯準校正的方法及系統
本案主張來自於2016年6月29日所提出且標題為「METHODS AND SYSTEMS PROVIDING MISALIGNMENT CORRECTION IN ROBOTS」之第15/197,039號之美國非臨時專利申請案（代理人案號第24054/USA號）的優先權，特此出於各種目的將該美國非臨時專利申請案的整體內容以引用方式併入本文中。
本揭示案的實施例關於被調適為校正自動機中之端接器之錯準的方法及裝置。
電子設備製造系統可包括多個製程腔室及裝載閘腔室。此類腔室可被包括在群集工具中，其中複數個製程腔室可例如分佈在傳輸腔室周圍。這些工具可採用多關節自動機或多臂自動機，該等自動機可收容在傳輸腔室內且在各種製程腔室及裝載閘腔室之間輸送基板。例如，自動機可從腔室到腔室、從裝載閘腔室到製程腔室及/或從製程腔室到裝載閘腔室地輸送基板。高效及準確地在各種系統腔室之間輸送基板可改良系統產量，因此降低了整體的運作成本。
並且，準確的基板放置可改良整體的處理品質。在許多雙葉式自動機中，是採用選擇性順應的多關節自動臂(SCARA)自動機。各SCARA自動機採用由一個馬達所驅動的三個臂(上臂、前臂及腕)。端接器可耦合至腕，且可用以向或自撿取或放置目的地(例如製程腔室或裝載閘腔室)承載基板。在雙葉式SCARA自動機中(其中SCARA自動機耦合至吊桿的相對端)，有問題地，此類SCARA自動機可能遭受某些錯準問題。此外，在不是雙葉式的SCARA自動機中，某些錯準問題亦可能發生。
據此，此揭示案是針對用於高效及準確地定向端接器的改良的方法、系統及裝置。
在一個實施例中，提供了一種校正一雙葉式自動機中之錯準的方法。該方法包括以下步驟：提供一雙葉式自動機，此雙葉式自動機包括第一可動臂及附接至該等第一可動臂中的一者的一第一端接器、及第二可動臂及附接至該等第二可動臂中的一者的一第二端接器，其中該第一端接器及該第二端接器可獨立地延伸移動；在該等第一可動臂中的一者或該第一端接器上提供第一旗標；在該等第二可動臂中的一者或該第二端接器上提供第二旗標；在該等第一旗標之一期望路徑中的位置處提供第一射束感測器；在該等第二旗標之一期望路徑中的位置處提供第二射束感測器；將該自動機以一第一自動機配置延伸，其中 該第一端接器延伸且其中該第二端接器回縮，且記錄在該等第一射束感測器被該等第一旗標阻擋及未被該等第一旗標阻擋處所量測到的空間上的位置；將該自動機以一第二自動機配置延伸，其中該第一端接器及該第二端接器兩者延伸，且記錄在該等第一射束感測器被該等第一旗標阻擋及未被該等第一旗標阻擋處及在該等第二射束感測器被該等第二旗標阻擋及未被該等第二旗標阻擋處所量測到的空間上的位置；及針對該第一自動機配置及該第二自動機配置中的至少一者決定一位置校正。
在另一實施例中，提供了一種雙葉式自動機校正系統。該雙葉式自動機校正系統包括：該雙葉式自動機，包括第一可動臂及附接至該等第一可動臂中的一者的一第一端接器、及第二可動臂及附接至該等第二可動臂中的一者的一第二端接器，其中該第一端接器及第二端接器可獨立移動；第一旗標，安置在該等第一可動臂中的一者或該第一端接器上；第二旗標，安置在該等第二可動臂中的一者或該第二端接器上；第一射束感測器，被提供在一第一製程位置附近；第二射束感測器，被提供在一第二製程位置附近；一控制器，耦合至該雙葉式自動機且運作上被配置為：將該雙葉式自動機移動為一第一自動機配置，其中該第一端接器延伸而該第二端接器回縮，且記錄在該等第一射束感測器被該等第一旗標阻擋及未被該等第一旗標阻擋處所量測到的位置；將該雙葉式自動機移動為一第二自動機配置，其中該第一端接器及該第二端接器兩者 延伸，且記錄在該等第一射束感測器被該等第一旗標阻擋及未被該等第一旗標阻擋處及在該等第二射束感測器被該等第二旗標阻擋及未被該等第二旗標阻擋處所量測到的該等位置；及針對該第一自動機配置及該第二自動機配置中的至少一者決定一位置校正。
在另一實施例中，提供了一種電子設備處理系統。該系統包括：一自動機，包括可動臂及附接至該等可動臂中的一者的一端接器，及一旗標，該旗標安置在該等可動臂中的一者或該端接器上，其中該端接器可平移移動；一腔室，被調適為受該端接器服務；一射束感測器，相對於該腔室以一距離定位；一控制器，耦合至該自動機且運作上被配置為：使得該自動機移動為一自動機配置，其中該端接器延伸，且記錄該射束感測器被該旗標阻擋及未被該旗標阻擋的被阻擋的及未被阻擋的平移位置，及針對該自動機配置相對於一經校準的位置決定一位置校正。
在又另一實施例中，提供了一種校正一自動機中之錯準的方法。該方法包括以下步驟：提供一自動機，該自動機包括：可動臂及附接至該等可動臂中的一者的一端接器，及一旗標，該旗標安置在該等可動臂中的一者或該端接器上；提供一腔室，該腔室被調適為受該端接器服務；提供一射束感測器，該射束感測器相對於該腔室以一距離定位；將該自動機移動為一自動機配置，其中該端接器延伸；記錄該射束感測器被該旗標阻擋及未被該旗標阻擋的被阻擋的及未被阻擋的平移位置；及針對該自動機配置相對於一經校準的位置決定一位置校正。
依據本揭示案的這些及其他的態樣提供了許多其他的特徵。藉由以下的詳細說明、隨附的請求項及隨附的繪圖，將變得更加完全理解其他的特徵及態樣。
基於上述理由，在電子設備製造時，一個目標是達成非常準確及快速地在各種位置之間輸送基板。具體而言，雙葉式自動機的各葉片應相對於它們所服務的腔室（例如製程腔室及/或裝載閘）準確定向。不適當的定位可能造成不均勻的處理，其中品質在某些實施例中可能減少或交遞可能錯準。如上所述，某些雙葉式SCARA自動機遭受某些定向問題。
具體而言，發明人在本文中已發現的是，在單一端接器自己個別延伸進入製程腔室時，該端接器在製程腔室中的位置定向與在兩個端接器同時同步延伸進入製程腔室時是不同的，因為各個自動機配置包括了不同的下垂量。取決於是否是一個葉片還是兩個葉片延伸，不同的下垂量似乎造成了不同的水平及/或旋轉錯準量。
並且，在先前技術中，在具有受支撐的基板的端接器移動進入腔室而通過中心找尋感測器時，在感測器位置處決定了基板的中心位置。如此，可在基板不是居中在端接器上時完成端接器定位上的調整，以便改良腔室內的基板定位。然而，發明人已發現的是，端接器在端接器從中心找尋位置移動至腔室的中心位置時遭遇到進一步的相對於所欲位置的偏移/錯準。因此，即使在先前技術中可完成不適當的居中的某些校正，在端接器及受支撐的基板在中心找尋位置及腔室之間前行時發生了進一步的錯準。在先前技術中並不校正此類錯準。據此，製程腔室中之基板的定向可能不是最佳的。因此，在一或更多個實施例中，提供了改良錯準校準的方法，其中發生在中心找尋位置及腔室（例如製程腔室）中心之間的至少某些錯準被校正。
在一個實施例中，在校準程序期間考慮了不同自動機延伸配置下的錯準。具體而言，取決於是否是以一個延伸的端接器還是兩個延伸的端接器執行初始位置校準，在不校正此叉狀分枝的情況下，至少在某些時候，某些位置誤差可能出現。
因此，在第一態樣中，本揭示案的一或更多個實施例是針對準確校準雙葉式自動機的方法。在某些實施例中，無論端接器中的一或兩者是否同時延伸進入製程腔室，皆校正位置錯準。並且，本文中描述了用於實現該等方法的自動機校準系統及電子設備處理系統。
進一步地，在本文中參照圖1A到圖4來描述示例實施例的細節。
圖1A-1E繪示包括多個自動臂之雙葉式自動機100之示例實施例的各種圖解。雙葉式自動機100及校準方法可例如有用於在如圖2A-2C中所示之電子設備處理系統200中的各種腔室（例如製程腔室及/或裝載閘腔室）之間傳輸基板，其中可改良基板的放置準確度。據此，亦可改良處理品質。錯準校準方法的某些實施例甚至可施用於單葉式自動機。
雙葉式自動機100可被調適為準確地將支撐在第一端接器102及第二端接器104上的基板101（圖示為虛線）向或自目標目的地進行撿取或放置。目標目的地可為一或更多個製程腔室206（參照圖2A-2C）中的理想放置位置，例如其實體中心。並且，雙葉式自動機100可自或向作為目標位置的一或更多個裝載閘腔室208撿取或放置基板101。基板101可為半導體基板，包括經佈局（patterned）或未經佈局的基板、受遮罩的基板、平板顯示玻璃、太陽能電池、含氧化矽的面板、含氧化矽的板或碟、或其他類似的電子設備基板或含氧化矽的母材製品。
雙葉式自動機100亦可包括基座110，該基座被配置及調適為例如附接至傳輸腔室247（圖2A）的壁（例如地板）。附接至壁的步驟可藉由合適的固定器來進行，例如螺釘、螺栓等等。基座110可在一或更多個實施例中密封至壁，例如在腔室中提供真空時進行。雙葉式自動機100可包括可圍繞中心軸114（例如居中於吊桿112上）而旋轉的吊桿112以及安裝至吊桿112（例如安裝在該吊桿的外側端處）的第一及第二SCARA自動機116、118。然而，包括其他的雙葉式自動機及甚至是單葉式自動機的其他類型自動機可受益於本文中所述的錯準校正方法、系統及裝置。
更詳細地說，所描繪之實施例中的吊桿112實質上可為剛性的懸臂樑。吊桿112可在X-Y平面上圍繞中心軸114以順時針或逆時針方向而旋轉，以將雙葉式自動機100移動至另一徑向位置以服務來自雙生的製程腔室206或亦為雙生的裝載閘腔室208之群組的另一腔室。是以並列的定向來提供雙生的腔室，其中該等腔室耦合至在一個平面上所提供的共同的面向。
吊桿112圍繞中心軸114而進行的旋轉可藉由任何合適的吊桿驅動組件來提供，包括驅動吊桿軸117的第一馬達115（圖1E），其中吊桿軸117剛性耦合至吊桿112。可至少部分地將吊桿驅動組件接收在馬達外殼120中（圖1D）。第一馬達115可例如為步進馬達、可變磁阻電動馬達或永久磁鐵電動馬達。可使用其他合適類型的馬達。第一編碼器115E（圖1D）可提供第一馬達115之旋轉位置的反饋，取決於第一及第二端接器102、104中的各者的延伸程度，該反饋接著可在運動學上被轉譯為第一端接器102及第二端接器104的定位。
吊桿112的旋轉可藉由從自動機控制器122送至第一馬達115的合適的驅動訊號來控制。自動機控制器122可包括處理器、記憶體、驅動器、調節電子設備以及用以將驅動訊號發送至各種馬達、從編碼器接收反饋及與其他系統處理功能及可能的其他控制器進行協調的其他電路系統。如所示，自動機控制器122例如可接收來自射束感測器（例如第一射束感測器124A、124B、124C）的輸入訊號以實現改良的端接器校準調整，如將在下文更完整地解釋的。
以相對於中心軸114偏移及隔離的第一徑向位置安裝在吊桿112的第一外側端處的是第一選擇性順應組裝自動機臂（SCARA）自動機116。以相對於中心軸114偏移及隔離的第二徑向位置安裝在吊桿112的第二外側端（與第一端相對）處的是第二選擇性順應組裝自動機臂（SCARA）自動機118。馬達外殼120包括被配置為驅動吊桿112以及驅動第一SCARA自動機116及第二SCARA自動機118之驅動組件的部分。馬達外殼120、馬達、驅動元件、可動臂、第一及第二SCARA自動機116、118的第一端接器102及第二端接器104構成了雙葉式自動機100。
第一SCARA自動機116包括第一可動臂（例如第一上臂126、第一前臂128及第一腕構件130）及耦合至第一可動臂（例如耦合至第一腕構件130）中的一者的第一端接器102。
在所描繪的實施例中，第一上臂126可在X-Y平面（圖1A）上相對於吊桿112圍繞相對於中心軸114偏移且隔離的第二軸138（圖1D）而旋轉。在此實施例中，第一上臂126可由第二馬達121及第一上臂驅動組件獨立驅動。第二馬達121例如可為步進馬達、可變磁阻電動馬達或永久磁鐵電動馬達。可使用其他合適類型的馬達。第二馬達121之旋轉位置的反饋可由第二編碼器121E來提供，該第二編碼器可為與第一編碼器115E相同的類型的編碼器。第一上臂驅動組件可包括用於驅動第一上臂126的任何合適的結構。
例如，第一上臂驅動組件可包括第二軸123，該第二軸在一端上耦合至第二馬達121的轉子且在另一端上耦合至第一上臂驅動構件125（例如圓柱形滑輪）。第一上臂驅動構件125可藉由第一上臂傳動構件129連接至第一上臂受驅構件127（例如另一圓柱形滑輪）。第一上臂傳動構件129可為一或更多個帶，例如相對地纏繞在第一上臂驅動構件125及第一上臂受驅構件127周圍的兩個不連續的金屬帶，舉例而言。第一上臂受驅構件127可例如藉由導桿來剛性耦合至第一上臂126。
被耦合以供在第二位置處相對於第一上臂126而旋轉的是第一前臂128，該第二位置相對於第二軸138隔離。第一前臂128可在X-Y平面上在第二位置處相對於第一上臂126圍繞第三軸140而旋轉。
在相對於第三軸140隔離的位置處定位在第一前臂128的外側端上的是第一腕構件130。第一腕構件130可在X-Y平面上相對於第一前臂128圍繞第四軸142而旋轉，該第四軸在圖1D中所示的回縮位置下時與第二軸138重合。第一上臂126的長度可與第一前臂128的長度相同。
並且，第一腕構件130被調適為耦合至第一端接器102，該第一端接器被調適為在撿取及放置操作期間支撐及輸送基板101。第一端接器102可具有任何合適的構造，且在某些實施例中可以陶瓷材料製作。第一端接器102可藉由任何合適的手段來耦合至第一腕構件130，例如機械固定、黏著、夾持等等。可選地，第一腕構件130及第一端接器102可藉由形成為一個整體而彼此耦合。
前臂驅動組件可至少部分地包括在第一上臂126裡面，且可被調適為相對於第一上臂126旋轉第一前臂128。前臂驅動組件可包括第一前臂驅動構件131及第一前臂受驅構件133。第一前臂驅動構件131可為剛性耦合至第一上臂126的圓柱形滑輪。第一前臂受驅構件133可為剛性耦合至第一前臂128的圓柱形滑輪。
第一腕構件驅動組件可至少部分地包括在第一前臂128及第一上臂126裡面，且被調適為在第一上臂126旋轉之後，在運動學上以如由方向箭頭143（圖1A）所指示的純粹的延伸及回縮平移來移動第一腕構件驅動組件130。可藉由在第一上臂126中使用2:1的滑輪比及在第一前臂128中使用1:2的滑輪比來達成純粹的平移。
第一腕構件驅動組件可包括藉由第一腕構件傳動構件139來連接的第一腕構件驅動構件135（例如圓柱形滑輪）及第一腕構件受驅構件137（例如另一圓柱形滑輪）。第一腕構件傳動構件139可例如為如上所述的一或更多個帶。
安裝在吊桿112的第二外側端（與第一端相對）處且安裝在以相對於中心軸114偏移及隔離的徑向位置處的是雙葉式自動機100的第二選擇性順應組裝自動機臂（SCARA）自動機118。第二SCARA自動機118包括第二可動臂（例如第二上臂132、第二前臂134及第二腕構件136）及耦合至第二可動臂（例如耦合至第二腕構件136）中的一者的第二端接器104。
在所描繪的實施例中，第二上臂132可在X-Y平面上相對於吊桿112圍繞相對於中心軸114偏移且隔離的第五軸144而旋轉。在此實施例中，第二上臂132可由第三馬達141及第二上臂驅動組件獨立驅動（圖1E）。第三馬達141例如可為步進馬達、可變磁阻電動馬達或永久磁鐵電動馬達。可使用其他合適類型的馬達。可包括第三編碼器141E以向自動機控制器122提供反饋訊號。第二上臂驅動組件可包括用於驅動第二上臂132的任何合適的結構。例如，驅動系統可與用於第一上臂126的驅動系統類似，且如所示地包括耦合至第三馬達141及第二上臂驅動構件145（例如圓柱形滑輪）的第三軸147。
在相對於第五軸144隔離的第二位置處耦合至第二上臂132的是第二前臂134。第二前臂134可在X-Y平面上在第二位置處相對於第二上臂132圍繞第六軸146而旋轉。
在相對於第六軸146隔離的位置處定位在第二前臂134的外側端上的是第二腕構件136。第二腕構件136可在X-Y平面上相對於第二前臂134圍繞第七軸148而旋轉，該第七軸在圖1D中所示的回縮定向下時與第五軸144重合。
並且，第二腕構件136被調適為耦合至第二端接器104，該第二端接器被調適為在撿取及放置操作期間支撐及輸送基板101。第二端接器104可具有任何合適的構造，且在某些實施例中可以陶瓷材料製作。第二端接器104可藉由任何合適的手段來耦合至第二腕構件136，例如機械固定、黏著、夾持等等。可選地，第二腕構件136及第二端接器104可藉由形成為一個整體而彼此耦合。
第二前臂驅動組件可至少部分地提供在第二上臂132中，且第二腕驅動組件可至少部分地包括在第二前臂134內，且如圖1E中所示。第二腕驅動組件被調適為在第二上臂132旋轉之後，以如由第二方向箭頭149（圖1A）所指示的純粹的延伸及回縮平移來移動第二腕構件136。可藉由在第二上臂132中使用1:2的滑輪比及在第二前臂134中使用2:1的滑輪比來達成純粹的平移。
如圖1A-1E中所示，可提供一或更多個旗標，例如第一旗標150A、150B及第二旗標152A、152B。在所描繪的實施例中，分別地，第一旗標150A、150B可安裝在第一可動臂中的一者上，且第二旗標152A、152B可安裝在第二可動臂中的一者上。具體而言，第一旗標150A、150B可安裝在第一腕構件130上。第二旗標152A、152B可安裝在第二腕構件136上。然而，在某些實施例中，第一旗標150A、150B及第二旗標152A、152B可安裝在第一端接器102及第二端接器104上，如以虛線所示（圖1A）。
圖1B及1C繪示第一旗標150A、150B從第一腕構件130的側延伸，且將在本文中詳細描述該等旗標。第二旗標152A、152B的功能及結構將是相同的。第一旗標150A、150B可在形狀上是三角形的，且可延伸於第一腕構件130的寬度We之外。第一旗標150A、150B及第二旗標152A、152B可為板構件154、156的部件，該等板構件可分別耦合至第一腕構件130及第二腕構件136（例如耦合至該等腕構件的頂面）。可藉由固定器進行耦合。可選地，一或更多個旗標150A、150B、152A、152B可與第一及第二腕構件130、136整合。如將描述的，第一及第二旗標150A、150B、152A、152B可用以在延伸進入腔室時精確校準第一端接器102及第二端接器104之中心的位置。
現更具體參照圖1B-1C，將更詳細地描述自動機校準系統。自動機校準系統相較於由先前的校準所決定的位置而言可有益於決定自動機的位置校正，或可用於校準本身。在一個實施例中，自動機校準系統可包括雙葉式自動機100，該雙葉式自動機包括第一端接器102及第二端接器104。第一旗標150A、150B可安置在第一端接器102上或第一可動臂中的一者上。第二旗標152A、152B（在圖1B-1C中僅圖示第一旗標150A、150B）可安置在第二端接器104上或第二可動臂中的一者上。該系統將被描述為用於決定第一端接器102的位置調整，但亦可同等地應用於決定第二端接器104的位置調整。
自動機控制器122可電耦合至自動機（例如雙葉式自動機100），且可被配置為將自動機（例如雙葉式自動機100）移成第一自動機配置。在第一自動機配置下，第一端接器102完全延伸，且第一端接器102的此延伸圖示於圖1B中。在雙葉式自動機100的情況下，第二端接器104回縮（如圖2A中所示）。
一或更多個射束感測器（例如第一射束感測器124A、124B、124C）可被提供在製程腔室206之位置附近的位置處，使得一或更多個旗標（例如第一旗標150A、150B）可通過該等射束感測器。第一射束感測器124A、124B、124C可為任何合適的感測器類型，例如包括發送構件及接收構件的感測器。發送構件可例如從雷射或發光二極體發送光束，而接收器可為任何合適的光偵測器。在感測器射束被中斷時，可發射訊號而因此允許了遞移的識別。
在一或更多個實施例中，第一旗標150A、150B被定位為使得第一旗標150A、150B在第一端接器102的中心被接收在腔室中心（例如製程腔室206的中心，舉例而言）處時剛好經過第一射束感測器124A-124C。第一旗標150A、150B的背側可能經過第一射束感測器124A、124B約0.0 mm至12.5 mm，舉例而言。
第二射束感測器（未圖示）可被提供在第二製程位置附近，使得第二旗標152A、152B可以如針對第一旗標150A、150B所述的相同方式通過第二射束感測器。第一射束感測器124A-124C可在某些實施例中被提供在如圖2A-2C中所示的射束感測器組件251中，該射束感測器組件可安裝在穿梭在傳輸腔室247及製程腔室206或裝載閘腔室208之間的開口（例如縫閥開口）或通道中或附近。射束感測器組件251可將實體感測器與縫閥開口隔開，且可用於進行基板101的線性中心找尋。射束感測器組件描述在授予Schauer之第8,064,070號的美國專利中。
在包括板構件154及第一旗標150A、150B的第一腕構件130第一次遭遇第一射束感測器124A、124B、124C時，射束因此中斷在第一中斷遞移位置A1、B1、C1處。來自這些第一中斷遞移位置A1、B1、C1中的各者處之編碼器的編碼器讀數可被記錄。接著，板構件154經過第一射束感測器124A、124B、124C，且射束在不中斷遞移位置A2、B2、C2處不中斷。這些中斷遞移位置A1、B1、C1及不中斷遞移位置A2、B2、C2（圖1C中所示的位置A1-C2）被記錄在自動機控制器122的記憶體中。
圖2C描繪延伸進腔室（例如製程腔室206）之一個端接器（例如第二端接器104）的放大視圖，其中旗標（例如第二旗標152A、152B）已通過第二射束感測器的第一中斷遞移位置A1、B1及C1及不中斷遞移位置A2、B2及C2。
在某些實施例中，第一射束感測器124A-124C在先前技術中是用於在基板101通過縫閥開口時找尋基板101的中心（在本文中稱為線性中心找尋或LCF）。本揭示案的實施例可例如使用這些第一射束感測器124A-124C，假設該等射束感測器已經存在於系統中。
在依據先前技術執行線性中心找尋時，第一端接器102一開始在製程腔室206外面的傳輸腔室247中起動，且接著例如經過第一射束感測器124A-124C以決定基板101的中心。可使用來自第一射束感測器124A-124C中的各者的資訊及相關的編碼器讀數來決定中心。可基於基板101的經決定的中心藉由自動機100來實現X及/或Y方向上的調整。
如圖1B中所示，此LCF校準資訊可決定若干尺度作為自動機控制器122的訊號輸入，包括沿x軸及y軸中的各者的Xs及Ys的值，亦即第一射束感測器124B的位置以及感測器遲滯（亦即相對於中斷第一射束感測器124B的時間延遲）。
藉由基板101的此經決定的中心，針對第一端接器102決定了LCF位置校正，且第一端接器102被調整為使得基板101的中心被估算為與製程腔室206的中心對準。
然而，此LCF位置調整假設的是，第一端接器102的精確位置是基於早前的校準而得知的。但是，就在安插第一端接器102時肇因於磨損、下垂的系統上的改變以及其他因素可能變更端接器的實際位置。因此，在僅使用現存的校準時，第一端接器102的中心可能在第一端接器102完全延伸時不與製程腔室206的中心重合。
因此，在一或更多個實施例中，本揭示案考慮了可能在執行了初始的LCF校準之後在x或y方向上發生在第一端接器102之中心之實際位置上的改變。可產生及使用如由下文所述之本揭示案實施例所決定的額外的位置校正。
為了決定額外的位置校正以考慮可能的位置偏差，可使用基於第一旗標150A、150B與第一射束感測器124A-124C之接合之中斷及不中斷的遞移資訊。
由於這些中斷及不中斷的遞移，可記錄以下的量測到的位置：
PA1 = 用於感測器遞移A1之在單葉延伸期間的自動機端接器期望位置，
PA1x = PA1 的分量x，
PA1y = PA1 的分量y，
PA2 = 用於感測器遞移A2之在單葉延伸期間的自動機端接器期望位置，
PA2x = PA2 的分量x，
PA2y = PA2 的分量y，
PB1 = 用於感測器遞移B1之在單葉延伸期間的自動機端接器期望位置，
PB1x = PB1 的分量x，
PB1y = PB1 的分量y，
PB2 = 用於感測器遞移B2之在單葉延伸期間的自動機端接器期望位置，
PB2x = PB2 的分量x，
PB2y = PB2 的分量y，
PC1 = 用於感測器遞移C1之在單葉延伸期間的自動機端接器期望位置，
PC1x = PC1 的分量x，
PC1y = PC1 的分量y，
PC2 = 用於感測器遞移C2之在單葉延伸期間的自動機端接器期望位置，
PC2x = PC2 的分量x，及
PC2y = PC2 的分量y。
上述的期望位置可與先前在第一端接器102的初始LCF校準期間所記錄的這些位置結合使用：
QA1 = 用於感測器遞移A1之在初始校準期間的自動機端接器的受記錄位置，
QA1x = QA1 的分量x，及
QA1y = QA1 的分量y。
SA2 = 用於感測器遞移A2之在初始校準期間的自動機端接器的受記錄位置，
QA2x = QA2 的分量x，及
QA2y = QA2 的分量y。
QB1 = 用於感測器遞移B1之在初始校準期間的自動機端接器的受記錄位置，
QB1x = QB1 的分量x，及
QB1y = QB1 的分量y。
QB2 = 用於感測器遞移B2之在初始校準期間的自動機端接器的受記錄位置，
QB2x = QB2 的分量x，及
QB2y = QB2 的分量y。
QC1 = 用於感測器遞移C1之在初始校準期間的自動機端接器的受記錄位置，
QC1x = QC1 的分量x，及
QC1y = QC1 的分量y。
QC2 = 用於感測器遞移C2之在初始校準期間的自動機端接器的受記錄位置，
QC2x = QC2 的分量x，及
QC2y = SC2 的分量y。
x及y方向兩者上之位置校正E的估計量(Ex , Ey )可使用以下等式來決定：
Ey = (1/3)(PA2y + PB2y + PC2y - QA2y - QB2y - QC2y )
Ex = (ka /3)(│PA2 - PA1 │-│QA2 - QA1 │)+(kb /3)(│PB2 - PB1 │-│QB2 - QB1 │)+(kc /3)(│PC2 - PC1 │-│QC2 - QC1 │)-(1/6)(PA1x + PA2x - QA1x - QA2x + PB1x + PB2x - QB1x - QB2x + PC1x + PC2x - QC1x - QC2x )
其中：
ka = Wf/Lf，或點A處的旗標斜率，
kb = -Wf/Lf，或點B處的旗標斜率，
kc = -Wf/Lf，或點C處的旗標斜率，及
│p│ = 向量的範數。
此外，雙葉式自動機100可移成第二自動機配置，亦即其中第一端接器102及第二端接器104兩者延伸（如圖2B中所示），舉例而言。
針對第一端接器102及第二端接器104兩者，以如先前所述的相同方式再次決定LCF位置校正。接著調整端接器102、104，使得基板101中的各者（其安裝在端接器102、104的末端上）的中心被估算為是與端接器102、104所延伸進入的製程腔室206中的各者的中心對準的。各端接器102、104一次一個地延伸而通過第一射束感測器124A-124C，且個別記錄各LCF位置校正。
然而，此LCF位置調整再次假設的是，端接器102、104中的各者的精確位置是基於早前的校準而得知的。但是，肇因於磨損、下垂的系統上的改變以及其他因素可能變更端接器的實際位置。由於例如藉由一次延伸兩個端接器102、104所造成的額外重量或其他因素，此額外的移動相較於雙葉式自動機100的第一配置而言對於第二配置可能具有更大的值。
因此，在僅使用現存的校準時，第一端接器102及第二端接器104兩者的中心可能在端接器102、104一齊完全延伸時不與製程腔室206中的各者的中心重合。因此，在一或更多個實施例中，本揭示案考慮了可能在執行了初始的LCF校準之後在x或y方向上發生在第一端接器104及第二端接器104之實際位置上的改變。可產生及使用如由下文所述之本揭示案實施例所決定的額外的位置校正。
與針對單一端接器所述的程序類似，可再次運算位置校正，但現在考慮端接器102、104可能肇因於一次延伸兩個端接器102、104（而不是僅延伸第一端接器102）的額外移動。可針對第一端接器102及第二端接器104中的各者運算額外的位置校正。
為了決定額外的位置校正，可使用基於第一旗標150A、150B及第二旗標152A、152B與第一射束感測器124A-124C及第二射束感測器（現在圖示）進行之接合的中斷及不中斷的遞移資訊。
由於這些中斷及不中斷的遞移，可針對端接器102、104中的各者記錄以下的量測到的位置：
DA1 = 用於感測器遞移A1之在雙葉延伸期間的自動機端接器期望位置，PA1x = PA1 的分量x，PA1y = PA1 的分量y。
PA2 = 用於感測器遞移A2之在雙葉延伸期間的自動機端接器期望位置，PA2x = PA2 的分量x，PA2y = PA2 的分量y。
PB1 = 用於感測器遞移B1之在雙葉延伸期間的自動機端接器期望位置，PB1x = PB1 的分量x，PB1y = PB1 的分量y。
PB2 = 用於感測器遞移B2之在雙葉延伸期間的自動機端接器期望位置，PB2x = PB2 的分量x，PB2y = PB2 的分量y。
PC1 = 用於感測器遞移C1之在雙葉延伸期間的自動機端接器期望位置，PC1x = PC1 的分量x，PC1y = PC1 的分量y。
PC2 = 用於感測器遞移C2之在單葉延伸期間的自動機端接器期望位置，PC2x = PC2 的分量x，PC2y = PC2 的分量y。
將上述的期望位置與位置QA1 到QC2 （定義在上文被列舉在段落[0067]到[0072]中）結合使用，該等位置QA1 到QC2 是先前在單獨執行在第一端接器102及第二端接器104中的各者上的初始LCF校準期間所記錄的。
在使用上述參數的情況下，可使用以下等式來決定針對端接器102、104中的各者之雙延伸對上單延伸之延伸位置之放置上的差異的估計量（亦即x及y方向兩者上的位置校正E (Ex , Ey )）：
Ey = (1/3)(PA2y + PB2y + PC2y - QA2y - QB2y - QC2y )
Ex = (ka /3)(│PA2 - PA1 │-│QA2 - QA1 │)+(kb /3)(│PB2 - PB1 │-│QB2 - QB1 │)+(kc /3)(│PC2 - PC1 │-│QC2 - QC1 │)-(1/6)(PA1x + PA2x - QA1x - QA2x + PB1x + PB2x - QB1x - QB2x + PC1x + PC2x - QC1x - QC2x )
其中：
ka = Wf/Lf，或點A處的旗標斜率，
kb = -Wf/Lf，或點B處的旗標斜率，
kc = -Wf/Lf，或點C處的旗標斜率，及
│p│ = 向量的範數。
亦可使用雙葉式自動機100以外的自動機來實現所有上述內容。自動機可包括可動臂，且具有附接至可動臂中的一者的單一端接器（例如第一端接器102）及單一旗標（例如旗標150A）或多個旗標，該旗標可通過射束感測器（例如第一射束感測器124A或射束感測器124A、124B）。
在決定了額外的位置校正之後，可使用此位置校正來相較於初始LCF校準以額外的量移動第一端接器102及第二端接器104中的一或兩者，使得端接器102、104中的一或兩者的中心可被定位為與該一或更多個端接器102、104可延伸進入的腔室（例如一或更多個製程腔室206）的真實中心對準。
為了了解校準操作，將參照圖2A-2C來描述電子設備處理系統200的結構，雙葉式自動機100在該系統中運作。電子設備處理系統200包括主機外殼225，該主機外殼包括腔室247（例如傳輸腔室）。雙葉式自動機100可至少部分地安置在腔室247內，其中雙葉式自動機100可包括第一SCARA自動機116的第一可動臂及第一端接器102、以及第二SCARA自動機118的第二可動臂及第二端接器104。第一端接器102及第二端接器104可獨立地平移移動進入及離開製程腔室206及裝載閘腔室208。
第一旗標150A、150B可安置在第一端接器102上或第一可動臂中的一者上。第二旗標152A、152B可安置在第二端接器104上或第二可動臂中的一者上。如所示，製程腔室206的第一製程腔室可被調適為受第一端接器102服務，而製程腔室206的第二製程腔室可被調適為受第二端接器104服務。如本文中所使用的服務意指可從製程腔室206撿取基板100或將該等基板放置在該等製程腔室中。
被圖示為安裝在進入製程腔室206及裝載閘腔室208的入口中的是射束感測器組件251。射束感測器組件251可為一系列的第一射束感測器124A、124B、124C。
如圖2A中所示，電子設備處理系統200可包括第一自動機配置下的雙葉式自動機100，其中僅第一端接器102是延伸的而第二端接器104則是回縮的。
如圖2B中所示，電子設備處理系統200可替代性地包括第二自動機配置下的雙葉式自動機100，其中第一端接器102及第二端接器104兩者是延伸的。
在另一實施例中，雙葉式自動機100可採用第三自動機配置(圖2C)，其中僅第二端接器104是延伸的而第一端接器102則是回縮的，且其中是以與第一自動機配置相同的方式來處理第三自動機配置。
在圖2A-2B的所描繪的實施例中，雙葉式自動機100被圖示為定位及收容在腔室247(例如傳輸腔室)中。然而，應辨識的是，本文中所述的雙葉式自動機100及方法可有利地用在電子設備製造的其他區域中(例如工廠介面255中)。工廠介面255可耦合至一或更多個前開式統一標準豆狀體(front opening unified pod,FOUP)233，其中雙葉式自動機100可例如充當自動機裝置257且被配置為在處理系統的前開式統一標準豆狀體(FOUP)233及裝載閘腔室208之間輸送基板101，該等前開式統一標準豆狀體對接在工廠介面255的加載端口處。雙葉式自動機100亦具有進行其他輸送用途的能力。
現將參照圖3描述校正自動機中之錯準的方法300。實現錯準校正以決定校正量，且接著可施用位置校正。
方法300包括以下步驟：在302中，提供一自動機，該自動機包括可動臂及附接至可動臂中的一者的端接器(例如第一端接器102)以及安置在可動臂中的一者或端接器上的旗標(例如第一旗標150A)。
方法300更包括以下步驟：在304中，提供一腔室(例如製程腔室206)，該腔室被調適為受端接器(例如第一端接器102)服務，且在306中，提供相對於該腔室以一定距離定位的射束感測器(亦即第一射束感測器124A)。
方法300包括以下步驟：在308中，將自動機移動成端接器延伸的自動機配置，在310中，記錄射束感測器被旗標阻擋及未被旗標阻擋的被阻擋及未被阻擋的遞移位置，且最後在312中，針對該自動機配置相對於經校準的位置決定位置校正(例如位置校正Ey、Ex)。
現將參照圖4來描述校正雙葉式自動機(例如雙葉式自動機100)中之錯準的方法400。實現錯準校正以決定校正量來適當地將端接器居中，且接著可施用位置校正。
方法400包括以下步驟：在402中，提供一雙葉式自動機，該雙葉式自動機包括第一可動臂及附接至第一可動臂中的一者的第一端接器(例如第一端接器102)、及第二可動臂及附接至第二可動臂中的一者的第二端接器(例如第二端接器104)，其中第一端接器及第二端接器可獨立地延伸移動。
進一步地，方法400包括以下步驟：在404中，在第一可動臂中的一者或第一端接器上提供第一旗標(例如第一旗標150A、150B)，及在406中，在第二 可動臂中的一者或第二端接器上提供第二旗標(例如第二旗標152A、152B)。
方法400包括以下步驟：在408中，在第一旗標之期望路徑中的位置處提供第一射束感測器(例如第一射束感測器124A、124B、124C)，且在410中，在第二旗標之期望路徑中的位置處提供第二射束感測器(未圖示)。可使用二或更多個射束感測器。
方法400包括以下步驟：在412中，以第一自動機配置(例如如圖2A中所示的第一自動機配置)延伸自動機，其中第一端接器延伸且其中第二端接器回縮，且記錄在在第一射束感測器被第一旗標阻擋及未被第一旗標阻擋處所量測到的空間上的位置，且此外在414中，以第二自動機配置(例如如圖2B中所示的第二自動機配置)延伸自動機，其中第一端接器及第二端接器兩者延伸，且記錄在第一射束感測器被第一旗標阻擋及未被第一旗標阻擋處及在第二射束感測器被第二旗標阻擋及未被第二旗標阻擋處所量測到的空間上的位置。
最後，方法400包括以下步驟：在416中，針對第一自動機配置及第二自動機配置中的至少一者決定位置校正。
上述說明揭露了示例實施例。本領域中具通常技藝者將輕易理解上文所揭露之方法及裝置落於本揭示案之範圍內的更改。據此，雖然本揭示案揭露了其示例實施例，應了解的是，其他的實施例可能落在如由請求項所定義之本揭示案的範圍內。
100‧‧‧雙葉式自動機101‧‧‧基板102‧‧‧端接器104‧‧‧端接器110‧‧‧基座112‧‧‧吊桿114‧‧‧中心軸115‧‧‧馬達115E‧‧‧編碼器116‧‧‧SCARA自動機117‧‧‧吊桿軸118‧‧‧SCARA自動機120‧‧‧馬達外殼121‧‧‧馬達121E‧‧‧編碼器122‧‧‧自動機控制器123‧‧‧軸124‧‧‧射束感測器124A‧‧‧射束感測器124B‧‧‧射束感測器124C‧‧‧射束感測器125‧‧‧上臂驅動構件126‧‧‧上臂127‧‧‧上臂受驅構件128‧‧‧前臂129‧‧‧上臂傳動構件130‧‧‧腕構件131‧‧‧前臂驅動構件132‧‧‧上臂133‧‧‧前臂受驅構件134‧‧‧前臂135‧‧‧腕構件驅動構件136‧‧‧腕構件137‧‧‧腕構件受驅構件138‧‧‧軸139‧‧‧腕構件傳動構件140‧‧‧軸141‧‧‧馬達141E‧‧‧編碼器142‧‧‧軸143‧‧‧方向箭頭144‧‧‧軸145‧‧‧上臂驅動構件146‧‧‧軸147‧‧‧軸148‧‧‧軸149‧‧‧方向箭頭150A‧‧‧旗標150B‧‧‧旗標152A‧‧‧旗標152B‧‧‧旗標154‧‧‧板構件156‧‧‧板構件200‧‧‧電子設備處理系統206‧‧‧製程腔室208‧‧‧裝載閘腔室225‧‧‧主機外殼233‧‧‧前開式統一標準豆狀體（FOUP）247‧‧‧腔室251‧‧‧射束感測器組件255‧‧‧工廠介面257‧‧‧自動機裝置300‧‧‧方法302‧‧‧步驟304‧‧‧步驟306‧‧‧步驟308‧‧‧步驟310‧‧‧步驟312‧‧‧步驟400‧‧‧方法402‧‧‧步驟404‧‧‧步驟406‧‧‧步驟408‧‧‧步驟410‧‧‧步驟412‧‧‧步驟414‧‧‧步驟416‧‧‧步驟A1‧‧‧中斷遞移位置A2‧‧‧不中斷遞移位置B1‧‧‧中斷遞移位置B2‧‧‧不中斷遞移位置C1‧‧‧中斷遞移位置C2‧‧‧不中斷遞移位置
圖1A繪示依據一或更多個實施例之包括協助校準的旗標之雙葉式自動機的頂部平面圖。
圖1B繪示依據一或更多個實施例之SCARA自動機之葉片（腕及耦合的端接器）的部分頂部平面圖，該自動機包括與射束感測器相關的協助校準的旗標。
圖1C繪示依據一或更多個實施例之SCARA自動機之葉片的部分頂部平面圖，該自動機包括協助校準的旗標且圖示射束感測器遞移位置。
圖1D繪示依據一或更多個實施例之包括協助校準的旗標之雙葉式自動機的等角視圖。
圖1E繪示依據一或更多個實施例之雙葉式SCARA自動機之驅動組件的示意側視圖。
圖2A繪示依據一或更多個實施例之雙葉式SCARA自動機的示意頂視圖，該自動機包括協助校準的旗標且圖示第一配置，其中第一端接器延伸進入腔室（例如製程腔室）。
圖2B繪示依據一或更多個實施例之雙葉式SCARA自動機的示意頂視圖，該自動機包括協助校準的旗標且圖示第二配置，其中第一端接器及第二端接器同時延伸進入腔室（例如雙生的（twinned）製程腔室）。
圖2C繪示依據一或更多個實施例之雙葉式SCARA自動機之一部分的放大頂部部分視圖，該自動機包括協助校準的旗標且圖示第一端接器上的旗標，該第一端接器延伸至腔室上而到達射束感測器組件下方的位置。
圖3為一流程圖，描繪依據一或更多個實施例之校正自動機中之錯準的方法。
圖4為一流程圖，描繪依據一或更多個實施例之校正雙葉式自動機中之錯準的方法。
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101‧‧‧基板
102‧‧‧端接器
124A‧‧‧射束感測器
124B‧‧‧射束感測器
124C‧‧‧射束感測器
130‧‧‧腕構件
150A‧‧‧旗標
150B‧‧‧旗標
154‧‧‧板構件
206‧‧‧製程腔室

Claims (22)

  1. 一種校正一雙葉式自動機中之錯準的方法，包括以下步驟：提供一雙葉式自動機，該雙葉式自動機包括第一可動臂及附接至該等第一可動臂中的一者的一第一端接器、及第二可動臂及附接至該等第二可動臂中的一者的一第二端接器，其中該第一端接器及該第二端接器可獨立地延伸移動；提供一控制器，該控制器耦合至該雙葉式自動機且運作上被配置為控制該第一端接器及該第二端接器中的各者的移動及記錄該第一端接器及該第二端接器中的各者的位置；在該等第一可動臂中的一者或該第一端接器上提供第一旗標；在該等第二可動臂中的一者或該第二端接器上提供第二旗標；在該等第一旗標之一期望路徑中的位置處提供第一射束感測器；在該等第二旗標之一期望路徑中的位置處提供第二射束感測器；以一第一自動機配置延伸該雙葉式自動機，其中該第一端接器延伸且其中該第二端接器回縮，且記錄在 該等第一射束感測器被該等第一旗標阻檔及未被該等第一旗標阻擋處所量測到的空間上的位置；以一第二自動機配置延伸該雙葉式自動機，其中該第一端接器及該第二端接器兩者延伸，且記錄在該等第一射束感測器被該等第一旗標阻擋及未被該等第一旗標阻擋處及在該等第二射束感測器被該等第二旗標阻擋及未被該等第二旗標阻擋處所量測到的空間上的該等位置；及響應於記錄在該等第一射束感測器中的至少一者被該等第一旗標阻擋及未被該等第一旗標阻擋處及在該等第二射束感測器中的至少一者被該等第二旗標阻擋及未被該等第二旗標阻擋處所量測到的空間上的位置，針對該第一自動機配置及該第二自動機配置中的至少一者決定一位置校正。
  2. 如請求項1所述之方法，包括以下步驟：以一第三自動機配置延伸該雙葉式自動機，其中該第二端接器延伸而該第一端接器回縮，及記錄在該等第二射束感測器被該等第二旗標阻擋及未被該等第二旗標阻擋處所量測到的空間上的位置。
  3. 如請求項1所述之方法，包括以下步驟：在該等第一可動臂中的該一者的一第一腕構件上提供該等第一旗標。
  4. 如請求項1所述之方法，包括以下步驟：在該等第二可動臂中的該一者的一第二腕構件上提供該等第二旗標。
  5. 如請求項1所述之方法，包括以下步驟：提供該等第一旗標作為一第一旗標元件，該第一旗標元件耦合至該等第一可動臂中的該一者的一第一腕構件的一表面。
  6. 如請求項1所述之方法，包括以下步驟：提供該等第二旗標作為一第二旗標元件，該第二旗標元件耦合至該等第二可動臂中的該一者的一第二腕構件的一表面。
  7. 如請求項1所述之方法，包括以下步驟：在該等第一可動臂中的該一者的一第一腕構件上的一位置處提供該等第一旗標，該位置在該第一端接器完全延伸進入一腔室時定位在該等第一射束感測器前方。
  8. 如請求項1所述之方法，包括以下步驟：在該等第二可動臂中的該一者的一第二腕構件上的一位置處提供該等第二旗標，該位置在該第二端接器完全延伸進入一腔室時定位在該等第二射束感測器前方。
  9. 如請求項1所述之方法，包括以下步驟： 在緊臨該第一端接器及該第二端接器上之一基板之一位置的位置處提供該等第一旗標及該等第二旗標。
  10. 如請求項1所述之方法，包括以下步驟：針對該第一自動機配置及該第二自動機配置兩者決定該位置校正。
  11. 一種雙葉式自動機校正系統，包括：一雙葉式自動機，包括第一可動臂及附接至該等第一可動臂中的一者的一第一端接器、及第二可動臂及附接至該等第二可動臂中的一者的一第二端接器，其中該第一端接器及第二端接器可獨立移動；第一旗標，安置在該等第一可動臂中的一者或該第一端接器上；第二旗標，安置在該等第二可動臂中的一者或該第二端接器上；第一射束感測器，被提供在一第一製程位置附近；第二射束感測器，被提供在一第二製程位置附近；及一控制器，耦合至該雙葉式自動機且運作上被配置為：將該雙葉式自動機移動為一第一自動機配置，其中該第一端接器延伸而該第二端接器回縮，且記錄 在該等第一射束感測器被該等第一旗標阻擋及未被該等第一旗標阻擋處所量測到的位置，將該雙葉式自動機移動為一第二自動機配置，其中該第一端接器及該第二端接器兩者延伸，且記錄在該等第一射束感測器被該等第一旗標阻擋及未被該等第一旗標阻擋處及在該等第二射束感測器被該等第二旗標阻擋及未被該等第二旗標阻擋處所量測到的位置，及響應於記錄在該等第一射束感測器中的至少一者被該等第一旗標阻擋及未被該等第一旗標阻擋處及在該等第二射束感測器中的至少一者被該等第二旗標阻擋及未被該等第二旗標阻擋處所量測到的空間上的位置，針對該第一自動機配置及該第二自動機配置中的至少一者決定一位置校正。
  12. 如請求項11所述之雙葉式自動機校正系統，其中該等第一旗標被提供在該等第一可動臂中的該一者的一第一腕構件上。
  13. 如請求項11所述之雙葉式自動機校正系統，其中該等第二旗標被提供在該等第二可動臂中的該一者的一第二腕構件上。
  14. 如請求項11所述之雙葉式自動機校正系統，包括以下步驟：附接該等第一旗標作為一第一旗 標元件的部件，該第一旗標元件耦合至該等第一可動臂中的該一者的一第一腕構件的一表面。
  15. 如請求項11所述之雙葉式自動機校正系統，包括以下步驟：附接該等第二旗標作為一第二旗標元件的部件，該第二旗標元件耦合至該等第二可動臂中的該一者的一第二腕構件的一表面。
  16. 如請求項11所述之雙葉式自動機校正系統，其中該等第一旗標定位在該等第一可動臂中的該一者的一第一腕構件上的一位置處，該位置在該第一端接器完全延伸進入一腔室時定位在該等第一射束感測器前方。
  17. 如請求項11所述之雙葉式自動機校正系統，其中該等第二旗標定位在該等第二可動臂中的該一者的一第二腕構件上的一位置處，該位置在該第二端接器完全延伸進入一腔室時定位在該等第二射束感測器前方。
  18. 如請求項11所述之雙葉式自動機校正系統，其中該等第一旗標及該等第二旗標定位在緊臨該第一端接器及該第二端接器上之一基板之一位置的位置處。
  19. 如請求項11所述之雙葉式自動機校正系統，包括沿一第一腕構件及第二腕構件之一長度的具有間隔的多個旗標。
  20. 如請求項11所述之雙葉式自動機校正系統，其中該等第一旗標及該等第二旗標中的至少一者包括從該等可動臂中的一者或該端接器的相對側延伸的一第一部分及一第二部分，其中該第一部分包括一第一前緣且該第二部分包括一第二前緣，且其中該第一前緣與該第二前緣不平行。
  21. 一種電子設備處理系統，包括：一自動機，包括可動臂及附接至該等可動臂中的一者的一端接器，及一第一旗標及一第二旗標，該第一旗標及該第二旗標安置在該等可動臂中的一者或該端接器的相對側上，該第一旗標包括一第一前緣且該第二旗標包括一第二前緣，其中該第一前緣與該第二前緣不平行，其中該端接器可平移移動；一腔室，被調適為受該端接器服務；射束感測器，相對於該腔室以一定距離定位；及一控制器，耦合至該自動機且運作上被配置為：使得該自動機移動為一自動機配置，其中該端接器延伸到該腔室中，且記錄該等射束感測器被該第 一旗標及該第二旗標阻擋及未被該第一旗標及該第二旗標阻擋的被阻擋的及未被阻擋的平移位置，及響應於記錄該第一旗標及該第二旗標的該等被阻擋的及未被阻擋的平移位置，針對該自動機配置相對於一經校準的位置決定一位置校正，該決定步驟包括以下步驟：基於該等記錄的平移位置來決定該端接器在空間中的期望位置，及將該端接器的該期望位置與該經校準的位置進行比較。
  22. 一種校正一自動機中之錯準的方法，包括以下步驟：提供該自動機，該自動機包括：可動臂及附接至該等可動臂中的一者的一端接器，及一第一旗標及一第二旗標，該第一旗標及該第二旗標安置在該等可動臂或該端接器的相對側上，該第一旗標包括一第一前緣且該第二旗標包括一第二前緣，其中該第一前緣與該第二前緣不平行；提供一控制器，該控制器耦合至該自動機且在運作上被配置為控制該端接器的移動及記錄該端接器的位置；提供一腔室，該腔室被調適為受該端接器服務；提供射束感測器，該等射束感測器相對於該腔室以一定距離定位； 將該自動機移動為一自動機配置，其中該端接器延伸到該腔室中；記錄該等射束感測器被該第一旗標及該第二旗標阻擋及未被該第一旗標及該第二旗標阻擋的被阻擋的及未被阻擋的平移位置；及響應於記錄該第一旗標及該第二旗標的該等被阻擋的及未被阻擋的平移位置，針對該自動機配置相對於一經校準的位置決定一位置校正，該決定步驟包括以下步驟：基於該等記錄的平移位置來決定該端接器在空間中的期望位置，及將該端接器的該期望位置與該經校準的位置進行比較。
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