TWI695740B - 塗佈處理裝置及塗佈處理方法 - Google Patents

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Abstract

含金屬塗佈液藉由由樹脂材料形成之配管引導至塗佈噴嘴，且藉由塗佈噴嘴噴出至基板。藉由溫度調整部對以與配管之至少一部分接觸之方式設置之熱傳導構件之溫度進行調整，而對流經配管內之含金屬塗佈液之溫度進行調整。熱傳導構件具有較樹脂材料高之熱導率且具有較樹脂材料低之液體透過性。或者，以包圍配管之至少一部分之外周之方式設置其他配管。藉由液體供給系統對配管與其他配管之間之空間供給疏水性液體。藉由溫度調整部對由液體供給系統供給之液體之溫度進行調整。

Description

塗佈處理裝置及塗佈處理方法
本發明係關於一種對基板進行塗佈處理之塗佈處理裝置及塗佈處理方法。
於半導體器件等之製造中之微影步驟中，於基板上形成具有特定圖案之塗佈膜。例如，於基板藉由旋轉夾頭一面保持於水平一面旋轉之狀態下，對基板之被處理面之大致中央部分自噴嘴噴出塗佈液，藉此於基板之被處理面形成塗佈膜。基板於曝光裝置中曝光後，藉由曝光而將塗佈膜形成為特定圖案。
近年來，為了將塗佈膜形成為更微細之圖案，研究將含有金屬之塗佈膜作為含塗佈膜金屬塗佈膜形成於基板上，使用EUV(Extreme Ultra Violet；超紫外線)將基板曝光。例如，於專利文獻1中所記載之基板處理裝置中，藉由將含有金屬之塗佈液作為含金屬塗佈液自噴嘴噴出至基板之被處理面，而於基板之被處理面形成含金屬塗佈膜。
[專利文獻1]日本專利特開2016-225591號公報
[發明所欲解決之問題]
於EUV用之曝光裝置中，自光源出射之曝光之光之輸出相對較小。因此，本發明之發明者等人認為具有較高感度之含金屬塗佈膜適合作為EUV用之塗佈膜。再者，所謂感度高意指圖案之形成所需之曝光量(J/m 2)少。然而，根據發明者等人之研究，判明含金屬塗佈液之壽命較短，含金屬塗佈膜之感度易於變動。因此，難以以較高精度穩定地形成含金屬塗佈膜之圖案。
本發明之目的在於提供一種可以較高精度穩定地形成含金屬塗佈膜之圖案之塗佈處理裝置及塗佈處理方法。 [解決問題之技術手段]
本發明之發明者等人研究了含金屬塗佈液之壽命變短之原因。而且，進行了各種實驗及考察，結果獲得以下見解。對流經噴嘴之配管內之塗佈液進行溫度調整。一般而言，藉由以與配管接觸之方式供給溫度經調整之純水等熱介質，於純水與塗佈液之間進行熱交換而進行塗佈液之溫度調整。
又，噴嘴係可於不對基板進行塗佈處理之待機位置與對基板進行塗佈處理之處理位置之間移動地構成。因此，噴嘴之配管由具有可撓性之樹脂材料形成。此處，於配管包含樹脂材料之情形時，有溫度調整用之熱介質滲透配管，熱介質混入於配管內之含金屬塗佈液中之可能性。於此情形時，促進含金屬塗佈液之劣化。基於該等見解，想到了以下之本發明。
(1)本發明之一態樣之塗佈處理裝置具備：塗佈噴嘴，其將含有金屬之塗佈液作為含金屬塗佈液噴出至基板；第1配管，其由樹脂材料形成且將含金屬塗佈液引導至塗佈噴嘴；熱傳導構件，其以與第1配管之至少一部分接觸之方式設置；及溫度調整部，其藉由調整熱傳導構件之溫度而對流經第1配管內之含金屬塗佈液之溫度進行調整；且熱傳導構件具有較樹脂材料高之熱導率且具有較樹脂材料低之液體透過性。
於該塗佈處理裝置中，含金屬塗佈液藉由第1配管引導至塗佈噴嘴。藉由溫度調整部對以與第1配管之至少一部分接觸之方式設置之熱傳導構件之溫度進行調整，藉此對流經第1配管內之含金屬塗佈液之溫度進行調整。藉由第1配管引導之含金屬塗佈液藉由塗佈噴嘴噴出至基板。熱傳導構件具有較樹脂材料高之熱導率且具有較樹脂材料低之液體透過性。
根據該構成，即便於第1配管由樹脂材料形成之情形時，亦不會使水分滲透至第1配管內，可經由熱傳導構件高效率地對流經第1配管之含金屬塗佈液之溫度進行調整。因此，水分不混入於含金屬塗佈液中。由此，防止含金屬塗佈液之劣化。其結果為，可以較高精度穩定地形成含金屬塗佈膜之圖案。
(2)熱傳導構件亦可由金屬材料形成。於此情形時，可更容易地防止水分向第1配管內之滲透並且更容易且高效率地對流經第1配管之含金屬塗佈液之溫度進行調整。
(3)亦可為塗佈噴嘴可於對基板噴出含金屬塗佈液之處理位置與不對基板噴出含金屬塗佈液之待機位置之間移動地構成，第1配管之至少一部分包括貯存用於特定片數量之基板之處理之量的含金屬塗佈液之第1貯存部，溫度調整部配置於待機位置，以於塗佈噴嘴處於待機位置時對熱傳導構件之溫度進行調整之方式設置。
於此情形時，於待機位置調整特定量之含金屬塗佈液之溫度。因此，無需使溫度調整部與塗佈噴嘴一同移動。由此，可高效率地進行塗佈噴嘴之移動。
(4)本發明之另一態樣之塗佈處理裝置具備：塗佈噴嘴，其將含有金屬之塗佈液作為含金屬塗佈液噴出至基板；第1配管，其由樹脂材料形成且將含金屬塗佈液引導至塗佈噴嘴；第2配管，其以包圍第1配管之至少一部分之外周之方式設置；液體供給系統，其對第1配管與第2配管之間之空間供給疏水性液體；及溫度調整部，其對藉由液體供給系統供給之液體之溫度進行調整。
於該塗佈處理裝置中，含金屬塗佈液藉由第1配管引導至塗佈噴嘴。藉由液體供給系統對第1配管與以包圍第1配管之至少一部分之外周之方式設置之第2配管之間之空間供給疏水性液體。藉由液體供給系統供給之液體之溫度藉由溫度調整部進行調整。藉由第1配管引導之含金屬塗佈液藉由塗佈噴嘴噴出至基板。
根據該構成，即便於第1配管由樹脂材料形成之情形時，亦不會使水分滲透至第1配管內，可藉由疏水性液體高效率地對流經第1配管之含金屬塗佈液之溫度進行調整。因此，水分不混入於含金屬塗佈液中。由此，防止含金屬塗佈液之劣化。其結果為，可以較高精度穩定地形成含金屬塗佈膜之圖案。
(5)疏水性液體亦可包括含氟油或非水溶性有機溶劑。於此情形時，可更容易地防止水分向第1配管內之滲透並且更容易且高效率地對流經第1配管之含金屬塗佈液之溫度進行調整。由此，可更確實地以較高精度穩定地形成含金屬塗佈膜之圖案。
(6)含氟油亦可包括全氟聚醚油。於此情形時，可進一步容易地防止水分向第1配管內之滲透並且進一步容易且高效率地對流經第1配管之含金屬塗佈液之溫度進行調整。
(7)塗佈處理裝置亦可進而具備：第3配管，其以包圍第1配管中未藉由溫度調整部調整溫度之部分之外周之方式設置；及第1惰性氣體供給部，其對第1配管與第3配管之間之空間供給惰性氣體。
於此情形時，第1配管由藉由第1惰性氣體供給部供給之惰性氣體覆蓋。因此，防止大氣中之水分或氧滲透至第1配管內。由此，更確實地防止含金屬塗佈液之劣化。其結果為，可以更高精度穩定地形成含金屬塗佈膜之圖案。
(8)塗佈處理裝置亦可進而具備：第2貯存部，其貯存含金屬塗佈液；泵，其將貯存於第2貯存部之含金屬塗佈液壓送至塗佈噴嘴；殼體部，其收容泵；及第2惰性氣體供給部，其對殼體部之內部填充惰性氣體。
於此情形時，泵由填充於殼體部內之惰性氣體覆蓋。因此，防止大氣中之水分或氧混入至藉由泵壓送之含金屬塗佈液中。由此，更確實地防止含金屬塗佈液之劣化。其結果為，可以更高精度穩定地形成含金屬塗佈膜之圖案。
(9)本發明之進而一態樣之塗佈處理方法包括以下步驟：將含有金屬之塗佈液作為含金屬塗佈液藉由由樹脂材料形成之第1配管引導至塗佈噴嘴；藉由溫度調整部對以與第1配管之至少一部分接觸之方式設置之熱傳導構件之溫度進行調整，藉此對流經第1配管內之含金屬塗佈液之溫度進行調整；及將藉由第1配管引導之含金屬塗佈液藉由塗佈噴嘴噴出至基板；且熱傳導構件具有較樹脂材料高之熱導率且具有較樹脂材料低之液體透過性。
根據該塗佈處理方法，即便於第1配管由樹脂材料形成之情形時，亦不會使水分滲透至第1配管內，可經由熱傳導構件高效率地對流經第1配管之含金屬塗佈液之溫度進行調整。因此，水分不混入於含金屬塗佈液中。由此，防止含金屬塗佈液之劣化。其結果為，可以較高精度穩定地形成含金屬塗佈膜之圖案。
(10)熱傳導構件亦可由金屬材料形成。於此情形時，可更容易地防止水分向第1配管內之滲透並且更容易且高效率地對流經第1配管之含金屬塗佈液之溫度進行調整。
(11)亦可為塗佈噴嘴可於對基板噴出含金屬塗佈液之處理位置與不對基板噴出含金屬塗佈液之待機位置之間移動地構成，溫度調整部配置於待機位置，將含金屬塗佈液藉由第1配管引導至塗佈噴嘴之步驟包括：於作為第1配管之至少一部分之第1貯存部貯存用於特定片數量之基板之處理之量的含金屬塗佈液；對流經第1配管內之含金屬塗佈液之溫度進行調整之步驟包括：於塗佈噴嘴處於待機位置時將熱傳導構件之溫度藉由溫度調整部進行調整。
於此情形時，於待機位置調整特定量之含金屬塗佈液之溫度。因此，無需使溫度調整部與塗佈噴嘴一同移動。由此，可高效率地進行塗佈噴嘴之移動。
(12)本發明之進而一態樣之塗佈處理方法包括以下步驟：將含有金屬之塗佈液作為含金屬塗佈液藉由由樹脂材料形成之第1配管引導至塗佈噴嘴；對第1配管與以包圍第1配管之至少一部分之外周之方式設置之第2配管之間之空間藉由液體供給系統供給疏水性液體；將藉由液體供給系統供給之液體之溫度藉由溫度調整部進行調整；及將藉由第1配管引導之含金屬塗佈液藉由塗佈噴嘴噴出至基板。
根據該塗佈處理方法，即便於第1配管由樹脂材料形成之情形時，亦不會使水分滲透至第1配管內，可藉由疏水性液體高效率地對流經第1配管之含金屬塗佈液之溫度進行調整。因此，水分不混入於含金屬塗佈液中。由此，防止含金屬塗佈液之劣化。其結果為，可以較高精度穩定地形成含金屬塗佈膜之圖案。
(13)供給疏水性液體之步驟亦可包括供給含氟油或非水溶性有機溶劑。於此情形時，可更容易地防止水分向第1配管內之滲透並且更容易且高效率地對流經第1配管之含金屬塗佈液之溫度進行調整。由此，可更確實地以較高精度穩定地形成含金屬塗佈膜之圖案。
(14)供給含氟油亦可包括供給全氟聚醚油。於此情形時，可進一步容易地防止水分向第1配管內之滲透並且進一步容易且高效率地對流經第1配管之含金屬塗佈液之溫度進行調整。
(15)塗佈處理方法亦可進而包括如下步驟：對第1配管與以包圍第1配管中未藉由溫度調整部調整溫度之部分之外周之方式設置之第3配管之間之空間，藉由第1惰性氣體供給部供給惰性氣體。
於此情形時，第1配管由藉由第1惰性氣體供給部供給之惰性氣體覆蓋。因此，防止大氣中之水分或氧滲透至第1配管內。由此，更確實地防止含金屬塗佈液之劣化。其結果為，可以更高精度穩定地形成含金屬塗佈膜之圖案。
(16)塗佈處理方法亦可進而包括如下步驟：將貯存於第2貯存部之含金屬塗佈液藉由泵壓送至塗佈噴嘴；及對收容泵之殼體部之內部藉由第2惰性氣體供給部填充惰性氣體。
於此情形時，泵由填充於殼體部內之惰性氣體覆蓋。因此，防止大氣中之水分或氧混入於藉由泵壓送之含金屬塗佈液中。由此，更確實地防止含金屬塗佈液之劣化。其結果為，可以更高精度穩定地形成含金屬塗佈膜之圖案。 [發明之效果]
根據本發明，可以較高精度穩定地形成含金屬塗佈膜之圖案。
以下，使用圖式對本發明之一實施形態之塗佈處理裝置及塗佈處理方法進行說明。再者，於以下之說明中，所謂基板係指半導體基板、液晶顯示裝置或者有機EL(Electro Luminescence，電致發光)顯示裝置等之FPD(Flat Panel Display，平板顯示器)用基板、光碟用基板、磁碟用基板、磁光碟用基板、光罩用基板、陶瓷基板或太陽電池用基板等。
[1]第1實施形態 (1)塗佈處理裝置 圖1係表示本發明之第1實施形態之塗佈處理裝置之構成之模式性俯視圖。如圖1所示，塗佈處理裝置100係旋轉塗佈機，具備複數個旋轉夾頭10、複數個護罩20、移動機構30、複數個邊緣清洗噴嘴40、複數個噴嘴單元50、供給單元60及溫度調整部70。於本實施形態中，旋轉夾頭10、護罩20及邊緣清洗噴嘴40於塗佈處理裝置100各設置兩個。
各噴嘴單元50包括塗佈噴嘴51及配管52。如後文所述般，塗佈噴嘴51安裝於配管52，可於待機位置與處理位置之間移動地構成。因此，配管52由具有可撓性之樹脂材料形成。關於噴嘴單元50之詳細內容將於後文進行敍述。供給單元60及溫度調整部70以分別對應於複數個噴嘴單元50之方式設有複數個，但於圖1中僅圖示1個供給單元60及1個溫度調整部70。
各供給單元60包括貯存部61、泵62及殼體部63。貯存部61中貯存各種塗佈液。於塗佈液中，含有用於高效率地吸收EUV(Extreme Ultra Violet；超紫外線)之金屬成分或金屬氧化物等金屬成分作為組合物。於本例中，塗佈液中含有例如Sn(錫)、HfO 2(氧化鉿)或ZrO 2(二氧化鋯)作為金屬成分。以下，將含有金屬成分之塗佈液稱為含金屬塗佈液，將由含金屬塗佈液形成之膜稱為含金屬塗佈膜。
泵62介插於噴嘴單元50之配管52中，將貯存於貯存部61之含金屬塗佈液壓送至對應之塗佈噴嘴51。由此，藉由配管52引導含金屬塗佈液，塗佈噴嘴51可噴出含金屬塗佈液。殼體部63收容貯存部61及泵62。溫度調整部70對流經配管52內之含金屬塗佈液之溫度進行調整。溫度調整部70之詳細內容將於後文進行敍述。
各旋轉夾頭10於保持基板W之狀態下，藉由未圖示之電動馬達等驅動裝置旋轉驅動。護罩20以包圍旋轉夾頭10之周圍之方式設置。於護罩20之外配置有待機部101。於待機時，各塗佈噴嘴51插入於待機部101。
將不對基板W噴出含金屬塗佈液之待機時之各塗佈噴嘴51之位置稱為待機位置，將對基板W噴出含金屬塗佈液之處理時之各塗佈噴嘴51之位置稱為處理位置。具體而言，待機位置係插入於待機部101時之各塗佈噴嘴51之位置，處理位置係由旋轉夾頭10保持之基板W之大致中央部上方之位置。
處於待機位置之複數個塗佈噴嘴51中之任一塗佈噴嘴51藉由移動機構30移動至基板W之大致中央部上方之處理位置。藉由一面使旋轉夾頭10旋轉一面自塗佈噴嘴51噴出含金屬塗佈液，而對旋轉之基板W上塗佈含金屬塗佈液。由此，於基板W形成含金屬塗佈膜。其後，塗佈噴嘴51返回至待機位置。
邊緣清洗噴嘴40向旋轉之基板W之周緣部噴出洗液。此處，所謂基板W之周緣部係指基板W之圓形之外周部與距該外周部固定距離之內側之圓之間的環狀區域。於此情形時，去除形成於基板W之周緣部之含金屬塗佈膜。因此，防止於搬送基板W之搬送機構固持基板W之周緣部時，含金屬塗佈膜之一部分剝離而成為微粒。由此，可防止塗佈處理裝置100被微粒污染。
(2)噴嘴單元 圖2係表示圖1之各噴嘴單元50之立體圖。圖3表示圖2之噴嘴單元50之縱剖視圖。圖4表示圖3之噴嘴單元50之A-A線剖視圖。如圖2所示，噴嘴單元50包括塗佈噴嘴51、配管52及熱傳導構件53。如上所述般，於配管52內流動含金屬塗佈液。於以下之說明中，以含金屬塗佈液之流動為基準定義噴嘴單元50之上游側及下游側。
如圖3所示，配管52之下游部以蜿蜒之方式形成。由此，使配管52內之體積增加，可將用於特定片數量之基板W之處理之量的含金屬塗佈液貯存於配管52內。將貯存有含金屬塗佈液之配管52之蜿蜒部分稱為貯存部102。塗佈噴嘴51安裝於配管52之下游部之前端，噴出貯存於貯存部102之含金屬塗佈液。
熱傳導構件53由具有較配管52之樹脂材料高之熱導率且具有較配管52之樹脂材料低之液體透過性之材料形成。熱傳導構件53較佳為由金屬材料形成。金屬材料例如包括鋁或銅。熱傳導構件53以與配管52之貯存部102接觸之方式設置。
具體而言，熱傳導構件53係收容貯存部102之長方體形狀之外殼，具有上表面部1、底面部2、一對端面部3、4及一對側面部5、6(圖4)。於外殼之內部，較佳為維持氣密性。上表面部1、底面部2、端面部3、4及側面部5、6可一部分與貯存部102接觸，亦可全部與貯存部102接觸。
於本實施形態中，如圖4所示，一對側面部5、6與貯存部102接觸。再者，側面部5、6係與外切於貯存部102之複數個假想平面中之具有最大面積之平面平行之面。上表面部1、底面部2、端面部3、4及側面部5、6之全部亦可不由同一材料形成。又，亦可於外殼之內部設置熱傳導填充材。
圖5(a)、(b)係表示圖1之溫度調整部70之詳細內容之圖。如圖5(a)所示，溫度調整部70包括一對溫度調整元件71。各溫度調整元件71例如為珀爾帖元件，於待機部101中以隔著待機位置互相充分離開之狀態配置。
如圖5(b)所示，於塗佈噴嘴51處於待機位置時，一對溫度調整元件71以互相靠近之方式移動，分別與熱傳導構件53之側面部5、6接觸。於此情形時，對熱傳導構件53之側面部5、6之溫度進行調整。由此，經由側面部5、6對貯存於貯存部102之含金屬塗佈液之溫度進行調整。其結果為，於基板W之處理時，塗佈噴嘴51可將溫度經調整之含金屬塗佈液噴出至預先規定之片數量之基板W。
(3)效果 於本實施形態之塗佈處理裝置100中，經由熱傳導構件53對流經配管52之含金屬塗佈液之溫度進行調整。熱傳導構件53具有較配管52之樹脂材料高之熱導率且具有較配管52之樹脂材料低之液體透過性。因此，即便於配管52由樹脂材料形成之情形時，亦可不使水分滲透至配管52內而高效率地調整含金屬塗佈液之溫度。因此，水分不混入於含金屬塗佈液中。由此，防止含金屬塗佈液之劣化。其結果為，可以較高精度穩定地形成含金屬塗佈膜之圖案。
又，於本實施形態中，溫度調整元件71配置於待機位置，以於塗佈噴嘴51處於待機位置時對熱傳導構件53之溫度進行調整之方式設置。於此情形時，於待機位置中，對貯存於貯存部102之特定量之含金屬塗佈液之溫度進行調整。因此，無需使溫度調整元件71與塗佈噴嘴51一同移動。由此，可高效率地進行塗佈噴嘴51之移動。
(4)變化例 圖6係表示第1實施形態之變化例中之噴嘴單元50之構成之縱剖視圖。圖7係圖6之噴嘴單元50之B-B線剖視圖。如圖6所示，於變化例中，噴嘴單元50進而包括配管54。又，塗佈處理裝置100進而包括惰性氣體供給部80。
配管54由具有可撓性之樹脂材料形成，以包圍配管52中未藉由圖5之溫度調整部70調整溫度之部分之外周之方式設置。由此，於配管52之外周面與配管54之內周面之間形成有空間。再者，於本例中，配管52中未調整溫度之部分意指自熱傳導構件53露出之配管52之部分。
如圖7所示，於配管52之外周面與配管54之內周面之間，以自配管52之上游側向下游側延伸之方式配置有一對分隔板A。各分隔板A可一體形成於配管52之外周面，亦可一體形成於配管54之內周面。藉由配管52之外周面與配管54之內周面之間之空間被一對分隔板A分隔，而形成有兩個空間。將一空間稱為供給路A1，將另一空間稱為回收路A2。
各分隔板A之下游側之端部於較熱傳導構件53之上表面部1更靠上游側終止。由此，供給路A1與回收路A2於下游側(熱傳導構件53之上表面部1之附近)連通。惰性氣體供給部80對供給路A1供給惰性氣體。於本實施形態中，使用氮氣作為惰性氣體。
供給至供給路A1之惰性氣體如圖6中虛線箭頭所示，於供給路A1內沿著配管52自上游向下游行進，於分隔板A之下游側之端部被引導至回收路A2。其後，惰性氣體於回收路A2內沿著配管52自下游向上游行進，藉由惰性氣體供給部80回收。
根據上述構成，惰性氣體於配管52與配管54之間之空間循環。於此情形時，配管52由惰性氣體覆蓋。因此，防止大氣中之水分或氧滲透至配管52內。由此，更確實地防止含金屬塗佈液之劣化。其結果為，可以更高精度穩定地形成含金屬塗佈膜之圖案。
又，惰性氣體供給部80亦可對圖1之殼體部63之內部填充惰性氣體。於此情形時，圖1之泵62由填充於殼體部63內之惰性氣體覆蓋。因此，防止大氣中之水分或氧混入於藉由泵62壓送之含金屬塗佈液中。由此，更確實地防止含金屬塗佈液之劣化。其結果為，可以更高精度穩定地形成含金屬塗佈膜之圖案。
[2]第2實施形態 (1)塗佈處理裝置 關於第2實施形態之塗佈處理裝置，對與第1實施形態之塗佈處理裝置100不同之點進行說明。圖8係表示本發明之第2實施形態之塗佈處理裝置之構成之模式性俯視圖。於本實施形態中，如圖8所示，溫度調整部70包括液體供給系統72而代替圖5之溫度調整元件71。又，於本實施形態與第1實施形態中，噴嘴單元50之構成不同。具體而言，噴嘴單元50具有配管55而代替熱傳導構件53。以下，對噴嘴單元50之詳細內容進行說明。
圖9表示圖8之噴嘴單元50之縱剖視圖。如圖9所示，噴嘴單元50包括塗佈噴嘴51及配管52、55。本實施形態中之塗佈噴嘴51具有與第1實施形態中之塗佈噴嘴51相同之構成。本實施形態中之配管52除不具有貯存部102之點以外，具有與第1實施形態中之配管52相同之構成。
配管55由具有可撓性之樹脂材料形成，以包圍配管52之外周之方式設置。由此，於配管52之外周面與配管55之內周面之間形成有空間。於配管52之外周面與配管55之內周面之間，以自配管52之上游側向下游側延伸之方式配置有一對分隔板B。各分隔板B可一體形成於配管52之外周面，亦可一體形成於配管55之內周面。
藉由配管52之外周面與配管55之內周面之間之空間被一對分隔板B分隔，而形成有兩個空間。將一空間稱為供給路B1，將另一空間稱為回收路B2。各分隔板B之下游側之端部於較塗佈噴嘴51之上端部更靠上游側終止。由此，供給路B1與回收路B2於下游側(塗佈噴嘴51之上端部之附近)連通。再者，圖9之C-C線剖視圖除配管54、分隔板A、供給路A1及回收路A2分別為配管55、分隔板B、供給路B1及回收路B2之點以外，與圖7之剖視圖相同。
於液體供給系統72中貯存有疏水性液體。疏水性液體於溫度23℃且1個氣壓之狀況下具有流動性，例如包括含氟油或非水溶性有機溶劑。含氟油例如包括PFPE(全氟聚醚)油、CTFE油(三氟氯乙烯)或PTFE(聚四氟乙烯)油，尤佳為包括PFPE油。非水溶性有機溶劑例如包括PGMEA(丙二醇單甲醚乙酸酯)。
於本實施形態中，液體供給系統72為冷卻器，具有對所貯存之液體之溫度進行調整之功能。液體供給系統72對供給路B1供給已調整溫度之疏水性液體。供給至供給路B1之液體如圖9中虛線箭頭所示，於供給路B1內沿著配管52自上游向下游行進，於分隔板B之下游側之端部被引導至回收路B2。其後，液體於回收路B2內沿著配管52自下游向上游行進，藉由液體供給系統72回收。
(2)效果 於本實施形態之塗佈處理裝置100中，已調整溫度之疏水性液體於配管52與配管55之間之空間循環。因此，即便於配管52由樹脂材料形成之情形時，亦不會使水分滲透至配管52內，可藉由疏水性液體高效率地對流經配管52之含金屬塗佈液之溫度進行調整。因此，水分不混入於含金屬塗佈液中。由此，防止含金屬塗佈液之劣化。其結果為，可以較高精度穩定地形成含金屬塗佈膜之圖案。
又，使用含氟油或非水溶性有機溶劑作為疏水性液體。由此，可更確實地以高精度穩定地形成含金屬塗佈膜之圖案。
進而，於本實施形態中，配管52由疏水性液體覆蓋全體。因此，防止大氣中之水分或氧滲透至配管52內。由此，更確實地防止含金屬塗佈液之劣化。其結果為，可以更高精度穩定地形成含金屬塗佈膜之圖案。
(3)變化例 於上述實施形態中，配管55以包圍配管52全體之外周之方式設置，對流經配管52內之含金屬塗佈液全體之溫度進行調整，但本發明並不限定於此。圖10係表示第2實施形態之第1變化例中之噴嘴單元50之構成之縱剖視圖。如圖10所示，配管55亦可以包圍配管52之一部分之外周之方式設置。於此情形時，對流經配管52內之含金屬塗佈液之一部分之溫度進行調整。
於該構成中，無需為了調整含金屬塗佈液之溫度而使用大量疏水性液體。由此，可使噴嘴單元50變為小型。又，可降低含金屬塗佈液之溫度之調整所需之成本。
圖11係表示第2實施形態之第2變化例中之噴嘴單元50之構成之縱剖視圖。如圖11所示，於第2變化例中，噴嘴單元50與第1實施形態之變化例同樣地進而包括配管54。又，塗佈處理裝置100進而包括惰性氣體供給部80。配管54及惰性氣體供給部80之構成分別與第1實施形態之變化例中之配管54及惰性氣體供給部80之構成相同。
具體而言，配管54以包圍配管52中未藉由液體供給系統72調整溫度之部分之外周之方式設置。由此，於配管52之外周面與配管54之內周面之間形成有空間。又，於配管52之外周部設有圓環狀分隔板C。配管52與配管55之間之空間藉由分隔板C而與配管52與配管54之間之空間隔開。
藉由於配管52之外周面與配管54之內周面之間配置有一對分隔板A，而形成供給路A1及回收路A2。各分隔板A之下游側之端部於較分隔板C更靠上游側終止。由此，供給路A1與回收路A2於下游側(分隔板C之附近)連通。惰性氣體供給部80對供給路A1供給惰性氣體。
供給至供給路A1之惰性氣體於供給路A1內沿著配管52自上游向下游行進，於分隔板A之下游側之端部被引導至回收路A2。其後，惰性氣體於回收路A2內沿著配管52自下游向上游行進，由惰性氣體供給部80回收。
根據上述構成，惰性氣體於配管52與配管54之間之空間循環。於此情形時，配管52由惰性氣體覆蓋。因此，防止大氣中之水分或氧滲透至配管52內。由此，更確實地防止含金屬塗佈液之劣化。其結果為，可以更高精度穩定地形成含金屬塗佈膜之圖案。
又，與第1實施形態之變化例同樣地，惰性氣體供給部80亦可對圖8之殼體部63之內部填充惰性氣體。於此情形時，圖8之泵62由填充於殼體部63內之惰性氣體覆蓋。因此，防止大氣中之水分或氧混入於藉由泵62壓送之含金屬塗佈液中。由此，更確實地防止含金屬塗佈液之劣化。其結果為，可以更高精度穩定地形成含金屬塗佈膜之圖案。
[3]其他實施形態 (1)於上述實施形態中，殼體部63收容貯存部61及泵62，但本發明並不限定於此。亦可為殼體部63僅收容泵62，貯存部61配置於殼體部63之外部。即便於此情形時，亦可於殼體部63之內部填充惰性氣體。
又，於上述實施形態中，貯存於貯存部61之含金屬塗佈液藉由泵62壓送，但本發明並不限定於此。未設置泵62，亦可藉由對貯存部61內供給惰性氣體而壓送含金屬塗佈液。
(2)於第1實施形態中，熱傳導構件53係外殼，包括上表面部1、底面部2、一對端面部3、4及一對側面部5、6，但本發明並不限定於此。熱傳導構件53可僅包括一對側面部5、6，亦可僅包括一對側面部5、6之一者。
(3)於第1實施形態中，溫度調整部70包括一對溫度調整元件71，但本發明並不限定於此。溫度調整部70亦可僅包括一溫度調整元件71。又，溫度調整部70亦可包括其他溫度調整構件而代替一對溫度調整元件71。圖12係表示圖5之溫度調整部70之其他例之圖。如圖12所示，溫度調整部70包括一對溫度調整構件73及液體供給系統74而代替一對溫度調整元件71。於圖12中，僅圖示一個溫度調整構件73。
溫度調整構件73例如係板構件，由具有較高熱導率之材料形成。於圖12之例中，溫度調整構件73由鋁或銅等金屬材料形成。於溫度調整構件73中，以蜿蜒之方式埋設有配管75。液體供給系統74與圖8之液體供給系統72同樣地為冷卻器，貯存純水等熱介質，並且對所貯存之熱介質之溫度進行調整。又，液體供給系統74將已調整溫度之熱介質自配管75之一端部供給至配管75內，並且將通過配管75內之熱介質自配管75之另一端部回收。
於圖5之塗佈噴嘴51處於待機位置時，一對溫度調整構件73以互相靠近之方式移動，分別與熱傳導構件53之側面部5、6接觸。於此情形時，藉由流經埋設於各溫度調整構件73之配管75內之熱介質對熱傳導構件53之側面部5、6之溫度進行調整。由此，經由側面部5、6對貯存於貯存部102之含金屬塗佈液之溫度進行調整。
根據該構成，溫度調整構件73與配管52被熱傳導構件53隔開，未直接接觸。因此，即便於使用純水作為熱介質之情形時，亦可不使水分滲透至配管52內而高效率地對含金屬塗佈液之溫度進行調整。再者，熱介質亦可為第2實施形態中所使用之疏水性液體。
(4)於第1實施形態中，溫度調整部70配置於待機位置，以於塗佈噴嘴51處於待機位置時對熱傳導構件53之溫度進行調整之方式設置，但本發明並不限定於此。溫度調整部70亦可安裝於熱傳導構件53，始終對熱傳導構件53之溫度進行調整。
(5)於第1實施形態中，貯存部102蜿蜒，但本發明並不限定於此。於貯存部102中所貯存之含金屬塗佈液為少量即可之情形時，貯存部102亦可不蜿蜒，可為直線狀。
(6)於第2實施形態中，溫度調整部70包括冷卻器，具有作為液體供給系統之功能，但本發明並不限定於此。液體供給系統亦可與溫度調整部70分開設置。於此情形時，溫度調整部70以對藉由液體供給系統供給之液體之溫度進行調整之方式設置。
[4]請求項之各構成元件與實施形態之各元件之對應關係 以下，對請求項之各構成元件與實施形態之各元件之對應之例進行說明，但本發明並不限定於下述例。作為請求項之各構成元件，亦可使用具有請求項中所記載之構成或功能之其他各種元件。
於上述實施形態中，塗佈噴嘴51係塗佈噴嘴之例，配管52、55、54分別係第1～第3配管之例，熱傳導構件53係熱傳導構件之例。溫度調整部70係溫度調整部之例，塗佈處理裝置100係塗佈處理裝置之例，貯存部102、61分別係第1及第2貯存部之例，液體供給系統72係液體供給系統之例。惰性氣體供給部80係第1及第2惰性氣體供給部之例，泵62係泵之例，殼體部63係殼體部之例。
1           上表面部 2           底面部 3、4      端面部 5、6      側面部 10          旋轉夾頭 20          護罩 30          移動機構 40          邊緣清洗噴嘴 50          噴嘴單元 51          塗佈噴嘴 52          配管 53          熱傳導構件 54          配管 55          配管 60          供給單元 61          貯存部 62          泵 63          殼體部 70          溫度調整部 71          溫度調整元件 72          液體供給系統 73          溫度調整構件 74          液體供給系統 75          配管 80          惰性氣體供給部 100        塗佈處理裝置 101        待機部 102        貯存部 A           分隔板 A1         供給路 A2         回收路 B           分隔板 B1         供給路 B2         回收路 C           分隔板 W          基板
圖1係表示本發明之第1實施形態之塗佈處理裝置之構成之模式性俯視圖。 圖2係表示圖1之各噴嘴單元之立體圖。 圖3表示圖2之噴嘴單元之縱剖視圖。 圖4表示圖3之噴嘴單元之A-A線剖視圖。 圖5(a)及(b)係表示圖1之溫度調整部之詳細內容之圖。 圖6係表示第1實施形態之變化例中之噴嘴單元之構成之縱剖視圖。 圖7係圖6之噴嘴單元之B-B線剖視圖。 圖8係表示本發明之第2實施形態之塗佈處理裝置之構成之模式性俯視圖。 圖9表示圖8之噴嘴單元之縱剖視圖。 圖10係表示第2實施形態之第1變化例中之噴嘴單元之構成之縱剖視圖。 圖11係表示第2實施形態之第2變化例中之噴嘴單元之構成之縱剖視圖。 圖12係表示圖5之溫度調整部之其他例之圖。
10          旋轉夾頭 20          護罩 30          移動機構 40          邊緣清洗噴嘴 50          噴嘴單元 51          塗佈噴嘴 52          配管 53          熱傳導構件 60          供給單元 61          貯存部 62          泵 63          殼體部 70          溫度調整部 100        塗佈處理裝置 101        待機部 W          基板

Claims (8)

  1. 一種塗佈處理裝置，其具備：塗佈噴嘴，其將含有金屬之塗佈液作為含金屬塗佈液噴出至基板；第1配管，其由樹脂材料形成且將含金屬塗佈液引導至上述塗佈噴嘴；第2配管，其以包圍上述第1配管之至少一部分之外周之方式設置；液體供給系統，其對上述第1配管與上述第2配管之間之空間供給疏水性液體；及溫度調整部，其對藉由上述液體供給系統供給之液體之溫度進行調整，上述疏水性液體包括含氟油或非水溶性有機溶劑。
  2. 如請求項1之塗佈處理裝置，其中，上述含氟油包括全氟聚醚油。
  3. 一種塗佈處理裝置，其具備：塗佈噴嘴，其將含有金屬之塗佈液作為含金屬塗佈液噴出至基板；第1配管，其由樹脂材料形成且將含金屬塗佈液引導至上述塗佈噴嘴；第2配管，其以包圍上述第1配管之至少一部分之外周之方式設置；液體供給系統，其對上述第1配管與上述第2配管之間之空間供給疏水性液體；溫度調整部，其對藉由上述液體供給系統供給之液體之溫度進行調 整；第3配管，其以包圍上述第1配管中未藉由上述溫度調整部調整溫度之部分之外周之方式設置；及第1惰性氣體供給部，其對上述第1配管與上述第3配管之間之空間供給惰性氣體。
  4. 一種塗佈處理裝置，其具備：塗佈噴嘴，其將含有金屬之塗佈液作為含金屬塗佈液噴出至基板；第1配管，其由樹脂材料形成且將含金屬塗佈液引導至上述塗佈噴嘴；第2配管，其以包圍上述第1配管之至少一部分之外周之方式設置；液體供給系統，其對上述第1配管與上述第2配管之間之空間供給疏水性液體；溫度調整部，其對藉由上述液體供給系統供給之液體之溫度進行調整；第2貯存部，其貯存含金屬塗佈液；泵，其將貯存於上述第2貯存部之含金屬塗佈液壓送至上述塗佈噴嘴；殼體部，其收容上述泵；及第2惰性氣體供給部，其對上述殼體部之內部填充惰性氣體。
  5. 一種塗佈處理方法，其包括以下步驟：將含有金屬之塗佈液作為含金屬塗佈液藉由由樹脂材料形成之第1配管引導至塗佈噴嘴； 對上述第1配管與以包圍上述第1配管之至少一部分之外周之方式設置之第2配管之間之空間，藉由液體供給系統供給疏水性液體；對藉由上述液體供給系統供給之液體之溫度藉由溫度調整部進行調整；及將藉由上述第1配管引導之含金屬塗佈液藉由上述塗佈噴嘴噴出至基板，供給上述疏水性液體之步驟包括：供給含氟油或非水溶性有機溶劑。
  6. 如請求項5之塗佈處理方法，其中，供給上述含氟油包括：供給全氟聚醚油。
  7. 一種塗佈處理方法，其包括以下步驟：將含有金屬之塗佈液作為含金屬塗佈液藉由由樹脂材料形成之第1配管引導至塗佈噴嘴；對上述第1配管與以包圍上述第1配管之至少一部分之外周之方式設置之第2配管之間之空間，藉由液體供給系統供給疏水性液體；對藉由上述液體供給系統供給之液體之溫度藉由溫度調整部進行調整；將藉由上述第1配管引導之含金屬塗佈液藉由上述塗佈噴嘴噴出至基板；及對上述第1配管與以包圍上述第1配管中未藉由上述溫度調整部調整溫度之部分之外周之方式設置之第3配管之間之空間，藉由第1惰性氣體供 給部供給惰性氣體。
  8. 一種塗佈處理方法，其包括以下步驟：將含有金屬之塗佈液作為含金屬塗佈液藉由由樹脂材料形成之第1配管引導至塗佈噴嘴；對上述第1配管與以包圍上述第1配管之至少一部分之外周之方式設置之第2配管之間之空間，藉由液體供給系統供給疏水性液體；對藉由上述液體供給系統供給之液體之溫度藉由溫度調整部進行調整；將藉由上述第1配管引導之含金屬塗佈液藉由上述塗佈噴嘴噴出至基板；將貯存於第2貯存部之含金屬塗佈液藉由泵壓送至上述塗佈噴嘴；及對收容上述泵之殼體部之內部藉由第2惰性氣體供給部填充惰性氣體。
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