TWI694259B - 測試探針和使用其的測試裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明揭露一種用於測試待測試物件的電氣特性的測試探針。測試探針包括：第一接觸部分；第二接觸部分，可接近或遠離第一接觸部分移動；以及彈性變形部分，使第一接觸部分與第二接觸部分連接且通過在探針軸線方向上的壓縮而彈性地變形，其中第一接觸部分和第二接觸部分中的至少一個包括由沿縱向方向形成的第一狹縫分離的多個分離接觸部分。根據本揭露，多個分離接觸部分被配置成獨立地接觸待測試物件的測試接觸點，從而不僅提高接觸可靠性而且通過替代分離接觸部分來確保接觸可靠性，即使分離接觸部分中的一個有故障或損壞。

Description

測試探針和使用其的測試裝置
本揭露涉及一種用於測試半導體或類似待測試物件的電氣特性的測試探針，以及使用所述測試探針的測試裝置。
作為一種用於測試半導體晶片或類似待測試物件的電氣特性或適合性的測試裝置，已使用測試探針，所述測試探針包含：多個探針，用於待測試物件的測試接觸點(端子、凸點)與測試電路的測試接觸點(墊片)之間的電連接；以及探針卡，用於支撐這些探針。
隨著技術的發展，半導體晶片已變得較大且半導體變得較小，從而增加了在一張半導體晶片上可成形的墊片的數量。因此，半導體墊片之間的距離必須變得更窄。類似地，因為墊片之間的間距變得更窄，所以在探針卡上需要更密集地佈置多個探針。
通常，探針卡採用許多微機電系統(microelectromechanical system；MEMS)探針。在測試期間，MEMS探針使物件的待測試接觸點抵壓朝向測試電路的一個部 分，且因此中間彈性變形部分變形。在這種情況下，MEMS探針的另一接觸部分在測試電路(插入件)的墊片上在與彈性變形部分的彎曲方向相反的方向上滑動及移動，且因此產生接觸不確定的問題。此外，即使由於在測試中重複使用在接觸部分中多個MEMS探針中僅一個有故障或損壞，傳統的MEMS型探針卡仍被診斷為探針卡的整體故障或缺陷。此外，MEMS探針待與待測試物件的測試接觸點(端子、凸點以及墊片)接觸的接觸部分的接觸電阻可能由於頂端受重複測試的磨損或污染而增大，從而降低可靠性。
多個MEMS探針安裝到其間保留有間隙而平行佈置的上部支撐構件和下部支撐構件。在這種情況下，MEMS探針的一個接觸部分在縱向方向上在支撐構件上滑動，且因此對支撐構件並不具有較大影響。然而，MEMS探針的另一接觸部分對支撐構件具有不良影響，這是因為彈性變形部分受到縱向壓縮而變形，且因此降低MEMS探針的接觸精確度和可靠性。
本揭露的一方面用來解決常規問題，並提供一種通過降低接觸電阻且減小接觸誤差來提高測試可靠性的測試探針，以及使用所述測試探針的測試裝置。
根據本揭露的實施例，提供一種用於解決前述問題的測試探針。測試探針包含第一接觸部分；第二接觸部分，可接近或 遠離第一接觸部分移動；以及彈性變形部分，使第一接觸部分與第二接觸部分連接且通過在探針軸線方向上的壓縮而彈性地變形，其中第一接觸部分和第二接觸部分中的至少一個包括沿縱向方向分離的多個分離接觸部分。根據本揭露，多個分離接觸部分被配置成獨立地接觸待測試物件的測試接觸點，從而不僅提高接觸可靠性而且通過替代分離接觸部分來確保接觸可靠性，即使分離接觸部分中的一個有故障或損壞。
彈性變形部分可包括由沿縱向方向形成的狹縫分離的多個分離變形部分，以使得彈性變形部分可變形且始終在某一方向上彎曲。
多個分離接觸部分的分離線延伸到狹縫，且分離接觸部分和分離變形部分由於為單個主體而分離，從而使得狹縫從多個分離變形部分吸收變形力。
多個分離接觸部分可包括待在探針軸線方向上或在穿越探針軸線的方向上接合的接合部分，以使得多個分離接觸部分可以適當統一操作。
多個分離變形部分中的一個包含沿縱向方向形成的第二狹槽，從而不僅促進彈性變形而且降低接觸電阻。
提供一種使用前述測試探針的測試裝置。測試裝置包含：第一支撐構件，包括多個端子孔；第二支撐構件，包括多個導孔並且與第一支撐構件間隔開且平行佈置；以及多個測試探針，包括插入且支撐在端子孔中的第一接觸部分，插入在導孔中 且可接近和遠離第一接觸部分移動的第二接觸部分，以及使第一接觸部分與第二接觸部分連接且通過在探針軸線方向上的壓縮而彈性地變形的彈性變形部分，其中第一接觸部分和第二接觸部分中的至少一個包括沿縱向方向分離的多個分離接觸部分。
1:測試裝置
10:待測試物件
12:端子
20:插入件
22:墊片端子
30:第一支撐構件
32:端子孔
40:第二支撐構件
42:導孔
100、200、300、400:測試探針
110、210、310、410:第一接觸部分
110-1、110-2、230-1、230-2、310-1、310-2、410-1、410-2:分離接觸部分
111、211、311、411:第一接觸主體
112、212、312、412:第一接觸頂端
113、213、313、413:第一突起
114、314、414:第二接觸主體
115、315、415:第二接觸頂端
117、119、239、319、419:第一狹縫
120、220、320、420:彈性變形部分
120-1、120-2、220-1、220-2、320-1、320-2、320-3、420-1、420-2:分離變形部分
122、222、322、422:第二狹縫
130、230、330、430:第二接觸部分
132:末端
316:凹部
317:凸部
324:第三狹縫
416:第二突起
根據結合隨附圖式對示例性實施例進行的以下描述，以上和/或其它方面將變得顯而易見並且更容易瞭解，其中：圖1是根據本揭露的第一實施例的測試探針的透視圖。
圖2是使用根據本揭露的第一實施例的測試探針的測試裝置的橫截面視圖。
圖3是在圖2的測試裝置的測試期間操作的測試探針的橫截面視圖。
圖4是根據本揭露的第二實施例的測試探針的透視圖。
圖5是根據本揭露的第三實施例的測試探針的透視圖。
圖6是根據本揭露的第四實施例的測試探針的透視圖。
圖1是根據本揭露的第一實施例的測試探針100的透視圖，且圖2是使用圖1的測試探針100的測試裝置1的橫截面視圖。如其中所示，測試探針100提供為用於在兩個接觸點之間(例如在待測試物件10的端子12與插入件20的墊片端子22之間) 電連接的具有預定厚度的板狀導電構件。當然，測試探針100可出於使任何兩個接觸點電連接以及待測試物件10與插入件20之間的電連接的目的而應用。測試探針100可非限制性地由鈀(Pd)合金、鎳(Ni)合金、金(Au)、鉑(Pt)、銀(Ag)、銅(Cu)、鋁(Al)、鐵(Fe)、鈹(Be)、銠(Rh)以及類似導電材料製成。在下文，其將借助於測試探針100用於待測試物件10與插入件20之間的連接的實例來描述。
測試探針100包含與插入件20的墊片端子在一側接觸的第一接觸部分110，與待測試物件10的端子12在另一側接觸的第二接觸部分130，以及通過第二接觸部分130的壓縮在第一接觸部分110與第二接觸部分130之間變形的彈性變形部分120。
第一接觸部分110包含沿縱向方向分離的兩個第一分離接觸部分110-1和第二分離接觸部分110-2。第一分離接觸部分110-1與第二分離接觸部分110-2由第一狹縫117保留有如圖1中所示的間隙而分離。當然，第一分離接觸部分110-1與第二分離接觸部分110-2可彼此接觸。此外，第一接觸部分110可包含三個或多於三個分離接觸部分。第一分離接觸部分110-1包含第一接觸主體111，形成於第一接觸主體111的末端處且接觸插入件20的墊片端子22的第一接觸頂端112，以及在穿越第一接觸主體111的縱向方向的方向上突出的第一突起113。第二分離接觸部分110-2包含第二接觸主體114，以及形成於第二接觸主體114的末端處且接觸插入件20的墊片端子22的第二接觸頂端115。當然，如同第 一分離接觸部分110-1，第二分離接觸部分110-2可選擇性包含在穿越第二接觸主體114的縱向方向的方向上突出的第二突起(未繪示)。
彈性變形部分120包含由沿縱向方向形成的第二狹縫122分離的兩個第一分離變形部分120-1及第二分離變形部分120-2。如圖1中所示，第二狹縫122與在第一分離接觸部分110-1與第二分離接觸部分110-2之間的第一狹縫連通。因此，第一分離接觸部分110-1和第一分離變形部分120-1的單個主體由彼此連通的第一狹縫117及第二狹縫122而與第二分離接觸部分110-2和第二分離變形部分120-2的單個主體分離。當然，第二狹縫122及第一狹縫117可在彼此不連通的情況下不連續地形成。第一分離變形部分120-1和第二分離變形部分120-2預先形成為具有在某一方向上的曲率，例如在穿越第一接觸部分110的縱向方向的方向上。如此，第一分離變形部分120-1和第二分離變形部分120-2預先形成為具有曲率且因此始終在某一方向上受壓縮而變形。此處，第一分離變形部分120-1和第二分離變形部分120-2不限於彎曲形狀，而是可例如直線成形。
其中第一分離變形部分120-1和第二分離變形部分120-2會聚的第二接觸部分130沿探針軸線直線延伸。
在圖1所示的測試探針100中，當待測試物件10的端子12抵壓並接觸第二接觸部分130的末端132時，彈性變形部分120朝向插入件20的墊片端子22推壓第一接觸部分110同時在彎曲 方向上變形，從而實現測試的電導。
圖2是使用根據本揭露的第一實施例的測試探針100的測試裝置1的橫截面視圖，且圖3是在圖2的測試裝置中的測試期間操作的測試探針100的橫截面視圖。
如其中所示，測試裝置1包含具有多個端子孔32的第一支撐構件30，與第一支撐構件30間隔開且平行並且具有多個導孔42的第二支撐構件40，以及各自具有待插入在端子孔32和導孔42中的相對末端的多個測試探針100。
第一支撐構件30為板狀絕緣構件且包含其中插入有第一接觸部分110的第一分離接觸部分110-1和第二分離接觸部分110-2的多個端子孔32。第一突起113鎖定到第一支撐構件30的一側以便限定第一分離接觸部分110-1的第一接觸頂端112插入到端子孔32中。
第二支撐構件40為板狀絕緣構件且包含其中插入有朝向第一接觸部分110滑動且移動的第二接觸部分130的多個導孔42。
測試探針100在這種情況下等效於圖1中所示的測試探針100，且因此將避免其重複描述。
對於測試，當待測試物件10(例如半導體)的墊片端子12抵壓並接觸圖2的第二接觸部分130的末端132時，第二接觸部分130經由導孔42滑動且朝向第一接觸部分110移動。第一分離變形部分120-1和第二分離變形部分120-2隨著第二接觸部分130移動而在彎曲方向上變形。在這種情況下，變形量並不均勻， 而是以不同方式施加到第一分離變形部分120-1和第二分離變形部分120-2。如圖3中所示，在測試期間，第一分離變形部分120-1變形以使得第二狹縫122的寬度從第二接觸部分130朝向第一接觸部分110可變得更窄。因此，第一分離變形部分120-1與第二分離變形部分120-2可在第一支撐構件30附近彼此接觸。在這種情況下，第一分離接觸部分110-1朝向第二分離接觸部分110-2移動。第一分離接觸部分110-1的第一接觸頂端112與第二分離接觸部分110-2的第二接觸頂端115彼此接觸，在與彈性變形部分120的變形方向相對的方向上移動且按壓插入件20的墊片端子22的表面。因此，第一分離接觸部分110-1的第一接觸頂端112和第二分離接觸部分110-2的第二接觸頂端115兩者都與插入件20的墊片端子22的表面接觸，從而提高接觸可靠性且降低接觸電阻。
圖4是根據本揭露的第二實施例的測試探針200的透視圖。如其中所示，測試探針200提供為具有預定厚度的板狀導電構件，且電連接兩個接觸點，例如待測試物件10的端子12和插入件20的墊片端子22。測試探針200可非限制性地由鈀(Pd)合金、鎳(Ni)合金、金(Au)、鉑(Pt)、銀(Ag)、銅(Cu)、鋁(Al)、鐵(Fe)、鈹(Be)、銠(Rh)以及類似導電材料製成。在下文中，其將借助於提供測試探針200以用於待測試物件10與插入件20之間的電連接的實例來描述。
測試探針200包含與插入件20的墊片端子22在一側接觸的第一接觸部分210，與待測試物件10的端子12在另一側接觸 的第二接觸部分230，以及通過第二接觸部分230的壓縮在第一接觸部分210與第二接觸部分230之間變形的彈性變形部分220。
第一接觸部分210包含沿探針軸線直線延伸的第一接觸主體211，形成於第一接觸主體211的末端處且接觸插入件20的墊片端子22的第一接觸頂端212，以及在穿越第一接觸主體211的縱向方向的方向上突出的第一突起213。當然，第一接觸部分210可選擇性包含在第一突起213的相對側處的第二突起(未繪示)。
彈性變形部分220包含由沿縱向方向形成的第二狹縫222分離的兩個第一分離變形部分220-1與第二分離變形部分220-2。第一分離變形部分220-1和第二分離變形部分220-2預先形成為具有在某一方向上的曲率，例如在穿越第一接觸部分210的縱向方向的方向上。如此，第一分離變形部分220-1和第二分離變形部分220-2預先形成為具有曲率且因此始終在某一方向上受壓縮而變形。此處，第一分離變形部分220-1和第二分離變形部分220-2不限於彎曲形狀，而是可例如直線成形。
第二接觸部分230包含沿縱向方向分離的兩個第一分離接觸部分230-1與第二分離接觸部分230-2。第一分離接觸部分230-1與第二分離接觸部分230-2由第一狹縫239保留有如圖4中所示的間隙而分離。當然，第一分離接觸部分230-1與第二分離接觸部分230-2可彼此接觸。此外，第二接觸部分230可包含三個或多於三個分離接觸部分。第一分離接觸部分230-1與第二 230-2在彼此分離時可彼此間隔開或彼此接觸。如圖4中所繪示，第二狹縫222與在第二接觸部分230的第一分離接觸部分230-1與第二分離接觸部分230-2之間的第一狹縫239連通。因此，第一分離接觸部分230-1和第一分離變形部分220-1的單個主體由彼此連通的第一狹縫239及第二狹縫222而與第二分離接觸部分230-2和第二分離變形部分220-2的單個主體分離。當然，第一狹縫239和第二狹縫222可以不連續地形成。
圖1繪示第一接觸部分110分成兩個第一分離接觸部分110-1和第二分離接觸部分110-2，且圖4繪示第二接觸部分230分成兩個第一分離接觸部分230-1和第二分離接觸部分230-2。或者，第一接觸部分110、第一接觸部分210和第二接觸部分130、第二接觸部分230兩者可分離成兩段或多於兩段。在這種情況下，彈性變形部分120、彈性變形部分220的第二狹縫122、第二狹縫222可被配置成不與第一接觸部分和第二接觸部分的各自第一狹縫117、第一狹縫239連通。
圖5是根據本揭露的第三實施例的測試探針300的透視圖。第一支撐構件和第二支撐構件等效於圖2中所示的構件，且因此將避免其重複描述。
測試探針300提供為具有預定厚度的板狀導電構件，且電連接兩個接觸點，例如待測試物件10的端子12和插入件20的墊片端子22。為了製造測試探針300，鈀(Pd)合金、鎳(Ni)合金、金(Au)、鉑(Pt)、銀(Ag)、銅(Cu)、鋁(Al)、鐵(Fe)、 鈹(Be)、銠(Rh)或類似導電材料可非限制性地單獨使用或通過在厚度方向上鍍覆而合金化為疊層。在下文，其將借助於提供測試探針300以用於待測試物件10與插入件20之間的電連接的實例來描述。
測試探針300包含與插入件20的墊片端子22在一側接觸的第一接觸部分310，與待測試物件10的端子12在另一側處接觸的第二接觸部分330，以及通過第二接觸部分330的壓縮在第一接觸部分310與第二接觸部分330之間變形的彈性變形部分320。
第一接觸部分310包含沿縱向方向分離的兩個第一分離接觸部分310-1及第二分離接觸部分310-2。第一分離接觸部分310-1和第二分離接觸部分310-2由如圖5中所示的第一狹縫319而彼此間隔開且彼此分離。第一分離接觸部分310-1與第二分離接觸部分310-2可彼此接觸。當然，第一接觸部分310可包含三個或多於三個分離接觸部分。第一分離接觸部分310-1包含第一接觸主體311，形成於第一接觸主體311的末端處且接觸插入件20的墊片端子22的第一接觸頂端312，以及在穿越第一接觸主體311的縱向方向的方向上突出的第一突起313。第二分離接觸部分310-2包含第二接觸主體314，以及形成於第二接觸主體314的末端處且接觸插入件20的墊片端子22的第二接觸頂端315。當然，如同第一分離接觸部分310-1，第二分離接觸部分310-2可選擇性包含在穿越第二接觸主體314的縱向方向的方向上突出的第二突起(未繪示)。第一接觸主體311和第二接觸主體314在其面向彼 此的表面上形成有凹部316和凸部317。也就是說，如其中所示，第一接觸主體311包含凹部316，且第二接觸主體314包含待與凹部316接合的凸部317。即使當凸部317插入在其中時，凹部316仍可具有用於使得凸部317在探針軸線方向上可移動的充足空間。此處，第一接觸主體311可具有凸部317，且第二接觸主體314可具有用以容納凸部317的凹部316。
彈性變形部分320包含與沿縱向方向形成的第二狹縫322和第三狹縫324分離的三個第一分離變形部分320-1、第二分離變形部分320-2以及第三分離變形部分320-3。如圖5中所示，第二狹縫322被配置成與形成於第一分離接觸部分310-1與第二分離接觸部分310-2之間的第一狹縫319連通。因此，第一分離接觸部分310-1以及第一分離變形部分320-1和第二分離變形部分320-2的單個主體由彼此連通的第一狹縫319及第二狹縫322而與第二分離接觸部分310-2和第三分離變形部分320-3的單個主體分離。當然，第一狹縫319和第二狹縫322可在彼此不連通的情況下不連續地形成。第一分離變形部分320-1、第二分離變形部分320-2以及第三分離變形部分320-3中的每一個預先形成為具有在某一方向上的曲率，例如在穿越第一接觸部分310的縱向方向的方向上。第三狹縫324沿縱向方向在第一分離變形部分320-1與第二分離變形部分320-2之間形成。或者，第一狹縫319和第三狹縫324可彼此連通，且第二狹縫322可在第二分離變形部分320-2與第三分離變形部分320-3之間形成和閉合。此外，彈性變 形部分320可包含具有多個狹縫的四個或多於四個分離變形部分(未繪示)。
其中各自具有曲率的第一分離變形部分320-1、第二分離變形部分320-2以及第三分離變形部分320-3會聚的第二接觸部分330沿探針軸線直線延伸。
圖6是根據本揭露的第四實施例的測試探針400的透視圖。在前述測試探針100、測試探針200以及測試探針300中，第一接觸部分110、第一接觸部分210和第一接觸部分310以及彈性變形部分120、彈性變形部分220以及彈性變形部分320沿曲面分離。另一方面，測試探針400在垂直於如圖6中所示的曲面的方向上分離。
測試探針400包含與插入件20的墊片端子22在一側接觸的第一接觸部分410，與待測試物件10的端子12在另一側接觸的第二接觸部分430，以及通過第二接觸部分430的壓縮在第一接觸部分410與第二接觸部分430之間變形的彈性變形部分420。
第一接觸部分410包含沿垂直於彈性變形部分420的曲面的平面上的縱向方向分離的兩個第一分離接觸部分410-1及第二分離接觸部分410-2。第一分離接觸部分410-1及第二分離接觸部分410-2可由如圖6所示的第一狹縫419保留有間隙而彼此分離。第一分離接觸部分410-1與第二分離接觸部分410-2可彼此接觸。當然，第一接觸部分410可包含三個或多於三個分離接觸部分。第一分離接觸部分410-1包含第一接觸主體411，形成於第一 接觸主體411的末端處且接觸插入件20的墊片端子22的第一接觸頂端412，以及在穿越第一接觸主體411的縱向方向的方向上突出的第一突起413。第二分離接觸部分410-2包含第二接觸主體414，形成於第二接觸主體414的末端處且接觸插入件20的墊片端子22的第二接觸頂端415，以及在穿越第二接觸主體414的縱向方向的方向上突出的第二突起416。
彈性變形部分420包含由沿縱向方向形成的第二狹縫422在垂直於彈性變形部分420的曲面的平面上分離的兩個第一分離變形部分420-1及第二分離變形部分420-2。如圖6中所示，第二狹縫422與第一狹縫419連通。因此，第一分離接觸部分410-1和第一分離變形部分420-1的單個主體由第一狹縫419和第二狹縫422與第二分離接觸部分410-2和第二分離變形部分420-2的單個主體分離。當然，第一狹縫419和第二狹縫422可以不連續地形成。第一分離變形部分420-1和第二分離變形部分420-2預先形成為具有在某一方向上的曲率，例如在穿越第一接觸部分410的縱向方向的方向上。如此，第一分離變形部分420-1和第二分離變形部分420-2預先形成為具有曲率且因此始終在某一方向上受壓縮而變形。此處，第一分離變形部分420-1和第二分離變形部分420-2不限於彎曲形狀，而是可例如直線成形。
其中第一分離變形部分420-1和第二分離變形部分420-2會聚的第二接觸部分430沿探針軸線直線延伸。
圖6中所示的第四實施例在插入件20的墊片端子22的 寬度(即彈性變形部分420的寬度)在穿越變形方向的方向上較大時是有利的。
根據本揭露的測試探針和使用其的測試裝置具有如下效果。
第一，通過基於構成測試探針的接觸部分的多個分離接觸部分的多次接觸提高接觸可靠性。
第二，即使當接觸部分在使用多個測試探針的測試裝置中有故障或損壞時，也有可能使用替代分離接觸部分來測試，從而提高測試可靠性和耐久性。
第三，通過與多個分離接觸部分的接觸降低接觸電阻。
第四，分離變形部分易於變形，從而提高耐久性。
第五，當測試探針變形時，對用於支撐測試探針的支撐構件的影響降低，從而提高測試可靠性。
雖然本揭露通過幾個示例性實施例和圖式來描述，但本發明不限於前述示例性實施例，且本領域具有一般技術的人員應瞭解，可根據這些實施例做出各種修改和改變。
因此，本揭露的範圍必須由隨附申請專利範圍和等效物而非示例性實施例限定。
100‧‧‧測試探針
110‧‧‧第一接觸部分
110-1、110-2‧‧‧分離接觸部分
111‧‧‧第一接觸主體
112‧‧‧第一接觸頂端
113‧‧‧第一突起
114‧‧‧第二接觸主體
115‧‧‧第二接觸頂端
120‧‧‧彈性變形部分
120-1、120-2‧‧‧分離變形部分
122‧‧‧第二狹縫
130‧‧‧第二接觸部分
132‧‧‧末端

Claims (4)

  1. 一種測試探針，用於測試待測試物件的電氣特性，所述測試探針包括：第一接觸部分；第二接觸部分，可接近或遠離所述第一接觸部分移動；以及彈性變形部分，使所述第一接觸部分與所述第二接觸部分連接且通過在探針軸線方向上的壓縮而彈性地變形，其中所述第一接觸部分和所述第二接觸部分中的至少一個包括由沿縱向方向形成的第一狹縫分離的多個分離接觸部分，其中所述彈性變形部分包括由沿縱向方向形成的第二狹縫分離的多個分離變形部分，其中所述第一狹縫與所述第二狹縫連通，其中所述第一接觸部分和所述第二接觸部分中的至少一個包括接觸主體、接觸頂端以及突起，所述接觸主體沿所述探針軸線線性延伸，所述接觸頂端形成在所述接觸主體的末端處，所述突起在與所述接觸主體的縱向方向交叉的方向上突出。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的測試探針，其中所述多個分離接觸部分包括在所述探針軸線方向上或在穿越所述探針軸線的方向上待接合的接合部分。
  3. 如申請專利範圍第1項所述的測試探針，其中所述多個分離變形部分中的至少一個由沿縱向方向形成的第三狹縫分離。
  4. 一種測試裝置，用於測試待測試物件的電氣特性，所述測試裝置包括：第一支撐構件，包括多個端子孔； 第二支撐構件，包括多個導孔並且與所述第一支撐構件間隔開且平行佈置；以及多個測試探針，包括插入並支撐在所述端子孔中的第一接觸部分，插入在所述導孔中且可接近和遠離所述第一接觸部分移動的第二接觸部分，以及使所述第一接觸部分與所述第二接觸部分連接且在探針軸線方向上受壓縮而彈性地變形的彈性變形部分，其中所述第一接觸部分和所述第二接觸部分中的至少一個包括由沿縱向方向形成的第一狹縫分離的多個分離接觸部分，其中所述彈性變形部分包括由沿縱向方向形成的第二狹縫分離的多個分離變形部分，其中所述第一狹縫與所述第二狹縫連通，其中所述第一接觸部分和所述第二接觸部分中的至少一個包括接觸主體、接觸頂端以及突起，所述接觸主體沿所述探針軸線線性延伸，所述接觸頂端形成在所述接觸主體的末端處，所述突起在與所述接觸主體的縱向方向交叉的方向上突出。
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