TWI684824B - 金屬遮罩清潔裝置及金屬遮罩清潔方法 - Google Patents
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Abstract
本創作係一種金屬遮罩清潔裝置，其係用以設於承載台上方並連接驅動機構，驅動機構能帶動金屬遮罩清潔裝置進行三維方向移動，金屬遮罩清潔裝置包含基座及設於基座上之研磨機構，金屬遮罩清潔方法係利用影像辨視手段偵測該金屬遮罩表面附著之異物位置並傳輸至控制裝置，透過控制裝置依據異物位置資料使驅動機構帶動金屬遮罩清潔裝置移動至金屬遮罩表面附著異物處，並驅動該研磨機構研磨去除金屬遮罩表面附著異物，金屬遮罩清潔裝置主要係透過以研磨的方式清除金屬遮罩表面之異物，不但能有效避免金屬遮罩受損之問題，同時亦能藉此提高金屬遮罩之重覆使用率。
Description
本創作係一種金屬遮罩清潔裝置及金屬遮罩清潔方法，尤指用以清潔有機發光二極體面板蒸鍍製程等所使用之金屬遮罩的金屬遮罩清潔裝置及金屬遮罩清潔方法。
隨著科技的發展，有機發光二極體(OLED)面板的技術日漸成熟，而為具有競爭力的發光及顯示技術。目前有機發光二極體(OLED)主要的量產方法係藉由真空蒸鍍技術方式，將有機材料在高度真空的條件下，以加熱昇華的方式搭配金屬遮罩控制其圖案，使氣化的有機材料均勻地沉積在基板上。
惟所述金屬遮罩在長時間的使用下，所述金屬遮罩的表面易附著有異物，而會影響有機發光二極體面板之蒸鍍品質，故為了確保有機發光二極體(OLED)真空蒸鍍製程的品質，金屬遮罩必須定期或依實際使用需求，進行金屬遮罩表面之清潔作業。
現今在金屬遮罩表面之清潔作業中，其主要係透過影像辨視手段偵測金屬遮罩表面之異物位置，再使用雷射去除金屬遮罩表面附著的異物。然而，由於附著於金屬遮罩表面之異物的種類以及大小皆有所不同，而雷射投射出有效光束面積有限，當在操作雷射進行清除的過程，必須精準對位才能準確地去除金屬遮罩表面的異物，且在使用雷射清除異物的過程中，雷射光束容易傷及所述金屬遮罩的表面，使得金屬遮罩受損而影響後續製程作業。
本創作之主要目的在於提供一金屬遮罩清潔裝置及金屬遮罩清潔方法，希藉此改善現今清潔金屬遮罩表面異物的方式有操作不易，以及容易使金屬遮罩受損之問題。
為達成前揭目的，本創作之金屬遮罩清潔裝置係用以設置於一承載台上方並連接一驅動機構，所述驅動機構能帶動該金屬遮罩清潔裝置進行三維方向移動，該金屬遮罩清潔裝置包含： 一基座，其包含一座體及一固定組件，該座體包含一卡帶裝設部及一導帶部，該導帶部係位於該卡帶裝設部的下方，該固定組件係設置於該座體之卡帶裝設部，並與該座體之卡帶裝設部之間形成一裝設區；以及 一研磨機構，其係設置於該座體上，該研磨機構包含： 一研磨頭，其係設置於該座體之導帶部並凸伸出該座體的底部； 一卡帶驅動組件，其包含一捲帶馬達、一張力馬達、一捲帶凸軸、一張力凸軸以及複數導帶軸桿，該捲帶馬達及該張力馬達係間隔地設置於該卡帶裝設部處，該捲帶凸軸係連接受控於該捲帶馬達並伸入該裝設區，該張力凸軸係連接受控於該張力馬達並伸入該裝設區，該複數導帶軸桿係樞設於該座體之導帶部，該研磨卡帶組係設置於該座體之卡帶裝設部；以及 一研磨卡帶組，其包含一外殼、二間隔設置之捲帶輪及一研磨帶，該二捲帶輪係可轉動地設置於該外殼內，且該捲帶凸軸與該張力凸軸係分別伸入該二捲帶輪，該研磨帶係繞過該複數導帶軸桿及該研磨頭的底部，且該研磨帶的二端部係伸入該外殼內並分別捲繞於該二捲帶輪上。
另為達成前揭目的，本創作提供一種金屬遮罩清潔方法，其係使用前述之金屬遮罩清潔裝置來執行，該金屬遮罩清潔方法包含： 將待清潔之一金屬遮罩置放定位於所述承載台上； 利用影像辨視手段偵測該金屬遮罩表面附著之異物位置，並將每一異物位置資料傳輸至一控制裝置； 由該控制裝置依據每一所述異物位置資料執行以下步驟： 控制該驅動機構驅動該金屬遮罩清潔裝置移動至該金屬遮罩表面附著異物的位置上方，以及驅動該金屬遮罩清潔裝置向下移動；以及 驅動該研磨機構研磨去除金屬遮罩表面附著異物，至該金屬遮罩表面附著之異物被研磨去除後，控制該驅動機構驅動該金屬遮罩清潔裝置上升。
本創作金屬遮罩清潔裝置主要係用以進行有機發光二極體面板製程中所使用之金屬遮罩的表面異物清除作業，並具有下列優點： 1. 能避免金屬遮罩在清潔作業時受損：如前述，本創作金屬遮罩清潔裝置主要係採用研磨的方式進行金屬遮罩表面之異物清除，使所述研磨機構能僅針對金屬遮罩表面之異物進行研磨，能有效避免金屬遮罩受損之問題。 2. 能確實清除金屬遮罩表面之異物，提高金屬遮罩之重覆使用率：本創作金屬遮罩清潔裝置能透過所述研磨頭抵住該研磨帶，使該研磨帶接觸待清潔之金屬遮罩的表面，並藉由所述研磨機構之捲收馬達及張力馬達能帶動該研磨卡帶組之捲帶輪捲動，使所述研磨帶相對該研磨頭移動，藉此使所述研磨帶能對所述金屬遮罩表面進行小面積的研磨，以清除所述金屬遮罩表面之異物，同時提高金屬遮罩之重覆使用率。
請參閱圖1至圖4，為本創作金屬遮罩清潔裝置之一種較佳實施例，其係用以設置於一承載台30上方並連接一驅動機構40，所述驅動機構40能帶動該金屬遮罩清潔裝置進行三維方向移動，該金屬遮罩清潔裝置包含一基座10及一研磨機構20。
如圖1、圖4所示，該基座10包含一座體11及一固定組件12，該座體11包含一卡帶裝設部13及一導帶部14，該導帶部14係位於該卡帶裝設部13的下方，該固定組件12係設置於該座體11之卡帶裝設部13，並與該座體11之卡帶裝設部13之間形成一裝設區。
如圖1至圖4所示，該研磨機構20係設置於該座體11上，該研磨機構20包含一研磨頭21、一卡帶驅動組件22以及一研磨卡帶組23，該研磨頭21係設置於該座體11之導帶部14並凸伸出該座體11的底部，該卡帶驅動組件22包含一捲帶馬達221、一張力馬達222、一捲帶凸軸223、一張力凸軸224以及複數導帶軸桿225，該捲帶馬達221及該張力馬達222係間隔地設置於該卡帶裝設部13處，該捲帶凸軸223係連接受控於該捲帶馬達221並伸入該裝設區，該張力凸軸224係連接受控於該張力馬達222並伸入該裝設區，該複數導帶軸桿225係樞設於該座體11之導帶部14，該研磨卡帶組23係設置於該座體11之卡帶裝設部13，該研磨卡帶組23包含一外殼231、二間隔設置之捲帶輪232及一研磨帶233，該二捲帶輪232係可轉動地設置於該外殼231內，且該捲帶凸軸223與該張力凸軸224係分別伸入該二捲帶輪232，該研磨帶233係繞過該複數導帶軸桿225及該研磨頭21的底部，且該研磨帶233的二端部係伸入該外殼231內並分別捲繞於該二捲帶輪232上。
其中，該固定組件12包含一固定鎖片121及一固定匣122，該固定鎖片121係設置於該座體11之卡帶裝設部13的一側邊，且該固定匣122係樞設於該卡帶裝設部13相對於該固定鎖片121之另一側邊，該固定匣122能扣合於該固定鎖片121，並與該固定鎖片121及所述卡帶裝設部13圈圍形成所述裝設區，此外，該研磨頭21的二側分別形成一限位槽211，所述研磨帶233係伸入該二限位槽211內。
如圖5至圖6所示，本創作提供一種金屬遮罩清潔方法，其係使用前述之金屬遮罩清潔裝置來執行，該金屬遮罩50清潔方法包括： 將待清潔之一金屬遮罩50置放定位於所述承載台30上； 由該控制裝置依據每一所述異物位置資料執行以下步驟： 控制該驅動機構40驅動該金屬遮罩清潔裝置移動至該金屬遮罩50表面附著異物的位置上方，以及驅動該金屬遮罩清潔裝置向下移動；以及 驅動該研磨機構20研磨去除金屬遮罩50表面附著異物，至該金屬遮罩50表面附著之異物被研磨去除後，控制該驅動機構40驅動該金屬遮罩清潔裝置上升。
於本創作金屬遮罩清潔方法之實施例中，該研磨機構20研磨去除金屬遮罩50表面附著異物之步驟中，該卡帶驅動組件22之捲帶馬達221係以順向捲收順向轉動捲收該研磨帶223，以及該張力馬達222順向轉動釋放該研磨帶223方式執行。
如圖6所示，該控制裝置控制該驅動機構40使該金屬遮罩清潔裝置向下移動時，該金屬遮罩清潔裝置之研磨頭21抵住位於其底部之研磨帶233，使該研磨帶233接觸並研磨該金屬遮罩50表面附著之異物。
其中，如圖2所示，所述研磨帶233係繞過該研磨頭21並伸入該研磨頭21二側之限位槽211內，能使所述金屬遮罩清潔裝置在進行金屬遮罩50之表面異物的研磨過程中，有效定位所述研磨帶233，可避免所述研磨帶233脫離該研磨頭21，且該捲帶馬達221與該張力馬達222在研磨作業中係帶動該二捲帶輪232分別順向捲收及順向釋放，能避免所述研磨帶233上接觸並研磨過的部分重覆使用，能有效提高研磨品質。
如圖2至圖4所示，當作業人員在替換所述研磨卡帶組23時，作業人員能開啟該固定組件12之固定匣122，使該固定匣122脫離該固定鎖片121，接著即可取出所述研磨卡帶組23，並將新的研磨卡帶組23的研磨帶233拉出並繞過該複數導帶軸桿225及該研磨頭21後，將所述研磨卡帶組23設置於該基座10之裝設區中，使該捲帶凸軸223與該張力凸軸224分別伸入該研磨卡帶組23之該二捲帶輪232中，最後，作業人員能透過將該固定匣122扣合於該固定鎖片121，即可完成研磨卡帶組23之替換。
綜上所述，本創作金屬遮罩清潔裝置及金屬遮罩清潔方法主要係透過驅動該研磨卡帶組23之研磨帶233相對該研磨頭21移動，並藉由該研磨頭21抵住該研磨帶233，使該研磨帶233以研磨的方式清除金屬遮罩表面之異物，不但能有效避免金屬遮罩受損之問題，同時亦能藉此提高金屬遮罩之重覆使用率。
10 基座 11 座體 12 固定組件 121 固定鎖片 122 固定匣 13 卡帶裝設部 14導帶部 20 研磨機構 21 研磨頭 211 限位槽 22 卡帶驅動組件 221 捲帶馬達 222 張力馬達 223 捲帶凸軸 224 張力凸軸 225 導帶軸桿 23 研磨卡帶組 231 外殼 232 捲帶輪 233 研磨帶 30 承載台 40 驅動機構 50 金屬遮罩
圖1：為本創作金屬遮罩清潔裝置設於承載台上方並連接驅動機構之前視平面示意圖。 圖2：為本創作金屬遮罩清潔裝置之一種較佳實施例之前視平面示意圖。 圖3：為本創作金屬遮罩清潔裝置之固定組件開啟狀態之示意圖。 圖4：為圖3取下研磨卡帶組之示意圖。 圖5：為金屬遮罩放置於承載台上之前視平面示意圖。 圖6：為本創作金屬遮罩清潔裝置進行研磨作業時之示意圖。
10 基座 11 座體 12 固定組件 121 固定鎖片 122 固定匣 13 卡帶裝設部 14導帶部 20 研磨機構 21 研磨頭 211 限位槽 223 捲帶凸軸 224 張力凸軸 225 導帶軸桿 23 研磨卡帶組 231 外殼 232 捲帶輪 233 研磨帶 30 承載台 40 驅動機構
Claims (5)
- 一種金屬遮罩清潔裝置，其係用以設置於一承載台上方並連接一驅動機構，所述驅動機構能帶動該金屬遮罩清潔裝置進行三維方向移動，該金屬遮罩清潔裝置包含：一基座，其包含一座體及一固定組件，該座體包含一卡帶裝設部及一導帶部，該導帶部係位於該卡帶裝設部的下方，該固定組件係設置於該座體之卡帶裝設部，並與該座體之卡帶裝設部之間形成一裝設區；以及一研磨機構，其係設置於該座體上，該研磨機構包含：一研磨頭，其係設置於該座體之導帶部並凸伸出該座體的底部；一卡帶驅動組件，其包含一捲帶馬達、一張力馬達、一捲帶凸軸、一張力凸軸以及複數導帶軸桿，該捲帶馬達及該張力馬達係間隔地設置於該卡帶裝設部處，該捲帶凸軸係連接受控於該捲帶馬達並伸入該裝設區，該張力凸軸係連接受控於該張力馬達並伸入該裝設區，該複數導帶軸桿係樞設於該座體之導帶部，該研磨卡帶組係設置於該座體之卡帶裝設部；以及一研磨卡帶組，其包含一外殼、二間隔設置之捲帶輪及一研磨帶，該二捲帶輪係可轉動地設置於該外殼內，且該捲帶凸軸與該張力凸軸係分別伸入該二捲帶輪，該研磨帶係繞過該複數導帶軸桿及該研磨頭的底部，且該研磨帶的二端部係伸入該外殼內並分別捲繞於該二捲帶輪上。
- 如請求項1所述之金屬遮罩清潔裝置，其中該固定組件包含一固定鎖片及一固定匣，該固定鎖片係設置於該座體之卡帶裝設部的一側邊，且該固定匣係樞設於該卡帶裝設部相對於該固定鎖片之另一側邊，該固定匣能扣合於該固定鎖片，並與該固定鎖片及所述卡帶裝設部圈圍形成所述裝設區。
- 如請求項1或2所述之金屬遮罩清潔裝置，其中該研磨頭的二側分別形成一限位槽，所述研磨帶係伸入該二限位槽內。
- 一種金屬遮罩清潔方法，其係使用如請求項1至3中任一項所述之金屬遮罩清潔裝置來執行，該金屬遮罩清潔方法包含：將待清潔之一金屬遮罩置放定位於所述承載台上；利用影像辨視手段偵測該金屬遮罩表面附著之異物位置，並將每一異物位置資料傳輸至一控制裝置；由該控制裝置依據每一所述異物位置資料執行以下步驟：控制該驅動機構驅動該金屬遮罩清潔裝置移動至該金屬遮罩表面附著異物的位置上方，以及驅動該金屬遮罩清潔裝置向下移動，使該金屬遮罩清潔裝置之研磨頭抵住位於其底部之研磨帶，使該研磨帶接觸該金屬遮罩表面附著之異物；以及驅動該研磨機構研磨去除金屬遮罩表面附著異物，至該金屬遮罩表面附著之異物被研磨去除後，控制該驅動機構驅動該金屬遮罩清潔裝置上升。
- 如請求項4所述之金屬遮罩清潔方法，其中該研磨機構研磨去除金屬遮罩表面附著異物之步驟中，該卡帶驅動組件之捲帶馬達係以順向捲收順向轉動捲收該研磨帶，以及該張力馬達順向轉動釋放該研磨帶方式執行。
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