TWI682196B - 安裝高洛匈（rochon）偏光鏡之設備及方法 - Google Patents

Abstract

將例如具有至少2.5之一高度對寬度或深度比率之一細長矩形洛匈偏光鏡牢固地固持在一非黏性安裝組件中。該安裝組件包含按壓該洛匈偏光鏡抵靠對應參考點以將該洛匈偏光鏡恰當地對準在該安裝組件內之複數個壓縮元件。此外，該洛匈偏光鏡與該安裝組件之側壁之間的氣隙經提供以最少化該安裝組件與該洛匈偏光鏡之間的熱傳導且提供熱對流來冷卻該洛匈偏光鏡，藉此降低該洛匈偏光鏡由於熱效應而發生毀壞性剝離之風險。

Description

安裝高洛匈(ROCHON)偏光鏡之設備及方法

一洛匈偏光鏡係接收一單個光束且產生兩個單獨射線之一常見光學裝置，該兩個單獨射線中之一者自原始光束路徑偏斜且另一者未自原始光束路徑偏斜。圖1圖解說明具有一大致立方形狀因子(例如，長度、寬度及高度尺寸係大致相等的)之一習用洛匈偏光鏡10。一洛匈偏光鏡(諸如洛匈偏光鏡10)由接合在一起以進行光學接觸之兩個雙折射晶體稜鏡12及14(諸如方解石或其他適當材料)製成。如圖1中所圖解說明，一洛匈偏光鏡接收一傳入光束16，傳入光束16包含尋常射線及異常射線。尋常射線及異常射線穿過第一稜鏡12係共線的。異常射線16在兩個稜鏡12與14之間的介面處折射，從而導致異常射線自原始光束路徑偏斜。然而，尋常射線18在兩個稜鏡12與14之間的介面處不經歷折射率之一改變且在不偏斜之情況下穿過第二稜鏡14。

一洛匈偏光鏡具有諸多應用，包含在光學度量裝置中使用。一洛匈偏光鏡可在光學度量裝置(舉例而言)中使用，以將關於待量測之一光柵或類似結構之光偏光定向。在其中需要量測臨界尺寸之一半導體結構上，法線入射處之反射率隨偏光方向而改變。該洛匈偏光鏡之每一旋轉角度建立 該結構之一虛擬剖面。藉由使該洛匈偏光鏡旋轉至不同角度而建立之多個剖面可允許以虛擬方式重建且分析該結構。在諸如光學度量之應用中，必須以一穩定方式精確地定位且固持該洛匈偏光鏡。為滿足剛性夾持要求，習用地使用黏合劑將一洛匈偏光鏡安裝於一金屬外殼中。舉例而言，圖2A、圖2B及圖2C圖解說明習用地使用黏合劑安裝至一金屬外殼20之立方洛匈偏光鏡10之一等角視圖、俯視圖及剖視圖。如所圖解說明，金屬外殼20環繞洛匈偏光鏡10且向上延伸以覆蓋洛匈偏光鏡10之底部半體(亦即，高度之50%)。在洛匈偏光鏡10之若干側面處在金屬外殼20中之凹部24中施加一黏合劑22且黏合劑22在金屬外殼20與洛匈偏光鏡10之間流動從而將兩者接合在一起。

將例如具有至少2.5之一高度對寬度或深度比率之一細長矩形洛匈偏光鏡牢固地固持在一非黏性安裝組件中。該安裝組件包含按壓該洛匈偏光鏡抵靠對應參考點以將該洛匈偏光鏡恰當地對準在該安裝組件內之複數個壓縮元件。此外，該洛匈偏光鏡與該安裝組件之側壁之間的氣隙經提供以最少化該安裝組件與該洛匈偏光鏡之間的熱傳導且提供熱對流來冷卻該洛匈偏光鏡，藉此降低該洛匈偏光鏡由於熱效應而發生毀壞性剝離之風險。

在一項實施方案中，一種設備包含：一洛匈偏光鏡，其具有與穿過該洛匈偏光鏡之一未偏斜中心射線平行之一高度尺寸，該高度尺寸比一寬度尺寸或深度尺寸大至少2.5倍；一安裝組件，其固持該洛匈偏光鏡使得穿過該洛匈偏光鏡之該未偏斜中心射線及若干偏斜射線不受阻礙，該安裝組件包括：複數個側壁，其沿著該洛匈偏光鏡之該高度尺寸延伸；在一第一側壁上之一第一組參考點，其接觸該洛匈偏光鏡之一第一側；在一第二 側壁上之一第二組參考點，其接觸該洛匈偏光鏡之一第二側；在一底座上之一第三組參考點，其接觸該洛匈偏光鏡之一第一端；一第一組壓縮元件，其接觸該洛匈偏光鏡之與該洛匈偏光鏡之該第一側相對之一第三側且按壓該洛匈偏光鏡抵靠該第一組參考點；一第二組壓縮元件，其接觸該洛匈偏光鏡之與該洛匈偏光鏡之該第二側相對之一第四側且按壓該洛匈偏光鏡抵靠該第二組參考點。

在一項實施方案中，一種設備包含：一洛匈偏光鏡，其具有與穿過該洛匈偏光鏡之一未偏斜中心射線平行之一高度尺寸，該高度尺寸比一寬度尺寸或深度尺寸大至少2.5倍；一安裝組件，其固持該洛匈偏光鏡，其中穿過該洛匈偏光鏡之該未偏斜中心射線及若干偏斜射線不受該安裝組件阻礙，該安裝組件包括：複數個側壁，其沿著該洛匈偏光鏡之該高度尺寸延伸；一底座，其耦合至該等側壁，該底座覆蓋該洛匈偏光鏡之一第一端之一部分；複數個墊，其在該等側壁中之至少兩個側壁及該底座上，該複數個墊接觸該洛匈偏光鏡之至少一第一側及一第二側以及該第一端；複數個壓縮元件，其在該等側壁中之至少兩個側壁上，該複數個壓縮元件接觸該洛匈偏光鏡之至少一第三側及一第四側，其中每一壓縮元件按壓該洛匈偏光鏡抵靠一對應墊以將該洛匈偏光鏡固持在該安裝組件中；其中該複數個墊及該複數個壓縮元件固持該洛匈偏光鏡使得該至少兩個側壁與該洛匈偏光鏡之間及該底座與該洛匈偏光鏡之間存在氣隙。

在一項實施方案中，一種安裝一洛匈偏光鏡之方法，該洛匈偏光鏡具有比一寬度尺寸或深度尺寸大至少2.5倍之一高度尺寸，該方法包含：將該洛匈偏光鏡定位為抵靠一安裝組件之一第一側壁上之一第一組參考點、抵靠該安裝組件之一第二側壁上之一第二組參考點且抵靠該安裝組件 之一底座上之一第三組參考點；及用該安裝組件之一第一組壓縮元件按壓該洛匈偏光鏡抵靠該第一組參考點且用該安裝組件之一第二組壓縮元件按壓該洛匈偏光鏡抵靠該第二組參考點，其中該第一組壓縮元件及該第二組壓縮元件在該洛匈偏光鏡與該安裝組件之間提供氣隙。

10‧‧‧洛匈偏光鏡/立方洛匈偏光鏡

12‧‧‧雙折射晶體稜鏡/第一稜鏡/稜鏡

14‧‧‧雙折射晶體稜鏡/第二稜鏡/稜鏡

16‧‧‧傳入光束/異常射線

18‧‧‧尋常射線

20‧‧‧金屬外殼

22‧‧‧黏合劑

24‧‧‧凹部

100‧‧‧矩形洛匈偏光鏡/洛匈偏光鏡/高洛匈偏光鏡

102‧‧‧雙折射晶體稜鏡/稜鏡

104‧‧‧雙折射晶體稜鏡/稜鏡

106‧‧‧未偏斜中心射線

108‧‧‧偏斜射線

110‧‧‧幾乎正方形端/遠端

112‧‧‧幾乎正方形端/遠端

120‧‧‧安裝組件

122‧‧‧金屬外殼

124‧‧‧黏合劑

200‧‧‧非黏性安裝組件/安裝組件

201‧‧‧非黏性安裝組件/安裝組件

202‧‧‧側壁

203‧‧‧側壁

204‧‧‧側壁

205‧‧‧側壁

206‧‧‧底座

207‧‧‧孔隙

208‧‧‧蓋

209‧‧‧孔隙

212‧‧‧板

213‧‧‧機械對準銷

214‧‧‧板

215‧‧‧板

216‧‧‧螺絲/安裝螺絲

218‧‧‧螺絲/安裝螺絲

219‧‧‧裝設螺絲

220‧‧‧參考點/墊/凸起墊

220A‧‧‧參考點/墊

220B‧‧‧參考點/墊

220C‧‧‧參考點/墊

220D‧‧‧參考點/墊

220E‧‧‧參考點/墊

220F‧‧‧參考點/墊

221A‧‧‧箭頭/靜態力

230‧‧‧壓縮元件

230A‧‧‧壓縮元件

230B‧‧‧壓縮元件

230C‧‧‧壓縮元件

230D1‧‧‧壓縮元件

230D2‧‧‧壓縮元件

230E‧‧‧壓縮元件

230F‧‧‧壓縮元件

231A‧‧‧箭頭/靜態力

232‧‧‧按鈕

234‧‧‧線圈彈簧/彈簧/異形彈簧/螺旋彈簧

236‧‧‧頭部部分

238‧‧‧底座

260‧‧‧擴孔

280‧‧‧氣隙

282‧‧‧氣體流動

301‧‧‧底座固定裝置

302‧‧‧側壁

303‧‧‧側壁

320‧‧‧墊

330‧‧‧壓縮元件

332‧‧‧板片彈簧

400‧‧‧籠架

402‧‧‧底部突片

406‧‧‧底座

407‧‧‧安裝螺絲

408‧‧‧套筒

430‧‧‧壓縮元件

432‧‧‧內部板片彈簧/板片彈簧

434‧‧‧波狀彈簧

500‧‧‧光譜反射計

502‧‧‧光源

504‧‧‧分束器

506‧‧‧光學軸線

508‧‧‧調平組件

510‧‧‧旋轉軸承

512‧‧‧旋轉馬達

514‧‧‧旋轉編碼器

516‧‧‧物鏡

518‧‧‧樣本

520‧‧‧偵測器

A‧‧‧主要基準/基準

B‧‧‧主要基準/基準

C‧‧‧主要基準/基準

D‧‧‧深度

W‧‧‧寬度

圖1圖解說明具有一大致立方形狀因子(例如，長度、寬度及高度尺寸係大致相等的)之一習用洛匈偏光鏡。

圖2A、圖2B及圖2C圖解說明使用黏合劑安裝至一金屬外殼之立方洛匈偏光鏡之一等角視圖、俯視圖及剖視圖。

圖3及圖4分別圖解說明已設計有一細長矩形形狀之一高洛匈偏光鏡之一側視圖及一透視圖。

圖5圖解說明以黏合方式安裝於一安裝組件中之高洛匈偏光鏡之一剖面圖。

圖6圖解說明用於高洛匈偏光鏡之一非黏性安裝組件之一剖面圖。

圖7A、圖7B及圖7C分別圖解說明藉助參考點及對置壓縮元件在三個維度上機械地經固持之一洛匈偏光鏡之一側視圖、前視圖及俯視圖。

圖8係用於洛匈偏光鏡之非黏性安裝組件之一分解圖解說明。

圖9圖解說明來自圖8之安裝組件之一底座固定裝置之一透視圖。

圖10圖解說明在一第一板安裝至底座固定裝置之情況下安裝組件之一透視圖。

圖11圖解說明可用於安裝組件中之一壓縮元件之一實例之一特寫剖面圖。

圖12圖解說明在一第二板安裝至底座固定裝置之情況下安裝組件之 一透視圖。

圖13圖解說明在一蓋安裝至底座固定裝置之情況下安裝組件之一透視圖。

圖14及圖15分別圖解說明來自圖6之安裝組件之俯視及側視剖面圖，從而圖解說明安裝組件之側壁與洛匈偏光鏡之間的氣隙。

圖16圖解說明可用於安裝組件中之壓縮元件之另一實施例之一透視圖。

圖17圖解說明可用於安裝組件中之壓縮元件之另一實施例之一剖面圖。

圖18圖解說明在一光學度量裝置中之一非黏性安裝組件中之一高洛匈偏光鏡。

相關申請案交叉參考

本申請案依據35 USC 119主張2017年3月7日提出申請之標題為「NON-ADHESIVE MOUNTING ASSEMBLY FOR A TALL ROCHON POLARIZER IN SEMICONDUCTOR METROLOGY」之第62/468,312號美國臨時申請案之優先權，該美國臨時申請案以其全文引用方式併入本文中。

一洛匈偏光鏡之特殊設計可在稜鏡大小及形狀以及材料兩個方面經定製，以控制洛匈偏光鏡之各種光學性質，諸如偏斜角。不管特殊設計，洛匈偏光鏡必須牢固地安裝於一組件中以穩定地定位在(例如)一光學度量裝置內。然而，洛匈偏光鏡之特定設計使偏光鏡對(例如)溫度及壓力敏感，從而使習用安裝組件不適合用於固持偏光鏡。因此，對於一洛匈偏光 鏡之某些設計，一安裝組件應牢固地固持該偏光鏡同時保護偏光鏡免受不合意熱或壓力效應影響。

圖3及圖4圖解說明已設計有一非常細長矩形形狀之一洛匈偏光鏡100。洛匈偏光鏡100之基本操作與圖1中所圖解說明之立方洛匈偏光鏡10類似，但細長矩形形狀提供不同於立方形狀之光學參數，此對於特定光學使用可係合意的。洛匈偏光鏡100包含以光學接觸形式經接合之兩個雙折射晶體稜鏡102及104。雙折射晶體稜鏡102及104可係(例如)方解石、氟化鎂、BBO(BaB₂O₄)、四硼酸鋰(Li₂B₄O₇)或其他適當材料，且可(例如)使用依賴於凡得瓦(van der Waal)力將稜鏡102及104固持在一起之一UV固化黏合劑或「光學接觸接合」經接合在一起。洛匈偏光鏡100之非常細長矩形形狀具有與未偏斜中心射線106平行且比其寬度W尺寸或深度D尺寸大至少2.5倍之一高度H尺寸。舉例而言，高度H可係29.5mm，寬度W可係11mm，且深度D可係10mm，儘管可使用其他尺寸。矩形洛匈偏光鏡100之尺寸可經表達為大致2.5：1或更大(諸如大致3：1)之一比率。洛匈偏光鏡100由於其細長矩形形狀之尺寸之比率而可在本文中稱為「高」的。

如圖3中所圖解說明，光射線由洛匈偏光鏡100透過相對小的幾乎正方形端110及112接收且發射。洛匈偏光鏡100之一安裝組件必須允許光進入洛匈偏光鏡100且允許未偏斜中心射線106及偏斜射線108不受阻礙地離開洛匈偏光鏡100。另外，為避免高洛匈偏光鏡之過度振動，應在比習用地用於固持洛匈偏光鏡之長度(諸如圖2A、圖2B及圖2C中所圖解說明)大之一長度內(亦即，沿著高度尺寸)支撐偏光鏡。僅藉由高洛匈偏光鏡之底部半體(亦即，高度之50%)將該洛匈偏光鏡附接至安裝組件將允許偏光鏡之過度振動且對於使偏光鏡保持穩定將係低效的。因此，洛匈偏光鏡100 必須由安裝組件沿著其高度H尺寸之50%以上(舉例而言至少75%、90%或100%)來支撐。因此，期望部分地或完全地囊封洛匈偏光鏡100以達成一穩健且剛性安裝。

另外，在裝運期間且在操作中，諸如當安裝於光學度量裝置中時，洛匈偏光鏡通常經受移動或震動。若洛匈偏光鏡在安裝組件中滑動，則將失去所有對準且光學度量裝置將需要廣泛重校準。因此，應剛性地固持洛匈偏光鏡100使得在裝運期間之一震動或在使用期間之移動無法將偏光鏡自安裝組件移開。為以一穩健方式固持洛匈偏光鏡100，藉由實例而非限制方式，安裝組件應固持洛匈偏光鏡100使得一20g震動將不使偏光鏡移開或變更偏光鏡在安裝組件內之對準。

圖5圖解說明安裝於一安裝組件120中之高洛匈偏光鏡100之一剖面圖，安裝組件120包含支撐洛匈偏光鏡100超過偏光鏡之側面之高度之50%之金屬外殼122。安裝組件120使用一黏合劑124來將洛匈偏光鏡100固持在金屬外殼122內。因此，除由金屬外殼122支撐之洛匈偏光鏡100之額外高度以外，以與在圖2A、圖2B及圖2C中將立方洛匈偏光鏡10安裝於金屬外殼20中之方式類似之一方式將洛匈偏光鏡100安裝於金屬外殼122中。舉例而言，用於安裝組件120中之黏合劑124可係在洛匈偏光鏡100與金屬外殼122之壁之間注入或擴散之一室溫硫化聚矽氧(RTV)黏合劑。

雖然安裝組件120以一穩健方式固持洛匈偏光鏡100，但用以固持高洛匈偏光鏡100之一黏合劑之使用已由發明人判定為不可接受的，此乃因此保留方法具有數個問題。首先，熱變化可導致洛匈偏光鏡100或金屬外殼122膨脹或收縮，此可導致不必要力施加至偏光鏡。黏合劑將偏光鏡接合至金屬外殼122，金屬外殼122係一剛性且非柔性固定裝置。因此，洛 匈偏光鏡100或金屬外殼122之熱膨脹或收縮可使偏光鏡經受隨溫度而顯著增加或減小之力。此等力之一個非合意但相對不太有害效應係洛匈偏光鏡100之光學性質之一暫時改變。此等力之另一更具毀壞性效應係該等力可導致洛匈偏光鏡100之兩個稜鏡102與104剝離，例如，破壞稜鏡102與104之間的光學接觸。稜鏡102與104之分離係永久的且需要洛匈偏光鏡100之替換。由於在安裝組件120中使用黏合劑而遇到之一第二問題係：黏合劑124可在固化程序期間膨脹或收縮，此亦可對洛匈偏光鏡100施加不必要力。一第三問題係：黏合劑124在固化程序期間釋氣，且經釋放蒸汽可不利地影響稜鏡102與104之間的接合。一第四問題係：黏合劑124提供至洛匈偏光鏡100之一導熱路徑，使得環境熱可更容易地傳遞至偏光鏡，此可導致兩個稜鏡102與104剝離。一第五問題係：黏合劑124隔離洛匈偏光鏡100使得冷卻氣體無法在偏光鏡周圍循環且因此洛匈偏光鏡100可變熱且剝離。此問題因金屬外殼122及黏合劑124覆蓋高洛匈偏光鏡100之高度之大部分而加劇。

出於此處未闡述之實體原因，不可能像可接合一立方洛匈偏光鏡中之稜鏡一樣強力地接合高洛匈偏光鏡100之稜鏡102與104。因此，一立方洛匈偏光鏡可容忍之溫度或壓力之變化可導致一高洛匈偏光鏡剝離，從而使其無用。事實上，已發現，在(例如)在組裝期間用手套處置洛匈偏光鏡100時由一技術員之手產生之溫度可足以導致剝離。因此，期望用於洛匈偏光鏡之安裝組件充分地保護偏光鏡免受可在組裝期間以及在使用期間發生之熱變化影響。因此，安裝組件應產生自金屬外殼至洛匈偏光鏡之小熱傳導，同時提供自洛匈偏光鏡至環境之良好對流熱傳遞。

圖6圖解說明用於高洛匈偏光鏡100之一非黏性安裝組件200之一剖面 圖。安裝組件200包含沿著洛匈偏光鏡100之高度尺寸機械地支撐且固持洛匈偏光鏡100之複數個側壁。安裝組件200經圖解說明為包含側壁202及204以及一蓋及底座206。因此，洛匈偏光鏡100經圖解說明為完全由安裝組件200囊封，而蓋208及底座206中之孔隙准許光穿過洛匈偏光鏡100。

洛匈偏光鏡100使用在洛匈偏光鏡100之相對壁上之若干個參考點及若干個對置壓縮元件機械地安裝於安裝組件200中。舉例而言，圖7A、圖7B及圖7C圖解說明具有與壓縮元件230A、230B、230C、230D(經圖解說明為230D1及230D2)、230E及230F(有時統稱為或個別地稱為壓縮元件230)對置之參考點220A、220B、220C、220D、220E及220F(有時統稱為或個別地稱為參考點220)之洛匈偏光鏡100之一側視圖、前視圖及俯視圖。參考點220可係(例如)凸起墊，且因此有時在本文中稱為墊220。參考點220係在X、Y及Z軸線上之特徵，抵靠該等特徵而固持洛匈偏光鏡100以將洛匈偏光鏡100對準在安裝組件200內，且因此參考點220亦可稱為基準。壓縮元件230可係(例如)金屬或非金屬彈簧(諸如一螺旋或板片彈簧)或者泡沫或橡膠墊，或者機械地提供按壓洛匈偏光鏡100抵靠參考點220之一力之其他適當材料。

如所圖解說明，壓縮元件230可與對應墊220相對地定位，例如，其可安置在偏光鏡之相對側上之對置位置處。換言之，如由壓縮元件230A及對應墊220A所圖解說明，每一壓縮元件230及對應墊220可經定位以產生對洛匈偏光鏡100之共線且對置靜態力(分別由箭頭231A及221A所圖解說明)。該等力垂直於洛匈偏光鏡之平行表面中之每一者，且經對準使得該等力係共線的但在相反方向上起作用從而以最少或理想地零所施加力矩產生對洛匈偏光鏡100之力之一靜態平衡，使得很少彎曲應力引入至偏光 鏡。墊220及壓縮元件230可稀疏地分佈在洛匈偏光鏡100之表面上以遍及側壁之高度分佈施加至偏光鏡之力，例如，從而支撐且穩定化高洛匈偏光鏡以免其發生振動。若期望，則額外墊及對應壓縮元件可存在於側壁上。

如圖6中所圖解說明，墊220A、220B及220C可位於一側壁202上且墊220D可位於安裝組件200之一底座206之一表面上。壓縮元件230A、230B及230C可安裝於一側壁204上且壓縮元件230D可安裝於安裝組件200之一蓋208之一表面上。圖7A、圖7B及圖7C中所圖解說明之墊220E及220F以及壓縮元件230E及230F可位於安裝組件之其他側壁上。若期望，則墊220D可位於一蓋208之一表面上且壓縮元件230D可安裝於底座206之一表面上。因此，洛匈偏光鏡100藉由壓縮元件230沿著三個軸線X、Y及Z所施加之力機械地固持於安裝組件內。在某些實施例中，可取消墊220D及對置壓縮元件230D(其沿著Z軸線施加力)，從而依靠墊220及在X及Y軸線上施加力之壓縮元件230來將洛匈偏光鏡100完全地支撐且剛性地固持在安裝組件內。若期望，則一暫時約束系統(諸如一暫時蓋)可用於(例如)在組裝、裝運及裝設期間沿著Z軸線固持洛匈偏光鏡100。可(例如)在一最終校準程序期間自洛匈偏光鏡100移除該暫時約束系統，使得藉助在X及Y軸線上施加力之壓縮元件230固持洛匈偏光鏡100。另一選擇係，小量黏合劑可施加至底座206以沿著Z軸線固持洛匈偏光鏡100，而墊220及壓縮元件230沿著X及Y軸線機械地固持洛匈偏光鏡100。若小量黏合劑不產生對偏光鏡之剝離力，則其在底座206上之使用可係容許的。

壓縮元件230之力按壓洛匈偏光鏡100抵靠相對墊220以僅使用小量總接觸面積將洛匈偏光鏡100剛性定位在安裝組件200內。由安裝組件200及洛匈偏光鏡100提供一氣隙，該氣隙准許空氣在安裝組件200內之洛匈偏 光鏡100周圍循環以在組裝及使用期間使得熱對流能夠冷卻偏光鏡。另外，藉助僅小量接觸面積之使用，存在極少熱傳導且氣隙使洛匈偏光鏡100與安裝組件200隔離。此外，藉由避免黏合劑之使用，亦隱式消除與在固化期間之黏合劑釋氣及收縮或膨脹相關聯之風險。因此，(例如)具有2.5：1或更大之一高度對寬度或深度比率之高洛匈偏光鏡100可以稜鏡由於熱效應而發生毀壞性剝離之較低風險剛性地固持於安裝組件200中。

參考點220(例如，墊)可由係不良熱導體之一或多種材料(諸如聚醚醚酮(PEEK)、聚醚醯亞胺(Ultem®)、尼龍或其他聚合物材料)製造。墊220可使用一適當黏合劑(諸如RTV)安裝至金屬外殼之側壁及底座206，或可壓入配合至該等側壁中。應注意，由於黏合劑不與洛匈偏光鏡100接觸且在引入至洛匈偏光鏡100之前固化，因此可藉由用以將墊220安裝至側壁之黏合劑之使用消除或減少上文所論述之關於黏合劑之問題。將墊220壓入配合至側壁中之擴孔中消除可關於黏合劑之使用所呈現之任何問題。此外，墊220可經機械加工至側壁中，且因此可與側壁形成整體。墊220之大小係相對小的，例如，一1mm²至7mm²，例如，取決於洛匈偏光鏡100之大小，使得墊220不接觸偏光鏡之表面之一大面積，此減少透過墊220之熱傳遞且提供供氣體經過偏光鏡之較大量之表面積。期望墊220之大小在墊220之材料類型(例如金屬、聚合物等)之限制內係儘可能小的，而不導致對偏光鏡材料之損壞或毀壞。

壓縮元件230可係或可包含由鋼或非鋼材料(諸如胺甲酸乙酯或其他適當材料)製造之彈簧，諸如一螺旋彈簧或一板片彈簧。若期望，則壓縮元件230可並非一機械彈簧，而可係或可包含由泡沫、橡膠或其他彈性材料製造之墊，該等墊可經壓縮且產生對偏光鏡之所要量之力。舉例而言， 如圖6中所圖解說明，壓縮元件230由經按壓抵靠洛匈偏光鏡100之按鈕232與線圈彈簧234形成。按鈕232及彈簧234可固持在側壁204及蓋208中之擴孔中。類似於墊220，按鈕232可由係不良熱導體之一或多種材料(諸如聚醚醚酮(PEEK)、聚醚醯亞胺(Ultem®)、尼龍或其他聚合物材料)製成。另外，由於按鈕232係小的，因此其不接觸偏光鏡表面之一大面積，此減少透過按鈕232至洛匈偏光鏡100之熱傳遞。異形彈簧234可(例如)由可導熱之彈簧鋼製造，但由於彈簧234之直徑係小的，因此僅小量熱可傳導至按鈕232。

圖8係用於洛匈偏光鏡100之非黏性安裝組件200之一更詳細分解圖解說明，洛匈偏光鏡100經圖解說明為透明的以便展示元件之間的實體關係。如所圖解說明，安裝組件200包含一底座固定裝置201，底座固定裝置201包含：底座206；及一板212，其與底座206形成整體或剛性地固定至底座206且包含側壁202及側壁203。墊220可定位於底座固定裝置201上，亦即，側壁202及203以及底座206上。安裝組件200進一步包含具有側壁204之一板214及具有側壁205之一板215，板214及板215可使用螺絲216或類似地適當機構固定至底座固定裝置201。蓋208可使用螺絲218或適當附接機構固定至底座固定裝置201。壓縮元件230可定位於側壁204及205以及蓋208上。當組裝安裝組件200時，洛匈偏光鏡100經封圍，除了分別由底座206及蓋208中之孔隙207及209曝露之遠端110及112，孔隙207及209可相對於穿過洛匈偏光鏡100之未偏斜中心射線而定中心以允許功能性光射線(亦即，未偏斜及偏斜射線)穿過洛匈偏光鏡100。

包含底座固定裝置201以及板214及215之安裝組件200可由一剛性材料(諸如鋁、鋼、鋁矽、金屬基或一聚合物或另一適當剛性材料)製造。安 裝組件200(例如)使用螺絲216及218來組裝，且可包含一鎖緊墊圈或蝶形(Belleville)墊圈以在裝設之後將螺絲鎖定在適當位置中，藉此確保安裝組件200在操作期間將不振動鬆弛。若期望，則可使用額外或較少螺絲。此外，替代螺絲，可使用機械夾具、黏合劑或足以確保安裝組件在操作期間將不振動鬆弛之任何其他機構來組裝底座固定裝置201、板214及215以及蓋208中之一或多者。安裝組件200可使用裝設螺絲219以可移除方式安裝至一光學度量裝置之光學系統。

圖9圖解說明底座固定裝置201之一透視圖，其中洛匈偏光鏡100經圖解說明為透明的以便展示元件之間的實體關係。在組裝期間，可使用墊220作為三個主要基準(使用慣例A、B及C來定義)以將洛匈偏光鏡100恰當地對準在底座固定裝置201中來將洛匈偏光鏡100定位於底座固定裝置201中。基準A可由側壁202上之三個墊220形成，基準B可由側壁203上之兩個墊220形成，且基準C可由底座206上之一個墊220形成。三個主要基準A、B及C之使用確保高洛匈偏光鏡100相對於底座固定裝置201正確地定位，例如，使得洛匈偏光鏡之中心(或穿過洛匈偏光鏡之未偏斜中心射線)與底座206中之孔隙207之中心對準。基準A之三個墊220、基準B之兩個墊220及基準C之一個墊220之使用係有利的，此乃因其使得能夠僅使用一小接觸面積來準確地定位且剛性地固持洛匈偏光鏡，此減少熱傳導量同時促進洛匈偏光鏡100與側壁202及203之間的氣體流動。然而，若期望，則可使用額外或較少墊220來將洛匈偏光鏡100相對於底座固定裝置201定位。墊220之可容許接觸面積可由應用及所使用之材料特有之可允許熱導率判定。舉例而言，洛匈偏光鏡可具有一特定溫度(在該特定溫度下其可剝離)，且墊愈小，至偏光鏡之熱導率將愈低。至偏光鏡之所得熱傳遞係 接觸量及對空氣之對流冷卻量之一函數。其他考量因素包含維持光學器件之一相對運動約束以達成最佳穩定性，此使具有小接觸點為合意的。然而，極小接觸點導致偏光鏡中之相對高壓縮應力，此可使偏光品質降級。因此，墊之可容許接觸面積可係高度應用相依的。藉由實例而非限制方式，墊220在高洛匈偏光鏡之一側壁上之總接觸面積可介於側壁之面積之1%與5%之間。

圖10圖解說明在板214安裝至板212之情況下安裝組件200之一透視圖。板214經圖解說明為透明的以便展示元件之間的實體關係。洛匈偏光鏡100可暫時抵靠底座固定裝置201(其包含底座206及板212)經固持，而包含側壁204中之若干個壓縮元件230之板214藉助安裝螺絲216附接至底座固定裝置201。板214可使用機械對準銷213裝配至底座固定裝置201以確保側壁204上之壓縮元件230將位於側壁202上之墊220正對面。

圖11圖解說明一壓縮元件230之一實例之一特寫剖面圖，壓縮元件230包括一按鈕232及定位於側壁204中之一擴孔260內之彈簧234。如所圖解說明，按鈕232可包含一頭部部分236及一底座238且螺旋彈簧234環繞底座238並與頭部部分236及擴孔260之底部接觸。頭部部分236與洛匈偏光鏡100接觸，此將彈簧234壓縮在頭部部分236與擴孔260之底部之間，使得按鈕232抵靠在洛匈偏光鏡100之相對側上之墊220(圖11中未展示)對洛匈偏光鏡100施加可預測量之力。對墊220施加之力藉由使彈簧234之彈簧應變率(N/m)與壓縮量(m)相乘而判定。因此，藉由選擇具有一所要彈簧應變率之一彈簧234及擴孔260之深度，壓縮元件230可施加所要量之力從而以一穩健方式固持洛匈偏光鏡100，使得偏光鏡不容易地自安裝組件移出，同時阻止過度力施加至洛匈偏光鏡100(此可對偏光鏡有害)。

此外，與墊220一樣，壓縮元件230可僅具有與洛匈偏光鏡100之一小接觸面積，因此減小熱傳導量同時促進洛匈偏光鏡100與側壁204及205之間的氣體流動。此外，若期望，則可使用額外或較少壓縮元件230來對洛匈偏光鏡100施加所要壓縮力。使用數目與墊220相同之壓縮元件230且將壓縮元件230定位為與墊220相對(亦即，在相同位置處但在洛匈偏光鏡100之相對側上)可為合意的。

圖12圖解說明在板215安裝至板212及214之情況下安裝組件200之一透視圖。板215經圖解說明為透明的以便展示元件之間的實體關係。類似於上文所論述之板214之裝設，包含側壁205中之若干個壓縮元件230之板215可使用安裝螺絲216附接至板212，且可藉助機械對準銷213裝配至底座固定裝置201以確保側壁205中之壓縮元件230將位於側壁203上之墊220正對面。側壁205以與側壁204相同之原理工作，除了僅使用兩個壓縮元件230圖解說明側壁205。因此，壓縮元件230之按鈕壓縮抵靠洛匈偏光鏡100且推動在正對面的側壁203上之墊220(圖12中未展示)。可如先前所闡述而控制由側壁205中之壓縮元件230之彈簧施加之力。

圖13圖解說明在蓋208安裝至板212及215之情況下安裝組件200之一透視圖。蓋208經圖解說明為透明的以便展示元件之間的實體關係。類似於板214及215之裝設，壓縮元件230可定位於蓋208中之擴孔內且蓋208放置在底座固定裝置201之遠端上。機械對準銷213可用於定位蓋208使得蓋208中之孔隙209定中心在洛匈偏光鏡100之未偏斜中心射線上。因此，蓋208中之孔隙209(以及底座固定裝置201中之孔隙207，其未在圖13中經展示)不阻礙洛匈偏光鏡100之未偏斜中心射線或偏斜射線。安裝螺絲218將蓋208固定至底座固定裝置201。底座206上之墊220與蓋208中之壓縮元 件230之按鈕相對地與洛匈偏光鏡100進行接觸，藉此完成洛匈偏光鏡100之經約束封圍。可如先前所闡述而控制由蓋208中之壓縮元件230之彈簧施加之力。

每一壓縮元件230可經選擇以以所要量之力按壓洛匈偏光鏡100抵靠一對應墊220。施加至偏光鏡之力必需係輕的以避免破壞偏光鏡中之稜鏡之接合，但需要係充足的以將偏光鏡穩健地固持在安裝組件中。藉由實例方式，壓縮元件可施加1牛頓或更少之一力。藉助由壓縮元件230施加之此一力，安裝組件200可在不使洛匈偏光鏡100移開之情況下耐受一20g震動。

圖14及圖15分別圖解說明安裝組件200之俯視及側視剖面圖，從而圖解說明安裝組件200之側壁與洛匈偏光鏡100之間的一氣隙280。如先前所圖解說明，洛匈偏光鏡100可不與安裝組件200之側壁接觸，但可僅接觸用作基準A、B及C之凸起墊220及對置壓縮元件230，從而在側壁與洛匈偏光鏡100之間產生一氣隙280。氣隙280係一不良熱傳遞介質，因此保護洛匈偏光鏡100免受(例如)因技術員之手產生之外部溫度變化(包含可在組裝期間發生之彼等外部溫度變化)影響。氣隙280亦藉由(舉例而言)允許(例如)自安裝組件200之頂部經過洛匈偏光鏡100且離開安裝組件200之底部之氣體流動(由箭頭282所圖解說明)而使得能夠發生對流。氣體流動282在其流動經過洛匈偏光鏡100時隨其攜帶所累積熱。空氣可替代地流向相反方向。使得氣流流動不同於一高偏光鏡之黏性安裝解決方案，此乃因在不具有偏光鏡之振動之情況下達成一等效穩健設計所必要之黏合劑量將抑制或阻止氣體流動。

圖16圖解說明固持洛匈偏光鏡100之壓縮元件330之另一實施例之一 透視圖。洛匈偏光鏡100經圖解說明為透明的以便展示元件之間的實體關係。如所圖解說明，替代使用按鈕及彈簧，壓縮元件330可使用板片彈簧332。板片彈簧332可安裝至包含側壁302及303之底座固定裝置301，側壁302及303亦提供墊320以用作A、B及C基準。底座固定裝置301可安裝至安裝組件之一底座或可與該底座成一整體。若期望，則額外側壁及一蓋可用於囊封洛匈偏光鏡100或可僅部分地囊封洛匈偏光鏡，如圖16中所圖解說明。使用壓縮元件330牢固地固持洛匈偏光鏡100而不觸碰洛匈偏光鏡100之壁，除了在經闡述為基準A、B及C之臨界區域中及在並置壓縮元件中。因此，提供所得安裝組件之壁與洛匈偏光鏡100之間的氣隙及隨附氣體流動。

圖17圖解說明固持洛匈偏光鏡100之壓縮元件430之另一實施例之一剖面圖。洛匈偏光鏡100經圖解說明為透明的以便展示元件之間的實體關係。如所圖解說明，洛匈偏光鏡100可封圍在一籠架400中，籠架400可由(例如)薄片金屬製造，且藉助一套筒408安裝至一底座406。壓縮元件430由籠架400之內部板片彈簧432形成，內部板片彈簧432可與籠架400成一整體、按壓洛匈偏光鏡100抵靠籠架側壁中之兩個籠架側壁。洛匈偏光鏡100因此由板片彈簧432及籠架400之兩個相對壁(其分別充當A及B基準)固持。洛匈偏光鏡100可另外由在偏光鏡之一個遠端處之一波狀彈簧434(其可係一波狀墊圈或其他適當彈簧，諸如另一整體板片彈簧)按壓抵靠用作C基準之底座406之表面(洛匈偏光鏡100安放在其上)。為了組裝，舉例而言，在將一波狀彈簧434放置在偏光鏡之頂部上之情況下可將洛匈偏光鏡100放置在底座406上。可將籠架400放置在洛匈偏光鏡100後續接著套筒408上方，套筒408沿著籠架400之外側壁向下滑動直至套筒408壓縮籠架 400之底部突片402抵靠底座406為止。可使用機械對準銷(未展示)將套筒408裝配至底座406以提供洛匈偏光鏡100與底座406之間的恰當對準。安裝螺絲407將套筒408夾緊至底座406。套筒408可壓縮籠架400抵靠洛匈偏光鏡100。

如圖17中所圖解說明，然而，壓縮元件430在籠架400與洛匈偏光鏡100之間提供氣隙以隔離且冷卻洛匈偏光鏡。如圖解說明，然而，籠架400之壁自身可係A及B基準，且因此在偏光鏡與用作A及B基準之側壁之間可不存在氣隙。然而，籠架400之薄片金屬可係薄的，例如，僅0.2mm厚，使得可透過金屬容易地傳遞熱，使得在籠架400外側周圍經過之空氣亦可冷卻偏光鏡。

一旦經完全組裝，本文中所闡述之非黏性安裝組件便提供允許洛匈偏光鏡更容易地經處置以進行裝設之一可互換組件。舉例而言，穿戴手套之技術員可在不損壞所含納之洛匈偏光鏡之情況下容易地固持安裝組件，此係重要的，此乃因偏光鏡自身由於由體熱引起剝離之風險而無法用一戴手套的手來處置。然而，透過使用壓縮元件來穩健地固持偏光鏡同時准許在偏光鏡周圍之空氣流動而減少或消除在一光學度量裝置之操作環境中環境熱及移動對洛匈偏光鏡之不利影響。

高洛匈偏光鏡100及非黏性安裝組件可(例如)在光學度量裝置中用於(例如)將關於待量測之一光柵或類似結構之光偏光定向。圖18藉由實例方式圖解說明包含一光源502(諸如一UV燈)之一光譜反射計500，光源502產生由一分束器504沿著光學軸線506部分地反射之一光束。該光束穿過固持在非黏性安裝組件200中之高洛匈偏光鏡100。安裝組件200固持在一調平組件508中，調平組件508用於調平洛匈偏光鏡100且將洛匈偏光鏡 100與光學軸線506對準。一旋轉軸承510、旋轉馬達512及旋轉編碼器514用於使洛匈偏光鏡100及安裝組件200旋轉。洛匈偏光鏡100之旋轉改變偏光方向使得可在不同偏光方向處量測樣本518。藉由物鏡516將光束聚焦在樣本518上。使光束反射離開樣本518且使經反射光透射穿過物鏡516及洛匈偏光鏡100。使經反射光之一部分透射穿過分束器504且由一偵測器520接收該經反射光之該部分，偵測器520可以光譜方式偵測經反射光。偵測器520回應於所接收光而產生信號，可分析該等信號以判定樣本518之一所要特性。

儘管出於指導性目的而結合特定實施例一起圖解說明本發明，但本發明並不限於此。可在不背離本發明之範疇之情況下作出各種變更及修改。因此，隨附申請專利範圍之精神及範疇不應限於前述說明。

100‧‧‧矩形洛匈偏光鏡/洛匈偏光鏡/高洛匈偏光鏡

110‧‧‧幾乎正方形端/遠端

112‧‧‧幾乎正方形端/遠端

201‧‧‧非黏性安裝組件/安裝組件

202‧‧‧側壁

203‧‧‧側壁

204‧‧‧側壁

205‧‧‧側壁

206‧‧‧底座

207‧‧‧孔隙

208‧‧‧蓋

209‧‧‧孔隙

212‧‧‧板

214‧‧‧板

215‧‧‧板

216‧‧‧螺絲/安裝螺絲

218‧‧‧螺絲/安裝螺絲

219‧‧‧裝設螺絲

220‧‧‧參考點/墊/凸起墊

230‧‧‧壓縮元件

Claims (33)

1. 一種設備，其包括：一洛匈偏光鏡，其具有與穿過該洛匈偏光鏡之一未偏斜中心射線平行之一高度尺寸，該高度尺寸比一寬度尺寸或深度尺寸大至少2.5倍；一安裝組件，其固持該洛匈偏光鏡使得穿過該洛匈偏光鏡之該未偏斜中心射線及若干偏斜射線不受阻礙，該安裝組件包括：複數個側壁，其沿著該洛匈偏光鏡之該高度尺寸延伸；在一第一側壁上之一第一組參考點，其接觸該洛匈偏光鏡之一第一側；在一第二側壁上之一第二組參考點，其接觸該洛匈偏光鏡之一第二側；在一底座上之一第三組參考點，其接觸該洛匈偏光鏡之一第一端；一第一組壓縮元件，其接觸該洛匈偏光鏡之與該洛匈偏光鏡之該第一側相對之一第三側且按壓該洛匈偏光鏡抵靠該第一組參考點；一第二組壓縮元件，其接觸該洛匈偏光鏡之與該洛匈偏光鏡之該第二側相對之一第四側且按壓該洛匈偏光鏡抵靠該第二組參考點。
2. 如請求項1之設備，其中：該第一組參考點係凸起超出該第一側壁從而在該第一側壁與該洛匈偏光鏡之該第一側之間提供一氣隙之墊；該第二組參考點係凸起超出該第二側壁從而在該第二側壁與該洛匈 偏光鏡之該第二側之間提供一氣隙之墊；且該第三組參考點係凸起超出該底座從而在該底座與該洛匈偏光鏡之該第一端之間提供一氣隙之墊。
3. 如請求項1之設備，其進一步包括：一第三組壓縮元件，其接觸該洛匈偏光鏡之與該洛匈偏光鏡之該第一端相對之一第二端且按壓該洛匈偏光鏡抵靠該第三組參考點。
4. 如請求項3之設備，其中：該第一組壓縮元件在該安裝組件之一第三側壁上，其中在該第三側壁與該洛匈偏光鏡之該第三側之間存在一氣隙；該第二組壓縮元件在該安裝組件之一第四側壁上，其中在該第四側壁與該洛匈偏光鏡之該第四側之間存在一氣隙；且該第三組壓縮元件在該安裝組件之安置於該洛匈偏光鏡之該第二端上方之一蓋上，其中在該蓋與該洛匈偏光鏡之該第二端之間存在一氣隙。
5. 如請求項4之設備，其中每一壓縮元件包括一按鈕及按壓該按鈕抵靠該洛匈偏光鏡之一彈簧。
6. 如請求項4之設備，其中該第一組壓縮元件包括與該第三側壁成一整體之至少一個板片彈簧，該第二組壓縮元件包括與該第四側壁成一整體之至少一個板片彈簧，且該第三組壓縮元件包括在該蓋與該洛匈偏光鏡之間的至少一個彈簧。
7. 如請求項3之設備，其中：該第一組壓縮元件在該安裝組件之該第二側壁上；該第二組壓縮元件在該安裝組件之該第一側壁上；且該第三組壓縮元件在該第一側壁及該第二側壁中之一者上。
8. 如請求項7之設備，其中每一壓縮元件包括一板片彈簧。
9. 如請求項1之設備，其中該第一組、該第二組及該第三組參考點中之每一者包括一或多個參考點；且該第一組及該第二組壓縮元件中之每一者包括一或多個壓縮元件。
10. 如請求項1之設備，其中每一壓縮元件產生對該洛匈偏光鏡之一靜態力，該靜態力與由在該洛匈偏光鏡之一相對側上之一對置參考點對該洛匈偏光鏡產生之一靜態力相反且共線。
11. 如請求項1之設備，其進一步包括在該底座上用以將該洛匈偏光鏡固持至該底座之黏合劑。
12. 如請求項1之設備，其中該設備包括一光學度量裝置。
13. 一種設備，其包括：一洛匈偏光鏡，其具有與穿過該洛匈偏光鏡之一未偏斜中心射線平 行之一高度尺寸，該高度尺寸比一寬度尺寸或深度尺寸大至少2.5倍；一安裝組件，其固持該洛匈偏光鏡，其中穿過該洛匈偏光鏡之該未偏斜中心射線及若干偏斜射線不受該安裝組件阻礙，該安裝組件包括：複數個側壁，其沿著該洛匈偏光鏡之該高度尺寸延伸；一底座，其耦合至該等側壁，該底座覆蓋該洛匈偏光鏡之一第一端之一部分；複數個墊，其在該等側壁中之至少兩個側壁及該底座上，該複數個墊接觸該洛匈偏光鏡之至少一第一側及一第二側以及該第一端；複數個壓縮元件，其在該等側壁中之至少兩個側壁上，該複數個壓縮元件接觸該洛匈偏光鏡之至少一第三側及一第四側，其中每一壓縮元件按壓該洛匈偏光鏡抵靠一對應墊以將該洛匈偏光鏡固持在該安裝組件中；其中該複數個墊及該複數個壓縮元件固持該洛匈偏光鏡，使得該至少兩個側壁與該洛匈偏光鏡之間及該底座與該洛匈偏光鏡之間存在氣隙。
14. 如請求項13之設備，其中至少一個壓縮元件與該底座上之一墊對置且按壓該洛匈偏光鏡抵靠該墊。
15. 如請求項14之設備，其進一步包括耦合至該等側壁之覆蓋該洛匈偏光鏡之一第二端之一蓋，其中與該墊對置且按壓該洛匈偏光鏡抵靠該墊之該至少一個壓縮元件在該底座上。
16. 如請求項14之設備，其中與該墊對置且按壓該洛匈偏光鏡抵靠該墊之該至少一個壓縮元件在該等側壁中之具有複數個墊之一個側壁上。
17. 如請求項13之設備，其中在一側壁上之每一墊及每一壓縮元件延伸超過其附接到的該等側壁之一表面以在該至少兩個側壁與該洛匈偏光鏡之間提供該等氣隙。
18. 如請求項13之設備，其中每一壓縮元件包括一按鈕及按壓該按鈕抵靠該洛匈偏光鏡之一壓縮彈簧。
19. 如請求項13之設備，其中每一壓縮元件包括按壓抵靠該洛匈偏光鏡之一板片彈簧。
20. 如請求項13之設備，其中該複數個壓縮元件在與該複數個墊相同之該等側壁上。
21. 如請求項13之設備，其中該複數個壓縮元件之至少一子組與該等側壁中之該至少兩個側壁成一整體。
22. 如請求項13之設備，其中每一壓縮元件產生對該洛匈偏光鏡之一靜態力，該靜態力與由在該洛匈偏光鏡之一相對側上之一對置參考點對該洛匈偏光鏡產生之一靜態力相反且共線。
23. 如請求項13之設備，其進一步包括在該底座上用以將該洛匈偏光鏡固持至該底座之黏合劑。
24. 一種安裝一洛匈偏光鏡之方法，該洛匈偏光鏡具有比一寬度尺寸或深度尺寸大至少2.5倍之一高度尺寸，該方法包括：將該洛匈偏光鏡定位為抵靠一安裝組件之一第一側壁上之一第一組參考點、抵靠該安裝組件之一第二側壁上之一第二組參考點且抵靠該安裝組件之一底座上之一第三組參考點；及用該安裝組件之一第一組壓縮元件按壓該洛匈偏光鏡抵靠該第一組參考點且用該安裝組件之一第二組壓縮元件按壓該洛匈偏光鏡抵靠該第二組參考點，其中該第一組壓縮元件及該第二組壓縮元件在該洛匈偏光鏡與該安裝組件之間提供氣隙。
25. 如請求項24之方法，其進一步包括用該安裝組件之一第三組壓縮元件按壓該洛匈偏光鏡抵靠該第三組參考點，其中該第三組壓縮元件在該安裝組件之一蓋上，且其中該安裝組件之該底座及該蓋包含孔隙，光透過該等孔隙透射穿過該洛匈偏光鏡。
26. 如請求項24之方法，其中該第一組壓縮元件在與該安裝組件之該第一側壁相對之一第三側壁上，且該第二組壓縮元件在與該安裝組件之該第二側壁相對之一第四側壁上。
27. 如請求項24之方法，其進一步包括用黏合劑將該洛匈偏光鏡接合至 該底座。
28. 如請求項24之方法，其中每一參考點係凸起的以在該洛匈偏光鏡與該安裝組件之間提供一氣隙。
29. 如請求項24之方法，其中每一壓縮元件包括一按鈕及按壓該按鈕抵靠該洛匈偏光鏡之一壓縮彈簧。
30. 如請求項24之方法，其中每一壓縮元件包括按壓抵靠該洛匈偏光鏡之一板片彈簧。
31. 如請求項24之方法，其中該第一組壓縮元件及該第二組壓縮元件在該安裝組件之該第一側壁及該安裝組件之該第二側壁上。
32. 如請求項24之方法，其中該第一組、該第二組及該第三組參考點中之每一者包括一或多個參考點；且該第一組、該第二組及該第三組壓縮元件中之每一者包括一或多個壓縮元件。
33. 如請求項24之方法，其中用該安裝組件之該第一組壓縮元件按壓該洛匈偏光鏡抵靠該第一組參考點且用該安裝組件之該第二組壓縮元件按壓該洛匈偏光鏡抵靠該第二組參考點會在該等參考點與該等對應壓縮元件之間產生係相反且共線之靜態力。

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