TWI666533B - 參數管理裝置以及電腦可讀取記錄媒體 - Google Patents

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TWI666533B
TWI666533B TW106140560A TW106140560A TWI666533B TW I666533 B TWI666533 B TW I666533B TW 106140560 A TW106140560 A TW 106140560A TW 106140560 A TW106140560 A TW 106140560A TW I666533 B TWI666533 B TW I666533B
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酒井康将
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Abstract

一種參數管理裝置，係管理產業用裝置中之作為控制之基礎之包含複數個參數的參數群。參數管理裝置係包含：登錄手段，係可供前述參數群登錄；參數編輯手段，用以變更前述參數之值；變更履歷記憶手段，用以記憶前述參數之變更履歷資訊；取得手段，用以取得已記憶於前述變更履歷記憶手段的前述參數之變更履歷資訊；顯示手段，用以顯示藉由前述取得手段所取得的複數個前述參數之變更履歷資訊；選擇輸入手段，係被操作者所操作而用以針對藉由前述顯示手段而顯示出變更履歷資訊的參數之各個參數選擇是否反映變更；確定輸入手段，係被操作者所操作而用以確定前述操作者透過前述選擇輸入手段所選出之值；以及更新登錄手段，用以將包含藉由前述確定輸入手段所確定操作之值的參數群登錄於前述登錄手段。

Description

參數管理裝置以及電腦可讀取記錄媒體
本發明係關於一種管理產業用裝置中之作為控制之基礎的參數(parameter)群的參數管理裝置、以及用以使電腦作為參數管理裝置來作動的電腦程式(computer program)。
產業用裝置之一例係用以製造半導體元件(semiconductor device)的半導體製造裝置。半導體製造裝置係以能夠可變設定用以規定各種處理條件的複數個參數之值的方式所構成。各個參數之值係藉由半導體製造裝置之使用者、維護操作員(maintenance operator)等所設定。半導體製造裝置中所備置的電腦係按照所設定的參數來控制裝置的各部，藉此執行必要的處理。
專利文獻1係已揭示一種容易再利用產業用裝置之裝置參數的參數管理裝置。操作員係可以操作輸入裝置來變更裝置參數群。當裝置參數群之變更開始時，現在的裝置參數群就會被退避至記憶部之退避區域。當裝置參數群之變更完成被檢測出時，已退避至退避區域的裝置參數群就會追加至參數履歷中，且更新參數履歷。在裝置參數群之變更完成未被檢測出時，已退避至退避區域的裝置參數群就會回寫至原來的區域作為現在的裝置參數。
又，專利文獻1的參數管理裝置係具備現在的裝置參 數群與過去的裝置參數群之比較功能。亦即，現在的裝置參數群、與從參數履歷中所取得之過去的裝置參數群進行比較，且比較結果輸出至顯示器(display)。該時，參數值不同的部分會被強調顯示，藉此，操作員可以輕易地辨識裝置參數群之異同的詳細內容。
(先前技術文獻)
(專利文獻)
專利文獻1：日本特開2008-77175號公報。
在為了獲得最佳的處理條件而調整裝置的階段上，需要變更複數個參數之值並進行試行錯誤的作業。如此的作業係在導入新的裝置、已變更裝置之構成、變更處理內容、裝置之維護等的時候執行。操作者，亦有裝置之使用者的情況，亦有從裝置之製造廠商派遣來的維護操作員的情況。
試行性地變更的複數個參數之值係依狀況而處理方法有所不同。亦即，有批次適用為較佳的情況、僅適用一部分為較佳的情況、無論是哪一個值都不適用而是回復到從前之值為較佳的情況。
但是，在專利文獻1的裝置中，並未提供可以柔軟地對應如此之各種狀況而輕易地選擇參數之適用/不適用的介面(interface)，且不一定成為使用方便性佳的構成。
於是，本發明之一目的係在於提供一種具備有可以依狀況而輕易地執行參數值變更之適用/不適用之操作的介面的參數管理裝置。
又，本發明之另一目的係在於提供一種可以使電腦作為具備有可以依狀況而輕易地執行參數值變更之適用/不適用之操作的介面的參數管理裝置的電腦程式。
本發明係提供一種管理產業用裝置中之作為控制之基礎之包含複數個參數的參數群的參數管理裝置。該參數管理裝置係包含：登錄手段，係可供前述參數群登錄；參數編輯手段，用以變更前述參數之值；變更履歷記憶手段，用以記憶前述參數之變更履歷資訊；取得手段，用以取得已記憶於前述變更履歷記憶手段的前述參數之變更履歷資訊；顯示手段，用以顯示藉由前述取得手段所取得的複數個前述參數之變更履歷資訊；選擇輸入手段，係被操作者所操作而用以針對藉由前述顯示手段而顯示出變更履歷資訊的參數之各個參數選擇是否反映變更；確定輸入手段，係被操作者所操作而用以確定前述操作者透過前述選擇輸入手段所選出之值；以及更新登錄手段，用以將包含藉由前述確定輸入手段所確定操作之值的參數群登錄於前述登錄手段。
依據該構成，複數個參數之變更履歷資訊能藉由顯示手段所顯示。針對該所顯示的複數個參數之各個參數，操作者係可以選擇是否反映變更，且可以確定該選出的值(變更前之值或變更後之值)。該確定後的值被登錄於登錄手段。 從而，操作者係可以依狀況而選擇應反映變更的參數，並予以確定。藉此，可以提供能夠依狀況而輕易地執行參數值變更之適用/不適用的介面。
在本發明之一實施形態中，前述顯示手段係將藉由前述取得手段所取得的複數個前述參數之變更履歷資訊顯示於一張畫面(亦可包含滾動(scrolling)所顯示的部分)；前述選擇輸入手段係被操作者所操作而用以針對藉由前述顯示手段而顯示出變更履歷資訊的參數之各個參數在前述一張畫面內選擇是否反映變更。依據該構成，複數個參數之變更履歷資訊能藉由顯示手段顯示於一張畫面。針對顯示於該一張畫面的複數個參數之各個參數，操作者係可以在該一張畫面內選擇是否反映變更，且可以確定該選出的值(變更前之值或變更後之值)。該確定後的值被登錄於登錄手段。從而，操作者係可以依狀況而在一張畫面上選擇應反映變更的參數，並予以確定。藉此，可以提供能夠依狀況而輕易地執行參數值變更之適用/不適用的介面。
在本發明之一實施形態中，前述選擇輸入手段係包含個別選擇手段，該個別選擇手段係供操作者針對各個參數選擇：最後所輸入的最新值與作為已登錄於前述登錄手段之值的既登錄值之中任一個所用。依據該構成，由於可以針對各個參數個別地選擇最新值及既登錄值之中任一個，所以可以針對各個參數個別地指定變更之適用/不適用。前述個別選擇手段，較佳是在前述一張畫面上被提供。
在本發明之一實施形態中，前述選擇輸入手段係包含最新值批次選擇手段，該最新值批次選擇手段係供操作者針對藉由前述顯示手段而顯示出變更履歷的全部參數批次選擇最後所輸入的最新值所用。依據該構成，在所顯示的複數個參數之變更履歷資訊中，可以批次選擇最新值。藉此，最新值的選擇操作就變得容易。例如，在針對多數個參數選擇最新值的情況下，只要在批次選擇最新值之後，依需要而針對幾個參數個別地選擇既登錄值，就可以針對各個參數迅速地選擇應適用的值。前述最新值批次選擇手段，較佳是在前述一張畫面上被提供。
在本發明之一實施形態中，前述選擇輸入手段係包含既登錄值批次選擇手段，該既登錄值批次選擇手段係供操作者針對藉由前述顯示手段而顯示出變更履歷的全部參數批次選擇作為已登錄於前述登錄手段之值的既登錄值所用。依據該構成，在所顯示的複數個參數之變更履歷資訊中，可以批次選擇既登錄值。藉此，既登錄值的選擇操作就變得容易。例如，在針對多數個參數選擇既登錄值的情況下，只要在批次選擇既登錄值之後，依需要而針對幾個參數個別地選擇最新值，就可以針對各個參數迅速地選擇應適用的值。前述既登錄值批次選擇手段，較佳是在前述一張畫面上被提供。
在本發明之一實施形態中，前述變更履歷資訊係包含值已變更後的參數之參數識別資訊，前述參數管理裝置係更包含檢索手段，該檢索手段係利用前述參數識別資訊來 排序(sorting)或抽出藉由前述顯示手段所顯示的變更履歷資訊。依據該構成，可以利用參數識別資訊(例如參數名)來排序或抽出有關所顯示的複數個參數之變更履歷資訊。藉此，即便是在所顯示的參數之數目較多時，仍可以迅速地找出目的的參數之變更履歷資訊。
在本發明之一實施形態中，前述變更履歷資訊係包含用以識別值已變更後之參數所涉及的前述產業用裝置之資源(resource)的資源識別資訊，前述參數管理裝置係更包含檢索手段，該檢索手段係利用前述資源識別資訊來排序或抽出藉由前述顯示手段所顯示的變更履歷資訊。依據該構成，可以利用資源識別資訊(例如資源名)來排序或抽出有關所顯示的複數個參數之變更履歷資訊。藉此，即便是在所顯示的參數之數目較多時，仍可以迅速地找出目的的參數之變更履歷資訊。
在本發明之一實施形態中，前述變更履歷資訊係包含用以表示各個參數之值已變更後的時刻的時刻資訊，前述參數管理裝置係更包含檢索手段，該檢索手段係利用前述時刻資訊來排序或抽出藉由前述顯示手段所顯示的變更履歷資訊。依據該構成，可以利用參數之值已變更後的時刻資訊來排序或抽出有關所顯示的複數個參數之變更履歷資訊。藉此，即便是在所顯示的參數之數目較多時，仍可以迅速地找出目的的參數之變更履歷資訊。
在本發明之一實施形態中，前述參數管理裝置係更包含：註解(comment)輸入手段，係供操作者輸入與前述變更履歷資訊賦予關聯的註解所用；以及註解記憶手段，用以記憶藉由前述註解輸入手段所輸入的註解。然後，前述顯示手段係在註解顯示區域顯示前述註解。依據該構成，能藉由顯示手段來顯示操作者之註解。例如，操作者係可以在已變更參數時，將其變更之意圖、已變更的結果等之任意的資訊事先記錄作為註解。由於操作者係可以基於該註解來判斷是否應反映變更，所以可以迅速地選擇各個參數之適當的值(既登錄值或最新值)。
前述註解顯示區域，較佳是配置於前述一張畫面內。在此情況下，藉由在一張畫面一併顯示變更履歷資訊及註解，操作者就可以基於相同畫面內的註解區域之顯示來迅速地判斷是否反映各個參數之變更。
在本發明之一實施形態中，前述參數管理裝置係更包含：履歷顯示抹除手段，係當藉由對前述確定輸入手段之確定操作所確定後的參數之值登錄於前述登錄手段時，就抹除該參數的變更履歷資訊之顯示。依據該構成，當參數之值被確定時，就能抹除該參數之變更履歷資訊的顯示。藉此，由於操作者係可以輕易地掌握未確定的變更履歷資訊，所以可以迅速地進行參數之選擇及確定操作。
變更履歷資訊之顯示的抹除係除了清除該變更履歷資訊之顯示以外，還包含以與未確定參數之變更履歷資訊不同的態樣來顯示確定完成參數之變更履歷資訊。所謂不同的態樣，例如亦可為在變更履歷資訊上重疊顯示取消線， 或利用預定之顏色(例如灰色(gray))等來遮罩顯示(mask display)變更履歷資訊之顯示區域的態樣。
在本發明之一實施形態中，前述參數管理裝置係更包含：變更履歷記錄開始指示手段，係被操作者所操作而用以開始記錄參數之變更履歷的變更履歷記錄模式；以及變更履歷寫入手段，係在前述變更履歷記錄模式中，將前述參數之變更履歷資訊寫入於前述變更履歷記憶手段。依據該構成，當操作者指示變更履歷記錄模式之開始時，就開始變更履歷記錄模式。變更履歷記錄模式中，當參數之值被變更時，變更履歷資訊就寫入於變更履歷記憶手段。例如，在想暫時變更參數之值時，只要使用變更履歷記錄模式，就可以記錄參數之暫時的變更履歷。從而，在將暫時設定的參數之值返回至原來之值時，可以顯示有關已被變更後的複數個參數之變更履歷資訊。然後，只要針對全部的參數選擇變更前之值並進行確定操作，就可以將全部的參數之值返回至從前值(既登錄值)。當然，有關一部分的參數，亦可以選擇變更後之值來確定。
在本發明之一實施形態中，前述參數管理裝置係更包含：模式指示器(mode indicator)，用以顯示是否在前述變更履歷記錄模式中。依據該構成，由於能藉由模式指示器來顯示是否在變更履歷記錄模式中，所以操作者係可以明確地辨識參數之變更履歷資訊已被記錄著。
在本發明之一實施形態中，前述參數管理裝置係更包含：狀態指示器，係在前述變更履歷記錄模式中，區別顯示任一個參數之變更履歷資訊皆未記憶於前述變更履歷記憶手段的第一狀態、和其中任一個參數之變更履歷資訊已記憶於前述變更履歷記憶手段的第二狀態。依據該構成，藉由狀態指示器，除了能顯示是在變更履歷記錄模式中，還能顯示其中任一個參數之變更履歷資訊是否已記憶於變更履歷記憶手段。藉此，操作者就可以明確地辨識參數是否已被變更。
在本發明之一實施形態中，前述參數管理裝置係更包含：狀態指示器，係在前述變更履歷記錄模式中任一個參數之變更履歷皆未記憶於前述變更履歷記憶手段時用第一顏色來顯示，在前述變更履歷記錄模式中其中任一個參數之變更履歷已記憶於前述變更履歷記憶手段時用第二顏色來顯示，在非為前述履歷記錄模式時用第三顏色來顯示。藉由狀態指示器之顯示色，能顯示是否在變更履歷記錄模式中，其中任一個參數之變更履歷資訊是否已記憶於變更履歷記憶手段。藉此，操作者就可以明確地辨識參數管理裝置之模式、及參數值變更之有無。
在本發明之一實施形態中，前述狀態指示器係配置於藉由前述顯示手段而顯示前述參數之變更履歷資訊的畫面中。依據該構成，狀態指示器能顯示於可供複數個參數之變更履歷資訊顯示的畫面內。藉此，操作者就可以輕易地掌握參數之設定狀況及記憶狀況。
在本發明之一實施形態中，前述參數管理裝置係更包含：模式結束禁止手段，係在至少一個參數之值為未確定 時，禁止前述變更履歷記錄模式之結束。依據該構成，在存在有值為未確定的參數時係無法結束變更履歷記錄模式。藉此，可以抑制或防止確定參數之值的操作遺漏。
在本發明之一實施形態中，前述參數管理裝置係更包含：變更履歷寫入手段，係當藉由前述更新登錄手段對前述登錄手段登錄已更新後的參數群時，就將前述參數之變更履歷資訊寫入於前述變更履歷記憶手段；以及檢索條件輸入手段，用以接收藉由操作者所為的變更履歷檢索條件之輸入。然後，前述變更履歷取得手段係從前述變更履歷記憶手段取得與藉由前述檢索條件輸入手段所輸入的變更履歷檢索條件相符的變更履歷資訊。當已被更新後的參數群登錄於登錄手段時，變更履歷資訊就寫入於變更履歷記憶手段。從而，在參數群每次被變更時，都會儲存變更履歷資訊。在顯示參數之變更履歷資訊時，操作者係從檢索條件輸入手段指定變更履歷檢索條件，並檢索變更履歷資訊。藉此，與該變更履歷檢索條件相符的變更履歷資訊能從變更履歷記憶手段取得並顯示於顯示手段。即便是在此情況下，亦能顯示與複數個參數有關的變更履歷資訊。
檢索條件，亦可包含檢索期間。又，檢索條件，亦可包含產業用裝置中所包含的特定之控制對象資源。更且，在產業用裝置產生警報(alarm)(異常通報)的情況下，亦能夠將與該警報相關聯者指定作為檢索條件。
本發明之一實施形態係提供一種電腦程式，該電腦程式係為了使包含輸入裝置、顯示裝置及記憶裝置的電腦作 為具有如前述之特徵的參數管理裝置來作動，而嵌入有步驟群，以便控制前述輸入裝置、前述顯示裝置及前述記憶裝置。藉此，可以提供一種可以使電腦作為具備介面的參數管理裝置來作動的電腦程式，該介面係可以依狀況而輕易地執行參數值變更之適用/不適用的操作。
本發明之一實施形態係提供一種記錄有如前述之電腦程式的電腦可讀取記錄媒體。
又，本發明之一實施形態係提供一種透過電腦載入如前述之電腦程式來執行的電腦程式產品(computer program product)。
本發明中的上述之、或更進一步之其他的目的、特徵及功效係能參照附圖並藉由以下所述的實施形態之說明而獲得明白。
1‧‧‧基板處理裝置
2‧‧‧單元
3‧‧‧電腦
4‧‧‧外部記憶裝置
11‧‧‧參數編輯部
12‧‧‧參數編輯畫面顯示部
13‧‧‧參數變更履歷記錄部
14‧‧‧參數變更履歷取得部
15‧‧‧參數變更履歷顯示部
16‧‧‧參數選擇輸入接收部
17‧‧‧參數變更確定輸入接收部
18‧‧‧參數登錄部
20‧‧‧選擇輸入部
21‧‧‧個別選擇輸入部
22‧‧‧批次選擇輸入部
23‧‧‧確定輸入部
25‧‧‧登入層級管理部
26‧‧‧狀態顯示部
27‧‧‧參數檢索部
28‧‧‧模式遷移禁止部
31‧‧‧CPU
32‧‧‧輸入裝置
33‧‧‧顯示器
34‧‧‧記憶部
35‧‧‧介面
40‧‧‧參數變更履歷畫面
41‧‧‧變更履歷記錄開始鍵
42‧‧‧變更履歷記錄結束鍵
43‧‧‧狀態顯示區域
44‧‧‧變更履歷顯示部
45‧‧‧參數選擇操作部
45N‧‧‧變更值個別選擇鍵
45P‧‧‧從前值個別選擇鍵
46‧‧‧參數確定操作部
47‧‧‧列表顯示部
47A至47D‧‧‧排序鍵
48、52‧‧‧滾動鍵
48D、52D‧‧‧往下1行移動鍵
48E、52E‧‧‧往表尾的跳躍鍵
48H、52H‧‧‧往表頭的跳躍鍵
48P、52P‧‧‧前頁滾動鍵
48S、52S‧‧‧後頁滾動鍵
48U、52U‧‧‧往上1行移動鍵
50‧‧‧參數編輯畫面
51‧‧‧參數表
53‧‧‧保存鍵
54‧‧‧返回鍵
60‧‧‧單元選擇畫面
61‧‧‧單元選擇鍵
65‧‧‧參數詳細顯示欄
66‧‧‧註解輸入欄
70‧‧‧畫面切換操作部
71‧‧‧單元選擇畫面顯示鍵
72‧‧‧變更履歷顯示鍵
73‧‧‧匯入鍵
74‧‧‧匯出鍵
80‧‧‧履歷寫出鍵
451‧‧‧從前值批次選擇鍵
452‧‧‧變更值批次選擇鍵
460‧‧‧個別確定鍵
461‧‧‧批次確定鍵
D‧‧‧資料
D1‧‧‧生產用參數群
D2‧‧‧裝置型式資料
D3‧‧‧裝置識別ID
D4‧‧‧更新者資料
D5‧‧‧註解資料
D6‧‧‧更新日期與時間資料
D7‧‧‧裝置構成資訊
DB‧‧‧參數管理資料庫
DT‧‧‧暫時參數群
ED‧‧‧裝置參數資料
H‧‧‧參數變更履歷資料
HT‧‧‧暫時變更履歷資料
P‧‧‧程式
P1‧‧‧控制程式
P2‧‧‧管理程式
S1至S31、S41至S46、 S50至S59‧‧‧步驟
圖1係用以說明作為產業用裝置之一例的基板處理裝置之電氣構成的方塊圖。
圖2係用以說明裝置參數資料之具體例的示意圖。
圖3係用以說明管理程式之構成例的功能方塊圖。
圖4係顯示參數編輯畫面之一例。
圖5係顯示用以選擇參數編輯對象之單元(unit)的單元選擇畫面之一例。
圖6係顯示參數變更履歷畫面之一例。
圖7A係用以說明第一實施形態中之有關參數之變更的操作者之操作及電腦之處理的流程圖(flowchart)。
圖7B係用以說明第一實施形態中之有關參數之變更的操作者之操作及電腦之處理的流程圖。
圖8A係用以說明第二實施形態中之有關參數之變更的操作者之操作及電腦之處理的流程圖。
圖8B係用以說明第二實施形態中之有關參數之變更的操作者之操作及電腦之處理的流程圖。
所謂「產業用裝置」係指事業中所用的裝置，典型例係指製品之製造中所用的製造裝置。「製造裝置」係除了加工對象物的裝置以外，還包含檢查裝置、搬運裝置、環境管理裝置等。在「製造裝置」中，例如包含有半導體裝置製造用的洗淨裝置、熱處理裝置、雜質導入裝置、薄膜形成裝置、微影(lithography)裝置、平坦化裝置等。此等的裝置，只不過是「製造裝置」之例，並非用以限制本發明之適用範圍。
所謂「參數」係指用以規定產業用裝置中的處理條件的裝置參數。在參數中，例如有一邊對旋轉的基板(矽晶圓(silicon wafer)等)之被洗淨面供給藥液一邊刷洗(brushing)被洗淨面的洗淨裝置(scrubber；洗滌塔)中之用以規定洗淨液之流量的參數、用以規定被洗淨面與供給藥液的噴嘴之藥液吐出口之距離的參數、用以規定矽晶圓之旋轉數的參數等。但是，此等的參數亦只不過是個例子，並非用以限制本發明之適用範圍。
以下，參照附圖來詳細說明本發明的實施形態。
圖1係用以說明作為產業用裝置之一例的基板處理裝置之電氣構成的方塊圖。基板處理裝置1係包含一個以上的單元2、及控制單元2的電腦3。在本實施形態中，電腦3係指已嵌入(已內建)於基板處理裝置1的嵌入式電腦(embedded computer)。單元2係能為處理基板的處理單元、搬運基板的搬運單元、供給基板處理用之處理流體的流體供給單元等。電腦3係控制單元2中所備置之能夠控制的資源(resource)。又，在本實施形態中，電腦3亦具有作為管理用以控制資源之參數的參數管理裝置的功能。
例如，單元2，亦可為將處理液供給至基板進行處理的液處理單元。逐片處理基板的單片型之液處理單元，例如是包含：旋轉夾盤(spin chuck)，用以使基板保持水平地旋轉；以及處理液噴嘴，用以將處理液供給至由旋轉夾盤所保持的基板。在此情況下，使旋轉夾盤旋轉的電動馬達、開閉往處理液噴嘴(nozzle)之處理液流路的閥(valve)、控制通過處理液流路的處理液之流量的流量控制器等，為能夠控制的資源之例。然後，旋轉夾盤之旋轉數及旋轉時間、處理液之供給時間及流量等，為參數之例。
電腦3係包含CPU(Central Processing Unit；中央處理單元)31、輸入裝置32、顯示器33(顯示裝置)及記憶部34(記憶裝置)。更且，電腦3，亦可依需要而具備能夠連接外部記憶裝置4的介面35。輸入裝置32係指如鍵盤(keyboard)、觸控面板(touch panel)、指向裝置(pointing device)等，且能夠進行藉由操作者所為之操作輸入的人機介面 (man-machine interface)。顯示器33係指液晶面板等的二維顯示器，且為對操作者提供資訊的人機介面，亦即資訊輸出裝置。作為資訊輸出裝置，除了顯示器33以外，亦可具備有印表機(printer)、聲音輸出裝置等。記憶部34係由半導體記憶體等的固態記憶體、HDD(Hard Disk Drive；硬碟機)、SSD(Solid State Drive；固態硬碟機)等的記憶裝置所構成。
在記憶部34之記憶區域係儲存有程式P及資料D。程式P係包含：控制程式P1，係為了執行基板處理而供電腦3控制單元2所用；以及管理程式P2，用以管理既定藉由單元2所為之處理條件的參數群。藉由CPU31執行此等的控制程式P1、管理程式P2，電腦3就能作為用以實現各自之功能的裝置來動作。資料D係包含裝置參數資料ED，裝置參數資料ED係包含生產用參數群D1，該生產用參數群D1為在生產步驟中既定單元2之動作條件或處理條件的參數群。又，資料D係包含作為暫時性地被適用的參數群的暫時參數群DT。資料D係更包含表示暫時參數群DT相對於生產用參數群D1之變動的暫時變更履歷資料HT。資料D係更包含有體系地儲存包含生產用參數群D1的裝置參數資料ED之變更履歷的參數管理資料庫(database)DB。在參數管理資料庫DB係記錄有表示包含生產用參數群D1的裝置參數資料ED之過去的變更履歷的參數履歷資料H。
記憶部34係以即便電腦3之電源被切斷，其記憶內容， 亦即程式P及資料D仍能被保持的方式所構成。
外部記憶裝置4，亦可由能夠透過介面35裝卸於電腦3的記憶媒體(removable storage；可移式儲存器)所構成。USB(Universal Serial Bus；通用串列匯流排)儲存器、記憶卡(memory card)、可攜式HDD、可攜式SDD等為典型例。
圖2係用以說明裝置參數資料之具體例的示意圖。對應於基板處理裝置1的裝置參數資料ED係包含作為各個單元2的控制之基礎的生產用參數群D1、裝置型式資料(type data)D2、裝置識別資訊(ID)D3、更新者資料D4、註解資料D5、更新日期與時間資料D6、裝置構成資訊D7。裝置型式資料D2係表示基板處理裝置1之種類。裝置識別資訊D3係用以識別基板處理裝置1的固有資料。更新者資料D4係表示最後變更生產用參數群D1之操作者的資料。註解資料D5係在變更生產用參數群D1時操作者任意輸入的資料。更新日期與時間資料D6係表示最後變更生產用參數群D1之日期與時間的資料。裝置構成資訊D7係表示構成基板處理裝置1之單元2的資料。裝置構成資訊D7，例如是包含指定構成基板處理裝置1的各個單元2之單元名及單元型式的資料。單元名資料係指從其他的單元中識別各個單元的資料，單元型式資料係指顯示單元之種類的資料。
構成生產用參數群D1的複數個參數係針對裝置構成資訊D7中所描述的每一單元2進行描述。對各個單元2，包含有用以規定該單元2所執行的處理之條件等的一個以 上之參數。各個單元係由單元名所指定。對各個單元名描述著一個以上之參數。各個參數係由參數名所指定。參數名係指參數識別資訊。對各個參數描述著參數值。
暫時參數群DT之構成係與生產用參數群D1之構成同樣。
暫時變更履歷資料HT係表示從生產用參數群D1往暫時參數群DT之變更履歷的資料。若生產用參數群D1及暫時參數群DT為相等，暫時變更履歷資料HT就為空。暫時變更履歷資料HT，例如是針對已變更後的各個參數，包含已變更後的日期與時間(時刻資訊)、對應的單元名、參數名、變更前之值、變更後之值。有關值已變更複數次後的參數，亦可包含有複數個變更前之值。在此情況下，變更後之值(最新值)，可能與生產用參數群D1之對應的參數值相同。
圖3係用以說明管理程式P2之構成例的功能方塊圖，且顯示電腦3藉由CPU31執行管理程式P2所提供的功能之概要。亦即，電腦3係藉由管理程式P2之執行，而實質上具有複數個功能處理部。但是，此並非一定意指管理程式P2具有對應於複數個功能處理部的單位部分。
複數個功能處理部係包含參數編輯部11、參數編輯畫面顯示部12、參數變更履歷記錄部13、參數變更履歷取得部14、參數變更履歷顯示部15、參數選擇輸入接收部16、參數變更確定輸入接收部17、及參數登錄部18。又，在本實施形態中，前述複數個功能處理部係包含登入層級(login level)管理部25、狀態顯示部26、參數檢索部27、及模式遷移禁止部28。
參數編輯畫面顯示部12係使參數編輯畫面50顯示於顯示器33(參照圖4)。操作者係在已顯示參數編輯畫面50的狀態下操作輸入裝置32，藉此可以編輯參數。參數編輯畫面顯示部12，亦可使每一單元之參數編輯畫面50顯示於顯示器33。在此情況下，可以用單元單位來編輯參數。參數編輯部11，為參數編輯手段之一例，且按照在參數編輯畫面50上所進行的操作者之編輯輸入，來變更已展開於記憶部34的生產用參數群D1及暫時參數群DT之雙方、或僅有暫時參數群DT的參數值。
如後面所述，在編輯參數時，可以設定變更履歷記錄模式。若變更履歷記錄模式未被設定，參數編輯部11就會按照操作者之編輯輸入來變更生產用參數群D1及暫時參數群DT之雙方的參數值。若變更履歷記錄模式已被設定，參數編輯部11就會按照操作者之編輯輸入來變更暫時參數群DT的參數值，生產用參數群D1的參數值則不會變更。
參數變更履歷記錄部13，為變更履歷寫入手段之一例。參數變更履歷記錄部13係將暫時參數群DT相對於生產用參數群D1之變動(變更履歷)，作為暫時變更履歷資料HT記錄於記憶部34。從而，參數變更履歷記錄部13係在變更履歷記錄模式中，將參數之變更履歷作為暫時變更履歷資料HT記錄於記憶部34。更且，參數變更履歷記錄部13 係當生產用參數群D1之中任一個參數值被變更時，就將其參數名、變更前之參數值、變更後之參數值、變更時刻資訊、已變更後的操作員名等，作為參數履歷資料H記錄於參數管理資料庫DB。
參數變更履歷取得部14，為取得暫時變更履歷資料HT，或取得參數履歷資料H的取得手段之一例。亦可不記錄暫時變更履歷資料HT，而是在必要時，參數變更履歷取得部14比較生產用參數群D1和暫時參數群DT，且抽出值不同的參數以生成暫時變更履歷資料HT。
參數變更履歷顯示部15係響應藉由操作者所為的預定之輸入操作，將參數變更履歷畫面40(參照圖6)顯示於顯示器33。亦即，在本實施形態中，顯示器33及參數變更履歷顯示部15係構成顯示手段之一例。參數變更履歷畫面40係一覽顯示已暫時變更後的參數之資訊，亦即一覽顯示相當於暫時變更履歷資料HT的變更履歷資訊(參照圖6)。在該顯示時，參數變更履歷取得部14係取得暫時變更履歷資料HT。基於該所取得的暫時變更履歷資料HT，參數變更履歷顯示部15係製作參數變更履歷畫面40且顯示於顯示器33。
參數選擇輸入接收部16係在參數變更履歷畫面40中，提供用以選擇變更前之參數值或變更後之參數值的選擇輸入部20。選擇輸入部20，為選擇輸入手段之一例。操作者係藉由操作選擇輸入部20，就可以選擇變更前或變更後之參數值。在本實施形態中，選擇輸入部20係包含個別選擇 輸入部21及批次選擇輸入部22。個別選擇輸入部21係能夠針對在參數變更履歷畫面40中所提供的複數個參數，個別地選擇變更前或變更後之參數值。批次選擇輸入部22係能夠針對在參數變更履歷畫面40中所提供的複數個參數，批次選擇變更前或變更後之參數值。參數選擇輸入接收部16，亦可將變更前之參數值或變更後之參數值的其中任一個作為既定選擇狀態顯示於參數變更履歷畫面40。
參數變更確定輸入接收部17係在顯示器33上提供用以確定已在參數選擇輸入接收部16所接收之參數值的確定輸入部23。如此的確定輸入部23，亦可在參數變更履歷畫面40上提供。確定輸入部23，為確定輸入手段之一例。
參數登錄部18係響應已在參數變更確定輸入接收部17所接收的確定輸入，將已確定的參數值改寫成生產用參數群D1中之相符的值。藉此，由於生產用參數群D1會變化，所以參數變更履歷記錄部13會對參數管理資料庫DB寫入參數履歷資料H。如此，參數登錄部18，為更新登錄手段之一例。
登入層級管理部25係管理操作員的操作權限。操作者係使用事先所賦予的登入名及密碼(password)來登入，藉此就可以利用管理程式P2之功能。針對每一登入名事先賦予登入層級。登入層級，例如是指管理者層級、一般運用者層級、維護技術者層級等。例如，僅在以一定以上之登入層級(例如管理者層級及維護技術者層級)的登入名登入的情況下，才能容許參數編輯功能及參數變更履歷記錄功能 之利用。
狀態顯示部26係對參數變更履歷畫面40之狀態顯示區域43，進行是否在變更履歷記錄模式中之模式顯示、及有關變更履歷記錄之狀態顯示。亦即，狀態顯示部26，為模式指示器之一例，且為狀態指示器之一例。有關狀態顯示區域43之顯示的詳細內容將於後述。
參數檢索部27係具有排序已顯示於參數變更履歷畫面40的參數變更履歷的功能，或檢索滿足特定之條件的參數變更履歷的功能。又，參數檢索部27，亦可具有檢索參數管理資料庫DB之參數履歷資料H的功能。具體而言，亦可從參數履歷資料H中檢索與操作者所指定的檢索條件(例如檢索期間)相符的參數變更履歷資料。參數檢索部27，為檢索手段之一例。
模式遷移禁止部28，為禁止變更履歷記錄模式之結束直至預定條件被滿足為止的模式結束禁止手段之一例。具體而言，模式遷移禁止部28係在暫時參數群DT與生產用參數群D1不一致時，亦即至少一個參數之變更未確定時，禁止變更履歷記錄模式之結束。
在電腦3執行控制程式P1時，CPU31係使用暫時參數群DT。但是，在生產用參數群D1與暫時參數群DT之間有差異時係僅能容許試行性的基板處理運轉，而用以生產製品的基板處理運轉則會被禁止。亦即，用以生產製品的基板處理係以僅在生產用參數群D1與暫時參數群DT一致時才被容許的方式來設計控制程式P1。
圖4係顯示參數編輯畫面50之一例。參數編輯畫面50係包含能夠對一個單元進行設定的參數之一覽，亦即參數表(parameter list)51。參數表51係針對各個參數包含複數個項目，亦即包含編號、範疇(category)、參數名、及設定值。範疇係表示成為對象的處理內容。參數名係表示設定對象的參數之名稱。設定值為參數值。所謂參數之編輯係指變更設定值。
例如，腔室(chamber)洗淨之範疇中所包含的參數係有：表示腔室洗淨之時間間隔的「間隔(分)」、以處理工作(process job：PJ)之數目來指定腔室洗淨的情況的「間隔(PJ數)」、以載具(carrier)數來指定腔室洗淨之間隔的情況的「間隔(載具數)」、以晶圓片數來指定腔室洗淨之間隔的情況的「間隔(晶圓數)」、規定腔室洗淨處理內容的「配方(recipe)編號」、用以設定以時間、載具數或晶圓數之中一個來指定腔室洗淨之間隔的「時序(timing)指定」、以及指定腔室洗淨開始觸發器(trigger)的「觸發器指定」等。
所謂腔室洗淨係指洗淨處理單元之腔室內部的處理。所謂處理工作係指規定對一片或複數片晶圓之處理的處理單位。一般而言，在一個處理工作中係能對複數片晶圓指定共通的處理(配方)。所謂載具係指收容複數片晶圓的基板收容器。處理對象的晶圓係在已收容於載具的狀態下設定於基板處理裝置1。基板處理裝置1係從該所設定的載具中取出基板並進行處理。所謂配方編號係指事先儲存於記憶部34的配方之識別資訊。所謂配方係指規定處理內容 的資訊。
在參數表51之右側係配置有滾動鍵(scroll button)52。滾動鍵52係包含往表頭的跳躍鍵(jump button)52H、往表尾的跳躍鍵52E、前頁滾動鍵52P、後頁滾動鍵52S、往上1行移動鍵52U、及往下1行移動鍵52D。更且，在參數編輯畫面50係具備有：用以保存編輯後之參數值的保存鍵53；以及用以返回至前面之畫面的返回鍵54。
當在參數編輯畫面50操作返回鍵54時，就可以遷移至圖5所示的單元選擇畫面60。單元選擇畫面60係包含分別對應於複數個單元的複數個單元選擇鍵61。當操作其中任一個單元選擇鍵61時，就可以顯示用以編輯對應的單元之參數的參數編輯畫面50(參照圖5)。圖4的參數編輯畫面50，例如是對應於液處理單元(MPC)的參數編輯畫面。
在單元選擇畫面60係配置有畫面切換操作部70。在畫面切換操作部70係配置有單元選擇畫面顯示鍵71、變更履歷顯示鍵72、匯入鍵(import button)73、及匯出鍵(export button)74等。
當操作匯入鍵73時，就遷移至用以匯入裝置參數資料的匯入畫面。當操作匯出鍵74時，就遷移至用以匯出裝置參數資料的匯出畫面。裝置參數資料之匯入來源或匯出目的地，亦可為外部記憶裝置4。在外部記憶裝置4為可移式儲存器的情況下，可以將在其他裝置所設定的裝置參數資料導入於基板處理裝置1而再利用。又，可以將在基板 處理裝置1所設定的裝置參數資料寫出至外部記憶裝置4，且將該外部記憶裝置4安裝於與基板處理裝置1同種的其他基板處理裝置，進而將裝置參數資料導入於該其他基板處理裝置而再利用。又，在匯入畫面中，亦可提供將在某一單元中已設定完成的參數作為其他單元的參數來導入的功能。此情況的匯入來源，亦可為記憶部34，又可為生產用參數群D1或參數管理資料庫DB。例如，亦可從參數管理資料庫DB中選擇某一單元的參數群來導入。藉此，可以在單元鍵複印參數來使用。較佳是即便針對來自外部記憶裝置4的參數群之導入，仍能夠進行單元單位之導入。
當操作變更履歷顯示鍵72時，顯示畫面就會遷移至參數變更履歷畫面40。
圖6係顯示參數變更履歷畫面40之一例。參數變更履歷畫面40係包含變更履歷記錄開始鍵41、變更履歷記錄結束鍵42、狀態顯示區域43(為了明瞭起見附記雙重斜線來顯示)、變更履歷顯示部44、參數選擇操作部45(相當於圖3的選擇輸入部20)、參數確定操作部46、畫面切換操作部70、及履歷寫出鍵80。畫面切換操作部70之構成係與單元選擇畫面60的情況同樣。亦即，畫面切換操作部70係指在單元選擇畫面60及參數變更履歷畫面40共同顯示的部分。當參數變更履歷畫面40被顯示且操作單元選擇畫面顯示鍵71時，顯示畫面就會遷移至單元選擇畫面60(參照圖5)。
變更履歷記錄開始鍵41係指指示參數之變更履歷之記錄開始的按鍵。當變更履歷記錄開始鍵41被操作時，電腦3就會進入變更履歷記錄模式。如同前面所述般，在變更履歷記錄模式中，當參數值被變更時，暫時參數群DT之參數值就會被變更，另一方面，生產用參數群D1之參數值則未被變更。然後，生產用參數群D1與暫時參數群DT之差異係作為暫時變更履歷資料HT記錄於記憶部34。若變更履歷模式未被設定，當參數值被變更時，就能依此來變更生產用參數群D1及暫時參數群DT之雙方的相符的參數值。變更履歷記錄開始鍵41，為變更履歷記錄開始指示手段之一例。
變更履歷記錄結束鍵42係指指示參數之變更履歷之記錄結束的按鍵。當變更履歷記錄結束鍵42被操作時，變更履歷記錄模式就會被解除。從而，此後即便參數值在參數編輯畫面50(參照圖4)被變更，變更履歷仍不會被記錄。亦即，當參數值被變更時，該變更就會反映至生產用參數群D1及暫時參數群DT之雙方。當在生產用參數群D1有變動時，該變動後的生產用參數群D1就會登錄於參數管理資料庫DB，且該變動的內容會作為參數履歷資料H寫入於參數管理資料庫DB。
狀態顯示區域43係指顯示變更履歷之記錄狀態的區域。例如，在變更履歷記錄模式中，任一個之變更履歷皆未記錄於暫時變更履歷資料HT的狀態，亦即生產用參數群D1及暫時參數群DT相等的狀態，係將狀態顯示區域著 色成第一顏色(例如黃色)來表現。在變更履歷記錄模式中，其中任一個參數之變更履歷已記錄於暫時變更履歷資料HT的狀態，亦即生產用參數群D1與暫時參數群DT有不同的狀態，係將狀態顯示區域著色成第二顏色(例如紅色)來表現。在非為變更履歷記錄模式時，狀態顯示區域係呈第三顏色(例如白色)，且表示非在變更履歷之記錄中。
變更履歷顯示部44係包含：可供值已變更後的參數之列表顯示的列表顯示部；用以滾動列表顯示部47的複數個滾動鍵48(滾動操作部)；參數詳細顯示欄65；以及註解輸入欄66。
顯示於列表顯示部47的列表之各行係包含複數個項目，亦即編號、變更日期與時間、單元名、參數名、變更前之參數值、及變更後之參數值。顯示於列表顯示部47的列表係可以用此等的項目來排序。具體而言，各個項目之顯示部係成為排序鍵47A至47E。利用輸入裝置32(例如指向裝置)來操作此等的排序鍵47A至47E之中任一個，藉此可以依順著各個項目之遞升順序或遞降順序來排序列表。亦即，參數檢索部27(參照圖3)能響應排序鍵47A至47E之操作來排序暫時變更履歷資料HT。該排序後之狀態的暫時變更履歷資料HT能顯示於列表顯示部47。
複數個滾動鍵48係包含往表頭的跳躍鍵48H、往表尾的跳躍鍵48E、前頁滾動鍵48P、後頁滾動鍵48S、往上1行移動鍵48U、及往下1行移動鍵48D。在有多數個參數之變更履歷時係無法在列表顯示部47顯示全部的參數之 變更履歷。在如此的情況下，可以藉由操作滾動鍵48來顯示目的的參數之變更履歷。圖6係以虛線顯示能夠滾動顯示的變更履歷之列表部分。能夠滾動顯示於列表顯示部47的全部部分係指構成一張畫面的參數變更履歷畫面40之構成部分。
參數選擇操作部45係包含：針對已變更後的參數之列表的各行之參數值，選擇變更前之值的從前值個別選擇鍵45P；以及選擇變更後之值的變更值個別選擇鍵45N。此等係相當於個別選擇輸入部21(參照圖3)。操作者係操作滾動鍵48，使聚焦(focus)(例如，游標(cursor))移動至應選擇值的行上。在該狀態下，當操作從前值個別選擇鍵45P時變更前之值(從前值)就會被選擇，而當操作變更值個別選擇鍵45N時，變更後之值就會被選擇。各行之被選出的值係以與未被選擇的值不同之態樣顯示(例如著色顯示)於顯示器33，較佳是能表現其選擇狀態。在操作者未進行選擇操作的初始狀態下，例如，變更後之值亦可被選擇作為既定值，並顯示其選擇狀態。當然，亦可以將從前值選擇作為既定值，並顯示其選擇狀態的方式來設計程式。參數選擇操作部45亦可更具有：針對列表中之全部的參數，批次選擇變更前之從前值的從前值批次選擇鍵451；以及針對列表中之全部的參數，批次選擇變更後之值的變更值批次選擇鍵452。此等係相當於批次選擇輸入部22(參照圖5)。藉由從前值批次選擇鍵451、變更值批次選擇鍵452之操作，就可以批次選擇變更值，或批次選擇從前值。從前值 批次選擇鍵451，為既登錄值批次選擇手段之一例。變更值批次選擇鍵452，為最新值批次選擇手段之一例。
各個參數之從前值係指生產用參數群D1中所包含的該參數之值(既登錄值)。另一方面，各個參數之變更值係指在參數編輯畫面50(參照圖4)中最後被輸入的值(最新值)。構成暫時參數群DT的參數之各個值係指在參數變更履歷畫面40之變更履歷顯示部44中，在選擇狀態下顯示的值(從前值或變更值)。從而，只要在從前值與變更值之間變更選擇狀態，就能重寫暫時參數群DT之相符的參數之值。
參數確定操作部46係相當於確定輸入部23，為了適用於製品之生產而用以確定藉由參數選擇操作部45之操作等而呈選擇狀態的參數值(參照圖3)。
參數確定操作部46，亦可包含個別確定鍵460，該個別確定鍵460係為了適用於製品生產而確定列表之各行、或一部分之被選出的複數行之參數選擇狀態。例如，操作滾動鍵48並在一個參數之行配置有聚焦的狀態下操作個別確定鍵460，藉此就可以針對該一個參數，確定選擇狀態之值(從前值或變更值)。又，例如，使用指向裝置等來選擇複數個參數作為確定對象，且在該狀態下操作個別確定鍵460，藉此就可以針對被選擇作為該確定對象的複數個參數，確定選擇狀態之值(從前值或變更值)。響應如此的確定操作，生產用參數群D1之相符的參數之值就能更新成該選擇狀態之值(從前值或變更值)。但是，在從前值 為選擇狀態時，值係保持為從前值的狀態。
又，參數確定操作部46亦可包含批次確定鍵461，該批次確定鍵461係用以針對列表中之全部的參數，使各個參數值批次地確定為選擇狀態之值(從前值或變更值)。藉由操作批次確定鍵461，就可以針對已顯示於列表顯示部47的全部參數，批次確定選擇狀態之值(從前值或變更值)。響應如此的批次確定操作，生產用參數群D1之全部的參數之值能更新成選擇狀態之值(從前值或變更值)。但是，就從前值為選擇狀態的參數而言，值係保持為從前值的狀態。
當已顯示於列表顯示部47的至少一個參數之值為未確定時，藉由模式遷移禁止部28(參照圖3)之作用，變更履歷記錄結束鍵42之操作就不被受理。亦即，只要不是在已針對顯示於列表顯示部47的參數之全部進行確定操作之後，就無法解除變更履歷記錄模式，且狀態顯示區域43會持續顯示為變更履歷記錄模式。
參數詳細顯示欄65係顯示有關已配置有聚焦的參數之詳細資訊。詳細資訊，例如亦可為已變更該參數後的日期與時間、已變更後的操作者、該參數之範疇名、操作者之登入層級等。
註解輸入欄66係指針對已配置有聚焦的參數，操作者使用輸入裝置32任意地輸入註解的輸入欄。表示所輸入之註解的註解資料係構成該參數的變更履歷資料之一部分。輸入裝置32及註解輸入欄66，為註解輸入手段之一例。
履歷寫出鍵80係指用以將操作後的參數之狀態輸出作為憑證(evidence)的按鍵。憑證之一例，為畫面影像(screen image)。具體而言，藉由保存已顯示於列表顯示部47的一覽、以及知道選擇變更前、變更後之哪一個的狀態之畫面圖像，就可以留下作為已實施參數之檢驗操作(check operation)的憑證。該畫面圖像係可以作為操作報告之憑證來使用。雖然亦可取得已顯示於顯示器33之狀態的畫面圖像，但是每次取得都需要使畫面滾動、或切換畫面，且需要工時。於是，較佳是藉由操作履歷寫出鍵80，來使列表顯示部47之整體亦包含能夠滾動的部分並能夠批次取得，藉此能減輕操作者的負擔。憑證係既可保存於裝置，又可保存於透過網路(network)所連接的其他電腦。憑證，亦可為文字(text)、CSV(Comma Separated Value；逗點分隔值)資料等。
圖7A及圖7B係用以說明有關參數之變更的操作者之操作及電腦3之處理的流程圖。在開始有關參數之暫時性之變更的履歷之記錄時，操作者係使參數變更履歷畫面40(參照圖6)顯示，並操作變更履歷記錄開始鍵41(步驟S1)。藉此，電腦3(更具體而言為CPU31。以下相同)係將狀態顯示區域43之顯示色作為第一顏色(例如黃色)，並顯示是在變更履歷記錄模式中(步驟S2)。參數值之變更係在參數編輯畫面50(參照圖4)中進行。具體而言，操作者係操作單元選擇畫面顯示鍵71(步驟S3)，使單元選擇畫面60(參照圖5)顯示於顯示器33(步驟S4)，且選擇欲變更參數值的單 元(步驟S5)。藉此，電腦3係將用以編輯該被選出的單元之參數值的參數編輯畫面50(參照圖4)顯示於顯示器33(步驟S6)。操作者係在該參數編輯畫面50內，依需要而變更(編輯)參數值(步驟S7)。當操作者操作保存鍵53(參照圖4)時(步驟S8：是)，藉此，電腦3就會將已變更後的參數之值，反映至暫時參數群DT(步驟S9)。此時，在生產用參數群D1並未反映該變更。更且，電腦3係生成有關已變更後的參數之暫時變更履歷資料HT，並記錄於記憶部34(步驟S10)。暫時變更履歷資料HT係包含已變更後的參數名、有關該參數的單元名、變更前之值(從前值)、變更後之值(更新值)、已變更後的日期與時間、及已變更後的操作者名等。當完結參數之編輯時，操作者就操作返回鍵54(參照圖4)(步驟S11：是)。響應此，電腦3係使單元選擇畫面60(參照圖5)顯示於顯示器33(步驟S12)。
如此，已變更後的參數係成為暫時設定參數，雖然在生產步驟中未被使用，但是在基板處理裝置1之動作試驗，亦即用以試驗基板處理裝置1之動作的試驗運轉模式中則被使用。
在確認參數之變更履歷時，操作者係操作變更履歷顯示鍵72(參照圖5)(步驟S13)。響應此，電腦3係使參數變更履歷畫面40(參照圖6)顯示於顯示器33(步驟S14)。電腦3係從記憶部34讀出並取得暫時變更履歷資料HT(步驟S15)，且製作已變更後的參數之列表並顯示於列表顯示部37(步驟S16)。電腦3係更進一步判斷暫時變更履歷資料 HT是否為空，亦即在生產用參數群D1與暫時參數群DT之值是否有差異(步驟S17)。電腦3係在存在至少一個值有差異的參數時，亦即暫時變更履歷資料HT非為空時(步驟S17：是)，用第二顏色(例如紅色)來顯示狀態顯示區域43，且顯示是在變更履歷記錄模式中，並顯示存在已暫時性地變更後的參數(步驟S18)。另一方面，在暫時變更履歷資料HT為空，生產用參數群D1與暫時參數群DT一致時(步驟S17：否)，電腦3係用第一顏色(例如黃色)來顯示狀態顯示區域43，且顯示是在變更履歷記錄模式中，並顯示不存在已暫時性地變更後的參數(步驟S19)。
如此，操作者係可以針對在操作變更履歷記錄開始鍵41之後已變更值後的全部參數，在參數變更履歷畫面40中確認其從前值與變更後之值(更新值)。
更且，在參數變更履歷畫面40中，當在各個參數中的從前值與更新值之間變更選擇狀態時(步驟S20：是)，電腦3就將已成為該選擇狀態的值(從前值或變更值)作為暫時參數群DT之相符的參數值來寫入(步驟S21)。藉此，可以將在試驗運轉模式中所適用的參數設定為從前值與更新值之中任一個。更且，電腦3係按照選擇狀態之變更，來變更暫時變更履歷資料HT(步驟S22)。
參數值係有僅應適用於試驗運轉時的值、和不僅應適用於試驗運轉時還應適用於製品之生產時的值。例如，由於處理液之處理時間及處理流量、旋轉夾盤之旋轉數及旋轉時間等的參數係與處理內容相關，所以較多的情況是在 試驗時與生產時設定為不同的值。如此的參數係為了基板處理裝置1之維護等而在試驗運轉時暫時性地被變更，試驗運轉結束後係有必要事先返回至從前的值。另一方面，與搬運基板的搬運機器人之動作相關的參數係在試驗運轉時及製品生產時，亦有適當設為共通之值的情況。如此的參數係在試驗運轉時變更，只要確認該值為適當，就應將變更後之值登錄作為應適用於製品生產的值。
於是，操作者係在參數變更履歷畫面40中，針對已記錄有變更履歷的參數之全部，選擇從前值及更新值之中任一個，且確認選擇狀態是否適當。在該確認之後，操作者係操作個別確定鍵460或批次確定鍵461，且個別地、或批次地確定參數(步驟S23)。響應該確定操作，電腦3係將各個參數的選擇狀態之值(從前值或變更值)作為生產用參數群D1之相符的參數之值來寫入於記憶部34(步驟S24)。電腦3係形成為從列表顯示部47中刪除已被確定的參數，或表示為確定狀態的顯示狀態(步驟S25。履歷顯示抹除手段之一例)。表示確定狀態的顯示狀態，例如亦可為用以灰色遮蔽(gray masking)相符的參數之行的顯示。又，電腦3係生成變更履歷資訊，並寫入於記憶部34，更具體而言為參數管理資料庫DB(步驟S26)。變更履歷資訊係包含已變更後的參數之從前值及變更值、已變更後的日期與時間(進行確定操作後的日期與時間)、已變更後的操作者名等。變更履歷資訊，亦可基於暫時變更履歷資料HT來生成。
當針對已顯示於列表顯示部47的全部參數進行確定 操作時(步驟S27：是)，電腦3就將狀態顯示區域43變更成第一顏色(例如黃色)(步驟S28)。藉此，能顯示是在變更履歷記錄模式中，並顯示不存在已暫時性地變更後的參數。在該狀態下，容許變更履歷記錄結束鍵42之操作(步驟S29)。之後，當操作者操作變更履歷記錄結束鍵42時(步驟S30)，電腦3就解除變更履歷記錄模式，且將狀態顯示區域43之顏色變更成第三顏色(例如白色)(步驟S31)。藉此，能顯示不是在變更履歷記錄模式中。
雖然只要不進行確定操作，已編輯後的參數值就不會反映至生產用參數群D1，但是暫時參數群DT之相符的參數之值會成為選擇狀態之值(從前值或變更值)。從而，能夠進行使用該選擇狀態之參數值的試驗運轉。
當針對已顯示於參數變更履歷畫面40之列表顯示部47的全部參數之值進行確定操作時，電腦3就能夠操作變更履歷記錄結束鍵42。換句話說，直至變更履歷之記錄開始之後進行有關值已變更後的全部參數之確定操作為止，變更履歷記錄結束鍵42係被控制在不能操作的狀態。在殘留有未確定之參數的狀態下已操作變更履歷記錄結束鍵42時，電腦3亦可對顯示器33輸出警報(alarm)顯示來喚起注意。
電腦3亦可直至變更履歷記錄結束鍵42被操作並離開變更履歷記錄模式為止，禁止用以生產製品的生產模式下的基板處理裝置1之運轉。例如，在為了基板處理裝置1之維護而暫時性地變更複數個參數的情況下，操作者亦可 在參數變更履歷畫面40中操作從前值批次選擇鍵451，接著操作批次確定鍵461。藉此，可以將以暫時性第變更厚的全部參數批次地返回至從前值。藉此，可以迴避遺忘已暫時性地變更後的參數之返回。然後，藉由禁止變更履歷之記錄並未結束之狀態下的生產模式運轉，就可以迴避試驗運轉用的處理條件被應用於製品用之基板中。藉此，由於可以迴避對製品用之基板的不適當之處理，所以可以迴避基板白白浪費掉。
如以上，在本實施形態中係在作為一張畫面的參數變更履歷畫面40，顯示有複數個參數之變更履歷。操作者係可以針對已顯示於該一張畫面的複數個參數之各個參數選擇是否反映變更，且確定該選出的值(變更前之值或變更後之值)。該確定後的值被反映至生產用參數群D1，且登錄於參數管理資料庫DB。從而，操作者係可以依狀況而在一張畫面上選擇並確定應反映變更的參數。藉此，可以將容易依狀況而執行參數值變更之適用/不適用的介面備置於基板處理裝置1。
又，由於藉由操作參數變更履歷畫面40中所備置的從前值個別選擇鍵45P、變更值個別選擇鍵45N，就可以針對各個參數個別地選擇變更值或從前值，所以可以針對各個參數個別地指定變更之適用/不適用。
又，由於藉由操作參數變更履歷畫面40中所備置的從前值批次選擇鍵451，就可以針對全部參數批次選擇從前值。藉此，從前值之選擇操作變得容易。例如，在針對多 數個參數選擇從前值的情況下，只要在批次選擇從前值之後，依需要而針對幾個參數個別地選擇變更值，就可以針對各個參數迅速地選擇應適用的值。
又，由於藉由操作參數變更履歷畫面40中所備置的變更值批次選擇鍵452，就可以針對全部參數批次選擇變更值。藉此，變更值之選擇操作變得容易。例如，在針對多數個參數選擇變更值的情況下，只要在批次選擇變更值之後，依需要而針對幾個參數個別地選擇從前值，就可以針對各個參數迅速地選擇應適用的值。
又，在本實施形態中，已顯示於參數變更履歷畫面40的參數變更履歷係可以藉由變更日期與時間(時刻資訊)、單元名(資源識別資訊)、參數名(參數識別資訊)來排序。藉此，即便是在所顯示的參數之數目較多時，仍可以迅速地找出目的的參數之變更履歷資訊。
又，在本實施形態中，在參數變更履歷畫面40係設置有註解輸入欄66(註解顯示區域)，操作者係可以輸入與變更履歷資訊賦予關聯關係的註解。例如，操作者係可以在已變更參數時，事先將該變更之意圖、已變更後的結果等之任意的資訊作為註解來記錄。該註解係以註解資料的方式來構成變更履歷資料之一部分。當註解已被輸入時，就會在已顯示參數變更履歷畫面40時，在該一張畫面除了顯示變更履歷資訊以外還顯示操作者的註解。藉此，由於操作者係可以在後面判斷是否應反映變更時，將該註解作為參考，所以可以迅速地選擇各個參數之適當的值(從前值或 變更值)。
又，在本實施形態中係當在參數變更履歷畫面40中，進行用以確定參數之值的操作時，就能抹除該參數之變更履歷資訊的顯示。藉此，由於操作者係可以輕易地掌握未確定的變更履歷資訊，所以可以迅速地進行參數之選擇及確定操作。
又，在本實施形態中，藉由操作變更履歷記錄開始鍵41，就可以開始用以記錄值已暫時性地變更後的參數之變更履歷(暫時變更履歷)的變更履歷記錄模式。然後，藉由操作變更履歷記錄結束鍵42，就可以結束變更履歷記錄模式。在變更履歷記錄模式中所記錄的變更履歷係顯示於作為一張畫面的參數變更履歷畫面40。從而，在欲將暫時設定後的參數之值返回至原來之值時，只要開啟圖案變更履歷畫面40，就可以使有關已變更後的複數個參數之變更履歷資訊顯示於一張畫面上。然後，只要針對全部的參數選擇變更前之值並進行確定操作，就可以將全部的參數之值返回至從前值。當然，亦可以針對一部分的參數選擇並確定變更後之值。
例如，在進行將基板處理裝置1設置於工廠並使其運轉開始用的啟動操作、或運轉開始後的維護操作時，操作者有的情況會暫時性地設定與生產步驟中所使用的條件不同的條件。
如此之情況的推薦操作順序，例如可決定如下。操作者係操作變更履歷記錄開始鍵41，來開始變更履歷記錄模 式。之後，依需要而變更參數之值。操作者係可以使用包含已變更值後之參數的暫時參數群DT，來進行基板處理裝置1之試驗運轉。在作業結束時，操作者係開啟參數變更履歷畫面40，並針對全部之已暫時變更後的全部參數進行確定操作。之後，操作者係操作變更履歷記錄結束鍵42，來結束變更履歷記錄模式。
特佳是以履行在操作開始時開始變更履歷記錄模式，在操作結束時結束變更履歷記錄模式的方式來決定作業順序。在本實施形態中，只要未針對已暫時變更後的參數之全部進行確定操作就無法結束變更履歷記錄模式。從而，可以迴避在存在有未確定之參數的狀態下完結操作。藉此，可以迴避將已暫時設定後的參數返回至原來之值的操作被省略。
又，在本實施形態中，能藉由狀態顯示區域43之著色顯示來表現是否在變更履歷記錄模式中的模式顯示、以及其中任一個參數是否已被變更的狀態顯示。藉此，操作者係可以明確地意識變更履歷記錄模式及參數之變更狀態。而且，由於狀態顯示區域43係配置於參數變更履歷畫面40，所以操作者係可以輕易地掌握參數之設定狀況及變更履歷之記錄狀況。
操作者係可以藉由操作變更履歷記錄開始鍵41來明確地意識操作開始，利用藉由狀態顯示區域43所表現的模式顯示及狀態顯示來明確地意識是在操作中，藉由操作變更履歷記錄結束鍵42來明確地意識操作結束。藉此，變得 容易履行操作順序，且可以抑制或防止操作遺漏。
其次，針對本發明之第二實施形態加以說明。
在本第二實施形態中，在參數變更履歷畫面40(參照圖6)係未設置有變更履歷記錄開始鍵41及變更履歷記錄結束鍵42。另一方面，每次參數值在參數編輯畫面50被變更而保存鍵53被操作時，電腦3都會製作變更履歷資訊並寫入於記憶部34，更具體而言是寫入於參數管理資料庫DB。變更履歷資訊係包含有關已變更後的參數之從前值及變更值、已變更後的操作者、及變更日期與時間的資訊。又，在本實施形態中，電腦3係不將參數值區別為暫時設定值和生產步驟用設定值。從而，當參數值在參數編輯畫面50(參照圖4)被變更而保存鍵53被操作時，電腦3就將該已變更後之參數值作為生產用參數群D1之相符的參數之值儲存於記憶部34。包含該已變更後之生產用參數群D1的裝置參數資料係寫入於參數管理資料庫DB。
圖8A及圖8B係用以說明有關參數之變更的操作者之操作及電腦之處理的流程圖。操作者係進行將顯示器33之顯示切換至參數變更履歷畫面的操作(步驟S41)。響應此，電腦3(更具體而言為CPU31。以下相同)係將參數變更履歷畫面(參照圖6)顯示於顯示器33(步驟S42)。在該參數變更履歷畫面中，操作者係藉由操作輸入裝置32，來指定變更履歷檢索條件，例如變更履歷檢索期間(步驟S43)，並指示變更履歷之檢索(步驟S44)。亦即，在此情況下，輸入裝置32，為檢索條件輸入手段之一例。當如此地指示變更履歷 之檢索時，電腦3就檢索參數管理資料庫DB之參數履歷資料H，並抽出參數變更履歷(步驟S45)，且將該變更履歷顯示於參數變更履歷畫面(步驟S46)。更具體而言，能抽出並顯示變更履歷檢索期間內的參數變更履歷。例如，亦可顯示在變更履歷檢索期間內已變更後的參數之最新值(現在值)和之前的設定值(從前值)。亦可針對在變更履歷檢索期間內已變更二次以上的參數，例如按照已變更後的時間序列來顯示二個以上的從前值。
此後的操作者之操作及電腦之處理係與圖7B的情況類似。當參照圖8B具體說明時，就可以在參數變更履歷畫面上藉由變更各個參數之值(從前值或最新值)的選擇狀態(步驟S50：是)，來暫時性地變更該參數之值。能生成包含如此之已暫時性地變更後的參數之值的暫時參數群DT，且儲存於記憶部34(步驟S51)。又，能形成表示該變更的暫時變更履歷資料HT(步驟S52)。暫時參數群DT係與第一實施形態的情況同樣，可以為了試驗運轉而使用。在參數之值已暫時性地變更時，電腦3係切換狀態顯示區域43之顯示狀態，並顯示參數已暫時性地變更(步驟S53)。例如，亦可用參數暫時變更顯示色(例如紅色)來顯示狀態顯示區域43(參照圖6)。
操作者係可以藉由操作參數確定操作部46(步驟S54：是)，來使選擇狀態之值反映至生產用參數群D1(步驟S55)。電腦3係設為從列表顯示部47(參照圖6)中刪除已確定後的參數，或表示是在確定狀態的顯示狀態(步驟S56)。表示 確定狀態的顯示狀態，例如亦可為灰色遮蔽相符的參數之行的顯示。又，電腦3係生成用以表示參數之變更內容的變更履歷資料，且加入於參數管理資料庫DB內的參數履歷資料H(步驟S57)。當針對已暫時變更後的參數之全部進行確定操作時(步驟S58：是)，電腦3就會將狀態顯示區域43(參照圖6)之顯示狀態，設為普通顯示狀態(步驟S59)。例如，狀態顯示區域43亦可用普通顯示色(例如白色)來顯示。
如此，依據本實施形態，在每次參數群被更新時，變更履歷資訊都會儲存於參數管理資料庫DB。在使參數之變更履歷資訊顯示時，操作者係指定變更履歷檢索條件，並檢索變更履歷資訊。藉此，與該變更履歷檢索條件相符的變更履歷資訊能從參數管理資料庫DB之參數履歷資料H中抽出並顯示於參數變更履歷畫面40。在該參數變更履歷畫面40中，操作者係可以依需要而針對全部或一部分的參數選擇過去的設定值。
雖然已針對本發明之二個實施形態加以說明，但是如同以下例示性地列舉般，本發明係可以更進一步以其他形態來實施。
1.在前述之實施形態中，雖然已嵌入於基板處理裝置1的電腦3是具有作為參數管理裝置的功能，但是亦可藉由與如此之嵌入式電腦3不同的電腦來構成參數管理裝置。如此的參數管理裝置係只要在必要時連接於基板處理裝置1即可。又，參數管理裝置，亦可以由透過網路連接於基 板處理裝置1的電腦所構成。
2.在參數變更履歷畫面40(參照圖6)中，亦可在操作參數確定操作部46並確定參數值之變更時，顯示(例如子母畫面(pop-up)顯示)認證對話(dialogue)。認證對話亦可具有署名欄及承認鍵，該署名欄係記入用以承認參數值變更確定的承認者之署名，該承認鍵係在署名後成為有效(active)。然後，亦可藉由承認鍵被操作，來容許參數值之變更。
3.亦可在變更履歷記錄開始鍵41被操作並開始變更履歷記錄模式時，或是之後參數之值被變更時，輸出警報。警報，例如亦可用顯示於顯示器33之畫面內所顯示的警報指示器(alarm indicator)來顯示。然後，亦可藉由變更履歷記錄模式結束來使警報消失。藉此，由於可以促使操作者來結束變更履歷記錄模式，所以可以迴避在必要的操作之後變更履歷記錄模式被維持。
4.亦可當執行基板處理而發生警報時，電腦3就將該警報之履歷資料儲存於記憶部34。在此情況下，電腦3較佳是將警報、和該警報即將發生之前的參數變更履歷(較佳為與該警報有關聯者)賦予連帶關係。藉此，可以輕易地調查警報與參數值變更之關聯。電腦3亦可將警報發生作為觸發器，並將其前面的參數變更履歷顯示於顯示器33。
5.在監視基板處理之結果(品質)並生成評估資料的情況下，電腦3亦可將其前面的參數變更履歷對該評估資料賦予連帶關係。藉此，只要在基板處理結果有變動，就可以輕易地調查與參數值之變更的關聯。電腦3亦可將評估 資料之生成作為觸發器，並將其前面的參數變更履歷顯示於顯示器33。
6.在前述之第二實施形態中，雖然可以指定檢索期間來檢索參數變更履歷，但是亦可以檢索與特定之警報關聯的變更履歷，或檢索與特定之單元關聯的變更履歷。檢索條件係未限於此等，亦可更進一步指定其他的檢索條件來檢索參數變更履歷。
7.在參數變更履歷畫面40中，不限於變更前與變更後之值不一致的參數，亦可記錄值已變更後的參數，結果，即便針對變更前後之值為相等的參數仍可將變更履歷資訊顯示於列表顯示部47。
本申請案係對應於2017年1月31日於日本特許廳所提出的特願2017-015922號，本申請案之全部揭示係藉由引用而編入於此。
雖然已針對本發明之實施形態加以詳細說明，但是此等只不過是為了明白本發明之技術內容所用的具體例，本發明不應被解釋限定於此等的具體例，本發明之範圍係僅藉由所附申請專利範圍所限定。

Claims (17)

  1. 一種參數管理裝置，係管理產業用裝置中之作為控制之基礎之包含複數個參數的參數群，且包含：登錄手段，係可供前述參數群登錄；參數編輯手段，用以變更前述參數之值；變更履歷記憶手段，用以記憶前述參數之變更履歷資訊；取得手段，用以取得已記憶於前述變更履歷記憶手段的前述參數之變更履歷資訊；顯示手段，用以顯示藉由前述取得手段所取得的複數個前述參數之變更履歷資訊；選擇輸入手段，係被操作者所操作而用以針對藉由前述顯示手段而顯示出的變更履歷資訊的參數之各個參數選擇是否反映變更；確定輸入手段，係被操作者所操作而用以確定前述操作者透過前述選擇輸入手段所選出之值；以及更新登錄手段，用以將包含藉由前述確定輸入手段所確定操作之值的參數群登錄於前述登錄手段；前述顯示手段係將藉由前述取得手段所取得的複數個前述參數之變更履歷資訊顯示於一張畫面；前述選擇輸入手段係被操作者所操作而用以針對藉由前述顯示手段而顯示出的變更履歷資訊的參數之各個參數在前述一張畫面內選擇是否反映變更。
  2. 一種參數管理裝置，係管理產業用裝置中之作為控制之基礎之包含複數個參數的參數群，且包含：登錄手段，係可供前述參數群登錄；參數編輯手段，用以變更前述參數之值；變更履歷記憶手段，用以記憶前述參數之變更履歷資訊；取得手段，用以取得已記憶於前述變更履歷記憶手段的前述參數之變更履歷資訊；顯示手段，用以顯示藉由前述取得手段所取得的複數個前述參數之變更履歷資訊；選擇輸入手段，係被操作者所操作而用以針對藉由前述顯示手段而顯示出的變更履歷資訊的參數之各個參數選擇是否反映變更；確定輸入手段，係被操作者所操作而用以確定前述操作者透過前述選擇輸入手段所選出之值；以及更新登錄手段，用以將包含藉由前述確定輸入手段所確定操作之值的參數群登錄於前述登錄手段；前述選擇輸入手段係包含個別選擇手段，該個別選擇手段係供操作者針對各個參數選擇：最後所輸入的最新值與作為已登錄於前述登錄手段之值的既登錄值之中任一個所用。
  3. 一種參數管理裝置，係管理產業用裝置中之作為控制之基礎之包含複數個參數的參數群，且包含：登錄手段，係可供前述參數群登錄；參數編輯手段，用以變更前述參數之值；變更履歷記憶手段，用以記憶前述參數之變更履歷資訊；取得手段，用以取得已記憶於前述變更履歷記憶手段的前述參數之變更履歷資訊；顯示手段，用以顯示藉由前述取得手段所取得的複數個前述參數之變更履歷資訊；選擇輸入手段，係被操作者所操作而用以針對藉由前述顯示手段而顯示出的變更履歷資訊的參數之各個參數選擇是否反映變更；確定輸入手段，係被操作者所操作而用以確定前述操作者透過前述選擇輸入手段所選出之值；以及更新登錄手段，用以將包含藉由前述確定輸入手段所確定操作之值的參數群登錄於前述登錄手段；前述選擇輸入手段係包含最新值批次選擇手段，該最新值批次選擇手段係供操作者針對藉由前述顯示手段而顯示出變更履歷的全部參數批次選擇最後所輸入的最新值所用。
  4. 一種參數管理裝置，係管理產業用裝置中之作為控制之基礎之包含複數個參數的參數群，且包含：登錄手段，係可供前述參數群登錄；參數編輯手段，用以變更前述參數之值；變更履歷記憶手段，用以記憶前述參數之變更履歷資訊；取得手段，用以取得已記憶於前述變更履歷記憶手段的前述參數之變更履歷資訊；顯示手段，用以顯示藉由前述取得手段所取得的複數個前述參數之變更履歷資訊；選擇輸入手段，係被操作者所操作而用以針對藉由前述顯示手段而顯示出的變更履歷資訊的參數之各個參數選擇是否反映變更；確定輸入手段，係被操作者所操作而用以確定前述操作者透過前述選擇輸入手段所選出之值；以及更新登錄手段，用以將包含藉由前述確定輸入手段所確定操作之值的參數群登錄於前述登錄手段；前述選擇輸入手段係包含既登錄值批次選擇手段，該既登錄值批次選擇手段係供操作者針對藉由前述顯示手段而顯示出變更履歷的全部參數批次選擇作為已登錄於前述登錄手段之值的既登錄值所用。
  5. 一種參數管理裝置，係管理產業用裝置中之作為控制之基礎之包含複數個參數的參數群，且包含：登錄手段，係可供前述參數群登錄；參數編輯手段，用以變更前述參數之值；變更履歷記憶手段，用以記憶前述參數之變更履歷資訊；取得手段，用以取得已記憶於前述變更履歷記憶手段的前述參數之變更履歷資訊；顯示手段，用以顯示藉由前述取得手段所取得的複數個前述參數之變更履歷資訊；選擇輸入手段，係被操作者所操作而用以針對藉由前述顯示手段而顯示出的變更履歷資訊的參數之各個參數選擇是否反映變更；確定輸入手段，係被操作者所操作而用以確定前述操作者透過前述選擇輸入手段所選出之值；以及更新登錄手段，用以將包含藉由前述確定輸入手段所確定操作之值的參數群登錄於前述登錄手段；前述變更履歷資訊係包含值已變更後的參數之參數識別資訊；前述參數管理裝置係更包含檢索手段，該檢索手段係利用前述參數識別資訊來排序或抽出藉由前述顯示手段所顯示的變更履歷資訊。
  6. 一種參數管理裝置，係管理產業用裝置中之作為控制之基礎之包含複數個參數的參數群，且包含：登錄手段，係可供前述參數群登錄；參數編輯手段，用以變更前述參數之值；變更履歷記憶手段，用以記憶前述參數之變更履歷資訊；取得手段，用以取得已記憶於前述變更履歷記憶手段的前述參數之變更履歷資訊；顯示手段，用以顯示藉由前述取得手段所取得的複數個前述參數之變更履歷資訊；選擇輸入手段，係被操作者所操作而用以針對藉由前述顯示手段而顯示出的變更履歷資訊的參數之各個參數選擇是否反映變更；確定輸入手段，係被操作者所操作而用以確定前述操作者透過前述選擇輸入手段所選出之值；以及更新登錄手段，用以將包含藉由前述確定輸入手段所確定操作之值的參數群登錄於前述登錄手段；前述變更履歷資訊係包含用以識別值已變更後之參數所涉及的前述產業用裝置之資源的資源識別資訊；前述參數管理裝置係更包含檢索手段，該檢索手段係利用前述資源識別資訊來排序或抽出藉由前述顯示手段所顯示的變更履歷資訊。
  7. 一種參數管理裝置，係管理產業用裝置中之作為控制之基礎之包含複數個參數的參數群，且包含：登錄手段，係可供前述參數群登錄；參數編輯手段，用以變更前述參數之值；變更履歷記憶手段，用以記憶前述參數之變更履歷資訊；取得手段，用以取得已記憶於前述變更履歷記憶手段的前述參數之變更履歷資訊；顯示手段，用以顯示藉由前述取得手段所取得的複數個前述參數之變更履歷資訊；選擇輸入手段，係被操作者所操作而用以針對藉由前述顯示手段而顯示出的變更履歷資訊的參數之各個參數選擇是否反映變更；確定輸入手段，係被操作者所操作而用以確定前述操作者透過前述選擇輸入手段所選出之值；以及更新登錄手段，用以將包含藉由前述確定輸入手段所確定操作之值的參數群登錄於前述登錄手段；前述變更履歷資訊係包含用以表示各個參數之值已變更後的時刻的時刻資訊；前述參數管理裝置係更包含檢索手段，該檢索手段係利用前述時刻資訊來排序或抽出藉由前述顯示手段所顯示的變更履歷資訊。
  8. 一種參數管理裝置，係管理產業用裝置中之作為控制之基礎之包含複數個參數的參數群，且包含：登錄手段，係可供前述參數群登錄；參數編輯手段，用以變更前述參數之值；變更履歷記憶手段，用以記憶前述參數之變更履歷資訊；取得手段，用以取得已記憶於前述變更履歷記憶手段的前述參數之變更履歷資訊；顯示手段，用以顯示藉由前述取得手段所取得的複數個前述參數之變更履歷資訊；選擇輸入手段，係被操作者所操作而用以針對藉由前述顯示手段而顯示出的變更履歷資訊的參數之各個參數選擇是否反映變更；確定輸入手段，係被操作者所操作而用以確定前述操作者透過前述選擇輸入手段所選出之值；更新登錄手段，用以將包含藉由前述確定輸入手段所確定操作之值的參數群登錄於前述登錄手段；以及履歷顯示抹除手段，係當藉由對前述確定輸入手段之確定操作所確定後的參數之值登錄於前述登錄手段時，就抹除該參數的變更履歷資訊之顯示。
  9. 一種參數管理裝置，係管理產業用裝置中之作為控制之基礎之包含複數個參數的參數群，且包含：登錄手段，係可供前述參數群登錄；參數編輯手段，用以變更前述參數之值；變更履歷記憶手段，用以記憶前述參數之變更履歷資訊；取得手段，用以取得已記憶於前述變更履歷記憶手段的前述參數之變更履歷資訊；顯示手段，用以顯示藉由前述取得手段所取得的複數個前述參數之變更履歷資訊；選擇輸入手段，係被操作者所操作而用以針對藉由前述顯示手段而顯示出的變更履歷資訊的參數之各個參數選擇是否反映變更；確定輸入手段，係被操作者所操作而用以確定前述操作者透過前述選擇輸入手段所選出之值；更新登錄手段，用以將包含藉由前述確定輸入手段所確定操作之值的參數群登錄於前述登錄手段；變更履歷記錄開始指示手段，係被操作者所操作而用以開始記錄參數之變更履歷的變更履歷記錄模式；以及變更履歷寫入手段，係在前述變更履歷記錄模式中，將前述參數之變更履歷資訊寫入於前述變更履歷記憶手段。
  10. 如請求項9所記載之參數管理裝置，其中更包含：模式指示器，用以顯示是否在前述變更履歷記錄模式中。
  11. 如請求項9所記載之參數管理裝置，其中更包含：狀態指示器，係在前述變更履歷記錄模式中，區別顯示任一個參數之變更履歷資訊皆未記憶於前述變更履歷記憶手段的第一狀態、和其中任一個參數之變更履歷資訊已記憶於前述變更履歷記憶手段的第二狀態。
  12. 如請求項9所記載之參數管理裝置，其中更包含：狀態指示器，係在前述變更履歷記錄模式中任一個參數之變更履歷皆未記憶於前述變更履歷記憶手段時用第一顏色來顯示，在前述變更履歷記錄模式中其中任一個參數之變更履歷已記憶於前述變更履歷記憶手段時用第二顏色來顯示，在非為前述履歷記錄模式時用第三顏色來顯示。
  13. 如請求項11所記載之參數管理裝置，其中前述狀態指示器係配置於藉由前述顯示手段而顯示前述參數之變更履歷資訊的畫面中。
  14. 如請求項9所記載之參數管理裝置，其中更包含：模式結束禁止手段，係在至少一個參數之值為未確定時，禁止前述變更履歷記錄模式之結束。
  15. 一種參數管理裝置，係管理產業用裝置中之作為控制之基礎之包含複數個參數的參數群，且包含：登錄手段，係可供前述參數群登錄；參數編輯手段，用以變更前述參數之值；變更履歷記憶手段，用以記憶前述參數之變更履歷資訊；取得手段，用以取得已記憶於前述變更履歷記憶手段的前述參數之變更履歷資訊；顯示手段，用以顯示藉由前述取得手段所取得的複數個前述參數之變更履歷資訊；選擇輸入手段，係被操作者所操作而用以針對藉由前述顯示手段而顯示出的變更履歷資訊的參數之各個參數選擇是否反映變更；確定輸入手段，係被操作者所操作而用以確定前述操作者透過前述選擇輸入手段所選出之值；更新登錄手段，用以將包含藉由前述確定輸入手段所確定操作之值的參數群登錄於前述登錄手段；變更履歷寫入手段，係當藉由前述更新登錄手段對前述登錄手段登錄已更新後的參數群時，就將前述參數之變更履歷資訊寫入於前述變更履歷記憶手段；以及檢索條件輸入手段，用以接收藉由操作者所為的變更履歷檢索條件之輸入；前述變更履歷取得手段係從前述變更履歷記憶手段取得與藉由前述檢索條件輸入手段所輸入的變更履歷檢索條件相符的變更履歷資訊。
  16. 如請求項1至15中任一項所記載之參數管理裝置，其中更包含：註解輸入手段，係供操作者輸入與前述變更履歷資訊賦予關聯的註解所用；以及註解記憶手段，用以記憶藉由前述註解輸入手段所輸入的註解；前述顯示手段係在註解顯示區域顯示前述註解。
  17. 一種電腦可讀取記錄媒體，係為了使包含輸入裝置、顯示裝置及記憶裝置的電腦作為請求項1至15中任一項所記載之參數管理裝置來作動，而記錄有已嵌入步驟群的電腦程式，以便控制前述輸入裝置、前述顯示裝置及前述記憶裝置。
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