CN110121683B - 参数管理装置 - Google Patents

Abstract

一种参数管理装置，其管理包含成为产业用装置的控制基础的多个参数的参数群。参数管理装置包含：登记单元，其登记上述参数群；参数编辑单元，其变更上述参数的值；变更履历存储单元，其存储上述参数的变更履历信息；取得单元，其取得存储于上述变更履历存储单元的上述参数的变更履历信息；显示单元，其显示通过上述取得单元取得的多个上述参数的变更履历信息；选择输入单元，其被操作者操作而用于针对通过上述显示单元显示了变更履历信息的各个参数选择是否反映变更；确定输入单元，其被操作者操作而用于确定上述操作者经由上述选择输入单元选择的值；以及更新登记单元，其将包含通过上述确定输入单元进行了确定操作的值的参数群登记于上述登记单元。

Description

参数管理装置

技术领域

本发明涉及管理产业用装置的控制基础的参数(parameter)群的参数管理装置、以及用于使计算机作为参数管理装置来作动的计算机程序(computer program)。

背景技术

产业用装置的一例是用于制造半导体组件(semiconductor device)的半导体制造装置。半导体制造装置构成为能够可变设定用于规定各种处理条件的多个参数的值。通过半导体制造装置的使用者、维护作业员等设定各个参数的值。半导体制造装置所备置的计算机按照所设定的参数来控制装置的各部，由此执行必要的处理。

专利文献1公开了一种容易再利用产业用装置的装置参数的参数管理装置。操作者能够对输入装置进行操作来变更装置参数群。当开始变更装置参数群时，当前的装置参数群退避至存储部的退避区域。当检测出装置参数群的变更完成时，已退避至退避区域的装置参数群被追加至参数履历中，且参数履历被更新。在未检测出装置参数群的变更完成时，已退避至退避区域的装置参数群回写至原来的区域作为当前的装置参数。

此外，专利文献1的参数管理装置具备当前的装置参数群与过去的装置参数群的比较功能。即，比较当前的装置参数群与从参数履历中取得的过去的装置参数群，将比较结果输出至显示器(display)。此时，参数值不同的部分被强调显示，由此，操作者可以轻易地辨识装置参数群的异同的详细内容。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-77175号公报

发明内容

发明要解决的课题

在为了获得最佳的处理条件而调整装置的阶段，需要变更多个参数的值并进行试行错误的作业。这样的作业在导入新的装置、变更装置的构成、变更处理内容、装置的维护时等被执行。操作者有装置的使用者的情况，此外也有从装置的制造厂商派遣来的维护操作者的情况。

试行性地变更的多个参数的值根据状况而处理方法有所不同。即，有批量适用为较佳的情况、仅适用一部分为较佳的情况、无论是哪一个值都不适用而是回复到从前的值为较佳的情况。

但是，在专利文献1的装置中，并未提供可以柔软地对应这样的各种状况而轻易地选择参数的适用/不适用的接口(interface)，且不一定成为使用方便性佳的构成。

于是，本发明的一目的是提供一种具备可以根据状况而轻易地执行参数值变更的适用/不适用的操作的接口的参数管理装置。

此外，本发明的另一目的是提供一种可以使计算机作为具备可以根据状况而轻易地执行参数值变更的适用/不适用的操作的接口的参数管理装置的计算机程序。

用于解决课题的手段

本发明提供一种管理包含成为产业用装置的控制基础的多个参数的参数群的参数管理装置。该参数管理装置包括：登记单元，其登记上述参数群；参数编辑单元，其变更上述参数的值；变更履历存储单元，其存储上述参数的变更履历信息；取得单元，其取得存储于上述变更履历存储单元的上述参数的变更履历信息；显示单元，其显示通过上述取得单元取得的多个上述参数的变更履历信息；选择输入单元，其被操作者操作而用于针对通过上述显示单元显示了变更履历信息的各个参数选择是否反映变更；确定输入单元，其被操作者操作而用于确定上述操作者经由上述选择输入单元选择的值；以及更新登记单元，其将包含通过上述确定输入单元进行了确定操作的值的参数群登记于上述登记单元。

根据该结构，通过显示单元显示多个参数的变更履历信息。针对该显示的多个参数的每一个，操作者可以选择是否反映变更，且可以确定该选出的值(变更前的值或变更后的值)。该确定的值被登记于登记单元。从而，操作者可以根据状况而选择应反映变更的参数，并予以确定。由此，可以提供能够根据状况而轻易地执行参数值变更的适用/不适用的接口。

在本发明的一实施方式中，上述显示单元将通过取得单元取得的多个上述参数的变更履历信息显示于一张画面(也可以包含滚动显示的部分)，上述选择输入单元被操作者操作而用于针对通过上述显示单元显示了变更履历信息的各个参数在一张画面内选择是否反映变更。根据该结构，将多个参数的变更履历信息通过显示单元显示于一张画面。针对显示于该一张画面的多个参数的各个参数，操作者可以在该一张画面内选择是否反映变更，且可以确定该选出的值(变更前的值或变更后的值)。将该确定的值登记于登记单元。因此，操作者能够根据状况在一张画面上选择应反映变更的参数，并予以确认。由此，能够提供根据状况容易地执行参数值变更的适用/不适用的接口。

在本发明的一实施方式中，上述选择输入单元包括：个别选择单元，其用于操作者针对各参数选择最后输入的最新值和登记于上述登记单元的值即已登记值中的某一个。根据该结构，能够针对各个参数个别地选择最新值以及已登记值中的某个，因此可以针对各个参数个别地指定变更的适用/不适用。优选，在上述一张画面上提供上述个别选择单元。

在本发明的一实施方式中，上述选择输入单元包括：最新值批量选择单元，其用于操作者针对通过上述显示单元显示了变更履历的全部参数批量选择最后输入的最新值。根据该结构，在显示的多个参数的变更履历信息中，可以批量选择最新值。由此，最新值的选择操作变得容易。例如，在针对多个参数选择最新值的情况下，只要在批量选择最新值之后，根据需要而针对某个参数个别地选择已登记值，就可以针对各个参数迅速地选择应适用的值。优选，在上述一张画面上提供上述最新值批量选择单元。

在本发明的一实施方式中，上述选择输入单元包括：已登记值批量选择单元，其用于操作者针对通过上述显示单元显示了变更履历的全部参数批量选择已登记于上述登记单元的值即已登记值。根据该结构，在显示的多个参数的变更履历信息中，可以批量选择已登记值。由此，已登记值的选择操作变得容易。例如，在针对多个参数选择已登记值的情况下，只要在批量选择已登记值之后，根据需要针对几个参数个别地选择最新值，就可以针对各个参数迅速地选择应适用的值。优选，在上述一张画面上提供上述已登记值批量选择单元。

在本发明的一实施方式中，上述变更履历信息包括值被变更的参数的参数识别信息，上述参数管理装置还包括：检索单元，其通过上述参数识别信息来排序(sort)或抽出由上述显示单元显示的变更履历信息。根据该结构，可以利用参数识别信息(例如参数名)来排序或抽出有关显示的多个参数的变更履历信息。由此，即便是在显示的参数的数目较多时，仍可以迅速地找出目标参数的变更履历信息。

在本发明的一实施方式中，上述变更履历信息包括识别与值被变更的参数相关的上述产业用装置的资源的资源识别信息，上述参数管理装置还包括：检索单元，其通过上述资源识别信息来排序或抽出由上述显示单元显示的变更履历信息。根据该结构，可以利用资源识别信息(例如资源名)来排序或抽出有关显示的多个参数的变更履历信息。由此，即便是在显示的参数的数目较多时，仍可以迅速地找出目标参数的变更履历信息。

在本发明的一实施方式中，上述变更履历信息包括表示各参数的值被变更的时刻的时刻信息，上述参数管理装置还包括：检索单元，其通过上述时刻信息来排序或抽出由上述显示单元显示的变更履历信息。根据该结构，可以利用参数的值被变更的时刻信息来排序或抽出有关显示的多个参数的变更履历信息。由此，即便是在显示的参数的数目较多时，仍可以迅速地找出目标参数的变更履历信息。

在本发明的一实施方式中，上述参数管理装置还包括：评论输入单元，其用于操作者输入与上述变更履历信息相关联的评论；以及评论存储单元，其存储通过上述评论输入单元输入的评论。然后，上述显示单元在评论显示区域显示上述评论。根据该结构，通过显示单元来显示操作者的评论。例如，操作者可以在变更了参数时，事先记录该变更的意图、变更的结果等任意的信息作为评论。由于操作者可以基于该评论来判断是否应反映变更，所以可以迅速地选择各个参数的适当的值(已登记值或最新值)。

优选，将上述评论显示区域配置于上述一张画面内。在该情况下，通过在一张画面一并显示变更履历信息以及评论，操作者就可以基于相同画面内的评论区域的显示来迅速地判断是否反映各个参数的变更。

在本发明的一实施方式中，上述参数管理装置还包括：履历显示删除单元，其在将通过针对上述确定输入单元的确定操作所确定的参数的值登记于上述登记单元时，删除该参数的变更履历信息的显示。根据该结构，当参数的值被确定时，能删除该参数的变更履历信息的显示。由此，由于操作者可以轻易地掌握未确定的变更履历信息，所以可以迅速地进行参数的选择以及确定操作。

变更履历信息的显示的清除除了清除该变更履历信息的显示以外，还包含以与未确定参数的变更履历信息不同的方式来显示已确定的参数的变更履历信息。所谓不同的方式，例如可以是在变更履历信息上重叠显示删除线，或利用预定的颜色(例如灰色(gray))等来屏蔽显示(mask display)变更履历信息的显示区域的方式。

在本发明的一实施方式中，上述参数管理装置还包括：变更履历记录开始指示单元，其被操作者操作而用于开始记录参数的变更履历的变更履历记录模式；以及变更履历写入单元，其在上述变更履历记录模式下，将上述参数的变更履历信息写入到上述变更履历存储单元中。根据该结构，当操作者指示变更履历记录模式的开始时，就开始变更履历记录模式。变更履历记录模式中，当参数的值被变更时，变更履历信息被写入到变更履历存储单元。例如，在想要临时变更参数的值时，只要使用变更履历记录模式，就可以记录参数的临时的变更履历。从而，在将临时设定的参数的值返回至原来的值时，可以显示有关被变更的多个参数的变更履历信息。然后，只要针对全部的参数选择变更前的值并进行确定操作，就可以将全部的参数的值返回至从前值(已登记值)。当然，对于一部分的参数，也可以选择变更后的值来确定。

在本发明的一实施方式中，上述参数管理装置还包括：模式指示器，其显示是否为上述变更履历记录模式中。根据该结构，由于能通过模式指示器来显示是否为变更履历记录模式中，所以操作者可以明确地辨识参数的变更履历信息已被记录。

在本发明的一实施方式中，状态指示器，其在上述变更履历记录模式下，区别显示第一状态和第二状态，其中，上述第一状态是任何参数的变更履历信息也没有存储于上述变更履历存储单元的状态，上述第二状态是将任一个参数的变更履历信息存储于上述变更履历存储单元的状态。根据该结构，通过状态指示器除了能显示是在变更履历记录模式中，还能显示其中任一个参数的变更履历信息是否存储于变更履历存储单元。由此，操作者可以明确地辨识参数是否被变更。

在本发明的一实施方式中，上述参数管理装置还包括：状态指示器，其在上述变更履历记录模式下任何参数的变更履历也没有存储于上述变更履历存储单元时用第一颜色来显示，在上述变更履历记录模式下将任一个参数的变更履历存储于上述变更履历存储单元时用第二颜色来显示，不是上述履历记录模式时用第三颜色来显示。通过状态指示器的显示色，能显示是否在变更履历记录模式中，其中任一个参数的变更履历信息是否存储于变更履历存储单元。由此，操作者可以明确地辨识参数管理装置的模式以及参数值变更的有无。

在本发明的一实施方式中，上述状态指示器被配置在通过上述显示单元显示上述参数的变更履历信息的画面中。根据该结构，状态指示器能显示于显示多个参数的变更履历信息的画面内。由此，操作者可以轻易地掌握参数的设定状况以及存储状况。

在本发明的一实施方式中，上述参数管理装置还包括：模式结束禁止单元，其在至少一个参数的值为未确定时，禁止上述变更履历记录模式的结束。根据该结构，在存在有值为未确定的参数时无法结束变更履历记录模式。由此，可以抑制或防止遗漏确定参数之的值的操作。

在本发明的一实施方式中，上述参数管理装置还包括：变更履历写入单元，其在通过上述更新登记单元将更新后的参数群登记于上述登记单元时，将上述参数的变更履历信息写入到上述变更履历存储单元中；以及检索条件输入单元，其接受由操作者进行的变更履历检索条件的输入。然后，上述变更履历取得单元从上述变更履历存储单元取得与通过上述检索条件输入单元输入的变更履历检索条件相应的变更履历信息。当被更新的参数群登记于登记单元时，变更履历信息被写入到变更履历存储单元。从而，在每次更新参数群时，都会储存变更履历信息。在显示参数的变更履历信息时，操作者从检索条件输入单元指定变更履历检索条件，并检索变更履历信息。由此，与该变更履历检索条件相符的变更履历信息能从变更履历存储单元取得并显示于显示单元。在该情况下，也能显示与多个参数有关的变更履历信息。

检索条件也可以包括检索期间。此外，检索条件还可以包括产业用装置所包含的特定的控制对象资源。并且，在产业用装置产生警报(alarm)(异常通报)的情况下，也能够将与该警报相关联的条件指定为检索条件。

本发明的一实施方式提供一种计算机程序，在该计算机可读取记录媒体中记录有编入了步骤群的计算机程序，以便使包含输入装置、显示装置以及存储装置的计算机作为具有上述特征的参数管理装置进行动作的方式控制上述输入装置、上述显示装置以及上述存储装置。由此，可以提供一种可以使计算机作为具备接口的参数管理装置来作动的计算机程序，该接口可以根据状况而轻易地执行参数值变更的适用/不适用的操作。

本发明的一实施方式提供一种记录有上述那样的计算机程序的计算机可读取记录媒体。

此外，本发明的一实施方式提供一种经由计算机加载上述那样的计算机程序来执行的计算机程序产品(computer program product)。

本发明中的上述或更进一步的其他的目的、特征及效果能参照附图并通过以下所述的实施方式的说明而变得明确。

附图说明

图1是用于说明作为产业用装置的一例的基板处理装置的电气构成的框图。

图2是用于说明装置参数数据的具体例的图。

图3是用于说明管理程序的构成例的功能框图。

图4表示参数编辑画面的一例。

图5表示用于选择参数编辑对象的单元的单元选择画面的一例。

图6表示参数变更履历画面的一例。

图7A是用于说明第一实施方式中的参数变更所涉及的操作者的操作以及计算机的处理的流程图。

图7B是用于说明第一实施方式中的参数变更所涉及的操作者的操作以及计算机的处理的流程图。

图8A是用于说明第二实施方式中的参数变更所涉及的操作者的操作以及计算机的处理的流程图。

图8B是用于说明第二实施方式中的参数变更所涉及的操作者的操作以及计算机的处理的流程图。

具体实施方式

所谓“产业用装置”是指事业中所用的装置，典型例是指产品的制造中所用的制造装置。“制造装置”除了加工对象物的装置以外，还包括检查装置、搬运装置、环境管理装置等。在“制造装置”中，例如包括半导体装置制造用的清洗装置、热处理装置、杂质导入装置、薄膜形成装置、光刻(lithography)装置、平坦化装置等。这些装置只不过是“制造装置”的例子，并非限制本发明的适用范围。

所谓“参数”是指用于规定产业用装置中的处理条件的装置参数。在参数中，例如有一边对旋转的基板(硅晶圆(silicon wafer)等)的被清洗面供给药液一边规定用于刷洗(brushing)被清洗面的清洗装置(scrubber；洗涤器)中的清洗液的流量的参数、用于规定被清洗面与供给药液的喷嘴的药液吐出口的距离的参数、用于规定硅晶圆的转速的参数等。但是，这些参数只不过是个例子，并非限制本发明的适用范围。

以下，参照附图来详细说明本发明的实施方式。

图1是用于说明作为产业用装置的一例的基板处理装置的电气构成的框图。基板处理装置1包括一个以上的单元2以及控制单元2的计算机3。在本实施方式中，计算机3是嵌入(内置)于基板处理装置1的嵌入式计算机(embedded computer)。单元2可以是处理基板的处理单元、搬运基板的搬运单元、供给基板处理用处理流体的流体供给单元等。计算机3控制单元2所具备的能够控制的资源(resource)。此外，在本实施方式中，计算机3还具有对用于控制资源的参数进行管理的作为参数管理装置的功能。

例如，单元2也可以是将处理液供给至基板并进行处理的液处理单元。逐片处理基板的单片型液处理单元例如包括：旋转夹盘(spin chuck)，其将基板水平保持地旋转；以及处理液喷嘴，其将处理液供给至由旋转夹盘所保持的基板。在该情况下，是使旋转夹盘旋转的电动马达、开闭往处理液喷嘴(nozzle)的处理液流路的阀(valve)、控制通过处理液流路的处理液的流量的流量控制器等能够控制的资源的例子。并且，旋转夹盘的转速以及旋转时间、处理液的供给时间以及流量等为参数的一例。

计算机3包含CPU(Central Processing Unit；中央处理单元)31、输入装置32、显示器33(显示设备)以及存储部34(存储装置)。更且，根据需要计算机3也可以具备能够连接外部存储装置4的接口35。输入装置32是如键盘(keyboard)、触控面板(touch panel)、指示设备(pointing device)等那样能够进行基于操作者的操作输入的人机界面(man-machineinterface)。显示器33是液晶面板等二维显示器，是对操作者提供信息的人机界面，即信息输出装置。作为信息输出装置，除了显示器33以外，也可以具备有打印机(printer)、声音输出装置等。存储部34由半导体存储器等的固态存储器、HDD(Hard Disk Drive；硬盘驱动器)、SSD(Solid State Drive；固态硬盘)等存储装置构成。

在存储部34的存储区域储存有程序P和数据D。程序P包括：控制程序P1，其用于为了执行基板处理而由计算机3控制单元2；以及管理程序P2，其用于管理既定单元2的处理条件的参数群(parameter group)。CPU31执行这些程序P1、P2，从而使计算机3作为用于实现各个功能的装置而动作。数据D包括装置参数数据ED，装置参数数据ED包括生产用参数群D1，该生产用参数群D1是在生产工序中确定单元2的动作条件、处理条件的参数群。此外，数据D包括作为临时被适用的参数群的临时参数群DT。数据D还包括表示临时参数群DT相对于生产用参数群D1的变动的临时变更履历数据HT。数据D还包括有体系地储存包含生产用参数群D1的装置参数数据ED的变更履历的参数管理数据库DB。在参数管理数据库DB中记录有表示包含生产用参数群D1的装置参数数据ED的过去的变更履历的参数履历数据H。

存储部34构成为即便计算机3的电源被切断，其存储内容即程序P以及数据D仍被保持。

外部存储装置4也可以由能够经由接口35装卸于计算机3的存储介质(removablestorage；可移动式储存器)构成。USB(Universal Serial Bus；通用串行总线)储存器、存储卡(memory card)、便携式HDD、便携式SDD等为典型例。

图2是用于说明装置参数数据的具体例的图。对应于基板处理装置1的装置参数数据ED包括作为各单元2的控制基础的生产用参数群D1、装置类型数据(type data)D2、装置识别信息(ID)D3、更新者数据D4、评论数据D5、更新日期时间数据D6、装置构成信息D7。装置类型数据D2表示基板处理装置1的种类。装置识别信息D3是用于识别基板处理装置1的固有数据。更新者数据D4是表示最后变更生产用参数群D1的操作者的数据。评论数据D5是在变更生产用参数群D1时操作者任意输入的数据。更新日期时间数据D6是表示最后变更生产用参数群D1的日期时间的数据。装置构成信息D7是表示构成基板处理装置1的单元2的数据。装置构成信息D7例如包括确定构成基板处理装置1的各单元2的单元名以及单元类型的数据。单元名数据是将各单元从其他的单元中识别的数据，单元类型数据是表示单元的种类的数据。

在装置构成信息D7所记述的每个单元2中记述构成生产用参数群D1的多个参数。对各单元2，包括规定该单元2执行的处理的条件等的一个以上的参数。各单元由单元名确定。对各单元名记述有一个以上的参数。各参数由参数名确定。参数名是参数识别信息。对各参数记述有参数值。

临时参数群DT的构成与生产用参数群D1的构成相同。

临时变更履历数据HT是表示从生产用参数群D1向临时参数群DT的变更履历的数据。若生产用参数群D1和临时参数群DT相等，临时变更履历数据HT为空。临时变更履历数据HT例如针对变更后的各参数包括变更后的日期时间(时刻信息)、对应的单元名、参数名、变更前的值、变更后的值。对于值多次被变更的参数，也可以包括多个变更前的值。在该情况下，变更后的值(最新值)可能与生产用参数群D1的对应的参数值相同。

图3是用于说明管理程序P2的构成例的功能框图，表示计算机3通过CPU31执行管理程序P2来提供的功能的概要。即，计算机3通过执行管理程序P2，而实质上具有多个功能处理部。但是，这并不意味着管理程序P2具有对应于多个功能处理部的单位部分。

多个功能处理部包括参数编辑部11、参数编辑画面显示部12、参数变更履历记录部13、参数变更履历取得部14、参数变更履历显示部15、参数选择输入接受部16、参数变更确定输入接受部17以及参数登记部18。此外，在本实施方式中，上述多个功能处理部包括登录级别(login level)管理部25、状态显示部26、参数检索部27以及模式迁移禁止部28。

参数编辑画面显示部12将参数编辑画面50显示于显示器33(参照图4)。操作者通过在显示参数编辑画面50的状态下操作输入装置32，能够编辑参数。参数编辑画面显示部12也可以将每个单元的参数编辑画面50显示于显示器33。在该情况下，能够以单元为单位来编辑参数。参数编辑部11是参数编辑单元的一例，根据在参数编辑画面50上进行的操作者的编辑输入，来变更展开于存储部34的生产用参数群D1以及临时参数群DT这双方、或仅临时参数群DT的参数值。

如后所述，在编辑参数时，可以设定变更履历记录模式。若变更履历记录模式未被设定，参数编辑部11根据操作者的编辑输入来变更生产用参数群D1以及临时参数群DT这双方的参数值。若变更履历记录模式已被设定，参数编辑部11根据操作者的编辑输入来变更临时参数群DT的参数值，不变更生产用参数群D1的参数值。

参数变更履历记录部13是变更履历写入单元的一例。参数变更履历记录部13将临时参数群DT相对于生产用参数群D1的变动(变更履历)作为临时变更履历数据HT而记录于存储部34。因此，参数变更履历记录部13在变更履历记录模式中，将参数的变更履历作为临时变更履历数据HT而记录于存储部34。并且，参数变更履历记录部13在生产用参数群D1的任一个参数值被变更时，将其参数名、变更前的参数值、变更后的参数值、变更时刻信息、变更后的操作员名等作为参数履历数据H而记录于参数管理数据库DB。

参数变更履历取得部14是取得临时变更履历数据HT或取得参数履历数据H的取得单元的一例。也可以不记录临时变更履历数据HT，而在必要时，参数变更履历取得部14比较生产用参数群D1与临时参数群DT，抽出值不同的参数来生成临时变更履历数据HT。

参数变更履历显示部15响应操作者进行的预定的输入操作，将参数变更履历画面40(参照图6)显示于显示器33。即，在本实施方式中，显示器33以及参数变更履历显示部15构成显示单元的一例。参数变更履历画面40一览显示临时变更后的参数的信息，即相当于临时变更履历数据HT的变更履历信息(参照图6)。在该显示时，参数变更履历取得部14取得临时变更履历数据HT。基于该取得的临时变更履历数据HT，参数变更履历显示部15制作参数变更履历画面40且显示于显示器33。

参数选择输入接受部16在参数变更履历画面40中，提供用于选择变更前的参数值或变更后的参数值的选择输入部20。选择输入部20是选择输入单元的一例。操作者通过操作选择输入部20，可以选择变更前或变更后的参数值。在本实施方式中，选择输入部20包括个别选择输入部21和批量选择输入部22。个别选择输入部21能够针对在参数变更履历画面40中提供的多个参数，个别地选择变更前或变更后的参数值。批量选择输入部22能够针对在参数变更履历画面40中提供的多个参数，批量选择变更前或变更后的参数值。参数选择输入接受部16也可将变更前的参数值或变更后的参数值中的任一个作为既定选择状态而显示于参数变更履历画面40。

参数变更确定输入接受部17在显示器33上提供用于确定在参数选择输入接受部16接受的参数值的确定输入部23。也可在参数变更履历画面40上提供这样的确定输入部23。确定输入部23是确定输入单元的一例。

参数登记部18响应在参数变更确定输入接受部17接受的确定输入，将确定的参数值改写成生产用参数群D1中的相应的值。由此，生产用参数群D1变化，因此参数变更履历记录部13对参数管理数据库DB写入参数履历数据H。这样，参数登记部18为更新登记单元的一例。

登录等级管理部25管理操作员的操作权限。操作者使用事先赋予的登录名及密码(password)来登录，从而能够利用管理程序P2的功能。针对每个登录名事先赋予登录等级。登录等级例如是管理者等级、一般运用者等级、维护技术者等级等。例如，仅在以一定以上的登录等级(例如管理者等级及维护技术者等级)的登录名登录的情况下，容许参数编辑功能及参数变更履历记录功能的利用。

状态显示部26针对参数变更履历画面40的状态显示区域43，进行是否是变更履历记录模式中的模式显示以及有关变更履历记录的状态显示。即，状态显示部26是模式指示器的一例，且是状态指示器的一例。有关状态显示区域43的显示的详细内容予以后述。

参数检索部27具有排序(sort)显示于参数变更履历画面40的参数变更履历，或检索满足特定条件的参数变更履历的功能。此外，参数检索部27也可以具有检索参数管理数据库DB的参数履历数据H的功能。具体而言，也可以从参数履历数据H中检索与操作者指定的检索条件(例如检索期间)相符的参数变更履历数据。参数检索部27是检索单元的一例。

模式迁移禁止部28是满足预定条件前禁止结束变更履历记录模式的结束的模式结束禁止单元的一例。具体而言，模式迁移禁止部28在临时参数群DT与生产用参数群D1不一致时，即至少一个参数的变更为未确定时，禁止变更履历记录模式的结束。

在计算机3执行控制程序P1时，CPU31使用临时参数群DT。但是，在生产用参数群D1与临时参数群DT之间有差异时，只容许试行性的基板处理运转，而禁止用于生产产品的基板处理运转。即，用于生产产品的基板处理以仅在生产用参数群D1与临时参数群DT一致时才被容许的方式来设计控制程序P1。

图4表示参数编辑画面50的一例。参数编辑画面50包括能够对一个单元进行设定的参数的一览，即参数列表(parameter list)51。参数列表51针对各个参数包括多个项目，即包括编号、类型(category)、参数名以及设定值。类型表示成为对象的处理内容。参数名表示设定对象的参数的名称。设定值为参数值。所谓参数的编辑是指变更设定值。

例如，腔室(chamber)清洗的类型所包含的参数有：表示腔室清洗的时间间隔的“间隔(分)”、以处理工作(process job：PJ)的数量来指定腔室清洗时的“间隔(PJ数)”、以载体(carrier)数来指定腔室清洗的间隔时的“间隔(载体数)”、以晶圆片数来指定腔室清洗的间隔时的“间隔(晶圆数)”、规定腔室清洗处理内容的“配方(recipe)编号”、用于设定以时间、载体数或晶圆数中某一个来指定腔室清洗的间隔的“定时(timing)指定”、以及指定腔室清洗开始触发器(trigger)的“触发器指定”等。

腔室清洗是对处理单元的腔室内部进行清洗的处理。处理工作是规定对一片或多片晶圆的处理的处理单位。一般而言，在一个处理工作中对多片晶圆指定共通的处理(配方)。载体是收纳多片晶圆的基板收纳器。处理对象的晶圆在收纳于载体的状态下设定于基板处理装置1。基板处理装置1从该所设定的载体中取出基板并进行处理。配方编号是事先储存于存储部34的配方的识别信息。配方是规定处理内容的信息。

在参数列表51的右侧配置有滚动按钮(scroll button)52。滚动按钮52包括往列表开头的跳转按钮(jump button)52H、往列表尾部的跳转按钮52E、前页滚动按钮52P、后页滚动按钮52S、往上1行移动按钮52U、以及往下1行移动按钮52D。并且，在参数编辑画面50具备：用于保存编辑后的参数值的保存按钮53；以及用于返回至之前的画面的返回按钮54。

在参数编辑画面50操作返回按钮54时，可以迁移至图5所示的单元选择画面60。单元选择画面60包括分别对应于多个单元的多个单元选择按钮61。当操作某个单元选择按钮61时，可以显示用于编辑所对应的单元的参数的参数编辑画面50(参照图4)。图4的参数编辑画面50例如是对应于液处理单元(MPC)的参数编辑画面。

在单元选择画面60配置有画面切换操作部70。在画面切换操作部70配置有单元选择画面显示按钮71、变更履历显示按钮72、导入按钮(import button)73以及导出按钮(export button)74等。

当操作导入按钮73时，迁移至用于导入装置参数数据的导入画面。当操作导出按钮74时，迁移至用于导出装置参数数据的导出画面。装置参数数据的导入源或导出目的地也可以是外部存储装置4。在外部存储装置4为可移动储存器的情况下，可以将在其他装置中设定的装置参数数据导入于基板处理装置1并再利用。此外，可以将在基板处理装置1中设定的装置参数数据写出至外部存储装置4，将该外部存储装置4安装于与基板处理装置1同种的其他基板处理装置，将装置参数数据导入到该其他基板处理装置并再利用。此外，在导入画面中也可以提供将在某一单元已设定的参数作为其他单元的参数来导入的功能。此时的导入源既可以是存储部34，也可以是生产用参数群D1或参数管理数据库DB。例如，也可以从参数管理数据库DB中选择某一单元的参数群来导入。由此，可以在单元间复制参数来使用。优选，针对来自外部存储装置4的参数群的导入也能够进行单元单位间的导入。

当操作变更履历显示按钮72时，显示画面迁移至参数变更履历画面40。

图6表示参数变更履历画面40的一例。参数变更履历画面40包括变更履历记录开始按钮41、变更履历记录结束按钮42、状态显示区域43(为了明确附记双重斜线来表示)、变更履历显示部44、参数选择操作部45(相当于图3的选择输入部20)、参数确定操作部46、画面切换操作部70、以及履历写出按钮80。画面切换操作部70的构成与单元选择画面60的情况相同。即，画面切换操作部70是在单元选择画面60以及参数变更履历画面40共同显示的部分。当显示参数变更履历画面40时若操作单元选择画面显示按钮71，显示画面迁移至单元选择画面60(参照图5)。

变更履历记录开始按钮41是指示参数的变更履历的记录的开始的按钮。当操作变更履历记录开始按钮41时，计算机3进入到变更履历记录模式。如上所述，在变更履历记录模式中，当变更参数值时，临时参数群DT的参数值会变更，而生产用参数群D1的参数值不会变更。并且，生产用参数群D1与临时参数群DT的差异记录于存储部34作为临时变更履历数据HT。若变更履历模式未被设定，当变更参数值时，与此对应地变更生产用参数群D1以及临时参数群DT这双方的相应的参数值。变更履历记录开始按钮41是变更履历记录开始指示单元的一例。

变更履历记录结束按钮42是指示参数的变更履历的记录的结束的按钮。当操作变更履历记录结束按钮42时，变更履历记录模式被解除。从而，此后即使在参数编辑画面50(参照图4)参数值被变更，也不会记录变更履历。即，当变更参数值时，该变更反映于生产用参数群D1以及临时参数群DT这双方。当在生产用参数群D1有变动时，该变动后的生产用参数群D1登记于参数管理数据库DB，且该变动的内容作为参数履历数据H而写入于参数管理数据库DB。

状态显示区域43是显示变更履历的记录状态的区域。例如，在变更履历记录模式中，在临时变更履历数据HT中并未记录任一个变更履历的状态下，即生产用参数群D1以及临时参数群DT相等的状态下，将状态显示区域着色成第一颜色(例如黄色)来表现。在变更履历记录模式中，在临时变更履历数据HT中记录了任一个参数的变更履历的状态下，即生产用参数群D1与临时参数群DT不同的状态下，将状态显示区域着色成第二颜色(例如红色)来表现。在不是变更履历记录模式时，状态显示区域呈第三颜色(例如白色)，表示不是变更履历的记录中。

变更履历显示部44包含：显示值被变更的参数的列表的列表显示部47；用于使列表显示部47滚动的多个滚动按钮48(滚动操作部)；参数详细显示栏65；以及评论输入栏66。

显示于列表显示部47的列表的各行包括多个项目，即编号、变更日期时间、单元名、参数名、变更前的参数值、以及变更后的参数值。能够用这些项目对显示于列表显示部47的列表进行排序。具体而言，各项目的显示部成为排序按钮47A至47E。利用输入装置32(例如指示设备)来操作这些排序按钮47A至47E中的任一个，将列表按照各个项目的升序或降序来排序。即，参数检索部27(参照图3)响应排序按钮47A至47E的操作来排序临时变更履历数据HT。该排序后的状态的临时变更履历数据HT显示于列表显示部47。

多个滚动按钮48包含往列表开头的跳转按钮48H、往列表尾部的跳转按钮48E、前页滚动按钮48P、后页滚动按钮48S、往上1行移动按钮48U以及往下1行移动按钮48D。在有多个参数的变更履历时，无法在列表显示部47显示全部参数的变更履历。在这样的情况下，可以操作滚动按钮48来显示目标参数的变更履历。图6中，以虚线表示能够滚动显示的变更履历的列表部分。能够滚动显示于列表显示部47的全部部分是构成一张画面的参数变更履历画面40的构成部分。

参数选择操作部45包括针对变更后的参数的列表的各行的参数值选择变更前的值的从前值个别选择按钮45P以及选择变更后的值的变更值个别选择按钮45N。这相当于个别选择输入部21(参照图3)。操作者操作滚动按钮48，使聚焦(focus)(例如，光标(cursor))移动至应选择值的行。在该状态下，当操作从前值个别选择按钮45P时选择变更前的值(从前值)，而操作变更值个别选择按钮45N时，选择变更后的值。各行的被选择的值以与未被选择的值不同的方式显示(例如着色显示)于显示器33，较佳是表现其选择状态。在操作者未进行选择操作的初始状态下，例如，选择变更后的值作为既定值，并显示其选择状态。当然，也可以按选择从前值作为既定值，并显示其选择状态的方式来设计程序。参数选择操作部45还可以具有针对列表中的全部的参数批量选择变更前的从前值的从前值批量选择按钮451、以及针对列表中的全部的参数批量选择变更后的值的变更值批量选择按钮452。这相当于批量选择输入部22(参照图5)。通过批量选择按钮451、452的操作，可以批量选择变更值，或批量选择从前值。从前值批量选择按钮451是已登记值批量选择单元的一例。变更值批量选择按钮452是最新值批量选择单元的一例。

各参数的从前值是生产用参数群D1所包含的该参数的值(已登记值)。另一方面，各参数的变更值是在参数编辑画面50(参照图4)中最后被输入的值(最新值)。构成临时参数群DT的参数的各值是在参数变更履历画面40的变更履历显示部44中，在选择状态下显示的值(从前值或变更值)。从而，只要在从前值与变更值之间变更选择状态，就能重写临时参数群DT的相应的参数的值。

参数确定操作部46相当于为了适用于产品的生产而用于确定通过参数选择操作部45的操作等而呈选择状态的参数值的确定输入部23(参照图3)。

参数确定操作部46也可以包括个别确定按钮460，该个别确定按钮460为了适用于产品生产而确定列表的各行、或一部分的被选出的多行的参数选择状态。例如，操作滚动按钮48并在一个参数的行配置了聚焦的状态下操作个别确定按钮460，由此可以针对该一个参数，确定选择状态的值(从前值或变更值)。此外，例如，使用指示设备等将多个参数选择为确定对象，且在该状态下操作个别确定按钮460，针对被选择为该确定对象的多个参数，确定选择状态的值(从前值或变更值)。响应这样的确定操作，生产用参数群D1的相应的参数的值被更新成该选择状态的值(从前值或变更值)。但是，在从前值为选择状态时，值保持从前值的状态。

此外，参数确定操作部46也可以包括批量确定按钮461，该批量确定按钮461是用于针对列表中的全部的参数，使各参数值批量地确定为选择状态的值(从前值或变更值)。通过操作批量确定按钮461，可以针对显示于列表显示部47的全部参数，批量确定选择状态的值(从前值或变更值)。响应这样的批量确定操作，生产用参数群D1的全部的参数的值被更新成选择状态的值(从前值或变更值)。但是，对于从前值为选择状态的参数而言，值保持从前值的状态。

当显示于列表显示部47的至少一个参数的值为未确定时，通过模式迁移禁止部28(参照图3)的作用，变更履历记录结束按钮42的操作不被接受。即，只要不是针对显示于列表显示部47的全部参数进行确定操作之后，就无法解除变更履历记录模式，状态显示区域43持续显示为变更履历记录模式。

参数详细显示栏65显示有关配置有聚焦的参数的详细信息。详细信息例如也可以是变更该参数后的日期时间、变更后的操作者、该参数的类型名、操作者的登录等级等。

评论输入栏66是针对配置有聚焦的参数，操作者使用输入装置32任意地输入评论的输入栏。表示所输入的评论的评论数据构成该参数的变更履历数据的一部分。输入装置32以及评论输入栏66是评论输入单元的一例。

履历写出按钮80是用于将作业后的参数的状态作为凭证(evidence)输出的按钮。凭证的一例为画面图像(screen image)。具体而言，通过保存显示于列表显示部47的一览、以及知道选择变更前、变更后的哪一个的状态的画面图像，可以留下作为实施了参数的检验操作(check operation)的凭证。该画面图像可以用作作业报告的凭证。虽然也可以取得显示于显示器33的状态的画面图像，但是每次取得都需要使画面滚动、或切换画面，且需要工时。于是，较佳是通过操作履历写出按钮80，使列表显示部47的整体包含能够滚动的部分并能够批量取得，由此能减轻操作者的负担。凭证既可以保存于装置，也可以保存于经由网络(network)连接的其他计算机。凭证也可以是文字(text)、CSV(Comma Separated Value；逗号分隔值)数据等。

图7A和图7B是用于说明参数的变更所涉及的操作者的操作以及计算机3的处理的流程图。在开始记录针对参数的临时变更的履历时，操作者使参数变更履历画面40(参照图6)显示，并操作变更履历记录开始按钮41(步骤S1)。由此，计算机3(更具体而言为CPU31。以下相同)将状态显示区域43的显示色设为第一颜色(例如黄色)，并显示在变更履历记录模式中(步骤S2)。在参数编辑画面50(参照图4)进行参数值的变更。具体而言，操作者操作单元选择画面显示按钮71(步骤S3)，使单元选择画面60(参照图5)显示于显示器33(步骤S4)，且选择欲变更参数值的单元(步骤S5)。由此，计算机3将用于编辑该被选出的单元的参数值的参数编辑画面50(参照图4)显示于显示器33(步骤S6)。操作者在该参数编辑画面50内，依需要而变更(编辑)参数值(步骤S7)。操作者操作保存按钮53(参照图4)时(步骤S8：是)，由此，计算机3将变更后的参数的值反映至临时参数群DT(步骤S9)。此时，在生产用参数群D1中并不反映该变更。并且，计算机3生成有关变更后的参数的临时变更履历数据HT，并记录于存储部34(步骤S10)。临时变更履历数据HT包括变更后的参数名、有关该参数的单元名、变更前的值(从前值)、变更后的值(更新值)、变更后的时刻以及变更后的操作者名等。当结束参数的编辑时，操作者操作返回按钮54(参照图4)(步骤S11：是)。响应这些，计算机3使单元选择画面60(参照图5)显示于显示器33(步骤S12)。

如此，变更后的参数成为临时设定参数，虽然在生产步骤中未被使用，但是在基板处理装置1的动作试验，即在用于试验基板处理装置1的动作的试验运转模式中被使用。

在确认参数的变更履历时，操作者操作变更履历显示按钮72(参照图5)(步骤S13)。响应这些，计算机3使参数变更履历画面40(参照图6)显示于显示器33(步骤S14)。计算机3从存储部34读出并取得临时变更履历数据HT(步骤S15)，且制作变更后的参数的列表并显示于列表显示部47(步骤S16)。计算机3更进一步判断临时变更履历数据HT是否为空，即生产用参数群D1与临时参数群DT的值是否有差异(步骤S17)。计算机3在至少存在一个值有差异的参数时，即临时变更履历数据HT为非空时(步骤S17：是)，用第二颜色(例如红色)来显示状态显示区域43，且显示是在变更履历记录模式中，并显示存在临时变更的参数(步骤S18)。另一方面，在临时变更履历数据HT为空，生产用参数群D1与临时参数群DT一致时(步骤S17：否)，计算机3用第一颜色(例如黄色)来显示状态显示区域43，且显示是在变更履历记录模式中，并显示不存在临时变更的参数(步骤S19)。

如此，操作者可以针对在操作变更履历记录开始按钮41之后变更了值的全部参数，在参数变更履历画面40中确认其从前值与变更后的值(更新值)。

并且，在参数变更履历画面40中，当在各个参数中的从前值与更新值之间变更选择状态时(步骤S20：是)，计算机3将成为该选择状态的值(从前值或变更值)作为临时参数群DT的相应的参数值而写入(步骤S21)。由此，可以将在试验运转模式中所适用的参数设定为从前值与更新值中的某一个。更且，计算机3按照选择状态的变更，来变更临时变更履历数据HT(步骤S22)。

参数值有仅应适用于试验运转时的值以及不仅应适用于试验运转时还应适用于产品生产时的值。例如，由于处理液的处理时间以及处理流量、旋转夹盘的转速及旋转时间等参数与处理内容有关，所以较多的情况下在试验时与生产时设定为不同的值。这样的参数在为了基板处理装置1的维护等而试验运转时临时被变更，试验运转结束后需要返回至从前的值。另一方面，与搬运基板的搬运机器人的动作有关的参数在试验运转时以及产品生产时，有时也有设为相同的值为恰当的情况。这样的参数在试验运转时变更，只要确认该值为适当，应该将变更后的值作为应适用于产品生产的值而进行登记。

因此，操作者在参数变更履历画面40中，针对记录有变更履历的所有参数，选择从前值以及更新值之中某一个，并确认选择状态是否适当。在该确认之后，操作者操作确定按钮460或461，个别或批量地确定参数(步骤S23)。响应该确定操作，计算机3将各参数的选择状态的值(从前值或变更值)作为生产用参数群D1的相应的参数的值而写入于存储部34(步骤S24)。计算机3设为从列表显示部47中删除被确定的参数，或表示确定状态的显示状态(步骤S25。履历显示删除单元的一例)。表示确定状态的显示状态，例如也可以是用以灰色遮蔽(gray masking)相应的参数的行的显示。此外，计算机3生成变更履历信息，并写入到存储部34，更具体而言写入到参数管理数据库DB(步骤S26)。变更履历信息包括变更后的参的从前值以及变更值、变更后的日期时间(进行确定操作的日期时间)、变更后的操作者名等。也可以根据临时变更履历数据HT来生成变更履历信息。

当针对显示于列表显示部47的全部参数进行确定操作时(步骤S27：是)，计算机3将状态显示区域43变更成第一颜色(例如黄色)(步骤S28)。由此，在变更履历记录模式中，显示不存在临时变更的参数。在该状态下，容许变更履历记录结束按钮42的操作(步骤S29)。之后，当操作者操作变更履历记录结束按钮42时(步骤S30)，计算机3解除变更履历记录模式，将状态显示区域43的颜色变更成第三颜色(例如白色)(步骤S31)。由此，能显示不是在变更履历记录模式中。

若不进行确定操作，编辑的参数值不会反映至生产用参数群D1，但是临时参数群DT的相应的参数的值会成为选择状态的值(从前值或变更值)。从而，能够进行使用该选择状态的参数值的试验运转。

当针对显示于参数变更履历画面40的列表显示部47的全部参数的值进行确定操作时，计算机3能够操作变更履历记录结束按钮42。换句话说，直至变更履历的记录开始之后进行针对值已被变更的全部参数的确定操作为止，变更履历记录结束按钮42被控制成不能操作的状态。在残留有未确定的参数的状态下操作了变更履历记录结束按钮42时，计算机3也可以对显示器33输出警报(alarm)显示来唤起注意。

计算机3也可以在直至变更履历记录结束按钮42被操作而离开变更履历记录模式为止，禁止用于生产产品的生产模式下的基板处理装置1的运转。例如，为了维护基板处理装置1而临时变更了多个参数的情况下，操作者也可以在参数变更履历画面40中操作从前值批量选择按钮451，接着操作批量确定按钮461。由此，可以使临时变更的全部参数批量返回至从前值。由此，可以避免遗忘临时变更的参数的返回。然后，通过禁止在变更履历的记录未结束的状态下的生产模式运转，能够避免试验运转用的处理条件被应用于产品用的基板中。由此，由于能够避免对产品用的基板的不适当的处理，从而能够避免浪费基板。

如上所述，在本实施方式中，在作为一张画面的参数变更履历画面40显示多个参数的变更履历。操作者可以针对显示于该一张画面的多个参数的各个参数选择是否反映变更，且确定该选出的值(变更前的值或变更后的值)。该确定的值被反映至生产用参数群D1，且登录于参数管理数据库DB。从而，操作者可以根据状况而在一张画面上选择并确定应反映变更的参数。由此，可以在基板处理装置1中具备根据状况容易执行参数值变更的适用/不适用的接口。

此外，通过操作参数变更履历画面40所具备的个别选择按钮45P、45N，能够针对各参数个别地选择变更值或从前值，因此能够针对各个参数个别地指定变更的适用/不适用。

此外，能够通过操作参数变更履历画面40所具备的从前值批量选择按钮451，针对全部参数批量选择从前值。由此，从前值的选择操作变得容易。例如，在针对多个参数选择从前值的情况下，只要在批量选择从前值之后，根据需要针对几个参数个别地选择变更值，就能够针对各个参数迅速地选择应适用的值。

此外，能够通过操作参数变更履历画面40所具备的变更值批量选择按钮452，针对全部参数批量选择变更值。由此，变更值的选择操作变得容易。例如，在针对多个参数选择变更值的情况下，只要在批量选择变更值之后，根据需要针对几个参数个别地选择从前值，就可以针对各个参数迅速地选择应适用的值。

此外，在本实施方式中，显示于参数变更履历画面40的参数变更履历可以通过变更日期时间(时刻信息)、单元名(资源识别信息)、参数名(参数识别信息)来排序。由此，即便是在所显示的参数的数目较多时，仍可以迅速地找出目标参数的变更履历信息。

此外，在本实施方式中，在参数变更履历画面40上设置有评论输入栏66(评论显示区域)，操作者可以输入与变更履历信息相关联的评论。例如，操作者可以在变更了参数时，事先记录该变更的意图、变更后的结果等任意的信息作为评论。该评论作为评论数据而构成变更履历数据的一部分。当输入了评论时，在显示参数变更履历画面40时，在该一张画面上除了显示变更履历信息以外还显示操作者的评论。由此，操作者在后面判断是否应反映变更时，可以参考该评论，因此可以迅速地选择各参数的适当的值(从前值或变更值)。

此外，在本实施方式中，当在参数变更履历画面40中进行确定参数的值的操作时，删除该参数的变更履历信息的显示。由此，操作者可以轻易地掌握未确定的变更履历信息，所以可以迅速地进行参数的选择及确定操作。

此外，在本实施方式中，通过操作变更履历记录开始按钮41可以开始记录值被临时变更的参数的变更履历(临时变更履历)的变更履历记录模式。然后，通过操作变更履历记录结束按钮42可以结束变更履历记录模式。在变更履历记录模式中记录的变更履历显示于作为一张画面的参数变更履历画面40。从而，在欲将临时设定的参数的值返回至原来的值时，只要开启参数变更履历画面40就可以使有关变更了的多个参数的变更履历信息显示于一张画面上。然后，只要针对全部的参数选择变更前的值并进行确定操作，就可以使全部的参数的值返回至从前值。当然，也可以针对一部分的参数选择并确定变更后的值。

例如，在进行将基板处理装置1设置于工厂并使其运转开始用的启动操作、或运转开始后的维护操作时，操作者有时会临时设定与生产步骤中所使用的条件不同的条件。

例如，按如下所述决定这样的情况下的推荐操作顺序。操作者操作变更履历记录开始按钮41来开始变更履历记录模式。之后，根据需要变更参数的值。操作者可以使用包含变更了值的参数的临时参数群DT，来进行基板处理装置1的试验运转。在作业结束时，操作者开启参数变更履历画面40，并针对全部的临时变更的全部参数进行确定操作。之后，操作者操作变更履历记录结束按钮42，来结束变更履历记录模式。

优选，以履行作业开始时开始变更履历记录模式，操作结束时结束变更履历记录模式的方式来决定作业顺序。在本实施方式中，只要未针对临时变更的全部参数进行确定操作就无法结束变更履历记录模式。从而，可以避免在存在未确定的参数的状态下结束操作。由此，可以避免使临时设定的参数返回至原来的值的操作被省略。

此外，在本实施方式中，通过状态显示区域43的着色显示来表现是否是变更履历记录模式中的模式显示、以及其中任一个参数是否被变更的状态显示。由此，操作者可以明确地意识变更履历记录模式以及参数的变更状态。而且，由于状态显示区域43配置于参数变更履历画面40，所以操作者可以轻易地掌握参数的设定状况以及变更履历的记录状况。

操作者通过操作变更履历记录开始按钮41来明确地意识作业开始，利用通过状态显示区域43的显示以及状态显示来明确地意识是在作业中，通过操作变更履历记录结束按钮42来明确地意识作业结束。由此，变得容易履行作业顺序，且可以抑制或防止操作遗漏。

接着，针对本发明的第二实施方式进行说明。

在该第二实施方式中，在参数变更履历画面40(参照图6)上未设置有变更履历记录开始按钮41以及变更履历记录结束按钮42。另一方面，每次在参数编辑画面50上变更参数值并操作保存按钮53时，计算机3会制作变更履历信息并写入于存储部34，更具体而言是写入于参数管理数据库DB。变更履历信息包括有关变更后的参数的从前值及变更值、变更的操作者、以及变更日期时间的信息。此外，在本实施方式中，计算机3不将参数值区别为临时设定值和生产步骤用设定值。从而，当在参数编辑画面50(参照图4)上变更参数值并操作保存按钮53时，计算机3将该变更后的参数值作为生产用参数群D1的相应的参数的值而储存于存储部34。包含该变更后的生产用参数群D1的装置参数数据被写入到参数管理数据库DB。

图8A和图8B是用于说明参数的变更所涉及的操作者的操作以及计算机的处理的流程图。操作者进行将显示器33的显示切换至参数变更履历画面的操作(步骤S41)。响应这些，计算机3(更具体而言为CPU31。以下相同)将参数变更履历画面(参照图6)显示于显示器33(步骤S42)。在该参数变更履历画面上，操作者通过操作输入装置32来指定变更履历检索条件，例如指定变更履历检索期间(步骤S43)，并指示变更履历的检索(步骤S44)。即，在该情况下，输入装置32为检索条件输入单元的一例。当这样指示变更履历的检索时，计算机3检索参数管理数据库DB的参数履历数据H，并抽出参数变更履历(步骤S45)，且将该变更履历显示于参数变更履历画面(步骤S46)。更具体而言，抽出并显示变更履历检索期间内的参数变更履历。例如，也可以显示在变更履历检索期间内变更的参数的最新值(当前值)和之前的设定值(从前值)。也可以针对在变更履历检索期间内变更二次以上的参数，例如按照变更的时间序列来显示二个以上的从前值。

之后的操作者的操作以及计算机的处理与图7B的情况类似。当参照图8B具体说明时，在参数变更履历画面上通过变更各参数的值(从前值或最新值)的选择状态(步骤S50：是)，能够临时变更该参数的值。生成包含这样的临时变更后的参数的值的临时参数群DT，且储存于存储部34(步骤S51)。此外，形成表示该变更的临时变更履历数据HT(步骤S52)。临时参数群DT与第一实施方式的情况同样地，可以为了试验运转而使用。在参数的值被临时变更时，计算机3切换状态显示区域43的显示状态，并显示参数被临时变更(步骤S53)。例如，也可以用参数临时变更显示色(例如红色)来显示状态显示区域43(参照图6)。

操作者可以通过操作参数确定操作部46(步骤S54：是)，将选择状态的值反映至生产用参数群D1(步骤S55)。计算机3设为从列表显示部47(参照图6)中删除确定的参数，或表示是在确定状态的显示状态(步骤S56)。表示确定状态的显示状态例如也可以是灰色遮蔽相应的参数的行的显示。此外，计算机3生成表示参数的变更内容的变更履历数据，且加入到参数管理数据库DB内的参数履历数据H(步骤S57)。当针对临时变更后的全部参数进行确定操作时(步骤S58：是)，计算机3将状态显示区域43(参照图6)的显示状态设为普通显示状态(步骤S59)。例如，也可以用普通显示色(例如白色)来显示状态显示区域43。

这样，根据本实施方式，在每次更新参数群时，变更履历信息储存于参数管理数据库DB。在显示参数的变更履历信息时，操作者指定变更履历检索条件，并检索变更履历信息。由此，与该变更履历检索条件相应的变更履历信息从参数管理数据库DB的参数履历数据H中被抽出并显示于参数变更履历画面40。在该参数变更履历画面40中，操作者也可以根据需要针对全部或一部分的参数选择过去的设定值。

虽然针对本发明的二个实施方式进行了说明，但是如同以下例示性地列举般，本发明还可以用其他方式来实施。

1.在上述的实施方式中，虽然嵌入于基板处理装置1的计算机3具有作为参数管理装置的功能，但是也可以通过与这样的嵌入式计算机3不同的计算机来构成参数管理装置。这样的参数管理装置只要在必要时连接于基板处理装置1即可。此外，参数管理装置也可以由经由网络连接于基板处理装置1的计算机构成。

2.在参数变更履历画面40(参照图6)中，在操作参数确定操作部46来确定参数值的变更时，也可以显示(例如弹出(pop-up)显示)认证对话(dialogue)。认证对话也可以具有署名栏和承认按钮，该署名栏记入用于承认参数值变更确定的承认者的署名，该承认按钮在署名后成为有效(active)。然后，可以通过擦做承认按钮，来容许参数值的变更。

3.在操作变更履历记录开始按钮41而开始了变更履历记录模式时，或是之后变更了参数的值时，也可以输出警报。警报例如也可以用显示于显示器33的画面内所显示的警报指示器(alarm indicator)来显示。并且，也可以通过结束变更履历记录模式来使警报消失。由此，可以促使操作者结束变更履历记录模式，因此可以避免在必要的操作之后维持变更履历记录模式。

4.当执行基板处理时若发生警报，计算机3也可以将该警报的履历数据储存于存储部34。在该情况下，计算机3优选将警报和该警报发生之前的参数变更履历(优选与该警报有关联者)关联起来。由此，可以轻易地调查警报与参数值变更的关联。计算机3也可以将警报发生作为触发器，将其之前的参数变更履历显示于显示器33。

5.在监视基板处理的结果(质量)并生成评价数据的情况下，计算机3也可以将其之前的参数变更履历与该评价数据关联起来。由此，只要在基板处理结果有变动，就可以轻易地调查与参数值的变更的关联。计算机3也可以将评价数据的生成作为触发器，并将其之前的参数变更履历显示于显示器33。

6.在上述的第二实施方式中，虽然可以指定检索期间来检索参数变更履历，但是也可以检索与特定的警报关联的变更履历，或检索与特定的单元关联的变更履历。检索条件并未限于这些，也可以进一步指定其他的检索条件来检索参数变更履历。

7.在参数变更履历画面40中，不限于变更前与变更后的值不一致的参数，记录值被变更后的参数，结果，也可以针对变更前后的值为相等的参数仍可以将变更履历信息显示于列表显示部47。

本申请对应于2017年1月31日向日本特许厅所提出的特愿2017-015922号，本申请案的全部通过引用而编入于此。

针对本发明的实施方式进行了详细说明，但是这些只不过是为了明白本发明的技术内容所用的具体例，本发明不应被解释限定于这些的具体例，本发明的范围仅通过请求专利保护的范围来限定。

Claims (17)

1.一种参数管理装置，其管理包含成为产业用装置的控制基础的多个参数的参数群，其特征在于，

上述参数群包括生产用参数群和临时参数群，该生产用参数群规定生产工序中的上述产业用装置的动作条件，该临时参数群的构成与上述生产用参数群相同，且临时在试验上述产业用装置的动作的试验运转模式下被适用，

该参数管理装置包括：

登记单元，其登记上述参数群；

参数编辑单元，其不变更上述生产用参数群中的上述参数的值，变更上述临时参数群中的上述参数的值；

变更履历存储单元，其存储表示上述临时参数群相对于上述生产用参数群的变动且包括变更前和变更后的参数值的上述参数的变更履历信息；

取得单元，其取得存储于上述变更履历存储单元的上述参数的变更履历信息；

显示单元，其显示通过上述取得单元取得的多个上述参数的变更履历信息；

选择输入单元，其包括个别输入选择部和批量输入选择部，上述个别输入选择部能够针对多个上述参数，个别地选择变更前或变更后的参数值，上述批量输入选择部能够针对多个上述参数，批量地选择变更前或变更后的参数值，上述选择输入单元被操作者操作而用于针对通过上述显示单元显示了变更履历信息的各个参数，个别或批量地选择是否反映变更，并将反映了变更的参数反映到上述临时参数群；

确定输入单元，其被操作者操作而用于确定上述操作者经由上述选择输入单元选择的值；以及

更新登记单元，其将包含通过上述确定输入单元进行了确定操作的值的参数群反映到上述生产用参数群并登记于上述登记单元，

上述显示单元将通过上述取得单元取得的多个上述参数的变更履历信息显示于一张画面，

上述选择输入单元被操作者操作而用于针对通过上述显示单元显示了变更履历信息的各个参数在上述一张画面内个别或批量地选择是否反映变更，

通过上述选择输入单元反映了变更的上述临时参数群的参数在上述试验运转模式下被适用。

2.根据权利要求1所述的参数管理装置，其特征在于，

上述确定输入单元配置为能够在上述一张画面内操作。

3.根据权利要求1所述的参数管理装置，其特征在于，

上述选择输入单元包括：个别选择单元，其用于操作者针对各参数选择最后输入的最新值和登记于上述登记单元的值即已登记值中的某一个。

4.根据权利要求1所述的参数管理装置，其特征在于，

上述选择输入单元包括：最新值批量选择单元，其用于操作者针对通过上述显示单元显示了变更履历的全部参数批量选择最后输入的最新值。

5.根据权利要求1所述的参数管理装置，其特征在于，

上述选择输入单元包括：已登记值批量选择单元，其用于操作者针对通过上述显示单元显示了变更履历的全部参数批量选择已登记于上述登记单元的值即已登记值。

6.根据权利要求1所述的参数管理装置，其特征在于，

上述变更履历信息包括值被变更的参数的参数识别信息，

上述参数管理装置还包括：检索单元，其通过上述参数识别信息来排序或抽出由上述显示单元显示的变更履历信息。

7.根据权利要求1所述的参数管理装置，其特征在于，

上述变更履历信息包括识别与值被变更的参数相关的上述产业用装置的资源的资源识别信息，

上述参数管理装置还包括：检索单元，其通过上述资源识别信息来排序或抽出由上述显示单元显示的变更履历信息。

8.根据权利要求1所述的参数管理装置，其特征在于，

上述变更履历信息包括表示各参数的值被变更的时刻的时刻信息，

上述参数管理装置还包括：检索单元，其通过上述时刻信息来排序或抽出由上述显示单元显示的变更履历信息。

9.根据权利要求1所述的参数管理装置，其特征在于，

上述参数管理装置还包括：

评论输入单元，其用于操作者输入与上述变更履历信息相关联的评论；以及

评论存储单元，其存储通过上述评论输入单元输入的评论，

上述显示单元在评论显示区域显示上述评论。

10.根据权利要求1所述的参数管理装置，其特征在于，

上述参数管理装置还包括：履历显示删除单元，其在将通过针对上述确定输入单元的确定操作所确定的参数的值登记于上述登记单元时，删除该参数的变更履历信息的显示。

11.根据权利要求1所述的参数管理装置，其特征在于，

上述参数管理装置还包括：

变更履历记录开始指示单元，其被操作者操作而用于开始记录参数的变更履历的变更履历记录模式；以及

变更履历写入单元，其在上述变更履历记录模式下，将上述参数的变更履历信息写入到上述变更履历存储单元中。

12.根据权利要求11所述的参数管理装置，其特征在于，

上述参数管理装置还包括：模式指示器，其显示是否为上述变更履历记录模式中。

13.根据权利要求11所述的参数管理装置，其特征在于，

上述参数管理装置还包括：状态指示器，其在上述变更履历记录模式下，区别显示第一状态和第二状态，其中，上述第一状态是任何参数的变更履历信息也没有存储于上述变更履历存储单元的状态，上述第二状态是将任一个参数的变更履历信息存储于上述变更履历存储单元的状态。

14.根据权利要求11所述的参数管理装置，其特征在于，

上述参数管理装置还包括：状态指示器，其在上述变更履历记录模式下任何参数的变更履历也没有存储于上述变更履历存储单元时用第一颜色来显示，在上述变更履历记录模式下将任一个参数的变更履历存储于上述变更履历存储单元时用第二颜色来显示，不是上述履历记录模式时用第三颜色来显示。

15.根据权利要求13所述的参数管理装置，其特征在于，

上述状态指示器被配置在通过上述显示单元显示上述参数的变更履历信息的画面中。

16.根据权利要求11所述的参数管理装置，其特征在于，

上述参数管理装置还包括：模式结束禁止单元，其在至少一个参数的值为未确定时，禁止上述变更履历记录模式的结束。

17.一种计算机可读取记录媒体，其特征在于，

在该计算机可读取记录媒体中记录有编入了步骤群的计算机程序，以便使包含输入装置、显示装置以及存储装置的计算机作为权利要求1至16中任一项所述的参数管理装置进行动作的方式控制上述输入装置、上述显示装置以及上述存储装置。

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