KR20220097178A - 공정 레시피 생성 방법 - Google Patents

공정 레시피 생성 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20220097178A
KR20220097178A KR1020210121248A KR20210121248A KR20220097178A KR 20220097178 A KR20220097178 A KR 20220097178A KR 1020210121248 A KR1020210121248 A KR 1020210121248A KR 20210121248 A KR20210121248 A KR 20210121248A KR 20220097178 A KR20220097178 A KR 20220097178A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
unit
units
recipe
selection unit
activated
Prior art date
Application number
KR1020210121248A
Other languages
English (en)
Inventor
이병훈
배성한
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Publication of KR20220097178A publication Critical patent/KR20220097178A/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67276—Production flow monitoring, e.g. for increasing throughput
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/409—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by using manual data input [MDI] or by using control panel, e.g. controlling functions with the panel; characterised by control panel details or by setting parameters
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/45—Nc applications
    • G05B2219/45031—Manufacturing semiconductor wafers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • General Factory Administration (AREA)

Abstract

공정 레시피 생성 방법에 있어서, 공정 유닛이 유저 인터페이스 화면 상에 표시된 공정들 중 적어도 하나를 선택하고, 상기 선택된 공정과 관련된 공정 유닛만을 활성화한다. 상기 활성화된 유닛들 중 적어도 하나의 제1 선택 유닛으로 선택하고, 상기 제1 선택 유닛에 대하여 제1 공정 레시피를 설정한다. 이로써, 공정 레시피가 작업자에 의하여 용이하게 생성될 수 있다.

Description

공정 레시피 생성 방법{METHOD OF GENERATING A RECIPE OF PROCESS}
본 발명의 실시예들은 공정 레시피 생성 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 작업자가 용이하게 공정 레시피를 선택하여 생성할 수 있는 공정 레시피 생성 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조 설비 예를 들어, 포토리소그라피 공정을 처리하는 스피너 시스템은 공정을 처리하는 다수의 프로세스 모듈과, 웨이퍼 이송을 위한 트랜스퍼 모듈을 구비한다. 프로세스 모듈은 예컨대 코터, 디벨로퍼, 베이커 및 노광 장치 등으로 구성되며 트랜스퍼 모듈은 다수의 이송 로봇들을 포함한다. 이들 프로세스 모듈들과 트랜스퍼 모듈들은 네트워크를 통해 연결된 제어 장치에 의해 제어된다.
상기 프로세스 모듈이 수행하는 각 공정별 레시피 생성을 위하여, 컨트롤 화면 상에 리스트 형식으로 개별 단계들을 추가함으로써 이루어진다. 특히, 각 공정별 공정 유닛의 타입을 선택하여 상기 공정 유닛을 반복적으로 입력한다.
하지만, 상기 공정 유닛을 반복적으로 입력하기 위한 유저 인터페이스 내에 상기 유닛을 선택하기 위해 필요한 작업이 요구된다. 또한, 상기 공정 유닛에 대한 정보가 단순히 텍스트로 표시되어 시인성이 악화되는 문제가 있다.
본 발명의 실시예들은 별도의 유저 인터페이스의 조작없이 레이아웃에 따라 화면 상에 표시된 유닛을 용이하게 선택할 수 있는 공정 레시피 생성 방법을 제공한다.
본 발명의 실시예들에 따른 공정 레시피 생성 방법에 있어서, 공정 유닛이 유저 인터페이스 화면 상에 표시된 공정들 중 적어도 하나를 선택하고, 상기 선택된 공정과 관련된 공정 유닛만을 활성화한다. 상기 활성화된 유닛들 중 적어도 하나의 제1 선택 유닛으로 선택하고, 상기 제1 선택 유닛에 대하여 제1 공정 레시피를 설정한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 활성화된 유닛들 중 적어도 하나의 제1 선택 유닛으로 선택하는 단계는 태핑 또는 클릭 방식으로 수행될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 활성화된 유닛들 중 적어도 하나의 제1 선택 유닛으로 선택하는 단계는 복수의 활성화된 공정 유닛들을 선택할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 공정 유닛의 레이아웃에 따라 표시된 유저 인터페이스 화면 상에 공정 유닛을 표시할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 각 공정들은 색상 및 숫자로 구분되어 화면 상에 표시될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 선택 유닛을 제외한 나머지 유닛들을 화면 상에 추가적으로 활성화하고, 상기 활성화된 유닛들 적어도 하나의 유닛을 제2 선택 유닛으로 선택한 후, 상기 제2 선택 유닛에 대한 제2 공정 레시피를 설정할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 복수의 제1 선택 유닛들은 웨이퍼의 이동 경로에 따라 유저 인터페이스 화면 상에 순차적으로 배열될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 공정 유닛의 레이아웃에 따라 화면 상에 표시된 유닛들 중 선택된 제1 선택 공정과 관련된 유닛만을 활성화하고, 상기 활성화된 유닛들 중 적어도 하나의 유닛을 선택하여 상기 선택된 유닛에 대하여 제1 공정 레시피를 설정할 수 있다. 이로써, 레이아웃에 따라 표시된 유닛들 중 활성화된 유닛만을 선택적으로 선택하여 공정 레시피를 설정할 수 있다.
또한, 레이아웃에 따라 표시된 유닛들이 화면 상에 표시됨으로써, 작업자의 시인성이 개선될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 스케줄링 시스템을 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 공정 레시피 설정 장치의 블록도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 레시피 설정 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 4는 도 2의 입출력 수단에 포함된 유저 인터페이스 화면을 캡쳐한 사진이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 스케줄링 시스템을 나타낸 도면이다.
도 1을 참조하면, 공정 스케줄링 시스템(10)은 반도체 공정 설비(100) 및 공정 레시피 설정 장치(200)를 포함하여 구성된다.
반도체 공정 설비(100)는 반도체 부품 또는 디스플레이 부품에 대한 공정을 수행할 수 있다. 예를 들어, 반도체 공정 설비(100)는 사진, 식각, 애싱, 이온주입, 박막 증착 또는 세정 등의 공정을 수행할 수 있다.
각각의 반도체 공정 설비(100)는 작업을 수행하는 복수의 공정 유닛을 구비하여 고유한 공정을 수행할 수 있다. 복수의 유닛은 해당 반도체 공정 설비(100)의 고유한 공정을 위하여 적절히 배치되어 작업을 수행할 수 있다.
공정 레시피 설정 장치(200)는 반도체 공정 설비(100)의 동작에 대한 레시피를 설정할 수 있다. 반도체 공정 설비(100)는 공정 레시피 설정 장치(200)의 레시피에 의해 작업 순서가 결정되어 작업을 수행할 수 있는 것이다.
공정 레시피 설정 장치(200)는 각 반도체 공정 설비(100)별로 레시피를 수행할 수 있다. 각 반도체 공정 설비(100)는 공정 레시피 설정 장치(200)에 의하여 생성된 레시피에 의해 작업을 수행할 수 있다. 또는, 본 발명이 몇몇 실시예에 따르면 공정 레시피 설정 장치(200)는 적어도 일부의 반도체 공정 설비(100)에 대한 스케줄링을 수행할 수도 있다. 복수의 반도체 공정 설비(100)는 공정 레시피 설정 장치(200)의 스케줄링에 의해 연동하여 작업을 수행할 수 있다.
도 1은 하나의 공정 레시피 설정 장치(200)가 복수의 반도체 공정 설비(100)에 대한 스케줄링을 수행하는 것으로 도시하고 있으나, 이는 예시적인 것으로서 복수의 공정 레시피 설정 장치(200)가 복수의 반도체 공정 설비(100)에 대한 스케줄링을 수행할 수도 있다. 예를 들어, 각 반도체 공정 설비(100)별로 공정 레시피 설정 장치(200)가 구비될 수도 있다. 이하, 하나의 공정 레시피 설정 장치(200)가 복수의 반도체 공정 설비(100)에 대한 스케줄링을 수행하는 것을 위주로 설명하기로 한다.
도 2는 도 1에 도시된 공정 레시피 설정 장치의 블록도이다.
도 2를 참조하면, 공정 레시피 설정 장치(200)는 시스템 버스(210), 프로세서(220), 메모리(230), 스토리지(240), 네트워크 인터페이스(250), 입출력 수단(260)을 포함한다.
시스템 버스(210)는 프로세서(220), 메모리(230), 스토리지(240), 네트워크 인터페이스(250) 및 입출력 수단(260) 간의 데이터 송수신 통로 역할을 수행할 수 있다.
메모리(230)는 예를 들어 램(RAM; Random Access Memory)과 같은 휘발성 데이터 저장 장치를 포함할 수 있다.
스토리지(240)는 플래시 메모리(Flash Memory) 또는 하드 디스크와 같은 비휘발성 데이터 저장 장치를 포함할 수 있다.
스토리지(240)는 스케줄링에 필요한 정보를 저장한다. 예를 들면 스토리지(240)는 유닛 정보, 작업 정보, 웨이퍼 정보 및 레시피 정보 등을 포함할 수 있다.
스토리지(240)는 스케줄 정보(241), 알고리즘(241), 설비 특화 정보(243) 및 어플리케이션(241)의 실행 코드를 저장할 수 있다.
스케줄 정보(241)는 스케줄러의 생성에 필요한 기본 정보를 포함할 수 있다. 예를 들어, 스케줄 정보(241)는 유닛 정보, 작업 정보, 웨이퍼 정보 및 레시피 정보 등을 포함할 수 있다.
본 발명에서 스케줄 정보(241)는 서로 다른 복수의 반도체 공정 설비(이하, 설비라 한다)(100)에 공통적으로 적용 가능한 설비 공통 정보를 포함할 수 있다. 예를 들어, 스케줄 정보(241)에 포함된 설비 공통 정보 중 유닛 정보는 고정 유닛에 대한 정보 및 이동 유닛에 대한 정보를 포함할 수 있다.
스케줄 정보(241)에 포함되는 작업 정보는 이동, 도어 개방, 도어 폐쇄, 작업 개시 또는 작업 중지 등의 정보가 포함될 수 있다.
알고리즘(242)은 스케줄러를 생성하는데 필요한 알고리즘을 포함할 수 있다. 본 발명에서 스케줄러 알고리즘(242)은 특정 조건에 대하여 우선순위가 부여된 복수의 알고리즘, 품질 우선 알고리즘, 생산량 우선 알고리즘, 작업 우선 알고리즘 등을 포함할 수 있다.
설비 특화 정보(243)는 복수의 반도체 공정 설비(100) 각각에 대한 정보를 포함한다. 특히, 본 발명에서 설비 특화 정보(243)는 복수의 반도체 공정 설비(100) 각각에 대한 특화된 설비 특화 정보를 포함할 수 있다.
어플리케이션(244)은 적어도 하나의 실행 코드를 구비하여 반도체 공정 설비(100)의 공정에 대한 스케줄링을 수행할 수 있다. 실행 코드는 인스트럭션의 형태로 제공될 수 있으며, 어플리케이션(244)은 복수의 인스트럭션을 구비하여 반도체 공정 설비(100)의 공정에 대한 스케줄링을 수행할 수 있다.
메모리(230)는 스토리지(240)에 저장된 정보 중 적어도 일부를 임시로 저장할 수 있다. 예를 들어, 메모리(230)에는 스케줄 정보(241), 알고리즘(242), 설비 특화 정보(243) 및 어플리케이션(244)이 스토리지(240)로부터 로딩될 수 있다.
네트워크 인터페이스(250)는 반도체 공정 설비(100)와 통신을 수행할 수 있다. 네트워크 인터페이스(250)는 반도체 공정 설비(100)로 제어 명령을 송신하고, 반도체 공정 설비(100)로부터 모니터링 정보를 수신할 수 있다. 여기서, 제어 명령은 작업 지시 인스트럭션에 의한 작업 지시가 포함될 수 있고, 모니터링 정보는 해당 반도체 공정 설비(100)에서 수행되는 작업에 대한 정보가 포함될 수 있다.
입출력 수단(260)은 사용자 명령을 입력할 수 있다. 예를 들어, 사용자는 입출력 수단(260)을 통하여 복수의 반도체 공정 설비(100) 중 특정 반도체 공정 설비(100)에 대한 선택 명령을 입력할 수 있다. 이때 메모리에 포함된 레시피 생성 인스트럭션(미도시)은 입출력 수단(260)을 통하여 입력된 반도체 공정 설비(100)에 대한 공정 레시피를 생성하게 된다.
입출력 수단(260)은 공정 레시피 설정 장치(200)의 동작 상태를 표시할 수 있다. 예를 들어, 출력 수단(270)은 시각적으로 공정 레시피 설정 장치(200)의 동작 상태를 표시할 수 있다.
입출력 수단(260)은 터치 스크린, 압력 센서 등과 같은 입력부 및 화면 표시부를 포함할 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 레시피 설정 방법을 설명하기 위한 순서도이다. 도 4는 도 2의 입출력 수단을 설명하기 위한 유저 인터페이스 화면을 캡쳐한 사진이다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 공정 유닛이 입출력 수단의 유저 인터페이스 화면 상에 표시된 공정들 중 적어도 하나를 선택한다(S110). 이를 위하여 작업자는 유저 인터페이스 화면 상에 특정 공정을 선택할 수 있다. 이때, 상기 작업자는 터치스크린의 화면 일부를 태핑하거나 마우스를 이용하여 클릭할 수 있다. 따라서 종래의 콤보 박스의 경우, 해당 영역을 클릭한 후 콤보 박스에 내에 구비된 복수의 유닛들을 선택하기 위하여 스크롤링 한 후 특정 유닛을 선택하는 불편함이 해소될 수 있다.
예를 들면, 웨이퍼를 설비 내부로 투입하는 투입 공정이 최초 선택될 수 있다.
상기 유저 인터페이스 화면 상에는, 상기 공정 유닛의 레이아웃에 따라 공정 유닛들이 표시된다. 따라서, 작업자가 용이하게 공정 유닛을 시각적으로 확인할 수 있다.
상기 선택된 공정과 관련된 공정 유닛만을 활성화한다(S120). 예를 들면, 선택된 공정이 웨이퍼의 투입공정에 해당될 경우, 이에 활성화되는 유닛은 로드 포트, 로드락 챔버 등에 해당할 수 있다. 이와 반대로, 선택된 공정과 무관한 공정 유닛은 비활성 상태를 유지한다. 이로써, 작업자의 비활성화된 유닛을 오터치 하더라도 잘못 선택되는 것이 억제될 수 있다.
상기 활성화된 공정 유닛들 중 적어도 하나의 제1 선택 유닛으로 선택한다(S130). 이를 위하여, 작업자는 유저 인터페이스 화면 상에 특정 유닛을 선택할 수 있다. 이때, 상기 작업자는 터치스크린의 화면 일부를 태핑하거나 마우스를 이용하여 클릭할 수 있다.
제1 선택 유닛은 하나의 공정 유닛일 수 있다 이와 다르게, 제1 선택 유닛이 복수의 유닛을 포함할 경우, 작업자는 활성화된 유닛들 중 복수개로 연속하여 선택할 수 있다. 예를 들면, 복수의 제1 선택 유닛은, 코팅 공정 유닛, 노광 공정 유닛, 현상 공정 유닛, 베이킹 공정 유닛을 순차적으로 선택한다.
따라서, 상기 복수의 제1 선택 유닛들은 웨이퍼의 이동 경로에 따라 유저 인터페이스 화면 상에 순차적으로 배열될 수 있다.
이어서, 상기 제1 선택 유닛에 대하여 제1 공정 레시피를 설정한다(S140). 예를 들면, 상기 코팅 공정 유닛의 경우, 상기 제1 공정 레시피는, 챔버 내의 압력, 온도, 코팅액의 유량 등에 대한 레시피가 설정될 수 있다. 한편, 노광 공정 유닛의 경우, 제1 공정 레시피는, 챔버 내의 압력/온도, 광의 파장, 광조사 시간 등을 포함할 수 있다.
도 4에 표시된 SRW, WCP, SCW, CHP, BFIM은 실제 사용하는 처리 유닛 또는 버퍼 유닛의 명칭에 해당한다. 즉, 상기 SRW, WCP, SCW, CHP, BFIM 등은 각 공정 유닛의 타입에 해당할 수 있다.
이때, 유저 인터페이스 화면 상에는 공정 유닛이 배열되는 레이아웃에 대응되게 공정 유닛들이 배치된다. 이로써, 복수의 공정 유닛들이 하나의 화면 상에 표시됨으로써, 작업자가 용이하게 해당 공정 유닛을 용이하게 선택할 수 있다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 공정 유닛의 레이아웃에 따라 유저 인터페이스 화면 상에 표시된 공정 유닛들 중 최초 공정과 관련된 유닛만을 활성화하고, 상기 활성화된 유닛들 중 적어도 하나의 유닛을 제1 선택 유닛으로 선택하여 상기 제1 선택 유닛에 대하여 제1 공정 레시피를 설정할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 선택 유닛을 제외한 나머지 유닛들을 화면 상에 추가적으로 활성화한다(S150).
이어서, 상기 활성화된 유닛들 적어도 하나의 유닛을 제2 선택 유닛으로 선택한다(S160). 이때, 상기 작업자는 터치스크린의 화면 일부를 태핑하거나 마우스를 이용하여 클릭할 수 있다.
이후, 상기 제2 선택 유닛에 대한 제2 공정 레시피를 설정할 수 있다(S170). 따라서, 복수의 공정들이 순차적으로 수행될 수 있는 공정 레시피 설정이 완료될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 레이아웃에 따라 표시된 유닛들 중 활성화된 유닛만을 선택적으로 선택하여 공정 레시피를 설정할 수 있다. 또한, 레이아웃에 따라 표시된 유닛들이 화면 상에 표시됨으로써, 작업자의 시인성이 개선될 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10: 공정 스케줄링 시스템 100: 반도체 공정 설비
200: 공정 레시피 설정 장치 210: 시스템 버스
220: 프로세서 230: 메모리
240: 스토리지 250: 네트워크 인터페이스
260: 입출력 수단

Claims (7)

  1. 공정 유닛이 유저 인터페이스 화면 상에 표시된 공정들 중 적어도 하나를 선택하는 단계;
    상기 선택된 공정과 관련된 공정 유닛만을 활성화하는 단계;
    상기 활성화된 유닛들 중 적어도 하나의 제1 선택 유닛으로 선택하는 단계; 및
    상기 제1 선택 유닛에 대하여 제1 공정 레시피를 설정하는 단계를 포함하는 공정 레시피 생성 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 활성화된 유닛들 중 적어도 하나의 제1 선택 유닛으로 선택하는 단계는 태핑 또는 클릭 방식으로 수행되는 것을 특징으로 하는 공정 레시피 생성 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 활성화된 유닛들 중 적어도 하나의 제1 선택 유닛으로 선택하는 단계는 복수의 활성화된 공정 유닛들을 선택하는 것을 특징으로 하는 공정 레시피 생성 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 공정 유닛의 레이아웃에 따라 표시된 유저 인터페이스 화면 상에 공정 유닛을 표시하는 것을 특징으로 하는 공정 레시피 생성 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 각 공정들은 색상 및 숫자로 구분되어 화면 상에 표시된 것을 특징으로 하는 공정 레시피 생성 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 복수의 제1 선택 유닛들은 웨이퍼의 이동 경로에 따라 유저 인터페이스 화면 상에 순차적으로 배열되는 것을 특징으로 하는 공정 레시피 생성 방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 제1 선택 유닛을 제외한 나머지 유닛들을 화면 상에 추가적으로 활성화하는 단계;
    상기 활성화된 유닛들 적어도 하나의 유닛을 제2 선택 유닛으로 선택하는 단계; 및
    상기 제2 선택 유닛에 대한 제2 공정 레시피를 설정하는 단계를 더 포함하는 공정 레시피 생성 방법.
KR1020210121248A 2020-12-31 2021-09-10 공정 레시피 생성 방법 KR20220097178A (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20200189959 2020-12-31
KR1020200189959 2020-12-31

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20220097178A true KR20220097178A (ko) 2022-07-07

Family

ID=82398485

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210121248A KR20220097178A (ko) 2020-12-31 2021-09-10 공정 레시피 생성 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20220097178A (ko)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6258169B1 (en) Control apparatus and control method
US6000830A (en) System for applying recipe of semiconductor manufacturing apparatus
US10599115B2 (en) Unified building management system with space use case profiles
JP4722479B2 (ja) 自動製造環境におけるアクティブソフトウェアエージェントの特殊化
EP2541396A2 (en) Multiple deployment of applications with multiple configurations in an industrial automation environment
US20080208374A1 (en) Testing utilizing controller engine instances
US7257459B1 (en) Method and apparatus for scheduling pilot lots
US10860008B2 (en) Method and system for lot-tool assignment
JP7136977B2 (ja) 基板ルーティング及びスループットモデリングのためのグラフィック処理ユニットの使用
JP2004335750A (ja) 処理スケジュール作成方法
US20070038324A1 (en) Recipe operation using group function and/or subroutine function
KR20220097178A (ko) 공정 레시피 생성 방법
CN115485639A (zh) 用于多腔室半导体设备的预测晶片调度
US11009848B2 (en) Scalable intelligent query-based interface to navigate and find industrial information on a visual interface
KR20220097154A (ko) 반도체 제조 설비의 제어 방법
JP5841336B2 (ja) 基板処理装置および情報管理方法
JP4621548B2 (ja) 半導体製造装置及びその方法
KR102465542B1 (ko) 공정 스케줄링 장치
WO2024029094A1 (ja) 画面表示システムおよび画面表示方法
JP2007258563A (ja) 基板処理装置のパラメータ設定装置
KR20230072754A (ko) 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
JP2002353085A (ja) 半導体製造装置の管理システム及び半導体製造装置の管理方法
JP2023020264A (ja) スケジュール作成方法、スケジュール作成装置、基板処理装置、基板処理システム、記録媒体、及びスケジュール作成プログラム
Moyne et al. Derivation of a Piggyback Run-to-Run Control Solution Design
KR20230028466A (ko) 반도체 제조 환경의 자동화된 지원

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination