TWI666156B - 物品搬送設備 - Google Patents

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Yasushi Morikawa
森川靖志
Toshihito Ueda
上田俊人
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Daifuku Co., Ltd.
日商大福股份有限公司
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Abstract

本發明提供一種物品搬送設備。控制部會在至少包含控制部已接收關閉狀態訊號的搬送開始條件成立的情形下，容許物品搬送裝置的搬送作動的開始，而且，在已開始物品搬送裝置的搬送作動後控制部並未繼續接收到關閉狀態訊號的情形下，會中斷物品搬送裝置的搬送作動，而且，在已開始物品搬送裝置的搬送作動後在控制部接收關閉狀態訊號的期間，即使由監視檢測部檢測出檢測對象物，仍會繼續物品搬送裝置的搬送作動。

Description

物品搬送設備 發明領域
本發明是有關於一種物品搬送設備，其具備：物品搬送裝置，沿著設定於搬送用空間中之移動路徑移動並搬送物品；分隔壁，分隔相鄰於搬送用空間而用於使作業員作業的作業用空間與搬送用空間；開口，設於分隔壁上以使作業用空間側與搬送用空間側連通；開閉體，於將開口封閉的關閉狀態與將開口開放的開放狀態切換自如；監視檢測部，是在搬送用空間與作業用空間的排列方向上且在比分隔壁更位在作業用空間側上設置於監視與開口相鄰的監視區域的位置上，以檢測有無監視區域中的檢測對象物的存在；關閉狀態檢測部，在開閉體為關閉狀態時輸出關閉狀態訊號；及控制部，控制物品搬送裝置的搬送作動。
發明背景
作為如上述之物品搬送設備的習知例，有如日本專利特許第5170825號公報(專利文獻1)中所記載地構成為下列之例：在開閉體為關閉之條件(以下稱為第1條件)、和監視檢測部(例如光幕(light curtain)等)未檢測出檢測對象 物之條件(以下稱第2條件)的雙方條件成立時，方容許物品搬送裝置的搬送作動之開始及繼續。
發明概要
課題、用以解決課題之手段
在上述專利文獻1的情況下，將第1條件及第2條件雙方均成立之情形設定為繼續搬送的條件。因此，即使開閉體為關閉狀態，當監視檢測部檢測出檢測對象物時，會緊急停止物品搬送裝置之搬送作動。只要開閉體為關閉狀態，即使監視檢測部已檢測到檢測對象物，也無法使檢測對象物通過開口從作業用空間側侵入搬送用空間側，所以可以確保安全性。
因此，在開閉體為關閉狀態時，監視檢測部根據檢測資訊使物品搬送裝置之搬送作動緊急停止之作法，變得僅管可確保安全，仍要使物品搬送裝置之搬送作動緊急停止，而成為一種過度的安全措施。
像這樣，在專利文獻1之物品搬送設備中，因過度的安全措施而導致犧牲了物品搬送設備的搬送效率。
而且，有些設備還有採用了下列的機制之情況：在物品搬送裝置已緊急停止時，基於安全確保的觀點，只要作業員在確認安全後沒有發出重啟許可訊號的指令，就無法重啟搬送作動。在這種物品搬送設備中，由於在緊急停止後的搬送作動的重啟上需要時間，因而使搬送效率更加低下。
於是，既能確保設備的安全，又能抑制搬送效率的低下的物品搬送設備是備受期待的。
有鑑於上述而作成的物品搬送設備，具備有：物品搬送裝置，沿著設定於搬送用空間中之移動路徑移動並搬送物品；分隔壁，分隔前述搬送用空間與作業用空間，該作業用空間是與此搬送用空間相鄰而用於作業員進行作業之空間；開口，設於前述分隔壁上以使前述作業用空間側與前述搬送用空間側連通；開閉體，於將前述開口封閉之關閉狀態與將前述開口開放之開放狀態切換自如；監視檢測部，是在前述搬送用空間與前述作業用空間的排列方向上且在比前述開口更位在前述作業用空間側上設置於監視與前述開口相鄰之監視區域的位置上，以檢測有無侵入前述監視區域之檢測對象物的存在；關閉狀態檢測部，在前述開閉體為關閉狀態時輸出關閉狀態訊號；及控制部，控制前述物品搬送裝置的搬送作動，該物品搬送設備之特徵之點在於，前述控制部在至少包含前述控制部接收到前述關閉狀態訊號的搬送開始條件成立的情況下，容許前述物品搬送裝置的搬送作動之開始，而且，在開始前述物品搬送裝置的搬送作動後，在前述控制部並未接收到前述關閉狀態訊號的情況下，會中斷前述物品搬送裝置的搬送作動，而且，在開始前述物品搬送裝置的搬送作動後在前述控制部接收前述關閉狀態訊號的期間，即使由前述監視檢測部檢測出檢測對象物，仍會繼續前述物品搬送裝置的搬送作動。
在控制部為未接收到關閉狀態訊號的狀態，亦即，在開閉體具有並非成為關閉狀態的可能性的狀態下，會有開口被解放而使侵入物從開口侵入到搬送用空間之虞。在此種情況下，因為會停止物品搬送裝置的搬送作動，所以即使在物品搬送裝置的搬送作動中進入物從開口侵入到搬送用空間，還是可以避免該已進入之侵入物與物品搬送裝置相干涉等之事態。再者，所謂未接收的狀態，包含雖然開閉體為關閉狀態，但因關閉狀態檢測部之故障等而未將關閉狀態訊號輸出的狀態。
又，在控制部為接收關閉狀態訊號的狀態，亦即，在開閉體為關閉狀態的情況下，不會有侵入物從開口侵入搬送用空間之虞。因此，即使由監視檢測部檢測到檢測對象物，也不會有該檢測對象物成為侵入物而從開口侵入到搬送用空間的可能性。因此，即使在藉由監視檢測部檢測出檢測對象物後仍然繼續進行物品搬送裝置的搬送作動，還是可以確保設備的安全。
像這樣，藉由在開閉體為關閉狀態的情況下，即使由監視檢測部檢測出檢測對象物仍然使物品搬送裝置的搬送作動繼續，就可以不過度地停止物品搬送裝置的搬送作動。其結果，可以抑制物品搬送裝置的搬送效率之低下。
像這樣，根據本特徵構成，可以提供一種既能確保設備之安全，又可以抑制搬送效率之低下的物品搬送設備。
＃1~＃17‧‧‧步驟
10‧‧‧半導體容器保管庫
10G‧‧‧作業用空間
10K‧‧‧口部
10N‧‧‧搬送用空間
10R‧‧‧行走軌道
10T‧‧‧保管棚架
10W‧‧‧壁部
11‧‧‧包圍壁
12‧‧‧筒狀體
12K‧‧‧開口
20‧‧‧支撐體
21‧‧‧搬出入用支撐體
30‧‧‧移動體
30F‧‧‧移載用支撐體
30Y‧‧‧移載裝置
B‧‧‧容器
C‧‧‧堆高式起重機
D、D1、D2‧‧‧開閉體
H‧‧‧移動控制部
H1‧‧‧設備控制部
LC‧‧‧光幕
M1‧‧‧行走驅動部
M2‧‧‧昇降驅動部
M3‧‧‧進退驅動部
MD‧‧‧開閉驅動部
Q‧‧‧許可訊號輸入部
S‧‧‧開閉狀態檢測部
圖1為顯示半導體容器保管庫之概要以及移動控 制之實行狀態的平面圖。
圖2為顯示開口以及開閉體的重要部位放大圖。
圖3為控制方塊圖。
圖4為顯示控制部之控制的流程圖。
圖5為顯示緊急停止控制之平面圖。
圖6為顯示移動控制的重啟之平面圖。
圖7為顯示已開始進行移載控制之狀態的平面圖。
圖8為顯示已中斷移載控制之狀態的平面圖。
圖9為顯示已重啟移載控制之狀態的平面圖。
圖10為顯示移載控制之完成後已開始進行移動控制之狀態的平面圖。
用以實施發明之形態
以下，根據圖式來說明將本發明之物品搬送設備應用於半導體容器保管庫時的實施形態。如圖1所示，半導體容器保管庫10具備有沿行走軌道10R移動並搬送物品的堆高式起重機C(物品搬送裝置之一例)、與於上下方向以及沿上述移動路徑的方向上排列並設置有支撐容器B(物品之一例)的支撐體20的保管棚架10T。在本實施形態中，行走軌道10R為堆高式起重機C的移動路徑。
堆高式起重機C具備有移動體30、昇降體、與移載裝置30Y，該移動體行走移動於行走軌道10R上，該昇降體沿豎立設置於移動體30上的昇降桅桿昇降，該移載裝置30Y是受到昇降體支撐，而在與移動體30之移動方向直交的 方向上與設定於側邊之移載對象地點之間移載容器B。再者，在以下的說明中，將沿移動體30之移動方向的方向稱之為左右方向，將在平面視角下與移動體30之移動方向直交的方向稱之為寬度方向。移載裝置30Y是將支撐容器B之移載用支撐體30F沿著寬度方向橫跨退回位置與突出位置進退自如地設置。退回位置是在平面視角下與移動體30重複的位置。突出位置是相較於退回位置在寬度方向上更在移動路徑的側邊的位置。並且，移載裝置30Y是構成為，在移動體30停止的狀態下，隨著移載用支撐體30F相對於移載對象地點之進退動作，以在與該移載對象地點之間移載容器B。所謂「隨著移載用支撐體30F之進退動作而在與該移載對象地點之間移載容器B」是表示至少使移載裝置30Y進行移載用支撐體30F的進退動作以在與該移載對象地點之間移載容器B。亦即，在本實施形態中，雖然是藉由以移載裝置30Y進行之移載用支撐體30F的進退動作與昇降體的昇降動作的協同合作，而在與移載對象地點之間移載容器B，但也可以藉由像這樣與昇降體之昇降協同合作之作法來移載物品為前提而構成移載裝置30Y。
在本實施形態中，半導體容器保管庫10的周圍是被平面視角下為矩形之包圍壁11所包圍。在以下的說明中，被包圍壁11所包圍之空間稱為搬送用空間10N。將作為包圍壁11之中的沿行走軌道10R的一對壁部的其中一邊的壁部10W包夾，而設定有用於供作業員作業的作業用空間10G。
如圖1及圖2所示，壁部10W上設有口部10K，並將筒狀體12從口部10K朝搬送用空間10N側延伸而設置。在本實施形態中，壁部10W、與從口部10K延伸而設置之筒狀體12相當於分隔壁，在筒狀體12之搬送用空間10N側端部上設有開口12K。
又，設置有可在將開口12K封閉之關閉狀態與將開口12K開放之開放狀態切換自如的開閉體D。開閉體D在上下方向上形成2分割。上方側之開閉體D1可在關閉狀態朝上方移動，下方側之開閉體D2可在關閉狀態朝下方移動。並且，使開閉體D1與開閉體D2互相接近移動而形成關閉狀態，使開閉體D1與開閉體D2互相分開移動而形成開放狀態。
在平面視角下與筒狀體12重複的部分上設置有用於在作業用空間10G與搬送用空間10N中使容器B進出的搬出入用支撐體21。搬出入用支撐體21除了構成為在與移載裝置30Y之間可移載容器B外，還構成為在與手動搬送台車之移載裝置(省略圖示)之間也可移載容器B。在本實施形態中，設置有搬出入用支撐體21之地點為搬出入用移載地點，此搬出入用移載地點是設定在後述之監視區域內。
在本實施形態中，於平面視角下與筒狀體12重複的區域存在於比開口12K更靠作業用空間10G側。因此，在寬度方向上於作業用空間10G側設定有與開口12K相鄰的搬出入用移載地點，以作為移載對象地點。
筒狀體12中之開閉體D的附近設有開閉狀態檢測部S。此開閉狀態檢測部S是在開閉體D為開放狀態時輸 出開放狀態訊號，並在開閉體D為關閉狀態時輸出關閉狀態訊號。又，在壁部10W中的相較於口部10K更靠作業用空間10G側設有光幕LC。此光幕LC是檢測已有侵入物由口部10K更朝搬送用空間10N側侵入之情形。在本實施形態中，開閉狀態檢測部S相當於關閉狀態檢測部及開放狀態檢測部，光幕LC相當於監視檢測部，且包含有使光幕LC發揮檢測作用的部分之區域相當於監視區域。
亦即，在物品保管設備中，設置有光幕LC與限位開關式的開閉狀態檢測部S。光幕LC是在搬送用空間10N與作業用空間10G的排列方向上於相較於分隔壁(壁部10W及筒狀體12)更位在作業用空間10G側上並設置在監視與開口12K相鄰之監視區域的位置上，以檢測監視區域中有無檢測對象物的存在。開閉狀態檢測部S在開閉體D為關閉狀態時輸出關閉狀態訊號，並在開閉體D為開放狀態時輸出開放狀態訊號。
根據圖3，說明半導體容器保管庫10的控制構成。設於堆高式起重機C之移動控制部H是形成為控制使移動體30行走移動之行走驅動部M1的作動、使昇降體昇降之昇降驅動部M2的作動、以及使移載裝置30Y之移載用支撐體30F進退的進退驅動部M3的作動。又，管理半導體容器保管庫10整體的運轉狀態而對移動控制部H下達堆高式起重機C的作動之指令的設備控制部H1，是固定於作業用空間10G中的半導體容器保管庫10的附近而被設置。移動控制部H與設備控制部H1是構成為可互相通訊。設備控制部H1 是構成為管理堆高式起重機C之容器B的搬送排程。又，設備控制部H1是構成為根據來自設於半導體容器保管庫10的角部之感測器的資訊，而對移動控制部H下達堆高式起重機C之作動的緊急停止及作動的重啟之指令。又，移動控制部H會對設備控制部H1傳送顯示堆高式起重機C之作動狀態(後述之搬送控制的開始與完成、以及移載控制之開始與完成等)的訊號。
在設備控制部H1上連接有將開閉體D開閉驅動的開閉驅動部MD、上述開閉狀態檢測部S、光幕LC、及可用手動輸入顯示作業員許可搬送重啟之重啟許可訊號的許可訊號輸入部Q。設備控制部H1是構成為可對開閉驅動部MD下達開閉體D之開閉指令。又，設備控制部H1是構成為可檢測開閉狀態檢測部S之開放狀態訊號及關閉狀態訊號、光幕LC之檢測對象物的檢測訊號、以及許可訊號輸入部Q之重啟許可訊號。
在本實施形態中，移動控制部H以及設備控制部H1相當於控制部。
亦即，控制部是構成為實行將開閉體D從關閉狀態切換到開放狀態的開放控制以及將開閉體從開放狀態切換到關閉狀態的關閉控制。
接下來，將本實施形態中的堆高式起重機C的容器B的搬送控制根據圖4之流程來說明。
設備控制部H1是按照容器B之搬送排程(包含循事前計劃好的搬送計劃進行之容器B的搬送、與根據作業員之搬送 指示進行之容器B的搬送)，來對移動控制部H下達搬送指令，且在有指令(＃1：是)的情況下，會接著判別是否從開閉狀態檢測部S接收到關閉狀態訊號(＃2)。未接收到關閉狀態訊號的情況下，會將之後的堆高式起重機C的作動的開始保留，直到接收到關閉狀態訊號為止(＃2：否)。當接收關閉狀態訊號時(＃2：是)，設備控制部H1即開始進行使由光幕LC所作的檢測對象物的檢測無效之LC無效化控制(＃3)。之後，在使光幕LC所作的檢測對象物的檢測有效之LC有效化控制(＃10)開始前，會將光幕LC所作的檢測對象物的檢測設成無效。再者，LC無效化控制也可以是在不使光幕LC之作動停止的情形下，即使檢測對象物之檢測資訊被輸出亦可忽略該檢測資訊之類的控制，也可以是使光幕LC本身的作動停止之控制。
LC無效化控制一旦開始，移動控制部H就會開始實行移動控制，該移動控制是作動行走驅動部M1，以其使移動體30沿著移動路徑移動到被設定在移動路徑上的搬出入用停止位置為止，該搬出入用停止位置是作為在與搬出入用移載地點之間藉由移載裝置30Y移載容器B之時的移動體30的停止位置(＃4)。移動控制部H會對設備控制部H1傳送顯示移動控制之實行開始的訊號。
在本實施形態中，設備控制部H1接收關閉狀態訊號之情形相當於搬送開始條件。亦即，設備控制部H1在包含設備控制部H1接收到關閉狀態訊號之搬送開始條件成立的情況下，會容許堆高式起重機C的搬送作動開始。再者，作為 搬送開始條件，除了設備控制部H1接收到關閉狀態訊號之外，也可以是包含其他條件之情形。在其他條件方面，可以包含例如由作業員所作出之搬送開始許可指令的接收等。
設備控制部H1形成為根據從移動控制部H接收之訊號，來判斷移動控制是否已完成(＃5)。然後，當判別為移動控制尚未完成時(＃5：否)，會繼續判別從開閉狀態檢測部S所接收到之關閉狀態訊號是否已中斷(＃6)。當判別為關閉狀態訊號未中斷時(＃6：否)，會回到＃5的處理。設備控制部H1在判別關閉狀態訊號已中斷時(＃6：是)，會實行緊急停止控制，該緊急停止控制是如圖5所示，對移動控制部H傳送用於使堆高式起重機的各驅動部之作動停止的訊號(＃7)。
隨著緊急停止控制，設備控制部H1會以異常警告燈與警報啟動產生裝置等(省略圖示)通知作業員已將堆高式起重機C緊急停止。已得知緊急停止的作業員要進行下列操作：確認搬送用空間10N內有無侵入物、或開閉體D有無故障等，並確認異常狀態之解除以將開閉體D設為關閉狀態。此操作可以用以手動將開閉體D關閉操作之方式來進行，也可以用將用於將開閉體D關閉操作的指令資訊輸入到設備控制部H1之方式來進行。
緊急停止控制會持續到設備控制部H1檢測到藉由許可訊號輸入部Q輸入重啟許可訊號為止(＃8)。設備控制部H1一旦檢測出重啟許可訊號已被輸入(＃8：是)，就會繼續判 別設備控制部H1是否接收到關閉狀態訊號(＃9)，且在接收到關閉狀態訊號的情況(＃9：是)下會回到＃2的處理，並重啟移動控制(參照圖6)。
在本實施形態中，設備控制部H1檢測到重啟許可訊號的輸入的條件、與設備控制部H1接收到關閉狀態訊號的條件雙方是為重啟條件。
亦即，設備控制部H1是構成為：當已開始堆高式起重機C之搬送作動之後於使堆高式起重機C之搬送作動中斷後，會於包含接收關閉狀態訊號的重啟條件成立的情況下容許堆高式起重機C的搬送作動的重啟。
再者，不一定要做成上述2個條件雙方都成立的情況，僅做成其中一方成立亦能作為上述重啟條件。亦即，可以例如僅將設備控制部H1接收到重啟許可訊號的條件設為重啟條件，也可以僅將設備控制部H1接收到關閉狀態訊號的條件設為重啟條件。又，除了上述2個條件之外，還將滿足進一步的條件的情形設為重啟條件也是可行的。
當移動體30停止於搬出入用停止位置上時，移動控制部H會將移動控制完成訊號傳送到設備控制部H1。當設備控制部H1判別為移動控制已完成時(＃5：是)，設備控制部H1會實行使光幕LC之檢測對象物的檢測有效的LC有效化控制(＃10)。之後，可將光幕LC之檢測對象物的檢測為有效之狀態持續到本流程的結束為止。
亦即，設備控制部H1是構成為在包含控制部已接收關閉狀態訊號的搬送開始條件成立的情況下，容許堆高式起 重機C的搬送作動的開始，且在已開始進行堆高式起重機C的搬送作動後控制部尚未接收到關閉狀態訊號的情況下，會中斷堆高式起重機C的搬送作動，且在已開始進行堆高式起重機C的搬送作動後在控制部接收關閉狀態訊號的期間，即使藉由光幕LC檢測到檢測對象物，仍會繼續堆高式起重機C的搬送作動。
接下來，設備控制部H1會判別開閉狀態檢測部S有否接收開放狀態訊號(＃11)。在未接收開放狀態訊號的情況下，會保留之後的堆高式起重機C的作動的開始，直到接收到開放狀態訊號為止(＃11：否)。一旦接收到開放狀態訊號(＃11：是)，設備控制部H1就會將使移載控制開始的開始訊號傳送到移動控制部H，該移載控制是使移載裝置30Y在與搬出入用移載地點的搬出入用支撐體21之間移載容器B(＃12)。藉此，如圖7所示，可開始進行移載控制。移動控制部H會判別光幕LC是否已檢測出檢測對象物(＃13)，如圖8所示，在已檢測出檢測對象物的情況(＃13：是)下，會停止進退驅動部M3的作動而中斷移載控制(＃14)。
又，移動控制部H在移載控制為中斷的狀態下，會判別是否未在一定時間藉由光幕LC檢測出檢測對象物(＃15)，且在如圖9所示地並未檢測出檢測對象物的情況(＃15：Yes)下，會重啟該已中斷之移載控制(＃16)。移動控制部H會作動移載裝置30Y直到移載控制完成為止(＃17)，且當移載控制完成時，會將顯示該移載控制之完成的訊號傳送到設備控制部H1。
再者，在上述＃15的判別中，是判別是否未在一定時間檢測出檢測對象物(稱為檢測間隔)。這是因為要抑制檢測對象物在監視區域的內與外於短時間的期間內重複退出與侵入之情形中，使移載控制重複停止與重啟的事態。再者，上述檢測間隔可以設定成任何時間，又，也可以做成不設定檢測間隔，而在當未檢測出檢測對象物時即立刻使移載控制重啟。
當移載控制完成時，設備控制部H1即如圖10所示，將開閉體D設為關閉狀態。此時，若接收到下一個的搬送指令的話，就會重新開始圖4的流程。
亦即，控制部是構成為以移載控制的實行中光幕LC已檢測出檢測對象物為條件將該移載控制中斷，且以在該移載控制中斷的狀態下光幕LC未檢測出檢測對象物為條件將該已中斷的移載控制重啟。
[其他實施形態]
(1)在上述實施形態中，雖然以做成將半導體基板積層而保管之FOUP等之半導體容器(容器B)之形態來說明物品，但作為物品並不限定於半導體容器，並可適用於被載置於托板上之貨物或紙箱等各種的物品。
又，在上述實施形態中，雖然舉具備有沿著豎立設置於移動體30之昇降桅桿而昇降的昇降體的堆高式起重機C為例來說明物品搬送裝置，但並不限定於此種構成，也可以做成例如不具備昇降體的行走台車。此外，在上述實施形態中，雖然所顯示的是沿已舖設於地面上之行走軌道10R 設定移動路徑，並使移動體在行走軌道10R上行走移動的例子，但移動路徑也可以是虛擬設定的路徑。亦即，也可以是在地面上不設置用於引導移動體的軌道，而做成沿著已儲存於移動控制部H等中的移動路徑行走的自律行走式的台車。在這種情況下，是將移動路徑設定成將搬出入用移載地點設定在相鄰於開口之地點。
此外，在上述實施形態中，雖然所顯示的是將移動路徑做成沿水平方向的行走路徑的例子，但也可以做成相對於水平方向具有45度以下之傾斜角的路徑，且較佳的是具有30度以下之傾斜角的路徑，又，將移動路線做成沿上下方向的昇降路徑亦可，在此種情況下，也可以做成相對於上下方向具有45度以下之傾斜角的路徑，且較佳的是具有30度以下之傾斜角的路徑。
(2)在上述實施形態中，雖然將開閉體D設成相較於壁部10W在寬度方向上更朝搬送用空間10N側退回的位置，但將開閉體D設成在寬度方向上接近壁部10W的位置亦可。在此種情況下，亦可使搬出入用移載地點相較於壁部10W更朝作業用空間10G側突出。
作為此種搬出入用移載地點的形態，可以考慮的有：例如將搬出入用支撐體21相較於壁部10W更朝作業用空間10G側設置，並將以該搬出入用移載地點當作監視區域之光幕設置成可檢測出從搬出入用移載地點的周圍侵入搬出入用移載地點的檢測對象物。
又，作為如上述般之搬出入用移載地點的其他形態， 也可考慮做成下列的構成：設置例如可由壁部10W更涵蓋於搬送用空間10N側與作業用空間10G側而搬送物品，且可在與移載裝置30Y之間交接物品的搬出入裝置(例如輸送帶或台車等)，並在比該搬出入裝置之作業用空間10G側端部更位在作業用空間10G側之處設置用於檢測檢測對象物之侵入的光幕等的監視檢測部。
(3)在上述實施形態中，雖然所顯示的是將移載裝置30Y構成為具備有從下方支撐容器B之移載用支撐體30F的叉式之例，但將移載裝置30Y做成具備從側邊將物品夾入的一對夾具的構成亦可。
(4)在上述實施形態中，雖然將開閉體D構成為於上下方向上形成2分割的形態，但在上下方向上以1片開閉體來構成亦可。又，也可以做成不是在上下方向而是在左右方向上開閉的構成。在此情況下，也可以做成在左右方向上具備1片開閉體的構成，也可以做成在左右方向上具備2片開閉體的構成。又，在上下實施形態以及圖式之中，雖然是將開閉體做成滑動式之開閉體而記載，但是開閉體只要可以做成以鉸鏈為支點而擺動的擺動門、或是構成為捲簾式等的可以開閉開口的構成，則可應用各種構成。
(5)在上述實施形態中，雖然所顯示的是將關閉狀態檢測部與開放狀態檢測部做成相同的構件(開閉狀態檢測部S)的例子，但也可以將這些用分別的構件構成。又，在上述實施形態中，雖然所顯示的是將開閉狀態檢測部S以限位開關式之檢測部來構成的例子，但是，可應用例如 藉由以光電式檢測器檢測有無開閉體D的存在以檢測開閉體D的開放狀態以及關閉狀態、或是藉由已安裝在開閉體D上之磁鐵的接近與遠離來檢測開閉體D的開放狀態以及關閉狀態之磁簧開關而構成等的各種構成。
(6)在上述實施形態中，雖然所顯示的是由固定於半導體容器保管庫10的附近而設置的設備控制部H1與設置於堆高式起重機C之移動控制部H構成控制部的例子，但是將其等做成1個控制部亦可。在此種情況下，也可以將控制部做成僅設置於堆高式起重機C側的控制部側，並做成使該控制部具有設備控制部H1之功能的構成，也可以僅做成固定於半導體容器保管庫10附近而設置的控制部，並做成使該控制部具有移動控制部H之功能的構成。
(7)在上述實施形態中，雖然已說明將監視檢測部做成設置於口部10K之作業用空間10G側的光幕LC，且將包含該光幕LC之檢測部分的區域作為監視區域之構成，但是並不受限於此種構成，也可以構成為例如，設置拍攝口部10K之作業用空間10G側的攝像裝置，並將該攝像裝置的拍攝區域設為監視區域，且根據該監視區域的拍攝圖像來檢測是否有檢測對象物的存在。
(8)在上述實施形態中，在圖4之流程圖中的＃2中，雖然已說明了設備控制部H1使光幕LC所進行之檢測對象物的檢測無效化的構成，但亦可構成為不使光幕LC所進行之檢測對象物的檢測無效化，而在已檢測出檢測對象物的情況下，發出對接近注意進行警告的警告訊號(聲音或光 等)。在此情況下，只要在已檢測出檢測對象物之情況下接收到關閉狀態訊號，就可使堆高式起重機C的作動繼續。
(9)在上述實施形態中，在圖4之流程圖的＃14中，雖然說明了移載控制中斷後，移動控制部H以光幕LC未檢測出檢測對象物為條件而重啟該已中斷之移載控制的構成，但也可以做成即使是在光幕LC未檢測出檢測對象物的情況下，仍在由作業員輸入之重啟許可訊號的接收後，重啟移載控制的構成。
(10)在上述實施形態中，雖然說明了將壁部10W做成平面視角下呈矩形之包圍壁11之中的沿行走軌道10R的一對壁部的其中一邊的構成，但壁部10W只要是沿行走路徑設置以分隔搬送用空間10N與作業用空間10G之壁部均可，例如，可將一對壁部的雙方做成分隔壁等，且分隔壁的設置數量是任意的。又，在上述實施形態中，雖然所顯示的是將壁部10W做成平面視角下呈矩形之包圍壁11的壁部之中的一部分的例子，但是包圍壁不限於矩形，也可以是三角形或五角形以上的多角形，又，也可以做成平面視角下呈曲線狀的壁體。此種情況下，也是將分隔壁做成壁體中的沿行走路徑的部分。又，在上述實施形態中，雖然所顯示的是將分隔壁做成包圍壁的一部分的例子，但是將分隔壁做成二分為搬送用的區域與用於供作業員作業的區域的壁體亦可。此種情形下，是將物品搬送裝置移動的區域作為搬送用空間而定義，至於該搬送用空間中的在平面視角下設置分隔壁的部份以外，則宜事先以侵入防止柵 等來與作業員作業的區域區分。
[上述實施形態的概要]
以下，針對在上述所說明之物品搬送設備的概要進行說明。
有鑑於上述內容而形成之物品搬送設備，為具備下列的物品搬送設備：物品搬送裝置，沿著設定於搬送用空間中之移動路徑移動並搬送物品；分隔壁，分隔前述搬送用空間與相鄰於此搬送用空間而用於使作業員作業的作業用空間；開口，設於前述分隔壁上以使前述作業用空間側與前述搬送用空間側連通；開閉體，於將前述開口封閉的關閉狀態與將前述開口開放的開放狀態切換自如；監視檢測部，是在前述搬送用空間與前述作業用空間的排列方向上且在比前述開口更位在前述作業用空間側上設置於監視與前述開口相鄰之監視區域的位置上，以檢測有無侵入前述監視區域之檢測對象物的存在；關閉狀態檢測部，在前述開閉體為前述關閉狀時輸出關閉狀態訊號；及控制部，控制前述物品搬送裝置的搬送作動，該物品搬送設備的特徵之點在於：前述控制部在至少包含前述控制部已接收前述關閉狀態訊號的搬送開始條件成立的情形下，容許前述物品搬送裝置的搬送作動的開始，而且，在已開始前述物品搬送裝置的搬送作動後前述控制部並未接收到前述關閉狀態訊號的情形下，會中斷前述物品搬送裝置的搬送作動，而且，在已開始前述物品搬送裝置的搬送作動後在前述控制部接收前述關閉狀態訊號 的期間，即使由前述監視檢測部檢測出檢測對象物，仍會繼續前述物品搬送裝置的搬送作動。
在控制部為未接收到關閉狀態訊號的狀態，亦即，在開閉體具有並非為關閉狀態的可能性的狀態下，會有開口被解放而使侵入物從開口侵入到搬送用空間之虞。在此種情況下，因為會停止物品搬送裝置的搬送作動，所以即使在物品搬送裝置的搬送作動中進入物從開口侵入到搬送用空間，還是可以避免該已進入之侵入物與物品搬送裝置相干涉等之事態。再者，所謂未接收的狀態，包含雖然開閉體為關閉狀態，但因關閉狀態檢測部之故障等而未將關閉狀態訊號輸出的狀態。
又，在控制部為接收關閉狀態訊號的狀態，亦即，在開閉體為關閉狀態的情況下，不會有侵入物從開口侵入到搬送用空間之虞。因此，即使由監視檢測部檢測出檢測對象物，也不會有該檢測對象物成為侵入物而從開口侵入到搬送用空間的可能性。因此，即使在藉由監視檢測部檢測出檢測對象後仍然繼續進行物品搬送裝置的搬送作動，還是可以確保設備的安全。
像這樣，藉由在開閉體為關閉狀態的情況下，即使由監視檢測部檢測出檢測對象物，仍然使物品搬送裝置的搬送作動繼續，就可以不過度地停止物品搬送裝置的搬送作動，因此可以抑制物品搬送裝置的搬送效率的低下。
像這樣，根據本特徵構成，可以提供一種既能確保設備之安全，又可以抑制搬送效率之低下的物品搬送設備。
在此，將前述分隔壁沿前述移動路徑設置，前述物品搬送裝置具備移動體以及移載裝置，該移動體是沿前述移動路徑移動，而該移載裝置與前述移動體一體移動並且在與前述移動體移動方向直交之寬度方向上，在與設定於側邊的移載對象地點之間移載物品，前述移載裝置使支撐物品的物品支撐體沿前述寬度方向橫跨退回位置與突出位置進退自如地設置，該退回位置在平面視角下與前述移動體重複，該突出位置相較於前述退回位置在前述寬度方向上更位於前述移動路徑的側邊，前述物品搬送裝置是構成為在前述移動體停止的狀態下隨著相對於前述移載對象地點之前述物品支撐體的進退動作而在與該移載對象地點之間移載物品，且在前述寬度方向上於前述作業用空間側設定與前述開口相鄰的搬出入用移載地點，以作為前述移載對象地點，並設置有在前述開閉體為前述開放狀態時輸出開放狀態訊號的開放狀態檢測部，將前述控制部構成為可實行開放控制、關閉控制、移動控制與移載控制，前述開放控制是將前述開閉體從前述關閉狀態切換到前述開放狀態的控制，前述關閉控制是將前述開閉體從前述開放狀態切換到前述關閉狀態的控制，前述移動控制是下列的控制：使前述移動體沿前述移動路徑移動到被設定於前述移動路徑上之搬出入用停止位置，該搬出入用停止位置是作為在與前述搬出入用移載地點之間藉由前述移載裝置移載物品之時的前述移動體的停止位置，前述移載控制是實行下列的移載控制之控制：在前述移動體停止在前述搬出入 用停止位置且在前述控制部接收開放狀態訊號的狀態下，使前述移載裝置在與前述搬出入用移載地點之間移載前述物品，前述控制部是構成為在前述移載控制的實行中以前述監視檢測部已檢測出檢測對象物為條件而中斷該移載控制，並在該移載控制中斷的狀態下以前述監視檢測部並未檢測到前述檢測對象物為條件而重啟該已中斷的前述移載控制。
搬出入用移載地點相較於開口更位在作業用空間側而與開口相鄰。因此，移載裝置在與搬出入用移載地點之間交接物品時，移載裝置的物品支撐體有時會突出於開口的作業用空間側的監視區域。
根據本特徵構成，在移載裝置在進退移動中當監視檢測部檢測出檢測對象物時即中斷移載作動。因此，例如即使在移載裝置進退移動中發生了在作業用空間中作業的作業員的身體的一部分不經意地侵入監視區域之情形，藉由監視檢測部將該身體的一部分檢測作為檢測對象物，而可以停止移載裝置的作動，因此可以防止進退移動中之移載裝置與作業員等之其他物品相干涉。
而且，由於只要可使已侵入監視區域之作業員的身體的一部分從監視區域退出等而確保安全，就可以使移載裝置自動地重啟進退移動，所以與例如每遇到作動的重啟，就要作業員下重啟許可訊號的指令之系統相比較，在移動控制的重啟上並不需要花費許多時間。
因此，可以提供一種既能確保設備的安全又能更加抑 制搬送效率的低下的物品搬送設備。
在此，較理想的是，前述控制部在開始前述物品搬送裝置的搬送作動後，於使前述物品搬送裝置的搬送作動中斷後，可在包含接收前述關閉狀態訊號的重啟條件成立的情形下，容許前述物品搬送裝置的搬送作動的重啟。
亦即，因為是以開閉體為關閉狀態作為條件而重啟物品搬送裝置的搬送作動，所以每遇到搬送作動的重啟時，均可以適當地防止從開口侵入之侵入物與移動體的相干涉。

Claims (3)

  1. 一種物品搬送設備，具備以下之構成：物品搬送裝置，具備移動體及移載裝置以搬送物品，前述移動體是沿著設定於搬送用空間中的移動路徑移動，前述移載裝置是與前述移動體一體移動並且在與前述移動體的移動方向直交之寬度方向上，在與設定於側邊的移載對象地點之間移載物品；分隔壁，沿著前述移動方向分隔作業用空間與前述搬送用空間，前述作業用空間是在前述寬度方向上相鄰於前述搬送用空間並且用於供作業員進行作業；開口，設於前述分隔壁上以使前述作業用空間側與前述搬送用空間側連通；開閉體，於將前述開口封閉的關閉狀態與將前述開口開放的開放狀態切換自如；監視檢測部，是在前述作業用空間側上設置在監視與前述開口相鄰的移載對象地點即搬出入用移載地點的位置上，以檢測有無侵入前述搬出入用移載地點之檢測對象物存在；關閉狀態檢測部，在前述開閉體為前述關閉狀態時輸出關閉狀態訊號；開放狀態檢測部，在前述開閉體為前述開放狀態時輸出開放狀態訊號；及控制部，控制前述物品搬送裝置的搬送作動，前述物品搬送設備具有以下之特徵：前述移載裝置使支撐物品之物品支撐體沿著前述寬度方向橫跨退回位置與突出位置進退自如地設置，前述退回位置在平面視角下與前述移動體重複，前述突出位置相較於前述退回位置在前述寬度方向上更位於前述移動路徑的側邊，前述物品搬送裝置是構成為；在前述移動體停止的狀態下隨著相對於前述移載對象地點之前述物品支撐體的進退動作，而在與該移載對象地點之間移載物品，前述控制部是構成為：實行將前述開閉體從前述關閉狀態切換成前述開放狀態的開放控制、及將前述開閉體從前述開放狀態切換成前述關閉狀態的關閉控制，並且在前述控制部接收到前述關閉狀態訊號的狀態下實行移動控制，在前述移動體停止於搬出人用停止位置且前述控制部接收到前述開放狀態訊號的狀態下實行移載控制，前述移動控制是使前述移動體沿著前述移動路徑移動到設定於前述移動路徑上之前述搬出入用停止位置，作為在與前述搬出入用移載地點之間藉由前述移載裝置移載物品之時的前述移動體的停止位置，前述移載控制是使前述移載裝置在與前述搬出入用移載地點之間移載前述物品，前述控制部是：在前述移動體位於前述搬出入用停止位置以外的位置的狀態下，在至少包含前述控制部接收到前述關閉狀態訊號的搬送開始條件成立的情況下，容許包含前述移動體的移動及前述移載裝置進行之物品的移載之前述物品搬送裝置的搬送作動的開始，而且，在已開始前述物品搬送裝置的搬送作動後，在前述移動體位於前述搬出入用停止位置以外的位置的狀態下，前述控制部未繼續接收到前述關閉狀態訊號的情況下，會中斷前述物品搬送裝置的搬送作動，而且，在已開始前述物品搬送裝置的搬送作動後，在前述移動體位於前述搬出入用停止位置以外的位置的狀態下前述控制部接收到前述關閉狀態訊號的期間，即使由前述監視檢測部檢測出檢測對象物，仍會繼續前述物品搬送裝置的搬送作動，前述控制部是構成為：以在前述移動體位於前述搬出入用停止位置的狀態下、在前述移載控制實行中前述監視檢測部檢測到檢測對象物為條件而中斷該移載控制。
  2. 如請求項1之物品搬送設備，其中，前述控制部是構成為：在前述移載控制中斷的狀態下以前述監視檢測部並未檢測到前述檢測對象物為條件而重啟該中斷的前述移載控制。
  3. 如請求項1或2之物品搬送設備，其中，前述控制部在已開始前述物品搬送裝置的搬送作動後，在前述移動體位於前述搬出入用停止位置以外的狀態下使前述物品搬送裝置的搬送作動中斷後，在包含接收到前述關閉狀態訊號的重啟條件成立的情況下，容許前述物品搬送裝置的搬送作動的重啟。
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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018064816A1 (zh) * 2016-10-08 2018-04-12 浙江国自机器人技术有限公司 一种用于搬运货架的机器人
JP6597551B2 (ja) * 2016-10-21 2019-10-30 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6720907B2 (ja) * 2017-03-22 2020-07-08 株式会社ダイフク 参拝設備
JP6729465B2 (ja) * 2017-03-28 2020-07-22 株式会社ダイフク 物品搬送設備
US10703563B2 (en) * 2017-11-10 2020-07-07 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Stocker
JP6819565B2 (ja) * 2017-12-21 2021-01-27 株式会社ダイフク 物品収納設備
JP6800835B2 (ja) * 2017-12-26 2020-12-16 台湾大福高科技設備股▲分▼有限公司 物品搬送設備
CN108803606B (zh) * 2018-06-08 2021-07-06 伟本智能机电（上海）股份有限公司 一种行车自动化调度系统和调度方法
JP7093318B2 (ja) * 2019-02-18 2022-06-29 台湾大福高科技設備股▲分▼有限公司 物品保管設備
JP7192723B2 (ja) * 2019-09-12 2022-12-20 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP7388896B2 (ja) 2019-12-04 2023-11-29 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置
CN111443734B (zh) * 2020-03-20 2023-04-25 深圳市华昇智能科技有限公司 一种密集架多通道运行控制系统及方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06340310A (ja) * 1993-05-31 1994-12-13 Daifuku Co Ltd 回転式棚設備
JP2010523439A (ja) * 2007-04-12 2010-07-15 ヘーネル アンド カンパニー 複数のラックユニット及び搬送室を含む収納ラックにおける収納物の収納方法並びにそのような収納ラック

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH553635A (de) * 1971-12-27 1974-09-13 Roessler Ag Fertigungsanlage fuer formlinge aus keramischem material.
KR100307628B1 (ko) * 1999-04-03 2001-10-29 윤종용 반도체 제조설비의 청정방법 및 이를 적용한 반도체 제조 설비
US20020025244A1 (en) * 2000-04-12 2002-02-28 Kim Ki-Sang Transfer system and apparatus for workpiece containers and method of transferring the workpiece containers using the same
JP5170825B2 (ja) 2007-11-19 2013-03-27 村田機械株式会社 搬送システム及びステーションのシールド方法
DE102014008108A1 (de) * 2014-06-02 2015-12-03 Liebherr-Verzahntechnik Gmbh Vorrichtung zum automatisierten Entnehmen von in einem Behälter angeordneten Werkstücken

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06340310A (ja) * 1993-05-31 1994-12-13 Daifuku Co Ltd 回転式棚設備
JP2010523439A (ja) * 2007-04-12 2010-07-15 ヘーネル アンド カンパニー 複数のラックユニット及び搬送室を含む収納ラックにおける収納物の収納方法並びにそのような収納ラック

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