TWI658911B - 擋板 - Google Patents

Abstract

安裝於旋轉流形成體(1)之擋板(2)，係具備有：擋板本體(21)，被設置為可從旋轉流形成體(1)裝卸，且一面使藉由旋轉流形成體(1)產生之負壓所吸引的流體通過，一面阻礙被吸引物進入旋轉流形成體(1)之凹部(13)內；及支撐構件(22)，一端側被固定於旋轉流形成體(1)之本體(11)，另一端側以與旋轉流形成體(1)之端面(12)相對向的方式支撐擋板本體(21)，且以在端面(12)與擋板本體(21)之間保持間隙，並且形成用以流動有從凹部(13)流出之流體的流路之方式，支撐擋板本體(21)。

Description

擋板

[0001] 本發明，係關於一種擋板，其被安裝於利用白努利效應來吸引材料之裝置。

[0002] 以往，已知一種用以利用白努利效應來吸引半導體晶圓或玻璃基板等的板狀構件之裝置。例如，在專利文獻1中，係記載有如下述之吸引裝置，其具備有：旋轉流形成體，在其凹部內形成旋轉流而產生負壓，藉此，吸引被吸引構件。該吸引裝置，係更具備：擋板，阻礙被吸引構件進入旋轉流形成體所具備的凹部；及連結構件，在旋轉流形成體所具備的端面與擋板之間，形成用以流動有從凹部流出之流體的流路，並可穩定地吸引被吸引構件。 [先前技術文獻] [專利文獻] 　　[0003] 　　[專利文獻1]日本特開2016-159405號公報

[本發明所欲解決之課題] 　　[0004] 本發明，係有鑑於上述之技術而進行研究者，以提供一種擋板為目的，該擋板，係具備有：擋板本體，藉由形成旋轉流或放射流而產生負壓的方式，可裝卸地被安裝於吸引被吸引物的流體流形成體。 [用以解決課題之手段] 　　[0005] 為了解決上述之課題，本發明，係提供一種擋板，其被安裝於具備有柱狀之本體、平坦狀之端面、凹部及流體流形成手段的流體流形成體，該平坦狀之端面，係被形成於前述本體，該凹部，係被形成於前述端面，該流體流形成手段，係在前述凹部內形成流體之旋轉流或對前述凹部內吐出流體而形成放射流，藉此，產生負壓來吸引被吸引物，該擋板，其特徵係，具備有：擋板本體，被設置為可從前述流體流形成體裝卸，並一面使藉由前述負壓所吸引的流體通過，一面阻礙前述被吸引物進入前述凹部內；及支撐構件，一端側被固定於前述本體，另一端側以與前述端面相對向的方式支撐前述擋板本體，且以在前述端面與前述擋板本體之間保持間隙，並且形成用以流動有從前述凹部流出之流體的流路之方式，支撐前述擋板本體。 　　[0006] 在較佳的態樣中，前述擋板，係更具備有：間隙保持部，被設置為在前述端面與前述擋板本體之間保持兩者的間隔。 　　[0007] 再一較佳的態樣中，前述支撐構件，係具備有：爪部，被鈎掛於前述本體之與前述端面相反側的面，前述間隙保持部，係被設置為在與前述爪部之間夾住前述本體，並且形成前述流路。 　　[0008] 再一較佳的態樣中，前述擋板本體，係具備有：開口部，被形成於前述擋板本體之中央部，並藉由前述被吸引物之一部分陷入的方式，進行該被吸引物之定位；及孔部，在前述擋板被安裝於前述流體流形成體時，以與前述凹部相對向的方式，被形成於前述開口部的周圍。 　　[0009] 再一較佳的態樣中，前述支撐構件，係藉由該支撐構件之彈性力被固定於前述本體。 [發明之效果] 　　[0010] 根據本發明，可提供一種擋板，其係具備有：擋板本體，藉由形成旋轉流或放射流而產生負壓的方式，可裝卸地被安裝於吸引被吸引物的流體流形成體。

[0012] 以下，參照圖面，說明關於本發明之實施形態。 1.第1實施形態 　　圖1，係第1實施形態之吸引裝置10的立體圖。圖2，係從不同於圖1之方向所見之吸引裝置10的立體圖。圖3，係吸引裝置10之分解立體圖。圖4，圖1的A-A線剖面圖。圖5，圖4之B部分的放大圖。圖6，圖4的C-C線剖面圖。圖7，圖6的D-D線剖面圖。吸引裝置10，係用以吸引草莓等的食品而進行保持、搬送之裝置。吸引裝置10，係例如被安裝於機械臂之前端而使用。 　　[0013] 吸引裝置10，係具備有：旋轉流形成體1；及擋板2，可裝卸地被安裝於旋轉流形成體1。旋轉流形成體1，係形成旋轉流且藉由白努利效應來吸引被吸引物之裝置。旋轉流形成體1，係本發明之「流體流形成體」的一例。擋板2，係用以阻礙藉由旋轉流形成體1所吸引之被吸引物進入後述之凹部13的構件。擋板2，係將後述之各支撐構件22往外側加壓延展且將旋轉流形成體1夾在支撐構件22間，藉此，被安裝於旋轉流形成體1。 　　[0014] 旋轉流形成體1，係具備有本體11、端面12、凹部13、2個噴出口14及傾斜面15。本體11，係具有圓柱形狀，由鋁合金等的材料所構成。端面12，係平坦狀地被形成於本體11的一個面(具體而言，係面臨被吸引物的面)(以下，稱為「底面」。)。凹部13，係被形成於端面12，並具有圓柱形狀的有底孔。凹部13，係與本體11同軸形成。2個噴出口14，係被形成於面對凹部13之本體11的內周側面111。2個噴出口14，係被配置於比內周側面111之軸方向中央更往端面12側。又，2個噴出口14，係被配置為彼此相對向。具體而言，係以本體11或凹部13之中心軸的軸心為中心配置成點對稱。供給至旋轉流形成體1之流體，係經由各噴出口14被吐出至凹部13內。在此，流體，係指例如壓縮空氣等的氣體或純水或碳酸水等的液體。傾斜面15，係被形成於本體11的開口端。 　　[0015] 旋轉流形成體1，係又具備有供給口16、環狀通路17、連通路徑18及2條供給路徑19。供給口16，係具有圓形狀，並被形成於本體11之上面(亦即，與底面相反側之面)的中央。供給口16，係例如經由軟管被連接於未圖示之流體供給泵，並經由供給口16，將流體供給至本體11內。環狀通路17，係具有圓筒形狀，並以包圍凹部13的方式，被形成於本體11之內部。環狀通路17，係與凹部13同軸形成。環狀通路17，係將從連通路徑18所供給的流體供給至供給路徑19。連通路徑18，係被形成於本體11之內部，並沿本體11之底面或上面的半徑方向直線狀地延伸。連通路徑18，係在其兩端部中，與環狀通路17連通。連通路徑18，係經由供給口16，將被供給至本體11內的流體供給至環狀通路17。2條供給路徑19，係被形成為相對於端面12大致平行，且相對於凹部13的外圍而沿切線方向延伸。2條供給路徑19，係彼此平行地延伸。各供給路徑19，係其一端與環狀通路17連通，另一端與噴出口14連通。各供給路徑19，係在凹部13內形成流體之旋轉流。各供給路徑19，係本發明之「流體流形成手段」的一例。 　　[0016] 另一方面，擋板2，係具備有擋板本體21及4個支撐構件22。擋板本體21，係被設置為可從旋轉流形成體1裝卸，一面使藉由旋轉流形成體1產生之負壓所吸引的流體通過，一面阻礙被吸引物進入凹部13內。擋板本體21，係具有圓環狀之形狀。4個支撐構件22，係一端側可裝卸地被固定於本體11，另一端側以與端面12相對向的方式支撐擋板本體21。4個支撐構件22，係以在端面12與擋板本體21之間保持間隙，並且形成用以流動有從凹部13流出之流體的流路之方式，支撐擋板本體21。又，4個支撐構件22，係以覆蓋凹部13之一部分的方式，支撐擋板本體21。擋板本體21與4個支撐構件22，係一體成形。 　　[0017] 擋板本體21，係具備有外側環狀板211與內側環狀板212。外側環狀板211，係由板彈簧材料所構成，具有圓環狀之形狀。外側環狀板211，係其外徑成為與端面12之外徑大致相同，其內徑被形成為與端面12之內徑(換言之，凹部13開口之直徑)大致相同。外側環狀板211，係具備有4個間隔件2111。4個間隔件2111，係分別被設置為在端面12與擋板本體21之間保持兩者間隔，並在與後述之支撐構件22的爪部221之間夾住(挾持)本體11，並且形成用以流動有從凹部13流出之流體的流路。4個間隔件2111，係分別為本發明之「間隙保持部」的一例。4個間隔件2111，係等間隔地被形成於外側環狀板211之外緣。4個間隔件2111，係藉由壓紋加工被形成為圓形且大致相同的高度。4個間隔件2111之高度，係規定端面12與擋板本體21之間的間隙，該高度，係因應從流體供給泵對吸引裝置10所供給之流體的流量而設定。例如，該高度，係被設定為使從凹部13流出的流體不通過後述之內側環狀板212的開口部2121，而是通過藉由間隔件2111被形成於端面12與擋板本體21之間的流路。此時，為了不使吸引裝置10的吸引力降低，間隔件2111之高度，係儘可能地低為較佳。 　　[0018] 內側環狀板212，係由橡膠材料或高彈性樹脂等的彈性構件所構成，具有圓環狀之形狀。內側環狀板212，係可因應接觸到之被吸引物的形狀而變形。內側環狀板212，係被形成為其外徑比外側環狀板211之開口的直徑大且比外側環狀板211之外徑小，並藉由黏著劑或螺旋夾等，大致同軸地被安裝於外側環狀板211。內側環狀板212，係具備有開口部2121與4個孔部2122。開口部2121，係被形成在內側環狀板212之中央部(換言之，擋板本體21之中央部)被形成為圓形，並藉由被吸引物之一部分陷入的方式，進行該被吸引物之定位。開口部2121，係被形成為其直徑比凹部13開口之直徑小。4個孔部2122，係在擋板2被安裝於旋轉流形成體1時，以與凹部13相對向的方式，在開口部2121之周圍等間隔地被形成為圓形。孔部2122，係被形成為其直徑比開口部2121之直徑小。 　　[0019] 4個支撐構件22，係分別被形成為將從擋板本體21的周緣以等間隔延伸之細長的板彈簧材料相對於擋板本體21大致垂直地折彎。板彈簧材料，係被形成為比本體11之軸方向的長度長。在折彎板彈簧材料之際，其角度，係在將擋板2安裝於旋轉流形成體1時，被調整為藉由各支撐構件22之復原力(彈性力)推壓旋轉流形成體1的本體11側面，使本體11被挾持在各支撐構件22之間。在4個支撐構件22之端部，係分別形成有爪部221。爪部221，係被鈎掛於本體11之上面的外緣(換言之，鈎掛而固定)。爪部221，係被形成為將構成支撐構件22之板彈簧材料的端部相對於板彈簧材料延伸之方向而大致垂直地往內側折彎。此時，折彎板彈簧材料之角度，係在將擋板2安裝於旋轉流形成體1時，被調整為藉由爪部221之復原力(彈性力)推壓旋轉流形成體1之本體11的上面及底面，使本體11被挾持在爪部221與間隔件2111之間。爪部221，係在將擋板2安裝於旋轉流形成體1時，以相對於上面成為凸的方式，施予V彎曲加工。 　　[0020] 其次，說明關於以上說明之吸引裝置10的吸引動作。當從流體供給泵對旋轉流形成體1之供給口16供給流體時，則其流體通過連通路徑18、環狀通路17及供給路徑19而從噴出口14被吐出至凹部13內。吐出至凹部13之流體，係在凹部13內成為旋轉流而整流，其後，從凹部13之開口流出。此時，在例如作為被吸引物之草莓存在於與擋板本體21相對向之位置的情況下，外部流體流入凹部13被限制，藉由旋轉流之離心力與捲入效應，旋轉流中心部之每單位體積之流體分子的密度會變小而在凹部13內產生負壓。其結果，吸引裝置10之周圍的流體，係經由擋板2之開口部2121與孔部2122開始朝凹部13內流入，草苺，係藉由周圍之流體被推壓而拉引至吸引裝置10側。拉引至吸引裝置10之草莓，係例如其前端部分陷入擋板2之開口部2121而進行其定位。另一方面，從凹部13之開口流出之主要的流體，係不通過擋板2之開口部2121或孔部2122，而是通過被形成於擋板本體21與端面12之間的流路，朝吸引裝置10外流出。 　　[0021] 根據以上說明之吸引裝置10，由於藉由擋板2阻礙被吸引物進入凹部13內，因此，可防止被吸引物與旋轉流形成體1之傾斜面15接觸而損傷。又，由於從凹部13流出之主要的流體，係不通過擋板2之開口部2121或孔部2122而朝吸引裝置10外流出，因此，可抑制從開口部2121或孔部2122流出之流體與被吸引物發生衝突而造成被吸引物顫動或旋轉的現象。亦即，可更穩定地進行與被吸引物的吸引。又，由於擋板2，係即便不使用工具亦可裝卸地被安裝於旋轉流形成體1，因此，容易去除被包夾於旋轉流形成體1與擋板2之間的廢料，或單獨以擋板2進行洗淨。又，由於擋板2，係藉由支撐構件22之彈性力被固定於旋轉流形成體1，因此，與不以板彈簧材料來形成支撐構件22的情況相比，擋板2從旋轉流形成體1偏離而落下的風險被減低。又，由於即便被吸引物之一部分陷入開口部2121且開口部2121被封閉，周圍之流體亦可經由孔部2122朝向凹部13內流入，因此，可防止周圍之流體強行地流入開口部2121與被吸引物之間隙而導致內側環狀板212振動且產生噪音的情形。又，由於吸引到的流體，係全被排出至吸引裝置10外，並不會侵入凹部13或噴出口14，因此，可防止流體之供給路徑因被吸引物而被污染的情形。 　　[0022] 2.第2實施形態 　　圖8，係第2實施形態之吸引裝置10A的立體圖。圖9，係從不同於圖8之方向所見之吸引裝置10A的立體圖。圖10，係吸引裝置10A之分解立體圖。圖11，係圖8的E-E線剖面圖。圖12，係圖11之F部分的放大圖。圖13，係圖11的G-G線剖面圖。圖14，係圖13的H-H線剖面圖。吸引裝置10A，係在擋板之支撐構件被固定於旋轉流形成體的本體側面該點與未具備間隔件該點上，不同於第1實施形態之吸引裝置10。以下，僅說明關於該些不同點，並省略重複之說明。 　　[0023] 吸引裝置10A，係具備有：旋轉流形成體1A；及擋板2A，可裝卸地被安裝於旋轉流形成體1A。形成旋轉流且藉由白努利效應來吸引被吸引物之裝置。旋轉流形成體1A，係本發明之「流體流形成體」的一例。擋板2A，係用以阻礙藉由旋轉流形成體1A所吸引之被吸引物進入凹部13的構件。擋板2A，係將後述之各支撐構件22A往外側加壓延展且將旋轉流形成體1A夾在支撐構件22A間，藉此，被安裝於旋轉流形成體1A。 　　[0024] 旋轉流形成體1A，係除了本體11、端面12、凹部13、2個噴出口14及傾斜面15外，另具備有4個溝部112。關於4個溝部112以外的構成要素，係由於與第1實施形態重複，因此，省略其說明。4個溝部112，係等間隔地被形成於本體11側面。4個溝部112，係被形成於比本體11側面之軸方向中央更往上面側。4個溝部112，係被形成為其周方向之長度比端面12外周之圓弧的1/4長度短。4個溝部112，係分別藉由被排列於軸方向的沿周方向延伸之3個V字狀的溝(換言之，縫隙)所構成。在4個溝部112的各個中，係卡止有後述之擋板2A的爪部221A。 　　[0025] 旋轉流形成體1A，係又具備有供給口16、環狀通路17、連通路徑18及2條供給路徑19。由於該些構成要素，係與第1實施形態重複，因此，省略其說明。 　　[0026] 另一方面，擋板2A，係具備有擋板本體21及4個支撐構件22A。關於擋板本體21，係由於與第1實施形態重複，因此，省略其說明。4個支撐構件22A，係一端側可裝卸地被固定於本體11，另一端側以與端面12相對向的方式支撐擋板本體21。4個支撐構件22A，係以在端面12與擋板本體21之間保持間隙，並且形成用以流動有從凹部13流出之流體的流路之方式，支撐擋板本體21。又，4個支撐構件22A，係以覆蓋凹部13之一部分的方式，支撐擋板本體21。擋板本體21與4個支撐構件22A，係一體成形。 　　[0027] 4個支撐構件22A，係分別被形成為將從擋板本體21的周緣以等間隔延伸之細長的板彈簧材料相對於擋板本體21大致垂直地折彎。板彈簧材料，係被形成為比本體11之軸方向的1/2長度長，且比本體11之軸方向之整體的長度短。在折彎板彈簧材料之際，其角度，係在將擋板2安裝於旋轉流形成體1A時，被調整為藉由各支撐構件22A之復原力(彈性力)推壓旋轉流形成體1A的本體11側面，使本體11被挾持在各支撐構件22A之間。在4個支撐構件22之端部，係分別形成有爪部221A。爪部221A，係藉由支撐構件22A之復原力(彈性力)被卡止於本體11的溝部112(換言之，卡合而固定)。其結果，相對於擋板2A的旋轉流形成體1A之上下方向的位置被固定。爪部221A，係在將擋板2A安裝於旋轉流形成體1A時，以相對於本體11側面成為凸的方式，對構成支撐構件22A之板彈簧材料的端部施予V彎曲加工而形成。 　　[0028] 其次，說明關於以上說明之吸引裝置10A的吸引動作。當從流體供給泵對旋轉流形成體1A之供給口16供給流體時，則其流體通過連通路徑18、環狀通路17及供給路徑19而從噴出口14被吐出至凹部13內。吐出至凹部13之流體，係在凹部13內成為旋轉流而整流，其後，從凹部13之開口流出。此時，在例如作為被吸引物之草莓存在於與擋板本體21相對向之位置的情況下，外部流體流入凹部13被限制，藉由旋轉流之離心力與捲入效應，旋轉流中心部之每單位體積之流體分子的密度會變小而在凹部13內產生負壓。其結果，吸引裝置10A之周圍的流體，係經由擋板2A之開口部2121與孔部2122開始朝凹部13內流入，草苺，係藉由周圍之流體被推壓而拉引至吸引裝置10A側。拉引至吸引裝置10A之草莓，係例如其前端部分陷入擋板2A之開口部2121而進行其定位。另一方面，從凹部13之開口流出之主要的流體，係不通過擋板2A之開口部2121或孔部2122，而是通過被形成於擋板本體21與端面12之間的流路，朝吸引裝置10A外流出。 　　[0029] 根據以上說明之吸引裝置10A，除了在第1實施形態所獲得的優點外，另具有不必形成間隔件的優點。此乃因擋板2A之爪部221A被卡止於旋轉流形成體1A的溝部112，且相對於擋板2A的旋轉流形成體1A之上下方向的位置被固定，其結果，在端面12與擋板本體21之間保持間隙的緣故。又，具有如下述之優點：變更卡止有擋板2A之本體11的溝，藉此，可調整端面12與擋板本體21之間的間隙。 　　[0030] 3.變形例 　　上述之實施形態，係亦可如以下般地加以變形。又，以下之變形例，係亦可彼此組合。 　　[0031] 3-1.變形例1 　　上述之實施形態的旋轉流形成體1或1A之本體11與凹部13的形狀，係不限於圓柱，亦可為例如角柱或楕圓柱。又，在面對凹部13之本體11的內周側面111，係亦可形成朝向開口擴徑的錐形。又，在凹部13內，係亦可形成有凸部，該凸部，係在其外周側面與本體11的內周側面111之間形成流體流路(例如，參閱日本特開2016-159405號公報之圖13)。又，設置於旋轉流形成體1或1A之噴出口14及供給路徑19的個數，係不限於2個，亦可為1個或3個以上。又，噴出口14之配置，係不限於比內周側面111之軸方向中央更往端面12側，亦可為軸方向中央或上面側。又，傾斜面15之形成，係亦可省略。又，供給口16之形狀，係不限於圓形，亦可為例如矩形或楕圓。又，供給口16，係並非本體11上面，亦可被形成於側面。又，2條供給路徑19，係亦可不一定彼此平行地延伸。 　　[0032] 又，在上述之實施形態的吸引裝置10或10A中，亦可採用形成放射流且藉由白努利效應來吸引被吸引物的裝置即放射流形成體，以代替旋轉流形成體1或1A(例如，參閱日本特開2016-159405號公報之圖12)。放射流形成體，係本發明之「流體流形成體」的一例。放射流形成體，係具備有：柱狀之本體；平坦狀之端面，被形成於本體；凹部，被形成於端面；及放射流形成手段，對凹部內吐出流體而形成放射流，藉此，產生負壓。 　　[0033] 又，在上述之實施形態的吸引裝置10或10A中，亦可採用形成旋轉流且藉由白努利效應來吸引被吸引物的裝置即使用了馬達風扇之非接觸卡盤，以代替旋轉流形成體1或1A(例如，參閱日本特開2011-138948號公報)。該非接觸卡盤，係本發明之「流體流形成體」的一例。該非接觸卡盤，係具備有：柱狀之本體；平坦狀之端面，被形成於本體；凹部，被形成於端面；及旋轉流形成手段，在凹部內形成流體之旋轉流，藉此，產生負壓來吸引被吸引物。 　　[0034] 又，在上述之實施形態的吸引裝置10或10A中，亦可採用以下說明之旋轉流形成體3，以代替旋轉流形成體1或1A。 　　[0035] 圖15，係表示旋轉流形成體3之下面之一例的立體圖。圖16，係表示旋轉流形成體3之上面之一例的立體圖。圖17，係圖16的I-I線剖面圖。旋轉流形成體3，係形成旋轉流且藉由白努利效應來吸引被吸引物之裝置。旋轉流形成體3，係本發明之「流體流形成體」的一例。該旋轉流形成體3，係具有：大致環狀之柱體即本體31，在中央具有剖面圓形的貫穿孔32(本發明之「凹部」的一例)；平坦狀之第1端面33，被形成於本體31的下面，並與被吸引物相對向；平坦狀之第2端面34，被形成於本體31的上面；2個噴出口35，被形成於面對貫穿孔32之本體31的內周面311；2個供給口36，被形成於本體31的外周面312；2根直線狀之流體通路37，連通噴出口35與供給口36；大致圓板狀之蓋板38；及保持構件即4個間隔件39，以相對於第2端面34大致平行地相對向的方式，固定地保持蓋板38。 　　[0036] 與本體31之中心軸大致垂直之剖面的外周，係具有分別以直線狀切掉相對向之外周的一部分之圓的形狀。本體31之內周面311，係被形成為將從噴出口35所噴出的流體引導至遠離被吸引物之方向而從貫穿孔32排出。更具體而言，係被形成為引導至第2端面34之開口而從貫穿孔32排出。進一步具體而言，係被形成為使內周面311的與本體31中心軸大致垂直之剖面的面積從第1端面33之開口朝向第2端面34之開口逐漸擴徑。亦即，形成為錐狀。 　　[0037] 貫穿孔32，係被形成為沿本體31之中心軸方向直線狀地延伸。貫穿孔32，係開口於第1端面33，並且開口於第2端面34。 　　[0038] 第1端面33及第2端面34，係相對於本體31之中心軸而大致垂直地形成。 　　[0039] 2個噴出口35，係在內周面311，被形成於本體31之中心軸方向中央。又，以相對於本體31之中心軸成為點對稱的方式而形成。2個供給口36，係在外周面312，被形成於本體31之中心軸方向中央。又，以相對於本體31之中心軸成為點對稱的方式而形成。又，分別經由例如軟管被連接於未圖示的流體供給泵。 　　[0040] 2個流體通路37，係被形成為相對於本體31的內周而沿切線方向延伸。又，以彼此大致平行地延伸的方式而形成。又，以與本體31之中心軸大致垂直地延伸的方式而形成。又，以分別在噴出口35之前方徑縮的方式而形成。2個流體通路37，係使流體從噴出口35噴出至貫穿孔32內。噴出至貫穿孔32內之流體，係藉由附壁效應沿著本體31的內周面流動，並在貫穿孔32內形成旋轉流。構成所形成之旋轉流的流體分子中之大部分，係以相對於供給有其流體分子之流體通路37所延伸的方向呈約為45度之角度，從貫穿孔32沿著第2端面34流出。形成於貫穿孔32內之旋轉流，係藉由捲入貫穿孔32的中央部之靜止流體的方式(捲入效應)，在貫穿孔32之中央部產生負壓。藉由該負壓，與第1端面33相對向之板狀構件被吸引。另外，流體分子從貫穿孔32沿著第2端面34流出的角度，係根據貫穿孔32之直徑或深度及流體的流速而決定，上述之約45度的角度僅為一例。 　　[0041] 蓋板38，係具有大致垂直於本體31之中心軸之剖面的外周相同之形狀。蓋板38，係覆蓋貫穿孔32，限制外部流體(具體而言，係氣體或液體)流入貫穿孔32。 　　[0042] 4個間隔件39，係分別具有圓柱之形狀。4個間隔件39，係沿著第2端面34之外周而等間隔地安裝。此時，被安裝為從第2端面34朝向蓋板38大致垂直地延伸，並連結本體31與蓋板38。各間隔件39，係藉由例如螺旋夾被固定相對於本體31與蓋板38。4個間隔件39，係在第2端面34與蓋板38之間，形成用以流動有從貫穿孔32流出之流體的流路。通過了該流路之流體，係朝旋轉流形成體3的外部流出。4個間隔件39之高度(換言之，第2端面34與蓋板38之間的間隙)，係因應從流體供給泵對旋轉流形成體3所供給之流體的流量而設定。4個間隔件39，係最好是被安裝於在第2端面34中不會阻礙從貫穿孔32流出之流體的流路之位置。此為防止從貫穿孔32流出之流體與間隔件39發生衝突而產生亂流的緣故。從貫穿孔32流出之流體的流路，雖係根據貫穿孔32之直徑或深度及流體的流速而決定，但4個間隔件39最好是例如不被安裝於與流體通路37延伸之方向大致呈45度的角度之線上。 　　[0043] 當經由軟管對以上說明之旋轉流形成體3供給流體時，則所供給之流體，係通過供給口36與流體通路37而從噴出口35被噴出至貫穿孔32內。噴出至貫穿孔32內之流體，係在貫穿孔32內被整流為旋轉流。而且，構成旋轉流之流體分子的大部分，係被引導至內周面311，且從貫穿孔32沿著第2端面34流出。此時，在與第1端面33相對向而存在有被吸引物的情況下，係在外部流體(具體而言，係氣體或液體)流入貫穿孔32被限制的狀態中，旋轉流之中心部的每單位體積之流體分子的密度因旋轉流之離心力與捲入而變小。亦即，在旋轉流之中心部產生負壓。其結果，被吸引物，係藉由周圍之流體被推壓而拉引至第1端面33側。 　　[0044] 如此一來，在旋轉流形成體3中，係由於從貫穿孔32流出之流體分子的大部分沿著第2端面34流出，因此，即便存在有沿著第1端面33流出之流體分子的量亦極輕微。因此，與使流體不從第2端面34側流出的情況相比，沿著第1端面33流出之流體與板狀構件發生衝突而造成板狀構件振動或旋轉的現象被抑制。其結果，實現更穩定地進行與板狀構件的吸引、保持及搬送。又，因振動(顫動)而引起之板狀構件的皺褶之產生或變形或缺陷之產生被抑制。亦即，在旋轉流形成體3中，係可僅分離利用貫穿孔32內所形成之旋轉流的吸引力。 　　[0045] 3-2.變形例2 　　上述之實施形態的外側環狀板211與內側環狀板212的形狀，係不限於圓環，亦可為例如角環或楕圓環。又，外側環狀板211之材料，係不限於板彈簧材料，亦可為其他彈性材料。抑或，亦可為難以彈性變形的材料。又，外側環狀板211之外徑，係亦可不一定與端面12的外徑相同，外側環狀板211之內徑，係亦可不一定與端面12的內徑相同。在將外側環狀板211之內徑設成為小於端面12之內徑的情況下，亦可不在外側環狀板211安裝內側環狀板212，而是在外側環狀板211之開口的周圍形成4個孔部。又，外側環狀板211所具備之間隔件2111的個數，係不限於4個，亦可為3個以下或5個以上。間隔件2111之配置，係不限於外側環狀板211的外緣，亦可為徑方向中央或內緣。又，間隔件2111，係亦可不一定等間隔地形成。又，間隔件2111之形狀，係不限於圓形，亦可為例如矩形或楕圓。又，間隔件2111之形成方法，係不限於壓紋加工，亦可例如以將柱狀之小片安裝於外側環狀板211之表面的方式，形成間隔件2111。又，內側環狀板212所具備之孔部2122的個數，係不限於4個，亦可為3個以下或5個以上。又，孔部2122之配置，係不限於與凹部13相對向的位置，亦可為與端面12相對向的位置。又，孔部2122，係亦可不一定等間隔地形成。又，孔部2122之形狀，係不限於圓形，亦可為例如矩形或楕圓。 　　[0046] 又，亦可使上述之實施形態的外側環狀板211具備有以下說明的引導部2112。 　　[0047] 圖18，係吸引裝置10B的立體圖。圖19，係從不同於圖18之方向所見之吸引裝置10B的立體圖。吸引裝置10B，係在外側環狀板211A具備有引導部2112該點上，不同於第1實施形態之吸引裝置10。該引導部2112，係被形成為具有圓筒形狀，在擋板2B被安裝於旋轉流形成體1時，包圍本體11之外周側面(換言之，凹部13之開口的外周)。引導部2112，係被形成為其內周面不與本體之外周側面接觸。引導部2112之軸方向的長度，雖係在圖示的例子中，比本體11之軸方向的1/2長度短，但亦可比其長。引導部2112，係限制從旋轉流形成體1之凹部13沿著端面12流出之流體的流動，且將該流體引導至遠離被吸引物之位置(正確而言，係吸引開始前之位置)的方向。引導部2112，係特別限制從凹部13沿著端面12流出的流體之流向具有徑方向成分的方向。而且，將該流體引導至包含被吸引物之吸引方向的方向成分之方向。更具體而言，係將從凹部13流出之流體沿著引導部2112的內周面引導至圖中上方向。 　　[0048] 又，亦可在上述之實施形態的外側環狀板211安裝網格或多孔質材料(多孔材料)，以代替內側環狀板212(例如，參閱日本特開2016-159405號公報之圖6)。抑或，亦可在中央部安裝具有圓錐形狀或半球形狀之凹部的網格(例如，參閱日本特開2016-159405號公報之圖7及圖8)。在該凹部中，係被吸引物之一部分或全部陷入而進行該被吸引物之定位。抑或，亦可藉由對外側環狀板211之開口端施加R彎曲加工的方式，形成朝向凹部13突出的限制部(例如，參閱日本特開2016-159405號公報之圖9)。 　　[0049] 3-3.變形例3 　　上述之實施形態的支撐構件22或22A之材料，係不限於板彈簧材料，亦可為其他彈性材料。又，在形成支撐構件22或22A之際，折彎板彈簧材料之角度，係亦可根據本體11的形狀而不一定與擋板本體21垂直。又，支撐構件22或22A的個數，係不限於4個，亦可為3個以下或5個以上。又，支撐構件22或22A之一端側(不限於前端)，係不限於外側環狀板211之周緣，亦可從其表面延伸。又，支撐構件22或22A，係亦可不一定等間隔地形成。又，支撐構件22A之長度，係亦可不一定比本體11之軸方向整體的長度短。又，在支撐構件22或22A中形成爪部221或221A之位置，係不限於前端，亦可為比前端更往擋板本體21側。又，在本體11中鈎掛爪部221之位置，係不限於上面的外緣，亦可為上面之徑方向中央或上面之中央部。又，爪部221之形狀，係不限於V字形，亦可為例如平坦狀或波形。又，爪部221A之形成方法，係不限於V彎曲加工，亦可以將構成支撐構件22A之板彈簧材料的端部相對於板彈簧材料延伸之方向而大致垂直地往內側折彎的方式形成。圖20，係具備有以像這樣的方法所形成之爪部221B之擋板2C的立體圖。抑或，爪部221A之形狀，係亦可為波形。又，爪部221A，係亦可藉由螺旋夾被固定於本體11側面。 　　[0050] 又，在上述之第2實施形態的擋板2A中，除了4個支撐構件22A外，亦可具備有第1實施形態之1以上的支撐構件22。根據該變形，擋板2A從旋轉流形成體1A偏離而落下的風險被更減低。 　　[0051] 又，在上述之第1實施形態的吸引裝置10中，亦可採用以下說明之4個支撐構件22B，以代替4個支撐構件22。 　　[0052] 圖21，係吸引裝置10C的立體圖。圖22，係吸引裝置10C的側視圖。圖23，係圖22之J部分的放大圖。吸引裝置10C，係在各支撐構件22B具備R部222該點與外側環狀板211A未具備間隔件該點上，不同於第1實施形態之吸引裝置10。R部222，係在旋轉流形成體1的端面12與擋板本體21A之間保持兩者的間隔之彎曲構造。具體而言，R部222，係以相接於端面12之外周而支撐旋轉流形成體1的方式，保持該間隔。因此，在吸引裝置10C中，係不需具備間隔件。R部222，係本發明之「間隔保持部」的一例。4個支撐構件22B，係分別被形成為以藉由圓化加工，將從擋板本體21A的周緣以等間隔延伸之細長的板彈簧材料相對於擋板本體21A大致垂直地延伸之方式折彎。板彈簧材料，係被形成為比本體11之軸方向的長度長。在折彎板彈簧材料之際，其曲率，係在將擋板2D安裝於旋轉流形成體1時，被調整為藉由各支撐構件22B之復原力(彈性力)推壓旋轉流形成體1的本體11側面，使本體11被挾持在各支撐構件22B之間。在4個支撐構件22B之端部，係分別形成有爪部221。關於爪部221，係由於與第1實施形態重複，因此，省略其說明。 　　[0053] 另外，在上述之吸引裝置10C所具備的支撐構件22B中，亦可採用圖24所示的段部223，以代替R部222。段部223，係在旋轉流形成體1的端面12與擋板本體21A之間保持兩者的間隔之構造。具體而言，段部223，係以相接於端面12之外緣而支撐旋轉流形成體1的方式，保持該間隔。段部223，係本發明之「間隔保持部」的一例。 　　[0054] 又，在上述之第1實施形態的吸引裝置10中，亦可採用以下說明之4個支撐構件22C，以代替4個支撐構件22。 　　[0055] 圖25，係吸引裝置10D的立體圖。吸引裝置10D，係在各支撐構件22C之爪部221C藉由螺旋夾被固定於旋轉流形成體1的本體11上面且擋板2E以使用工具的方式可裝卸地被安裝於旋轉流形成體1該點與外側環狀板211B未具備間隔件該點上，不同於第1實施形態之吸引裝置10。爪部221C，係僅在被形成為平坦狀該點上，與第1實施形態的爪部221不同。以爪部221C被螺合固定於本體11上面的方式，相對於擋板2E的旋轉流形成體1之上下方向的位置被固定，其結果，在端面12與擋板本體21之間保持間隙。因此，在吸引裝置10D中，係不需要間隔件。 　　[0056] 另外，在上述之吸引裝置10D中，亦可藉由磁力或摩擦力來將爪部221C固定於旋轉流形成體1的本體11上面，以代替螺旋夾。 　　[0057] 又，在上述之吸引裝置10D中，亦可不使4個支撐構件22C與擋板本體21一體成形而是獨立成形。此時，亦可僅將4個支撐構件22C與擋板本體21中之擋板本體21可從旋轉流形成體1裝卸。例如，亦可將4個支撐構件22C熔接於旋轉流形成體1的本體11上面，另一方面，關於擋板本體21，係藉由螺旋夾固定於支撐構件22C而使用工具進行裝卸。 　　[0058] 又，在上述之吸引裝置10D中，亦可將4個支撐構件22C熔接於旋轉流形成體1的本體11上面，藉此，以不能從旋轉流形成體1裝卸的方式安裝擋板2E。 　　[0059] 3-4.變形例4 　　上述之第2實施形態之溝部112的個數，係不限於4個，亦可為3個以下或5個以上。又，溝部112之位置，係不限於比本體11側面的軸方向中央更往上面側，亦可為本體11側面的軸方向中央或比其更往端面12側。又，溝部112，係亦可不一定等間隔地形成。又，溝部112之周方向的長度，係亦可不一定比端面12外周之圓弧的1/4長度短。構成各溝部112之溝的個數，係不限於3個，亦可為2個以下或4個以上。又，溝之形狀，係不限於V字形，亦可為例如U字形。 　　[0060] 3-5.變形例5 　　上述之實施形態的吸引裝置10或10A，係不限於食品，亦可使用於吸引且保持而搬送半導體晶圓或玻璃基板等的板狀或薄片狀之構件。此時，根據被吸引構件之尺寸，係亦可將複數個吸引裝置10或10A安裝於板狀的框架而使用(例如，參閱日本特開2016-159405號公報之圖10及圖11)。

[0061]

1、1A、3‧‧‧旋轉流形成體

2、2A、2B、2C、2D、2E‧‧‧擋板

3‧‧‧旋轉流形成體

10、10A、10B、10C、10D‧‧‧吸引裝置

11‧‧‧本體

12‧‧‧端面

13‧‧‧凹部

14‧‧‧噴出口

15‧‧‧傾斜面

16‧‧‧供給口

17‧‧‧環狀通路

18‧‧‧連通路徑

19‧‧‧供給路徑

21、21A‧‧‧擋板本體

22、22A、22B、22C‧‧‧支撐構件

31‧‧‧本體

32‧‧‧貫穿孔

33‧‧‧第1端面

34‧‧‧第2端面

35‧‧‧噴出口

36‧‧‧供給口

37‧‧‧流體通路

38‧‧‧蓋板

39‧‧‧間隔件

111‧‧‧內周側面

112‧‧‧溝部

211、211A、211B‧‧‧外側環狀板

212‧‧‧內側環狀板

221、221A、221B、221C‧‧‧爪部

222‧‧‧R部

223‧‧‧段部

311‧‧‧內周面

312‧‧‧外周面

2111‧‧‧間隔件

2112‧‧‧引導部

2121‧‧‧開口部

2122‧‧‧孔部

[0011] 　　[圖1]吸引裝置10之一例的立體圖。 　　[圖2]從不同於圖1之方向所見之吸引裝置10的立體圖。 　　[圖3]吸引裝置10的分解立體圖。 　　[圖4]圖1的A-A線剖面圖。 　　[圖5]圖4之B部分的放大圖。 　　[圖6]圖4的C-C線剖面圖。 　　[圖7]圖6的D-D線剖面圖。 　　[圖8]吸引裝置10A之一例的立體圖。 　　[圖9]從不同於圖8之方向所見之吸引裝置10A的立體圖。 　　[圖10]吸引裝置10A的分解立體圖。 　　[圖11]圖8的E-E線剖面圖。 　　[圖12]圖11之F部分的放大圖。 　　[圖13]圖11的G-G線剖面圖。 　　[圖14]圖13的H-H線剖面圖。 　　[圖15]表示旋轉流形成體3之下面之一例的立體圖。 　　[圖16]表示旋轉流形成體3之上面之一例的立體圖。 　　[圖17]圖16的I-I線剖面圖。 　　[圖18]吸引裝置10B之一例的立體圖。 　　[圖19]從不同於圖18之方向所見之吸引裝置10B的立體圖。 　　[圖20]擋板2C之一例的立體圖。 　　[圖21]吸引裝置10C之一例的立體圖。 　　[圖22]吸引裝置10C的側視圖。 　　[圖23]圖22之J部分的放大圖。 　　[圖24]段部223之一例的放大圖。 　　[圖25]吸引裝置10D之一例的立體圖。

Claims (5)

1. 一種擋板，係被安裝於具備有柱狀之本體、平坦狀之端面、凹部及流體流形成手段的流體流形成體，該平坦狀之端面，係被形成於前述本體，該凹部，係被形成於前述端面，該流體流形成手段，係在前述凹部內形成流體之旋轉流或對前述凹部內吐出流體而形成放射流，藉此，產生負壓來吸引被吸引物，該擋板，其特徵係，具備有：擋板本體，被設置為可從前述流體流形成體裝卸，並一面使藉由前述負壓所吸引的流體通過，一面阻礙前述被吸引物進入前述凹部內；及支撐構件，一端側被固定於前述本體，另一端側以與前述端面相對向的方式支撐前述擋板本體，且以在前述端面與前述擋板本體之間保持間隙，並且形成用以流動有從前述凹部流出之流體的流路之方式，支撐前述擋板本體。
2. 如申請專利範圍第1項之擋板，其中，更具備有：間隙保持部，被設置為在前述端面與前述擋板本體之間保持兩者的間隔。
3. 如申請專利範圍第2項之擋板，其中，前述支撐構件，係具備有：爪部，被鈎掛於前述本體之與前述端面相反側的面，前述間隙保持部，係被設置為在與前述爪部之間夾住前述本體，並且形成前述流路。
4. 如申請專利範圍第1~3項中任一項之擋板，其中，前述擋板本體，係具備有：開口部，被形成於前述擋板本體之中央部，並藉由前述被吸引物之一部分陷入的方式，進行該被吸引物之定位；及孔部，在前述擋板被安裝於前述流體流形成體時，以與前述凹部相對向的方式，被形成於前述開口部的周圍。
5. 如申請專利範圍第1~3項中任一項之擋板，其中，前述支撐構件，係藉由該支撐構件之彈性力被固定於前述本體。