KR20180100403A - 방해판 - Google Patents

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가쓰히로 고시이시
히데미쓰 다나카
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가부시키가이샤 하모테크
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Abstract

유체 흐름 형성체(1)에 부착되는 방해판(2)은 유체 흐름 형성체(1)에 탈착 가능한 방해판 본체(21)를 포함한다. 방해판 본체(21)는 유체 흐름 형성체(1)에 의해 생성된 부압에 의해 흡입된 유체가 통과하도록 하고, 부재가 유체 흐름 형성체(1)의 오목부(13)에 진입하는 것을 방지한다. 또한, 방해판(2)은 그 일 단부에서 유체 흐름 형성체(1)의 본체(11)에 부착되는 지지 부재(22)를 포함하며, 방해판 본체(21)가 유체 흐름 형성체(1)의 단면(12)에 대향하도록 그 다른 단부에서 방해판 본체(12)를 지지한다. 지지 부재(22)는 단부(12)와 방해판 본체(21) 사이의 간격이 유지되도록 방해판 본체(21)를 지지하며, 유체가 오목부(13)에서 유출되도록 하는 유로가 형성된다.

Description

방해판
본 발명은 베르누이 원리를 이용하여 재료를 흡인하는 장치에 장착되는 방해판에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼나 유리 기판 등의 판상 부재를 베르누이 원리를 이용하여 흡인하는 장치가 알려져 있다. 예를 들어, 특허 문헌 1에는 선회류 형성체의 오목부 내에 선회류를 형성하는 선회류 형성체를 구비하는 흡인 장치가 기재되어 있다. 오목부 내에 형성된 선회류는 부재를 흡인하는 부압을 생성한다. 흡인 장치는 또한 부재가 오목부에 진입하는 것을 저해하는 방해판 및 선회류 형성체의 단면과 방해판 사이에서 유체가 오목부로부터 나와서 흐르도록 하는 유로를 형성하기 위한 연결 부재를 더 포함한다. 이 흡인 장치는 부재를 더 안정적 방식으로 흡인할 수 있다.
일본국 특개 2016-159405 호 공보
본 발명은 상기의 기술을 감안하여 이루어진 것이며, 선회류 또는 방사류를 형성하여 부압을 발생시킴으로써 부재를 흡인하는 유체 흐름 형성체에 착탈 가능하게 장착되는 방해판 본체를 구비하는 방해판을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기의 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 유체 흐름 형성체에 장착되는 방해판을 제공하며, 상기 유체 흐름 형성체는: 기둥 모양의 본체; 상기 본체에 형성되는 평평한 단면; 상기 단면에 형성된 오목부; 및 상기 오목부 내에 유체의 선회류를 형성하거나 또는 상기 오목부 내에 유체를 토출하여 방사류를 형성함으로써 부압을 발생시켜 부재를 흡인하는 유체 흐름 형성 수단을 구비하며, 상기 방해판은: 상기 유체 흐름 형성체로부터 탈착이 가능하도록 설치되어 상기 부압에 의해 흡인된 유체를 통과하면서 상기 오목부 내로 상기 부재가 진입하는 것을 저해하는 방해판 본체; 및 일단측이 상기 본체에 고정되고, 타단측이 상기 방해판 본체를 상기 단면에 대향하도록 지지하는 지지 부재로서, 상기 단면과 상기 방해판 본체 사이에 간격이 유지되는 동시에, 상기 오목부로부터 유출되는 유체가 흐르도록 하기 위한 유로가 형성되도록 상기 방해판 본체를 지지하는 지지 부재를 구비하는 방해판을 제공한다.
바람직한 구체예에 있어서, 상기 방해판은 상기 단면과 상기 방해판 본체 사이에 양자의 간격을 유지하도록 설치되는 간격 유지부를 더 포함한다.
더 바람직한 구체예에 있어서, 상기 지지 부재는 상기 본체의 상기 단면과 반대쪽인 면에 걸려있는 클로부를 구비하고, 상기 간격 유지부와 상기 클로부 사이에 상기 본체를 두고, 상기 간격 유지부는 상기 유로를 형성할 수 있다.
더 바람직한 구체예에 있어서, 상기 방해판 본체는 상기 방해판 본체의 중앙부에 형성되어, 상기 부재의 일부가 함입함에 의해 상기 부재의 위치 결정이 이루어지는 개구부; 상기 유체 흐름 형성체에 장착된 상기 방해판이 상기 오목부에 대향하도록 상기 개구부 주위에 형성되는 구멍부를 포함할 수 있다.
더 바람직한 구체예에 있어서, 상기 지지 부재는 상기 지지 부재의 탄성력에 의해 상기 본체에 장착될 수 있다.
본 발명에 의하면, 선회류 또는 방사류를 형성하여 부압을 발생시킴으로써 부재를 흡인하는 유체 흐름 형성체에 착탈 가능하게 장착되는 방해판 본체를 구비 방해판을 제공할 수 있다.
도 1은 흡인 장치(10)의 일례의 사시도이다.
도 2는 도 1과는 다른 각도에서 본 흡인 장치(10)의 사시도이다.
도 3은 흡인 장치(10)의 분해 사시도이다.
도 4는 도 1의 A-A 선을 따른 흡인 장치(10)의 단면도이다.
도 5는 도 4에 도시된 B 부분의 확대도이다.
도 6은 도 4의 C-C 선을 따른 흡인 장치(10)의 단면도이다.
도 7은 도 6의 D-D 선을 따른 흡인 장치(10)의 단면도이다.
도 8은 흡인 장치(10A)의 일례의 사시도이다.
도 9는 도 8과는 다른 각도에서 본 흡인 장치(10A)의 사시도이다.
도 10은 흡인 장치(10A)의 분해 사시도이다.
도 11은 도 8의 E-E 선을 따른 흡인 장치(10A)의 단면도이다.
도 12는 도 11에 도시된 F 부분의 확대도이다.
도 13은 도 11의 G-G 선을 따른 흡인 장치(10A)의 단면도이다.
도 14는 도 13의 H-H 선을 따른 흡인 장치(10A)의 단면도이다.
도 15는 선회류 형성체(3)의 하부 면의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 16은 선회류 형성체(3)의 상부 면의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 17은 도 16의 I-I 선을 따른 선회류 형성체(3)의 단면도이다.
도 18은 흡인 장치(10B)의 일례의 사시도이다.
도 19는 도 18과는 다른 각도에서 본 흡인 장치(10B)의 사시도이다.
도 20는 방해판(2C)의 일례의 사시도이다.
도 21은 흡인 장치(10C)의 일례의 사시도이다.
도 22는 흡인 장치(10C)의 측면도이다.
도 23은 도 22에 도시된 J 부분의 확대도이다.
도 24는 계단 부분(223)의 일례의 확대도이다.
도 25는 흡인 장치(10D)의 일례의 사시도이다.
이하, 본 발명의 실시예에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다.
1. 제1 실시예
도 1은 제1 실시예에 따른 흡인 장치(10)의 사시도이다. 도 2는 도 1과는 다른 각도에서 본 흡인 장치(10)의 사시도이다. 도 3은 흡인 장치(10)의 분해 사시도이다. 도 4는 도 1의 A-A 선을 따른 흡인 장치(10)의 단면도이다. 도 5는 도 4에 도시된 B 부분의 확대도이다. 도 6은 도 4의 C-C 선을 따른 흡인 장치(10)의 단면도이다. 도 7은 도 6의 D-D 선을 따른 흡인 장치(10)의 단면도이다. 흡인 장치(10)는 딸기 등의 식품을 흡인하여 보유하고 이송하기 위한 장치이다. 흡인 장치(10)는 예를 들어, 로봇 팔의 선단에 장착된다.
흡인 장치(10)는 선회류 형성체(1)와 선회류 형성체(1)에 착탈 가능하게 장착되는 방해판(2)을 포함한다. 선회류 형성체(1)는 선회류를 형성하여 베르누이 원리에 의해 부재를 흡인하는 장치이다. 선회류 형성체(1)는 본 발명에 따른 "유체 흐름 형성체"의 일례이다. 방해판(2)은 선회류 형성체(1)에 의해 흡인되는 부재가 (후술하는)오목부(13)에 진입하는 것을 억제하기 위한 부재이다. 선회류 형성체(1)에 장착되기 위하여, 방해판(2)은 선회류 형성체(1)를 실장하고 유지하기 위하여 떨어질 수 있는 (후술하는)지지 부재(22)를 포함한다.
선회류 형성체(1)는 본체(11), 단면(12), 오목부(13), 2개의 분출구(14), 및 경사면(15)를 구비한다. 본체(11)는 원주 형상을 가지며, 알루미늄 합금 등의 재료로 구성된다. 단면(12)는 본체(11)의 한 측면(구체적으로는, 반송될 부재를 취급하는 면)(이하 "바닥 면"이라한다)에 평면 형상으로 형성된다. 오목부(13)는 단면(12)에 형성된 원주 형상을 갖는 바닥의 구멍이다. 오목부(13)는 본체(11)와 동축으로 형성된다. 2개의 분출구(14)는 오목부(13)와 마주하는 본체(11)의 내주 측면(111)에 형성된다. 2개의 분출구(14)는 내주 측면(111)의 축 방향 중앙보다 더 가까운 단면(12) 측에 배치되고, 또한 분출구들(14)은 서로 대향하도록 배치된다. 구체적으로는 분출구(14)들은 본체(11) 또는 오목부(13)의 중심축의 축심을 중심으로 점대칭으로 배치된다. 분출구들(14)은 선회류 형성체(1)에 공급된 유체가 오목부(13)로 토출되도록 한다. 여기서 유체는 예를 들어, 압축 공기 등의 기체나 순수와 탄산수 등의 액체이다. 경사면(15)은 본체(11)의 개방 단부에 형성된다.
선회류 형성체(1)는 또한 공급구(16), 환상 통로(17)와, 연통(18), 2개의 공급로(19)를 포함한다. 공급구(16)는 디스크 형상이고, 본체(11)의 상부 면(즉, 바닥과 반대쪽 면)의 중앙에 제공된다. 공급구(16)는, 예를 들면 튜브를 통해 도시하지 않은 유체 공급 펌프에 연결된다. 본체(11)는 공급구(16)를 통해 그 내부에 유체가 공급된다. 환상 통로(17)는 원통 형상을 가지며, 오목부(13) 주위를 둘러싸도록 본체(11)의 내부에 형성된다. 환상 통로(17)는 오목부(13)와 동축으로 형성된다. 환상 통로(17)는 연통(18)으로부터 공급되는 유체를 공급로(19)에 공급한다. 연통(18)은 본체(11)의 내부에 형성되고, 본체(11)의 바닥 면 또는 상부 면의 반경 방향으로 직선으로 연장된다. 연통(18)은 그 양단부에서 환상 통로(17)와 연통한다. 연통(18)은 공급구(16)를 통해 본체(11) 내에 공급되는 유체를 환상 통로(17)에 공급한다. 2개의 공급로(19)는 단면(12)에 대략 평행하고, 또한 오목부(13)의 외주에 접선 방향으로 연장하고, 또한 서로 평행하게 연장되도록 형성된다. 각 공급로(19)는 그 일단이 환상 통로(17)와 연통하고, 타단이 분출구(14)와 연통한다. 각 공급로(19)는 오목부(13) 내에 유체의 선회류를 형성한다. 각 공급로(19)는 본 발명에 따른 "유체 흐름 형성 수단"의 일례이다.
방해판(2)은 방해판 본체(21)와 4개의 지지 부재(22)를 구비한다. 방해판 본체(21)는 선회류 형성체(1)에서 탈착 가능하도록 설치되고, 선회류 형성체(1)에 의해 흡입된 유체는 통과하도록 하면서, 흡입된 부재가 오목부(13)에 진입하는 것을 방지한다. 방해판 본체(21)는 원형 형상을 갖는다. 지지 부재들(22) 각각은 일단 측이 본체(11)에 착탈 가능하게 고정되고, 타단 측이 방해판 본체(21)를 단면(12)에 대향하도록 지지한다. 지지 부재들(22)은 단면(12)과 방해판 본체(21)의 사이에 간격이 유지되는 동시에, 오목부(13)로부터 유출되는 유체가 흐르도록 하는 유로가 형성되도록 방해판 본체(21)를 지지한다. 또한, 지지 부재들(22)은 오목부(13)의 일부를 덮도록 방해판 본체(21)를 지지한다. 방해판 본체(21)와 지지 부재들(22)은 일체로 형성된다.
방해판 본체(21)는 외부 환형판(211)과 내부 환형판(212)을 포함한다. 외부 환형판(211)은 판 스프링 재료로 이루어지며, 환형 형상을 갖는다. 외부 환형판(211)은 그 외경이 단면(12)의 외경과 길이면에서 거의 동일하며, 외부 환형판(211)의 내경이 단면(12)의 내경(환언하면 오목부(13) 개구의 직경)와 대략 동일하도록 형성된다. 외부 환형판(211)은 4개의 스페이서들(2111)을 포함한다. 스페이서들(2111)은 각각 단면(12)과 방해판 본체(21)의 사이에서 간격을 유지하도록 제공된다. 스페이서들(2111)와 지지 부재(22)의 (후술하는)클로부(221)는 그 사이에서 본체(11)를 유지한다. 스페이서들(2111)은 유체가 오목부(13)로부터 유출하도록 하는 유로를 형성한다. 스페이서들(2111) 각각은 본 발명에 따른 "간격 유지부"의 일 예이다. 스페이서들(2111)은 외부 환형판(211)의 외부 가장자리에 일정한 간격으로 형성된다. 스페이서들(2111)은 스페이서들이 원형 형상을 가지고 스페이서들이 모두 실질적으로 동일한 높이를 갖도록 엠보싱에 의해 형성된다. 스페이서들(2111)의 높이는 단면(12)와 방해판 본체(21) 사이에 간격을 규정하며, 그 높이는 유체 공급 펌프로부터 흡인 장치(10)로 공급되는 유체의 유량을 기초로 결정된다. 예를 들어, 해당 높이는 오목부(13)로부터 유출되는 유체가 후술하는 내부 환형판(212)의 개구부(2121)를 통과하지 않고 스페이서들(2111)에 의해 단면(12)과 방해판 본체(21) 사이에 형성되는 유로를 통과하도록 구성된다. 그 때, 흡인 장치(10)의 흡인력이 떨어지지 않도록 가능한 그 높이가 낮은 것이 바람직하다.
내부 환형판(212)은 고무 재료 또는 고탄성 수지 등의 탄성 부재로 이루어지며, 원형 형상을 갖는다. 내부 환형판(212)은 판이 접촉하는 부재의 형상에 따라 변형 가능하다. 내부 환형판(212)은 그 외경이 외부 환형판(211)의 개구의 직경보다 크고, 외부 환형판(211)의 외경보다 작다. 내부 환형판(212)은 접착제 또는 스크류를 이용하여 외부 환형판(211)과 동일한 축 상에서 외부 환형판(211)에 부착된다. 내부 환형판(212)은 개구부(2121) 및 4개의 구멍부(2122)를 포함한다. 개구부(2121)는 내부 환형판(212)의 중앙부(다시 말하면 방해판 본체(21)의 중앙부)에 원형으로 형성된다, 개구부(2121)는 일부가 개구부에 함입된 부재의 위치를 결정한다. 개구부(2121)은 그 직경이 오목부(13)의 개구의 직경보다 작다. 구멍부(2122)는 방해판(2)가 선회류 형성체(1)에 장착될 때 오목부(13)에 대향하도록 개구부(2121) 주위에 일정한 간격으로 원형으로 형성된다. 구멍부(2122)는 그 직경이 개구부(2121)의 직경보다 작다.
지지 부재(22)는 각각 방해판 본체(21)의 주변에서 일정한 간격으로 연장된 길쭉한 판 스프링 재료를 방해판 본체(21)에 거의 수직인 방향으로 절곡하여 형성된다. 판 스프링 재료는 본체(11)의 축 방향 길이보다 더 길다. 판 스프링 재료는 지지 부재(22)의 복원력(또는 탄성력)으로 인해 방해판(2)이 부착된 선회류 형성체(1)의 본체(11)가 그 측면에서 가압되도록 하는 각도로 접혀 지므로, 본체(11)는 지지 부재들(22) 사이에 유지된다. 지지 부재들(22)의 단부에는 각각 클로부(221)가 형성되고, 이는 본체(11)의 상부면의 외부 가장자리에 걸리고 고정된다. 클로부(221)는 판 스프링 재료의 일 단부를 판 스프링 재료가 연장하는 방향에 거의 수직인 방향으로 안쪽에 접어 형성된다. 판 스프링 재료는 클로부(22)의 복원력(또는 탄성력)으로 인해 방해판(2)이 부착된 선회류 형성체(1)의 본체(11)가 그 상면 및 하면에서 가압되도록 하는 각도로 접혀 지므로, 본체(11)는 클로부(221)와 스페이서(2111) 사이에 유지된다. 클로부(221)가 V-자 형태로 굽히므로, 선회류 형성체(1)에 방해판(2)이 설치하면, 클로부(221)는 본체(11)의 상면을 향하여 돌출한다.
흡인 장치(10)의 흡인 동작에 대해 설명한다. 선회류 형성체(1)에 공급구(16)를 통해 유체 공급 펌프로부터 유체가 공급되면, 그 유체는 연통(18), 환상 통로(17) 및 공급로(19)를 통해서 분출구(14)에서 오목부(13)로 토출된다. 오목부(13)로 토출된 유체는 오목부(13) 내에서 선회류를 생성하고, 이어서 오목부(13) 개구에서 유출한다. 이 때, 방해판 본체(21)에 대향하는 위치에, 예를 들면, 딸기가 존재하는 경우, 오목부(13)로의 외부 유체의 유입이 제한되고, 선회류의 원심력과 동조 효과(entrainment effect)로 선회류 중심부의 단위 체적당 유체 분자의 밀도가 작아지고, 다시 말하면, 오목부(13) 내에 부압이 발생한다. 그 결과, 흡인 장치(10)의 주위의 유체는 방해판(2)의 개구부(2121)와 구멍부(2122)를 통해 오목부(13) 내에 유입을 시작하여, 딸기는 주위의 유체에 의해 가압되어 흡인 장치(10) 측으로 중력 침강된다. 딸기의 선단이 방해판(2)의 개구부(2121)에 함입하는 경우, 딸기의 위치가 결정된다. 한편, 오목부(13)에서 유출된 유체는 방해판(2)의 개구부(2121) 및 구멍부(2122)를 통과하지 않고, 방해판 본체(21)와 단면(12) 사이에 형성된 유로를 통해서 흡인 장치(10)의 외부로 유출된다.
이상 설명한 것처럼, 흡인 장치(10)는 부재가 오목부(13) 내에 진입하는 것을 방지하는 방해판(2)을 포함하므로, 부재가 선회류 형성체(1)의 경사면(15)과 접촉하여 스크래치되는 것이 방지된다. 또한, 오목부(13)에서 유출하는 대부분의 유체는 방해판(2)의 개구부(2121) 및 구멍부(2122)을 통하지 않고 흡인 장치(10)의 외부로 유출하여, 유체는 부재와 충돌하는 것이 방지된다. 결과적으로, 재료의 파동(undulation) 및 회전이 제어되며, 다시 말하면, 흡인이 안정적인 방식으로 부재에 가해질 수 있다. 또한, 방해판(2)은 선회류 형성체(1)에 공구를 이용 않고도 착탈 가능하게 방해판(2)이 선회류 형성체(1)에 부착되므로, 선회류 형성체(1)와 방해판(2) 사이에 낀 이물질을 제거하거나 선회류 형성체(1)로부터 분리하여 방해판(2)을 세척하는 것이 용이하다. 또한, 방해판(2)은 지지 부재(22)의 탄성력에 의해 선회류 형성체(1)에 부착되기 때문에, 지지 부재(22)가 판 스프링 재료로 형성하지 않는 경우와 비교하여 방해판(2)이 선회류 형성체(1)에서 낙하할 위험이 감소된다. 또한, 부재의 일부가 개구부(2121)에 함입하고 개구부(2121)를 막는 경우, 구멍부(2122)는 주위의 유체가 오목부(13) 내에 향해 유입되도록 하여, 주위의 유체가 개구부(2121)과 부재 사이 간격으로 억지로 유입되는 것이 방지된다. 결과적으로, 내부 환형판(212)의 진동 소음이 제어된다. 또한, 흡인 장치(10)는 모든 흡인된 유체를 흡인 장치(10)의 외부로 배출하고, 흡인된 유체가 오목부(13)나 분출구(14)에 침입하지 않으므로, 유체의 공급로가 오염되는 것이 제어된다.
2. 제2 실시예
도 8은 제2 실시예에 따른 흡인 장치(10A)의 사시도이다. 도 9는 도 8과는 다른 각도에서 본 흡인 장치(10A)의 사시도이다. 도 10는 흡인 장치(10A)의 분해 사시도이다. 도 11은 도 8의 E-E 선을 따른 흡인 장치(10A)의 단면도이다. 도 12은 도 11의 F 부의 확대도이다. 도 13은 도 11의 G-G 선을 따른 흡인 장치(10A)의 단면도이다. 도 14은 도 13의 H-H 선을 따른 흡인 장치(10A)의 단면도이다. 흡인 장치(10A)는 방해판의 지지 부재가 선회류 형성체의 본체 측면에 고정되는 점과 흡인 장치(10A)가 스페이서를 갖추지 않은 점에서 제1 실시예에 따른 흡인 장치(10)와 상이하다. 아래에는 이러한 차이점에 대해서만 설명한다.
흡인 장치(10A)는 선회류 형성체(1A)와 선회류 형성체(1A)에 착탈 가능하게 장착되는 방해판(2A)을 포함한다. 선회류 형성체(1A)는 선회류를 형성하여 베르누이 원리에 의해 부재를 흡인하는 장치이다. 선회류 형성체(1A)는 본 발명에 따른 "유체 흐름 형성체"의 일례이다. 방해판(2A)은 선회류 형성체(1A) 의해 흡인되는 부재가 오목부(13)에 진입하는 것을 억제하기 위한 부재이다. 선회류 형성체(1A)에 부착되기 위해, 방해판(2A)은 선회류 형성체(1A)를 실장하고 유지하기 위하여 밀어떨어트릴 수 있는 지지 부재(22A)(후술하는)를 포함한다.
선회류 형성체(1A)는 본체(11), 단면(12), 오목부(13), 2개의 분출구(14)와 경사면(15) 이외에 4개의 홈부(112)를 구비한다. 홈부들(112) 이외의 구성 요소는 제1 실시예와 중복되기 때문에 그 설명을 생략한다. 홈부들(112)은 본체(11) 측면에 일정한 간격으로 형성된다. 홈부들(112)은 본체(11)의 측면의 축 방향 중앙보다 상부면에 가까이 배치된다. 홈부들(112)은 그 둘레 방향의 길이가 단면(12) 외주 원의 1/4의 길이보다 더 짧다. 홈부들(112) 각각은 축 방향으로 정렬되고 원주 방향으로 연장하는 3개의 V 자 모양의 홈(환언하면 슬릿)을 포함한다. 홈부들(112) 각각에는 후술하는 방해판(2A)의 클로부(221A)가 걸리게 된다.
선회류 형성체(1A)는 또한 공급구(16)와 환상 통로(17)와, 연통(18), 2개의 공급로(19)를 포함한다. 이러한 구성 요소는 제1 실시예와 중복되기 때문에 그 설명을 생략한다.
방해판(2A)은 방해판 본체(21)와 4개의 지지 부재(22A)를 포함한다. 방해판 본체(21)은 제1 실시예와 중복되기 때문에 그 설명을 생략한다. 지지 부재들(22A) 각각은 일단 측이 본체(11)에 착탈 가능하게 고정되고, 타단 측이 방해판 본체(21)를 단면(12)에 대향하도록 지지한다. 지지 부재들(22A)은 단면(12)과 방해판 본체(21)의 사이에 간격이 유지되는 동시에, 오목부(13)로부터 유출되는 유체가 흐르도록 하기 위한 유로가 형성되도록 방해판 본체(21)를 지지한다. 또한 지지 부재들(22A)은 방해판 본체(21)가 오목부(13)의 일부를 덮도록 방해판 본체(21)를 지지한다. 방해판 본체(21)와 지지 부재들(22A)은 일체로 형성된다.
지지 부재들(22A)은 각각 방해판 본체(21)의 주변에서 일정한 간격으로 연장하는 길쭉한 판 스프링 재료를 방해판 본체(21)에 거의 수직 방향으로 절곡하여 형성된다. 판 스프링 재료는 본체(11)의 축 방향의 1/2 길이보다 더 길고, 본체(11)의 축 방향의 전체 길이보다 짧아 지도록 형성된다. 판 스프링 재료는 지지 부재(22A)의 복원력(또는 탄성력)에 의해, 방해판(2)이 부착된 선회류 형성체(1A)의 본체(11)가 그 측면에서 가압되도록 하는 각도로 접혀 지므로, 본체(11)는 지지 부재들(22A) 사이에 유지된다. 지지 부재들(22A) 각각의 단부에 클로부(221A)를 포함하며, 이는 지지 부재(22A)의 복원력(또는 탄성력)으로 인해 본체(11)의 홈부(112)에 맞물리고 고정되어, 선회류 형성체(1A)에 대한 방해판(2A)의 수직 위치가 결정된다. 클로부(221A)가 판 스프링 재료의 일 단부를 V-자 형태로 굽혀 형성되므로, 선회류 형성체(1A)이 방해판(2A)을 구비하는 경우, 클로부(221A)는 본체(11)의 측면을 향하여 돌출한다.
그럼 이상 설명한 흡인 장치(10A)의 흡인 동작에 대해 설명한다. 선회류 형성체(1A)에 공급구(16)를 통해 유체 공급 펌프로부터 유체가 공급되면, 그 유체는 연통(18), 환상 통로(17) 및 공급로(19)를 통해서 분출구(14)에서 오목부(13) 내로 토출된다. 이때, 오목부(13)로 토출된 유체는 오목부(13) 내에서 선회류를 생성하여, 오목부(13)의 개구에서 유출한다. 그 때, 방해판 본체(21)에 대향하는 위치에 예를 들면 딸기가 존재하는 경우, 오목부(13)로의 외부 유체의 유입이 제한되고, 선회류의 원심력과 동조 효과(entrainment effect)로 선회류 중심부의 단위 체적당 유체 분자의 밀도가 작아지고, 다시 말하면, 오목부(13) 내에 부압이 발생한다. 그 결과, 흡인 장치(10A)의 주위의 유체는 방해판(2A)의 개구부(2121)와 구멍부(2122)를 통해 오목부(13) 내로 유입을 시작하여, 딸기는 주위의 유체에 의해 가압되어 흡인 장치(10A) 측으로 중력 침강된다. 딸기의 선단이 방해판(2)의 개구부(2121)에 함입하는 경우, 딸기의 위치가 결정된다. 한편, 오목부(13)에서 유출된 유체는 방해판(2A)의 개구부(2121) 및 구멍부(2122)를 통과하지 않고, 방해판 본체(21)와 단면(12) 사이에 형성된 유로를 통해서 흡인 장치(10A)의 외부로 유출된다.
이상 설명한 흡인 장치(10A)에 의하면, 제1 실시예에서 얻을 수 있는 장점 이외에, 스페이서를 형성할 필요가 없다는 장점이 있다. 이것은 방해판(2A)의 클로부(221A)가 선회류 형성체(1A)의 홈부(112)에 걸리게 되고, 방해판(2A)의 선회류 형성체(1A) 대한 수직 위치가 결정되고, 그 결과 단면(12)과 방해판 본체(21)의 사이에 간격이 유지되기 때문이다. 또한 방해판(2A)이 걸리게 되는 본체(11)의 홈을 변경하여, 단면(12)과 방해판 본체(21) 사이의 간격을 조정할 수 있다는 장점이 있다.
3. 변형예
상기 실시 형태는 다음과 같이 변형할 수 있다. 또한 다음의 변형예는 서로 조합할 수 있다.
3-1. 변형예 1
상기의 실시예에 따른 선회류 형성체(1 또는 1A)의 본체(11)와 오목부(13)의 형상은 원주형에 한정되지 않고, 예를 들면 사각 기둥이나 타원 기둥도 있다. 또한 오목부(13)와 마주하는 본체(11)의 내주 측면(111)은 오목부(13)의 직경이 개구를 향하여 확경되도록 테이퍼될 수 있다. 선회류 형성체(1 또는 1A)는 오목부(13) 내에 형성되는 볼록부를 구비할 수 있어서, 볼록부의 외주 측면과 본체(11)의 내주 측면(111) 사이에 유로가 형성된다(예를 들면, 일본 특개 2016-159405호 공보의 도 13 참조). 또한, 선회류 형성체(1 또는 1A)에 설치되는 분출구(14) 및 공급로(19)의 수는 2개에 한정되지 않고, 더 적거나 더 많을 수 있다. 또한 분출구(14)의 배치는 내주 측면(111)의 축방향으로 상부측, 중앙 또는 하부측에 배치될 수 있다. 또한, 경사면(15)의 형성은 생략 가능하다. 또한 공급구(16)의 형상은 원형에 한정되지 않고, 예를 들어 사각형이나 타원형일 수 있다. 또한 공급구(16)는 본체(11)의 상부면이 아닌 측면에 형성될 수 있다. 또한 공급로(19)는 반드시 서로 평행하지 않아도 된다.
또한, 상기의 실시예에 따른 흡인 장치(10 또는 10A)에서 선회류 형성체(1 또는 1A) 대신에 방사류를 형성하여 베르누이 원리에 의해 부재를 흡인하는 장치인 방사류 형성체를 채용하고 있다(예를 들면, 일본 특개 2016-159405호 공보의 도 12 참조). 방사류 형성체는 본 발명에 따른 "유체 흐름 형성체"의 일례이다. 방사 류 형성체는 기둥의 본체, 본체에 형성되는 평평한 단면, 단면에 형성된 오목부 및 오목부 내에 유체를 토출함에 의해 방사류를 형성함으로써 부압을 발생시켜 부재를 흡인하는 방사류 형성 수단을 포함한다.
다르게는, 상기의 실시예에 따른 흡인 장치(10 또는 10A)에서 선회류 형성체(1 또는 1A) 대신에 선회류를 형성하여 베르누이 원리에 의해 부재를 흡인하는 장치인 전동 팬을 이용한 비접촉 척(chuck)을 채용하고 있다(예를 들면, 일본 특개 2011-138948호 공보 참조). 이 비접촉 척은 본 발명에 따른 "유체 흐름 형성체"의 일례이다. 이 비접촉 척은 원주 형상의 본체, 본체에 형성되는 평평한 단면, 단면에 형성된 오목부, 및 오목부 내에 유체의 선회류를 형성함으로써 부압을 발생시켜 부재를 흡인하는 선회류 형성 수단을 포함한다.
다르게는, 상기의 실시예에 따른 흡인 장치(10 또는 10A)에서 선회류 형성체(1 또는 1A) 대신에 후술하는 선회류 형성체(3)를 채용할 수 있다.
도 15는 선회류 형성체(3)의 하부 면의 일례를 나타내는 사시도이다. 도 16은 선회류 형성체(3)의 상부 면의 일례를 나타내는 사시도이다. 도 17은 도 16의 I-I 선을 따른 선회류 형성체(3)의 단면도이다. 선회류 형성체(3)는 선회류를 형성하여 베르누이 원리에 의해 부재를 흡인하는 장치이다. 선회류 형성체(3)는 본 발명에 따른 "유체 흐름 형성체"의 일례이다. 선회류 형성체(3)는 원주형 본체의 중앙에 형성되고 단면이 원형인 본 발명에 따른 "오목부"의 일례인 관통 구멍(32)을 포함하는 몸체가 대략 원주형인 본체(31); 제1 단면(33)과 부재가 대향하도록 본체(31)의 하부면 상에 형성된 제1 단면(33); 본체(31)의 상부면 상에 형성된 평평한 제2 단면(34); 관통 구멍(32)과 마주하는 본체(31)의 내주면(311) 상에 형성된 2개의 분출구(35); 본체(31)의 외주면(312) 상에 형성된 2개의 공급구(36); 분출구(35)와 공급구(36)를 연결하는 2개의 선형 유체 통로(37); 대체로 디스크 형상을 갖는 커버(38); 및 커버(38)가 제2 단면(34)에 대향하고 평행하도록 커버(38)를 유지하기 위한 부재인 4개의 스페이서들(39)를 포함한다.
중심축에 거의 수직인 본체(31)의 단면의 외주는 일부를 직선으로 대체한 원형의 형상을 갖는다. 본체(31)의 내주면(311)은 본체(31)의 중심축에 대해 대체로 수직인 내주면(311)의 단면이 제2 단면(34)의 개구를 향하여 제1 단면(33)의 개구로부터 점차 확경되도록 테이퍼링된다. 본체(31)의 내주면(311)은 분출구(35)로부터 분출된 유체를 부재에서 먼 방향으로 관통 구멍(32)으로부터 배출되도록 안내한다. 구체적으로, 내주면(311)은 제2 단면(34)의 개구를 향하는 유체가 관통 구멍(32)로부터 배출되도록 안내한다.
관통 구멍(32)은 본체(31)의 중심축 방향으로 직선으로 연장되도록 형성된다. 관통 구멍(32)은 제1 단면(33) 및 제2 단면(34) 상에서 개방된다.
제1 단면(33) 및 제2 단면(34)은 본체(31)의 중심축에 거의 수직이 되도록 형성된다.
분출구들(35)은 내주면(311)의 중심에서 본체(31)의 중심축 방향 중앙으로 형성된다. 분출구들(35)은 본체(31)의 중심축에 대해 점대칭이 되도록 배치된다. 공급구들(36)은 외주면(312)의 중심에서 본체(31)의 중심축의 방향으로 형성된다. 또한 공급구들(36)은 본체(31)의 중심축에 대해 점대칭이되도록 배치된다. 또한 각각의 공급구들(36)은 예를 들면 튜브를 통해 도시하지 않은 유체 공급 펌프에 연결된다.
유체 통로들(37)은 본체(31)의 중심축에 거의 수직으로 연장하고, 본체(31)의 내주에 접선 방향으로 연장되도록 형성된다. 또한 유체 통로들(37)은 서로 평행하게 연장된다. 또한 유체 통로들(37)의 직경은 각 분출구(35)의 바로 앞에서 감소한다. 유체 통로들(37)은 분출구(35)로부터 관통 구멍(32) 내로 유체를 분출시킨다. 관통 구멍(32) 내로 분출된 유체는 코안다 효과(Coanda effect)에 의해 본체(31)의 내주면을 따라 흘러 관통 구멍(32) 내에서 선회류를 형성한다. 형성된 선회류를 구성하는 유체 분자 중 대부분은 관통 구멍(32)로부터 유출하여 유체 분자를 분출한 유체 통로(37)가 연장하는 방향에 대해 대략 45도의 각도에서 제2 단면(34)을 따라 흐른다. 관통 구멍(32) 내에 형성된 선회류는 관통 구멍(32)의 중앙부에 여전히 남아 있는 유체를 끌고가서, 관통 구멍(32)의 중심에 부압이 생성된다. 생성된 부압으로 제1 단면(33)과 대향하는 부재가 흡인된다. 상기 대략 45도의 각도는 단지 예를 든 것임이 주목된다. 유체 분자가 관통 구멍(32) 외부로 유출되어 제2 단면(34)을 따라 흐르는 각도는 관통 구멍(32)의 직경 또는 깊이와 유체의 유속에 의해 결정된다.
커버(38)는 본체(31)의 중심축에 거의 수직인 단면의 외주와 유사한 형상을 갖는다. 커버(38)는 관통 구멍(32)을 덮어, 관통 구멍(32)으로의 외부 유체(구체적으로는 기체 또는 액체)의 유입을 제어한다.
스페이서들(39)은 각각 원주 형상을 갖는다. 스페이서들(39)은 제2 단면(34)의 외부 가장자리를 따라 등간격으로 설치되고, 스페이서들(39)은 대체로 수직 방향으로 커버(38)를 향해 연장하여 본체(31)와 커버(38)를 연결한다. 각 스페이서들(39)은 본체(31)와 커버(38) 상에서, 예를 들어 스크류로 고정된다. 스페이서들(39)은 제2 단면(34)과 커버(38) 사이에서 관통 구멍(32)으로부터 유출되는 유체가 선회류 형성체(3) 밖으로 배출되도록 흐르게 하는 유로를 형성한다. 스페이서들(39)의 높이(즉, 제2 단면(34)과 커버(38) 사이의 간격)는 유체 공급 펌프에서 선회류 형성체(3)에 공급되는 유체의 유량에 따라 결정된다. 스페이서들(39)은 제2 단면(34) 상에서 관통 구멍(32)으로부터 유출되는 유체의 유로를 저해하지 않도록 제공되는 것이 바람직하다. 이것은 관통 구멍(32)과 스페이서들(39)로부터 유출되는 유체의 충돌로 인하여 난류가 발생하는 것을 방지하기 위함이다. 관통 구멍(32)으로부터 유출되는 유체의 유로는 관통 구멍(32)의 직경 또는 깊이와 유체의 유속에 의해 결정된다. 스페이서들(39)은 예를 들어, 유체 통로(37)가 연장되는 방향과 대략 45도 각도를 이루는 선 상에 설치되지 않는 것이 바람직하다.
이상 설명한 선회류 형성체(3)에 튜브를 통해 유체가 공급되는 경우, 유체는 공급구(36) 및 유체 통로(37)를 통해서 분출구(35)로부터 관통 구멍(32)으로 분출된다. 관통 구멍(32)으로 분출된 유체는 관통 구멍(32) 내에서 선회류를 생성한다. 선회류에 포함된 유체 분자의 대부분은 내주면(311)에 의해 안내되어 관통 구멍(32)으로부터 나와 제2 단면(34)을 따라 유출된다. 그 때, 제1 단면(33)에 대향하는 위치에 부재가 존재하는 경우에. 관통 구멍(32)으로의 외부 유체(구체적으로는 기체 또는 액체)의 유입이 제한되고, 선회류의 중심에서의 단위 체적 당 유체 분자의 밀도는 선회류의 원심력 및 동조 효과로 인해 작아진다, 즉 선회류의 중심에서 부압이 발생한다. 그 결과, 부재는 주변의 유체에 의해 가압되어 제1 단면(33)측으로 중력 침강된다.
이와 같이 선회류 형성체(3)에서는 관통 구멍(32)으로부터 유출되는 유체 분자의 대부분이 제2 단면(34)을 따라 유출하고, 있어도 소량의 유체 분자가 제1 단면(33)을 따라 유출되어, 유체가 판형 부재와 충돌하는 것이 방지된다. 결과적으로, 유체가 제2 단면(34)의 측면에서 방출되지 않는 경우와 비교하여 판상 부재의 진동 및 회전이 제어되며, 다시 말하면, 판상 부재는 안정적 방식으로 유지되고 반송될 수 있다. 또한, 진동으로 인한 판상 부재의 주름, 변형 또는 손상의 발생이 제어된다. 선회류 형성체(3)는 관통 구멍(32) 내에서 형성되는 선회류의 흡인력만을 분리하여 이용하는 것을 가능하게 한다.
3-2. 변형예 2
외부 환형판(211)과 내부 환형판(212)의 형상은 원형 고리 형상에 한정되지 않고 예를 들어 직사각형 고리와 타원형 고리일 수 있다. 외부 환형판(211)의 재료는 판 스프링 재료에 한정되지 않고 다른 탄성 재료일 수 있다. 다르게는, 탄성 변형하기 어려운 재료도 좋다. 외부 환형판(211)의 외경은 반드시 단면(12)의 외경과 동일할 필요는 없으며, 외부 환형판(211)의 내경은 길이면에서 반드시 단면(12)의 내경과 동일할 필요는 없다. 외부 환형판(211)의 내경을 단면(12)의 내경보다 작도록 설계되는 경우, 외부 환형판(211)에 내부 환형판(212)에 부착되지 않을 수 있으며, 외부 환형판(211)은 외부 환형판(211)의 개구의 주위에 형성되는 4개의 구멍부를 포함할 수 있다. 외부 환형판(211) 내에 포함되는 스페이서들(2111)의 수는 4개에 한정되지 않고, 그 보다 작거나 많을 수 있다. 스페이서들(2111)은 외부 환형판(211)의 방사 방향에서 내부측, 중심측 또는 외부측에 배치될 수 있다. 스페이서들(2111)은 반드시 일정한 간격으로 배치되지 않아도 좋다. 스페이서들(2111)의 형상은 원형에 한정되지 않고, 예를 들어 사각형이나 타원형일 수 있다. 또한 스페이서들(2111)의 형성 방법은 엠보싱에 한정되지 않고, 예를 들면 원주 형상의 작은 조각을 외부 환형판(211)의 표면에 부착하여 스페이서들(2111)이 형성될 수 있다. 또한 내부 환형판(212) 내에 포함된 구멍부(2122)의 수는 4개에 한정되지 않고, 그 보다 작거나 많을 수 있다. 구멍부(2122)는 오목부(13)에 대향하는 위치 또는 단면(12)에 대향하는 위치에 배치될 수 있다. 구멍부(2122)는 반드시 일정한 간격으로 형성되지 않아도 좋다. 구멍부(2122)의 형상은 원형에 한정되지 않고, 예를 들어 직사각형이나 타원형도 가능하다.
외부 환형판(211)은 다음에 설명하는 안내부(2112)을 구비할 수 있다.
도 18은 흡인 장치(10B)의 사시도이다. 도 19는 도 18과는 다른 각도에서 본 흡인 장치(10B)의 사시도이다. 흡인 장치(10B)는 외부 환형판(211A)가 안내부(2112)을 갖추고 있다는 점에서 제1 실시예에 따른 흡인 장치(10)와 상이하다. 이 안내부(2112)는 원통 형상을 가져서, 선회류 형성체(1)가 방해판(2B)을 구비하는 경우, 안내부(2112)는 본체(11)의 외주면을 둘러싸고(다시 말하면, 오목부(13)의 개구), 안내부(2112)의 내주면은 본체(11)의 외주면과 접촉하는 것이 방지된다. 도면에 도시된 예에서는, 안내부(2112)의 축방향에서의 길이는 본체(11)의 축방향에서의 길이의 절반 보다 더 짧으나, 안내부(2112)의 축방향에서의 길이는 더 길 수 있다. 안내부(2112)는 선회류 형성체(1)의 오목부(13)로부터 유출하여 단면(12)을 따라 흐르는 유체의 흐름을 제어하여, 유체가 부재의 위치(구체적으로, 흡인의 개시 이전에 부재에 의해 점유되는 위치)로부터 멀어지는 방향으로 흐른다. 안내부(2112)는 특히 오목부(13)로부터 방사 방향 성분을 갖는 단면(12)을 따라 유출되는 유체의 흐름을 제어하여, 유체는 재료가 흡인되는 방향의 성분을 갖는 방향으로 흐른다. 구체적으로, 안내부(2112)는 오목부(13)로부터 유출되는 유체를 안내부(122)의 내주면을 따라 도면의 상부 방향으로 안내한다.
외부 환형판(211)에 내부 환형판(212) 대신에 메쉬 및 다공성 물질이 제공될 수 있다(예를 들면, 일본 특개 2016-159405호 공보의 도 6 참조). 다르게는, 외부 환형판(211)에 중앙에 원추형 또는 반구형 형상의 오목부를 갖는 메쉬부가 제공될 수 있다(예를 들면, 일본 특개 2016-159405호 공보의 도 7 및 도 8 참조). 오목부는 일부 또는 전부가 오목부에 함입한 부재의 위치를 결정한다. 다르게는, 외부 환형판(211)은 개방 단부가 오목부(13)를 향해 돌출하도록 외부 환형판(211)의 개방 단부를 반경 굽힘 가공(radius bending)하여 형성된 규제부를 구비할 수 있다(예를 들면, 일본 특개 2016-159405호 공보의 도 9 참조).
3-3. 변형예 3
상기 실시예에 따른 지지 부재(22 또는 22A)의 재료는 판 스프링 재료에 한정되지 않고, 다른 탄성 재료일 수 있다. 또한, 지지 부재(22 또는 22A)를 형성 할 때 판 스프링 재료를 접는 각도는 본체(11)의 형상에 따라서는 반드시 방해판 본체(21)에 수직이 아니어도 좋다. 또한, 지지 부재(22 또는 22A)의 수는 4개에 한정되지 않고 그보다 적거나 클 수 있다. 또한, 지지 부재(22 또는 22A) 각각의 일부(반드시 단부로 제한되지 않는다)는 외부 환형판(211)의 주변에 한정되지 않고 그 표면과 결합될 수 있다. 또한, 지지 부재(22 또는 22A)는 반드시 일정한 간격으로 배치되지 않아도 좋다. 또한, 지지 부재(22A)의 길이는 반드시 본체(11)의 축 방향의 전체 길이보다 짧지 않아도 된다. 또한, 지지 부재(22)의 클로부(221) 또는 지지 부재(22A)의 클로부(221A)는 반드시 지지 부재의 단부에 형성될 필요는 없다. 클로부(221)는 본체(11)의 상부면의 방사 방향으로 외부 가장자리 상에, 중심에 또는 내부측에 걸릴 수 있다. 또한 클로부(221)의 형상은 V 자형으로 한정되지 않고, 예를 들면 평면 형상 및 파도 형상도 좋다. 클로부(221A) 각각은 판 스프링 재료를 V 자형으로 굽힘에 의해서만 형성되지 않고, 판 스프링 재료의 일 단부를 판 스프링 재료가 연장하는 방향에 대체로 수직인 방향으로 내부로 접어서 형성될 수 있다. 도 20은 이러한 성형 방법으로 형성된 클로부(221B)를 구비하는 방해판(2C)의 사시도이다. 또는 클로부(221A)의 형상은 파도 형상도 좋다. 또한, 클로부(221A)는 스크류를 이용하여 본체(11) 측면에 고정될 수 있다.
상기 제2 실시예에 따른 방해판(2A)은 4개의 지지 부재(22A) 이외에 제1 실시예에 따른 하나 이상의 지지 부재(22)를 포함할 수 있다. 이 변형에 따르면, 방해판(2A)이 선회류 형성체(1A)에서 낙하할 위험이 더 감소된다.
상기 제1 실시예에 따른 흡인 장치(10)에서 4개의 지지 부재(22) 대신에, 다음에 설명하는 4개의 지지 부재(22B)를 채용하고 있다.
도 21는 흡인 장치(10C)의 사시도이다. 도 22는 흡인 장치(10C)의 측면도 이다. 도 23은 도 22에 도시된 J 부분의 확대도이다. 흡인 장치(10C)는 지지 부재(22B)가 R 부분(222)을 포함하고, 외부 환형판(211A)가 스페이서가 없다는 점이 흡인 장치(10)과 상이한 부분이다. R 부분(222)은 선회류 형성체(1)의 단면(12)과 방해판 본체(21A) 사이에 간격을 유지하는 곡선 구조이다. 구체적으로는, R 부분(222)은 단면(12)의 외부 가장자리에서 선회류 형성체(1)을 지원하여 해당 간격을 유지하며; 따라서 흡인 장치(10C)는 스페이서를 구비할 필요가 없다. R 부분(222)은 본 발명에 따른 "간격 유지부"의 일례이다. 지지 부재(22B)는 판 스프링 재료가 방해판 본체(21A)에 대체로 수직인 방향으로 연장하도록 방해판 본체(21A)의 가장자리로부터 연장하는 길쭉한 판 스프링 재료를 규칙적인 간격으로 반경 굽힘 가공하여 형성된다. 판 스프링 재료는 본체(11)의 축 방향 길이보다 더 길게 형성된다. 판 스프링 재료를 접혀질 때, 그 곡률은 방해판(2D)가 부착되는 선회류 형성체(1)의 본체가 지지 부재(22B)의 회복력(또는 탄성력)으로 인하여 측면에서 가압되도록 하는 곡률이어서, 본체(11)는 지지 부재들(22B) 사이에서 유지된다. 지지 부재들(22B)은 그 단부에 클로부(221)를 포함한다. 클로부(221)는 제1 실시예와 중복되므로, 클로부(221)의 설명은 생략한다.
상기 흡인 장치(10C)에 포함되는 지지 부재(22B)에서, R 부분(222) 대신 도 24에 나타낸 계단 부분(223)을 채용하고 있다. 계단 부분(223)은 선회류 형성체(1)의 단면(12)과 방해판 본체(21A) 사이에 간격을 유지하는 구조이다. 구체적으로는, 계단 부분(223)은 단면(12)의 외부 가장자리에서 선회류 형성체(1)를 지지하여 해당 간격을 유지한다. 계단 부분(223)은 본 발명에 따른 "간격 유지부"의 일례이다.
또한, 상기 제1 실시예에 따른 흡인 장치(10)에서, 4개의 지지 부재(22) 대신에, 다음에 설명하는 4개의 지지 부재(22C)를 채용하고 있다.
도 25는 흡인 장치(10D)의 사시도로서, 흡인 장치(10D)는 지지 부재(22C)의 클로부(221C)가 스크류에 의해 선회류 형성체(1)의 본체(11)의 상부에 고정되고, 방해판(2E)이 선회류 형성체(1)에 공구를 이용하여 탈착 가능하도록 선회류 형성체(1)에 부착된다는 점과 외부 환형판(211B)가 스페이서가 없다는 점이 흡인 장치(10)와 상이하다. 클로부(221C)는 평면 형상으로 형성된다는 점에서만 제1 실시예에 따른 클로부(221)와 상이하다. 클로부(221C)가 스크류에 의해 본체(11)의 상부면에 고정되어 있으므로, 방해판(2E)의 선회류 형성체(1A)에 대한 수직 방향의 위치가 결정된다, 그 결과, 단면(12)과 방해판 본체(21) 사이에 간격이 유지된다. 따라서, 흡인 장치(10D)는 스페이서가 필요없다.
상기 흡인 장치(10D)에서, 스크류에 대신하여, 자력과 마찰력에 의해 클로부(221C)를 본체(11)의 상부면에 고정할 수 있다.
상기 흡인 장치(10D)에서, 지지 부재들(22C)과 방해판 본체(21)는 일체로 형성되거나 또는 개별적으로 형성될 수 있다. 지지 부재들(22C)과 방해판 본체(21)가 개별적으로 형성되는 경우, 방해판 본체(21)만이 선회류 형성체(1)로부터 탈착될 수 있다. 예를 들면, 지지 부재들(22C)은 선회류 형성체(1)의 본체(11) 상부면에 용접되고, 방해판 본체(21)가 공구를 이용하여 지지 부재들(22C)로부터 탈착될 수 있도록 방해판 본체(21)는 지지 부재(22C)에 스크류로 고정될 수 있다.
다르게는, 흡인 장치(10D)에서, 지지 부재(22C)는 방해판(2E)이 선회류 형성체(1)로부터 탈착될 수 없도록 선회류 형성체(1)의 본체(11)의 상부면 상에 용접될 수 있다.
3-4. 변형예 4
홈부(112)의 수는 4개에 한정되지 않고, 그보다 작거나 클 수 있다. 홈부들(112)은 본체(11)의 측면의 축방향으로 상부면 근처에, 중심에, 또는 단면(12) 근처에 배치될 수 있다. 홈부들(112)은 반드시 등간격으로 배치될 필요는 없다. 홈부들(112)은 단부(12)의 외부 가장자리의 원의 1/4 보다 원주 방향에서 더 짧을 필요는 없다. 각 홈부들(112)에 포함된 홈부들의 개수는 3개에 국한되지 않고, 그보다 더 작거나 클 수 있다. 홈부들의 형상은 V-자형에 국한되지 않고, U-자형일 수 있다.
3-5. 변형예 5
상기 실시예에 따른 흡인 장치(10 또는 10A)는 식품에 한정되지 않고, 반도체 웨이퍼나 유리 기판 등의 판상 또는 시트 형상의 부재를 흡인하여 유지하고 이송하는 데 사용될 수 있다. 부재의 크기에 의존하여, 판상 프레임에 부착된 복수개의 흡인 장치(10 또는 10A)가 이용될 수 있다(예를 들면, 일본 특개 2016-159405호 공보의 도 10 및 11 참조).
1,1A, 3 ... 선회류 형성체, 2,2A, 2B, 2C, 2D, 2E ... 방해판, 3 ... 선회류 형성체, 10,10A,10B, 10C, 10D ... 흡인 장치, 11 ... 본체, 12 ... 단면, 13 ... 오목부, 14 ... 분출구, 15 ... 경사면, 16 ... 공급구, 17 ... 환상 통로, 18 ... 연통, 19 ... 공급로, 21,21A ... 방해판 본체, 22,22A, 22B, 22C ...지지 부재, 31 ... 본체, 32 ... 관통 구멍, 33 ... 제1 단면, 34 ... 제2 단면, 35 ... 분출구, 36 ... 공급구, 37 ... 유체 통로, 38 ... 커버, 39, 2111 ... 스페이서, 111 ... 내주 측, 112 ... 홈부, 211,211A, 211B ... 외부 환형판, 212 ... 내부 환형판, 221,221A,221B, 221C ... 클로부, 222 ... R 부, 223 ... 계단 부분, 311 ... 내주면, 312 ... 외주면, 2112 ... 안내부, 2121 ... 개구부, 2122 ... 구멍부

Claims (5)

  1. 유체 흐름 형성체에 장착되는 방해판으로서, 상기 유체 흐름 형성체는:
    기둥 모양의 본체;
    상기 본체에 형성되는 평평한 단면;
    상기 단면에 형성된 오목부; 및
    상기 오목부 내에 유체의 선회류를 형성하거나 또는 상기 오목부 내에 유체를 토출하여 방사류를 형성함으로써 부압을 발생시켜 부재를 흡인하는 유체 흐름 형성 수단을 구비하며,
    상기 방해판은:
    상기 유체 흐름 형성체로부터 탈착이 가능하도록 설치되어 상기 부압에 의해 흡인된 유체를 통과하면서 상기 오목부 내로 상기 부재가 진입하는 것을 저해하는 방해판 본체; 및
    일단측이 상기 본체에 고정되고, 타단측이 상기 방해판 본체를 상기 단면에 대향하도록 지지하는 지지 부재로서, 상기 단면과 상기 방해판 본체 사이에 간격이 유지되는 동시에, 상기 오목부로부터 유출되는 유체가 흐르도록 하기 위한 유로가 형성되도록 상기 방해판 본체를 지지하는 지지 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 방해판.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 단면과 상기 방해판 본체 사이에 양자의 간격을 유지하도록 설치되는 간격 유지부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 방해판.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 지지 부재는 상기 본체의 상기 단면과 반대쪽인 면에 걸려있는 클로부를 구비하고;
    상기 간격 유지부와 상기 클로부 사이에 상기 본체를 두고;
    상기 간격 유지부는 상기 유로를 형성하는 것을 특징으로 하는 방해판.
  4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서, 상기 방해판 본체는:
    상기 방해판 본체의 중앙부에 형성되어, 상기 부재의 일부가 함입함에 의해 상기 부재의 위치 결정이 이루어지는 개구부; 및
    상기 유체 흐름 형성체에 장착된 상기 방해판이 상기 오목부에 대향하도록 상기 개구부 주위에 형성되는 구멍부를 포함하는 것을 특징으로 하는 방해판.
  5. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서, 상기 지지 부재는 상기 지지 부재의 탄성력에 의해 상기 본체에 장착되는 것을 특징으로 하는 방해판.
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