TWI648346B - 正型感光性組合物 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種正型感光性組合物，其含有矽氧烷聚合物(A)、下述式(1)或式(2)所表示的萘醌二疊氮衍生物(B)、以及有機溶劑(C)。並且其特徵在於：使本發明的正型感光性組合物於350℃以上進行熱硬化而獲得的硬化膜的於波長400nm下的每1μm膜厚的透光率為95%以上。
式中，R1及R2分別獨立地表示芳基。

Description

正型感光性組合物
本發明涉及一種於抗蝕劑領域等中可利用的正型感光性組合物。
經圖案化的透明膜是於間隔物、絕緣膜、保護膜等顯示元件的很多領域中使用，至今在該用途中已提出有多種正型感光性組合物(例如參照專利文獻1~專利文獻3)。
通常，薄膜電晶體型液晶顯示元件或固體攝影元件等電子零件中，為了使配置為層狀的配線之間絕緣而設置有絕緣膜。近年來所製造的所述元件中，由於使用可形成既定形狀的圖案的絕緣膜，故而廣泛使用形成膜的步驟數少即可的正型感光性組合物。正型感光性組合物必須在形成絕緣膜的過程中具有廣泛的製程範圍。進而，使用正型感光性組合物而形成的絕緣膜或具有該絕緣膜的顯示元件有時會在製造後步驟中與溶劑、酸、鹼溶液等接觸。因此，對絕緣膜要求具有高的耐溶劑性、耐酸性、耐鹼性等。
近年來，進而還有在所形成的透明膜(圖案狀透明膜)上於高溫下形成無機膜的用途。該情況下，無機膜是利用化學蒸 鍍、濺鍍等方法來形成。為了利用這些成膜法來獲得優質的膜，需要高溫的步驟(非專利文獻1)。即，成為這些無機膜的基底的透明膜也會暴露於高溫中。若透明膜的耐熱性不足，則於高溫製程中透過透明膜的熱分解而產生脫離氣體，因其影響而無法獲得優質的無機膜。另外，因熱劣化而在透明膜上產生著色，難以在要求透明性的用途中使用。進而，在膜內部產生熱應力，透明膜的耐龜裂性下降。由於這些原因，要求具有350℃以上的高耐熱性的正型感光性組合物。作為供於這些用途的正型感光性組合物，已有若干提案(例如參照專利文獻4及專利文獻5)。專利文獻4中介紹了含有矽氧烷聚合物與萘醌系感光劑的材料，另外，專利文獻5中介紹了將矽氧烷聚合物與醯亞胺化合物、以及萘醌系感光劑混合而成的材料。然而，這些材料均難以滿足製程中的耐龜裂性、高透明性(透射率、透明度)以外的所有要求特性。
[現有技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開昭51-34711號公報
[專利文獻2]日本專利特開昭56-122031號公報
[專利文獻3]日本專利特開平5-165214號公報
[專利文獻4]日本專利特開2006-178436號公報
[專利文獻5]日本專利特開2009-15285號公報
[非專利文獻]
[非專利文獻1]《利用內置奈米結構的透明氧化物功能培 養(Function Cultivation of Transparent Oxides Utilizing Built-In Nanostructure)》，《日本化學學會通報(Bulletin of the Chemical Society of Japan)》第79卷第1期第24頁(2006)
在如上所述的狀況下，謀求一種耐熱性、透明性、與基底的密著性、耐龜裂性等優異，且可經過利用鹼水溶液的顯影步驟而形成經圖案化的透明膜(圖案狀透明膜)的正型感光性組合物。
本發明為一種正型感光性組合物，其含有矽氧烷聚合物(A)、具有特定結構的萘醌二疊氮化物衍生物(B)以及有機溶劑(C)，所述正型感光性組合物的特徵在於：使該組合物在350℃以上進行熱硬化而獲得的硬化膜的在波長400nm下的透光率為95%以上。
本發明包括以下各項。
[1]一種正型感光性組合物，其含有矽氧烷聚合物(A)、下述式(1)或式(2)所表示的萘醌二疊氮化物衍生物(B)、以及有機溶劑(C)；並且使該組合物在350℃以上進行熱硬化而獲得的硬化膜的在波長400nm下的每1μm膜厚的透光率為95%以上， 式中，R1及R2分別獨立地表示芳基。
[2]如[1]項所述的正型感光性組合物，其中：式(1)的R1或式(2)的R2是選自下述式(3)~式(6)所表示的一價基的組群中的1種， R3、R4、R5、R6、R7、R8及R9分別獨立地表示氫或者碳數1~5的烷基。
[3]如[1]項或[2]項所述的正型感光性組合物，其中：矽氧烷聚合物(A)是透過包含至少2種烷氧基矽烷化合物的原料的水解縮合來合成的具有鹼可溶性的聚合物；此處，烷氧基矽烷化合物的2種是選擇烷氧基的數量不同的2種化合物。
[4]如[3]項所述的正型感光性組合物，其中：烷氧基矽烷化合物是選自由四甲氧基矽烷、四乙氧基矽烷、甲基三甲氧基矽烷、苯基三甲氧基矽烷、甲基三乙氧基矽烷、苯基三乙氧基矽烷、 二甲基二甲氧基矽烷、二苯基二甲氧基矽烷、甲基苯基二甲氧基矽烷、二甲基二乙氧基矽烷、二苯基二乙氧基矽烷、甲基苯基二乙氧基矽烷、三甲基甲氧基矽烷、以及三甲基乙氧基矽烷所組成的組群中。
[5]如[1]~[4]中任一項所述的正型感光性組合物，其中：矽氧烷聚合物(A)的重量平均分子量以聚苯乙烯換算為500~100,000。
[6]如[1]~[5]中任一項所述的正型感光性組合物，其中：萘醌二疊氮衍生物(B)是選自下述式(7)~式(9)所表示的化合物的組群中的至少1種，
[7]一種硬化膜，其中：使用如[1]~[6]中任一項所述的正型感光性組合物而形成。
[8]一種顯示元件，其中：使用如[7]項所述的硬化膜來製造。
使用本發明的正型感光性組合物而形成的硬化膜的耐熱 性、透明性、耐龜裂性、解析度、耐溶劑性、耐酸性、耐鹼性優異，顯示元件等中使用的所述硬化膜即便在其製造後步驟中暴露於高溫中，即便浸漬於溶劑、酸、鹼溶液等中或與該些溶液接觸，進而即便進行熱處理等，也難以在膜上產生表面粗糙。其結果為，若將使用本發明的正型感光性組合物而形成的硬化膜用作透明膜等，則光的透射率提高，使用所述硬化膜的顯示元件的顯示品質提高。
本發明的正型感光性組合物是含有矽氧烷聚合物(A)、下述式(1)或式(2)所表示的萘醌二疊氮衍生物(B)以及有機溶劑(C)的正型感光性組合物。所述正型感光性組合物具有如下特徵：使該組合物在350℃以上進行熱硬化而獲得的硬化膜的在波長400nm下的透光率為95%以上。
式中，R1及R2分別獨立地表示芳基。
以下，除了構成本發明的正型感光性組合物的矽氧烷聚合物(A)、萘醌二疊氮衍生物(B)、有機溶劑(C)以外，對各自的要素進行說明。此外，以下在本說明書中，有時將本發明的正型感光性組合物稱為「本發明的組合物」。
1)矽氧烷聚合物(A)
矽氧烷聚合物(A)是透過如下原料的水解縮合來合成，所述原料包含選自具有1個、2個、3個、4個、或者其以上的烷氧基的烷氧基矽烷化合物的組群中的至少2種，此處，烷氧基矽烷化合物的2種是選擇烷氧基的數量不同的2種化合物。在烷氧基矽烷化合物為3種以上的情況下，也可以包含烷氧基的數量相同的化合物。另外，除了所述烷氧基矽烷化合物以外，也可以使用矽烷醇化合物或者二矽氧烷、四矽氧烷等矽氧烷化合物。以下，將這些水解縮合中可使用的化合物稱為烷氧基矽烷化合物類。
矽氧烷聚合物(A)的合成中使用的烷氧基矽烷化合物類的具體例為：異氰脲酸三(3-(三甲氧基矽烷基)丙基)酯、四丁氧基矽烷、四丙氧基矽烷、四異丙氧基矽烷、四乙氧基矽烷、四甲氧基矽烷、(3-溴丙基)三甲氧基矽烷、(3-巰基丙基)三乙氧基矽烷、(3-巰基丙基)三甲氧基矽烷、氯甲基三乙氧基矽烷、1-[3-(三甲氧基矽烷基)丙基]脲、2-(3,4-環氧基環己基)乙基三甲氧基矽烷、2-氰基乙基三乙氧基矽烷、3-(2-胺基乙基胺基)丙基三乙氧基矽烷、3-(2-胺基乙基胺基)丙基三甲氧基矽烷、異氰酸3-(三乙氧基矽烷基)丙酯、丙烯酸3-(三甲氧基矽烷基)丙酯、甲基丙烯酸3-(三甲氧 基矽烷基)丙酯、3-胺基丙基三乙氧基矽烷、3-胺基丙基三甲氧基矽烷、3-氯丙基三乙氧基矽烷、3-縮水甘油基氧基丙基三甲氧基矽烷、3-三甲氧基矽烷基丙基氯、3-脲基丙基三乙氧基矽烷、甲基丙烯酸3-[三(三甲基矽烷基氧基)矽烷基]丙酯、烯丙基三乙氧基矽烷、烯丙基三甲氧基矽烷、乙烯基三乙氧基矽烷、乙烯基三甲氧基矽烷、苄基三乙氧基矽烷、環己基三甲氧基矽烷、十二烷基三甲氧基矽烷、乙基三甲氧基矽烷、己基三乙氧基矽烷、己基三甲氧基矽烷、辛基三乙氧基矽烷、十八烷基三乙氧基矽烷、十八烷基三甲氧基矽烷、戊基三乙氧基矽烷、苯基三乙氧基矽烷、苯基三甲氧基矽烷、(對甲苯基)三甲氧基矽烷、甲基三乙氧基矽烷、[雙環[2.2.1]庚-5-烯-2-基]三乙氧基矽烷、1H,1H,2H,2H-十三氟-正辛基三乙氧基矽烷、乙基三乙氧基矽烷、三乙氧基氟矽烷、三乙氧基矽烷、三甲氧基矽烷、[3-(苯基胺基)丙基]三甲氧基矽烷、二甲基二乙氧基矽烷、二甲基二甲氧基矽烷、3-(2-胺基乙基胺基)丙基甲基二甲氧基矽烷、3-胺基丙基甲基二乙氧基矽烷、3-氯丙基甲基二甲氧基矽烷、3-縮水甘油基氧基丙基甲基二甲氧基矽烷、3-巰基丙基甲基二甲氧基矽烷、環己基甲基二甲氧基矽烷、(3-縮水甘油基氧基丙基)甲基二乙氧基矽烷、甲基苯基二乙氧基矽烷、甲基苯基二甲氧基矽烷、二苯基二乙氧基矽烷、二苯基二甲氧基矽烷、甲基二乙氧基矽烷、甲基二甲氧基矽烷、二乙氧基甲基乙烯基矽烷、二甲氧基甲基乙烯基矽烷、二-對甲苯基二甲氧基矽烷、三乙基乙氧基矽烷、三甲基甲氧基矽烷、三甲基乙氧基矽烷、二苯基 矽烷二醇、二乙基(異丙基)矽烷醇、三乙基矽烷醇、三苯基矽烷醇、六甲基二矽氧烷、以及八甲基環四矽氧烷。
所述矽氧烷聚合物(A)較佳為具有適度的鹼可溶性。本發明中所謂鹼可溶性，是指在鹼中溶解至如下程度的性質：透過旋轉塗佈將矽氧烷聚合物(A)的溶液塗佈於基板上，在100℃下加熱2分鐘，將所形成的厚度為0.01μm~100μm的被膜在25℃的2.38重量%的四甲基氫氧化銨水溶液中浸漬5分鐘後，以純水清洗時，所述被膜不會殘留。
使用這些烷氧基矽烷化合物類的矽氧烷聚合物(A)的初始透明性高，且即便作為本發明的組合物而在高溫下進行煆燒，也基本上不存在透明性的劣化。另外，對顯影時的鹼水溶液的溶解性高，即顯影性高，容易獲得圖案狀透明膜。而且，所得的圖案狀透明膜顯示出優異的耐溶劑性、高耐水性、耐酸性、耐鹼性、以及耐熱性，進而，與基底的密著性提高。
所述烷氧基矽烷化合物類的具體例中，四甲氧基矽烷、四乙氧基矽烷、甲基三甲氧基矽烷、苯基三甲氧基矽烷、甲基三乙氧基矽烷、苯基三乙氧基矽烷、二甲基二甲氧基矽烷、二苯基二甲氧基矽烷、甲基苯基二甲氧基矽烷、二甲基二乙氧基矽烷、二苯基二乙氧基矽烷、甲基苯基二乙氧基矽烷、三甲基甲氧基矽烷、以及三甲基乙氧基矽烷容易獲取，就提高所得的圖案狀透明膜的耐溶劑性、耐水性、耐酸性、耐鹼性、耐熱性、透明性的觀點而言較佳。
烷氧基矽烷化合物類可僅使用官能基數不同的2種，也可混合3種以上。
2)矽氧烷聚合物(A)的合成方法
矽氧烷聚合物的聚合方法並無特別限制，可使所述烷氧基矽烷化合物類進行水解縮合來製作。水解中可使用水與酸或鹼催化劑。酸催化劑可列舉：甲酸、乙酸、三氟乙酸、硝酸、硫酸、鹽酸、氫氟酸、硼酸、磷酸、陽離子交換樹脂等。鹼催化劑可列舉：氨、三乙胺、單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、氫氧化鈉、碳酸鈉、碳酸氫鈉、氫氧化鉀、陰離子交換樹脂等。聚合溫度並無特別限定，通常為50℃~150℃的範圍。聚合時間也並無特別限定，通常為1小時~48小時的範圍。另外，聚合反應可在加壓、減壓或者大氣壓的任一種壓力下進行。聚合後，為了使矽氧烷聚合物穩定化，較佳為透過蒸餾來去除低分子量成分。蒸餾可以是減壓，也可以是常壓，常壓下的蒸餾溫度通常為100℃~200℃。
聚合反應中使用的溶劑較佳為所使用的烷氧基矽烷化合物類、以及將所生成的聚合物溶解的溶劑。溶劑的具體例為：甲醇、乙醇、1-丙醇、2-丙醇、1-丁醇、2-丁醇、異丁醇、第三丁醇、丙酮、2-丁酮、乙酸乙酯、乙酸丙酯、四氫呋喃、乙腈、二噁烷、甲苯、二甲苯、環己酮、乙二醇單乙醚、丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚乙酸酯、二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲基乙醚、3-甲氧基丙酸甲酯、以及3-乙氧基丙酸乙酯。反應溶劑可使用這些溶劑的1種，也可以將2種以上混合來使用。
矽氧烷聚合物(A)若透過以聚苯乙烯作為標準的凝膠滲透層析法(Gel Penetration Chromatography，GPC)分析來求出的重量平均分子量為500~100,000的範圍，則直至曝光部分在鹼顯影液中溶解為止的顯影時間適當，且顯影時膜的表面難以變粗糙，故而較佳。進而，若重量平均分子量為1,500~50,000的範圍，則直至未曝光部分在鹼顯影液中溶解為止的顯影時間適當，且顯影時膜的表面難以變粗糙，顯影殘渣也變得極少，因此更佳。由於相同的原因，若重量平均分子量為2,000~20,000的範圍，則最佳。
矽氧烷聚合物(A)的重量平均分子量可透過以下方式來測定：例如在標準的聚苯乙烯中使用分子量為645~132,900的聚苯乙烯(例如瓦里安(VARIAN)公司製造的聚苯乙烯校正套組(Calibration Kit)PL2010-0102)，管柱中使用PLgel MIXED-D(瓦里安(VARIAN)公司製造)，其使用四氫呋喃(tetrahydrofuran，THF)作為流動相來測定。
3)萘醌二疊氮衍生物(B)
萘醌二疊氮衍生物(B)為下述式(1)或式(2)所表示的化合物。
式中，R1及R2分別獨立地表示芳基。
所述式中的R1及R2較佳為選自下述式(3)~式(6)所表示的一價基的組群中。
式中，R3、R4、R5、R6、R7、R8及R9分別獨立地表示氫或者碳數1~5的烷基。另外，與苯環交叉的直線為結合鍵，表示和與苯環的其他鍵有關的碳以外的任1個碳連結。
式(3)~式(6)所表示的一價基分別較佳為下述式(3-1)、式(4-1)、式(5-1)、以及式(6-1)。
式中，R3、R4、R5、R6、R7、R8及R9的定義與上文所述相同。
就提高正型感光性組合物的透明性的觀點而言，萘醌二疊氮衍生物(B)較佳為下述式(7)~式(9)所表示的化合物的任一種。這些化合物可單獨使用，也可以將2種以上組合使用。
相對於矽氧烷聚合物(A)100重量份，本發明的組合物中的萘醌二疊氮衍生物(B)的含量較佳為5重量份~50重量份。
4)溶劑
本發明的組合物中使用的溶劑較佳為沸點為100℃~350℃的化合物。沸點為100℃~350℃的溶劑的具體例為：乙酸丁酯、丙酸丁酯、乳酸乙酯、氧乙酸甲酯、氧乙酸乙酯、氧乙酸丁酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、3-氧丙酸甲酯、3-氧丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、2-氧丙酸甲酯、2-氧丙酸乙酯、2-氧丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸甲酯、 2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-氧-2-甲基丙酸甲酯、2-氧-2-甲基丙酸乙酯、2-甲氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、乙醯乙酸甲酯、乙醯乙酸乙酯、2-側氧丁酸甲酯、2-側氧丁酸乙酯、二噁烷、乙二醇、二乙二醇、三乙二醇、丙二醇、二丙二醇、三丙二醇、1,4-丁二醇、乙二醇單異丙醚、乙二醇單丁醚、丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單丙醚乙酸酯、乙二醇單丁醚乙酸酯、環己酮、環戊酮、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單甲醚乙酸酯、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單乙醚乙酸酯、二乙二醇單丁醚、二乙二醇單丁醚乙酸酯、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇甲基乙醚、甲苯、二甲苯、γ-丁內酯、以及N,N-二甲基乙醯胺。這些溶劑可單獨使用，也可以將2種以上組合使用。
本發明的組合物中使用的溶劑也可以是所述沸點為100℃~350℃的化合物與其以外的溶劑的混合溶劑。該情況下，混合溶劑中的沸點為100℃~350℃的化合物的含量設為20重量%以上。沸點為100℃~350℃的化合物以外的溶劑可使用公知溶劑的1種或者2種以上。
本發明的組合物中使用的溶劑若使用選自丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、二乙二醇單乙醚乙酸酯、二乙二醇單丁醚乙酸酯、二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲基乙醚、乳酸乙酯以及乙酸丁酯中的至少1 種，則塗佈均勻性提高，因此更佳。若使用選自丙二醇單甲醚乙酸酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、二乙二醇甲基乙醚、乳酸乙酯、以及乙酸丁酯中的至少1種，則就提高正型感光性組合物的塗佈均勻性，另外就對人體的安全性的觀點而言最佳。
另外，本發明的組合物中的溶劑較佳為以相對於矽氧烷聚合物(A)、萘醌二疊氮衍生物(B)以及溶劑(C)的總量，作為固體成分的矽氧烷聚合物(A)以及萘醌二疊氮衍生物(B)的合計成為5重量%~50重量%的方式進行調配。
5)其他成分
本發明的組合物中，為了提高解析度、塗佈均勻性、顯影性、黏接性，可添加各種添加劑。添加劑中主要列舉：丙烯酸系、苯乙烯系、聚乙烯亞胺系或者胺基甲酸酯系的高分子分散劑，陰離子系、陽離子系、非離子系或者氟系的表面活性劑，矽系塗佈性促進劑，偶合劑等密著性促進劑，多元羧酸、酚化合物等鹼溶解性促進劑，受阻酚系、受阻胺系、磷系、硫系化合物等抗氧化劑，環氧化合物、三聚氰胺化合物或者雙疊氮化合物等熱交聯劑。
5-1)高分子分散劑、表面活性劑、以及塗佈性促進劑
高分子分散劑、表面活性劑、以及塗佈性促進劑中，可在組合物中使用這些用途中所使用的成分。這些成分可以是1種，也可以是2種以上。這種高分子分散劑、表面活性劑以及塗佈性促進劑的具體例為：珀利弗洛(Polyflow)No.45、珀利弗洛(Polyflow)KL-245、珀利弗洛(Polyflow)No.75、珀利弗洛(Polyflow)No.90、 珀利弗洛(Polyflow)No.95(以上均為商品名，共榮社化學工業(股)製造)，迪斯帕畢克(Disperbyk)161、迪斯帕畢克(Disperbyk)162、迪斯帕畢克(Disperbyk)163、迪斯帕畢克(Disperbyk)164、迪斯帕畢克(Disperbyk)166、迪斯帕畢克(Disperbyk)170、迪斯帕畢克(Disperbyk)180、迪斯帕畢克(Disperbyk)181、迪斯帕畢克(Disperbyk)182、BYK300、BYK306、BYK310、BYK320、BYK330、BYK342、BYK344、BYK346、BYK361N(以上均為商品名，日本畢克化學(BYK-Chemie Japan)(股)製造)，KP-341、KP-358、KP-368、KF-96-50CS、KF-50-100CS(以上均為商品名，信越化學工業(股)製造)，沙福隆(Surflon)SC-101、沙福隆(Surflon)KH-40、沙福隆(Surflon)S-611(以上均為商品名，清美化學(Seimi Chemical)(股)製造)，福傑特(Ftergent)222F、福傑特(Ftergent)251、FTX-218(以上均為商品名，尼歐斯(Neos)(股)製造)，艾福拓(EFTOP)EF-351、艾福拓(EFTOP)EF-352、艾福拓(EFTOP)EF-601、艾福拓(EFTOP)EF-801、艾福拓(EFTOP)EF-802(以上均為商品名，三菱材料(Mitsubishi Material)(股)製造)，美佳法(Megafac)F-171、美佳法(Megafac)F-177、美佳法(Megafac)F-475、美佳法(Megafac)F-556、美佳法(Megafac)R-08、美佳法(Megafac)R-30(以上均為商品名，迪愛生(DIC)(股)製造)，氟烷基苯磺酸鹽、氟烷基羧酸鹽、氟烷基聚氧乙烯醚、氟烷基碘化銨、氟烷基甜菜鹼、氟烷基磺酸鹽、二甘油四(氟烷基聚氧乙烯醚)、氟烷基三甲基銨鹽、氟烷基胺基磺酸鹽、聚氧 乙烯壬基苯基醚、聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯烷基醚、聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯油烯基醚、聚氧乙烯十三烷基醚、聚氧乙烯鯨蠟基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯月桂酸酯、聚氧乙烯油酸酯、聚氧乙烯硬脂酸酯、聚氧乙烯月桂基胺、脫水山梨糖醇月桂酸酯、脫水山梨糖醇棕櫚酸酯、脫水山梨糖醇硬脂酸酯、脫水山梨糖醇油酸酯、脫水山梨糖醇脂肪酸酯、聚氧乙烯脫水山梨糖醇月桂酸酯、聚氧乙烯脫水山梨糖醇棕櫚酸酯、聚氧乙烯脫水山梨糖醇硬脂酸酯、聚氧乙烯脫水山梨糖醇油酸酯、聚氧乙烯萘基醚、烷基苯磺酸鹽、以及烷基二苯基醚二磺酸鹽。
這些化合物中，就提高本發明的組合物的塗佈均勻性的觀點而言，較佳為所述添加劑中包含選自由美佳法(Megafac)F-475、美佳法(Megafac)F-556、氟烷基苯磺酸鹽、氟烷基羧酸鹽、氟烷基聚氧乙烯醚、氟烷基碘化銨、氟烷基甜菜鹼、氟烷基磺酸鹽、二甘油四(氟烷基聚氧乙烯醚)、氟烷基三甲基銨鹽、以及氟烷基胺基磺酸鹽等氟系的表面活性劑，以及BYK306、BYK342、BYK344、BYK346、KP-341、KP-358、以及KP-368等矽系塗佈性促進劑所組成的組群中的至少1種。
相對於組合物的固體成分總量100重量份，本發明的組合物中的高分子分散劑、表面活性劑以及塗佈性促進劑的含量分別較佳為0.001重量份~0.1重量份。
5-2)密著性促進劑
密著性促進劑是為了提高硬化膜與基板的密著性而使用。密著性 促進劑中可適合使用偶合劑。密著性促進劑可以是1種，也可以是2種以上。偶合劑中可使用矽烷系、鋁系或者鈦酸酯系的化合物。偶合劑的具體例為：3-縮水甘油氧基丙基二甲基乙氧基矽烷、3-縮水甘油氧基丙基甲基二乙氧基矽烷、3-縮水甘油氧基丙基三甲氧基矽烷、乙醯烷氧基二異丙醇鋁、以及四異丙基雙(二辛基亞磷酸鹽(phosphite))鈦酸鹽。這些密著性促進劑中，3-縮水甘油氧基丙基三甲氧基矽烷由於提高密著性的效果大，故而較佳。
相對於矽氧烷聚合物(A)的100重量份，本發明的組合物中的密著性促進劑的含量較佳為10重量份以下。
5-3)鹼溶解性促進劑
鹼溶解性促進劑已知有多種，其中，就能夠容易地調整鹼可溶性的觀點而言，較佳為多元羧酸、酚化合物。
5-3-1)多元羧酸
本發明的組合物中可添加偏苯三甲酸酐、鄰苯二甲酸酐、或者4-甲基環己烷-1,2-二羧酸酐等多元羧酸。這些多元羧酸中較佳為偏苯三甲酸酐。
5-3-2)酚化合物
本發明的組合物中也可以添加：2,3,4-三羥基二苯甲酮、2,4,6-三羥基二苯甲酮、2,2',4,4'-四羥基二苯甲酮、2,3,3',4-四羥基二苯甲酮、2,3,4,4'-四羥基二苯甲酮、雙(2,4-二羥基苯基)甲烷、雙(對羥基苯基)甲烷、三(對羥基苯基)甲烷、1,1,1-三(對羥基苯基)乙烷、雙(2,3,4-三羥基苯基)甲烷、2,2-雙(2,3,4-三羥基苯基)丙烷、4,4'-二羥 基-2,2'-二苯基丙烷、1,1-雙(4-羥基苯基)環己烷、1,1,3-三(2,5-二甲基-4-羥基苯基)-3-苯基丙烷、4,4'-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚、雙(2,5-二甲基-4-羥基苯基)-2-羥基苯基甲烷、3,3,3',3'-四甲基-1,1'-螺雙茚-5,6,7,5',6',7'-己醇(3,3,3',3'-tetramethyl-1,1'-spirobiinden-5,6,7,5',6',7'-hexanol)、或者2,2,4-三甲基-7,2,4'-三羥基黃烷(2,2,4-trimethyl-7,2,4'-trihydroxyflavan)等酚化合物。這些酚化合物中，就耐龜裂性提高的觀點而言，較佳為4,4'-二羥基-2,2'-二苯基丙烷、1,1-雙(4-羥基苯基)環己烷、4,4'-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚。
若在本發明的組合物中添加多元羧酸或酚化合物，則可調整鹼可溶性。另外，於在正型感光性組合物中包含環氧化合物的情況下，多元羧酸的羧基、酚化合物的苯酚可與這些環氧化合物的環氧基進行反應，來進一步提高耐熱性、耐化學品性。另外，若在本發明的正型感光性組合物中添加多元羧酸，則可在保存時抑制萘醌二疊氮衍生物(B)的分解，防止正型感光性組合物的著色。
本發明的組合物中，在添加多元羧酸、酚化合物的情況下，相對於矽氧烷聚合物(A)的100重量份，多元羧酸、酚化合物均分別較佳為1重量份~30重量份，更佳為2重量份~20重量份。
5-4)抗氧化劑
抗氧化劑中可適合使用選自受阻酚系、受阻胺系、磷系、以及硫系化合物中的抗氧化劑。抗氧化劑可以是1種，也可以是2種以上。就耐候性的觀點而言，抗氧化劑較佳為受阻酚系化合物的抗氧化劑。抗氧化劑的具體例例如為：易璐諾斯(Irganox)1010、易璐諾斯(Irganox)FF、易璐諾斯(Irganox)1035、易璐諾斯(Irganox)1035FF、易璐諾斯(Irganox)1076、易璐諾斯(Irganox)1076FD、易璐諾斯(Irganox)1076DWJ、易璐諾斯(Irganox)1098、易璐諾斯(Irganox)1135、易璐諾斯(Irganox)1330、易璐諾斯(Irganox)1726、易璐諾斯(Irganox)1425WL、易璐諾斯(Irganox)1520L、易璐諾斯(Irganox)245、易璐諾斯(Irganox)245FF、易璐諾斯(Irganox)245DWJ、易璐諾斯(Irganox)259、易璐諾斯(Irganox)3114、易璐諾斯(Irganox)565、易璐諾斯(Irganox)565DD、易璐諾斯(Irganox)295(以上均為商品名；巴斯夫(BASF)日本(股)製造)，艾迪科斯塔布(ADK STAB)AO-20、艾迪科斯塔布(ADK STAB)AO-30、艾迪科斯塔布(ADK STAB)AO-50、艾迪科斯塔布(ADK STAB)AO-60、艾迪科斯塔布(ADK STAB)AO-70、以及艾迪科斯塔布(ADK STAB)AO-80(以上均為商品名；艾迪科(ADEKA)(股)製造)。其中較佳為艾迪科斯塔布(ADK STAB)AO-60。
相對於矽氧烷聚合物(A)的100重量份，本發明的組合物中的抗氧化劑的含量較佳為0.1重量份~5重量份，更佳為1重量份~3重量份。
5-5)熱交聯劑
熱交聯劑中可使用在利用正型感光性組合物的成膜過程中引起交聯反應的成分。熱交聯劑可以是1種，也可以是2種以上。熱交聯劑中可使用環氧化合物等熱交聯劑。這種熱交聯劑的具體例為：埃皮考特(Epikote)807、埃皮考特(Epikote)815、埃皮考特(Epikote)825、埃皮考特(Epikote)827、埃皮考特(Epikote)828、埃皮考特(Epikote)190P、埃皮考特(Epikote)191P、埃皮考特(Epikote)1004、埃皮考特(Epikote)1256、YX8000(以上均為商品名；日本環氧樹脂(Japan Epoxy Resin)(股)製造)，愛牢達(Araldite)CY177、愛牢達(Araldite)CY184(以上均為商品名；巴斯夫(BASF)日本(股)製造)，賽羅西德(Celloxide)2021P、EHPE-3150(以上均為商品名；大賽璐化學工業(Daicel Chemical industries)(股)製造)，以及特克摩阿(Tecmoa)VG3101L(商品名；普林特克(Printec)(股)製造))。
相對於組合物的固體成分100重量份，本發明的組合物中的熱交聯劑的含量較佳為1重量份~30重量份，更佳為5重量份~15重量份。
本發明的組合物若在溫度-30℃~25℃的範圍內遮光來保存，則組合物的經時穩定性變得良好，故而較佳。若保存溫度為-20℃~10℃，則析出物也不存在，故而更佳。
本發明的組合物適合於形成透明的膜，由於圖案化時的解析度比較高，故而最適合於形成開有10μm以下的小孔的絕緣 膜。此處，所謂絕緣膜，例如是指為了使配置為層狀的配線間絕緣而設置的膜(層間絕緣膜)等。
所述透明膜、絕緣膜等膜可利用抗蝕劑領域中形成膜的通常方法來形成。以下例示形成方法。
首先，利用旋轉塗佈、輥塗佈、狹縫塗佈等公知的方法，將本發明的組合物塗佈於玻璃等基板上。基板可列舉：白板玻璃、青板玻璃、經二氧化矽塗佈的青板玻璃等透明玻璃基板，聚碳酸酯、聚醚碸、聚酯、丙烯酸、氯乙烯、芳香族聚醯胺、聚醯胺醯亞胺、聚醯亞胺等的合成樹脂製片材、膜或者基板，鋁板、銅板、鎳板、不銹鋼板等金屬基板，除此此外的陶瓷板、具有光電轉換元件的半導體基板等。對於這些基板，可視需要而進行矽烷偶合劑等的化學品處理、電漿處理、離子鍍、濺鍍、氣相反應法、真空蒸鍍等預處理。
繼而，將基板上的組合物的膜以加熱板或者烘箱進行乾燥。通常，在60℃~120℃下乾燥1分鐘~5分鐘。對基板上的經乾燥的膜，經由所需圖案形狀的遮罩而照射紫外線等放射線。照射條件雖然也取決於組合物中的感光劑的種類，但例如若感光劑為萘醌二疊氮衍生物，則較佳為以i射線照射5mJ/cm2~1,000mJ/cm2。經照射紫外線的部分的萘醌二疊氮衍生物成為茚羧酸而快速地溶解於顯影液中。
放射線照射後的膜是使用鹼溶液等顯影液來顯影。透過該顯影，膜的經照射放射線的部分快速地溶解於顯影液中。顯影 方法並無特別限定，可使用浸漬顯影、覆液顯影、噴淋顯影中的任一種。
顯影液較佳為鹼溶液。鹼溶液中所含的鹼的具體例為：四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨、2-羥基乙基三甲基氫氧化銨、碳酸鈉、碳酸氫鈉、碳酸鉀、碳酸氫鉀、氫氧化鈉、或者氫氧化鉀。另外，顯影液適合使用這些鹼的水溶液。即，作為顯影液可列舉：四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨、或者2-羥基乙基三甲基氫氧化銨等有機鹼類等，碳酸鈉、氫氧化鈉、或者氫氧化鉀等無機鹼類的水溶液。
顯影液中，以顯影殘渣的減少或圖案形狀的適應性化為目的，也可以添加甲醇、乙醇或表面活性劑。表面活性劑中，例如可使用選自陰離子系、陽離子系、以及非離子系中的表面活性劑。這些表面活性劑中，特別是若添加非離子系的聚氧乙烯烷基醚，則就提高解析度的觀點而言較佳。
經顯影的膜是以純水進行充分洗滌，然後，對基板上的膜的整個面再次照射放射線。例如在放射線為紫外線的情況下，以100mJ/cm2~1,000mJ/cm2的強度對膜照射。經再次照射放射線的膜最後在180℃~350℃下煆燒10分鐘~120分鐘。如此，可獲得經所需圖案化的透明膜。
以所述方式獲得的圖案狀透明膜也可以用作圖案狀絕緣膜。進而，也可以在該絕緣膜上形成透明電極，透過蝕刻來進行圖案化後，形成進行配向處理的膜。該絕緣膜由於耐濺鍍性高， 故而即便形成透明電極，也不會在絕緣膜上產生皺褶，可保持高透明性。
透明膜、絕緣膜等樹脂膜用於使用液晶等的顯示元件。例如顯示元件是透過如下方式來製作：將以所述方式在基板上設置有進行圖案化的透明膜或者絕緣膜的元件基板、與作為對向基板的彩色濾光片基板，對準位置而壓接，然後進行熱處理而組合，在對向的基板之間注入液晶，將注入口密封。
或者，也可以透過在元件基板上散佈液晶後，將元件基板重疊，以液晶不會洩漏的方式進行密封來製作。
如上所述，可將由本發明的正型感光性組合物形成的具有優異的耐熱性及透明性的絕緣膜用於液晶顯示元件。此外，對於本發明的液晶顯示元件中使用的液晶、即液晶化合物以及液晶組合物並無特別限定，可以使用任一種液晶化合物以及液晶組合物。
[實施例]
以下，透過實施例來對本發明進一步進行說明，但本發明並不限定於這些實施例。
[合成例1]矽氧烷聚合物(A1)的合成
向帶有攪拌器的四口燒瓶中，以下述重量投入作為聚合溶劑的二乙二醇乙基甲醚、作為單體的四乙氧基矽烷、二甲基二甲氧基矽烷以及苯基三甲氧基矽烷，進而滴加添加甲酸10.3g與水16.0g的混合溶液。在80℃下加熱1小時，繼而一邊加熱1小時一邊蒸 餾去除低分子成分。然後，進而在130℃下加熱2小時而蒸餾去除低分子成分，獲得聚合物聚合液。蒸餾去除的低沸點成分合計為30.8g。將反應液冷卻至室溫為止，獲得矽氧烷聚合物(A1)。
採集溶液的一部分，透過GPC分析(聚苯乙烯標準)來測定重量平均分子量。重量平均分子量為5,100。
[合成例2]矽氧烷聚合物(A2)的合成
依據合成例1的方法，以下述重量投入各成分，進行聚合(添加甲酸10.3g、水14.6g)。
進行依據合成例1的處理，獲得聚合物聚合液。蒸餾去除的低沸點成分合計為29.3g。所得矽氧烷聚合物(A2)的透過GPC分析(聚苯乙烯標準)來求出的重量平均分子量為4,200。
[合成例3]矽氧烷聚合物(A3)的合成
依據合成例1的方法，以下述重量投入各成分，進行聚合(添加甲酸9.6g、水15.0g)。
進行依據合成例1的處理，獲得聚合物聚合液。透過蒸餾去除而去除的低沸點成分合計為32.1g。所得矽氧烷聚合物(A3)的透過GPC分析(聚苯乙烯標準)來求出的重量平均分子量為4,200。
[合成例4]矽氧烷聚合物(A4)的合成
依據合成例1的方法，以下述重量投入各成分，進行聚合(添加甲酸15.9g、水42.8g)。
進行依據合成例1的處理，獲得聚合物聚合液。透過蒸餾去除而去除的低沸點成分合計為28.9g。所得矽氧烷聚合物(A4)的透過GPC分析(聚苯乙烯標準)來求出的重量平均分子量為3,500。
[合成例5]矽氧烷聚合物(A5)的合成
依據合成例1的方法，以下述重量投入各成分，進行聚合(添加甲酸12.6g、水19.2g)。
進行依據合成例1的處理，獲得聚合物聚合液。透過蒸餾去除而去除的低沸點成分合計為36.9g。所得矽氧烷聚合物(A5)的透過GPC分析(聚苯乙烯標準)來求出的重量平均分子量為6,300。
[合成例6]矽氧烷聚合物(A6)的合成
依據合成例1的方法，以下述重量投入各成分，進行聚合(添加磷酸0.2g、水31.5g)。
進行依據合成例1的處理，獲得聚合物聚合液。透過蒸 餾去除而去除的低沸點成分合計為36.9g。所得矽氧烷聚合物(A6)的透過GPC分析(聚苯乙烯標準)來求出的重量平均分子量為7,300。
[實施例1]
[正型感光性組合物的製造]
將作為溶劑的二乙二醇乙基甲醚、合成例1中獲得的矽氧烷聚合物(A1)、作為萘醌二疊氮衍生物(B)的式(7)的化合物、作為添加劑的迪愛生(DIC)股份有限公司製造的美佳法(Megafac)F-556(以下簡稱為「F-556」)以下述重量進行混合溶解，而獲得正型感光性組合物。
[正型感光性組合物的評價方法]
1)圖案狀透明膜的形成
在玻璃基板上，以1000rpm旋轉塗佈實施例1中合成的正型感光性組合物10秒，在100℃的加熱板上乾燥2分鐘。將該基板在空氣中，經由孔圖案形成用的遮罩，使用拓普康(Topcon)股份有限公司製造的近接式曝光機TME-150PRC(光源為超高壓水銀燈)，透過波長截止濾光片來截止350nm以下的光，取出g射線、 h射線、i射線，以曝光間隙100μm進行曝光。曝光量是以牛尾(Ushio)電機股份有限公司製造的累計光量計UIT-102、受光器UVD-365PD進行測定而設為100mJ/cm2。將曝光後的玻璃基板在四甲基氫氧化銨水溶液中進行60秒浸漬顯影，去除曝光部的組合物。將顯影後的基板以純水洗滌60秒後，以100℃的加熱板乾燥2分鐘。利用所述曝光機，不經由遮罩，以曝光量300mJ/cm2對該基板進行全面曝光後，在烘箱中以350℃進行30分鐘後烘烤，形成膜厚為1.0μm的圖案狀透明膜。利用日本科磊(KLA-Tencor Japan)股份有限公司製造的觸針式膜厚計α階段(step)P15來測定膜厚。
2)顯影後殘膜率
在顯影的前後測定膜厚，根據下式來計算。
(顯影後膜厚/顯影前膜厚)×100(%)
3)解析度
利用光學顯微鏡，以1000倍來觀察所述1)中獲得的後烘烤後的圖案狀透明膜的基板，確認在孔圖案的底部露出玻璃的遮罩尺寸。無法形成孔圖案的情況作為不良(NG：No Good)。
4)透明性
使用東京電色有限公司製造的TC-1800，將未形成透明膜的玻璃基板作為參考，測定波長400nm下的透光率。
5)耐熱性
將所述1)中獲得的圖案狀透明膜的基板在350℃的烘箱中追加烘烤30分鐘，在加熱的前後以與所述4)相同的方式測定透光率，將後烘烤後(追加烘烤前)的透光率設為T1，將追加烘烤後的透光率設為T2。自後烘烤後至追加烘烤後的透光率的下降幅度越少，可判定為越良好。另外，在加熱的前後測定膜厚，由下式來計算膜厚的變化率。
(追加烘烤後膜厚/後烘烤後膜厚)×100(%)
6)耐龜裂性
透過目視來觀察所述1)中獲得的透明膜的龜裂的有無。膜面未產生龜裂的情況判定為良好(G：Good)，膜面產生龜裂的情況判定為不良(NG：No Good)。
關於實施例1中合成的正型感光性組合物，將利用所述的評價方法而獲得的結果示於表1中。
[實施例2]
除了代替實施例1中使用的矽氧烷聚合物(A1)，而使用合成例2中獲得的矽氧烷聚合物(A2)以外，依據實施例1來製備正型感光性組合物，進行評價。將結果示於表1中。
[實施例3]
除了代替實施例1中使用的矽氧烷聚合物(A1)，而使用合成例3中獲得的矽氧烷聚合物(A3)以外，依據實施例1來製備正型感光性組合物，進行評價。將結果示於表1中。
[實施例4]
除了代替實施例1中使用的矽氧烷聚合物(A1)，而使用合成例4中獲得的矽氧烷聚合物(A4)以外，依據實施例1來製備正型感光性組合物，進行評價。將結果示於表1中。
[實施例5]
除了代替實施例1中使用的矽氧烷聚合物(A1)，而使用合成例5中獲得的矽氧烷聚合物(A5)以外，依據實施例1來製備正型感 光性組合物，進行評價。將結果示於表1中。
[實施例6]
除了代替實施例1中使用的矽氧烷聚合物(A1)，而使用合成例6中獲得的矽氧烷聚合物(A6)以外，依據實施例1來製備正型感光性組合物，進行評價。將結果示於表1中。
[實施例7]
除了代替實施例1中使用的式(7)的化合物，而使用式(8)的化合物以外，依據實施例1來製備正型感光性組合物，進行評價。將結果示於表1中。
[實施例8]
除了代替實施例1中使用的式(7)的化合物，而使用式(9)的化合物以外，依據實施例1來製備正型感光性組合物，進行評價。將結果示於表1中。
[實施例9]
除了代替實施例1中使用的矽氧烷聚合物(A1)，而以下述重量使用合成例4以及合成例5中獲得的矽氧烷聚合物(A4)以及矽氧烷聚合物(A5)以外，依據實施例1來製備正型感光性組合物，進行評價。將結果示於表1中。
[實施例10]
在實施例8的組合物中進而添加雙酚Z(本州化學工業股份有限公司製造)0.15g，製備正型感光性組合物，進行評價。將結果示於表1中。
[實施例11]
將二乙二醇乙基甲醚、矽氧烷聚合物(A1)、矽氧烷聚合物(A5)、式(7)的化合物、雙酚A(本州化學工業股份有限公司製造)、F-556以下述重量進行混合溶解，獲得正型感光性組合物。
[比較例1]
除了代替實施例1中使用的式(7)的化合物，而使用作為1,2-醌二疊氮化合物的4,4'-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚與6-重氮-5,6-二氫-5-側氧萘-1-磺酸的酯化合物以外，依據實施例1來製備正型感光性組合物，進行評價。將結果示於表2中。
表2
[比較例2]
除了代替實施例6中使用的式(8)的化合物，而使用作為1,2-醌二疊氮化合物的4,4'-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚與6-重氮-5,6-二氫-5-側氧萘-1-磺酸的酯化合物以外，依據實施例6來製備正型感光性組合物，進行評價。將結果示於表2中。
[比較例3]
除了代替實施例7中使用的式(9)的化合物，而使用作為1,2-醌二疊氮化合物的4,4'-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚與6-重氮-5,6-二氫-5-側氧萘-1-磺酸的酯化合物以外，依據實施例7來製備正型感光性組合物，進行評價。將結果示於表2中。
[比較例4]
除了代替實施例8中使用式(7)的化合物，而使用作為1,2-醌二疊氮化合物的4,4'-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚與6-重氮-5,6-二氫-5-側氧萘-1-磺酸的酯化合物以外，依據實施例8來製備正型感光性組合物，進行評價。將結果示於表2中。
根據實施例與比較例的結果而瞭解到，使用本發明的正型感光性組合物而形成的硬化膜的透射率高。
[產業上的可利用性]
本發明的正型感光性組合物例如可用於液晶顯示元件。

Claims (8)

  1. 一種正型感光性組合物，含有：矽氧烷聚合物(A)、下述式(1)或式(2)所表示的萘醌二疊氮化物衍生物(B)、以及有機溶劑(C)，並且所述正型感光性組合物是使該組合物於350℃以上進行熱硬化而獲得的硬化膜的於波長400nm下的每1μm膜厚的透光率為95%以上，式中，R1及R2分別獨立地表示芳基。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的正型感光性組合物，其中該式(1)的R1或式(2)的R2為選自下述式(3)~式(6)所表示的一價基的組群中的1種，R3、R4、R5、R6、R7、R8及R9分別獨立地表示氫或者碳數1~5的烷基。
  3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的正型感光性組合物，其中該矽氧烷聚合物(A)是透過包含至少2種烷氧基矽烷化合物的原料的水解縮合而合成的具有鹼可溶性的聚合物；並且此處，烷氧基矽烷化合物的2種是選擇烷氧基的數量不同的2種化合物。
  4. 如申請專利範圍第3項所述的正型感光性組合物，其中該烷氧基矽烷化合物是選自由四甲氧基矽烷、四乙氧基矽烷、甲基三甲氧基矽烷、苯基三甲氧基矽烷、甲基三乙氧基矽烷、苯基三乙氧基矽烷、二甲基二甲氧基矽烷、二苯基二甲氧基矽烷、甲基苯基二甲氧基矽烷、二甲基二乙氧基矽烷、二苯基二乙氧基矽烷、甲基苯基二乙氧基矽烷、三甲基甲氧基矽烷、以及三甲基乙氧基矽烷所組成的組群中。
  5. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的正型感光性組合物，其中該矽氧烷聚合物(A)的重量平均分子量以聚苯乙烯換算為500~100,000。
  6. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的正型感光性組合物，其中該萘醌二疊氮化物衍生物(B)為選自下述式(7)~式(9)所表示的化合物的組群中的至少1種，
  7. 一種硬化膜，其是使用如申請專利範圍第1項至第5項中任一項所述的正型感光性組合物而形成。
  8. 一種顯示元件，其是使用如申請專利範圍第7項所述的硬化膜來製造。
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