TWI646394B - 感光性樹脂組成物、及應用其之彩色光阻結構和顯示器 - Google Patents
感光性樹脂組成物、及應用其之彩色光阻結構和顯示器 Download PDFInfo
- Publication number
- TWI646394B TWI646394B TW106111098A TW106111098A TWI646394B TW I646394 B TWI646394 B TW I646394B TW 106111098 A TW106111098 A TW 106111098A TW 106111098 A TW106111098 A TW 106111098A TW I646394 B TWI646394 B TW I646394B
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- group
- photosensitive resin
- resin composition
- monomer
- solvent
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/22—Absorbing filters
- G02B5/223—Absorbing filters containing organic substances, e.g. dyes, inks or pigments
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
Abstract
一種感光性樹脂組成物包括著色劑、樹脂、光聚合單體、光聚合引發劑、和溶劑。著色劑包括顏料、和氧雜蒽系染料。光聚合單體包括具有如化學式1所示的結構的單體:,其中n為1至3的整數,R1為氫、烷基、氫氧基、R2為氫或甲基,a+b等於3;或n為1至4的整數,R1為甲醛基、R2為氫或甲基,a+b等於3。
Description
本揭露是關於一種感光性樹脂組成物。本揭露也關於一種由所述感光性樹脂組成物所形成的彩色光阻結構。本揭露還關於一種包括所述彩色光阻結構的顯示器。
在顯示器中,普遍地使用彩色濾光片等濾色結構來控制各畫素的顏色。舉例來說,在較早期的液晶顯示器中,彩色濾光片被形成在相對於薄膜電晶體基板的基板上,其通常被稱為彩色濾光片基板。彩色濾光片可包括多種顏色的彩色光阻結構,例如是但不限於紅色、綠色、和藍色的光阻結構。這些光阻結構可以使用樹脂組成物,特別是感光性樹脂組成物來形成。一般來說,可以配合周圍接觸感光性樹脂組成物的元件、結構,來調整和最佳化感光性樹脂組成物的成分。
根據一些實施方案,在此提供一種感光性樹脂組成物,其可減輕甚至完全避免多餘的感光性樹脂組成物未被顯影液除去而
殘留的情況。此種感光性樹脂組成物包括著色劑、樹脂、光聚合單體、光聚合引發劑、和溶劑。著色劑包括顏料、和氧雜蒽系(xanthane)染料。光聚合單體包括具有如化學式1所示的結構的單體:
其中n為1至3的整數,R1為氫、烷基、氫氧基、R2為氫或甲基,a+b等於3;或n為1至4的整數,R1為甲醛基、R2為氫或甲基,a+b等於3。
根據一些實施方案,在此提供一種彩色光阻結構。此種彩色光阻結構由例如是前述的感光性樹脂組成物所形成。
根據一些實施方案,在此提供一種顯示器。此種顯示器包括例如是前述的彩色光阻結構。
為了對本發明的上述及其他方面有更佳的瞭解,下文特舉較佳實施例,並配合所附圖式,作詳細說明如下:
本揭露的一個方面是關於一種感光性樹脂組成物。此種感光性樹脂組成物包括著色劑(A)、樹脂(B)、光聚合單體(C)、光聚合引發劑(D)、和溶劑(E)。著色劑(A)包括顏料(A-1)、和氧雜蒽系染料(A-2)。光聚合單體(C)包括具有如化學式1所示的結構的單體(C-1):
針對化學式1,其中n為1至3的整數,R1為氫、烷基、氫氧基、R2為氫或甲基,a+b等於3;或n為1至4的整數,R1為甲醛基、R2為氫或甲基,a+b等於3。根據一些實施方案,構成R1的烷基可選自於由下列選項所組成的群組:甲基、和乙基。
在一些實施方案中,光聚合單體(C),除了具有如化學式1所示的結構的單體(C-1)外,還可包括其他類型的單體。在另一些實施方案中,光聚合單體(C)只包括具有如化學式1所示的結構的單體(C-1),亦即不使用其他類型的光聚合單體。在一些實施方案中,較佳地只使用具有如化學式1所示的結構的單體(C-1)
作為光聚合單體(C)。
在此,除非有特別說明,所述著色劑(A)、顏料(A-1)、氧雜蒽系染料(A-2)、樹脂(B)、光聚合單體(C)、單體(C-1)、光聚合引發劑(D)、和溶劑(E)等成分用詞,獨立地可包括單一種或多種著色劑(A)、顏料(A-1)、氧雜蒽系染料(A-2)、樹脂(B)、光聚合單體(C)、單體(C-1)、光聚合引發劑(D)、和溶劑(E)等該成分的情況。
根據本揭露的實施方案的感光性樹脂組成物,是利用調整光聚合單體(C)的組成,來達成避免多餘的感光性樹脂組成物殘留的效果。舉例來說,在彩色濾光片的製程當中,典型地是先形成黑色矩陣,再依序形成各種顏色的光阻結構。以具有紅色、綠色、和藍色的光阻結構的彩色濾光片為例,在形成黑色矩陣後,可依序地形成紅色的光阻結構、綠色的光阻結構、和藍色的光阻結構之任一種。彩色光阻結構的具體製造方式將在後文進行詳細的說明。以使用光微影法為例,可將感光性樹脂組成物塗佈至具有黑色矩陣的基板上,藉由曝光定義出圖形,再以顯影移除掉多餘的部分,藉此形成彩色光阻結構。如果感光性樹脂組成物和黑色矩陣間的親和力太強,會使得例如是未被曝光反應的區域不容易被顯影液中和、去除,導致感光性樹脂組成物在黑色矩陣上有不希望發生的殘留。藉由使用根據本揭露的實施方案、具有特殊光聚合單體(C)的感光性樹脂組成物,可避免此種情況發生。
以下對於根據本揭露的實施方案的感光性樹脂組成物的其他成分做進一步地說明。根據一些實施方案,著色劑(A)
的顏料(A-1)可包括但不受限於選自於由下列選項所組成的群組的至少一者:C.I.顏料紅R9、R97、R105、R122、R123、R144、R149、R166、R168、R175、R176、R177、R180、R192、R209、R215、R216、R224、R242、R254、R255、R264、R265;C.I.顏料黃Y3、Y12、Y13、Y14、Y15、Y16、Y17、Y20、Y24、Y31、Y53、Y83、Y86、Y93、Y94、Y109、Y110、Y117、Y125、Y128、Y137、Y138、Y139、Y147、Y148、Y150、Y153、Y154、Y166、Y173、Y194、Y214;C.I.顏料藍B15、B15:3、B15:4、B15:6、B60、B80。在一實施例中,著色劑(A)的顏料(A-1)較佳選自C.I.顏料紅R242、R254、R177;或C.I.顏料黃Y138、Y139、Y150;或C.I.顏料藍B15:6。
在一些實施方案中,前述的光聚合單體(C)可配合具有氧雜蒽系染料(A-2)的著色劑(A)來使用。根據一些實施方案,氧雜蒽系染料(A-2)可包括但不受限於具有如化學式2所示的結構的染料(A-21):
化學式2中,R11、R12、R13、R14分別獨立地為氫原子、碳數1
至10的一價飽和烴基、能夠具有取代基的苯基、或以化學式3所示的基,且R11、R12、R13、和R14中的至少一者為以化學式3所示的基:[化學式3]-R20-Si(R19)3,其中三個R19分別獨立地為氫原子、羥基、碳數1至4的烷基、或碳數1至4的烷氧基,R20為碳數1至10的烷二基,構成R20的烷二基的-CH2-能夠被-O-、-CO-、-NR21-、-OCO-、-COO-、-OCONH-、-CONH-、或-NHCO-取代。前述的一價飽和烴基(可作為R11、R12、R13、R14者)的氫原子能夠被鹵原子取代且-CH2-能夠被-O-、-CO-、-NR21-、-OCO-、-COO-、-OCONH-、-CONH-、或-NHCO-取代。化學式2中,R15和R16分別獨立地為氫原子、或碳數1至6的烷基。化學式2中,R17和R18分別獨立地為-OH、-SO3 -、-SO3H、-SO3 -Z+、-CO2 -、-CO2H、-CO2 -Z+、-CO2R24、-SO3R25、或-SO2NR22R23,其中R24和R25分別獨立地為碳數1至20的一價飽和烴基,所述碳數1至20的一價飽和烴基的氫原子能夠被鹵原子取代,Z+為+N(R26)4、Na+、或K+,四個R26分別獨立地為氫原子、或碳數1至20的一價飽和烴基。前述的R21、R22、和R23分別獨立地為氫原子、或碳數1至20的一價飽和烴基。化學式2中,q為0至4的整數。
在一些實施方案中,除了前述的顏料(A-1)和氧雜蒽系染料(A-2)外,著色劑(A)還包括其他能夠用於形成彩色光阻結構的顏料或染料,但不受限於此。
根據一些實施方案,樹脂(B)可為非感光性樹脂。舉例來說,樹脂(B)可為熱塑性樹脂,包括但不受限於選自於由下列選項所組成的群組的至少一者:丁縮醛樹脂、苯乙烯-順丁烯二酸共聚物、氯化聚乙烯、氯化聚丙烯、聚氯乙烯、氯乙烯-乙酸乙烯酯共聚物、聚乙酸乙烯酯、聚胺基甲酸酯系樹脂、聚酯樹脂、丙烯酸系樹脂、醇酸(alkyd)樹脂、苯乙烯樹脂、聚醯胺樹脂、橡膠系樹脂、環化橡膠系樹脂、纖維素類、聚丁二烯、和聚醯亞胺樹脂。或者,樹脂(B)可為熱固性樹脂,包括但不受限於選自於由下列選項所組成的群組的至少一者:環氧樹脂、苯并鳥糞胺樹脂、松香改性順丁烯二酸樹脂、松香改性反丁烯二酸樹脂、酚樹脂、三聚氰胺樹脂、和脲樹脂。在一些實施方案中,可使用具有鹼可溶性的樹脂(B),以利於配合顯影液(多為鹼性)的使用而提高顯影效能,此類樹脂(B)包括但不受限於選自於由下列選項所組成的群組的至少一者:具有酸性官能基之丙烯酸樹脂、α-烯烴-順丁烯二酸酐共聚物、苯乙烯-順丁烯二酸酐共聚物、苯乙烯-苯乙烯磺酸共聚物、乙烯-甲基丙烯酸共聚物、和異伸丁基-順丁烯二酸酐共聚物。根據一些實施方案,樹脂(B)可為感光性樹脂,例如但不限於是藉由反應性官能基或可反應的取代基來導入乙烯不飽和雙鍵的甲基丙烯酸化合物、肉桂酸等等,其中所述反應性官能基或可反應的取代基例如是異氰酸酯基、醛基、環氧基等等。
根據一些實施方案,光聚合引發劑(D)可包括但不受限於選自於由下列選項所組成的群組的至少一者:肟酯系化合物、乙醯苯系化合物、安息香系化合物、二苯酮系化合物、噻吨酮(thioxanthone)系化合物、三嗪系化合物、膦系化合物、醌系化
合物、硼酸酯系化合物、咔唑系化合物、咪唑系化合物、和二茂鈦(titanocene)系化合物。
根據一些實施方案,溶劑(E)可包括但不受限於選自於由下列選項所組成的群組中的至少一者:酯溶劑(在此意指於分子中含有-COO-但不含-O-的溶劑)、醚溶劑(在此意指於分子中含有-O-但不含-COO-的溶劑)、醚酯溶劑(在此意指於分子中含有-COO-及-O-的溶劑)、酮溶劑(在此意指於分子中含有-CO-但不含-COO-的溶劑)、醇溶劑(在此意指於分子中含有OH但不含-O-、-CO-及-COO-的溶劑)、芳香族烴溶劑、醯胺溶劑、和二甲基亞碸。
根據一些實施方案,在感光性樹脂組成物中,著色劑(A)佔15wt%~70wt%,樹脂(B)佔0.1wt%~20wt%,光聚合單體(C)佔0.1wt%~40wt%,光聚合引發劑(D)佔0.1wt%~10wt%,溶劑(E)佔29.7wt%~80wt%。具體來說,著色劑(A)可佔15wt%~70wt%,較佳地是佔20wt%~65wt%,更佳地是佔33wt%~60wt%。樹脂(B)可佔0.1wt%~20wt%,較佳地是佔0.5wt%~18wt%,更佳地是佔1wt%~10wt%。光聚合單體(C)可佔0.1wt%~40wt%,較佳地是佔5wt%~30wt%,更佳地是佔2wt%~20wt%。光聚合引發劑(D)可佔0.1wt%~10wt%,較佳地是佔0.3wt%~8wt%,更佳地是佔0.5wt%~5wt%。溶劑(E)可佔29.7wt%~80wt%,較佳地是佔35wt%~70wt%,更佳地是佔40wt%~50wt%。
根據一些實施方案,感光性樹脂組成物還可包括調平劑、聚合起始助劑、填充劑、密著促進劑、抗氧化劑、光安定劑、鏈移動劑等其他添加劑,但不受限於此。
本揭露的另一方面是關於一種彩色光阻結構,其可由根據前述任一實施方案的感光性樹脂組成物所形成。舉例來說,根據前述任一實施方案的感光性樹脂組成物可藉由光微影法、噴墨法、或印刷法等方法形成所述彩色光阻結構,但不受限於此。
在此敘述使用光微影法的例子。首先,將根據前述任一實施方案的感光性樹脂組成物塗佈在基板上。根據一些實施方案,所述基板可為玻璃、金屬、或塑膠等材質的板狀或薄膜狀基板,並且可預先在其上形成其他光阻結構、各種絕緣或導電膜、和/或驅動電路等元件。根據一些實施方案,感光性樹脂組成物可藉由旋轉塗佈機、狹縫旋轉塗佈機、狹縫塗佈機(也稱為壓鑄模塗佈機(die coater)、簾淋塗佈機(curtain flow coater)、或非旋轉式塗佈機(spinless coater))、或噴墨機等塗佈裝置加以塗佈。
接著,感光性樹脂組成物在基板上乾燥。具體來說,此一步驟可以是自然乾燥、通風乾燥、減壓乾燥、加熱乾燥(也稱為預烘烤)等乾燥方式中的任一種、或者多種方式配合進行。乾燥的溫度可落在10℃~120℃的範圍內,較佳地是落在25℃~100℃的範圍內。如果進行加熱,加熱的時間可落在10秒~60分鐘的範圍內,較佳地是落在30秒~30分鐘的範圍內。如果進行減壓乾燥,可採用50帕(Pa)~150帕的壓力,以及20℃~25℃的溫度範圍。在一些實施方案中,乾燥後的感光性樹脂組成物具有0.1微米(μm)~20微米、較佳地是1微米~6微米的膜厚,並可依照所使用的材料和用途加以調整。
之後,再以曝光和顯影得到圖形,其可作為所述彩
色光阻結構。在一些實施方案中,在使用光罩進行曝光後,是藉由顯影移除未曝光的部分而得到圖形。在另一些實施方案中,在使用光罩進行曝光後,是藉由顯影移除曝光的部分而得到圖形。
在曝光的步驟中,可使用水銀燈、發光二極體、金屬鹵素燈、鹵素燈等光源,並利用例如是波長落在250奈米~450奈米的範圍內的光。在一些實施方案中,以濾波器剪切除去波長小於350奈米的光。在一些實施方案中,以帶通濾波器選擇性地取出波長在436奈米附近、408奈米附近、或365奈米附近的光。在一些實施方案中,可使用光罩對準曝光機、步進器等裝置,以均勻地對整個曝光面照射平行光線,和/或精確地對準遮罩和基材。光罩的圖案可依照需求加以設計。
在顯影的步驟中,可使用有機溶劑、鹼性化合物的水溶液等顯影液,使得預定的部分(例如未曝光的部分)溶解、移除,藉此得到圖形。在一些實施方案中,使用鹼性化合物的水溶液作為顯像液特別有助於得到形狀良好的圖形。根據一些實施方案,顯影液可為無機鹼性化合物的水溶液、或有機鹼性化合物的水溶液,其濃度例如是落在0.01質量%~10質量%的範圍內,較佳地是落在0.03質量%~5質量%的範圍內。所述無機鹼性化合物的水溶液包括但不受限於選自於由下列選項所組成的群組中的至少一者的水溶液:氫氧化鈉、氫氧化鉀、燐酸氫二鈉、燐酸二氫鈉、燐酸氫二銨、燐酸二氫銨、燐酸二氫鉀、矽酸鈉、矽酸鉀、碳酸鈉、碳酸鉀、碳酸氫鈉、碳酸氫鉀、硼酸鈉、硼酸鉀、和氨。所述有機鹼性化合物的水溶液包括但不受限於選自於由下列選項所組成的群組中的至少一者的水溶液:四甲基銨氫氧化物、2-
羥基乙基三甲基銨氫氧化物、單甲基胺、二甲基胺、三甲基胺、單乙基胺、二乙基胺、三乙基胺、單異丙基胺、二異丙基胺、乙醇胺。在一些實施方案中,顯影液較佳地為氫氧化鉀、碳酸氫鈉、和/或四甲基銨氫氧化物的水溶液。在一些實施方案中,所述鹼性化合物的水溶液還可包括界面活性劑,其濃度例如是落在0.01質量%~10質量%的範圍內,較佳地是落在0.05質量%~8質量%的範圍內,更佳地是落在0.1質量%~5質量%。所述界面活性劑包括但不受限於選自於由下列選項所組成的群組中的至少一者:聚氧乙烯烷基醚、聚氧乙烯芳基醚、聚氧乙烯烷基芳基醚、其他聚氧乙烯衍生物、氧乙烯/氧基丙烯嵌段共聚物、山梨醇酐脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨醇酐脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨糖醇脂肪酸酯、丙三醇脂肪酸酯、聚氧乙烯脂肪酸酯、聚氧乙烯烷基胺等非離子系界面活性劑;月桂基醇硫酸酯鈉、油醇硫酸酯鈉、月桂基硫酸鈉、月桂基硫酸銨、十二基苯磺酸鈉、十二基萘磺酸鈉等陰離子系界面活性劑;以及硬脂醯基胺鹽酸鹽、月桂基三甲基銨氯化物等陽離子系界面活性劑。顯影液可藉由槳式攪拌法、浸漬法、噴霧法等方法提供到基材上。並且,在一些實施方案中,顯影時可將基材傾斜任意角度。根據一些實施方案,在顯影後可進行水洗的步驟。
本揭露的再一方面是關於一種顯示器,其可包括前述的彩色光阻結構。舉例來說,所述顯示器可包括由前述彩色光阻結構所構成的彩色濾光片,但不受限於此。根據一些實施方案,所述顯示器可為液晶顯示器、電致發光顯示器、或電漿顯示器等顯示器。
以下,本揭露將提供數個實施例和比較例,以更具體地說明根據本揭露實施方案的感光性樹脂組成物可達成的功效。
[實施例1]
光聚合單體使用具有如化學式1所示的結構,其中R1為乙基,R2為氫,a+b等於3,n為1,在此以單體A代稱。著色劑使用顏料R254、和具有如化學式2所示的結構的氧雜蒽系染料。樹脂使用二新戊四醇六丙烯酸酯(KAYARAD DPHA;日本化藥股份有限公司製)。光聚合引發劑使用BASF公司的Irgacure® OXE-01光聚合引發劑。溶劑使用丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)。以著色劑佔50wt%、樹脂佔1wt%、光聚合單體佔5wt%、光聚合引發劑佔3wt%、溶劑佔41wt%的比例配製成感光性樹脂組成物。將配製完成的感光性樹脂組成物以旋塗法塗佈於5公分*5公分的玻璃基板(Eagle2000,Corning公司)上。於100℃預烘烤3分鐘。放置冷卻後,進行光照射。在光照射後,在含有非離子系界面活性劑0.12%與氫氧化鉀0.04%的水系顯影液中於24℃浸漬顯影60秒,然後水洗,移除未曝光的部分。使用肉眼觀察在所形成的樣品中,彩色光阻結構是否有殘留情形。評價方式是將基板在長度方向劃分為6等分、在寬度方向劃分為4等分,一共24個區域,其中位在邊緣的有16個區域,稱為周邊區,位在中央(亦即未接觸邊緣)的有8個區域,稱為中央區。分別觀察殘留發生在周邊區和中央區的面積比例。
[實施例2]
光聚合單體使用具有如化學式1所示的結構,其中R1為氫氧基,R2為甲基,a+b等於3,n為1,在此以單體B代稱。其他條件如實施例1。依照實施例1所述的方法製成樣品並進行觀察。
[實施例3]
光聚合單體使用具有如化學式1所示的結構,其中R2為氫,a+b等於4,n為1,在此以單體C代稱。其他條件如實施例1。依照實施例1所述的方法製成樣品並進行觀察。
[實施例4]
光聚合單體使用具有如化學式1所示的結構,其中R2為氫,a+b等於4,n為4,在此以單體D代稱。其他條件如實施例1。依照實施例1所述的方法製成樣品並進行觀察。
[實施例5]
光聚合單體使用50%的單體A,以及50%的具有類似於化學式1所示的結構,但其中R1為HOCH2-,a+b等於3,n為0,在此以單體E代稱。其他條件如實施例1。依照實施例1所述的方法製成樣品並進行觀察。
[實施例6]
光聚合單體使用50%的單體A,以及50%的具有類似於化學式1所示的結構,但其中R2為氫,a+b等於4,n為0,在此以單體G代稱。其他條件如實施例1。依照實施例1所述的方法製成樣品並進行觀察。
[比較例1]
光聚合單體使用單體E。其他條件如實施例1。依照實施例1所述的方法製成樣品並進行觀察。
[比較例2]
光聚合單體使用具有類似於化學式1所示的結構,但其中R1為乙基,a+b等於3,n為0,在此以單體F代稱。其他條件如實施例1。依照實施例1所述的方法製成樣品並進行觀察。
[比較例3]
光聚合單體使用新中村化學的A-TMMT光聚合單體,在此以單體G代稱。其他條件如實施例1。依照實施例1所述的方法製成樣品並進行觀察。
[比較例4]
光聚合單體使用單體A。著色劑使用顏料R254,未使用染料。其他條件如實施例1。依照實施例1所述的方法製成樣品並進行觀察。
[比較例5]
光聚合單體使用單體D。著色劑使用顏料R254,未使用染料。其他條件如實施例1。依照實施例1所述的方法製成樣品並進行觀察。
[實施例7]
光聚合單體使用單體A。著色劑使用顏料B15:6、和氧雜蒽系染料,如化學式2。其他條件如實施例1。依照實施例1所述的方法製成樣品並進行觀察。
[實施例8]
光聚合單體使用單體C。著色劑使用顏料B15:6、和氧雜蒽系染料,如化學式2。其他條件如實施例1。依照實施例1所述的方法製成樣品並進行觀察。
[實施例9]
光聚合單體使用50%的單體A,以及50%的單體E。著色劑使用顏料B15:6、和氧雜蒽系染料,如化學式2。其他條件如實施例1。依照實施例1所述的方法製成樣品並進行觀察。
[實施例10]
光聚合單體使用50%的單體C,以及50%的單體G。著色劑使用顏料B15:6、和氧雜蒽系染料,如化學式2。其他條件如實施例1。依照實施例1所述的方法製成樣品並進行觀察。
[比較例6]
光聚合單體使用單體E。著色劑使用顏料B15:6、和氧雜蒽系染料,如化學式2。其他條件如實施例1。依照實施例1所述的方法製成樣品並進行觀察。
[比較例7]
光聚合單體使用單體G。著色劑使用顏料B15:6、和氧雜蒽系染料,如化學式2。其他條件如實施例1。依照實施例1所述的方法製成樣品並進行觀察。
[比較例8]
光聚合單體使用單體A。著色劑使用顏料B15:6,未使用染料。其他條件如實施例1。依照實施例1所述的方法製成樣品並進行觀察。
[比較例9]
光聚合單體使用單體C。著色劑使用顏料B15:6,未使用染料。其他條件如實施例1。依照實施例1所述的方法製成樣品並進行觀察。
[結果和評價]
各實施例和比較例的成分和殘留情形觀察結果如表1和表2所列。「◎」表示在基板上,中央區和周邊區都沒有殘留,此為優異的情況。「△」表示在基板上,中央區沒有殘留,周邊區的殘留面積比例為5%~40%,此仍可接受。「×」表示在基板上,中央區的殘留面積比例大於5%,周邊區的殘留面積比例為40%~100%,此為不適用的情況。根據表1和表2,由實施例的感光性樹脂組成物所形成的彩色光阻結構的樣品,殘留情形皆屬可接受的範圍。特別是,在只使用具有如化學式1所示的結構並滿足a+b等於3、或4,n為1至4的整數的條件的單體(在此也以符合要求的單體代稱)作為光聚合單體,亦即實施例1~4、7~8的情況,可得到特別優異的無殘留結果。
綜上所述,雖然本發明已以較佳實施方案揭露如上,然其並非用以限定本發明。本發明所屬技術領域中具有通常知識者,在不脫離本發明之精神和範圍內,當可作各種之更動與潤飾。因此,本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
Claims (9)
- 一種感光性樹脂組成物,包括:著色劑,包括:顏料;及氧雜蒽系染料;樹脂;光聚合單體,包括具有如化學式1所示的結構的單體:,其中n為1至3的整數,R1為氫、烷基或氫氧基、R2為氫或甲基,a+b等於3,a不為0;或n為1至4的整數,R1為甲醛基、R2為氫或甲基,a+b等於3,a不為0;光聚合引發劑;以及溶劑;其中所述著色劑佔15wt%~70wt%,所述樹脂佔0.1wt%~20wt%,所述光聚合單體佔0.1wt%~40wt%,所述光聚合引發劑佔0.1wt%~10wt%,所述溶劑佔29.7wt%~80wt%。
- 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物,其中構成R1的所述烷基選自於由下列選項所組成的群組:甲基、和乙基。
- 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物,其中所述光聚合單體只包括所述具有如化學式1所示的結構的單體。
- 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物,其中所述顏料包括選自於由下列選項所組成的群組的至少一者:C.I.顏料紅R9、R97、R105、R122、R123、R144、R149、R166、R168、R175、R176、R177、R180、R192、R209、R215、R216、R224、R242、R254、R255、R264、R265;及/或C.I.顏料黃Y3、Y12、Y13、Y14、Y15、Y16、Y17、Y20、Y24、Y31、Y53、Y83、Y86、Y93、Y94、Y109、Y110、Y117、Y125、Y128、Y137、Y138、Y139、Y147、Y148、Y150、Y153、Y154、Y166、Y173、Y194、Y214;及/或C.I.顏料藍B15、B15:3、B15:4、B15:6、B60、B80。
- 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物,其中所述氧雜蒽系染料包括具有如化學式2所示的結構的染料:[化學式2]其中R11、R12、R13、R14分別獨立地為氫原子、碳數1至10的一價飽和烴基、能夠具有取代基的苯基、或以化學式3所示的基,且R11、R12、R13、和R14中的至少一者為以化學式3所示的基:[化學式3]-R20-Si(R19)3,其中三個R19分別獨立地為氫原子、羥基、碳數1至4的烷基、或碳數1至4的烷氧基,R20為碳數1至10的烷二基,構成R20的所述烷二基的-CH2-能夠被-O-、-CO-、-NR21-、-OCO-、-COO-、-OCONH-、-CONH-、或-NHCO-取代,其中所述碳數1至10的一價飽和烴基的氫原子能夠被鹵原子取代且-CH2-能夠被-O-、-CO-、-NR21-、-OCO-、-COO-、-OCONH-、-CONH-、或-NHCO-取代,其中R15和R16分別獨立地為氫原子、或碳數1至6的烷基,其中R17和R18分別獨立地為-OH、-SO3 -、-SO3H、-SO3 -Z+、-CO2 -、-CO2H、-CO2 -Z+、-CO2R24、-SO3R25、或-SO2NR22R23,其中R24和R25分別獨立地為碳數1至20的一價飽和烴基,所述碳數1至20的一價飽和烴基的氫原子能夠被鹵原子取代,Z+為+N(R26)4、Na+、或K+,四個R26分別獨立地為氫原子、或碳數1至20的一價飽和烴基,其中R21、R22、和R23分別獨立地為氫原子、或碳數1至20的一價飽和烴基,其中q為0至4的整數。
- 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物,其中所述著色劑佔20wt%~65wt%;且/或所述樹脂佔0.5wt%~18wt%;且/或所述光聚合單體佔5wt%~30wt%;且/或所述光聚合引發劑佔0.3wt%~8wt%。
- 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物,其中所述樹脂包括選自於由下列選項所組成的群組的至少一者:熱塑性樹脂、熱固性樹脂、具有鹼可溶性的樹脂、感光性樹脂;且/或所述光聚合引發劑包括選自於由下列選項所組成的群組的至少一者:肟酯系化合物、乙醯苯系化合物、安息香系化合物、二苯酮系化合物、噻吨酮系化合物、三嗪系化合物、膦系化合物、醌系化合物、硼酸酯系化合物、咔唑系化合物、咪唑系化合物、和二茂鈦系化合物;且/或所述溶劑包括選自於由下列選項所組成的群組的至少一者:酯溶劑、醚溶劑、醚酯溶劑、酮溶劑、醇溶劑、芳香族烴溶劑、醯胺溶劑、和二甲基亞碸。
- 一種彩色光阻結構,由如申請專利範圍第1~7項中任一項所述之感光性樹脂組成物所形成。
- 一種顯示器,包括如申請專利範圍第8項所述之彩色光阻結構。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW106111098A TWI646394B (zh) | 2017-03-31 | 2017-03-31 | 感光性樹脂組成物、及應用其之彩色光阻結構和顯示器 |
CN201710260864.0A CN106918998B (zh) | 2017-03-31 | 2017-04-20 | 感旋光性树脂组成物、及应用其的彩色光刻胶结构和显示器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW106111098A TWI646394B (zh) | 2017-03-31 | 2017-03-31 | 感光性樹脂組成物、及應用其之彩色光阻結構和顯示器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW201837602A TW201837602A (zh) | 2018-10-16 |
TWI646394B true TWI646394B (zh) | 2019-01-01 |
Family
ID=59568177
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW106111098A TWI646394B (zh) | 2017-03-31 | 2017-03-31 | 感光性樹脂組成物、及應用其之彩色光阻結構和顯示器 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN106918998B (zh) |
TW (1) | TWI646394B (zh) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111638629B (zh) * | 2019-07-10 | 2023-11-10 | 住华科技股份有限公司 | 着色树脂组成物、由该着色树脂组成物所形成的滤光片、以及包含该滤光片的显示设备 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW200839439A (en) * | 2006-12-28 | 2008-10-01 | Sumitomo Chemical Co | Coloring photosensitive resin composition |
WO2011037195A1 (ja) * | 2009-09-25 | 2011-03-31 | 東洋インキ製造株式会社 | 着色組成物及びカラーフィルタ |
TW201308009A (zh) * | 2011-08-02 | 2013-02-16 | Nippon Kayaku Kk | 著色樹脂組成物 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101995086B1 (ko) * | 2013-11-27 | 2019-07-02 | 동우 화인켐 주식회사 | 착색 경화성 수지 조성물 |
TWI506368B (zh) * | 2013-12-05 | 2015-11-01 | Chi Mei Corp | 感光性樹脂組成物、彩色濾光片及其製造方法、液晶顯示裝置 |
KR20150109999A (ko) * | 2014-03-21 | 2015-10-02 | 동우 화인켐 주식회사 | 착색 감광성 수지 조성물 및 이를 포함하는 컬러필터 |
-
2017
- 2017-03-31 TW TW106111098A patent/TWI646394B/zh active
- 2017-04-20 CN CN201710260864.0A patent/CN106918998B/zh active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW200839439A (en) * | 2006-12-28 | 2008-10-01 | Sumitomo Chemical Co | Coloring photosensitive resin composition |
WO2011037195A1 (ja) * | 2009-09-25 | 2011-03-31 | 東洋インキ製造株式会社 | 着色組成物及びカラーフィルタ |
TW201308009A (zh) * | 2011-08-02 | 2013-02-16 | Nippon Kayaku Kk | 著色樹脂組成物 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN106918998A (zh) | 2017-07-04 |
CN106918998B (zh) | 2020-07-14 |
TW201837602A (zh) | 2018-10-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4988457B2 (ja) | フォトレジスト組成物及びこれを利用したカラーフィルタ基板の製造方法 | |
TWI566046B (zh) | 感光性樹脂組成物、圖案構造物、顯示裝置及間隔壁 | |
TWI771907B (zh) | 感光性矽氧烷組成物及硬化膜的形成方法 | |
JP2010231223A (ja) | 感光性組成物除去液 | |
CN101000468B (zh) | 薄膜晶体管液晶显示器用彩色抗蚀剂剥离液组合物 | |
US7510815B2 (en) | Removing solution for photosensitive composition | |
JP2023038276A (ja) | 黒色着色剤を含んでなるネガ型感光性組成物 | |
TWI646394B (zh) | 感光性樹脂組成物、及應用其之彩色光阻結構和顯示器 | |
TWI614576B (zh) | 感光性樹脂組成物、及應用其之彩色光阻結構和顯示器 | |
TWI470349B (zh) | 感光性組成物、由此組成物所獲得的硬化膜以及具有此硬化膜的顯示元件 | |
WO2007148689A1 (ja) | 隔壁パターン付き基板およびその製造方法 | |
JP4727567B2 (ja) | 反射防止膜形成用組成物およびそれを用いたパターン形成方法 | |
TW200819913A (en) | Colored photosensitive resin composition | |
JP2015145927A (ja) | 表示素子の硬化膜の製造方法、感放射線性樹脂組成物、表示素子の硬化膜、表示素子及び加熱装置 | |
TWI451194B (zh) | 感放射線性樹脂組成物、層間絕緣膜與微透鏡及其製法 | |
TWI705302B (zh) | 著色感光性樹脂組合物 | |
TW201931009A (zh) | 感光性樹脂組成物、及應用其之彩色光阻結構和顯示器 | |
CN112764315A (zh) | 适用于无前烘工艺的感光性组合物及其制备方法 | |
JP7170543B2 (ja) | ブラックマトリックス用組成物、およびそれを用いたブラックマトリックスの製造方法 | |
KR20190093915A (ko) | 착색 감광성 수지 조성물, 이를 사용하여 제조된 컬러필터, 및 상기 컬러필터를 포함하는 표시장치 | |
TWI424269B (zh) | 親水性單體、含其之親水性光阻劑組成物、及光阻圖形之形成方法 | |
JP6370247B2 (ja) | 高色再現が可能な着色光硬化性樹脂組成物、カラーフィルタおよびこれを備えた液晶表示装置 | |
JP2011032299A (ja) | 着色硬化性樹脂組成物 | |
JP2006010910A (ja) | 着色感光性組成物 | |
CN109283791A (zh) | 负型着色感光性树脂组合物、滤光片、液晶显示装置 |