TWI642100B - Purification device and purification method - Google Patents

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Abstract

本發明的淨化用裝置(30)，具備：供應流量調整部(35,41)，調整供應管(31)中，供應裝載容器之淨化用氣體的供應流量，及吸氣流量調整部(37,42)，調整排氣管(33)中，從裝載容器的內部吸氣的淨化用氣體的吸氣流量以使得裝載容器的內部(54)的壓力相對於裝載容器的外部不成為負壓，供應流量調整部可以第1流量(f1)及比第1流量的流量大的第2流量(f2)的至少兩階段進行供應流量的調整，吸氣流量調整部在供應流量為第1流量的場合，吸氣流量為零。

Description

淨化用裝置及淨化用方法
本發明是關於藉惰性氣體或潔淨乾燥空氣等的淨化用氣體淨化處理裝載有被裝載物的裝載容器的內部的淨化用裝置及淨化用方法。
例如，在裝載有半導體晶圓或玻璃基板等被裝載物的裝載容器的內部藉注入淨化用氣體來維持清淨度(所謂進行淨化處理)的淨化用裝置已為人知。藉以上淨化用裝置進行的淨化處理是例如在大量使用淨化用氣體的淨化用貯藏庫等之中，在密閉區域之中進行。並且，為了抑制朝以上的密閉區域的內部，乃至於從該密閉區域朝著密閉區域的外部，而必須採取某對策之濃度淨化用氣體的排出，例如專利文獻1所示，在裝載容器的淨化用氣體的排出口連接排氣管，透過排氣管進行淨化用氣體的回收。以上構成的淨化用裝置中，由於不具有將淨化用氣體排出至排氣管的足夠的壓力，因此與既有的吸氣手段等連接，強制進行淨化用氣體的吸氣而回收的構成。
[先前專利文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2007-5604號公報
但是，上述的構成中，例如與供應至裝載容器之淨化用氣體的量比較從裝載容器所吸氣的淨化用氣體的量變多時，裝載容器內部的壓力相對於裝載容器外部有成為負壓之虞。此時，例如，會有從裝載容器的淨化用氣體的供應口或主體部與蓋部之間等吸入髒空氣及/或塵埃等場合，並非理想的狀態。
為此，本發明的目的提供一種淨化用裝置及淨化用方法，即使任意設定變更淨化用氣體對裝載容器的供應流量的場合，仍可抑制淨化用氣體漏出至配置有淨化用裝置之密閉區域的量，並可防止裝載容器的內部吸入髒空氣及/或塵埃。
本發明之一方面有關的淨化用裝置，係藉淨化用氣體淨化處理裝載有被裝載物之裝載容器內部的淨化用裝置，具備：供應管，藉著與裝載容器的連接朝裝載容器供應上述淨化用氣體；供應流量調整部，調整供應管 中，供應裝載容器之淨化用氣體的供應流量；排出管，連接於裝載容器藉此排出裝載容器內部的淨化用氣體；及吸氣流量調整部，調整排出管中，從裝載容器的內部吸氣的淨化用氣體的吸氣流量以使得裝載容器內部的壓力相對於裝載容器的外部不成為負壓，供應流量調整部可以第1流量及比第1流量的流量大的第2流量的至少兩階段進行供應流量的調整，吸氣流量調整部是供應流量為第1流量的場合，設吸氣流量為零。
本發明之一方面有關的淨化用方法，係藉淨 化用氣體淨化處理裝載有被裝載物之裝載容器內部時的淨化用方法，包含：供應流量調整步驟，調整供應至裝載容器之淨化用氣體的供應流量，及吸氣流量調整步驟，調整從裝載容器的內部吸氣的淨化用氣體的吸氣流量以使得裝載容器內部的壓力相對於裝載容器的外部不成為負壓，供應流量調整步驟可以第1流量及比第1流量的流量大的第2流量的至少兩階段進行供應流量的調整，吸氣流量調整步驟中，供應流量為第1流量的場合，調整使吸氣流量成為零。
根據上述構成的淨化用裝置及上述的淨化用 方法，從排出管進行裝載容器內部之淨化用氣體的吸氣，因此可抑制裝載容器中從連接著排出管的排出口以外的部份所漏出之淨化用氣體的量。又，根據此構成的淨化用裝置，調整吸氣流量使裝載容器內部的壓力相對於裝載容器的外部不成為負壓。藉此，消除髒空氣或塵埃從裝載容器 的外部被吸入至裝載容器的內部。其結果，抑制漏出至配置有淨化用裝置的密閉區域之淨化用氣體的量，並可防止髒空氣或塵埃被吸入至裝載容器的內部。
另外，根據此構成的淨化用裝置，可任意地 設定變更供應至裝載容器之淨化用氣體的供應流量，因此可以種種的類型對裝載容器供應淨化用氣體。並且，即使變更淨化用氣體的供應流量，供應流量在比較小的場合，使吸氣流量成為零。藉此，可使得裝載容器內部的壓力因錯誤也不致相對於裝載容器的外部成為負壓。
本案發明人在專心從事研究的結果，發現從 裝載容器的內部進行淨化用氣體吸氣的場合，無論是否實施淨化處理，即無論是否將淨化用氣體供應於裝載容器，對裝載容器之淨化用氣體的供應流量變得比預定流量小的場合，裝載容器內部的壓力相對於裝載容器的外部會成為負壓。
為此，一實施形態是在與供應管及排出管連 接時，對裝載容器供應淨化用氣體的流量變得比預定流量小時，致使裝載容器的內部相對於裝載容器的外部有成為負壓之虞的裝載容器中，可將第1流量及第2流量進行如以下的設定。亦即，可將第1流量設成上述預定流量以下的流量，將第2流量設成比上述預定流量大的流量。
根據此構成的淨化用裝置，即使在變更供應 至裝載容器之淨化用氣體的流量的場合，可變更排出管中從裝載容器的內部所吸氣之淨化用氣體的吸氣流量以使得 裝載容器內部的壓力相對於裝載容器的外部不成為負壓。
並且，一實施形態中，吸氣流量調整部具有 設置在排出管的閥與控制閥的開關的吸氣流量控制部，吸氣流量控制部在供應流量為第1流量的場合控制將閥關閉，供應流量為第2流量的場合控制使閥開啟。
根據此構成的淨化用裝置，可以比較簡易的 構成，變更從裝載容器的內部所吸氣之淨化用氣體的吸氣流量。
又，一實施形態中，也可進一步具備排出裝 置，將裝載容器中連接著排出管之排出口以外的部份漏出到裝載容器外部的淨化用氣體排出。
此構成的淨化用裝置中，在供應小流量的淨 化用氣體的場合，為防止裝載容器內部的壓力相對於外部的壓力成為負壓，例如關閉閥等在吸氣流量調整部控制吸氣流量。此時，會有淨化用氣體從裝載容器之排出口以外的部份漏出之虞。此一構成的淨化用裝置，由於排出裝置可以回收並排出從排出口以外的部份漏出的淨化用氣體，可抑制淨化用氣體從配置有淨化用裝置的區域漏出。
根據本發明，即使任意設定變更淨化用氣體對裝載容器的供應流量的場合，仍可抑制從配置有淨化用裝置的密閉區域漏出之淨化用氣體的量，並可防止髒空氣或塵埃被吸入到裝載容器的內部。
1‧‧‧淨化用貯藏庫
1A‧‧‧保管區域
3‧‧‧隔板
7‧‧‧載架
15‧‧‧排氣用風扇
15A‧‧‧排氣口
30‧‧‧淨化用裝置
31‧‧‧供應管
33‧‧‧排出管
35‧‧‧MFC(供應流量調整部)
37‧‧‧閥(吸氣流量調整部)
40‧‧‧控制部
41‧‧‧供應流量控制部(供應流量調整部)
42‧‧‧吸氣流量控制部(吸氣流量調整部)
50‧‧‧裝載容器
51‧‧‧主體部
52‧‧‧底面部
53‧‧‧蓋部
54‧‧‧裝載容器的內部
100‧‧‧清淨室
100A‧‧‧第1地板面
100B‧‧‧第2地板面
100C‧‧‧頂棚
F1‧‧‧預定流量
f1‧‧‧第1流量
f2‧‧‧第2流量
第1圖表示具備一實施形態相關之淨化用裝置的淨化用貯藏庫的前視圖。
第2圖示從II-II線顯示第1圖之淨化用貯藏庫的剖視圖。
第3(A)圖表示藉第1圖的淨化用裝置進行淨化處理之裝載容器的剖視圖，第3(B)圖表示藉第1圖的淨化用裝置進行淨化處理之裝載容器的透視圖。
第4圖表示第1圖之淨化用裝置的構成的概略構成圖。
第5圖表示以連接於排出管的狀態在裝載容器的內部進行淨化處理時的淨化用氣體的供應流量與裝載容器內部之壓力的關係的圖表。
以下，參閱圖示針對一實施形態說明。圖示的說明中，對同一元件賦予相同符號，並省略重複的說明。圖示的尺寸比例並非與說明的內容一致。
針對一實施形態相關的淨化用裝置30(參閱第4圖)說明。淨化用裝置30是藉淨化用氣體淨化處理裝載有半導體晶圓或玻璃基板等被裝載物的FOUP(Front Opening Unified Pod)等的裝載容器50(第3(A)圖及第3(B)圖)之內部54的裝置。淨化用裝置30是被配置在如第1 圖及第2圖表示的保管裝載有被裝載物之裝載容器50的淨化用貯藏庫1等。淨化用貯藏庫1是例如設置於清淨室100。
如第1圖及第2圖表示，清淨室100具有第1 地板面100A及第2地板面100B。第2地板面100B為作業人員移動用的地板面，也是將清淨室100隔成兩個區域的部份。介於第1地板面100A及第2地板面100B的區域通常是作業人員禁止進入的區域，配置有各種裝置、配管、配線，從後述的排氣口15A排出淨化用氣體的區域。 第2地板面100B可以網格板或聚束板等構成。
設置在如上述清淨室100的淨化用貯藏庫1 具備：隔板3、FFU(Fan Filter Unit)5、載架7、起重機9、排氣口15A、OHT(Overhead Hoist Transfer)埠21及手動埠23。
隔板3為淨化用貯藏庫1的蓋板，區隔(劃分) 第1地板面100A的上方區域的部份，在其內側形成有保管區域1A。FFU5是以隔板3所區隔空間的頂棚部份，即在保管區域1A的上方沿著預定方向設有複數個。FFU5是將空氣從保管區域1A的外部吸氣至保管區域1A內，將清淨空氣朝向保管區域1A的下方噴出。並且，在清淨室的頂棚通常配置有FFU，因此在淨化用貯藏庫的頂棚與清淨室的頂棚接近的場合，也可利用清淨室的FFU。排氣口15A是設置在保管區域1A的底部附近，將淨化用氣體排出至清淨室100的第1地板面100A與第2地板面100B 之間的區域的部份。淨化用氣體是以排氣用風扇15從保管區域1A排出。亦即，藉FFU5及排氣用風扇15構成一個排氣系統(排出裝置)(以下，此排氣系統也稱為「第1排氣系統」)。
載架7為保管裝載容器50的部份，在保管區 域1A內通常設有1~2列(在此為2列)。各載架7是朝著預定方向X延伸，大致平行配置使相鄰的兩個載架7、7相對。在各載架7是沿著預定方向X及垂直方向形成有複數載放並保管裝載容器50的保管棚架7A。
起重機9是相對於保管棚架7A取出放入裝載 容器50的部份，配置在介於相對之載架7、7的區域。起重機9是沿著載架7的延伸方向X行走於配置在地板面的行走軌道(未圖示)，可藉此沿著載架7在預定方向X移動。起重機9的載物台9A是沿著導軌9B設置成可自由升降，相對於設置在垂直方向的複數保管棚架7A，可取出放入裝載容器50。
對淨化用貯藏庫1之裝載容器50的取出放入 是從OHT埠21及手動埠23進行。OHT埠21是鋪設在頂棚100C的行走軌道25行走的頂棚行走車(OHT)27與淨化用貯藏庫1之間收授裝載容器50的部份，具有搬運裝載容器50的輸送帶21A。手動埠23是在作業人員與淨化用貯藏庫1之間收授裝載容器50的部份，具有搬運裝載容器50的輸送帶23A。
載架7的保管棚架7A設有以淨化用氣體(例 如，氮氣)淨化所載置之裝載容器50的內部54的淨化用裝置30。淨化用裝置30是在載置於保管棚架7A的裝載容器50內用於供應及排出淨化用氣體的裝置。
在此，針對裝載容器50說明。如第3(A)圖及 第3(B)圖表示，裝載容器50具備成為框體的主體部51及蓋部53。裝載容器50是藉主體部51與蓋部53形成裝載容器50的內部54。在裝載容器50的內部54收納有複數的半導體晶圓(未圖示)。
主體部51中，在成為底面的底面部52的下 面，以配置著蓋部53的一側為前時，在前端部的左右兩端附近設有排出口56，在後端部的左右兩端設有供應口55。供應口55是由連接部52A及連通部52C所形成。排出口56是由連接部52B及連通部52D所形成。該例中連接部52A是構成可與後段詳述之淨化用裝置30的供應管31連接。又，連接部52B是構成可與淨化用裝置30的排出管33連接。在連接部52A、52B分別形成有和供應管31及排出管33的內徑相同直徑的連通路52C、52D。連通路52C、52D是連通裝載容器50的內部54與裝載容器50的外部的孔部。
蓋部53是配置在主體部51的側面的一個面 上。在蓋部53例如設有閂鎖機構58。閂鎖機構58具有閂鎖部58A與凸輪部58B。閂鎖部58A是以鍵(未圖示)插入於設置在凸輪部58B的插入口58C的狀態，轉動該鍵時，閂鎖部58A的具有凸輪部58B的一側構成為相反側 的端部可進出。並且，將該閂鎖部58A的端部嵌合在與閂鎖部58A相對的面而設置在主體部51的嵌合溝槽51A，藉此將蓋部53固定於主體部51。
接著，針對藉淨化用氣體(例如，氮氣)淨化處 理如上述的裝載容器50的內部54的淨化用裝置30說明。如第4圖表示，淨化用裝置30具備：供應管31、MFC(Mass Flow Controller)(供應流量調整部)35、淨化用氣體源(未圖示)、排出管33、閥(吸氣流量調整部)37及控制部40。
供應管31的前端是形成噴嘴，藉著與裝載容 器的供應口55連接對裝載容器50供應淨化用氣體的部份。本實施形態中，供應管31藉著與連接部52A密接而和連通部52C連接。MFC35是測量流動於供應管31之淨化用氣體的質量流量，進行流量控制的機器。本實施形態的MFC35是藉後述的供應流量控制部(供應流量調整部)41進行流量控制。淨化用氣體源(未圖示)是貯藏淨化用氣體的槽。
排出管33的前端是形成噴嘴，藉著與裝載容 器50的排出口56連接進行裝載容器50的內部54之淨化用氣體的吸氣，並排出裝載容器50之內部54的淨化用氣體的部份。本實施形態中，排出管33藉著與連接部52B密接而和連通部52D連接。閥37調整排出管33中所吸氣之淨化用氣體的流量以使得裝載容器50的內部54的壓力相對於裝載容器50的外部不成為負壓。閥37是例如可採 用電磁式或空氣式等，構成可遙控的機器。本實施形態的閥37是藉後述的吸氣流量控制部(吸氣流量調整部)42進行開閥控制及關閥控制。
如第4圖表示，本實施形態的淨化用裝置30 的排出管33是聚集來自複數淨化用裝置30的排出管33，經由清淨室100的第1地板面100A與第2地板面100B之間的區域，連接在既有的負壓排風道(參閱第1圖及第2圖)。藉著如上述的構成，連接於各淨化用裝置30的排出管33被連接在裝載容器50的排出口56藉此進行裝載容器50的內部54之淨化用氣體的吸氣，可透過負壓排風道排出裝載容器50的內部54的淨化用氣體。換言之，藉著各排出管33及負壓排風道構成一個排氣系統(以下，該排氣系統也稱為「第2排氣系統」)。
控制部40為控制淨化用裝置30之各種淨化 處理的部份，例如CPU(Central Processing Unit)、ROM(Read Only Memery)、RAM(Random Access Memory)等所成的電子控制單元。控制部40是如第4圖表示，具有執行淨化用裝置30的各種控制處理之概念性部份的供應流量控制部41與吸氣流量控制部42。以上概念性部份執行的功能也可執行CPU等的控制。
供應流量控制部41是為調整對裝載容器50 供應淨化用氣體的供應流量而控制MFC35的部份。吸氣流量控制部42是控制在第1流量時關閉閥37，在第2流量之時開放閥37的部份。「第1流量」是所謂在裝載容 器50連接於供應管31及排出管33的狀態下，對裝載容器50供應淨化用氣體的流量成為比預定流量F1小時，在裝載容器50的內部54相對於裝載容器50的外部有成為負壓之虞的裝載容器50中，比預定流量F1小的流量。又「第2流量」則是比第1流量大的流量。
其次，針對上述淨化用裝置30之淨化處理的 動作說明。控制部40一旦檢測出裝載容器50的載放時(或使用者輸入淨化處理命令時)，開始淨化用氣體對裝載容器50的供應(淨化處理)。此時，供應流量控制部41控制MFC35朝裝載容器50以指示流量供應淨化用氣體(供應流量調整步驟)。再者，此時的指示流量為可至少進行兩種流量的輸入，根據作業人員在事前可適當設定輸入。 吸氣流量控制部42為控制閥37的開關以使得裝載容器50的內部54的壓力相對於裝載容器50的外部不成為負壓。通常，藉MFC35開始淨化用氣體的供應時開放閥37，藉MFC35結束淨化用氣體的供應時則關閉閥37(吸氣流量調整步驟)。
但是，依據條件(裝載容器的特性、淨化用裝 置的特性及供應流量等)，不論MFC35是否開始淨化用氣體的供應，會有裝載容器50的內部54相對於裝載容器50的外部成為負壓的場合。因此，在裝載容器50連接在供應管31及排出管33的狀態中，對裝載容器50供應淨化用氣體的流量一旦小於預定流量時，針對裝載容器50的內部54相對於裝載容器50的外部有成為負壓之虞的裝 載容器50，進行以下的控制。亦即，吸氣流量控制部42是控制在比預定流量小的第1流量時關閉閥37，比第1流量大的第2流量時則開放閥37。
針對上述實施形態的淨化用裝置30的作用效 果說明。根據上述實施形態的淨化用裝置30，由於從排出管33進行裝載容器50之內部54的淨化用氣體的吸氣，因此可抑制從裝載容器50的供應口55或主體部51與蓋部53之間(排出口以外的部份)漏出的淨化用氣體的量。又，根據上述實施形態的淨化用裝置30，控制閥37的開關以使得裝載容器50的內部54的壓力相對於裝載容器50的外部不成為負壓。藉此，髒空氣或塵埃不會從裝載容器50的外部吸入至裝載容器50的內部54。其結果，可抑制淨化用氣體漏出至配置著淨化用裝置30的保管區域1A的量，乃至抑制從保管區域1A漏出之淨化用氣體的量，並可防止髒空氣或塵埃被吸入到裝載容器50的內部54。
在此，淨化用氣體從保管區域1A漏出的場 合，並非從排氣口15A誘導性地將淨化用氣體排出，例如是從保管區域1A之開口部的OHT埠21及手動埠23等排出淨化用氣體。
並且，上述實施形態的淨化用裝置30具備 MFC35，變更供應管31中供應裝載容器50的淨化用氣體的流量，因此可以種種的類型對裝載容器50供應淨化用氣體。例如，為了確保淨化處理的即效性而對裝載容器 50欲供應相對較大流量的場合或確保充份的清淨度之後持續地對裝載容器50供應相對較小流量的淨化用氣體的場合等，可根據需要供應淨化用氣體。
又，上述實施形態的淨化用裝置30中，即使 如上述變更淨化用氣體的供應流量的場合，在供應流量比較小的第1流量的場合，使吸氣流量成為零。藉此，可調整裝載容器50的內部54的壓力相對於裝載容器50的外部不成為負壓。
又，本案發明人在專心從事研究的結果，發 現無論是否對裝載容器50供應淨化用氣體，裝載容器的內部54的壓力相對於裝載容器的外部皆會成為負壓。亦即，如第5圖表示，可發現淨化用氣體對裝載容器50的供應流量相對較小的場合(預定流量F1)，裝載容器50的內部54的壓力相對於裝載容器50的外部會成為負壓。
因此，上述實施形態的淨化用裝置30是在裝 載容器50連接於供應管31及排出管33的狀態中，對裝載容器50之淨化用氣體的供應流量一旦小於預定流量F1時，針對裝載容器50的內部54相對於裝載容器50的外部有成為負壓之虞的裝載容器50，進行以下的控制。亦即，設小於預定流量F1的流量為第1流量f1，設比第1流量f1大的流量為第2流量f2時，控制在第1流量f1時關閉閥37，第2流量f2時則開放閥37。
又，根據此構成的淨化用裝置30，即使在變 更供應至裝載容器50之淨化用氣體的流量的場合，進行 閥37的開關控制以使得裝載容器50的內部54的壓力相對於裝載容器50的外部不成為負壓。其結果，可防止髒空氣或塵埃從裝載容器50的外部吸入到裝載容器50的內部54。
並且，根據此構成的淨化用裝置30，由於具 備進行從裝載容器50的供應口55或主體部51與蓋體53之間漏出至裝載容器50外部的淨化用氣體的換氣並排出的第1排氣系統(FFU5及排氣用風扇15)，因此可抑制從裝載容器50漏出的淨化用氣體從淨化用貯藏庫1的保管區域1A漏出。這是在供應預定流量F1以下流量的淨化用氣體的場合尤其有效。本實施形態的淨化用裝置30中，供應裝載容器50的淨化用氣體的供應流量在預定流量F1以下的場合，由於從裝載容器50的供應口55或主體部51與蓋部53之間會有淨化用氣體漏出之虞而關閉閥37。
換言之，對裝載容器50之淨化用氣體的供應 流量在預定流量F1以下的場合，為了使裝載容器50的內部54不成為負壓而特別將淨化用氣體從供應口55或主體部51與蓋部53之間排出，僅以第1排氣系統回收淨化用氣體，排出至淨化用貯藏庫1的外部。對裝載容器50之淨化用氣體的供應流量比預定流量F1大的場合，以第1排氣系統及第2排氣系統的雙方將淨化用氣體排出至淨化用貯藏庫1的外部。
以上，針對本發明之一實施形態已作說明， 但本發明不限於上述實施形態。在不脫離本發明主旨的範圍內可進行種種的變更。
<第1變形例>
上述實施形態雖是舉各排出管33與負壓排風道連接為例所作的說明，但本發明不為此所限定，例如也可以另外具備吸氣裝置的構成。此時，與各淨化用裝置30連接的排出管33是藉著與裝載容器50的排出口56連接而進行裝載容器50的內部54之淨化用氣體的吸氣，可排出裝載容器50的內部54的淨化用氣體。
<第2變形例>
上述實施形態的淨化用裝置30雖是舉具備第1排氣系統為例所作的說明，但本發明不為此所限定。例如也可以在從裝載容器50的供應口55或主體部51與蓋部53之間所漏出淨化用氣體的量相對較小的場合，不具備第1排氣系統之構成的淨化用裝置。
<其他變形例>
上述實施形態中，雖是舉配置在淨化用貯藏庫1的淨化用裝置為例所作說明，但本發明不為此所限定。例如不僅是配置在以隔板3等所區隔之空間的淨化用裝置，例如也可以運用在搭載於從高架行走車彼此的中繼點及輸送機對高架行走車的收授點(裝載埠)、頂棚暫存區等的淨化用 裝置。

Claims (4)

  1. 一種淨化用裝置，係藉淨化用氣體淨化處理裝載有被裝載物之裝載容器內部的淨化用裝置，具備：供應管，藉著與上述裝載容器的連接朝上述裝載容器供應上述淨化用氣體；供應流量調整部，調整上述供應管中，供應上述裝載容器之上述淨化用氣體的供應流量；排出管，連接於上述裝載容器，藉此排出上述裝載容器內部的上述淨化用氣體；及吸氣流量調整部，調整上述排出管中，從上述裝載容器的內部吸氣的上述淨化用氣體的吸氣流量，以使得上述裝載容器內部的壓力相對於上述裝載容器的外部不成為負壓，上述供應流量調整部可以第1流量及比上述第1流量的流量大的第2流量的至少兩階段進行上述供應流量的調整，上述吸氣流量調整部是上述供應流量為上述第1流量時，設上述吸氣流量為零。
  2. 如申請專利範圍第1項記載的淨化用裝置，其中，上述吸氣流量調整部具有設置在上述排出管的閥與控制上述閥的開關的吸氣流量控制部，上述吸氣流量控制部在上述供應流量為上述第1流量時控制使上述閥關閉，上述供應流量為上述第2流量時控制使上述閥開啟。
  3. 如申請專利範圍第1項或第2項記載的淨化用裝置，其中，進一步具備排出裝置，將上述裝載容器中從連接著上述排出管之排出口以外的部份漏出到上述裝載容器外部的上述淨化用氣體排出。
  4. 一種淨化用方法，係藉淨化用氣體淨化處理裝載有被裝載物之裝載容器內部時的淨化用方法，包含：供應流量調整步驟，調整供應至上述裝載容器之上述淨化用氣體的供應流量，及吸氣流量調整步驟，調整從上述裝載容器的內部吸氣的上述淨化用氣體的吸氣流量以使得上述裝載容器內部的壓力相對於上述裝載容器的外部不成為負壓，上述供應流量調整步驟，係以第1流量及比上述第1流量的流量大的第2流量的至少兩階段進行上述供應流量的調整，上述吸氣流量調整步驟中，上述供應流量為上述第1流量時，調整使上述吸氣流量成為零。
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