TWI630170B - 高濃度過氧化氫水溶液之處理方法 - Google Patents

高濃度過氧化氫水溶液之處理方法 Download PDF

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Abstract

一種高濃度過氧化氫水溶液之處理方法，基於過氧化氫酶對過氧化氫之高催化特性，配合預先於一定容量之半批式反應器內置入水及過氧化氫酶，然後添加濃度0.5%至36%之過氧化氫水溶液，或同時添加0.5%至36%之過氧化氫水溶液及過氧化氫酶，藉此讓過氧化氫酶與高濃度過氧化氫水溶液反應，轉化為過氧化氫酶與濃度較原先低之過氧化氫水溶液反應，進而有效降低半批式反應器之溫升及壓升速率，藉以能安全有效處理高濃度之過氧化氫水溶液。

Description

高濃度過氧化氫水溶液之處理方法
本發明係基於過氧化氫酶對過氧化氫之高催化特性，配合預先於一定容量之半批式反應器內置入水及過氧化氫酶，然後添加高濃度(0.5%至36%)的過氧化氫水溶液或同時添加高濃度(0.5%至36%)過氧化氫水溶液及過氧化氫酶，藉此讓原本過氧化氫酶與高濃度過氧化氫水溶液反應轉化為過氧化氫酶與低濃度過氧化氫水溶液反應，進而降低半批式反應器的溫度上升及壓力上升速率，基於過氧化氫酶對過氧化氫之高催化特性，過氧化氫酶亦能有效處理低濃度過氧化氫水溶液，藉以安全有效處理高濃度之過氧化氫水溶液。
目前一般在電子業的半導體製程中，過氧化氫(H2O2)係為一種常用的化學品。因此在半導體製程中所產生的廢水，占有一定比例是高濃度的過氧化氫水溶液，部份過氧化氫水溶液濃度更高達10%以上。惟由於高濃度過氧化氫水溶液具有較強的反應性及腐蝕性，必須有效降低過氧化氫水溶液濃度，以利於後續儲存及其他附屬物質回收再利用。
上述化學式中，其反應熱可達到98KJ/mole，由於會放熱衍生高溫及產生氧氣的特性，因此目前業界無法有效且快速安全處理大量高濃度(5%以上)之過氧化氫水溶液。
經查有中華民國104年5月21日公告之發明第I485114號「含過氧化氫排水之處理裝置」專利案，其係揭露：一種即使為含有%級的較高濃度的過氧化氫的排水，亦可連續運轉且進行安定且有效率的處理之構成簡易且較為小型的過氧化氫水處理裝置。該過氧化氫水處理裝置，係使被處理水與過氧化氫分解觸媒接觸，將該被處理水中的過氧化氫分解成氧與水而得處理水的過氧化氫水處理裝置，其特徵為具有：過氧化氫分解反應器，具有該被處理水的導入口與處理水的排出口，在內部被填充有過氧化氫分解觸媒；及氣液分離器，被導入該過氧化氫分解反應器的流出水，該氣液分離器係由在上部連接排氣配管、在下部連接排水配管的筒狀容器所構成，在該筒狀容器的側部被導入前述流出水。
該專利前案所採用之過氧化氫分解觸媒，係將鉑族金屬擔載在載體而成。該鉑族金屬為平均粒子徑1~50nm之鉑族金屬的奈米膠體粒子。該載體為離子交換樹脂。又排水的過氧化氫濃度則為0.1~5重量%。惟該專利前案之處理方式只限用於5%以下的過氧化氫水溶液。
又該專利前案亦未明確揭示有與本發明相同之技術特徵及功效。
爰此，有鑑於目前對於高濃度過氧化氫之處理方法，係 具有上述之缺點。故本發明提供一種高濃度過氧化氫水溶液之處理方法，所述高濃度過氧化氫水溶液係為單位體積水中包含有0.5%~36%過氧化氫之水溶液，該高濃度過氧化氫水溶液之處理方法包括有下列步驟：A.於一定容量之半批式反應器內預先置入水及過氧化氫酶形成過氧化氫酶混合水溶液。B.於該半批式反應器內同時分別持續加入高濃度之過氧化氫水溶液及過氧化氫酶。C.該過氧化氫水溶液被該過氧化氫酶混合水溶液稀釋後，同時與該過氧化氫酶進行化學反應。
上述步驟A之該水及該過氧化氫酶混合後形成過氧化氫酶混合水溶液，該過氧化氫酶混合水溶液的添加量係為該半批式反應器之容量的10vol%至90vol%之間。
上述步驟A之該過氧化氫酶之添加濃度則為該過氧化氫酶混合水溶液之0.05vol%~2vol%。
上述步驟B之該過氧化氫水溶液的添加量，係以每分鐘該半批式反應器之容量的0.005vol%至2vol%之間的速率進行添加。
上述步驟B之該過氧化氫酶之添加速率，係為該過氧化氫水溶液添加速率的0.05vol%~2vol%。
本發明一種高濃度過氧化氫水溶液之處理方法之第二種實施方式，所述高濃度過氧化氫水溶液係為單位體積水中包含有0.5%~36%過氧化氫之水溶液，該高濃度過氧化氫水溶液之處理方法包含有下列步驟：A、於一定容量之半批式反應器內預先置入水及過氧化氫酶。B、於該半批式反應器內持續加入高濃度之過氧化氫水溶液。C、當該過氧化氫水溶液被該水稀釋後，係同時與該過氧化氫酶進行化學反應。
上述步驟A之該水及該過氧化氫酶混合後，係形成過氧化氫酶混合水溶液，該過氧化氫酶混合水溶液的添加量係為該半批式反應器之容量的10vol%至90vol%之間。
上述步驟A之該過氧化氫酶之添加量係為該半批式反應器容量之0.05vol%~2%。
上述步驟B之該過氧化氫水溶液的添加量，係以每分鐘該半批式反應器之容量的0.005vol%至2vol%之間的速率進行添加。
上述半批式反應器係設有一壓力感測器，藉以偵測該半批式反應器內之壓力達到正常工作壓力(預設為14.7Psia)之120%時，則控制整個處理程序停止。
上述半批式反應器係設有一溫度感測器，藉以偵測該半批式反應器內之溫度達到設定溫度(30℃)的120%時，則控制整個處理程序停止。
上述半批式反應器係設有一過氧化氫濃度感測器，藉以偵測該半批式反應器內之過氧化氫濃度達到0.25%時(較佳應控制在濃度0.125%以下)，則控制整個處理程序停止。
根據上述技術特徵係具有下列之優點：
1、本發明係基於過氧化氫酶對過氧化氫之高催化特性，配合預先於一定容量之半批式反應器內置入水及過氧化氫酶，混合後形成過氧化氫酶混合水溶液，然後添加高濃度過氧化氫水溶液或同時分別添加高濃度之過氧化氫水溶液及過氧化氫酶，藉此讓原本過氧化氫酶與高濃度之過氧化氫水溶液反應，轉化為過氧化氫酶與低濃度之過氧化氫水溶液反應，進而有效降低半批式反應器之溫升及壓升速率，藉以能安全有效處理高濃度之過氧化氫水溶液。
2、化學反應的過程中具有較高的安全性。
3、可配合彈性調整半批式反應器的容量作為反應系統溫度及壓力緩衝，進而有效降低半批式反應器之溫升及壓升速率，以安全處理高濃度之過氧化氫水溶液。
4、可配合彈性調整半批式反應器的容量，以因應待處理高濃度過氧化氫水溶液所需的處理速率。
5、經數批反應後，處理前後的總體積差異小，即第一批進行反應需添加新置的水，第一批之後(第二批，…)反應所需添加的水可以用第一批反應後的混合水溶液做為所需添加的水，因此藉由過氧化氫酶對過氧化氫的高催化特性，藉由讓原本過氧化氫酶與高濃度過氧化氫水溶液反應轉化為過氧化氫酶與低濃度過氧化氫水溶液反應，第一批新置水的體積佔整體處理量比率隨反應批數增加而降低，經數十批後，第一批新置水體積佔整體處理量比率可降至1%以下。
1‧‧‧半批式反應器
11‧‧‧過氧化氫水溶液輸入端
12‧‧‧混合水溶液排放端
13‧‧‧抽氣端
14‧‧‧壓力感測器
15‧‧‧溫度感測器
16‧‧‧水冷式散熱裝置
161‧‧‧入口
162‧‧‧出口
17‧‧‧過氧化氫酶輸入端
18‧‧‧過氧化氫濃度感測器
2‧‧‧過氧化氫酶混合水溶液
X‧‧‧容量
3‧‧‧水
第1圖係為本發明第一較佳實施例之操作流程圖。
第2圖係為本發明第一較佳實施例半批式反應器以「持續進，持續或間歇出」處理之示意圖。
第3圖係為本發明第二較佳實施例之操作流程圖。
第4圖係為本發明第二較佳實施例半批式反應器以「持續進，一次出」處理之示意圖。
第5圖係為本發明第三較佳實施例之操作流程圖。
第6圖係為本發明第三、四較佳實施例半批式反應器之處理反應示意圖。
第7圖係為本發明第四較佳實施例之操作流程圖。
請參閱第1、2圖所示，為本發明高濃度過氧化氫水溶液之處理方法的第一較佳實施例，為避免贅述，下文各較佳實施中所稱高濃度過氧化氫水溶液係為單位體積水中包含有0.5%~36%過氧化氫之水溶液，本較佳實施例係包括有下列之步驟：
A、於一定容量X之半批式反應器1內預先置入水及過氧化氫酶。利用一半批式(semi-batch)反應器1之內部係具有一定之容量X，於本較佳實施例中，該半批式反應器1之容量X係以1000ml為例說明。於該半批式反應器1內置入水及過氧化氫酶，該水係可為純水。又該水及過氧化氫酶的添加量係為該半批式反應器1之容量X的10vol%至90vol%之間〔本說明書中vol%之單位均指體積百分比〕，又該水及過氧化氫酶經混合後，係形成一過氧化氫酶混合水溶液2，該過氧化氫酶混合水溶液2之添加量係為100ml至900ml之間，本較佳實施例中，該過氧化氫酶混合水溶液2之添加量係為200ml，其中該過氧化氫酶之添加濃度則為該過氧化氫酶混合水溶液2之約為0.1vol%。同時該半批式反應器1另外配置有一過氧化氫水溶液輸入端11、一混合水溶液排放端12、一抽氣端13、一壓力感測器14、一溫度感測器15、一水冷式散熱裝置16及一過氧化氫酶輸入端17、過氧化氫濃度感測器18。其中該過氧化氫水溶液輸入端11，係供輸入一高濃度之過氧化氫水溶液，該高濃度之過氧化氫水溶液中 係含有0.5%以上的過氧化氫。該混合水溶液排放端12係供排放該半批式反應器1內經處理的混合水溶液(含少量的過氧化氫酶及過氧化氫)。該抽氣端13則將化學反應過程中所生成之氧氣等氣體抽離，該抽氣端13並配合設置有一釋壓閥，以防止該半批式反應器1內之壓力過大而發生危險。該壓力感測器14係隨時偵測該半批式反應器1內之壓力，於偵測到該半批式反應器1內之壓力達到正常工作壓力(預設為14.7psia)之120%時(17.64psia)，則會自動控制整個處理程序停止，直到壓力降回至預設的安全值時才能以手動(manual reset)方式繼續進行處理程序。該溫度感測器15則隨時偵測該半批式反應器1內之溫度，於偵測到該半批式反應器1內之溫度達到設定溫度(如30℃，較佳之工作溫度範圍為15℃~45℃)之120%時(36℃)，則會自動控制整個處理程序停止，直到溫度降回至安全值時才能以手動(manual reset)方式繼續進行處理程序。該過氧化氫濃度感測器18，藉以偵測該半批式反應器1內之過氧化氫濃度達到0.25%時(較佳的濃度係控制在0.125%以下)，則會自動控制整個處理程序停止。該水冷式散熱裝置16係設有一導入冷凝水之入口161及排出冷凝水之出口162，藉以能夠降低該半批式反應器1於化學反應過程中所產生之熱能。又可經由該過氧化氫酶輸入端17添加過氧化氫酶進入至該半批式反應器1內。
B、於該半批式反應器1內同時分別持續加入高濃度過氧化氫水溶液及過氧化氫酶，本較佳實施例中，該過氧化氫水溶液之濃度係以36%為限。如果以每1ml之過氧化氫酶可以處理1000ml高濃度之過氧化氫水溶液為例，該過氧化氫酶之添加速率約為高濃度過氧化氫水溶液添加速率的0.05%~2%，本較佳實施例係以高濃度 過氧化氫水溶液添加速率為5ml/min.，因此過氧化氫酶之添加速率為0.0025ml/min.~0.1ml/min.。如以過氧化氫酶之添加速率為0.005ml/min.，經由該過氧化氫酶輸入端17添加進入至該半批式反應器1內做為說明，並經由該過氧化氫水溶液輸入端11輸入該高濃度之過氧化氫水溶液進入至該半批式反應器1內，該過氧化氫水溶液之添加量，係以每分鐘該半批式反應器1容量X之0.01vol%至2vol%之間的速率進行添加，本較佳實施例係以每分鐘添加5ml的速率(5ml/min.)為例說明。
C、該高濃度過氧化氫水溶液被該水稀釋後，同時與該過氧化氫酶進行化學反應，並持續或間歇排出該半批式反應器1內經處理一定量的混合水溶液量。於該半批式反應器1內所加入的高濃度過氧化氫水溶液，係於該半批式反應器1內被該過氧化氫酶混合水溶液2內所含之水稀釋成一較低濃度之過氧化氫水溶液，基於過氧化氫酶處理過氧化氫水溶液之高催化特性，該較低濃度之過氧化氫水溶液與該過氧化氫酶混合水溶液2中所混合之過氧化氫酶進行化學反應，將該高濃度過氧化氫水溶液中過氧化氫之濃度降低，並且生成水、氧氣及熱能。所生成之氧氣將由該抽氣端13排出。所生成之熱能，將會經由該水冷式散熱裝置16之該入口161導入冷凝水及該出口162排出冷凝水，藉以降低該半批式反應器1於化學反應過程中所產生之熱能，予以散熱降溫。另利用該壓力感測器14、溫度感測器15、過氧化氫濃度感測器18，隨時偵測化學反應過程中該半批式反應器1內之壓力、溫度、濃度，藉以確保化學反應過程之安全。由於化學反應過程中所生成的水，係會與該過氧化氫酶混合水溶液2混合。因此在加入高濃度之過氧化氫水溶液的同時，亦 可同時經由該混合水溶液排放端12排放該半批式反應器1內經處理的混合水溶液(含少量的過氧化氫酶及過氧化氫)，並使該半批式反應器1保持有200ml以上的混合水溶液量。
本發明上述的處理程序，係以「持續進，持續或間歇出」的處理模式進行，此係為本發明可行的實施例之一。亦即在處理過程中分別持續的輸入高濃度過氧化氫水溶液及過氧化氫酶，同時也持續或間歇排放出該半批式反應器1中的混合水溶液，因此本較佳實施例之處理程序係可以持續不間斷的進行，無須中途停機補充添加相關溶液，故可大幅提昇高濃度(0.5%~36%)之過氧化氫水溶液的處理效能。
本較佳實施例可進一步配合彈性調整該半批式反應器1的容量X，以作為反應系統溫度及壓力的緩衝，進而有效降低半批式反應器1之溫升及壓升速率，以安全處理高濃度過氧化氫水溶液，以及可因應待處理高濃度過氧化氫水溶液所需的處理速率。
又本發明係基於過氧化氫酶處理過氧化氫水溶液之高催化特性，配合一種預先於一定容量X之半批式反應器1內置入水及過氧化氫酶所混合形成之一過氧化氫酶混合水溶液2，然後同時分別添加高濃度過氧化氫水溶液及過氧化氫酶，藉此讓該過氧化氫酶混合水溶液2與高濃度過氧化氫水溶液反應轉化為過氧化氫酶與低濃度之過氧化氫水溶液反應，進而有效降低半批式反應器1之溫升及壓升速率，藉以安全有效處理高濃度之過氧化氫水溶液。如此，可避免大量的高濃度過氧化氫水溶液直接與該過氧化氫酶混合水溶液2進行反應，衍生高壓高溫爆炸危害。再利用該過氧化氫酶對過氧化氫之高催化特性，即使過氧化氫酶濃度約0.1%，仍然可以與經 過稀釋的該高濃度之過氧化氫水溶液進行反應，且半批式反應器1內之過氧化氫水溶液的濃度均可保持在0.25%以下，故可證明本實施例確實安全可行。
請參閱第3、4圖所示，為本發明高濃度過氧化氫水溶液之處理方法的第二較佳實施例，為避免贅述，下文各較佳實施例中所稱高濃度過氧化氫水溶液係為單位體積水中包含有0.5%~36%過氧化氫之水溶液，本較佳實施例係包括有下列步驟：
A、於一定容量X之半批式反應器1內預先置入水及過氧化氫酶。利用該半批式反應器1內部係具有一定容量X的特性，於該半批式反應器1內置入有水及過氧化氫酶混合後所形成之一過氧化氫酶混合水溶液2。本較佳實施例中，該半批式反應器1之容量X係以1000ml為例說明。該過氧化氫酶混合水溶液2之添加量係為該半批式反應器1之容量X的10vol%至90vol%之間，本較佳實施例中，該過氧化氫酶混合水溶液2之添加量係以200ml為例說明。該過氧化氫酶之添加量為該半批式反應器1容量X之約為0.1vol%，即該過氧化氫酶之添加量係約為1ml。
B、於該半批式反應器1內持續加入高濃度過氧化氫水溶液。該過氧化氫水溶液之添加量係以每分鐘該半批式反應器1容量X之0.005vol%至2vol%之間的速率進行添加，本較佳實施例係以每分鐘添加5ml的速率(5ml/min.)為例說明，並經由該過氧化氫水溶液輸入端11輸入該高濃度(0.5%~36%)之過氧化氫水溶液進入該半批式反應器1內。
C、該過氧化氫水溶液被該水稀釋後，同時與該過氧化氫酶進行化學反應。於該半批式反應器1內所加入的高濃度過氧化 氫水溶液，係會被該過氧化氫酶混合水溶液2內所含之水稀釋成一低濃度之過氧化氫水溶液，同時該低濃度之過氧化氫水溶液再與該過氧化氫酶混合水溶液2中所混合之過氧化氫酶進行化學反應，將該高濃度過氧化氫水溶液中過氧化氫之濃度降低，並且生成水、氧氣及熱能。所生成之氧氣將由該抽氣端13排出。所生成之熱能將會經由該水冷式散熱裝置16之該入口161導入冷凝水，以及經由該出口162排出冷凝水予以散熱降溫。另利用該壓力感測器14、溫度感測器15、過氧化氫濃度感測器18，隨時偵測化學反應過程中該半批式反應器1內之壓力、溫度及濃度是否保持在安全值內，藉以確保化學反應過程之安全。
D、於處理程序結束後，一次排出半批次反應器1內經處理一定量的混合水溶液量。由於本發明化學反應過程中所生成的水係會與該過氧化氫酶混合水溶液2混合。因此，當生成混合後之水溶液量達到該半批式反應器1之容量X的90vol%時，則為一個處理程序循環的結束，即處理700ml高濃度(0.5%~36%)之過氧化氫水溶液大約需要140分鐘。處理完成後即會經由該混合水溶液排放端12一次排出該半批式反應器1內經處理的混合水溶液(含少量的過氧化氫酶及過氧化氫)，經排放至該半批式反應器1之容量X的20vol%剩餘混合水溶液量時即停止排放，即該半批式反應器1內之剩餘混合水溶液量係為200ml時即停止排放。如此，無庸再添加任何水，只需適時添加該半批式反應器1容量X之約為0.07vol%的過氧化氫酶做為補充，即可再重新進行下一次處理程序的循環。
基於過氧化氫酶處理過氧化氫水溶液之高催化特性，配合預先於一定容量X之半批式反應器1內置入水及過氧化氫酶所混 合形成之過氧化氫酶混合水溶液2，然後再同時分別添加高濃度過氧化氫水溶液，藉此讓過氧化氫酶混合水溶液2與高濃度過氧化氫水溶液反應轉化為過氧化氫酶與低濃度之過氧化氫水溶液反應，進而有效降低半批式反應器1之溫升及壓升速率，藉以能安全有效處理高濃度之過氧化氫水溶液。如此，可以避免大量的高濃度過氧化氫水溶液直接與該過氧化氫酶混合水溶液2進行反應，衍生高壓高溫爆炸危害。再利用該過氧化氫酶對過氧化氫之高催化特性，即使過氧化氫酶濃度約0.1%，仍然可以與經過稀釋的該高濃度之過氧化氫水溶液進行反應，且半批式反應器1內之過氧化氫水溶液的濃度均可保持在0.25%以下，故可證明本較佳實施例確實安全可行。
本發明上述的處理程序，係以「持續進，一次出」的處理模式進行，亦即在處理過中持續的輸入該高濃度過氧化氫水溶液，等到一個處理程序循環結束後，才將生成的水溶液量達到該半批式反應器1之容量X的90vol%時，予以一次排放至剩餘該半批式反應器1之容量X的20vol%水溶液量時才停止，此亦為本發明可行的較佳實施例之一。
請參閱第5、6圖所示，為本發明高濃度過氧化氫水溶液之處理方法的第三較佳實施例，為避免贅述，下文各較佳實施例中所稱高濃度過氧化氫水溶液係為單位體積水中包含有0.5%~36%過氧化氫之水溶液，本較佳實施例係包括有下列之步驟：
A、於一定容量X之半批式反應器1內預先置入水3。利用該半批式反應器1之內部係具有一定容量X的特性，本較佳實施例中，該半批式反應器1之容量X係以1000ml為例說明。於該半批式反應器1內置入水3，該水3係選用純水。又該水3之添加量係為該 半批式反應器1容量X的10vol%至45vol%之間，本較佳實施例中，係以該水3之添加量為200ml。同時該半批式反應器1另外配置有一過氧化氫水溶液輸入端11、一混合水溶液排放端12、一抽氣端13、一壓力感測器14、一溫度感測器15、一水冷式散熱裝置16及一過氧化氫酶輸入端17。該水冷式散熱裝置16係設有一導入冷凝水之入口161及排出冷凝水之出口162。
B、於該半批式反應器1內同時分別持續加入高濃度過氧化氫水溶液及過氧化氫酶。該過氧化氫酶初期之添加速率，為該高濃度過氧化氫水溶液添加速率的0.2%，本較佳實施例中，該高濃度過氧化氫水溶液添加速率係為5ml/min，因此過氧化氫酶之添加速率為0.01ml/min.。當半批式反應器1內所有溶液的累積總量大於該預置水3的2倍以上時，該過氧化氫酶之添加速率可以調整至約為該高濃度過氧化氫水溶液添加速率的0.1%，即該過氧化氫酶之添加速率降為0.005ml/min.。
C、該過氧化氫水溶液被該水3稀釋後，同時與該過氧化氫酶進行化學反應，當該半批式反應器1內混合水溶液達到所添加該水3量的兩倍時，係以持續或間歇方式排出該半批式反應器1內經處理一定量的混合水溶液量。於該半批式反應器1內所加入的濃度0.5%~36%之過氧化氫水溶液，係會於該半批式反應器1內被該水3稀釋成一較低濃度之過氧化氫水溶液，基於過氧化氫酶處理過氧化氫水溶液之高催化特性，該低濃度之過氧化氫水溶液與該過氧化氫酶進行化學反應，並且生成水、氧氣及熱能。當該半批式反應器1達400ml(原本水3添加量之2倍)以上的混合水溶液量時，系統可開始經由該混合水溶液排放端12排放該半批式反應器1內經處 理的混合水溶液(含少量的過氧化氫酶及過氧化氫)，本實施例係為「持續進，達一定量後持續或間歇出」的處理模式。
請參閱如第6、7圖所示，係為本發明第四較佳實施例，該第四較佳實施例之實施步驟與前述第三較佳實施例大致相同，唯一不同處在於最終的排液方式。本較佳實施例之排液方式與前述第二較佳實施例相同，皆於處理程序結束後，一次排出半批次反應器1內經處理一定量的混合水溶液量。
惟，以上所述僅為本發明其中之四個實施例，當不能以此限定本發明之申請專利保護範圍，舉凡依本發明之申請專利範圍及說明書內容所作之簡單的等效變化與替換，皆應仍屬於本發明申請專利範圍所涵蓋保護之範圍內。

Claims (12)

  1. 一種高濃度過氧化氫水溶液之處理方法，所述高濃度過氧化氫水溶液係為單位體積水中包含有0.5%~36%過氧化氫之水溶液，該高濃度過氧化氫水溶液之處理方法包含有下列步驟：A、於一定容量之半批式反應器內預先置入水及過氧化氫酶，經混合後形成過氧化氫酶混合水溶液；該過氧化氫酶混合水溶液的添加量係為該半批式反應器之容量的10vol%至90vol%之間，且該過氧化氫酶之添加濃度則為該過氧化氫酶混合水溶液之0.05vol%~2vol%；B、於該半批式反應器內同時分別持續加入高濃度過氧化氫水溶液及過氧化氫酶；該高濃度過氧化氫水溶液的添加速率，係以每分鐘該半批式反應器之容量的0.005vol%至2vol%之間的速率進行添加，且該過氧化氫酶之添加速率係為該過氧化氫水溶液添加速率的0.05vol%~2vol%；C、該過氧化氫水溶液被該過氧化氫酶混合水溶液稀釋後，同時與該過氧化氫酶進行化學反應，將該高濃度過氧化氫水溶液中過氧化氫之濃度降低，並且生成水、氧氣及熱能。
  2. 如申請專利範圍第1項所述高濃度過氧化氫水溶液之處理方法，其中該半批式反應器係設有一壓力感測器，藉以偵測該半批式反應器內之壓力值，並選擇性地停止所有處理程序。
  3. 如申請專利範圍第1項所述高濃度過氧化氫水溶液之處理方法，其 中該半批式反應器係設有一溫度感測器，藉以偵測該半批式反應器內之溫度，並選擇性地停止所有處理程序。
  4. 如申請專利範圍第1至3項之任一項所述高濃度過氧化氫水溶液之處理方法，其中該半批式反應器係設有一過氧化氫濃度感測器，藉以偵測該半批式反應器內之過氧化氫濃度，並選擇性地停止所有處理程序。
  5. 一種高濃度過氧化氫水溶液之處理方法，所述高濃度過氧化氫水溶液係為單位體積水中包含有0.5%~36%過氧化氫之水溶液，該高濃度過氧化氫水溶液之處理方法包含有下列步驟：A、於一定容量之半批式反應器內預先置入水及過氧化氫酶，混合後形成過氧化氫酶混合水溶液；該過氧化氫酶混合水溶液的添加量係為該半批式反應器容量的10vol%至90vol%之間；且該過氧化氫酶添加量係為該半批式反應器容量的0.05vol%~2vol%；B、於該半批式反應器內持續加入高濃度過氧化氫水溶液；該過氧化氫水溶液的添加量，係以每分鐘該半批式反應器之容量的0.005vol%至2vol%之間的速率進行添加；C、該過氧化氫水溶液被該過氧化氫酶混合水溶液稀釋後，同時與該過氧化氫酶進行化學反應，將該高濃度過氧化氫水溶液中過氧化氫之濃度降低，並且生成水、氧氣及熱能。
  6. 如申請專利範圍第5項所述高濃度過氧化氫水溶液之處理方法，其中該半批式反應器係設有一壓力感測器，藉以偵測該半批式反應器 內之壓力值，並選擇性地停止所有處理程序。
  7. 如申請專利範圍第5項所述高濃度過氧化氫水溶液之處理方法，其中該半批式反應器係設有一溫度感測器，藉以偵測該半批式反應器內之溫度並選擇性地停止所有處理程序。
  8. 如申請專利範圍第5至7項之任一項所述高濃度過氧化氫水溶液之處理方法，其中該半批式反應器係設有一過氧化氫濃度感測器，藉以偵測該半批式反應器內之過氧化氫濃度並選擇性地停止所有處理程序。
  9. 一種高濃度過氧化氫水溶液之處理方法，所述高濃度過氧化氫水溶液係為單位體積水中包含有0.5%~36%過氧化氫之水溶液，該高濃度過氧化氫水溶液之處理方法包含有下列步驟：A、於一定容量之半批式反應器內預先置入水；該水的添加量係為該半批式反應器容量的10vol%至45vol%之間；B、於該半批式反應器內同時分別持續加入高濃度過氧化氫水溶液及過氧化氫酶；該高濃度過氧化氫水溶液的添加量，係以每分鐘該半批式反應器之容量的0.005vol%至2vol%之間的速率進行添加；該過氧化氫酶初期的添加速率，係為該高濃度過氧化氫水溶液添加速率的0.1%~4%，當該半批式反應器內所有溶液的累積總量大於預置該水的2倍以上時，該過氧化氫酶之添加速率，係調整至該高濃度過氧化氫水溶液添加速率的0.05%~2%；C、該過氧化氫水溶液被該水稀釋後，同時與該過氧化氫酶進 行化學反應，將該高濃度過氧化氫水溶液中過氧化氫之濃度降低，並且生成水、氧氣及熱能。
  10. 如申請專利範圍第9項所述高濃度過氧化氫水溶液之處理方法，其中該半批式反應器係設有一壓力感測器，藉以偵測該半批式反應器內之壓力值，並選擇性地停止所有處理程序。
  11. 如申請專利範圍第9項所述高濃度過氧化氫水溶液之處理方法，其中該半批式反應器係設有一溫度感測器，藉以偵測該半批式反應器內之溫度並選擇性地停止所有處理程序。
  12. 如申請專利範圍第9至11項之任一項所述高濃度過氧化氫水溶液之處理方法，其中該半批式反應器係設有一過氧化氫濃度感測器，藉以偵測該半批式反應器內之過氧化氫濃度並選擇性地停止所有處理程序。
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