CN108203164A - 高浓度过氧化氢水溶液之处理方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种高浓度过氧化氢水溶液之处理方法，基于过氧化氢酶对过氧化氢之高催化特性，配合预先于一定容量之半批式反应器内置入水溶液及过氧化氢酶，然后添加浓度0.5％以上之过氧化氢水溶液，或同时添加0.5％以上之过氧化氢水溶液及过氧化氢酶，藉此让过氧化氢酶与高浓度过氧化氢水溶液反应，转化为过氧化氢酶与浓度较原先低之过氧化氢水溶液反应，进而有效降低半批式反应器之温升及压升速率，藉以能安全有效处理高浓度之过氧化氢水溶液。

Description

高浓度过氧化氢水溶液之处理方法

技术领域

本发明基于过氧化氢酶对过氧化氢之高催化特性，配合预先于一定容量之半批式反应器内置入水溶液及过氧化氢酶，然后添加高浓度(0.5％以上)的过氧化氢水溶液或同时添加高浓度过氧化氢水溶液(0.5％以上)及过氧化氢酶，藉此让原本过氧化氢酶与高浓度过氧化氢水溶液反应转化为过氧化氢酶与低浓度过氧化氢水溶液反应，进而降低半批式反应器的温度上升及压力上升速率，基于过氧化氢酶对过氧化氢之高催化特性，过氧化氢酶亦能有效处理低浓度过氧化氢水溶液，藉以安全有效处理高浓度之过氧化氢水溶液。

背景技术

目前一般在电子业的半导体制程中，过氧化氢(H₂O₂)为一种常用的化学品。因此在半导体制程中所产生的废水，占有一定比例是高浓度的过氧化氢水溶液，部份过氧化氢水溶液浓度更高达10％以上。由于高浓度过氧化氢水溶液具有较强的反应性及腐蚀性，必须有效降低过氧化氢水溶液浓度，以利于后续储存及其他附属物质回收再利用。

上述化学式中，其反应热可达到98KJ/mole，由于会放热衍生高温及产生氧气的特性，因此目前业界无法有效且快速安全处理大量高浓度(5％以上)之过氧化氢水溶液。

现有含过氧化氢排水之处理装置揭露一种即使为含有％级的较高浓度的过氧化氢的排水，亦可连续运转且进行安定且有效率的处理之构成简易且较为小型的过氧化氢水处理装置。过氧化氢水处理装置，使被处理水与过氧化氢分解触媒接触，将被处理水中的过氧化氢分解成氧与水而得处理水的过氧化氢水处理装置，其特征为具有：过氧化氢分解反应器，具有被处理水的导入口与处理水的排出口，在内部被填充有过氧化氢分解触媒；及气液分离器，被导入过氧化氢分解反应器的流出水，气液分离器由在上部连接排气配管、在下部连接排水配管的筒状容器所构成，在筒状容器的侧部被导入前述流出水。

处理装置所采用之过氧化氢分解触媒，将铂族金属担载在载体而成。铂族金属为平均粒子径1～50nm之铂族金属的奈米胶体粒子。载体为离子交换树脂。又排水的过氧化氢浓度则为0.1～5重量％。惟处理装置之处理方式只限用于5％以下的过氧化氢水溶液。处理装置亦未明确揭示有与本发明相同之技术特征及功效。

发明内容

本发明的目的在于提供一种高浓度过氧化氢水溶液之处理方法。

为达到上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种高浓度过氧化氢水溶液之处理方法，包括有下列步骤：A.于一定容量之半批式反应器内预先置入水溶液及过氧化氢酶形成过氧化氢酶混合水溶液。B.于半批式反应器内同时分别持续加入高浓度(0.5％以上)之过氧化氢水溶液及过氧化氢酶。C.过氧化氢水溶液被过氧化氢酶混合水溶液稀释后，同时与过氧化氢酶进行化学反应。

上述步骤A之水溶液及过氧化氢酶混合后形成过氧化氢酶混合水溶液，过氧化氢酶混合水溶液的添加量为半批式反应器之容量的10vol％至90vol％之间。

上述步骤A之过氧化氢酶之添加浓度则为过氧化氢酶混合水溶液之0.05vol％～2％。

上述步骤B之过氧化氢水溶液的添加量，以每分钟半批式反应器之容量的0.005vol％至2vol％之间的速率进行添加。

上述步骤B之过氧化氢酶之添加速率，为过氧化氢水溶液添加速率的0.05vol％～2％。

本发明一种高浓度过氧化氢水溶液之处理方法之第二种实施方式，包含有下列步骤：A、于一定容量之半批式反应器内预先置入水溶液及过氧化氢酶。B、于半批式反应器内持续加入高浓度(0.5％以上)之过氧化氢水溶液。C、当过氧化氢水溶液被水溶液稀释后，同时与过氧化氢酶进行化学反应。

上述步骤A之水溶液及过氧化氢酶混合后，形成过氧化氢酶混合水溶液，氧化氢酶混合水溶液的添加量为半批式反应器之容量的10vol％至90vol％之间。

上述步骤A之过氧化氢酶之添加量为半批式反应器容量之0.05vol％～2％。

上述步骤B之过氧化氢水溶液的添加量，以每分钟半批式反应器之容量的0.005vol％至2vol％之间的速率进行添加。

上述半批式反应器设有一压力传感器，藉以侦测半批式反应器内之压力达到正常工作压力(预设为14.7Psia)之120％时，则控制整个处理程序停止。

上述半批式反应器设有一温度传感器，藉以侦测半批式反应器内之温度达到设定温度(30℃)的120％时，则控制整个处理程序停止。

上述半批式反应器设有一过氧化氢浓度传感器，藉以侦测半批式反应器内之过氧化氢浓度达到0.25％时(较佳应控制在浓度0.125％以下)，则控制整个处理程序停止。

根据上述技术特征具有下列优点：

1、本发明基于过氧化氢酶对过氧化氢之高催化特性，配合预先于一定容量之半批式反应器内置入水溶液及过氧化氢酶，混合后形成过氧化氢酶混合水溶液，然后添加高浓度过氧化氢水溶液或同时分别添加高浓度之过氧化氢水溶液及过氧化氢酶，藉此让原本过氧化氢酶与高浓度之过氧化氢水溶液反应，转化为过氧化氢酶与低浓度之过氧化氢水溶液反应，进而有效降低半批式反应器之温升及压升速率，藉以能安全有效处理高浓度之过氧化氢水溶液。

2、化学反应的过程中具有较高的安全性。

3、可配合弹性调整半批式反应器的容量作为反应系统温度及压力缓冲，进而有效降低半批式反应器之温升及压升速率，以安全处理高浓度之过氧化氢水溶液。

4、可配合弹性调整半批式反应器的容量，以因应待处理高浓度过氧化氢水溶液所需的处理速率。

5、经数批反应后，处理前后的总体积差异小，即第一批进行反应需添加新置的水溶液，第一批之后(第二批，…)反应所需添加的水溶液可以用第一批反应后的混合水溶液做为所需添加的水溶液，因此通过过氧化氢酶对过氧化氢的高催化特性，通过让原本过氧化氢酶与高浓度过氧化氢水溶液反应转化为过氧化氢酶与低浓度过氧化氢水溶液反应，第一批新置水溶液体积占整体处理量比率随反应批数增加而降低，经数十批后，第一批新置水溶液体积占整体处理量比率可降至1％以下。

附图说明

图1为为本发明第一较佳实施例之操作流程图。

图2为本发明第一较佳实施例半批式反应器以「持续进，持续或间歇出」处理之示意图。

图3为本发明第二较佳实施例之操作流程图。

图4为本发明第二较佳实施例半批式反应器以「持续进，一次出」处理之示意图。

图5为本发明第三较佳实施例之操作流程图。

图6为本发明第三、四较佳实施例半批式反应器之处理反应示意图。

图7为本发明第四较佳实施例之操作流程图。

具体实施方式

请参阅图1、2所示，本发明第一较佳实施例包括有下列之步骤：

A、于一定容量X之半批式反应器1内预先置入水溶液及过氧化氢酶。利用一半批式(semi-batch)反应器1之内部具有一定之容量X，于本较佳实施例中，半批式反应器1之容量X以1000ml为例说明。于半批式反应器1内置入水溶液及过氧化氢酶，水溶液可为纯水。又水溶液及过氧化氢酶的添加量为半批式反应器1之容量X的10vol％至90vol％之间〔本说明书中vol％之单位均指体积百分比〕，又水溶液及过氧化氢酶经混合后，形成一过氧化氢酶混合水溶液2，过氧化氢酶混合水溶液2之添加量为100ml至900ml之间，本较佳实施例中，过氧化氢酶混合水溶液2之添加量为200ml，其中过氧化氢酶之添加浓度则为过氧化氢酶混合水溶液2之约为0.1vol％。同时半批式反应器1另外配置有一过氧化氢水溶液输入端11、一混合水溶液排放端12、一抽气端13、一压力传感器14、一温度传感器15、一水冷式散热装置16及一过氧化氢酶输入端17、过氧化氢浓度传感器18。其中过氧化氢水溶液输入端11，供输入一高浓度之过氧化氢水溶液，高浓度之过氧化氢水溶液中含有0.5％以上的过氧化氢。混合水溶液排放端12供排放半批式反应器1内经处理的混合水溶液(含少量的过氧化氢酶及过氧化氢)。抽气端13则将化学反应过程中所生成之氧气等气体抽离，抽气端13并配合设置有一释压阀，以防止半批式反应器1内之压力过大而发生危险。压力传感器14随时侦测半批式反应器1内之压力，于侦测到半批式反应器1内之压力达到正常工作压力(预设为14.7psia)之120％时(17.64psia)，则会自动控制整个处理程序停止，直到压力降回至预设的安全值时才能以手动(manual reset)方式继续进行处理程序。温度传感器15则随时侦测半批式反应器1内之温度，于侦测到半批式反应器1内之温度达到设定温度(如30℃，较佳之工作温度范围为15℃～45℃)之120％时(36℃)，则会自动控制整个处理程序停止，直到温度降回至安全值时才能以手动(manual reset)方式继续进行处理程序。过氧化氢浓度传感器18，藉以侦测半批式反应器1内之过氧化氢浓度达到0.25％时(较佳的浓度控制在0.125％以下)，则会自动控制整个处理程序停止。水冷式散热装置16设有一导入冷凝水之入口161及排出冷凝水之出口162，藉以能够降低半批式反应器1于化学反应过程中所产生之热能。又可经由过氧化氢酶输入端17添加过氧化氢酶进入至半批式反应器1内。

B、于半批式反应器1内同时分别持续加入浓度0.5％以上之过氧化氢水溶液及过氧化氢酶，本较佳实施例中，过氧化氢水溶液之浓度以36％为限。如果以每1ml之过氧化氢酶可以处理1000ml高浓度之过氧化氢水溶液为例，过氧化氢酶之添加速率约为高浓度过氧化氢水溶液添加速率的0.05％～2％，本较佳实施例以高浓度(5％以上)过氧化氢水溶液添加速率为5ml/min.，因此过氧化氢酶之添加速率为0.0025ml/min.～0.1ml/min.。如以过氧化氢酶之添加速率为0.005ml/min.，经由过氧化氢酶输入端17添加进入至半批式反应器1内做为说明，并经由过氧化氢水溶液输入端11输入高浓度之过氧化氢水溶液进入至半批式反应器1内，过氧化氢水溶液之添加量，以每分钟半批式反应器1容量X之0.01vol％至2vol％之间的速率进行添加，本较佳实施例以每分钟添加5ml的速率(5ml/min.)为例说明。

C、高浓度(0.5％以上)过氧化氢水溶液被水溶液稀释后，同时与过氧化氢酶进行化学反应，并持续或间歇排出半批式反应器1内经处理一定量的混合水溶液量。于半批式反应器1内所加入的高浓度(0.5％以上)之过氧化氢水溶液，于半批式反应器1内被过氧化氢酶混合水溶液2内所含之水溶液稀释成一较低浓度之过氧化氢水溶液，基于过氧化氢酶处理过氧化氢水溶液之高催化特性，较低浓度之过氧化氢水溶液与过氧化氢酶混合水溶液2中所混合之过氧化氢酶进行化学反应，以有效去除溶液中之过氧化氢，并且生成水、氧气及热能。所生成之氧气将由抽气端13排出。所生成之热能，将会经由水冷式散热装置16之入口161导入冷凝水及出口162排出冷凝水，藉以降低半批式反应器1于化学反应过程中所产生之热能，予以散热降温。另利用压力传感器14、温度传感器15、过氧化氢浓度传感器18，随时侦测化学反应过程中半批式反应器1内之压力、温度、浓度，藉以确保化学反应过程之安全。由于化学反应过程中所生成的水，会与过氧化氢酶混合水溶液2混合。因此在加入高浓度之过氧化氢水溶液的同时，亦可同时经由混合水溶液排放端12排放半批式反应器1内经处理的混合水溶液(含少量的过氧化氢酶及过氧化氢)，并使半批式反应器1保持有200ml以上的水溶液量。

本发明上述的处理程序，以「持续进，持续或间歇出」的处理模式进行，此为本发明可行的实施例之一。亦即在处理过程中分别持续的输入高浓度(0.5％以上)过氧化氢水溶液及过氧化氢酶，同时也持续或间歇排放出半批式反应器1中的混合水溶液，因此本较佳实施例之处理程序可以持续不间断的进行，无须中途停机补充添加相关溶液，故可大幅提升高浓度(5％以上)之过氧化氢水溶液的处理效能。

本较佳实施例可进一步配合弹性调整半批式反应器1的容量X，以作为反应系统温度及压力的缓冲，进而有效降低半批式反应器1之温升及压升速率，以安全处理高浓度过氧化氢水溶液，以及可因应待处理高浓度过氧化氢水溶液所需的处理速率。

又本发明基于过氧化氢酶处理过氧化氢水溶液之高催化特性，配合一种预先于一定容量X之半批式反应器1内置入水溶液及过氧化氢酶所混合形成之一过氧化氢酶混合水溶液2，然后同时分别添加高浓度(0.5％以上)之过氧化氢水溶液及过氧化氢酶，藉此让过氧化氢酶混合水溶液2与高浓度(0.5％以上)过氧化氢水溶液反应转化为过氧化氢酶与低浓度之过氧化氢水溶液反应，进而有效降低半批式反应器1之温升及压升速率，藉以安全有效处理高浓度之过氧化氢水溶液。如此，可避免大量的高浓度(0.5％以上)过氧化氢水溶液直接与过氧化氢酶混合水溶液2进行反应，衍生高压高温爆炸危害。再利用过氧化氢酶对过氧化氢之高催化特性，即使过氧化氢酶浓度约0.1％，仍然可以与经过稀释的高浓度之过氧化氢水溶液进行反应，且半批式反应器1内之过氧化氢水溶液的浓度均可保持在0.25％以下，故可证明本实施例确实安全可行。

请参阅图3、4所示，本发明之第二较佳实施例，包括有下列步骤：

A、于一定容量X之半批式反应器1内预先置入水溶液及过氧化氢酶。利用半批式反应器1内部具有一定容量X的特性，于半批式反应器1内置入有水溶液及过氧化氢酶混合后所形成之一过氧化氢酶混合水溶液2。本较佳实施例中，半批式反应器1之容量X以1000ml为例说明。过氧化氢酶混合水溶液2之添加量为半批式反应器1之容量X的10vol％至90vol％之间，本较佳实施例中，过氧化氢酶混合水溶液2之添加量以200ml为例说明。过氧化氢酶之添加量为半批式反应器1容量X之约为0.1vol％，即过氧化氢酶之添加量约为1ml。

B、于半批式反应器1内持续加入浓度0.5％以上之一过氧化氢水溶液。过氧化氢水溶液之添加量以每分钟半批式反应器1容量X之0.005vol％至2vol％之间的速率进行添加，本较佳实施例以每分钟添加5ml的速率(5ml/min.)为例说明，并经由过氧化氢水溶液输入端11输入高浓度(0.5％以上)之过氧化氢水溶液进入半批式反应器1内。

C、过氧化氢水溶液被水溶液稀释后，同时与过氧化氢酶进行化学反应。于半批式反应器1内所加入的高浓度过氧化氢水溶液，会被过氧化氢酶混合水溶液2内所含之水溶液稀释成一低浓度之过氧化氢水溶液，同时低浓度之过氧化氢水溶液再与过氧化氢酶混合水溶液2中所混合之过氧化氢酶进行化学反应，以有效去除溶液中之过氧化氢，并且生成水、氧气及热能。所生成之氧气将由抽气端13排出。所生成之热能将会经由水冷式散热装置16之入口161导入冷凝水，以及经由出口162排出冷凝水予以散热降温。另利用压力传感器14、温度传感器15、过氧化氢浓度传感器18，随时侦测化学反应过程中半批式反应器1内之压力、温度及浓度是否保持在安全值内，藉以确保化学反应过程之安全。

D、于处理程序结束后，一次排出半批次反应器1内经处理一定量的混合水溶液量。由于本发明化学反应过程中所生成的水会与过氧化氢酶混合水溶液2混合。因此，当生成混合后之水溶液量达到半批式反应器1之容量X的90vol％时，则为一个处理程序循环的结束，即处理700ml高浓度(0.5％以上)之过氧化氢水溶液大约需要140分钟。处理完成后即会经由混合水溶液排放端12一次排出半批式反应器1内经处理的混合水溶液(含少量的过氧化氢酶及过氧化氢)，经排放至半批式反应器1之容量X的20vol％剩余水溶液量时即停止排放，即半批式反应器1内之剩余水溶液量为200ml时即停止排放。如此，无庸再添加任何水溶液，只需适时添加半批式反应器1容量X之约为0.07vol％的过氧化氢酶做为补充，即可再重新进行下一次处理程序的循环。

基于过氧化氢酶处理过氧化氢水溶液之高催化特性，配合预先于一定容量X之半批式反应器1内置入水溶液及过氧化氢酶所混合形成之过氧化氢酶混合水溶液2，然后再同时分别添加浓度0.5％以上之过氧化氢水溶液，藉此让过氧化氢酶混合水溶液2与高浓度(0.5％以上)过氧化氢水溶液反应转化为过氧化氢酶与低浓度之过氧化氢水溶液反应，进而有效降低半批式反应器1之温升及压升速率，藉以能安全有效处理高浓度之过氧化氢水溶液。如此，可以避免大量的高浓度过氧化氢水溶液直接与过氧化氢酶混合水溶液2进行反应，衍生高压高温爆炸危害。再利用过氧化氢酶对过氧化氢之高催化特性，即使过氧化氢酶浓度约0.1％，仍然可以与经过稀释的高浓度之过氧化氢水溶液进行反应，且半批式反应器1内之过氧化氢水溶液的浓度均可保持在0.25％以下，故可证明本较佳实施例确实安全可行。

本发明上述的处理程序，以「持续进，一次出」的处理模式进行，亦即在处理过中持续的输入高浓度(0.5％以上)过氧化氢水溶液，等到一个处理程序循环结束后，才将生成的水溶液量达到半批式反应器1之容量X的90vol％时，予以一次排放至剩余半批式反应器1之容量X的20vol％水溶液量时才停止，此亦为本发明可行的较佳实施例之一。

请参阅图5、6所示，本发明第三实施例包括下列步骤：

A、于一定容量X之半批式反应器1内预先置入水溶液3。利用半批式反应器1之内部具有一定容量X的特性，本较佳实施例中，半批式反应器1之容量X以1000ml为例说明。于半批式反应器1内置入水溶液3，水溶液3选用纯水。又水溶液3之添加量为半批式反应器1容量X的10vol％至45vol％之间，本较佳实施例中，以水溶液3之添加量为200ml。同时半批式反应器1另外配置有一过氧化氢水溶液输入端11、一混合水溶液排放端12、一抽气端13、一压力传感器14、一温度传感器15、一水冷式散热装置16及一过氧化氢酶输入端17。水冷式散热装置16设有一导入冷凝水之入口161及排出冷凝水之出口162。

B、于半批式反应器1内同时分别持续加入浓度0.5％以上之过氧化氢水溶液及过氧化氢酶。过氧化氢酶初期之添加速率，为高浓度(0.5％以上)过氧化氢水溶液添加速率的0.2％，本较佳实施例中，高浓度(0.5％以上)过氧化氢水溶液添加速率为5ml/min，因此过氧化氢酶之添加速率为0.01ml/min.。当半批式反应器1内所有溶液的累积总量大于预置水溶液3的2倍以上时，过氧化氢酶之添加速率可以调整至约为高浓度过氧化氢水溶液添加速率的0.1％，即过氧化氢酶之添加速率降为0.005ml/min.。

C、过氧化氢水溶液被水溶液3稀释后，同时与过氧化氢酶进行化学反应，当半批式反应器1内混合水溶液达到所添加水溶液3量的两倍时，以持续或间歇方式排出半批式反应器1内经处理一定量的混合水溶液量。于半批式反应器1内所加入的浓度0.5％以上之过氧化氢水溶液，会于半批式反应器1内被水溶液3稀释成一较低浓度之过氧化氢水溶液，基于过氧化氢酶处理过氧化氢水溶液之高催化特性，低浓度之过氧化氢水溶液与过氧化氢酶进行化学反应，以有效去除溶液中之过氧化氢，并且生成水、氧气及热能。当半批式反应器1达400ml(原本水溶液3添加量之2倍)以上的混合水溶液量时，系统可开始经由混合水溶液排放端12排放半批式反应器1内经处理的混合水溶液(含少量的过氧化氢酶及过氧化氢)，本实施例为「持续进，达一定量后持续或间歇出」的处理模式。

如图6、7所示，为本发明第四实施例，第四实施例之实施步骤与前述第三较佳实施例大致相同，唯一不同处在于最终的排液方式。本较佳实施例之排液方式与前述第二较佳实施例相同，皆于处理程序结束后，一次排出半批次反应器1内经处理一定量的混合水溶液量。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明公开的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (13)

1.一种高浓度过氧化氢水溶液之处理方法，其特征在于包含有下列步骤：

A、于一定容量之半批式反应器内预先置入水溶液及过氧化氢酶，经混合后形成过氧化氢酶混合水溶液；

B、于该半批式反应器内同时分别持续加入浓度0.5％以上之过氧化氢水溶液及过氧化氢酶；

C、该过氧化氢水溶液被该过氧化氢酶混合水溶液稀释后，同时与该过氧化氢酶进行化学反应，以有效去除溶液中之过氧化氢，并且生成水、氧气及热能；当化学反应进行中，若该半批式反应器中之压力、温度以及过氧化氢浓度，任一数据超过默认值时，该半批式反应器选择性地暂停所有处理程序。

2.根据权利要求1所述高浓度过氧化氢水溶液之处理方法，其特征在于步骤A之水溶液及过氧化氢酶混合后形成过氧化氢酶混合水溶液，过氧化氢酶混合水溶液的添加量为半批式反应器之容量的10vol％至90vol％之间。

3.根据权利要求2所述高浓度过氧化氢水溶液之处理方法，其特征在于步骤A之过氧化氢酶之添加浓度则为过氧化氢酶混合水溶液之0.05vol％～2vol％。

4.根据权利要求3所述高浓度过氧化氢水溶液之处理方法，其特征在于步骤B之过氧化氢水溶液的添加速率以每分钟半批式反应器之容量的0.005vol％至2vol％之间的速率进行添加。

5.根据权利要求4所述高浓度过氧化氢水溶液之处理方法，其特征在于步骤B之过氧化氢酶之添加速率为过氧化氢水溶液添加速率的0.05％～2vol％。

6.一种高浓度过氧化氢水溶液之处理方法，其特征在于包含有下列步骤：

A、于一定容量之半批式反应器内预先置入水溶液及过氧化氢酶，混合后形成过氧化氢酶混合水溶液；

B、于半批式反应器内持续加入浓度0.5％以上之过氧化氢水溶液；

C、过氧化氢水溶液被过氧化氢酶混合水溶液稀释后，同时与过氧化氢酶进行化学反应，以有效去除溶液中之过氧化氢，并且生成水、氧气及热能；当化学反应进行中，若半批式反应器中之压力、温度以及过氧化氢浓度，任一数据超过默认值时，半批式反应器选择性地暂停所有处理程序。

7.根据权利要求6所述高浓度过氧化氢水溶液之处理方法，其特征在于步骤A之水溶液及过氧化氢酶混合后形成过氧化氢酶混合水溶液，过氧化氢酶混合水溶液的添加量为半批式反应器容量的10vol％至90vol％之间。

8.根据权利要求7所述高浓度过氧化氢水溶液之处理方法，其特征在于步骤A之过氧化氢酶添加量为半批式反应器容量的0.05vol％～2vol％。

9.根据权利要求8所述高浓度过氧化氢水溶液之处理方法，其特征在于步骤B之过氧化氢水溶液的添加量以每分钟半批式反应器之容量的0.005vol％至2vol％之间的速率进行添加。

10.一种高浓度过氧化氢水溶液之处理方法，其特征在于包含有下列步骤：

A、于一定容量之半批式反应器内预先置入水溶液；

B、于半批式反应器内同时分别持续加入浓度0.5％以上之过氧化氢水溶液及过氧化氢酶；

C、过氧化氢水溶液被水溶液稀释后，同时与过氧化氢酶进行化学反应，以有效去除溶液中之过氧化氢，并且生成水、氧气及热能；当化学反应进行中，若半批式反应器中之压力、温度以及过氧化氢浓度，任一数据超过默认值时，半批式反应器选择性地暂停所有处理程序。

11.根据权利要求10所述高浓度过氧化氢水溶液之处理方法，其特征在于步骤A之水溶液的添加量为半批式反应器容量的10vol％至45vol％之间。

12.根据权利要求10所述高浓度过氧化氢水溶液之处理方法，其特征在于步骤B之过氧化氢水溶液的添加量以每分钟半批式反应器之容量的0.005vol％至2vol％之间的速率进行添加。

13.根据权利要求12所述高浓度过氧化氢水溶液之处理方法，其特征在于步骤B之过氧化氢酶初期的添加速率为高浓度过氧化氢水溶液添加速率的0.1％～4％，当半批式反应器内所有溶液的累积总量大于预置水溶液的2倍以上时，过氧化氢酶之添加速率调整至高浓度过氧化氢水溶液添加速率的0.05％～2％。