TWI628690B - 惰性氣體注入裝置及惰性氣體注入方法 - Google Patents

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Abstract

本發明之保管架用惰性氣體注入裝置是在未下達停止無效指令之普通停止狀態中，檢測出檢查門之開啟狀態時，使對容器之惰性氣體之供給停止，在下達停止無效指令之停止無效狀態中，檢測出檢查門之開啟狀態時，使依據檢測前供給型式之惰性氣體的供給繼續並且禁止以人工操作變更用以訂定檢測前供給型式之參數。

Description

惰性氣體注入裝置及惰性氣體注入方法 發明領域
本發明是有關於一種惰性氣體注入裝置及利用此種惰性氣體注入裝置之惰性氣體注入方法，該惰性氣體注入裝置包含有保管架、及注入部，該保管架具有收納用以收納基板之容器之收納部，並設置於與外部區隔形成之保管空間內；該注入部以在收納於前述收納部之狀態下可從排氣口將容器內之氣體排出至前述保管空間內之前述容器為對象，從該容器之供氣口將惰性氣體注入至前述容器之內部。
發明背景
此保管架用惰性氣體注入裝置為了抑制粒子附著於基板(例如半導體晶圓)且抑制基板(例如半導體晶圓)因氧或溫度從適當狀態惡化，而將惰性氣體注入收納基板之容器。
亦即，隨著從收納基板之容器之供氣口注入惰性氣體，形成為將容器內之氣體從排氣口等排出至保管空間內而以注入之惰性氣體充滿容器內之狀態。因此，可抑制粒子附 著於基板(例如半導體晶圓)及基板(例如半導體晶圓)因氧或濕度從適當狀態惡化。
此保管用惰性氣體注入裝置之一例有於箱形保管庫內將作為收納部之保管部縱橫排列設置並於各保管部裝備有供給作為惰性氣體之氮氣之氣體供給管的保管用惰性氣體注入裝置(例如參照日本專利公開公報2001-338971號(專利文獻1))。
此外，專利文獻1無詳細之說明，箱形保管庫內相當於與外部區隔形成之保管空間，而可從容器將氮氣排出至此箱形保管庫內。
發明概要
在保管架用惰性氣體注入裝置中，為進行各種檢查作業，一般於保管空間內設供作業員進出之檢查門。
又，如此設檢查門時，於作業員位於保管空間內時，為抑制從收納於收納部之容器之排氣口將惰性氣體排出至保管空間內，當開啟檢查門時，考慮停止惰性氣體之供給。
然而，當開啟檢查門時，僅是停止惰性氣體之供給時，便無法進行在對收納於收納部之容器之供氣口之惰性氣體的供給狀態、從容器之排氣口之惰性氣體之排出狀態等供給惰性氣體之狀態下的檢查。因此，當開啟檢查門時，除了停止惰性氣體之供給，還期望即使開啟檢查門亦可呈現繼續惰性氣體之供給之狀態。
又，作業員開啟檢查門，進入保管空間內，檢查惰性氣體之供給狀態等時，例如當在作業員未辨識之狀態下，變更惰性氣體之供給狀態時，有妨礙供給狀態之檢查或在保管空間內之惰性氣體之排出量增加之虞。
是故，要求除了可進行在停止惰性氣體之供給之狀態下之檢查作業外還可進行在不致在檢查作業中變更惰性氣體之供給之狀態下的檢查作業之保管架用惰性氣體注入裝置。
本發明之惰性氣體注入裝置包含有以下：保管架、注入部、注入控制部、檢查門開關檢測部、及人工操作式之停止無效指令部，該保管架具有收納用以收納基板之容器之收納部，並設置於與外部區隔形成之保管空間內；該注入部以在收納於前述收納部之狀態下可從排氣口將容器內之氣體排出至前述保管空間內之前述容器為對象，從該容器之供氣口將惰性氣體注入至前述容器之內部；該注入控制部依據以預先設定之參數訂定之供給型式，控制前述注入部之作動，以控制對前述容器之惰性氣體之供給；該檢查門開關檢測部檢測供作業員進出前述保管空間之檢查門之開關狀態；該人工操作式停止無效指令部下達停止無效指令；在此，前述注入控制部構造成在未從前述停止無效指令部下達前述停止無效指令之狀態、即普通停止狀態中，以前述檢查門開關檢測部檢測出前述檢查門之開啟狀態時，中止依據檢測該檢查門之開啟狀態前所執行之前述供給型式、即檢測前供給型式的惰性氣體之供給控制，以 使對前述容器之惰性氣體之供給停止，在從前述停止無效指令部下達前述停止無效指令之狀態、即停止無效狀態中，以前述檢查門開關檢測部檢測出前述檢查門之開啟狀態時，使依據前述檢測前供給型式之惰性氣體之供給繼續，同時，禁止用以訂定前述檢測前供給型式之參數之人工操作進行的變更。
根據此結構，在未以停止無效指令部下達停止無效指令之普通停止狀態中，當以檢查門開關檢測部檢測出檢查門之開啟狀態時，中止依據於檢查門形成為開啟狀態前所執行之供給型式之惰性氣體的供給控制，以停止對容器之惰性氣體之供給。另一方面，在以停止無效指令部下達停止無效指令之停止無效狀態中，即使以檢查門開關檢測部檢測出檢查門之開啟狀態，亦可繼續依據檢查門形成為開啟狀態前所執行之供給型式的惰性氣體之供給，並且禁止以人工操作變更訂定供給型式之參數。
因而，進行檢查作業為在對收納於收納部之容器之供氣口之惰性氣體的供給狀態及從容器之排氣口之惰性氣體的排出狀態等供給惰性氣體之狀態下之檢查之際，藉作業員操作停止無效指令部，下達停止無效指令，即使開啟檢查門，亦可實現繼續依據檢查門形成為開啟狀態前所執行之供給型式的對容器之惰性氣體之供給的狀態，而可以依據繼續對容器之惰性氣體之供給的供給型式之供給狀態，進行檢查作業。
此時，例如即使在保管空間外之其他作業員欲變 更訂定惰性氣體之供給型式之參數，由於該參數之變更受到禁止，故不變更惰性氣體之供給狀態。是故，可防止在保管空間內之作業員未辨識之狀態下，變更惰性氣體之供給狀態，而妨礙供給狀態之檢查，或對保管空間內之惰性氣體之排出量增加。
另一方面，當檢查作業不需對容器之惰性氣體之供給時，作業員在不使停止無效指令部下達停止無效指令之狀態下，開啟檢查門，藉此，停止對容器之惰性氣體之供給，而可在停止對容器之惰性氣體之供給之狀態下，進行檢查作業。
因而，可提供一種保管架用惰性氣體裝置，其除了進行在停止惰性氣體之供給之狀態下的檢查作業外，還可進行不於檢查作業中變更檢查門形成為開啟狀態前所執行之供給型式之惰性氣體的供給而繼續之狀態下之檢查作業。
本發明之惰性氣體注入裝置之技術性特徵亦可適用於惰性氣體注入方法，本發明也可將該種方法作為權利之對象。在此惰性氣體注入方法中，亦可獲得上述惰性氣體注入裝置之作用效果。
即，本發明之惰性氣體注入方法是利用惰性氣體注入裝置之方法，前述惰性氣體注入裝置包含有保管架、注入部、注入控制部、檢查門開關檢測部及停止無效指令部，該保管架具有收納用以收納基板之容器之收納部，並設置於與外部區隔形成之保管空間內；該注入部以在收納於前 述收納部之狀態下可從排氣口將容器內之氣體排出至前述保管空間內之前述容器為對象，從該容器之供氣口將惰性氣體注入至前述容器之內部；該注入控制部依據以預先設定之參數訂定之供給型式，控制前述注入部之作動，以控制對前述容器之惰性氣體之供給；該檢查門開關檢測部檢測供作業員進出前述保管空間之檢查門之開關狀態；該人工操作式停止無效指令部下達停止無效指令；前述惰性氣體注入方法具有以前述注入控制部執行之以下步驟：注入控制步驟，該注入控制部步驟在未從前述停止無效指令部下達前述停止無效指令之狀態、即普通停止狀態中，以前述檢查門開關檢測部檢測出前述檢查門之開啟狀態時，中止依據於檢測該檢查門之開啟狀態前所執行之前述供給型式、即檢測前供給型式的惰性氣體之供給控制，以使對前述容器之惰性氣體之供給停止，在從前述停止無效指令部下達前述停止無效指令之狀態、即停止無效狀態中，以前述檢查門開關檢測部檢測出前述檢查門之開啟狀態時，使依據前述檢測前供給型式之惰性氣體之供給繼續，同時，禁止用以訂定前述檢測前供給型式之參數之人工操作進行的變更。
以下，就本發明之較佳實施形態之例作說明。
在本發明之惰性氣體注入裝置之實施形態中，前述注入控制部宜構造成在前述停止無效狀態中，檢測出前述檢查門之開啟狀態時，進一步禁止以外部之遙控操作變更用以訂定前述檢測前供給型式之參數。
由於外部之遙控操作不易辨識作業員之作業狀態，故有不管作業員之作業狀態而變更訂定供給型式之參數之可能性。因此，舉例言之，作業員在保管空間內時，有因外部之遙控操作而產生對保管空間內之惰性氣體之排出量遽增的情況之虞。根據上述結構，在繼續依據檢測前供給型式之對容器之惰性氣體之供給的狀態下，作業員在保管空間內進行檢查之際，即使欲藉外部之遙控操作，變更訂定檢測前供給型式之參數，由於該參數之變更受到禁止，故可不變更參數。是故，可防止在作業員完全不辨識之狀態下，以外部之遙控操作，變更惰性氣體之供給狀態，而妨礙供給狀態之檢查，或對保管空間內之惰性氣體之排出量增加。
又，在本發明之惰性氣體注入裝置之實施形態中，宜更包含有檢測前述保管空間內之氧濃度之氧濃度檢測感測器，前述注入控制部構造成在前述停止無效狀態中使依據前述檢測前供給型式之惰性氣體之供給繼續時，當以前述氧濃度檢測感測器檢測之氧濃度未滿預先訂定之設定值時，便中止依據前述檢測前供給型式之惰性氣體之供給控制，以使對前述容器之惰性氣體之供給停止。
根據此結構，於在停止無效狀態中繼續依據檢查門形成為開啟狀態前所執行之供給型式之惰性氣體的供給之際，當以氧濃度檢測感測器檢測之氧濃度未滿設定值時，便中止依據檢查門形成為開啟狀態所執行之供給型式之惰性氣體的供給控制，以停止對容器之惰性氣體之供給。
因而，在停止無效狀態中，因從容器之排氣口等將惰性氣體排出至保管空間內，保管空間內之氧濃度未滿設定值時，停止對容器之惰性氣體之供給，而可確保作業員之安全。
亦即，保管空間為方便將從容器排出之氣體釋放至外部，並非完全密閉，適宜開放為可與外部空間通氣之狀態。又，於進行檢查作業時，檢查門大多維持在開啟狀態，即使從容器之排氣口等將惰性氣體排出至保管空間內，保管空間內之氧濃度也不致極端降低而未滿設定值。然而，萬一保管空間內之氧濃度未滿設定值時，使對容器之惰性氣體之供給停止，而可適當地確保作業員之安全性。
又，在本發明之惰性氣體注入裝置之實施形態中，前述注入控制部宜構造成在前述停止無效狀態中使依據前述檢測前供給型式之惰性氣體之供給繼續時，使通知作業員繼續惰性氣體之供給之通知部作動。
根據此結構，即使在停止無效狀態中，以檢查門開關檢測部檢測出檢查門之開啟狀態，亦可於繼續依據檢查門形成為開啟狀態前所執行之供給型式之惰性氣體的供給之際，以通知部通知作業員繼續惰性氣體之供給。
因而，由於作業員於在保管用空間內進行檢查作業之際，可正確地辨識對容器之惰性氣體之供給，故可在辨識出繼續對容器之惰性氣體之供給的狀態下，順利地進行檢查作業。
此外，通知部可使用對作業員攜帶之行動電話等 行動終端通知繼續惰性氣體之供給的結構或於檢查門附近設揚聲器來通知繼續惰性氣體之供給之結構等。
又，在本發明之惰性氣體注入裝置之實施形態中，前述注入控制部宜構造成於從前述停止無效指令部下達前述停止無效指令時，設定為前述停止無效狀態，於設定為前述停止無效狀態後，即使經過預先訂定之設定時間，仍未以前述檢查門開關檢測部檢測出前述檢查門之開啟狀態時，便解除前述停止無效狀態，切換為前述普通停止狀態。
根據此結構，以停止無效指令部下達停止無效指令，即使設定為停止無效狀態，之後，即使經過設定時間，仍未以檢查門開關檢測部檢測出檢查門之開啟狀態時，則解除停止無效狀態，切換為普通停止狀態。
因而，為了作業員可進行在繼續對容器之惰性氣體之供給之狀態下的檢查作業，即使以停止無效指令部，下達停止無效指令，之後，因實際情況中止檢查作業時等，由於自動地解除停止無效狀態而切換為普通停止狀態，故可避免不必要地繼續停止無效狀態。
當為無限制地繼續停止無效狀態之結構時，有下述之虞，即，未察覺呈停止無效狀態之作業員認定因是普通停止狀態，若使檢查門呈開啟狀態，則應中止惰性氣體之供給，而未察覺停止無效狀態便逕自進入保管用空間內。此時，無預警地發生即使作業員開啟檢查門也不中止惰性氣體之供給而繼續對容器之惰性氣體之供給的狀態。此點，根據上述結構，由於設定為停止無效狀態後，檢查門不致 逕形成為開啟狀態，當經過預先訂定之設定時間時，便解除停止無效狀態，切換為普通停止狀態，故實際可抑制發生下述情況，前述情況是儘管為停止無效狀態，但作業員仍未察覺到為停止無效狀態而進入保管用空間內。
又，在本發明之惰性氣體注入裝置之實施形態中，前述停止無效指令部宜構造成可將操作體操作至操作解除位置或無效指令位置，於前述操作體被操作至前述無效指令位置時，下達前述停止無效指令，前述操作體被賦與復位至前述操作解除位置之勢能。
根據此結構，藉將操作體從操作解除位置操作至無效指令位置，可下達停止無效指令。又，由於操作至無效指令位置之操作體若放開手指，便以賦與復位勢能力返回操作解除位置，故可防止操作體在被操作至無效指令位置之狀態下放置。是故，可避免不必要地繼續停止無效狀態。
又，如上述，設定停止無效狀態後，即使在不開啟檢查門之狀態下，經過設定時間，逕解除停止無效狀態，自動地切換為普通停止狀態，操作體仍保持於無效指令位置時，有作業員誤判為停止無效狀態之虞。然而，根據上述結構，由於操作體藉賦與復位勢能力返回操作解除位置，故可避免作業員誤判為停止無效狀態。
又，在本發明之惰性氣體注入方法之實施形態中，在前述注入控制步驟，在前述停止無效狀態中，檢測出前述檢查門之開啟狀態時，宜進一步禁止以外部之遙控操作 變更用以訂定前述檢測前供給型式之參數。
又，在本發明之惰性氣體注入方法之實施形態中，前述惰性氣體注入裝置宜更包含有檢測前述保管空間內之氧濃度之氧濃度檢測感測器，在前述注入控制步驟，在前述停止無效狀態中使依據前述檢測前供給型式之惰性氣體之供給繼續時，當以前述氧濃度檢測感測器檢測之氧濃度未滿預先訂定之設定值時，中止依據前述檢測前供給型式之惰性氣體之供給控制，以使對前述容器之惰性氣體之供給停止。
又，在本發明之惰性氣體注入方法之實施形態中，在前述注入控制步驟，在前述停止無效狀態中使依據前述檢測前供給型式之惰性氣體之供給繼續時，宜使通知作業員繼續惰性氣體之供給之通知部作動。
又，在本發明之惰性氣體注入方法之實施形態中，在前述注入控制步驟，宜於從前述停止無效指令部下達前述停止無效指令時，設定為前述停止無效狀態，於設定為前述停止無效狀態後，即使經過預先訂定之設定時間，仍未以前述檢查門開關檢測部檢測出前述檢查門之開啟狀態時，便解除前述停止無效狀態，切換為前述普通停止狀態。
又，在本發明之惰性氣體注入方法之實施形態中，前述停止無效指令部宜構造成可將操作體操作至操作解除位置或無效指令位置，於前述操作體被操作至前述無效指令位置時，下達前述停止無效指令，前述操作體被賦與復位至前述操作解除位置之勢能。
1‧‧‧惰性氣體注入裝置
10‧‧保管架
10a‧‧‧載置支撐部
10b‧‧‧定位銷
10i‧‧‧吐出噴嘴
10o‧‧‧排出用通氣體
10z‧‧‧庫存感測器
10S‧‧‧收納部
20‧‧‧堆高式起重機
21‧‧‧行走台車
22‧‧‧柱
23‧‧‧上部框架
24‧‧‧升降台
25‧‧‧移載裝置
25A‧‧‧載置支撐體
40‧‧‧質量流量控制器
50‧‧‧搬送容器
50i‧‧‧供氣口
50o‧‧‧排氣口
51‧‧‧殼體
52‧‧‧，頂凸緣
53‧‧‧基板支撐體
55‧‧‧檢查門
56‧‧‧操作體
57A‧‧‧通信器
57B‧‧‧行動終端
A‧‧‧操作解除位置
B‧‧‧無效指令位置
C‧‧‧電腦
CV‧‧‧入庫出庫輸送機
D‧‧‧吊車式搬送車
DS‧‧‧顯示裝置
G‧‧‧引導軌道
H‧‧‧注入控制部
HS‧‧‧控制台
K‧‧‧壁體
Li‧‧‧供給配管
Lo‧‧‧排出管
Ls‧‧‧流入配管
L1‧‧‧初始目標流量
L2，L3‧‧‧保管目標流量
L4‧‧‧噴嘴淨化目標流量
L5‧‧‧清潔目標流量
N‧‧‧注入部
P‧‧‧可程式邏輯控制器
S1‧‧‧檢查門開關檢測感測器
S2‧‧‧氧濃度檢測感測器
SW‧‧‧停止無效指令開關
T1‧‧‧初始期間
T3‧‧‧啟動期間
T4‧‧‧關閉期間
T5‧‧‧淨化期間
T6‧‧‧清潔期間
Vi‧‧‧手動操作式開關閥
W‧‧‧半導體晶圓
#01-#08‧‧‧步驟
#11-#19‧‧‧步驟
圖1是具有本發明實施形態之保管架之物品保管設備的縱斷正面圖，圖2是本發明實施形態之物品保管設備之剖切側視圖，圖3是本發明實施形態之收納部之立體圖，圖4是顯示本發明實施形態之注入部及注入控制部之概略結構的說明圖，圖5A至圖5D是顯示本發明實施形態之供給型式之說明圖，圖6是用以說明本發明實施形態之注入控制部之處理的流程圖，圖7是用以說明本發明實施形態之注入控制部之處理的流程圖。
用以實施發明之形態
就本發明之保管架用惰性氣體注入裝置1(以下稱為惰性氣體注入裝置1)之實施形態作說明。
惰性氣體注入裝置1包含有保管用以收容基板之搬送容器50(以下簡稱為容器)之保管架10、將惰性氣體注入至保管於保管架10之容器50之內部的注入部N。在本實施形態中，保管架10構成物品保管設備之一部份。以下說明細節。
1.物品保管設備
如圖1及圖2所示，物品保管設備包含有保管用以將基 板以密閉狀態收容之容器50的保管架10、作為搬送部之堆高式起重機20及作為容器50之入庫出庫部之入庫出庫輸送機CV。
保管架10及堆高式起重機20配設於以壁體K與外部區隔形成之保管空間內，入庫出庫輸送機CV以貫穿壁體K之狀態配設。
保管架10將作為用以支撐容器50之支撐部的收納部10S以於上下方向及左右方向排列之狀態備有複數個，而構造成於複數個收納部10S分別收納容器50，其細節後述。
又，在本實施形態中，如圖1所示，於設置有物品保管設備之無塵室之天花板部裝備沿著舖設之引導軌道G行走之吊車式搬送車D，而構造成藉此吊車式搬送車D，對入庫出庫輸送機CV搬入及搬出容器50。
1-1.容器50
容器50是依據SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International：國際半導體設備暨材料產業協會)規格之合成樹脂製氣密容器，用於收納作為基板之半導體晶圓W(參照圖4)，稱為FOUP(Front Opening Unified Pod：前開口式通用容器)。又，雖省略詳細的說明，於容器50之前面形成以裝卸自如之蓋體開關之基板進出用開口，如圖1所示，於容器50之上面形成有以吊車式搬送車D握持之頂凸緣52(參照圖4)，且於容器50之底面形成有供定位銷10b(參照圖3)卡合之3個卡合溝(圖中未示)。
即，如圖4所示，容器50由具有於內部上下方向自由載置複數個半導體晶圓W之基板支撐體53的殼體51及圖中未示之蓋體構成，而構造成在於殼體51裝設有蓋體之狀態下，內部空間密閉成氣密狀態，且構造成在收納於收納部10S之狀態下，以定位銷10b定位。
在容器50，為注入作為惰性氣體之氮氣，而設有供氣口50i及排氣口50o。又，容器50構造成在收納於收納部10S之狀態下，從供氣口50i注入氮氣時，從排氣口50o將容器內之氣體排出至保管空間內。
在本實施形態中，供氣口50i及排氣口50o設於容器50之底部，雖省略圖式，但於供氣口50i設有注入側開關閥，且於排氣口50o設有排出側開關閉。
注入側開關閥構造成以彈簧等賦與勢能機構賦與往關閉方向之勢能，而當供至供氣口50i之氮氣之吐出壓力達較大氣壓高設定值之設定開閥壓力以上時，以該壓力開啟操作。
又，排出側開關閥構造成以彈簧等賦與勢能機構賦與往關閉方向之勢能，而於容器50內部之壓力達較大氣壓高設定值之設定開閥壓力以上時，進行開啟操作。
1-2.堆高式起重機20
如圖1所示，堆高式起重機20具有沿著設置於保管架10之前面側之地板部之行走軌道E行走移動自如的行走台車21、直立設置於該行走台車21之柱22、在受到該柱22引導之狀態下升降移動自如之升降台24。
此外，雖圖中未示，設於柱22之上端之上部框架23構造成卡合於設在外周部以壁體K覆蓋之保管空間之天花板側的上部引導軌道而移動。
於升降台24裝備有對收納部10S移載容器50之移載裝置25。
移載裝置25將載置支撐容器50之板狀載置支撐體25A裝設成可自由突出退離至突出至收納部10S之內部之突出位置與退離至升降台24側之退離位置，而構造成藉載置支撐體25A之突出退離作動及升降台24之升降作動，進行將載置於載置支撐體25A之容器50卸下至收納部10S之卸下處理及取出收納於收納部10S之容器50之撈取處理。
此外，移載裝置25亦對入庫出庫輸送機CV進行卸下處理及撈取處理，而進行對入庫出庫輸送機CV之移載作業。
在堆高式起重機20，雖圖中未示，但裝備有檢測行走路徑上之行位置之行走位置檢測部及檢測升降台24之升降位置的升降位置檢測部，而構造成控制堆高式起重機20之運轉之起重機控制器(圖中未示)依據行走位置檢測部及升降位置檢測部之檢測資訊，控制堆高式起重機20之運轉。
即，起重機控制器構造成控制行走台車21之行走作動及升降台24之升降作動以及移載裝置25之載置支撐體25A之突出退離作動，俾進行將搬入至入庫出庫輸送機CV之容器50收納於收納部10S之入庫作業及將收納於收納部10S之容器50取出至入庫出庫輸送機CV之出庫作業。
1-3.收納部10S
如圖3及圖4所示，複數個收納部10S分別具有載置支撐容器50之板狀載置支撐部10a(參照圖1)。
此載置支撐部10a形成為平面觀看形狀為U形，俾形成供移載裝置25之載置支撐體25A上下通過之空間，且上述定位銷10b以立起狀態裝備於其上面。
又，於載置支撐部10a設有檢測是否載置有容器50(亦即，容器50是否收納於收納部10S)之一對庫存感測器10z，而構造成將該等之檢測資訊輸入至管理後述質量流量控制器40之運轉之注入控制部H(參照圖4)。
2.注入部N
注入部N將在收納於收納部10S之狀態下可從排氣口50o將容器內之氣體排出至保管空間內的容器50作為對象，從容器50之供氣口50i將作為惰性氣體之氮氣注入至容器50之內部。
在本實施形態中，注入部N以氮氣供給源、質量流量控制器40及吐出噴嘴10i作為主要部而構成。
於載置支撐部10a設有將作為惰性氣體之氮氣供至容器50之內之吐出噴嘴10i及使從容器50之內部排出之氣體流通之排出用通氣體10o，又，於各收納部10S裝備有控制氮氣之供給之質量流量控制器40(參照圖2)。
又，於吐出噴嘴10i連接有使來自質量流量控制器40之氮氣流動的供給配管Li，於排出用通氣體10o連接有端部開口之排出管Lo。
亦即，構造成當將容器50載置支撐於載置支撐部10a時，吐出噴嘴10i與容器50之供氣口50i連接成嵌合狀態，且排出用通氣體10o與容器50之排氣口50o連接成嵌合狀態。
又，構造成在將容器50載置支撐於載置支撐部10a之狀態下，藉從吐出噴嘴10i使較大氣壓高設定值之壓力之氮氣吐出，可在從容器50之排氣口50o使容器內之氣體排出至外部之狀態下，從容器50之供氣口50i將氮氣注入至容器50之內部。
此外，如圖3所示，於供給配管Li裝備有手動操作式開關閥Vi，而構造成於質量流量控制器40故障之緊急時等，可切換為停止氮氣之供給之狀態。
質量流量控制器40
如圖3及圖4所示，質量流量控制器40具有流入側埠40i及吐出側埠40o，於吐出側埠40o連接有上述供給配管Li，於流入側埠40i連接有導引來自氮氣高壓罐等氮氣供給源(圖中未示)之氮氣的流入配管Ls。
此外，於氮氣供給源裝備將氮氣之供給壓力調整為較大氣壓高設定值以上之設定壓力之調節器、或者間斷供給氮氣之手動操作式開關閥等。
於質量流量控制器40裝備有變更調節在從流入側埠40i朝吐出側埠40o之內部流路流動之氮氣之流量(對容器50之供給流量)的流量調節閥、測量在內部流路流動之氮氣之流量(對容器50之供給流量)之流量感測器及控制流量 調節閥之作動的內部控制部。
又，內部控制部構造成依據流量感測器之檢測資訊，控制流量調節閥，以將對容器50之供給流量調整為從上述注入控制部H下達指令之目標流量。
在本實施形態中，質量流量控制器40可將在內部流路流動之氮氣之流量(對容器50之供給流量)在零至50公升/分之間調節。又，在本實施形態中使用之質量流量控制器40構造成在全流量調節範圍，可以高速(例如1秒以內)調節為從注入控制部H下達指令之目標流量。
3.注入控制部H
3-1.檢查門55之關閉狀態之一般供給控制
注入控制部H為進行注入控制之控制裝置，該注入控制是依據以預先設定之參數訂定之供給型式來控制注入部N之作動而控制對容器50之氮氣之供給。
注入控制部H具有具1個或複數個CPU等運算處理裝置作為核心構件並且構造成可從該運算處理裝置讀取及寫入資料之RAM(隨機存取記憶體)、構造成可從運算處理裝置讀取資料之ROM(唯讀記憶體)等記憶裝置等而構成。又，可以記憶於注入控制部H之ROM等之軟體(程式)或另外設置之運算電路等硬體或者該等兩者，構成注入控制部H之各功能部。
在本實施形態中，如圖4所示，注入控制部H具有電腦C及可程式邏輯控制器P。可程式邏輯控制器P連接於質量流量控制器40，對對應於複數個收納部10S各個而設置 之質量流量控制器40指示目標流量。
電腦C具有統合執行注入控制之注入控制部H的主要運算處理功能部。電腦C藉由可程式邏輯控制器P，對對應於複數個收納部10S各個而設置之質量流量控制器40指示目標流量。
於電腦C連接有用以輸入輸出各種資訊之控制台HS及顯示裝置DS作為用戶介面裝置。控制台HS及顯示裝置DS宜安裝於保管架10之外壁面。此時，宜設置於離地面高依據作業員之身高之高度位置的高度。
在本實施形態中，注入控制部H構造成對對應於收納於收納部10S之各容器50之注入部N(質量流量控制器40)，個別設定供給型式。
又，在本實施形態中，注入部N構造成在容器50未收容於收納部10S之狀態下，亦可對將氮氣注入至容器50之吐出噴嘴10i，供給氮氣。又，注入控制部H構造成亦對容器50未收納於收納部10S之狀態之各注入部N個別設定供給型式。
注入控制部H構造成不論有無收容容器50，皆依據對各注入部N(質量流量控制器40)設定之供給型式，控制各注入部N(質量流量控制器40)之作動，而控制對吐出噴嘴10i之氮氣之供給。
供給型式為氮氣之供給流量之型式。如圖5所示，供給型式包含目標流量對時間經過之變化之型式。以參數，訂定自供給開始起之經過時間與目標流量之關係。舉例言 之，參數為設定經過時間與目標流量之關係的列表資料。此外，供給型式亦包含即使經過時間亦不使目標流量變化、即將目標流量設定為一定值之型式。
又，亦有供給型式為與預先訂定之條件(事件)之成立連動之目標流量之變化的型式(稱為事件驅動型供給型式)的情形。
此種設定經過時間與目標流量之關係之資料、事件(條件)為訂定供給型式之參數，構造成可藉作業員操作控制台HS來變更，又，構造成亦可藉後述管理系統之遙控操作來變更。
在本實施形態中，注入控制部H具有自動運轉模式與手動運轉模式並可切換自動運轉模式與手動運轉模式。運轉模式之設定藉作業員之操作或外部之遙控操作變更。
自動運轉模式
注入控制部H構造成當設定自動運轉模式時，設定事件驅動型供給型式。在本實施形態中，構造成設定複數個事件及對應於各事件之目標流量之變化的型式。各目標流量之變化之型式以設定經過時間與目標流量之關係之資料訂定。
在本實施形態中，設定初始清除型式、保管用清除型式、噴嘴清除型式等作為自動運轉模式之事件驅動型供給型式。
初始清除型式是於以庫存感測器10z之檢測信號判定容器50收容於收納部10S時，事件便成立，如圖5A、圖5B 所示，僅於初始期間(T1)設定設定成大流量以將容器50內以氮氣迅速充滿之初始目標流量(L1)。
保管用清除型式是於初始清除型式結束時，事件便成立，連續設定設定為較低之流量以維持以氮氣充滿容器50內之狀態的保管目標流量(L2)(參照圖5A)，或者反覆設定僅於啟動期間(T3)設定保管目標流量(L3)後僅於關閉期間(T4)設定零目標流量之週期(參照圖5B)。
噴嘴清除型式是將容器50搬入至入庫出庫輸送機CV而決定收納之收納部10S時，事件便成立，如圖5C所示，僅於淨化期間(T5)設定設定以於要將容器50收納於收納部10S之前將吐出噴嘴10i清淨化之噴嘴淨化目標流量(L4)。
該等初始目標流量(L1)、保管目標流量(L2、L3)、噴嘴淨化目標流量(L4)、初始期間(T1)、啟動期間(T3)、關閉期間(T4)、及淨化期間(T5)、各事件(條件)相當於訂定供給型式之參數。
手動運轉模式
注入控制部H構造成於設定手動運轉模式時，設定非事件驅動型之普通之供給型式。
在本實施形態中，構造成備有直接輸入型式、停止型式、清潔型式等複數個規定之供給型式作為在手動運轉模式中設定之供給型式，以作業員之操作或外部之遙控操作選擇複數個規定之供給型式之任一個設定作為供給型式。各規定之供給型式以設定經過時間與目標流量之關係之參數訂定。
直接輸入型式是以作業員之控制台HS之操作或管理系統連續設定以遙控操作所設定之手動目標流量的型式。
停止型式是將目標流量連續設定為零之型式。
如圖5D所示，清潔型式是僅於清潔期間(T6)設定在設置保管架10時或更換注入部N時等設定為清潔用之清潔目標流量(L5)的型式。
該等手動目標流量、清潔目標流量(L5)及清潔期間(T6)相當於訂定供給型式之參數。
又，自動運轉模式與手動運轉模式之切換設定、與手動運轉模式之直接輸入型式、停止型式、清潔型式間之切換設定等亦為訂定供給型式之參數。
此外，上述初始清除型式、保管用清除型式、噴嘴清除型式、清潔型式等為一例，亦可設定任意之目標流量之變化的型式或事件(條件)。
3-2.檢查門55之開啟狀態之供給控制
如圖2及圖4所示，惰性氣體注入裝置1設有作為檢測檢查門55之開關狀態之檢查門開關檢測部的檢查門開關檢測感測器S1、作為下達停止無效指令之人工操作式停止無效指令部之停止無效指令開關SW。
檢查門開關檢測感測器S1
檢查門開關檢測感測器S1以以檢查門55按壓操作之限制開關等構成，並構造成檢測檢查門55為全關位置之關閉狀態或檢查門55為從全關位置操作至開啟側之開啟狀態，將該檢測資訊輸出至注入控制部H。
停止無效指令開關SW
如圖2所示，停止無效指令開關SW設置於在壁體K之外面部之檢查門55附近，俾於作業員開啟檢查門55，進入保管空間內之前操作。
如圖4所示，停止無效指令開關SW構造成可將操作體56操作至操作解除位置A或無效指令位置B。停止無效指令開關SW構造成當操作體56被操作至無效指令位置B時，對注入控制部H下達停止無效指令，當操作體56被操作至操作解除位置A時，則不對注入控制部H下達停止無效指令。
在本實施形態中，操作體56以彈簧等彈性體賦與復位至操作解除位置A之勢能。藉此，操作體56被放置在維持被操作至無效指令位置B之狀態的狀態，而於開啟檢查門55之際，可防止與作業員之用意不同而不停止氮氣之供給的情況。
操作體56可使用如圖4所示之可插入拔出之鑰匙，亦可使用常設操作把手之所謂之選擇開關。
3-2-1.普通停止狀態或停止無效狀態之設定
在本實施形態中，注入控制部H構造成基本上從停止無效指令開關SW下達停止無效指令時，判定為停止無效狀態，而將停止模式設定為停止無效狀態，當未從停止無效指令開關SW下達停止無效指令時，則判定為普通停止狀態，而將停止模式設定為普通停止狀態。
在本實施形態中，注入控制部H構造成設定為停止無效狀態後，即使經過預先訂定之設定時間(例如5分鐘)，仍末 以檢查門開關檢測感測器S1檢測出檢查門55之開啟狀態時，便解除停止無效狀態，將停止模式切換為普通停止狀態。亦即，構造成作業員為了進行檢查作業而操作停止無效指令開關SW後，中止該檢查作業時，可避免不必要地繼續停止無效狀態。
又，在本實施形態中，如上述，由於操作體56被賦與復位至操作解位置A之勢能，故作業員將操作體56操作至無效指令位置B後，把手放開，進入保管空間時，操作體56自動返回操作解除位置A，停止無效指令SW構造成不繼續下達停止無效指令。
是故，在本實施形態中，注入控制部H構造成在設定了普通停止狀態之狀態下，從停止無效指令開關SW下達停止無效指令時，將停止模式設定為停止無效狀態，當預先訂定之解除條件成立時，解除停止無效狀態，將停止模式設定為普通停止狀態。
上述解除條件構造成於設定停止無效狀態後，即使經過預先訂定之設定時間，仍未以檢查門開關檢測感測器S1檢測出檢查門55之開啟狀態時，或者設定停止無效狀態後、經過預先訂定之設定時間前，以檢查門開關檢測感測器S1檢測檢查門55之開啟狀態，之後檢測出檢查門55之關閉狀態時成立。
3-2-2.普通停止狀態之供給控制
注入控制部H構造成在未從停止無效指令開關SW下達停止無效指令、即普通停止狀態下，以檢查門開關檢測感 測器S1檢測出檢查門55之開啟狀態時，控制各注入部N之作動，俾中止依據檢測該檢查門55之開啟狀態前對各注入部N所執行之供給模式、即檢測前供給模式之氮氣的供給控制，而使對所有容器50之氮氣之供給強制地停止。在本實施形態中，構造成不論有無收容容器50，皆對所有注入部N(質量流量控制器40)使氮氣之供給停止。
在本實施形態中，注入控制部H中止依據檢測前供給型式之對各質量流量控制器40之目標流量的設定控制，將對所有質量流量控制器40下達之目標流量設定為零，而使供給氮氣之所有流量調節閥強制關閉。此外，此時，構造成禁止以作業員之操作(人工操作)或外部之遙控操作，變更訂定供給型式之參數。藉此，可解除強制之供給停止，而不進行氮氣之供給。
在本實施形態中，注入控制部H在普通停止狀態中檢測出檢查門55之開啟狀態時，強制將對所有質量流量控制器40之運轉模式設定為手動運轉模式並且設定為停止型式，而將對所有質量流量控制器40之目標流量設定為零。又，注入控制部H藉作業員之操作或外部之遙控操作，鎖定為不變更停止型式之目標流量之設定值、運轉模式之切換設定、規定之供給型式之選擇設定等。
恢復處理
注入控制部H構造成於判定檢查門55為關閉狀態時，結束氮氣之供給停止，再開始依據檢測前供給型式之氮氣之供給控制，並且解除訂定供給型式之參數之變更禁止，而 開始參數之變更之受理。
在本實施形態中，注入控制部H構造成當以檢查門開關檢測感測器S1檢測出檢查門55之關閉狀態時，判定檢查門55為關閉狀態。
或者，注入控制部H亦可構造成以檢查門開關檢測感測器S1檢測檢查門55之關閉狀態，且當作業員以控制台HS進行解除氮氣之供給停止之解除操作時，判定檢查門55為關閉狀態。如此，因需作業員所作之控制台HS之確認操作，而可防止在作業員在保管空間內之狀態下，當檢查門55關閉時，使氮氣之供給再開始。
3-2-3.停止無效狀態之供給控制
另一方面，注入控制部H構造成在從停止無效指令開關SW下達停止無效指令之狀態、即停止無效狀態中，以檢查門開關檢測感測器S1檢測出檢查門55之開啟狀態時，使依據檢測該檢查門55之開啟狀態前對各注入部N所執行之供給型式、即檢測前供給型式之對各容器50之氮氣的供給繼續，同時，禁止以人工操作變更訂定檢測前供給型式之參數。
在本實施形態中，注入控制部H構造成不論有無收納容器50，皆保持對應於所有質量流量控制器40各個而設定之檢測前供給型式。又，注入控制部H依據各檢測前供給型式，進行對各質量流量控制器40之目標流量的設定。
舉例言之，注入控制部H檢測檢查門55之開啟狀態前，對某質量流量控制器40，設定自動運轉模式，並設 定初始清除型式、保管用清除型式、及噴嘴清除型式時，檢測出檢查門55之開啟狀態後，仍保持設定該等自動運轉模式、初始清除型式、保管用清除型式、及噴嘴清除型式的狀態，繼續依據該等檢測前供給型式之對質量流量控制器40之目標流量的設定。
或者，注入控制部H檢測檢查門55之開啟狀態前，對某質量流量控制器40設定手動運轉模式，並設定直接輸入型式時，於檢測出檢查門55之開啟狀態後，亦保持設定手動運轉模式、直接輸入型式之狀態，並繼續依據此直接輸入型式之對質量流量控制器40之目標流量的設定。
又，在本實施形態中，注入控制部H鎖定為使用者無法以控制台HS變更用以訂定對應於各質量流量控制器40而設定之檢測前供給型式之參數。
在本實施形態中，鎖定變更之參數為設定用以規定作為檢測前供給型式之供給型式的初始目標流量或初始期間等經過時間與目標流量之關係之資料、容器50收容於收納部10S等之事件(條件)。又，鎖定變更之參數為自動運轉模式與手動運轉模式之切換設定、手動運轉模式之直接輸入型式、停止型式、清潔型式之間的切換設定。
此外，注入控制部H亦可於鎖定控制台HS之變更之期間，使「在氮氣之供給停止之解除狀態下作業員正在保管空間內，禁止氮氣之供給型式之變更」等顯示繼續氮氣之供給同時禁止變更之狀態的導引顯示於顯示裝置DS，或以聲音通報。
藉此，在保管空間外之作業員可藉設置於保管空間外之控制台HS，防止在保管空間內之作業員未辨識之狀態下，變更對各容器50之氮氣的供給狀態。舉例言之，可防止在保管空間內之作業員未辨識之狀態下，增加氮氣之供給流量，保管空間內之氧濃度降低，或增減氮氣之供給流量，妨礙氮氣之供給狀態之檢查。
遙控操作之禁止
在本實施形態中，注入控制部H構造成可從以有線或無信通訊連接之外部管理系統遙控操作。此外，注入控制部H對1個惰性氣體注入裝置1各設1個，配置於靠近對應之惰性氣體注入裝置1之位置。另一方面，管理系統為集中管理複數個惰性氣體注入裝置1，與各惰性氣體注入裝置1以通訊網路連接，配置於較遠離惰性氣體注入裝置1之位置。管理系統構造成可將各惰性氣體注入裝置1之各注入部N之作動以遙控操作強制控制來取代注入控制部H之控制。
是故，注入控制部H構造成在停止無效狀態中，檢測出檢查門55之開啟狀態時，進一步禁止從外部以遙控操作變更訂定檢測前供給型式之參數。
在本實施形態中，注入控制部H鎖定為無法以從外部管理系統藉由通訊網路之遙控操作變更用以訂定對應於各質量流量控制器40而設定之檢測前供給型式的參數。鎖定變更之參數與上述作業員之操作之情形相同。
舉例言之，構造成在管理系統中，不受理變更對應之惰性氣體注入裝置1之參數的操作，或構造成在管理系統中， 即使變更對應之惰性氣體注入裝置1之參數，注入控制部H亦不受理變更。此時，在管理系統中，可使如上述之顯示繼續氮氣之供給並且禁止變更之狀態的導引顯示於管理系統之顯示裝置，或以聲音通報。
藉此，可在惰性氣體注入裝置1側之作業員未辨識之狀態下，防止變更對各容器50之氮氣之供給狀態。
通知部
在本實施形態中，注入控制部H構造成在停止無效狀態中，使對容器50之氮氣之供給繼續時，如圖4所示，使作為通知作業員繼續氮氣之供給之通知部的無線式通信器57A作動。
在本實施形態中，通信器57A構造成對作業員攜帶之行動電話等行動終端57B傳送顯示繼續氮氣之供給的訊息，又，行動終端57B構造成將所接收之訊息顯示於行動終端57B之顯示畫面，或者藉以聲音輸出，而通報作業員為繼續氮氣之供給之狀態。
恢復處理
注入控制部H構造成於判定檢查門55為關閉狀態時，使依據檢測前供給型式之氮氣之供給控制繼續並且解除作業員之操作(人工操作)或外部之遙控操作所作之訂定供給型式之參數之變更的禁止而開始訂定供給型式之參數之變更的受理，停止通知部對作業員之通知。
在本實施形態中，注入控制部H構造成與上述普通停止狀態同樣地，以檢查部開關檢測感測器S1檢測出檢查門55 之關閉狀態時，判定檢查門55為關閉狀態。
或者，注入控制部H亦可構造成與上述普通停止狀態同樣地，以檢查門開關檢測感測器S1檢測出檢查門55之關閉狀態，且作業員以控制台HS進行解除參數之變更禁止之解除操作時，判定檢查門55為關閉狀態。
氧濃度之降低引起之供給停止
在本實施形態中，如圖2所示，惰性氣體注入裝置1設有檢測以壁體K與外部區隔之保管空間內之氧濃度的氧濃度檢測感測器S2，如圖4所示，此氧濃度檢測感測器S2之檢測資訊輸入至注入控制部H。
又，注入控制部H構造成在停止無效狀態下，使依據檢測前供給型式之氮氣的供給繼續時，當以氧濃度檢測感測器S2檢測之氧濃度未滿預先訂定之設定值時，與普通停止狀態同樣地，控制各注入部N之作動，而中止依據檢測前供給型式之氮氣之供給控制，使對所有容器50之氮氣之供給強制停止。
在本實施形態中，注入控制部H構造成在停止無效狀態中，當氧濃達未滿預先訂定之設定值時，則解除停止無效狀態，將停止模式設定為普通停止狀態。由於藉此停止無效狀態之解除，注入控制部H形成在普通停止狀態中檢測出檢查門55之開啟狀態的狀態，故中止依據檢測前供給型式之氮氣的供給控制，而使對所有容器50之氮氣之供給強制停止。
此時，亦構造成禁止以作業員之操作(人工操作)或外部 之遙控操作，變更訂定供給型式之參數。
此外，複數個氧濃度檢測感測器S2亦可分散設置於保管空間內部之複數處。此時，注入控制部H亦可構造成當複數個氧濃度檢測感測器S2之任一個之氧濃度未滿設定值時，如上述，使氮氣之供給強制停止。
3-3.流程圖
可將以上所說明之本實施形態氮氣之供給控制之處理(惰性氣體注入方法)構成如圖6及圖7所示之流程圖之例所示。
圖6之流程圖顯示普通停止狀態或停止無效狀態之設定處理，圖7之流程圖顯示氮氣之供給控制之處理。
注入控制部H構造成每隔預定運算週期(例如100ms)，便執行圖6及圖7之流程圖所示之處理。
3-3-1.普通停止狀態或停止無效狀態之設定處理
首先，就圖6之流程圖作說明。
注入控制部H當於停止模式設定普通停止狀態時(步驟#01：是)，判定是否從停止無效指令開關SW下達停止無效指令(步驟#02)。注入控制部H判定為下達停止無效指令時(步驟#02：是)，將停止模式設定為停止無效狀態(步驟#03)。另一方面，注入控制部H判定為未下達停止無效指令時(步驟#02：否)，則將停止模式維持在設定為普通停止狀態。
另一方面，注入控制部H於停止模式設定有停止無效狀態時(步驟#01：否)，判定以氧濃度檢測感測器S2檢測之氧濃度是否未滿預先設定之設定值(步驟#04)。注入控 制部H判定氧濃度未滿預先設定之設定值時(步驟#04：是)，解除停止無效狀態，將停止模式設定為普通停止狀態(步驟#08)。另一方面，注入控制部H判定氧濃度並未未滿預先設定之設定值時(步驟#04：否)，判定是否以檢查門開關檢測感測器S1檢測出檢查門55之開啟狀態(步驟#05)。注入控制部H判定檢查門55為開啟狀態時(步驟#05：是)，將停止模式維持在設定為停止無效狀態。
注入控制部H判定檢查門55為關閉狀態時(步驟#05：否)，於設定停止無效狀態後，判定是否在檢查門55為關閉狀態之狀態下經過預先訂定之設定時間(步驟#06)。注入控制部H判定在檢查門55為關閉狀態之狀態下經過預先訂定之設定時間時(步驟#06：是)，解除停止無效狀態，將停止模式設定為普通停止狀態(步驟#08)。
注入控制部H判定在檢查門55為關閉狀態之狀態下，未經過預先訂定之設定時間時(步驟#06：否)，判定檢查門55是否從開啟狀態變化為關閉狀態(步驟#07)。具體言之，注入控制部H於前次運算週期時，檢測出檢查門55為開啟狀態，而在此次之運算週期判定是否檢測出檢查門55為關閉狀態。注入控制部H判定檢查門55從開啟狀態變化為關閉狀態時(步驟#07：是)，解除停止無效狀態，將停止模式設定為普通停止狀態(步驟#08)。注入控制部H判定檢查門55未從開啟狀態變化為關閉狀態時(步驟#07：否)，將停止模式維持在設定為停止無效狀態。
3-3-2.氮氣之供給控制之處理
接著，就圖7之流程圖作說明。
注入控制部H在步驟#11判定檢查門55為開啟狀態或關閉狀態。在本實施形態中，注入控制部H構造成根據檢查門開關檢測感測器S1之檢測資訊，檢查門55從關閉狀態變化為開啟狀態時，將檢查門55之開關狀態設定為開啟狀態，而判定為開啟狀態，之後，以檢查門開關檢測感測器S1檢測出檢查門55之關閉狀態，且以控制台HS進行作業員之解除操作時，將檢查門55之開關狀態設定為關閉狀態而判定為關閉狀態。
注入控制部H判定檢查門55為關閉狀態時(步驟#11：否)，依據以預先設定之參數訂定之供給型式，控制注入部N之作動，進行控制對容器50之氮氣之供給的普通之供給處理(步驟#12)。然後，注入控制部H以作業員之操作(人工操作)或外部之遙控操作，有訂定供給型式之參數之變更要求時，進行受理該參數之變更之受理處理(步驟#13)。
另一方面，注入控制部H判定檢查門55為開啟狀態時(步驟#11：是)，前進至步驟#14。注入控制部H當停止模式設定在普通停止狀態時(步驟#14：是)，中止依據檢測前供給型式之氮氣之供給控制，進行使氮氣之供給強制停止之供給停止處理(步驟#15)。又，注入控制部H禁止以作業員之操作(人工操作)或外部之遙控操作，變更訂定供給型式之參數，而進行禁止氮氣之供給停止之解除的處理(步驟#16)。
注入控制部H於停止模式設定在停止無效狀態時(步驟 #14：否)，進行使依據檢測前供給型式之對各容器50之氮氣的供給繼續之處理(步驟#17)。然後，注入控制部H進行禁止以作業員之操作(人工操作)、或外部之遙控操作變更用以訂定檢測前供給型式之參數的處理(步驟#18)。又，注入控制部H進行以通知部通知作業員繼續氮氣之供給的處理(步驟#19)。
其他實施形態
最後，就本發明之其他實施形態作說明。此外，以下說明之各實施形態之結構不限於各自單獨應用之結構，只要不產生矛盾，可與其他實施形態之結構組合來應用。
(1)在上述實施形態中，惰性氣體例示了使用氮氣之情形，惰性氣體可使用氬等各種氣體。此外，本發明之惰性氣體需為氧含有量低且絕對濕度低之氣體。
(2)在上述實施形態中，例示將氮氣供給源、吐出噴嘴10i及質量流量控制器40作為主要部來構成注入部N的情形，亦即，使用質量流量控制器40來構成注入部N之情形，舉例言之，亦可不設置質量流量控制器40，將變更調節對容器50之供給流量之流量調節閥及測量對容器50之供給流量的流量感測器設於氮氣之供給路徑中，注入控制部H以依據流量感測器之檢測資訊控制流量調節閥之作動之形態實施。
此時，將氮氣供給源、吐出噴嘴10i及流量調節閥作為主要部來構成注入部N。
(3)在上述實施形態中，當在普通停止狀態中， 開啟檢查門55時，藉以分別對應於複數個收納部10S而設置之質量流量控制器40停止氮氣之供給，而使對容器50之氮氣之供給停止，舉例言之，關閉操作裝備於氮氣供給源之供給斷續閥，而停止對容器50之氮氣之供給等…，停止對容器50之氮氣之供給的結構可適用各種結構。
(4)在上述實施形態中，通知作業員繼續惰性氣體之供給之通知部例示了將訊息對作業員之行動終端57B傳送之通信器57A，舉例言之，於檢查門55附近設置以聲音輸出上述訊息之揚聲器等…，通知部之具體結構可變更。
(5)在上述實施形態中，操作體56以彈簧等彈性體賦與復回至操作解除位置A之勢能，操作體56亦可不賦與復位至操作解除位置A之勢能。
(6)在上述實施形態中，停止無效指令部為機械式停止無效指令開關SW，亦可為以觸摸面板或控制台HS操作或者以密碼之輸入操作之電子式開關。

Claims (12)

  1. 一種惰性氣體注入裝置，其包含有以下：保管架，具有收納用以收納基板之容器之收納部，並設置於與外部區隔形成之保管空間內；注入部，以在收納於前述收納部之狀態下可從排氣口將容器內之氣體排出至前述保管空間內之前述容器為對象，從該容器之供氣口將惰性氣體注入至前述容器之內部；該惰性氣體注入裝置具有以下特徵：其包含有：注入控制部，依據以預先設定之參數訂定之供給型式，控制前述注入部之作動，以控制對前述容器之惰性氣體之供給；檢查門開關檢測部，用以檢測供作業員進出前述保管空間之檢查門之開關狀態；及人工操作式停止無效指令部，用以下達停止無效指令；前述注入控制部構造成在未從前述停止無效指令部下達前述停止無效指令之狀態、即普通停止狀態中，以前述檢查門開關檢測部檢測出前述檢查門之開啟狀態時，中止依據檢測該檢查門之開啟狀態前所執行之前述供給型式、即檢測前供給型式的惰性氣體之供給控制，以使對前述容器之惰性氣體之供給停止，在從前述停止 無效指令部下達前述停止無效指令之狀態、即停止無效狀態中，以前述檢查門開關檢測部檢測出前述檢查門之開啟狀態時，使依據前述檢測前供給型式之惰性氣體之供給繼續，同時，禁止用以訂定前述檢測前供給型式之參數之人工操作進行的變更。
  2. 如請求項1之惰性氣體注入裝置，其具有以下特徵，即，前述注入控制部構造成在前述停止無效狀態中，檢測出前述檢查門之開啟狀態時，進一步禁止以外部之遙控操作進行之用以訂定前述檢測前供給型式之參數的變更。
  3. 如請求項1或2之惰性氣體注入裝置，其具有以下特徵，即，其更包含有檢測前述保管空間內之氧濃度之氧濃度檢測感測器，前述注入控制部構造成在前述停止無效狀態中使依據前述檢測前供給型式之惰性氣體之供給繼續時，當以前述氧濃度檢測感測器檢測之氧濃度未滿預先訂定之設定值時，便中止依據前述檢測前供給型式之惰性氣體之供給控制，以使對前述容器之惰性氣體之供給停止。
  4. 如請求項1或2之惰性氣體注入裝置，其有以下特徵，即，前述注入控制部構造成在前述停止無效狀態中使依據前述檢測前供給型式之惰性氣體之供給繼續時，使通知作業員繼續惰性氣體之供給之通知部作動。
  5. 如請求項1或2之惰性氣體注入裝置，其具有以下特徵，即，前述注入控制部構造成於從前述停止無效指令部下 達前述停止無效指令時，設定為前述停止無效狀態，於設定為前述停止無效狀態後，即使經過預先訂定之設定時間，仍未以前述檢查門開關檢測部檢測出前述檢查門之開啟狀態時，便解除前述停止無效狀態，切換為前述普通停止狀態。
  6. 如請求項1或2之惰性氣體注入裝置，其具有以下特徵，即，前述停止無效指令部構造成可將操作體操作至操作解除位置或無效指令位置，於前述操作體被操作至前述無效指令位置時，下達前述停止無效指令，前述操作體被賦與復位至前述操作解除位置之勢能。
  7. 一種惰性氣體注入方法，其利用惰性氣體注入裝置，前述惰性氣體注入裝置包含有：保管架，具有收納用以收納基板之容器之收納部，並設置於與外部區隔形成之保管空間內；注入部，以在收納於前述收納部之狀態下可從排氣口將容器內之氣體排出至前述保管空間內之前述容器為對象，從該容器之供氣口將惰性氣體注入至前述容器之內部；注入控制部，依據以預先設定之參數訂定之供給型式，控制前述注入部之作動，以控制對前述容器之惰性氣體之供給；檢查門開關檢測部，用以檢測供作業員進出前述保管空間之檢查門之開關狀態；及人工操作式停止無效指令部，用以下達停止無效指 令；前述惰性氣體注入方法具有以前述注入控制部執行之以下步驟：注入控制步驟，在未從前述停止無效指令部下達前述停止無效指令之狀態、即普通停止狀態中，以前述檢查門開關檢測部檢測出前述檢查門之開啟狀態時，中止依據於檢測該檢查門之開啟狀態前所執行之前述供給型式、即檢測前供給型式的惰性氣體之供給控制，以使對前述容器之惰性氣體之供給停止，在從前述停止無效指令部下達前述停止無效指令之狀態、即停止無效狀態中，以前述檢查門開關檢測部檢測出前述檢查門之開啟狀態時，使依據前述檢測前供給型式之惰性氣體之供給繼續，同時，禁止用以訂定前述檢測前供給型式之參數之人工操作進行的變更。
  8. 如請求項7之惰性氣體注入方法，其具有以下特徵，即，在前述注入控制步驟，在前述停止無效狀態中，檢測出前述檢查門之開啟狀態時，進一步禁止以外部之遙控操作進行之用以訂定前述檢測前供給型式之參數的變更。
  9. 如請求項7或8之惰性氣體注入方法，其具有以下特徵，即，前述惰性氣體注入裝置更包含有檢測前述保管空間內之氧濃度之氧濃度檢測感測器，在前述注入控制步驟，在前述停止無效狀態中使依據前述檢測前供給型式之惰性氣體之供給繼續時，當以前述氧濃度檢測感測器檢 測之氧濃度未滿預先訂定之設定值時，中止依據前述檢測前供給型式之惰性氣體之供給控制，以使對前述容器之惰性氣體之供給停止。
  10. 如請求項7或8之惰性氣體注入方法，其具有以下特徵，即，在前述注入控制步驟，在前述停止無效狀態中使依據前述檢測前供給型式之惰性氣體之供給繼續時，使通知作業員繼續惰性氣體之供給之通知部作動。
  11. 如請求項7或8之惰性氣體注入方法，其具有以下特徵，即，在前述注入控制步驟，於從前述停止無效指令部下達前述停止無效指令時，設定為前述停止無效狀態，於設定為前述停止無效狀態後，即使經過預先訂定之設定時間，仍未以前述檢查門開關檢測部檢測出前述檢查門之開啟狀態時，便解除前述停止無效狀態，切換為前述普通停止狀態。
  12. 如請求項7或8之惰性氣體注入方法，其具有以下特徵，即，前述停止無效指令部構造成可將操作體操作至操作解除位置或無效指令位置，於前述操作體被操作至前述無效指令位置時，下達前述停止無效指令，前述操作體被賦與復位至前述操作解除位置之勢能。
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