TWI624624B - 頭總成、頭總成方法及入口總成 - Google Patents

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Abstract

本發明揭示一種用於一輻射燃燒器之頭總成、一種入口總成及一種方法。該頭總成係用於一輻射燃燒器。該頭總成包括：一外殼，其界定延伸穿過其之複數個相同外殼孔隙；一絕緣體，其被該外殼收納且界定延伸穿過其之複數個對應之相同互補定位絕緣體孔隙；及至少一入口總成，其經組態以被該等相同外殼孔隙之一者收納，各入口總成包括：一外殼部分，其經組態以被該等相同外殼孔隙之該者收納；及一絕緣體部分，其經組態以填充該互補定位絕緣體孔隙。以此方式，提供一種具有數個孔隙之頭總成，該等孔隙之任何一者可收納一入口總成。假定各入口總成經組態以被該等孔隙之任何一者收納，則此提供插入及移除該等總成之靈活性，而無需自該輻射燃燒器完全拆除該頭總成。再者，藉由形成具有一外殼部分及一絕緣體部分之該入口總成，該總成可定位於該頭總成內且該絕緣體部分防止熱損壞。

Description

頭總成、頭總成方法及入口總成
本發明係關於一種用於一輻射燃燒器之頭總成、一種入口總成及一種方法。
輻射燃燒器已為人所知且通常用於處理來自例如半導體或平板顯示器製造業中使用之一製程工具之一廢氣流。在此製造期間，殘留全氟化合物(PFC)及其他化合物存在於泵抽自製程工具之廢氣流中。PFC難以自廢氣中移除且並不期望其等排放至環境中，因為吾人已知其等具有相對高的溫室效應活動。
已知之輻射燃燒器使用燃燒自廢氣流移除PFC及其他化合物。通常，廢氣流係含有PFC及其他化合物之一氮氣流。一燃氣與廢氣流混合且該氣流混合物輸送至被一多孔氣體燃燒器之出射面橫向環繞之一燃燒室中。燃氣及空氣被同時供應至多孔燃燒器以影響出射面處之無焰燃燒，其中傳遞通過多孔燃燒器之空氣之量不僅足以耗盡供應至該燃燒器之燃氣，且可耗盡注射至燃燒室中之氣流混合物中的所有可燃物。
存在於廢氣流中之化合物之範圍及廢氣流之流動特性可隨製程工具變化，且因此燃氣及空氣連同需要引入至輻射燃燒器中之其他氣體或流體之範圍亦將變化。
儘管存在用於處理廢氣流之技術，但其等各具有自身缺點。據 此，期望提供一種用於處理一廢氣流之改良技術。
根據一第一態樣，提供一種用於一輻射燃燒器之頭總成，該頭總成包括：一外殼，其界定延伸穿過其之複數個相同外殼孔隙；一絕緣體，其被該外殼收納且界定延伸穿過其之複數個對應之相同互補定位絕緣體孔隙；及至少一入口總成，其經組態以被該等相同外殼孔隙之一者收納，各入口總成包括：一外殼部分，其經組態以被該等相同外殼孔隙之該者收納；及一絕緣體部分，其經組態以填充該互補定位絕緣體孔隙。
第一態樣認知隨著待處理廢氣之範圍增大，輻射燃燒器之組態之可能範圍亦增大。特定言之，不同類型之待處理廢氣可以不同速率提供且濃度不同。為了減排或處理此等不同廢氣，此等不同廢氣可能需要以不同方式連同不同組合、濃度及/或速率之其他流體(諸如燃料、氧化劑及任何其他支援流體(舉例而言，諸如空氣))分配至輻射燃燒器之燃燒室中。此等不同要求可導致頭總成之複雜工程且習知方法係產生一種用於各特定應用之頭總成。此複雜度因輻射燃燒器之相對較小尺寸而加大且對必要導管提供所有必要耦合及佈線以輸送、混合及/或分配流體至對燃燒室進料之適當出口可能變得複雜。第一態樣亦認知重新組態既有頭總成以滿足此等不同要求可係困難的且甚至不可行，如同在不完全拆除輻射燃燒器之情況下執行維護可係困難的且甚至不可行。此可極具破壞性，尤其係在頭總成之一些部件比其他部件需要更多定期維護時。
據此，可提供一種頭總成。該頭總成可用於一輻射燃燒器。該頭總成可包括一外殼。該外殼可界定或提供複數個外殼孔隙，該等外殼孔隙之各者可相同。該等外殼孔隙可延伸穿過該外殼。該頭總成亦可包括一絕緣體。該絕緣體可被該外殼收納。該絕緣體可界定或提供 複數個對應之相同絕緣體孔隙。該等絕緣體孔隙可互補或與該等外殼孔隙共位。該等絕緣體孔隙可延伸穿過該絕緣體。該頭總成亦可包括至少一入口總成。該入口總成可經組態或經定尺寸以被該等外殼孔隙之一者收納或位於其中。該等入口總成之各者可包括一外殼部分。該外殼部分可經組態或經定尺寸以被該外殼孔隙收納。該入口總成亦可包括一絕緣體部分。該絕緣體部分可經塑形、經定尺寸或經組態以填充或佔據該絕緣體孔隙。以此方式，提供一種具有數個孔隙之頭總成，該等孔隙之任何一者可收納一入口總成。假定各入口總成經組態以被該等孔隙之任何一者收納，則此提供插入及移除該等總成之靈活性，而無需自該輻射燃燒器完全拆除該頭總成。再者，藉由形成具有一外殼部分及一絕緣體部分之該入口總成，該總成可定位於該頭總成內且該絕緣體部分防止熱損壞。
在一實施例中，各相同外殼孔隙包括可操作以收納複數個不同入口總成之任何一者之一共同固定配置，各入口總成具有一互補之共同固定配置。據此，該等入口總成及該等外殼孔隙之各者可利用該相同之互補固定配置或機構以使任何不同組態之入口總成能夠被該等孔隙之任何一者收納。再者，此在重新組態頭總成時提供巨大靈活性。
在一實施例中，各相同外殼孔隙係跨該外殼之一主面分佈。跨該外殼之至少該主面或主要表面分佈該等孔隙最大化入口總成周圍用於耦合至流體供應器之可用空間。
在一實施例中，該外殼包括延伸穿過其之至少一其他孔隙且該絕緣體包括延伸穿過其之至少一互補定位絕緣體孔隙，該至少一其他孔隙經組態以收納一內燃燒器進料器總成、一引導器總成、一熱電偶總成及一窺鏡總成之至少一者。據此，該外殼亦可容納輻射燃燒器之正確運作所必要之其他總成。
在一實施例中，該外殼部分經組態以收納來自一對應流體供應 器之至少一流體並將該至少一流體輸送至一對應出口以供應至輻射燃燒器之一燃燒室。據此，被入口總成收納之流體之入口與將該等流體供應至燃燒室之出口之間可存在一對一相關性。
在一實施例中，該外殼部分經組態以將至少一流體輸送至複數個出口以供應至輻射燃燒器之一燃燒室。據此，一些入口總成可提供被入口總成收納之流體之入口與將該等流體供應至該燃燒室之出口之間的一對多關係，以將收納自一入口之流體分配至該燃燒室內之許多出口。
在一實施例中，該外殼部分經組態以收納來自複數個對應流體供應器之複數個流體並將該複數個流體輸送至一出口以供應至輻射燃燒器之一燃燒室。據此，一些入口總成可提供被入口總成收納之流體之流體入口與將該等流體供應至該燃燒室之出口之間的多對一關係以組合由一出口提供之流體。
在一實施例中，該外殼部分包括可操作以清潔一對應出口之至少一清潔機構。清潔該出口或該等出口可係必需的以移除累積之沉積物。
在一實施例中，該外殼界定可操作以將來自內燃燒器進料器總成之流體分配至可耦合至頭總成之輻射燃燒器之一增壓室之一通道。提供一通道或增壓室係一方便配置以將燃料及氧化劑兩者提供至一內燃燒器以及一多孔燃燒器周圍之一增壓室。
在一實施例中，該外殼與該絕緣體共同界定該通道。藉由對該外殼及該絕緣體塑形，可提供該通道。此有助於最小化部件之數目。
在一實施例中，該外殼部分經組態以延伸穿過該通道。使該外殼部分延伸穿過該通道有助於確保不出現來自該通道之洩漏。
在一實施例中，各出口至少部分延伸穿過絕緣部分之一對應出口孔隙。據此，該出口可能無法完全延伸穿過該絕緣部分之孔隙，可 能加工成與該絕緣部分之孔隙齊平，或可能延伸超過該絕緣部分之孔隙，此取決於燃燒室內之狀態。
在一實施例中，該絕緣體部分經組態以至少部分環繞該出口。
根據一第二態樣，提供一種頭總成方法，其包括：提供界定延伸穿過其之複數個相同外殼孔隙之一外殼；藉由該外殼收納一絕緣體，該絕緣體界定延伸穿過其之複數個對應之相同互補定位絕緣體孔隙；及用該等相同外殼孔隙之一者收納至少一入口總成，各入口總成包括經組態以被該等相同外殼孔隙之該者收納之一外殼部分及經組態以填充該互補定位絕緣體孔隙之一絕緣體部分。
在一實施例中，該方法包括提供具有可操作以收納複數個不同入口總成之任何一者的一共同固定配置之各相同外殼孔隙及提供具有一互補之共同固定配置之各入口總成。
在一實施例中，各相同外殼孔隙係跨該外殼之一主面分佈。
在一實施例中，該方法包括提供具有延伸穿過其之至少一其他孔隙之外殼及具有延伸穿過其之至少一互補定位絕緣體孔隙之絕緣體以及將一內燃燒器進料器總成、一引導器總成、一熱電偶總成及一窺鏡總成之至少一者收納於該至少一其他孔隙中。
在一實施例中，該方法包括用外殼部分收納來自一對應流體供應器之至少一流體並將該至少一流體輸送至一對應出口以供應至輻射燃燒器之一燃燒室。
在一實施例中，該方法包括將該至少一流體輸送至複數個出口以供應至輻射燃燒器之一燃燒室。
在一實施例中，該方法包括用外殼部分收納來自複數個對應流體供應器之複數個流體並將該複數個流體輸送至一出口以供應至該輻射燃燒器之一燃燒室。
在一實施例中，該方法包括在外殼部分之內提供至少一清潔機 構以清潔一對應出口。
在一實施例中，該方法包括用外殼界定一通道以將來自內燃燒器進料器總成之流體分配至可耦合至頭總成之輻射燃燒器之一增壓室。
在一實施例中，該外殼及該絕緣體共同界定該通道。
在一實施例中，該方法包括使該外殼部分延伸穿過該通道。
在一實施例中，該方法包括使各出口至少部分延伸穿過絕緣部分之一對應出口孔隙。
在一實施例中，該方法包括用絕緣體部分至少部分環繞出口。
根據一第三態樣，提供一種入口總成，其經組態以被用於一輻射燃燒器之一頭總成之一外殼之相同外殼孔隙之一者收納，該入口總成包括：一外殼部分，其經組態以被該等相同外殼孔隙之該者收納；及一絕緣體部分，其經組態以填充被該外殼收納之一絕緣體之一互補定位絕緣體孔隙。
在一實施例中，該入口總成包括可操作以被各相同外殼孔隙之一共同固定配置收納之一互補之共同固定配置。
在一實施例中，該外殼部分經組態以收納來自一對應流體供應器之至少一流體並將該至少一流體輸送至一對應出口以供應至輻射燃燒器之一燃燒室。
在一實施例中，該外殼部分經組態以將該至少一流體輸送至複數個出口以供應至輻射燃燒器之一燃燒室。
在一實施例中，該外殼部分經組態以收納來自對應複數個流體供應器之複數個流體並將該複數個流體輸送至一出口以供應至該輻射燃燒器之一燃燒室。
在一實施例中，該外殼部分包括可操作以清潔一對應出口之至少一清潔機構。
在一實施例中，該外殼部分經組態以延伸穿過由該外殼界定之一通道以將來自一內燃燒器進料器總成之流體分配至可耦合至頭總成之輻射燃燒器之一增壓室。
在一實施例中，各出口至少部分延伸穿過絕緣部分之一對應出口孔隙。
在一實施例中，該絕緣體部分經組態以至少部分環繞出口。
在隨附獨立請求項及附屬請求項中陳述另外的特定態樣及較佳態樣。附屬請求項之特徵可酌情與獨立請求項之特徵組合，且其等之組合係除請求項中明確陳述之組合以外。
在一裝置特徵被描述成可操作以提供一功能之情況下，應明白此包含提供該功能或經調適或經組態以提供該功能之一裝置特徵。
10‧‧‧頭總成
20‧‧‧金屬外殼
30‧‧‧絕緣體
40‧‧‧孔隙
40A‧‧‧孔隙
50‧‧‧入口總成
50A‧‧‧入口總成
50B‧‧‧入口總成
60‧‧‧進料器
70‧‧‧窺鏡
75‧‧‧進料器
80‧‧‧孔隙
100‧‧‧入口
100A‧‧‧入口
100B‧‧‧入口
110‧‧‧室
110B‧‧‧室
120‧‧‧出口
120A‧‧‧出口
120B‧‧‧出口
125‧‧‧空氣入口
130‧‧‧空氣調節閥
140‧‧‧室
150A‧‧‧出口
160‧‧‧致動器
160A‧‧‧致動器
160B‧‧‧致動器
163A‧‧‧可變形組件
163B‧‧‧可變形組件
165A‧‧‧外殼部分
165B‧‧‧外殼部分
170‧‧‧清潔機構
170A‧‧‧絕緣體部分
170B‧‧‧絕緣體部分
172‧‧‧清潔機構
180‧‧‧固定孔隙
180B‧‧‧固定孔隙
現在將參考隨附圖式進一步描述本發明之實施例，其中：圖1圖解說明根據一實施例之用於一輻射燃燒器之一頭總成；圖2A及圖2B圖解說明圖1之但已移除一入口總成之頭總成；圖3A及圖3B圖解說明根據一實施例之一入口總成；及圖4A及圖4B圖解說明根據一實施例之一入口總成。
概述
在進行實施例之任何更詳細論述之前，首先將提供一概述。提供一種利用各種不同或相同入口總成可收納至其中之一基本預組態結構之頭總成。此提供一靈活頭總成組態，其可經簡易重新組態以適應來自多個不同源之廢氣流之處理或減排，且需要時可使個別入口總成移除以進行維護。提供此一模組化方法賦予明顯的操作及成本優勢。
頭總成
圖1圖解說明根據一實施例之用於一輻射燃燒器之一頭總成(整 體)10。本技術中熟知輻射燃燒器，諸如EP 0 694 735中描述之輻射燃燒器。頭總成包括三組主要組件。第一組係一金屬(通常為鋼)外殼20，其提供必要的機械強度及組態以耦合輻射燃燒器之其餘部分(未展示)。第二組係一絕緣體30，其提供於外殼20內且有助於降低來自輻射燃燒器之一燃燒室(未展示)內之熱損耗，並且保護外殼20及其耦合物件使其免受該燃燒室內產生的熱之損害。第三組係入口總成50，其被提供於外殼20中之一系列相同的標準化孔隙40(見圖2A)收納。此等入口總成50可具備不同組態的入口及出口，或具備其他特徵，以適應不同廢氣減排或處理要求並支援輻射燃燒室之運作。然而，不同入口總成50之各者經組態以與孔隙40之各者安裝在一起。此提供靈活性以根據需要維持不同入口總成可安裝至其中之一致組態。再者，此配置使個別入口總成50可移除以進行維護，而無需自輻射燃燒器之其餘部分中移除或拆除整個頭總成10。
圖1所示之實施例利用六個相同入口總成50，各入口總成50安裝於六個孔隙40之一對應孔隙內。然而，應明白入口總成50之任何一者或多者可具有一不同組態，前提係其等仍可收納於孔隙40內。再者，應明白並非每個孔隙40皆可填充有收納一廢置或製程流體或其他流體之一入口總成50，而是可收納一斷流入口總成以完全填充孔隙40，或而是可收納一儀錶入口總成外殼感測器以監測輻射燃燒器內之狀態。再者，應明白可提供六個以上或六個以下孔隙40，其等無需圓周地定位於外殼周圍，且其等無需對稱地定位。
亦如圖1中所示，額外孔隙提供於外殼20中以提供其他物件，舉例而言，諸如對一內燃燒器60A提供一進料器60(見圖2B)、對一引導器75A提供一窺鏡70及一進料器75(見圖2B)。
圖2A及圖2B圖解說明圖1之但已移除入口總成之一者之頭總成。
如圖2B中更詳細所示(其係頭總成之一仰視圖)，絕緣體30具備與 孔隙40對齊之孔隙40A。儘管在此實施例中孔隙40A之直徑與延伸穿過外殼20之孔隙40之直徑相同，但應明白實際上無需如此且其等可較小。再者，儘管此配置展示兩個同軸配置之孔隙40、40A，但應明白實際上亦無需如此且其等可軸向偏移。在此一配置中，較佳的將是，一通道(下文更詳細提及)之高度大於入口總成之一絕緣體部分(下文更詳細提及)之高度或絕緣體部分小於外殼部分(下文更詳細提及)且「在其陰影下」(即，絕緣體部分之徑向延伸不遠於外殼部分)。
使用合適固定件(舉例而言，諸如螺栓)而固持入口總成50，移除固定件以促進入口總成50之移除。亦如圖2A中所示，外殼20之一內部主面與絕緣體30之一相對主面遠離地隔開以產生一通道，流體可被輸送通過該通道。在此實施例中，該通道耦合內燃燒器60A之進料器60以經由孔隙80將燃料及氧化劑輸送至輻射燃燒器之一多孔氣體燃燒器(未展示)周圍之一增壓室(未展示)中。
入口總成
一廢氣流或製程氣流經由入口總成50之一入口100提供且輸送至三個出口120之各者。提供一致動器160，其啟動一清潔機構以移除來自出口120內之沉積物。入口總成50包括一外殼部分及一絕緣體部分。外殼部分一般係金屬且提供所要機械強度以將入口總成50固定至外殼20且支援供應流體之必要導管之耦合且亦支援入口總成50內之機構之操作。外殼部分通常收納於落於外殼及通道(若存在)之孔隙40內。絕緣體部分通常收納於由絕緣體30提供之孔隙40A內。絕緣體部分之外表面與由絕緣體30提供之孔隙40A之表面之間的擬合應足夠緊以防熱量損壞外殼部分。若通道存在，則絕緣體部分與由絕緣體30提供之孔隙40A之間的擬合需良好，否則流動通過該通道之一些流體將直接洩漏至燃燒室中而不傳遞通過(外)多孔燃燒器；合適密封構件應提供於絕緣體部分之冷卻端處以防止此情況發生。在一實施例中，一 可變形組件提供於外殼部分與絕緣體部分之間，其直徑大於孔隙40A且可變形地收納於孔隙40A內。外殼部分及絕緣體部分藉由定位於固定孔隙(未展示)內之固定件(未展示)而固持在一起，接著使用一耐溫密封劑進行密封。
圖3A及圖3B圖解說明根據一實施例之一入口總成50A。如圖3A中所示，一廢氣流或製程氣流經由一入口100A提供且輸送至至少一製程氣流出口(未展示)。空氣經由一空氣入口125收納並經由一空氣調節閥130輸送至同心環繞製程氣流出口之空氣出口(未展示)。提供一致動器160A，其啟動一清潔機構(未展示)以移除來自出口內之沉積物。入口總成50A包括一外殼部分(整體)165A及一絕緣體部分(整體)170A。外殼部分165A一般係金屬且提供所要機械強度以將入口總成50A固定至外殼20且支援供應流體之必要導管之耦合且亦支援入口總成50A內之機構之操作。外殼部分165A通常收納於落於外殼及通道(若存在)的孔隙40之部分內。絕緣體部分170A通常收納於由絕緣體30提供的孔隙40A之部分內。絕緣體部分170A之外表面與由絕緣體30提供之孔隙40A之表面之間的擬合應足夠緊以防熱量損壞外殼部分165A。一可變形組件163A提供於外殼部分與絕緣體部分之間，其直徑大於孔隙40A且可變形地收納於孔隙40A內。外殼部分165A及絕緣體部分170A藉由固定件(未展示)而固持在一起。
如圖3B中所示，其圖解說明橫穿入口總成50A之一截面，一廢氣流或製程氣流經由入口100A提供並經由一室110輸送至三個出口120A之各者。空氣經由空氣入口(未展示)收納並經由調節閥130及一室140輸送至同心環繞出口120A之三個出口150A。致動器160A啟動一清潔機構170以移除來自出口120A內之沉積物。入口總成50A包括一外殼部分(整體)165A及一絕緣體部分(整體)170A。外殼部分165A及絕緣體部分170A藉由定位於固定孔隙180內之固定件(未展示)而固持在一 起，接著使用一耐溫密封劑進行密封。
圖4A及圖4B圖解說明根據一實施例之一入口總成50B。如圖4A中所示，其圖解說明橫穿入口總成50B之一截面，一廢氣流或製程氣流經由一入口100B提供並經由一室110B輸送至三個出口120B之各者。提供一致動器160B，其啟動一清潔機構172以移除來自出口120B內之沉積物。入口總成50B包括一外殼部分(整體)165B及一絕緣體部分(整體)170B。外殼部分165B一般係金屬且提供所要機械強度以將入口總成50B固定至外殼20且支援供應流體之必要導管之耦合且亦支援入口總成50B內之機構之操作。外殼部分165B通常收納於落於外殼及通道(若存在)的孔隙40之部分內。絕緣體部分170B通常收納於由絕緣體30提供的孔隙40A之部分內。絕緣體部分170B之外表面與由絕緣體30提供之孔隙40A之表面之間的擬合應足夠緊以防熱量損壞外殼部分165B。一可變形組件163B提供於外殼部分與絕緣體部分之間，其直徑大於孔隙40A且可變形地收納於孔隙40A內。外殼部分165B及絕緣體部分170B藉由定位於固定孔隙180B內之固定件(未展示)而固持在一起，接著使用一耐溫密封劑進行密封。
據此，應瞭解實施例認知半導體廢氣之燃燒通常需要不同組態之入口以提供最佳氣體破壞。通常，在包括至少一燃燒室及一入口頭總成之一系統中，該組態在製造時係固定的。現場升級(以容納製程變更或錯誤規範)可能適當涉及入口頭總成之全交換。在極端情況下，可無需製造非標準部件。
實施例亦認知將有利的是使其中由一實體總成執行關閉燃燒室之功能(及額外支援功能，諸如引導、火焰管理)之一配置可用。此外，製程入口之各者將被引入作為一功能完整的子總成，從而允許系統被任意組態及重新組態。
實施例亦認知一次要優勢將係對於入口維護程序，將僅需移除 各自入口而非整個頭總成。對於具有重型部件之較大系統(諸如針對存在於平板/太陽能處理中之高流動設計且預期進行450mm矽晶圓處理之系統)，此明顯簡化清潔程序。
燃燒器系統包括兩端皆開放之一燃燒室，諸如但不限於例如如US5,510,093中描述之一多孔燃燒器。上端藉由根據實施例之一頭總成之一金屬凸緣而被關閉。此凸緣具有附接至其以充當一熱絕緣體之一鑄造陶瓷纖維或其他耐火材料之一襯墊，從而保護金屬部件免受熱損壞且最小化來自系統之熱損耗。此凸緣可承載操作燃燒器所必要之導燃器、熱電偶、窺鏡及其他特徵。數個大埠切穿凸緣及陶瓷絕緣體以形成直接至燃燒室中之通道。個別入口總成被安裝至此等埠或通道中。
頭總成包括一入口管、一增壓室及複數個入口噴嘴，製程氣體透過其等流動至燃燒室中。入口增壓室之底面以類似於入口頭之方式與一陶瓷絕緣體安裝在一起。此絕緣體實質上填充入口頭中之通路，防止熱氣自燃燒室外溢。彈性體密封件可安裝於凸緣與增壓室之間的「冷卻」端處以使總成氣體緻密。
應注意，不同材料可用於入口及頭凸緣，因為僅入口接觸製程氣體。例如，入口可由不銹鋼製成，而頭凸緣可係鋁合金。
入口可採取多種形式，例如如US 5,510,093中描述之複數個簡單噴嘴、或如EP 0802370中描述之具有配置用於供應O2與預混合至製程氣流中之額外燃料的同軸噴管之噴嘴、或如WO 2006/013355中描述之具有一同心通道及一同軸噴管之噴嘴、或具有用於燃燒具一高H2組分之製程氣體的大同心過量空氣通道之簡單噴嘴。
入口噴嘴可與增壓室分開或共同鑄造成一件。增壓室與噴嘴可由一高溫合金(諸如ANC16)(等效於鉻鎳鐵合金600)或ANC5(等效於SS310)鑄造成一件，此取決於要求。
燃燒室之下端形成出口，燃燒的氣體透過出口排放以接受進一步處理，諸如如當前實踐之空氣冷卻、水冷卻、溼式洗滌等。
儘管實施例係關於一種具有一環形燃燒室之燃燒器，但應明白其同樣適用於其他形式之燃燒器。
應明白分開入口功能與頭(燃燒室關閉)功能使入口能夠分開地移除。此繼而導致可根據需要選擇安裝任何此類入口而無需干擾其他入口或該頭。
儘管本文已參考隨附圖式詳細揭示本發明之說明性實施例，但應瞭解本發明不限於精確實施例且熟悉此項技術者可於其中實現各種變更及修改而不悖離如由隨附申請專利範圍及其等等效物界定的本發明之範疇。

Claims (14)

  1. 一種用於一輻射燃燒器之頭總成，該頭總成包括：一外殼，其界定延伸穿過其之複數個相同外殼孔隙；一絕緣體，其被該外殼收納且界定延伸穿過其之複數個對應之相同互補定位絕緣體孔隙；及至少一入口總成，其經組態以被該等相同外殼孔隙之一者收納，各入口總成包括：一外殼部分，其經組態以被該等相同外殼孔隙之該者收納；及一絕緣體部分，其經組態以填充該互補定位絕緣體孔隙；其中該外殼界定可操作以將來自該內燃燒器進料器總成之流體分配至可耦合至該頭總成的該輻射燃燒器之一增壓室之一通道。
  2. 如請求項1之頭總成，其中各相同外殼孔隙包括可操作以收納複數個不同入口總成之任何一者之一共同固定配置，各入口總成具有一互補之共同固定配置。
  3. 如請求項1或2之頭總成，其中各相同外殼孔隙係跨該外殼之一主面分佈。
  4. 如請求項1之頭總成，其中該外殼包括延伸穿過其之至少一其他孔隙且該絕緣體包括延伸穿過其之至少一互補定位絕緣體孔隙，該至少一其他孔隙經組態以收納一內燃燒器進料器總成、一引導器總成、一熱電偶總成及一窺鏡總成之至少一者。
  5. 如請求項1之頭總成，其中該外殼部分經組態以收納來自一對應流體供應器之至少一流體並將該至少一流體輸送至一對應出口以供應至該輻射燃燒器之一燃燒室。
  6. 如請求項1之頭總成，其中該外殼部分經組態以將該至少一流體輸送至複數個出口以供應至該輻射燃燒器之一燃燒室。
  7. 如請求項1之頭總成，其中該外殼部分經組態以收納來自複數個對應流體供應器之複數個流體並將該複數個流體輸送至一出口以供應至該輻射燃燒器之一燃燒室。
  8. 如請求項1之頭總成，其中該外殼部分包括可操作以清潔一對應出口之至少一清潔機構。
  9. 如請求項1之頭總成，其中該外殼與該絕緣體共同界定該通道。
  10. 如請求項1之頭總成，其中該外殼部分經組態以延伸穿過該通道。
  11. 如請求項1之頭總成，其中各出口至少部分延伸穿過該絕緣部分之一對應出口孔隙。
  12. 如請求項1之頭總成，其中該絕緣體部分經組態以至少部分環繞該出口。
  13. 一種頭總成方法，其包括：提供界定延伸穿過其之複數個相同外殼孔隙之一外殼；藉由該外殼收納一絕緣體，該絕緣體界定延伸穿過其之複數個對應之相同互補定位絕緣體孔隙；及用該等相同外殼孔隙之一者收納至少一入口總成，各入口總成包括經組態以被該等相同外殼孔隙之該者收納之一外殼部分及經組態以填充該互補定位絕緣體孔隙之一絕緣體部分。
  14. 一種入口總成，其經組態以被用於一輻射燃燒器之一頭總成之一外殼之相同外殼孔隙之一者收納，該入口總成包括：一外殼部分，其經組態以被該等相同外殼孔隙之該者收納；及一絕緣體部分，其經組態以填充被該外殼收納的一絕緣體之一互補定位絕緣體孔隙。
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