TWI623479B - 晶片輸送機系統和裝配晶片輸送機系統的方法 - Google Patents

晶片輸送機系統和裝配晶片輸送機系統的方法 Download PDF

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Abstract

本案提供一種適用於輸送待傳送的晶片的輸送機系統。輸送機系統包括至少一個滾子、適用於可旋轉地保持所述滾子的至少一個滾子軸承和在所述滾子之上橫跨的至少一個晶片傳送皮帶。當裝配輸送機系統時，即當輸送機系統處於正常操作模式下時，滾子軸承通過橫跨的晶片傳送皮帶的張力保持在適當的位置。

Description

晶片輸送機系統和裝配晶片輸送機系統的方法
本案實施例涉及晶片處理領域，且特別地涉及晶片傳送系統。此外，本案實施例涉及促進裝配和拆卸所述晶片傳送系統的方法。特別地，本案實施例在太陽能電池生產中的晶片傳送領域的範圍內。
在基於晶片的太陽能模組和薄膜太陽能模組的生產技術中，在進行處理步驟前後操作和傳送晶片是一個問題。隨著晶片處理變得越來越複雜，對環境條件敏感且成本密集，在很多情況下的待處理晶片的傳送可通過輸送機系統執行。這些輸送機系統可基於傳送皮帶，例如通過電動機驅動裝置驅動。
這種輸送機系統包括所述電動機驅動裝置和用於提供皮帶通道的佈置。輸送機系統可包括用於驅動皮帶的滾子，在所述皮帶上可放置將被傳送的晶片。在維護程式期間，當保養系統時，或為了調換皮帶及/或除去滾子，傳送系統的元件被至少部分地的拆卸及/或拆除。拆卸及/或拆除程式可導 致整個處理系統的停機時間較長，且因此導致生產成本增加。
鑒於上文，存在改進的需要。
鑒於上文，本案提供以下內容。
根據一方面，提供了一種適用於輸送待傳送的晶片的輸送機系統。所述輸送機系統包括至少一個滾子、適用於可旋轉地保持所述滾子的至少一個滾子軸承，其中所述滾子軸承通過適用於驅動所述滾子的驅動皮帶的張力及/或晶片傳送皮帶的張力保持在適當的位置。
根據另一方面，提供了一種用於裝配傳送晶片的晶片輸送機系統的方法。所述方法包括：提供至少一個可旋轉佈置的滾子；在所述滾子之上橫跨適用於驅動滾子的至少一個晶片傳送皮帶或驅動皮帶，以使得所述滾子被專門地通過驅動皮帶及/或晶片傳送皮帶的張力保持在適當的位置。
根據特定實施例，滾子被專門地通過驅動皮帶及/或晶片傳送皮帶的張力保持在適當的位置。
進一步的實施例、方面、細節和優點將從從屬請求項、說明書和附圖中進一步顯現。本領域技藝人士在閱讀以下詳細描述且在查看以下附圖之後將認識附加的特徵和優點。
100‧‧‧輸送機系統
101‧‧‧驅動滾子
101a‧‧‧第一驅動滾子
101b‧‧‧第二驅動滾子
102‧‧‧驅動軸
103‧‧‧驅動滾子軸承
103a‧‧‧驅動滾子軸承
103b‧‧‧驅動滾子軸承
104‧‧‧凹槽
104a‧‧‧安裝凹槽
104b‧‧‧安裝凹槽
105‧‧‧電動機驅動滾子
106‧‧‧驅動皮帶
200‧‧‧螺釘
201‧‧‧導向滾子
201a‧‧‧導向滾子
201b‧‧‧導向滾子
202‧‧‧安裝槽
202a‧‧‧安裝槽
202b‧‧‧安裝槽
203‧‧‧導向滾子軸承
203a‧‧‧導向滾子軸承
203b‧‧‧導向滾子軸承
204‧‧‧導向滾子軸
205‧‧‧安裝板
205a‧‧‧安裝板
205b‧‧‧安裝板
206‧‧‧安裝螺母
207‧‧‧墊圈
300‧‧‧支撐單元
301‧‧‧電動機單元
303‧‧‧晶片傳送皮帶
303a‧‧‧晶片傳送皮帶
303b‧‧‧晶片傳送皮帶
304‧‧‧晶片傳送方向
307‧‧‧底座部分
308‧‧‧固定裝置
310‧‧‧角度
311‧‧‧惰輪滾子
312‧‧‧突起部
313‧‧‧導向滾子保持裝置
314‧‧‧中心線
315‧‧‧距離元件
316‧‧‧驅動環
401‧‧‧左側
402‧‧‧右側
501‧‧‧方塊
502‧‧‧方塊
503‧‧‧方塊
504‧‧‧方塊
505‧‧‧方塊
506‧‧‧方塊
507‧‧‧方塊
508‧‧‧方塊
509‧‧‧方塊
510‧‧‧方塊
以可詳細地理解本案的上述特徵的方式，可參考實施例對上文簡要概述的本案作更具體的描述。附圖中的元件 並不必按比例，而是將重點放在圖示本發明的原理上。此外，在附圖中，相同元件符號表示相應部分。附圖涉及本案的實施例且在下文中描述：圖1a圖示根據實施例的輸送機系統的示意側面剖面圖；圖1b圖示根據另一實施例的輸送機系統的示意側面剖面圖；圖1c圖示根據又一實施例的輸送機系統的示意側面剖面圖；圖2圖示根據又一實施例的輸送機系統的側視圖；圖3是圖2中所圖示的輸送機系統的各部分的詳圖；圖4是根據另一實施例的包括在輸送機系統中的電動機單元的分解圖，所述電動機單元具有附著於公共驅動軸的兩個滾子；圖5是根據一實施例的支撐單元的三維視圖，所述支撐單元適用於支撐輸送機系統的元件；圖6a圖示根據實施例的導向滾子的細節，所述導向滾子通過導向滾子軸承可旋轉地附接於導向滾子軸；圖6b圖示圖6a中所示的導向滾子軸的細節；圖7展示用於固定圖6a中所示的導向滾子軸承的安裝板；和圖8是圖示根據一實施例的操作晶片輸送機系統的方法的流程圖。
在以下詳細說明中，對構成說明一部分的附圖進行參考，且在所述說明中，附圖是通過其中可以實踐本發明的說明性的具體實施例而圖示。就此而言，參考被描述的附圖的方向使用諸如「水平」、「垂直」、「頂部」、「底部」、「正面」、「背面」等等的方向術語。因為實施例的元件可以數個不同方向定位，所以方向術語用於說明目的且決不起限制作用。應將理解，在不背離本發明範圍的情況下，可使用其他實施例且可進行結構或邏輯變化。以下詳細說明因此不被視為具有限制意義，且本發明的範圍是由所附申請專利範圍限定。被描述的實施例使用特定語言，所述特定語言不應被理解為限制所附申請專利範圍的範圍。
現將對各種實施例進行詳細參考，所述實施例的一或多個示例圖示於附圖中。每一個示例是作為說明而提供，且每一個示例並不意指作為對本發明的限制。例如，圖示或描述為一個實施例的一部分的特徵可用於其他實施例或結合其他實施例一起使用，以產生更進一步的實施例。本發明意圖包括所述修改和變化。示例使用特定語言描述，所述特定語言不應被理解為限制所附申請專利範圍的範圍。附圖沒有按比例繪製且僅用於說明性目的。為清楚起見，如果沒有另外說明，那麼相同元件或製造步驟已在不同附圖中通過相同元件符號表示。
如本文所使用，術語「正常操作模式」應被理解為描述輸送機系統的一種模式，在所述模式中，輸送機系統處於裝配狀態且可用於輸送待傳送的晶片。如本文所使用，術 語「保養模式」應被理解為描述輸送機系統的一種模式，在所述模式中，輸送機系統被拆卸且輸送機系統的各個元件可被獲取及/或保養。在本說明書的上下文中，術語「晶片傳送方向」應被理解為其中待傳送的晶片可使用傳送皮帶來回移動的傳送方向。待傳送的晶片可具有範圍從5cm×5cm至50cm×50cm的尺寸，且更具體地說，待傳送的晶片可具有範圍從大約12cm×12cm至大約20cm×20cm的尺寸，諸如15.5cm×15.5cm的尺寸。
根據各方面，本案提出一種適用於輸送待傳送的晶片的輸送機系統，其中輸送機系統的元件可通過晶片傳送皮帶的張力保持在適當的位置。具體地說，可提供適用於輸送待傳送的晶片的輸送機系統。輸送機系統可包括至少一個滾子、適用於可旋轉地保持所述滾子的至少一個滾子軸承、和在滾子之上橫跨的至少一個晶片傳送皮帶，其中滾子軸承通過橫跨的晶片傳送皮帶的張力被保持在適當的位置。替代地或另外地，輸送機系統可包括被設置用於驅動滾子的至少一個驅動皮帶。驅動皮帶可在滾子之上橫跨，從而將滾子保持在適當的位置。
根據本文述及之實施例，滾子被專門地通過驅動皮帶及/或晶片傳送皮帶的張力保持在適當的位置。這應被理解為因為滾子沒有被以任何方式(諸如通過螺釘、膠水、焊接等等)固定於滾子軸承。
此外，可以提供用於裝配傳送晶片的晶片輸送機系統的方法。所述方法可包括：提供至少一個可旋轉佈置的滾 子；在滾子上橫跨至少一個晶片傳送皮帶，以使得滾子可通過橫跨的晶片傳送皮帶的張力被保持在適當的位置；通過滾子驅動晶片傳送皮帶；及在驅動的晶片傳送皮帶上傳送晶片。
根據修改的實施例，所述至少一個可旋轉佈置的滾子可以是適用於驅動晶片傳送皮帶的驅動滾子和適用於導向晶片傳送皮帶的導向滾子中的至少一個。此外，所述至少一個滾子軸承可以是適用於可旋轉地保持驅動滾子的驅動滾子軸承和適用於可旋轉地保持導向滾子的導向滾子軸承中的至少一個。
圖1a圖示根據實施例的輸送機系統100。輸送機系統100包括在第一側401的驅動滾子101(部分地圖示在圖1a中)，和通過驅動滾子101驅動的晶片傳送皮帶303。由此，待傳送的晶片可在晶片傳送方向304上輸送，晶片被放置在晶片傳送皮帶303上。在圖1a中，圖示了晶片的水平運動，然而，只要晶片不會滑掉，待傳送的晶片可在偏離水平方向的任何方向上輸送。
可提供合適表面粗糙度的皮帶表面，以使得晶片在傳送期間可被固定地保持。除了以上條件之外或作為以上條件的替代，可提供由吸引裝置(未圖示)從晶片傳送皮帶303下方提供的吸力，以使得待傳送的晶片可被安全地保持在晶片傳送皮帶303上。可提供支撐單元300，以便在處理地點安裝晶片傳送系統100的元件。支撐單元300可包括底座部分307或支撐架。底座部分307及/或支撐架可根據處理地點限定的要 求設計。
在晶片傳送系統100的第二側402，可提供導向滾子201。由此，待傳送的晶片可從一側移動到另一側，諸如在附圖中從左側401移動到右側402，或從右側402移動到左側401。通過合適的軸承，即驅動滾子軸承103和導向滾子軸承203，驅動滾子101和導向滾子201可分別可旋轉地附著於支撐單元300。由此，提供適用於驅動晶片傳送皮帶303的驅動滾子101和適用於導向晶片傳送皮帶303的導向滾子201中的至少一個。
此外，提供適用於可旋轉地保持驅動滾子101的驅動滾子軸承103和適用於可旋轉地保持導向滾子201的導向滾子軸承203中的至少一個。根據一實施例，導向滾子軸承203可通過夾具308支撐，所述固定裝置的示例將在圖6a、圖6b和圖7中更詳細地圖示。
如圖1a中所示，驅動滾子軸承103和導向滾子軸承203兩者都可被容納於在支撐單元300中提供的各個安裝凹槽104中。由此，通過鬆開晶片傳送皮帶303，驅動滾子軸承103和相關聯的驅動滾子101一起以及導向滾子軸承203和相關聯的導向滾子201可一起被釋放。換句話說，通常沒有所提供的滾子的額外固定。由此，可以容易且有效的方式執行從輸送機系統100的正常操作模式(在所述模式中，輸送機系統100處於裝配狀態且可用於輸送待傳送的晶片)到保養模式(在所述模式中，輸送機系統被拆卸)的轉換。軸承103、軸承203從支撐單元300的釋放參照圖4的分解圖詳細描述。
換句話說，根據可與本文述及之其他實施例結合的實施例的輸送機系統包括適用於驅動晶片傳送皮帶303的至少一個驅動滾子101和用於導向晶片傳送皮帶303的至少一個導向滾子201。
可以提供可適於可旋轉地保持驅動滾子101的至少一個驅動滾子軸承103。除所述驅動滾子軸承之外，還可提供適用於可旋轉地保持導向滾子201的導向滾子軸承203。晶片傳送皮帶303可在驅動滾子101和導向滾子201兩者上橫跨。
根據可與本文述及之實施例結合的另一實施例，晶片傳送皮帶303可作為環形帶提供。晶片傳送皮帶303的材料可選自由以下材料組成的群組：橡膠、塑膠、聚氨酯、金屬，和上述材料的任何組合。由此，晶片傳送皮帶303的材料可適應以使得晶片傳送程序可被改進。
在圖1a中所圖示的正常操作模式中，驅動滾子軸承103和驅動滾子101一起以及導向滾子軸承203和導向滾子201一起可通過橫跨的晶片傳送皮帶303的張力被保持在適當的位置。此外，在正常操作模式中，待傳送的晶片可在大致水平的方向上輸送。
在保養模式(例如，圖示於圖3中)中，晶片傳送皮帶303可被除去或至少鬆開，且輸送機系統100的維護或保養可通過釋放驅動滾子101和導向滾子201中的至少一個、以及相關聯的軸承103、203來進行。晶片傳送皮帶303可被除去或至少鬆開，且在特定元件損壞的情況下，部分輸送機系統100可被例如通過釋放驅動滾子101和導向滾子201中的至少一個 以及通過選擇性地釋放相關聯的軸承103、203來更換。
在適用於輸送待傳送的晶片的輸送機系統100中，可提供至少一個驅動滾子軸承103以便可旋轉地保持驅動滾子101，且可提供至少一個導向滾子軸承203以便可旋轉地保持導向滾子201。由於晶片傳送皮帶303可在驅動滾子101和導向滾子201上橫跨，所以驅動滾子軸承103和導向滾子軸承203兩者都通過皮帶張力保持在各個安裝凹槽104中。
圖1b圖示根據另一實施例的輸送機系統的示意側面剖面圖。如圖1b中所示，驅動滾子101可被附接在公共驅動軸102處，且驅動滾子101可由驅動皮帶106驅動。驅動皮帶106橫跨在滾子101和電動機驅動滾子105之間，所述驅動皮帶106進而可通過電動機單元(未圖示在圖1b中)驅動。使用驅動皮帶106，驅動滾子軸承103和驅動滾子101一起可通過橫跨的驅動皮帶106的張力被保持在適當的位置。
換句話說，驅動滾子軸承103和驅動滾子101一起可通過晶片傳送皮帶303的張力(如已根據圖1a在上文中描述地)，或通過驅動皮帶106的張力中的至少一個被保持在適當的位置。此外，驅動滾子軸承103和驅動滾子101一起可通過晶片傳送皮帶303的張力和驅動皮帶106的張力被保持在適當的位置。
為了通過驅動皮帶在凹槽104之內提供驅動滾子軸承103的可靠固定裝置，通常使得連接驅動滾子軸承103的軸線和電動機驅動滾子105的軸線的直線與平行於晶片傳送方向304的水平線311之間的角度310實現以下情況：連接驅動滾 子軸承103的軸線和電動機驅動滾子105的軸線的直線觸及支撐單元300。在圖1b中，為了說明性目的，圖示了最大角度，在所述最大角度下，連接驅動滾子軸承103的軸線和電動機驅動滾子105的軸線的直線仍然觸及支撐單元300。
在連接驅動滾子軸承103的軸線和電動機驅動滾子105的軸線的直線與水平線311之間的角度310可在從0度至75度的範圍中，更具體地說在從0度至55度的範圍中，且甚至更具體地說，角度310可約達45度，所述水平線311平行於晶片傳送方向304。由此，在保養模式中，通過除去或至少鬆開驅動皮帶106，驅動滾子軸承103及/或驅動滾子101及/或晶片傳送皮帶303可從輸送機系統100被除去。
圖1c圖示根據又一實施例的輸送機系統的示意側面剖面圖。除圖1b中所圖示的輸送機系統設置之外，圖1c中所示的輸送機系統100包括惰輪滾子311，所述惰輪滾子311可被用作晶片傳送皮帶303的偏轉滑輪。根據可與本文述及之其他實施例結合的實施例，晶片傳送皮帶可通過惰輪滾子311橫跨。此外，或作為上述情況的替代，晶片傳送皮帶303可通過例如在支撐單元300的方向上移動惰輪滾子311而被容易地調換或保養。由此，不同長度的晶片傳送皮帶303可通過相對於支撐單元300調整惰輪滾子311來被補償。
根據典型的實施例，在其中輸送機皮帶包括通過傳送皮帶及/或驅動皮帶被保持在固定位置的兩個滾子的實施例中提供惰輪滾子。此情況被圖示在圖1c中，在此圖中，在右側的滾子201也不具備固定裝置。
圖2圖示根據可與本文述及之其他實施例結合的實施例的輸送機系統100的側視圖。如圖2中所示，支撐單元300可通過螺釘200附接於處理系統(未圖示)。支撐單元300支撐輸送機佈置，所述輸送機佈置具有第一側401和第二側402，所述第一側401具有電動機單元301，且所述第二側402具有導向滾子201a、201b。
在支撐單元的第二側402處的終止單元可包括至少一個導向滾子201a、201b，所述至少一個導向滾子201a、201b適用於將相關聯的晶片傳送皮帶303a、303b導引回到第一側401。在本文中，晶片傳送皮帶303a、303b可在一迴路中橫跨，所述迴路位於在第一側401的各個驅動滾子101a、101b和在第二側402的各個導向滾子201a、201b之間。可提供至少一個導向滾子軸承203以便在終止單元處保持各個導向滾子201。
在圖2中所示的實施例中，兩個晶片傳送皮帶303a、303b可被提供用於以安全且可靠的方式輸送待傳送的晶片(未圖示)。兩個晶片傳送皮帶303a、303b可大致平行於彼此地進行佈置且可在晶片傳送方向304上具有一長度，所述長度在10cm至3m的範圍中，更具體地說在50cm至2m的範圍中，且甚至更具體地說，晶片傳送皮帶303a、303b的長度可約達1m。此外，晶片傳送皮帶303a、303b可具有垂直於晶片傳送方向304測量的一寬度，所述寬度在從0.3cm至10cm的範圍中，更具體地說在從0.5cm至2cm的範圍中，且甚至更具體地說，晶片傳送皮帶303a、303b可具有大約1cm的寬度。
在此處應注意，僅一個晶片傳送皮帶303或多於兩個 的晶片傳送皮帶303可被用於本文述及之實施例的替代修改中。此外，應注意，圖2圖示其中已建立正常操作模式的情況。第一晶片傳送皮帶303a可在第一驅動滾子101a和第一導向滾子201a之間橫跨，其中第二晶片傳送皮帶303b可在第二驅動滾子101b和第二導向滾子201b之間橫跨。兩個驅動滾子101a、101b可被附接於公共驅動軸102。驅動軸102可通過電動機驅動滾子105由電動機單元301驅動。電動機驅動滾子105可適於通過驅動皮帶106驅動公共驅動軸102。由此，驅動滾子101a、101b兩者都可被驅動以使得晶片傳送皮帶303可在傳送方向304上移動，例如，可在晶片傳送方向304上來回移動。
晶片傳送皮帶303a、303b可在導向滾子201a、201b上被導向且被導向回到驅動滾子101a、101b，以使得可提供環形的晶片傳送皮帶303。導向滾子201a、201b可被保持在各個安裝板205a、205b處。在安裝板205a、205b中，可分別提供安裝槽202a和202b以使得導向滾子201a、201b的各個軸可在晶片傳送方向304上來回移動。以此方式，兩個晶片傳送皮帶303a、303b可被分別地橫跨。由此，導向滾子軸承203a、203b中至少一個的軸線可被容納在安裝槽202a、202b中，其中所述軸線可在晶片傳送方向304上來回移動以使得晶片傳送皮帶303的張力可被調整。
根據實施例的替代修改，至少一個驅動滾子軸承103的軸線可被容納在另一安裝槽(未圖示在圖2中)中，其中所述軸線可在晶片傳送方向304上來回移動以使得晶片傳送皮 帶303的張力可被調整。
在圖2中所示的輸送機系統100的實施例中，驅動滾子101a、101b和導向滾子201a、201b兩者都可通過各個軸承，即驅動滾子軸承103a、103b和導向滾子軸承203a、203b，可旋轉地附接於支撐單元300。導向滾子軸承203a、203b可在輸送機系統100的第二側402在安裝槽201a、201b之內被附接於各個安裝板205a、205b。
另一方面，驅動滾子軸承103a、103b可通過兩個晶片傳送皮帶303a、303b被可釋放地保持在支撐單元300處，且驅動滾子軸承103a、103b可被容納在相關聯的安裝凹槽104a、104b中，參見圖4。由此，在下文根據圖3和圖4述及之保養模式中，可以促進公共驅動軸102連同兩個驅動滾子101a、101b和驅動滾子軸承103a、103的各個拆除和拆卸，且可以降低保養維護成本。此外，可以減少由保養程式或在損壞的情況下由於修理工作所導致的停機時間。如從圖2中可見，晶片傳送皮帶303a、303b可以容易且有效的方式從輸送機系統100被除去，而無需從輸送機系統100拆除任何其他元件。
雖然沒有在附圖中圖示，但是應在此處注意，代替通過電動機單元301驅動公共驅動軸102，導向滾子201a、201b中的一個或兩個可被驅動以使得晶片傳送皮帶303a、303b可在晶片傳送方向304上移動(圖1a)。
圖3是根據可與本文述及之其他實施例結合的實施例的輸送機系統100的主要部分的分解圖。輸送機系統100被圖示為至少部分地被拆卸以使得個別元件可被單獨看到。在 此處應注意，其中已從輸送機系統100除去晶片傳送皮帶303a、303b以使得輸送機系統100的其他元件也可被釋放的情況在本說明書中被表示為保養模式。
電動機單元301被示例性地圖示為包括公共驅動軸102和附接於所述驅動軸102的兩個驅動滾子101a、101b。此外，圖示了兩個驅動滾子軸承103a、103b，所述驅動滾子軸承103a、103b可被容納在各個安裝凹槽104a、104b中。在圖3中所示的情況下，晶片傳送皮帶303a、303b可被釋放以使得公共驅動軸102和驅動滾子101a、101b一起可例如為了維護目的而被拆卸。
根據可與本文述及之其他實施例結合的實施例，輸送機系統100可包括感測器單元403，所述感測器單元403適用於檢測正在晶片傳送皮帶303a、303b上輸送的晶片的通過。根據更進一步另外或替代的修改，感測器單元403可選自包括以下感測器的群組：光學感測器、機械感測器、電容感測器、超聲波感測器和上述感測器的任何組合。根據另一實施例，感測器單元403可用於在晶片傳送期間的運動調整。
圖4是電動機單元301的分解圖，電動機單元301包括兩個滾子101a、101b和兩個驅動滾子軸承103a、103b，所述兩個滾子101a、101b被圖示為具有公共驅動軸102的單元，且所述兩個驅動滾子軸承103a、103b被提供用於可旋轉地保持公共驅動軸102。在正常操作模式中，驅動滾子軸承103a、103b可被容納在電動機單元301的主體的安裝凹槽104a、104b中。由此，在保養模式中，通過除去晶片傳送皮帶303a、303b， 可旋轉地保持各個驅動滾子101a、101b的滾子軸承103a、103b可與相關聯的滾子101a、101b一起被釋放。
在圖4左側上圖示的驅動皮帶106可用於例如經由驅動環316驅動公共驅動軸102，所述驅動環316設置在兩個驅動滾子101a、101b之間的公共驅動軸102上。為了裝配電動機單元301，可以提供螺釘200、墊圈207和安裝螺母206。根據可與本文述及之其他實施例結合的實施例，驅動皮帶106可作為鋸齒狀驅動皮帶提供。根據實施例，鋸齒狀驅動皮帶可具有在大致垂直於皮帶運動方向的方向上定向的齒，或可具有在大致平行於皮帶運動方向的方向上定向的齒，或可具有在垂直方向和平行方向之間定向的齒。除上述情況之外，或作為上述情況的替代，電動機驅動滾子105可作為主動齒輪提供。
根據可與本文述及之其他實施例結合的實施例，主動齒輪可具有在大致垂直於主動齒輪的軸線的方向上定向的齒，或可具有在大致平行於主動齒輪的軸線的方向上定向的齒，或可具有在垂直方向和平行方向之間定向的齒。除此之外，或作為替代，驅動環316可具有在大致垂直於公共驅動軸102的方向上定向的齒，或可具有在大致平行於公共驅動軸102的方向上定向的齒，或可具有在垂直方向和平行方向之間定向的齒。由此，可以改進從電動機單元301到公共驅動軸102的旋轉動量傳遞。
根據可與本文述及之其他實施例結合的實施例，驅動滾子軸承103a、103b和導向滾子軸承203a、203b中的至少一個可選自由以下軸承組成的群組：球軸承、滾子軸承、圓 錐軸承和溝槽球軸承。
圖5圖示支撐單元300的底座部分307。底座部分307可適於被固定在處理晶片的處理地點，以使得根據實施例的輸送機系統100可用於傳送待處理的晶片。底座部分307可使用螺釘200和墊圈207固定。輸送機系統100的元件可通過螺釘200、墊圈207和安裝螺母206附接在底座部分307的頂部上。
圖6a圖示根據可與本文述及之其他實施例結合的實施例，通過導向滾子軸承203可旋轉地附接於導向滾子軸204的導向滾子201的細節。導向滾子軸204可被安裝在安裝槽202中，且導向滾子軸204可相對於晶片傳送方向304來回調整，如圖1a中所圖示地。諸如螺紋桿的距離元件315可被提供且附接於導向滾子保持裝置313，以使得可防止或至少減少導向滾子保持裝置313在安裝槽之內的晶片傳送方向上的運動(參見圖7)。
圖6b圖示圖6a中所示的導向滾子保持裝置313的細節。如圖6b中所示，導向滾子保持裝置313包括突起部312，在晶片傳送皮帶303橫跨的情況下，所述突起部312可導致導向滾子保持裝置313相對於導向滾子軸204的中心線314的傾斜。由此，在安裝板(參見圖7)和導向滾子保持裝置313之間的摩擦可將導向滾子保持裝置313固定在安裝板的安裝槽(參見圖7)之內。
圖7展示用於通過圖6b中所示的導向滾子保持裝置313可旋轉地保持圖6a中所示的導向滾子軸承203的安裝板205。如圖7中所示，安裝板205包括其中可容納導向滾子軸204 (參見圖6a)的安裝槽202。安裝板205可例如通過螺釘200、墊圈207和安裝螺母206附接於支撐單元300。每一晶片傳送皮帶303a、303b的附接的安裝板205a、205b被圖示在圖2中。換句話說，導向滾子保持裝置313可使用安裝槽205中的公差在晶片傳送方向304上進行調整，而導向滾子保持裝置313可當晶片傳送皮帶橫跨時使用由突起部312產生的傾斜固定在安裝槽205之內。
值得注意的是，在圖7中說明性圖示的元件和圖6a的那些元件可組成如圖1a中所圖示的固定裝置308。
圖8是圖示根據一實施例的操作晶片輸送機系統100的方法的流程圖。在方塊501處，程式可以開始。然後，可提供至少一個可旋轉佈置的驅動滾子101(方塊502)及/或至少一個可旋轉佈置的導向滾子201(方塊503)。程式前進到方塊504，在所述方塊處，可以決定是否需要正常操作模式。如果在方塊504處決定需要正常操作模式(在方塊504處的「是」)，那麼在方塊505處，至少一個晶片傳送皮帶303可橫跨在驅動滾子101之上和導向滾子201之上。由此，驅動滾子101及/或導向滾子201可通過橫跨的晶片傳送皮帶303的張力保持在適當的位置。
然後，在方塊506處，晶片傳送皮帶303可通過驅動滾子101驅動。然後，至少一個晶片傳送皮帶303可被驅動以使得晶片可在驅動的晶片傳送皮帶303上被傳送(方塊507)。在正常操作模式中的程式可在方塊508處結束。
如果在方塊504處決定不需要正常操作模式而需要 保養模式(在方塊504處的「否」)，那麼程式前進到方塊509，在所述方塊處，可開始保養模式。然後，在方塊510中，晶片傳送皮帶303可被除去。在除去晶片傳送皮帶303之後，驅動滾子101和導向滾子201中的至少一個可從支撐單元300被釋放。由此，可以提供對輸送機系統100或至少輸送機系統100的元件的維護。
根據另一實施例，輸送機系統100可包括感測器單元403，所述感測器單元403可包括光學感測器、機械感測器、電容感測器、超聲波感測器，和上述感測器的任何組合。使用感測器單元403，可以檢測在晶片傳送皮帶303a、303b上被輸送的晶片的通過，及/或可以進行在晶片處理期間的運動調整。此外，晶片傳送可被控制或至少監控。
根據本文述及之實施例的輸送機系統100可被例如在太陽能電池生產中有效地用於傳送晶片。所描述的從正常操作模式到保養模式且返回到正常操作模式的轉換允許在太陽能電池處理期間的既簡單又成本有效的晶片傳送和輸送機系統維護。
雖然前述內容是針對本發明的實施例，但是可在不背離本發明的基本範圍的情況下設計本發明的其他和進一步的實施例，且本發明的範圍是由以上申請專利範圍所決定。

Claims (14)

  1. 一種適用於在一晶片傳送皮帶上輸送待傳送的一晶片的輸送機系統，該輸送機系統包含：至少一個滾子，其中該至少一個滾子包括：適用於導向該晶片傳送皮帶的一導向滾子；及至少一個滾子軸承，適用於可旋轉地保持該滾子，其中該至少一個滾子軸承包括：適用於可旋轉地保持該導向滾子的一導向滾子軸承；其中該至少一個滾子軸承藉由以下中的至少一個保持在適當的位置：適用於驅動該滾子的一驅動皮帶的張力，及該晶片傳送皮帶的一張力；該輸送機系統進一步包含：具有一安裝槽的一安裝板；具有一導向滾子軸的一導向滾子保持裝置，其中該導向滾子藉由該導向滾子軸承可旋轉地附接於該導向滾子軸，其中可使用該安裝槽中的一公差在一晶片傳送方向上調整該導向滾子保持裝置，其中該導向滾子保持裝置具有突起部，該等突起部用於當該晶片傳送皮帶橫跨時提供該導向滾子保持裝置的一傾斜，使得該等突起部適用於藉由該安裝板和該導向滾子保持裝置之間的摩擦，將該導向滾子保持裝置固定在該安裝槽內。
  2. 如請求項1述及之輸送機系統，其中該滾子被專門地藉由該驅動皮帶的該張力和該晶片傳送皮帶的該張力中的至少一個保持在適當的位置。
  3. 如請求項1或2述及之輸送機系統，其中該至少一個滾子還包括：適用於驅動該晶片傳送皮帶的一驅動滾子，且(或)其中該至少一個滾子軸承還包括：適用於可旋轉地保持該驅動滾子的一驅動滾子軸承。
  4. 如請求項3述及之輸送機系統，其中兩個晶片傳送皮帶被平行地佈置，且其中適用於驅動該晶片傳送皮帶的兩個驅動滾子被佈置在一公共驅動軸上。
  5. 如請求項3述及之輸送機系統，進一步包含：適用於驅動該驅動滾子的一電動機單元。
  6. 如請求項4述及之輸送機系統，其中適用於可旋轉地保持該等驅動滾子的該等驅動滾子軸承被佈置在該公共驅動軸上。
  7. 如請求項5述及之輸送機系統，進一步包含：佈置在該電動機單元上的一電動機驅動滾子，該電動機驅動滾子藉由該驅動皮帶驅動一公共驅動軸。
  8. 如請求項7述及之輸送機系統，其中該驅動皮帶是一鋸齒狀驅動皮帶，且(或)其中該電動機驅動滾子包含：一主動齒輪。
  9. 如請求項8述及之輸送機系統，其中該鋸齒狀驅動皮帶的齒平行於該皮帶的方向而被定向，且(或)該主動齒輪的小齒輪以圍繞該主動齒輪行進的方向而被定向。
  10. 如請求項1或2述及之輸送機系統，其中該晶片傳送皮帶包含：一材料，該材料選自由以下材料組成的群組：橡膠、塑膠、聚氨酯、金屬和任何上述材料的組合。
  11. 如請求項3述及之輸送機系統，其中該驅動滾子軸承和該導向滾子軸承中的至少一個選自由以下軸承組成的群組：一球軸承、一滾子軸承、一圓錐軸承和一溝槽球軸承。
  12. 如請求項1或2述及之輸送機系統，進一步包含：一感測器單元，該感測器單元適用於檢測在該晶片傳送皮帶上被輸送的一晶片的一通過，該感測器單元選自由以下感測器組成的群組：一光學感測器、一機械感測器、一電容感測器、一超聲波感測器和上述感測器的任何組合。
  13. 一種裝配用於傳送晶片的一晶片輸送機系統的方法，該方法包含以下步驟：提供至少一個可旋轉佈置的滾子，其中該至少一個可旋轉佈置的滾子包括：適用於導向一晶片傳送皮帶的一導向滾子；提供至少一個滾子軸承，適用於可旋轉地保持該至少一個可旋轉佈置的滾子，其中該至少一個滾子軸承包括：適用於可旋轉地保持該導向滾子的一導向滾子軸承；提供具有一安裝槽的一安裝板；提供具有一導向滾子軸的一導向滾子保持裝置，其中該導向滾子藉由該導向滾子軸承可旋轉地附接於該導向滾子軸，其中可使用該安裝槽中的一公差在一晶片傳送方向上調整該導向滾子保持裝置，其中該導向滾子保持裝置具有突起部，該等突起部用於當該晶片傳送皮帶橫跨時提供該導向滾子保持裝置的一傾斜，使得該等突起部適用於藉由該安裝板和該導向滾子保持裝置之間的摩擦，將該導向滾子保持裝置固定在該安裝槽內；以及使至少一個晶片傳送皮帶和一驅動皮帶中的至少一個在該滾子上橫跨，以使得該滾子藉由該晶片傳送皮帶的張力和該驅動皮帶的張力中的至少一個被保持在適當的位置。
  14. 如請求項13述及之方法，其中該滾子被專門地藉由該驅動皮帶的該張力和該晶片傳送皮帶的該張力中的至少一個保持在適當的位置。
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