TWI603780B - Material supply device - Google Patents

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TWI603780B
TWI603780B TW103110382A TW103110382A TWI603780B TW I603780 B TWI603780 B TW I603780B TW 103110382 A TW103110382 A TW 103110382A TW 103110382 A TW103110382 A TW 103110382A TW I603780 B TWI603780 B TW I603780B
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inert gas
container
supply device
pipe
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Takayuki Ieki
Tadayuki Nagano
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Horiba Stec Co
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Description

材料供給裝置
本發明涉及用於供給例如半導體製造等中所使用的材料的材料供給裝置。
作為這種材料供給裝置有專利文獻1所記載的裝置。
這種裝置包括：填充有材料的填充容器；向填充容器內導入加壓氣體的加壓氣體導入配管；以及向外部供給填充容器內的材料的供給配管，通過從加壓氣體導入配管導入加壓氣體，並對填充容器內的氣體空間進行加壓，材料被擠出到供給配管並供給到填充容器的外部。
現有技術文獻
專利文獻1：日本專利公開公報特開2011-25104號
可是，當材料具有自燃性等、其處理必須加以嚴格注意的情況下，在更換填充容器時，需要謹慎操作以防材料從加壓氣體導入配管和供給配管等漏出。
本發明的主要目的是提供一種材料供給裝置，在填充容器的更換時材料不易洩漏、能安全地進行操作。
本發明提供一種材料供給裝置，其包括：外容器，用於以將內容器與外部空氣隔離的方式收納所述內容器，所述內容器收容材料並且具有用於導出所述材料的導出口；連接接頭，用於將供給配管與所述導出口連接，所述供給配管將所述材料供給到位於所述外容器的外側的規定的裝置中；以及接頭操作機構，能從所述外容器的外側在維持與外部空氣隔離了的狀態下操作配置在所 述外容器內的所述連接接頭。
按照所述結構，通過接頭操作機構，使用者能夠在把內容器與外部空氣隔離收納的狀態下從外容器的外側進行內容器的更換操作。因此，即使更換操作中萬一材料從內容器的導出口洩露了，由於漏出的材料會留在外容器的內側，所以能保證安全性。
如果本發明的材料供給裝置還包括：洩漏監視器，監視所述外容器的內部空間中的所述材料的洩漏；閉鎖機構，設置在所述外容器的門上，所述門用於取放所述內容器；以及控制部，當由所述洩漏監視器檢測到的材料洩漏量超過規定的閾值時，使所述閉鎖機構動作以禁止所述門的開啟，則即使在發生難以預料的情況、材料萬一洩漏到外容器內的情況下，由於所述洩漏能被洩漏監視器檢測出來，並且設置在外容器上的門被閉鎖機構鎖住而不能打開，所以能可靠地防止材料洩漏時使用者錯誤地打開門的情況。
如果所述洩漏監視器具備檢測所述外容器的內部空間中的所述材料的洩漏的至少兩個以上的檢測器，則在一方的檢測器發生錯誤時，可以用另一方的檢測器檢查一方的檢測器的錯誤。此外，即使一方的檢測器產生錯誤，由於可以用另一方的檢測器檢測材料的洩漏，所以能夠可靠地監視外容器的內部空間中的材料的洩漏。
如果本發明的材料供給裝置還包括不活潑氣體充滿機構，所述不活潑氣體充滿機構用不活潑氣體將所述外容器的內部空間充滿，則在材料具有自燃性等反應性時，通過使不活潑氣體充滿外容器內，即使材料萬一洩漏到外容器內，也可以防止材料發生反應(例如著火等)。
作為優選的實施方式，可以舉出：當從所述連接接頭取下使用完畢的內容器的導出口時，從所述供給配管向所述外容器的內部空間導入不活潑氣體，用於將使用完畢的內容器更換為新的內 容器。
按照該結構，可以將供給配管中殘留的材料清除，並且可以由洩漏監視器確認清除的結束。
此外，當即使經過了規定時間洩漏監視器所檢測到的材料洩漏量仍超過規定的閾值時，可以判明存在材料洩漏到外容器內的可能性。
此外，在清除中，由於洩漏監視器監視外容器的內部空間、且設置在外容器上的門被閉鎖機構鎖住，因而可以防止清除時使用者錯誤地打開門的情況。
此外，本發明提供一種材料供給裝置，其包括：內容器，收容材料並且具有用於導出所述材料的導出口；外容器，用於以將所述內容器與外部空氣隔離的方式收納所述內容器；以及連接接頭，配置在所述外容器內，用於將所述導出口與供給配管連接，所述供給配管將所述材料供給到位於所述外容器的外側的規定的裝置中，所述材料供給裝置還包括接頭操作機構，所述接頭操作機構能從所述外容器的外側在維持與外部空氣隔離了的狀態下操作所述連接接頭。
按照本發明的材料供給裝置，填充容器的更換時材料不易洩漏、能安全地進行操作。
1‧‧‧材料供給裝置
2‧‧‧內容器
3‧‧‧外容器
5‧‧‧接頭操作機構
7‧‧‧警報器
8‧‧‧負荷感測器
10‧‧‧液體檢測器
12‧‧‧品質流量控制器
13‧‧‧洩漏監視器
15‧‧‧壓力感測器
16‧‧‧閉鎖機構
20‧‧‧導出口
11a‧‧‧微差壓計
11b‧‧‧微差壓計
14a‧‧‧氣體濃度監視器
14b‧‧‧氣體檢測器
2a‧‧‧殼體
2b‧‧‧第二管狀體
2c‧‧‧第一管狀體
3a‧‧‧透明窗
3b‧‧‧門
4a‧‧‧連接接頭
4b‧‧‧連接接頭
6a‧‧‧壓送配管
6b‧‧‧配管
9a‧‧‧不活潑氣體導入配管
9b‧‧‧不活潑氣體導出配管
圖1是表示本發明的材料供給裝置的示意圖。
圖2是表示本發明的外容器的立體圖。
下面說明本發明的材料供給裝置的一個實施方式。
如圖1和圖2所示，本實施方式的材料供給裝置1是構成半導體製造裝置的一部分的裝置，材料供給裝置1包括：內容器2，收容半導體材料(例如三甲基鋁等具有自燃性的液體材料)；外容器3，以將內容器2與外部空氣隔離的方式收納內容器2；以及供 給配管6b，貫穿所述外容器3，與所述內容器2連接，向半導體製造室等規定的裝置供給所述液體材料。
內容器2包括：中空的殼體2a，收容所述液體材料；第一管狀體2c，以貫穿殼體2a的上壁的方式設置；以及第二管狀體2b，從殼體2a的上壁突出。
第一管狀體2c的下端一直延伸到殼體2a的底面附近，並浸漬在液體材料內，第一管狀體2c的上端相當於申請專利範圍中所記載的導出口20。另外，所述導出口20配置於外容器3的內部空間。
第二管狀體2b與殼體2a的內部空間連通，如果通過所述第二管狀體2b將不活潑氣體壓送到殼體2a的內部，則液體材料利用所述壓力通過第一管狀體2c並從導出口20導出。
如圖1和圖2所示，外容器3以將內容器2與外部空氣隔離的方式收納內容器2，外容器3具有：透明窗3a，鑲嵌了用於視覺辨認其內部的玻璃等；以及門3b，用於取放內容器2。
供給配管6b的一端貫穿外容器3的上壁並與第一管狀體2c的導出口20連接，另一端與半導體製造室等連接。利用壓送的不活潑氣體的壓力從殼體2a的內部向導出口20導出的液體材料，經過所述供給配管6b供給到半導體製造室等。此外，供給配管6b的上端側設有閥，該閥根據材料的供給狀態適當地打開或關閉。
另外，在本實施方式中，除了供給配管6b以外，還設有壓送配管6a，所述壓送配管6a用於向內容器2輸送不活潑氣體以提高內部壓力，從而從供給配管6b導出液體材料。
所述壓送配管6a的一端與儲存不活潑氣體的儲氣瓶等連接，另一端與第二管狀體2b連接，通過第二管狀體2b向殼體2a內部壓送不活潑氣體。
在此，壓送配管6a和供給配管6b的下端，分別通過連接接頭4a、4b與第二管狀體2b或第一管狀體2c連接。
所述連接接頭4a、4b的一個端部例如分別安裝在供給配管6b和壓送配管6a上，所述連接接頭4a、4b的另一個端部可以通過旋擰螺母以可接觸分離的方式分別安裝在第二管狀體2b或第一管狀體2c的上端部。
在所述結構以外，在本實施方式的材料供給裝置1中設有接頭操作機構5，所述接頭操作機構5能從外容器3的外側在維持與外部空氣隔離的狀態下操作連接接頭4a、4b。
接頭操作機構5由手套構成，所述手套以堵塞設在外容器3的側壁上的一對通孔的方式安裝，並向外容器3的內部空間突出。
此外，使用者通過帶上所述手套並旋擰設在連接接頭4a、4b的一個端部上的螺母來連接第二管狀體2b的上端部，並且連接第一管狀體2c的上端部。另外，優選的是，接頭操作機構5與連接接頭4a、4b被設置成：與距所述外容器3的底面的距離相等。這是由於通過所述結構，接頭操作機構5能更容易地操作連接接頭4a、4b。
所述手套使用材料具有耐受性的例如橡膠手套等，並具備使用者把手放入手套中時可以夠到連接接頭4a、4b的長度。
此外，本實施方式的材料供給裝置1包括：不活潑氣體充滿機構，在液體材料萬一洩漏到外容器3的內部空間時，使不活潑氣體充滿外容器3的內部空間；洩漏監視器13，在外容器3的內部空間監視液體材料的洩漏；閉鎖機構16，禁止設置在外容器3上的門3b的開啟；警報器7，設置在外容器3的上壁上，將外容器3的內部空間中有材料洩漏的情況通知使用者；以及控制部，使閉鎖機構16動作以禁止門的開啟，並且使警報器7動作。
不活潑氣體充滿機構用於使不活潑氣體充滿外容器3的內部空間，不活潑氣體充滿機構包括：不活潑氣體導入配管9a，以貫穿外容器3的側壁的方式插入；以及品質流量控制器12，設置在不活潑氣體導入配管9a上。
不活潑氣體導入配管9a的一端延伸到外容器3的內側，另一端與位於外容器3的外側的、例如儲存氮氣等不活潑氣體的氣瓶連接。此外，通過所述不活潑氣體導入配管9a從氣瓶放出的不活潑氣體被導入外容器3內。
品質流量控制器12用於調整流過不活潑氣體導入配管9a的不活潑氣體的流量，採用例如熱式品質流量控制器。
本實施方式的不活潑氣體充滿機構還具備不活潑氣體導出配管9b，該不活潑氣體導出配管9b用於將從外容器3內溢出的不活潑氣體導出。
所述不活潑氣體導出配管9b的一端延伸到外容器3的內側，另一端配置在外容器3的外側。此外，當從不活潑氣體導入配管9a導入外容器3的不活潑氣體充滿外容器3內時，溢出的不活潑氣體經由所述不活潑氣體導出配管9b向外容器3的外部導出。此外，不活潑氣體導出配管9b上設有洩漏監視器13。
所述洩漏監視器13通過檢測流過不活潑氣體導出配管9b的不活潑氣體中所含的材料，監視材料是否洩漏到了外容器3的內部空間中。此外，洩漏監視器13具有氣體濃度監視器14a和氣體檢測器14b。
氣體濃度監視器14a採用紅外分光法來檢測流過不活潑氣體導出配管9b的不活潑氣體所含的材料，所述紅外分光法例如向流過不活潑氣體導出配管9b的不活潑氣體照射紅外光以檢測不活潑氣體所含的材料。
氣體檢測器14b對例如流過不活潑氣體導出配管9b的不活潑氣體的一部分進行取樣，並通過使用半導體感測器、催化劑感測器、光感測器等對取樣到的氣體進行檢測以檢測流過不活潑氣體導出配管9b的不活潑氣體所含的材料。
此外，氣體濃度監視器14a檢測到的材料洩漏量和氣體檢測器14b檢測到的材料洩漏量被送往控制部。
控制部是在結構上具有CPU、內部記憶體、I/O緩衝電路、AD轉換器等的所謂的計算機電路。此外，控制部通過按照儲存在內部記憶體的規定區域中的程式動作進行資訊處理，使閉鎖機構16和警報器7動作。
具體而言，控制部接收從氣體濃度監視器14a和氣體檢測器14b發送來的材料洩漏量，當這些材料洩漏量的任意一方超過了預先規定的規定閾值(正常濃度值)時，使閉鎖機構16動作以禁止門3b的開啟，並且使警報器7動作。
以下說明本實施方式的材料供給裝置1的使用方法。
關於材料供給裝置1使用時
使用者當取出內容器2中收容的材料時，從不活潑氣體導入配管9a向外容器3內輸送不活潑氣體，使外容器3的內部空間充滿不活潑氣體。另外，此時設置在外容器3的門3b上的閉鎖機構16動作，門3b的開啟被禁止。
接著使用者觀察用於檢測外容器3的內部空間的壓力的微差壓計11a、11b，當確認了外容器3的內部空間相比於外容器3的外部成為加壓狀態時，判斷不活潑氣體已充滿外容器3的內部空間，向壓送配管6a導入不活潑氣體。導入壓送配管6a的不活潑氣體，順序通過連接接頭4a和第二管狀體2b被向內容器2壓送。於是，通過所述壓力，內容器2中收容的液體材料經過第一管狀體2c從導出口20通過連接接頭4b向供給配管6b導出。此外，使用者打開設置在供給配管6b上端的閥，將流過供給配管6b的材料供給到半導體製造室等。
此時，使用者對檢測外容器3的內部空間之液體的液體檢測器10進行確認，以確認材料是否洩漏到外容器3的內部空間。
進而通過氣體濃度監視器14a和氣體檢測器14b監視外容器3的內部空間，並將所述氣體濃度監視器14a和氣體檢測器14b檢測到的材料洩漏量發送到控制部。
當從氣體濃度監視器14a或氣體檢測器14b接收到的材料洩漏量的任意一方超過預先規定的閾值(正常濃度值)時，控制部維持使閉鎖機構16動作的狀態，並且使警報器7動作。
使用者在警報器7動作時，判斷材料漏到外容器3內而停止材料供給裝置1的使用。
關於材料供給裝置1的內容器2更換時
使用者在進行內容器2的更換時，通過從壓送配管6a和供給配管6b的上端導入不活潑氣體，把壓送配管6a和供給配管6b中殘留的材料清除到內容器2中。另外，此時設置在外容器3的門3b上的閉鎖機構16動作，門3b的開啟被禁止。
使用者在對壓送配管6a和供給配管6b進行清除期間，確認液體檢測器10以確認材料是否洩漏到外容器3的內部空間。
此外，通過氣體濃度監視器14a和氣體檢測器14b監視外容器3的內部空間，並將所述氣體濃度監視器14a和氣體檢測器14b所檢測到的材料洩漏量向控制部發送。
當氣體濃度監視器14a或氣體檢測器14b發送的材料洩漏量的任意一方超過閾值時，控制部在保持閉鎖機構16動作的狀態下，使警報器7動作。
如果警報器7動作，則使用者判斷材料洩漏到外容器3中，中止清除並且中斷更換操作。
另一方面，在警報器7未動作時，使用者直到清除結束為止持續向壓送配管6a和供給配管6b導入不活潑氣體。此外，當與連接接頭4a連接的壓送配管6a上設置的壓力感測器15成為減壓狀態、清除結束時，當確認到液體檢測器10未檢測到液體並且警報器7未動作時，判斷材料未洩漏到外容器3的內部空間，對連接接頭4a、4b加壓。
此外，使用者為了解除壓送配管6a和供給配管6b、與內容器2的連接，兩手插入接頭操作機構5的手套，邊通過透明窗3a觀 察邊使用配置在外容器3內的工具等，旋擰分別設置在連接接頭4a、4b上的螺母從而將第二管狀體2的上端從連接接頭4a的一個端部取下，並且把第一管狀體2c的上端(導出口20)從連接接頭4b的一個端部取下。
此時，施加在連接接頭4a上的壓力，由壓力感測器15檢測後發送到控制部。
控制部在從壓力感測器15接收到的壓力成為預設的設定壓力以下的時刻，開始計數規定時間，當在此期間氣體濃度監視器14a或氣體檢測器14b所發送的材料洩漏量的任意一方都未超過閾值時，解除閉鎖機構16並打開外容器3的門3b。
而後，使用者為了更換內容器2，取出收納在外容器3中的使用完畢的內容器2，並且把新的內容器2放置到設置在外容器3內的底面上的負荷感測器8上，關閉設置在外容器3上的門3b。負荷感測器8如果承受內容器2的負荷，則檢測到內容器2的負荷並將該資訊發送到控制部。
控制部如果接收到用於通知負荷感測器8感知到負荷的電信號，則使設置在外容器3上的門3b的閉鎖機構16動作。
使用者如果確認到外容器3的門3b的閉鎖機構16動作，則為了把更換後的新的內容器2與壓送配管6a和供給配管6b連接，再次將兩手插入接頭操作機構5的手套，邊通過透明窗3a觀察邊使用工具等擰緊連接接頭4a、4b的螺母以將第二管狀體2b的上端與連接接頭4a連接，並且把第一管狀體2c的上端(導出口20)與連接接頭4b連接。而後，從不活潑氣體導入配管9a使不活潑氣體流入外容器3的內部空間，將由於門3b的開閉而混入外容器3的內部空間中的空氣與不活潑氣體一起從不活潑氣體導出配管9b向外容器3的外部導出。隨後，觀察微差壓計11a、11b，如果確認到外容器3的內部空間相比於外容器3的外部成為加壓狀態，則判斷空氣已被除去，停止從不活潑氣體導入配管9a導入不 活潑氣體。
另外，在為了更換內容器2而解除閉鎖機構16時，控制部也可以從設置在與連接接頭4a連接的壓送配管6a上的壓力感測器15成為減壓狀態、清除結束的時刻開始計數規定時間。在該情況下，使用者以不對連接接頭4a、4b進行加壓的方式解除壓送配管6a和供給配管6b、與內容器2的連接。
材料洩漏到外容器3的內部空間時
當材料萬一洩漏到外容器3的內部空間、警報器7動作時，使用者對氣體濃度監視器14a、氣體檢測器14b，以及液體檢測器10等進行確認，以確認材料是否洩漏。
隨後，使不活潑氣體從不活潑氣體導入配管9a向外容器3的內部空間流入，使洩漏到外容器3的內部空間的材料汽化，並從不活潑氣體導出配管9b將所述材料氣體與不活潑氣體一起向外容器3的外部導出。
此外，使用者一直到氣體濃度監視器14a和氣體檢測器14b檢測到的值下降到閾值以下為止進行待機。
當氣體濃度監視器14a和氣體檢測器14b檢測到的值下降到閾值以下時，控制部使警報器7停止並解除閉鎖機構16。
另外，此時也可以採用下述方式：當氣體濃度監視器14a和氣體檢測器14b檢測到的值下降到閾值以下、且從下降到閾值以下開始起經過了規定時間時，控制部使警報器7停止並且解除閉鎖機構16。
按照以上結構的本實施方式的材料供給裝置1，其具有以下的效果。
由於具備能從外容器3的外側在維持與所述外部空氣隔離的狀態下操作連接接頭4a、4b的接頭操作機構5，所以使用者能夠在內容器2與外部空氣隔離收納的狀態下，從外容器3的外側進行內容器2的更換操作。因此，即使在更換操作中材料萬一從內 容器2的導出口20洩漏，由於漏出的材料留在外容器3的內側，所以能夠保證安全性。
此外，即使在材料萬一洩漏到了外容器3內時，由於該洩漏能被洩漏監視器13檢測到，設置在外容器3上的門3b被閉鎖機構16鎖住而不能打開，所以能夠可靠地防止材料洩漏時使用者錯誤地將門3b打開的情況。
洩漏監視器13具備用於檢測外容器3的內部空間中的材料洩漏的氣體濃度監視器14a和氣體檢測器14b，所以即使一方的檢測器產生錯誤，也可以用另一方的檢測器檢查一方的檢測器的錯誤。此外，因為即使一方的檢測器產生錯誤也可以用另一方的檢測器檢測材料的洩漏，所以能夠可靠地監視外容器的內部空間中的材料的洩漏。
由於使用以堵塞設置在外容器3的外壁上的通孔的方式安裝的、且向所述外容器3的內部空間突出的手套作為接頭操作機構5，所以使用者僅僅把手伸入手套就能從外容器3的外側操作連接接頭，此外，由於手套可以使五指自由活動，所以用簡單的結構就可以提供使用方便的裝置。
由於材料供給裝置1還具備用不活潑氣體充滿外容器3的內部空間的不活潑氣體充滿機構，所以通過在外容器3內充滿不活潑氣體，在材料具有自燃性等反應性時，即使材料萬一洩漏到外容器內，也可以防止材料發生反應(例如著火等)。
將使用完畢的內容器2更換為新的內容器2時，由於從壓送配管6a和供給配管6b向內容器2導入不活潑氣體，所以可以清除壓送配管6a和供給配管6b中殘留的材料，並且可以通過洩漏監視器13確認清除的結束。
此外，在即使經過規定時間後洩漏監視器13所檢測到的材料洩漏量仍超過規定的閾值時，可以判明存在材料洩漏到外容器3內的可能性。
此外，在清除中，由於洩漏監視器13監視外容器3的內部空間、且設置在外容器3上的門3b被閉鎖機構16鎖住，所以能防止清除時使用者錯誤把門3b打開的情況。
另外，本發明不限於所述實施方式。
儘管本實施方式使用了液體材料作為材料，但是也可以使用例如氣體材料和固體材料等作為材料。
內容器可以配合材料適當變更。即，例如第一管狀體和第二管狀體可以都從殼體突出，第一管狀體和第二管狀體也可以都貫穿殼體。
此外，本實施方式的接頭操作機構由使用者能自己操作的手套構成，但是也可以通過使用者遠端操作的例如機械手等裝置構成接頭操作機構。按照該結構，使用者可以在可靠地確保自身安全的情況下進行內容器的更換操作。
可以根據內容器和接頭操作機構的結構而適當變更外容器。即，例如接頭操作機構為遠端操作的機構時，也可以不在外容器上設置透明窗而另外設置拍攝外容器內的拍攝裝置。
在所述實施方式中，當氣體濃度監視器或氣體檢測器所發送的材料洩漏量的任意一方超過閾值時，控制部使閉鎖機構和警報器動作，但是也可以採用下述方式：當氣體濃度監視器和氣體檢測器所發送的材料洩漏量雙方都超過閾值時，使閉鎖機構和警報器動作。還可以採用下述方式：使用液體檢測器檢測液體得到的檢測信號以及微差壓計檢測到的檢測信號進行動作。
在所述實施方式中，通過確認微差壓計來用於判斷不活潑氣體已充滿了，這是由於所述實施方式的氣體濃度監視器和氣體檢測器是僅檢測三甲基鋁等液體材料的規格。因此，在氣體濃度監視器和氣體檢測器能檢測例如氧等的情況下，也可以通過確認氣體濃度監視器和氣體檢測器來確認不活潑氣體是否已充滿了。在該情況下，因為不必設置微差壓計，所以能使裝置結構簡單。
另外，為了進行氣體濃度監視器和氣體檢測器的零點修正，也可以設置直接連接不活潑氣體導入配管9a和不活潑氣體導出配管9b的管路。
在所述實施方式中，負荷感測器配置在外容器的內部空間中，但是也可以不設置負荷感測器。在該情況下，控制部可以通過檢測到使用者關閉了設置在外容器上的門而使閉鎖機構動作。
在所述實施方式中，不活潑氣體導入流道上配置了品質流量控制器，但是也可以代替品質流量控制器而使用品質流量計，也可以使用通過手動調整不活潑氣體的流量的針閥等。
在不違背本發明思想的範圍內，本發明可以進行各種變形。
1‧‧‧材料供給裝置
2‧‧‧內容器
3‧‧‧外容器
5‧‧‧接頭操作機構
7‧‧‧警報器
8‧‧‧負荷感測器
10‧‧‧液體檢測器
12‧‧‧品質流量控制器
13‧‧‧洩漏監視器
15‧‧‧壓力感測器
20‧‧‧導出口
11a‧‧‧微差壓計
11b‧‧‧微差壓計
14a‧‧‧氣體濃度監視器
14b‧‧‧氣體檢測器
2a‧‧‧殼體
2b‧‧‧第二管狀體
2c‧‧‧第一管狀體
3a‧‧‧透明窗
4a‧‧‧連接接頭
4b‧‧‧連接接頭
6a‧‧‧壓送配管
6b‧‧‧配管
9a‧‧‧不活潑氣體導入配管
9b‧‧‧不活潑氣體導出配管

Claims (6)

  1. 一種材料供給裝置，其特徵在於，包括：外容器，用於以將內容器與外部空氣隔離的方式收納所述內容器，所述內容器收容具有自燃性的材料並且具有用於導出所述材料的導出口；連接接頭，用於將供給配管與所述導出口連接，所述供給配管將所述材料供給到位於所述外容器的外側的規定的裝置中；接頭操作機構，能從所述外容器的外側在維持與外部空氣隔離了的狀態下操作配置在所述外容器內的所述連接接頭；以及不活潑氣體充滿機構，用不活潑氣體將所述外容器的內部空間充滿；所述不活潑氣體充滿機構包括：不活潑氣體導入配管，用於將不活潑氣體導入所述外容器的內部空間；以及不活潑氣體導出配管，用於從所述外容器的內部空間將不活潑氣體向外部導出；且所述不活潑氣體充滿機構係構成為從所述不活潑氣體導入配管導入的不活潑氣體在所述外容器的內部空間中吹向底部。
  2. 根據請求項1所述的材料供給裝置，其中，所述材料供給裝置還包括：洩漏監視器，監視所述外容器的內部空間中的所述材料的洩漏；閉鎖機構，設置在所述外容器的門上，所述門用於取放所述內容器；以及控制部，當由所述洩漏監視器檢測到的材料洩漏量超過規定的閾值時，使所述閉鎖機構動作以禁止所述門的開啟。
  3. 根據請求項2所述的材料供給裝置，其中，所述洩漏監視器具備檢測所述外容器的內部空間中的所述材料的洩漏的至少兩個以上的檢測器。
  4. 根據請求項1至3中任一項所述的材料供給裝置，其中，當從所述連接接頭取下使用完畢的內容器的導出口時，從所述供給配管向所述外容器的內部空間導入不活潑氣體，用於將使用完畢的內容器更換為新的內容器。
  5. 一種材料供給裝置，其特徵在於，所述材料供給裝置包括：內容器，收容具有自燃性的材料並且具有用於導出所述材料的導出口；外容器，用於以將所述內容器與外部空氣隔離的方式收納所述內容器；以及連接接頭，配置在所述外容器內，用於將所述導出口與供給配管連接，所述供給配管將所述材料供給到位於所述外容器的外側的規定的裝置中；所述材料供給裝置還包括：接頭操作機構，能從所述外容器的外側在維持與外部空氣隔離了的狀態下操作所述連接接頭；以及不活潑氣體充滿機構，用不活潑氣體將所述外容器的內部空間充滿；所述不活潑氣體充滿機構包括：不活潑氣體導入配管，用於將不活潑氣體導入所述外容器的內部空間；以及不活潑氣體導出配管，用於從所述外容器的內部空間將不活潑氣體向外部導出；且所述不活潑氣體充滿機構係構成為從所述不活潑氣體導入配管導入的不活潑氣體在所述外容器的內部空間中吹向底部。
  6. 一種材料供給裝置，其特徵在於，所述材料供給裝置包括：外容器，用於將內容器與外部空氣隔離的方式收納，所述內容器係收容材料並且具有用於導出所述材料的導出口；連接接頭，用於將供給配管與所述導出口連接，所述供給配管將所述材料供給到位於所述外容器的外側的規定的裝置中；以及接頭操作機構，能從所述外容器的外側在維持與外部空氣隔離了的狀態下操作配置在所述外容器內的所述連接接頭；當從所述連接接頭取下使用完畢的內容器的導出口時，從所述供給配管向所述外容器的內部空間導入不活潑氣體，用於將使用完畢的內容器更換為新的內容器。
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