KR100546367B1 - 흡착제의 잔류 수명 확인용 감지 장치, 이를 구비한 가스스크러버 및 흡착제의 잔류 수명 확인 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 유해한 배기 가스를 처리하기 위한 가스 스크러버 내에 포함된 흡착제의 잔류 수명을 확인하는 감지 장치, 이 감지 장치를 포함하는 가스 스크러버 및 흡착제의 잔류를 수명을 확인하는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의한 감지 장치는 흡착제의 흡착 능력 소모로 인해 미처리된 배기 가스와 직접 반응하여 변색될 수 있는 고상형 약재와, 이 고상형 약재를 내부에 수용하여 상기 고상형 약재의 변색 여부를 외부에서 육안으로 식별할 수 있도록 설치된 검지창과, 상기 검지창의 상측 및 하측 단부에 위치한 체결부를 포함한다. 이 검지창을 통하여 고상형 약재의 변색 상태를 직접 육안으로 관찰함으로써 지속적이고 안정적으로 흡착제의 잔류 수명 및 흡착제의 교체 시기를 확인할 수 있다. 이에 따라 가스 스크러버의 처리 능력에 대한 신뢰성을 확보할 수 있다.

가스 스크러버, 흡착제

Description

흡착제의 잔류 수명 확인용 감지 장치, 이를 구비한 가스 스크러버 및 흡착제의 잔류 수명 확인 방법{Detector for identifying residual life time of absorbent, gas scrubber comprising the detector and method of identifying residual life time of absorbent}

도 1은 종래의 전해액 형태의 감지 장치가 장착된 가스 스크러버 시스템을 나타내는 모식도이다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 흡착제의 잔류 수명 확인용 감지 장치의 개략적인 사시도이다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 흡착제의 잔류 수명 확인용 감지 장치가 가스 스크러버 시스템 내에 설치된 상태를 나타내는 개략적인 사시도이다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 스크러버 시스템을 나타내는 모식도이다.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 가스 스크러버 시스템을 나타내는 모식도이다.

도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 가스 스크러버 시스템을 나타내는 모식도이다.

도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 가스 스크러버 시스템을 나타내는 모식도이다.

도 8은 반도체 제조 설비 내에서 본 발명에 의한 가스 스크러버가 사용되는 상태를 나타내는 모식도이다.

본 발명은 흡착제의 잔류 수명 확인용 감지 장치, 이를 구비한 가스 스크러버 (gas scrubber) 및 흡착제의 잔류 수명 확인 방법에 관한 것으로, 특히 반도체 제조 공정 등에서 발생되는 유독 가스를 처리하기 위한 가스 스크러버에 설치된 흡착제의 잔류 수명 확인용 감지 장치, 이 감지 장치를 구비한 가스 스크러버 및 이 감지 장치를 이용하여 흡착제의 잔류 수명을 확인하는 방법에 관한 것이다.

반도체 제조 공정에서 사용 후 배기되는 가스는 가연성 또는 산성을 지닌 유독성 가스로서 인체와 환경에 매우 유해하므로 대기로 방출시키기 전에 화학적으로 안전한 가스로 처리되어야 한다.

예들 들어, 반도체 제조 공정 중에 사용되는 SiH₄, NH₃, AsH₃ 등의 공정 가스는 가연성, 폭발성을 지닌 유독성 가스이다. 그런데, 이러한 유독성 가스들의 상당량은 공정 챔버를 거친 후에도 반응하지 않고 그대로 챔버로부터 배기된다. 따라서, 이러한 가스를 대기로 방출하기 전에 여러 가지 장치에 의해 안전한 가스로 처리되어야 하는데, 가스 스크러버 장치가 이러한 역할을 한다.

공정 후 공정 챔버 내부의 잔류 공정 가스와 파우더 성분을 제거하기 위해 사용되는 클리닝 가스는 대부분 산성을 지닌 유독성 가스이므로 클리닝 작업 후 배기 가스를 대기로 배출시키기 전에 가스 스크러버에 의해 배기 가스 내에 있는 유해한 성분을 제거하여야 한다. 클리닝 가스로는 예를 들어, NF₃, HF 등이 있다.

가스 스크러버는 통상 반도체 제조 공정 등에서 발생하는 배기 가스를 처리하는 장치를 말하는 것으로 배기 가스를 처리하는 방식에 따라, 습식, 연소식, 흡착식 가스 스크러버로 분류된다. 습식 가스 스크러버는 배기 가스를 세척액으로 중화시켜 흡수 처리하는 방법을 사용하는 가스 스크러버이며, 대용량에 적합하다는 장점이 있으나, 불용성 가스의 처리가 불완전하고 폐수 처리를 위해 별도의 비용이 필요하다는 단점을 가지고 있다. 연소식 가스 스크러버는 배기 가스를 고온에서 연소시키거나 열분해시킴으로써 처리하는 방법을 사용하는 가스 스크러버이며, 대용량에 적합하다는 장점이 있으나 2차 유해물질인 부산물을 처리하기 위한 별도 비용이 필요하다는 단점을 가지고 있다.

이에 대해 흡착식 가스 스크러버는 흡착제를 이용하여 유독성 가스를 흡착, 제거한다. 이러한 흡착식 가스 스크러버에서는 유독성 배기 가스를 제거하기 위하여 흡착제를 가스 스크러버 내에 설치된 캐니스터(canister) 내에 충전한다. 이 흡착제는 반도체 제조 공정에 사용되는 유독성 가스를 물리적으로 또는 화학적으로 흡착하여 제거함으로써 배기 가스를 정화한다. 흡착제로는 활성탄과 NaOH, Ca(OH)₂, Mg(OH)₂ 등의 염기성 물질을 사용할 수 있으며, 최근에는 흔히 화학 수지(chemical resin)라고 불리우는 흡착제 물질을 많이 사용한다.

이러한 흡착식 가스 스크러버에 있어서는, 배기 가스 처리용 약재인 흡착제의 사용 수명과 교체 시점을 결정하는 것이 매우 중요하다. 캐니스터 내에 충전된 흡착제를 계속해서 사용한 결과 흡착제의 수명이 다하게 되면, 흡착제는 더 이상 유독성 가스를 흡착할 능력을 상실하게 된다. 이에 따라 유독성 배기 가스의 처리를 위해서는 캐니스터 내의 흡착제를 교체해야만 한다. 이러한 흡착제의 교체 시기를 확인하는 방법으로서, 스크러버 캐니스터의 무게 변화를 측정하는 방법, 유해가스의 흡착시 흡착열에 의한 온도 변화를 측정하여 흡착제의 잔류 수명 및 교체 시기를 확인하는 방법, 및 전해액 형태의 가스 감지 장치를 사용하여 흡착제의 잔류 수명 및 교체 시기를 확인하는 방법 등이 있다.

이와 관련하여, 한국공개특허공보 제2002-0034406호에는, 흡착열을 감지하는 온도 센서를 가스 캐니스터의 상단, 중단 및 하단에 설치하고 상단, 중단 및 하단에서의 흡착열에 의한 온도 변화를 측정하여 흡착제의 잔류 수명 및 교체시기를 확인하는 방법이 개시되어 있다. 이 방법은, 흡착제 캐니스터 내에 충전된 흡착제의 흡착 능력이 상실되면 흡착제로부터 흡착열이 발생되지 않으므로 캐니스터의 상단, 중단 및 하단부의 온도 변화가 없게 된다는 점을 이용한 것이다. 그러나, 이러한 방법에서는 온도 변화에 의한 잔류 수명의 확인이 정확하지 않아 흡착제의 교체 시기를 정확히 예측할 수 없는 문제점이 있다.

최근 사용되고 있는 가스 스크러버에서는 전해액 형태의 가스 감지 장치를 이용하여 가스 캐니스터 내에 있는 흡착제의 잔류 수명을 확인하는 방법이 많이 사용된다. 이 방법은 전해액 형태의 감지 장치에 의해 출구쪽 배기 가스의 유해 성분 농도를 모니터링함으로써 흡착제의 잔류 수명과 흡착제의 교체 시기를 확인시켜준다. 즉,배기 가스가 일정치 이상의 유해 성분 농도를 가질 경우, 감지 장치 내에 있는 전해액은 상기 배기 가스와의 반응을 통해 변색된다. 이러한 변색은 장착된 센서(sensor)에 의해서 제어부로 전송되고 변색 정보를 전송 받은 제어부는 경고 알람(alarm)을 보내어 흡착제의 수명이 다했음을 알려준다. 이에 따라 흡착제 캐니스터의 교체 작업이 이루어지게 된다.

도 1은 종래의 전해액 형태의 감지 장치가 장착된 가스 스크러버 시스템을 나타내는 모식도이다. 도 1을 참조하면, CVD(chemical vapor deposition; 화학 기상 증착), 건식 에칭 또는 확산 등의 공정 설비를 거친 배기 가스가 가스 스크러버(100) 내로 들어 간다. 가스 스크러버(100)의 외장 캐비닛(14) 내에는 흡착제 캐니스터(10)가 설치되어 있다. 흡착제 캐니스터(10) 내에는 유해 성분을 화학적, 물리적으로 흡착하는 흡착제가 충전되어 있어 이 흡착제가 배기 가스를 정화하는 역할을 수행한다. 캐니스터(10) 내의 흡착제를 통과한 배기 가스는 측로(bypass)를 통해 전해액 형태의 감지 장치(12)로 들어가게 된다. 감지 장치(12)는 (흡착제를 통과한) 배기 가스의 유해 성분 농도를 모니터링한다. 흡착제의 잔류 수명이 다됨으로써 유해 성분의 농도가 일정치 이상이 되면, 감지 장치 내의 전해액이 변색되고, 이러한 변색 정보는 감지 장치(12) 내의 센서를 통해 전기적 신호로 입력된다. 센서를 통해 입력된 변색 정보는 제어부(16)로 전송된다. 제어부(16)에서는 입력된 변색 정보에 근거하여 경고 장치(18)에 신호를 전송하여 경고 알람을 발하게 한다. 클리닝 작업 후의 배기 가스(클리닝후 가스)를 정화하기 위한 가스 스크러버에 대해서도 마찬가지의 가스 정화 시스템이 적용된다.

그러나, 전해액 형태의 감지 장치를 사용하는 방법으로는, 흡착제의 잔류 수명을 육안을 통해 즉각적이고 지속적으로 확인할 수가 없다. 즉, 이 방법은 흡착제의 교체 시기가 될 때 일회적으로만 경고음을 발하여 흡착제의 잔류 수명을 확인시켜 줄 뿐이다. 이와 같이, 전해액 형태의 감지 장치는 1회성의 경고음만으로 흡착제의 교체 시기를 알려주기 때문에, 관리자 또는 작업자가 경고음을 인식하지 못한 경우에는 흡착제의 흡착 능력이 이미 소모되었음을 다시 확인할 수 없게 된다. 따라서 이미 소모된 흡착제가 교체되지 않은 상태에서 가스 스크러버가 작동하게 되어 유해 가스에 의한 환경 문제가 야기될 수 있다.

또한, 감지 장치 내에 있는 전해액은 휘발성을 지니고 있기 때문에, 가스 스크러버를 사용하지 않더라도 정기적으로 감지 장치를 교체해 주어야 한다. 즉, 가스 스크러버를 작동시키고 있든지 작동시키지 않고 있든지 상관 없이, 감지 장치 내의 전해액의 휘발성으로 인해 일정 기간(통상 6 개월)이 흐른 후에는 감지 장치 내의 전해액은 더 이상 사용할 수 없게 된다. 그러므로 감지 장치를 정기적으로 교체해주어야만 흡착제의 흡착능력 유무를 확인할 수 있다. 이러한 정기적인 교체로 인해 감지 장치의 교체에 비용이 많이 들게 되고, 교체 작업 자체가 매우 번거롭다.

이러한 문제점들으로 인해, 실제 정기적인 교체가 잘 이루어지지 않기 쉽고 가스 스크러버 내 흡착제의 관리가 소홀해지기 쉬워, 유해 가스에 의한 환경 문제를 야기시킬 수 있다. 즉, 감지 장치의 경고음을 간과하거나 감지 장치의 정기적인 교체를 소홀히 한 경우에는, 흡착제의 흡착 능력 상실을 확인할 수 없는 상태에서 공정이 이루어지게 된다. 따라서, 가스 스크러버를 작동시키더라도 배기 가스를 정화시키지 못하게 되고, 이러한 상황을 인식하지도 못하게 될 수 있다.

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 흡착제의 잔류 수명 및 교체 시기를 육안을 통해 즉각적이고 지속적으로 확인할 수 있고 흡착제의 잔류 수명에 대한 정확하고 용이한 관리를 가능하게 하는 흡착제의 잔류 수명 확인용 감지 장치를 제공하는 것이다.

본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는, 상기 흡착제의 잔류 수명 확인용 감지 장치를 구비하는 가스 스크러버를 제공하는 것이다.

본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제는, 흡착제의 잔류 수명 및 교체 시기를 육안을 통해 즉각적이고 지속적으로 확인할 수 있고 흡착제의 잔류 수명에 대한 정확하고 용이한 관리를 가능하게 흡착제의 잔류 수명 확인용 감지 방법을 제공하는 것이다.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 의한 흡착제의 잔류 수명 확인용 감지 장치는, 흡착제의 흡착 능력 소모로 인해 미처리된 배기 가스와 직접 반응하여 변색될 수 있는 고상형 약재; 상기 고상형 약재를 내부에 수용하여 상기 고상형 약재의 변색 여부를 외부에서 육안으로 식별할 수 있도록 설치된 검지창; 및 상기 검지창의 상측 및 하측 단부에 위치한 체결부를 포함한다.

상기 감지 장치에서 상기 검지창은 감지 장치를 통과하는 배기 가스의 압력을 충분히 견딜 수 있는 강화 유리로 제조될 수 있다. 또한, 상기 검지창의 형상은 원통 형상인 것이 바람직하다.

상기 감지 장치에서, 상기 고상형 약재는 미처리된 가연성 가스 및 산성 가스와의 반응에 의해 변색될 수 있는 금속 성분을 포함할 수 있다. 상기 고상형 약재는 망간(Mn)을 주성분으로 하는 금속 산화물을 포함할 수 있다. 또한, 상기 검지창 내부에 수용되어 있는 고상형 약재는 육안으로 식별 가능한 입자 크기를 갖는 다수의 입자들로 되어 있다. 상기 고상형 약재를 이루는 입자의 평균 직경은 2.0 mm 이고, 평균 길이는 7 mm 인 것이 바람직하다. 또한, 상기 고상형 약재를 이루는 입자의 단위 질량당 평균 표면적은 170 m²/g 이고 단위 질량당 평균 기공 부피는 0.9 cc/g 이고 평균 밀도는 0.73 g/cc 인 것이 바람직하다.

상기 다른 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 의한 가스 스크러버는, 공정 또는 클리닝 작업후 배기 가스를 정화시키기 위한 흡착제 캐니스터; 상기 흡착제 캐니스터에 포함된 흡착제의 잔류 수명을 확인하기 위한 감지 장치; 및 상기 흡착제 캐니스터의 전단 및 후단과 상기 흡착제의 잔류 수명 확인용 감지 장치의 전단 및 후단을 연결하는 배관을 포함하고, 상기 감지 장치는 상기 흡착제의 흡착 능력 소모로 인해 미처리된 배기 가스와 직접 반응하여 변색될 수 있는 고상형 약재, 상기 고상형 약재를 내부에 수용하여 상기 고상형 약재의 변색 여부를 외부에서 육안으로 식별할 수 있도록 설치된 검지창, 및 상기 검지창의 상측 및 하측 단부에 위치한 체결부를 포함한다.

또한, 상기 가스 스크러버는 외장 캐비닛(cabinet)을 더 포함할 수 있다. 상기 가스 스크러버가 외장 캐비닛을 구비하고 상기 외장 캐비닛 안에 상기 감지 장치가 설치된 경우에는, 상기 외장 캐비닛 외부에서 상기 감지 장치 내의 상기 고상형 약재의 변색 여부를 확인할 수 있도록 상기 외장 캐비닛 표면에 투시창이 설치되어 있다. 그러나, 가스 스크러버 관리자가 감지 장치 내의 검시창을 용이하게 관찰할 수 있도록 상기 감지 장치는 상기 가스 스크러버의 외장 캐비닛 외부에 설치될 수도 있다.

또한, 상기 가스 스크러버는 상기 감지 장치 내에 있는 고상형 약재를 촬영하는 카메라를 더 포함할 수도 있다. 상기 가스 스크러버는 상기 카메라와 연결된 표시 장치를 더 포함할 수도 있다. 이 경우 상기 카메라에 의해 얻은 화상은 상기 표시장치에 표시되어 가스 스크러버 관리자는 상기 표시 장치를 통해 상기 고상형 약재의 변색 여부를 관찰할 수 있도록 한다.

또한, 상기 가스 스크러버는 상기 감지 장치 내에 있는 고상형 약재의 명도를 감지하는 명도 센서를 더 포함할 수도 있다. 이 경우 상기 가스 스크러버는, 상기 명도 센서에 의해 얻은 명도 신호를 명도값으로 디지털화하고 이 명도값을 예정된 기준값과 비교하여 흡착제의 잔류 수명 및 흡착제의 교체 여부를 판단하는 제어부를 더 포함할 수 있다. 상기 제어부는 표시 장치와 연결되어 상기 표시 장치가 상기 명도값의 데이타를 표시하도록 할 수 있다. 또한, 상기 측정된 명도값이 상기 예정된 기준값 이하로 되는 경우 상기 제어부는 상기 제어부에 연결된 경고 장치로 하여금 경고 알람을 발하게 할 수 있다.

본 발명의 또 다른 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 의한 흡착제의 잔류 수명 확인 방법은, 유해한 배기 가스를 처리하는 가스 스크러버에서 흡착제의 잔류 수명을 확인 하는 방법으로서, 가스 스크러버 내에 설치된 흡착제 캐니스터를 통과한 배기 가스를 본 발명에 의한 흡착제의 잔류 수명 확인용 감지 장치에 유입시키는 단계, 및 상기 감지 장치의 검지창을 통해 상기 감지 장치 내의 고상형 약재의 변색 여부를 판단하는 단계를 포함한다.

이 경우, 상기 검지창을 통한 상기 고상형 약재의 변색 여부 판단은 상기 검지창을 통한 직접적인 육안 관찰에 의해 이루어질 수 있다. 또한, 상기 검지창을 통한 상기 고상형 약재의 변색 여부 판단은 상기 감지 장치를 수용하는 외장 캐비닛의 외부에서 상기 외장 캐비닛 표면 상에 형성된 투시창을 통하여 상기 고상형 약재를 육안으로 관찰함으로써 이루어질 수도 있다.

또한, 상기 흡착제의 잔류 수명 확인 방법에서, 상기 검지창을 통한 상기 고상형 약재의 변색 여부 판단은 상기 가스 스크러버 내에 설치된 카메라에 의해 얻은 상기 고상형 약재의 화상을 관찰함으로써 이루어질 수 있다. 이 경우 상기 카메라에 의해 얻은 화상은 상기 카메라와 연결된 표시 장치에 표시될 수도 있다.

또한, 상기 흡착제의 잔류 수명 확인 방법에서, 상기 검지창을 통한 상기 고상형 약재의 변색 여부 판단은 상기 가스 스크러버 내에 설치된 명도 센서 및 이 명도 센서와 연결된 제어부를 통하여 이루어질 수도 있다. 이 경우 상기 제어부는 상기 명도 센서로부터 얻은 명도 신호를 명도값으로 디지털화하고 이 명도값을 예정된 기준값과 비교하여 흡착제의 잔류 수명 및 흡착제의 교체 여부를 판단할 수 있다, 상기 제어부는 표시 장치와 연결되어 있어 상기 표시 장치로 하여금 상기 명도값의 데이타를 표시하게 할 수 있다. 또한, 상기 제어부는 경고 장치와 연결되어 있어 상기 명도값이 상기 예정된 기준값 이하로 되는 경우 상기 제어부는 상기 경고 장치로 하여금 경고 알람을 발하게 할 수 있다.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 다음에 예시되는 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 보호 범위가 다음에 설명되는 실시예에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시예는 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 흡착제의 잔류 수명 확인용 감지 장치의 개략적인 사시도이다. 도 2를 참조하면, 감지 장치(50)에는 다수의 고체 입자로 된 고상형 약재(52)가 담겨져 있고 이 고상형 약재(52)를 육안으로 식별할 수 있도록 투명한 검지창(detection window)이 설치되어 있다. 이 고상형 약재(52)는 배기 가스 정화용 흡착제를 통과한 배기 가스의 유해 성분을 감지하는 모니터링용 약재로 되어 있다. 이 검지창(54)은 감지 장치(50) 외부에서 고상형 약재(52)를 관찰할 수 있게 하는 투시창의 역할을 할 뿐만 아니라 고상형 약재(52)를 수용하는 용기의 측벽부의 역할을 한다. 또한 감지 장치(50)는 배관 등 다른 부재와의 연결을 위한 체결부(56, 58)를 상측 단부와 하측 단부에 각각 구비하고 있다. 하측 단부에 위치한 체결부(58)는 흡착제 캐니스터(도시 안됨)의 출구쪽 배관와 연결된다. 물론, 하측 단부에 위치한 체결부(58)는 흡착제 캐니스터의 출구쪽 체결부(도시 안됨)와 직접 연결될 수도 있다. 흡착제 캐니스터를 통과한 배기 가스는 감지 장치(50)의 하측 단부 및 감지창 내부를 거쳐 감지 장치(50)의 상측 단부로 흐른다.

도 2에 도시된 감지 장치(50)에서는 검지창의 형상이 원통형이지만, 사각 기둥이나 팔각 기둥의 형상으로 될 수도 있다. 검지창의 재료는 배기 가스의 압력을 충분히 견딜 수 있고 투명한 것이면 모두 가능하다. 그러나, 재료의 가격과 재료 가공의 용이성 측면에서 검지창의 재료로 투명 유리가 바람직하다. 안정성을 고려할 때, 감지 장치(50)를 통과하는 배기 가스의 압력을 충분히 견딜 수 있는 강화 유리가 검치창의 재료로 특히 바람직하다.

도 2에 도시된 본 발명에 의한 감지 장치(50) 내의 고상형 약재는 미처리된 배기 가스와의 반응에 의해 변색될 수 있는 모니터링용 약재이다. 공정 챔버를 거친 공정 작업 후 배기 가스 또는 클리닝 작업 후 배기 가스가 가스 스크러버 내의 흡착제에 의해 정화되어 유해 성분이 제거된 경우에는 상기 배기 가스가 감지 장치(50)를 통과하더라도 배기 가스는 감지 장치(50) 내에 있는 고상형 약재를 변색시키지 않는다. 그러나, 가스 스크러버 내의 흡착제의 잔류 수명이 다하여 흡착능력을 상실한 경우에는 배기 가스 내에 유해 성분이 상당히 포함되어 있어 배기 가스는 고상형 약재와 반응하여 이 고상형 약재의 색을 변화시킨다. 이에 따라 흡착제의 흡착능 유무를 모니터링할 수 있게 된다. 이 고상형 약재는 SiH₄, NH₃, AsH₃ 등의 가연성을 지닌 유독 가스 성분뿐만 아니라 NF₃, HF 등의 산성을 지닌 유독 가스 성분을 모니터링 할 수도 있다.

또한, 흡착제의 흡착능력이 소모됨에 따라 이 고상형 약재는 유독 가스에 의해 고상형 약재의 아래쪽으로부터 서서히 변색이 일어난다. 흡착제가 흡착능력을 완전히 상실하게 되어 잔류 수명을 다하게 되면, 고상형 약재는 전체적으로 강하게 변색된다. 이와 같이, 흡착제의 흡착 능력이 소모됨에 따라 고상형 약재의 변색 부위는 아래로부터 위로 퍼지게 되며, 변색 정도도 강하게 된다. 본 실시예에서의 고상형 약재는 유독 가스와의 반응에 의해 회색 등 명도가 낮은 색으로 변색되며, 흡착제의 흡착능력이 약화됨에 따라 명도는 더 낮아진다. 이에 따라 본 발명에 의한 감지 장치에서는 흡착제의 잔류 수명을 지속적으로 확인할 수 있게 된다.

상기 감지 장치(50) 내에 있는 고상형 약재는 가연성 가스 및 산성 가스와의 반응을 통해 변색 가능한 금속 성분을 포함하고 있다. 본 실시예에서는 Mn 을 주성분으로 하는 금속 산화물을 포함하는 고상형 약재가 사용된다. 바람직하게는, 고상형 약재는 약 2.0 mm 의 평균 직경 및 7 mm 의 평균 길이를 갖는 작은 고체 입자들로 되어 있다. 바람직하게는, 이 입자들의 단위 질량당 평균 표면적은 약 170 m²/g 이고, 평균 밀도는 약 0.73g/cc 이다. 이 입자들의 표면에는 작은 기공들이 있는데, 바람직하게는 단위 질량당 평균 기공 부피는 약 0.9 cc/g 이다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 흡착제의 잔류 수명 확인용 감지 장치(50)가 가스 스크러버 시스템 내에 설치된 상태를 나타내는 개략적인 사시도이다. 도 3을 참조하면, 흡착제의 잔류 수명 확인용 감지 장치(50)가 배관(60) 및 흡착제 캐니스터의 출구쪽의 체결부(59)와 연결되어 있다. 즉, 감지 장치(50)의 상측 단부에 설치된 체결부(56)는 배관(60)과 연결되어 있고, 감지 장치(50)의 하측 단부에 설치된 체결부(58)는 흡착제 캐니스터(도시 안됨)의 출구쪽 체결부(59)와 연결되어 있다. 상하측 단부에 설치된 체결부(56, 58) 사이에 고상형 약재(52)를 담은 검지창(54)이 위치하여 흡착제 캐니스터를 통과한 배기 가스가 상기 고상형 약재(52)로 유입될 수 있게 한다. 배기 가스와의 반응으로 인하여 고상형 약재(52)가 변색되는 지 여부를 투명한 검지창(54)을 통해 확인할 수 있다. 본 실시예에서는 상하측 단부 사이에 복수개의 지지대(57)가 설치되어 상부로부터의 하중을 지지한다.

고상형 약재가 완전히 변색되어 흡착제를 교체하는 경우에는 교체된 흡착제에 대한 계속적인 모니터링을 위해 고상형 약재도 교체해 주어야 한다. 체결부(56, 58)을 분리하여 고상형 약재만을 새것으로 바꿔줌으로써 고상형 약재의 교체는 손쉽게 이루어질 수 있다. 본 발명에 의한 감지 장치 내에 수용되는 고상형 약재는 종래의 전해액 형태의 감지 장치의 셀(cell)에 비해 가격이 현저히 저렴하다. 또한, 종래 전해액 형태의 감지 장치에서는 셀 내에 있는 전해액의 휘발성으로 인해 실제 가스 스크러버를 작동시키지 않는 경우라도 1년에 최소 2회씩은 정기적으로 셀을 교체하여야 하지만, 본 발명에 의한 감지 장치에서는 가스 스크러버를 사용하지 않는 경우에는 고상형 약재를 교체할 필요가 없고 단지 흡착제의 수명이 다하여 고상형 약재가 완전히 변색된 경우에만 교체한다. 따라서, 본 발명에 의한 감지 장치를 사용하는 경우에는 종래의 전해액 형태의 감지 장치에 비하여 설치 및 교체 비용을 현저히 저감시킬 수 있다.

이하, 도 4 내지 도 7을 참조하여 본 발명의 여러 실시예에 따른 가스 스크러버 시스템을 설명하다. 이 가스 스크러버 시스템에서는 전술한 바와 같은 본 발명에 의한 (흡착제의 잔류 수명 확인용) 감지 장치를 사용한다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 스크러버 시스템을 나타내는 모식도이다. 도 4를 참조하면, CVD, 확산, 건식 에칭 등의 공정 설비에서 공정 작업 또는 클리닝 작업을 거친 후 배기 가스가 가스 스크러버(200)의 입구를 통해 가스 스크러버(200) 내로 유입된다. 가스 스크러버(200) 내에는 유독 가스를 정화시키는 흡착제가 함유되어 있는 흡착제 캐니스터(20)가 설치되어 있어 입구를 통해 유입된 배기 가스의 유독 성분을 제거한다. 이 때 흡착제 캐니스터(20)를 통과하는 배기 가스는 공정 작업 후의 배기 가스일 수도 있고, 공정 단계 후에 수행되는 클리닝 작업 후의 배기 가스일 수도 있다. 공정 작업 후의 배기 가스에는 특히 가연성 유독 성분을 포함하고 있고, 클리닝 작업 후의 배기 가스에는 특히 산성 유독 성분을 포함하고 있다.

흡착제 캐니스터(20)를 통과한 배기 가스는 흡착제의 잔류 수명 확인용 감지 장치(50)로 유입된다. 전술한 바와 같이, 이 감지 장치(50) 내에는 흡착제의 잔류 수명을 확인할 수 있는 고상형 약재가 들어 있다. 투명한 검지창 내에 고상형 약재가 담겨져 있으므로 검지창을 통해 고상형 약재를 관찰할 수 있다. 감지 장치(200)를 통과한 배기 가스는 출구를 통해 외부로 나오게 된다. 만약 흡착제 캐니스터(20) 내에 있는 흡착제의 흡착능력이 정상이라면 배기 가스의 유독 성분은 흡착제에 의해 정상적으로 제거되므로 감지 장치(200) 내에 있는 고상형 약재를 변색시키지 못한다. 그러나, 흡착제의 흡착능력이 상당히 소모된 경우에는 배기 가스가 흡착제 캐니스터(20)를 통과하더라도 상당한 양의 유독 성분이 배기 가스 내에 남아 있다. 따라서, 감지 장치의 아래 부분으로부터 위쪽으로 고상형 약재의 색깔이 변하게 된다. 흡착제가 흡착능력을 완전히 상실한 경우에는 감지 장치 내의 고상형 약재 전체가 강하게 변색된다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 배기 가스의 유독 성분과의 반응에 의한 고상형 약재의 변색은 명도가 낮아지는 방향으로 이루어진다.

또한, 본 실시예에서는 가스 스크러버(200)가 외장 캐비닛(24)을 구비하여 그 내부에 흡착제 캐니스터(20) 및 흡착제의 잔류 수명 확인용 감지 장치(50)를 수용한다. 이 외장 캐비닛(24)의 외부에서 상기 감지 장치 내에 있는 고상형 약재를 관찰할 수 있도록 외장 캐비닛(24)의 표면 상에는 투시창(23)이 설치되어 있다. 이 투시창(23)을 통해 감지 장치(50)의 검지창 내에 있는 고상형 약재의 변색 여부를 판별할 수 있다. 그러나, 외장 캐비닛(24)은 반드시 필요한 것은 아니므로 외장 캐비닛(24)을 구비하지 않은 가스 스크러버 시스템을 사용할 수도 있다.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 가스 스크러버 시스템을 나타내는 모식도이다. 도 5에 도시된 가스 스크러버 시스템은, 측로를 통해 분기된 배관에 감지 장치(50)를 연결하여 외장 캐비닛(34) 외부에 감지 장치를 배치시킨다는 점을 제외하고는 도 4에 도시된 가스 스크러버 시스템과 같다.

도 5를 참조하면, 흡착제 캐니스터(30)를 통과한 배기 가스의 상당 부분은 주된 배관을 통해 가스 스크러버(300)를 나오는 한편, 일부 배기 가스는 주된 배관으로부터 분기된 측로 배관을 통하여 감지 장치(50)로 들어가게 된다. 감지 장치(50)를 통과한 배기 가스는 주된 배관을 통과하는 배기 가스와 합쳐지게 된다. 가스 스크러버 관리자가 감지 장치(50)를 용이하게 관찰할 수 있도록 감지 장치(50)을 외장 캐비닛(34) 외부의 적절한 지점에 위치시킨다. 감지 장치(50)가 원하는 관찰 지점에 배치될 수 있도록 상기 측로 배관은 충분한 배관 길이를 갖는다. 이와 같은 가스 스크러버(300)의 구성에서는 감지 장치(50) 내에 있는 고상형 약재를 관찰하기 위한 투시창을 외장 캐비닛(34) 표면 상에 따로 설치할 필요가 없다.

도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 가스 스크러버 시스템을 나타내는 모식도이다. 도 6에 도시된 가스 스크러버 시스템에서는 카메라(42) 및 이와 연결된 표시 장치(45)가 설치되어 있다.

흡착제 캐니스터(40)를 통과한 배기 가스는 감지 장치(50)로 유입되어 고상형 약재를 거친 후 가스 스크러버(400)의 출구쪽 배관으로 나온다. 감지 장치(50) 앞에 설치된 카메라(42)는 감지 장치(50) 내에 있는 고상형 약재를 검지창을 통해 계속적으로 촬영한다. 이 때 사용되는 카메라(42)는 컬러 화상을 얻을 수 있는 것이 바람직할 것이나 흑백 화상을 얻는 카메라(42)를 사용할 수도 있다. 가스 스크러버(400)의 외장 캐비닛(44) 내에 설치된 카메라(42)는 카메라 지지대(43)에 의해 지지된다.

카메라(42)는 표시 장치(45)와 연결되어 있어 카메라(42)가 얻은 화상은 실시간으로 지속적으로 이 표시 장치(45) 상에 표시된다. 따라서, 육안으로 직접 관찰하기 위한 투시창을 외장 캐비닛(44)의 표면 상에 설치할 필요가 없다. 표시 장치(45)에 표시된 고상형 약재를 관찰함으로써 흡착제의 잔류 수명 및 교체 시기를 확인할 수 있다. 또한, 표시 장치(45)를 원거리에 있는 가스 스크러버 관리자의 집무실에 위치시킴으로써 가스 스크러버 관리자는 흡착제의 잔류 수명을 자신의 집무실에서 편리하게 확인할 수 있다.

도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 가스 스크러버 시스템을 나타내는 모식도이다. 도 7을 참조하면, 가스 스크러버(600)의 외장 캐비닛(64) 내에 명도 센서(62)가 설치되어 있다. 본 발명에 의한 감지 장치(50) 앞에 배치된 명도 센서(62)는 감지 장치(50)의 검지창을 통해 고상형 약재의 명도를 감지한다.

도 7에 도시된 바와 같이, 공정 설비(도시 안됨)를 거친 배기 가스는 입구를 통해 가스 스크러버(600) 안으로 들어온다. 가스 스크러버(600) 내의 흡착제 캐니스터(60)를 통과한 배기 가스는 본 발명에 의한 감지 장치(50)로 유입되어 모니터링된 후 출구쪽 배관을 통해 가스 스크러버(600)를 나온다. 지지대(63)에 의해 지지되어 있는 명도 센서(62)는 그 앞에 설치된 감지 장치(62) 내의 고상형 약재의 명도를 검지창을 통해 감지한다. 흡착제의 흡착 능력이 정상적일 경우에는 흡착제를 통과한 배기 가스는 감지 장치(50) 내의 고상형 약재를 변색시키지 않으므로 고상형 약재는 정상적인 명도를 가진다. 그러나 흡착제가 흡착 능력을 상실한 경우에는 흡착제를 통과한 배기 가스는 감자 장치(50) 내의 고상형 약재를 어둡게 변색시켜 고상형 약재의 명도는 낮아지게 된다.

이와 같이 흡착제의 흡착 능력 유무에 따라 변하는 고상형 약재의 명도는 감지 장치(50) 앞에 설치된 명도 센서(62)에 의해 감지된다. 명도 센서(62)에 의해 얻어진 명도 신호는 명도 센서(62)와 연결된 제어부(66)로 전송된다. 제어부(66)에는 A/D 변환기(66a)가 포함되어 있다. A/D 변환기(66a)는 명도 센서(62)에 의해 전송 받은 명도 신호를 명도값으로 디지털화시킨다. 디지털화된 명도값은 마이크로 프로세서(66b)로 입력되어 예정된 기준값과 비교된다. 이 예정된 기준값은 흡착제의 교체 여부를 판별하기 위한 기준 명도값이다. 측정된 명도값이 예정된 기준값 이하라는 것은 흡착제가 흡착 능력을 상실하였다는 것을 의미한다. 따라서, 이 경우에는 흡착제를 교체하여야 한다.

제어부(66)는 표시 장치(69)와 연결되어 있어 표시 장치(69)로 하여금 명도값의 데이타를 표시하도록 한다. 이 때 표시되는 명도값의 데이타는 단순한 수치로 표시될 수도 있으나 막대 그래프등 보다 시각화된 형태로 표시될 수도 있다. 표시 장치(69)는 측정된 명도값뿐만 아니라 예정된 기준값과 측정된 명도값의 차이도 표시할 수 있다. 또한, 제어부(66)에는 경고 장치(68)가 연결되어 있다. 측정된 명도값이 예정된 기준값 이하로 되는 경우에, 제어부(66)는 이와 연결된 경고 장치(68)로 하여금 경고 알람을 발하게 한다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 가스 스크러버 시스템을 사용하는 경우에는 검지창을 통해 고상형 약재를 관찰함으로써 흡착제의 잔류 수명 및 교체 시기를 지속적으로 확인할 수 있고 가스 스크러버 시스템을 정확하고 용이하게 관리할 수 있게 된다.

도 8은 반도체 제조 설비 내에서 본 발명에 의한 가스 스크러버가 사용되는 상태를 나타내는 모식도이다. 도 8을 참조하면, 가스 공급 장치(205)는 공정 가스 공급실(201) 및 세정 가스 공급실(203)을 구비하여 공정가스 또는 세정 가스를 공정 설비(207)에 공급한다. 가스 공급 장치(205)에 의해 공정 가스를 공급 받은 공정 설비(207)에서는 CVD, 확산 또는 건식 에칭 등의 반도체 공정이 수행된다. 이러한 반도체 공정이 수행된 후에 상기 가스 공급 장치(205)는 세정 가스를 공정 설비에 공급하여 공정 설비 내의 공정 챔버에 잔류하는 가스 및 파우더 성분을 세정한다. 공정 또는 세정 작업 후의 배기 가스는 공정에 맞는 환경을 유지하도록 진공 펌프(209)에 의해 일정 압력을 유지한다.

진공 펌프(209) 부위를 통과한 공정 작업 후 배기 가스는 연동 밸브(211)에 의해 공정 가스용 가스 스크러버(200a)로 유입된다. 연동 밸브(211)는 이와 연결된 2 개의 배관중 특정 배관만을 개방시키는 역할을 한다. 따라서, 연동 밸브(211)를 수동 또는 자동으로 조작함으로써 공정 작업 후의 배기 가스는 공정 가스용 가스 스크러버(200a)로만 유입되도록 하고, 세정 작업 후의 배기 가스는 세정 가스용 가스 스크러버(200b)로만 유입되도록 할 수 있다.

공정 가스용 가스 스크러버(200a)로 유입된 공정 작업 후의 배기 가스는 공정 가스용 가스 스크러버(200a)에 의해 정화 처리되고 공정 가스용 대용량 스크러버(210a)에 의해 최종 처리된 후 대기로 배출된다. 이 대용량 스크러버(210a)는 주로 배기 가스를 연소시킴으로써 처리한다.

한편, 공정 작업 후에는 공정 설비(207) 내의 공정 챔버를 세정하도록 세정 가스가 공정 설비(207)에 공급된다. 세정 작업 후의 배기 가스는 진공 펌프(209) 부위를 거친 후 연동 밸브(211)에 의해 세정 가스용 가스 스크러버(200b)로 유입된다. 유입된 배기 가스는 세정 가스용 가스 스크러버(200b)에 의해 정화 처리되고 세정 가스용 대용량 스크러버(210b)에 의해 최종 처리된 후 대기로 배출된다. 이 대용량 스크러버(210b)는 주로 배기 가스를 연소시킴으로써 처리한다.

공정 가스용 가스 스크러버(200a) 또는 세정 가스용 가스 스크러버(200b)를 통과하는 배기 가스는 가스 스크러버(200a, 200b) 내에 있는 흡착제 캐니스터를 통과하면서 정화 처리된다. 이 때 흡착제의 흡착 능력이 정상적인지 판별하기 위해 본 발명에 의한 감지 장치(50a, 50b)를 가스 스크러버(200a, 200b)의 배기 라인에 위치시킨다. 가스 스크러버(200a, 200b)의 외장 캐비닛에는 투시창(23a, 23b)이 설치되어 있어 이 투시창(23a, 23b)을 통해 외장 캐비닛 내부에 있는 감지 장치(50a, 50b)를 관찰할 수 있도록 한다. 가스 스크러버 관리자는 본 발명에 의한 감지 장치(50a, 50b)의 검지창을 통해 검지창 내에 있는 고상형 약재의 변색 상태를 관찰함으로써 흡착제의 잔류 수명을 지속적으로 확인할 수 있게 된다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 검지창을 통하여 고상형 약재의 변색 상태를 육안으로 관찰함으로써 흡착제의 잔류 수명 및 흡착제의 교체 시기를 즉각적이고 지속적으로 확인할 수 있다. 이에 따라 가스 스크러버 내의 흡착제를 정확하고 용이하게 관리할 수 있고 가스 스크러버의 처리 능력에 대한 신뢰성을 확보할 수 있다.

또한, 본 발명에 의하면, 검지창 앞에 설치된 카메라에 의해 촬영되는 고상형 약재의 변색 상태를 원거리에 배치된 표시 장치를 통해 모니터링할 수 있다. 이와 아울러 본 발명에 의하면, 검지창 앞에 설치된 명도 센서를 통해 얻은 고상형 약재의 변색 상태를 원거리에 배치된 표시 장치를 통해 모니터링할 수 있다. 이에 따라 가스 스크러버 관리자는 보다 편리하고 안전하게 흡착제의 잔류 수명 및 교체 시기를 확인할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 감지 장치는 흡착제 또는 흡착제 캐니스터의 교체 시기를 정확하고 명확히 알려줌으로써, 미처리된 유독성 배기 가스가 대기로 방출될 위험을 현저히 감소시킨다. 이에 따라 공정 및 세정 작업 후의 배기 가스가 환경에 미치는 영향을 더 효과적으로 관리할 수 있어 환경에 대한 설비의 안전성을 향상시킨다.

또한, 본 발명에 의한 감지 장치 내에 수용되는 고상형 약재는 종래의 전해액 형태의 감지 장치의 전해액 셀에 비해 가격이 현저히 저렴하다. 본 발명에 의한 감지 장치에서는 가스 스크러버를 사용하지 않는 경우에는 고상형 약재를 교체할 필요가 없고 단지 흡착제의 수명이 다하여 고상형 약재가 완전히 변색된 경우에만 고상형 약재를 교체한다. 따라서, 본 발명에 의한 감지 장치의 설치 비용과 교체 비용을 현저히 저감시킬 수 있어 가스 스크러버의 유지 및 관리 비용을 최소화할 수 있다.

Claims (26)

1. 유해한 배기 가스를 처리하기 위한 가스 스크러버 내에 사용되는 흡착제의 잔류 수명을 확인하기 위한 감지 장치에 있어서,

   흡착제의 흡착 능력 소모로 인해 미처리된 가스와 직접 반응하여 변색될 수 있는 금속성분을 포함하는 고상형 약재;

   상기 고상형 약재를 내부에 수용하여 상기 고상형 약재의 변색 여부를 외부에서 육안으로 식별할 수 있도록 설치된 검지창; 및

   상기 검지창의 상측 및 하측 단부에 위치한 체결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 흡착제의 잔류 수명 확인용 감지 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 검지창은 상기 감지 장치를 통과하는 배기 가스의 압력을 충분히 견딜 수 있는 강화 유리로 제조된 것을 특징으로 하는 흡착제의 잔류 수명 확인용 감지 장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 검지창의 형상은 원통 형상인 것을 특징으로 하는 흡착제의 잔류 수명 확인용 감지 장치.
4. 삭제
5. 제1항에 있어서, 상기 고상형 약재는 망간을 주성분으로 하는 금속 산화물을 포함하는 것을 특징으로 하는 흡착제의 잔류 수명 확인용 감지 장치.
6. 제1항에 있어서, 상기 고상형 약재는 육안으로 식별 가능한 입자 크기를 갖는 다수의 입자들로 되어 있는 것을 특징으로 하는 흡착제의 잔류 수명 확인용 감지 장치.
7. 제6항에 있어서, 상기 고상형 약재를 이루는 상기 입자의 평균 직경은 2.0 mm 이고, 평균 길이는 7 mm 이고, 단위 질량당 평균 표면적은 170 m²/g 이고 단위 질량당 평균 기공 부피는 0.9 cc/g 이고 평균 밀도는 0.73 g/cc 인 것을 특징으로 하는 흡착제의 잔류 수명 확인용 감지 장치.
8. 공정 또는 클리닝 작업후 배기 가스를 정화시키기 위한 흡착제 캐니스터;

   상기 흡착제 캐니스터 내에 포함된 흡착제의 잔류 수명을 확인하기 위한 감지 장치; 및

   상기 흡착제 캐니스터의 전단 및 후단과 상기 감지 장치의 전단 및 후단을 연결하는 배관을 포함하고,

   상기 감지 장치는, 상기 흡착제의 흡착 능력 소모로 인해 미처리된 가스와 직접 반응하여 변색될 수 있는 금속성분을 포함하는 고상형 약재, 상기 고상형 약재를 내부에 수용하여 상기 고상형 약재의 변색 여부를 외부에서 육안으로 식별할 수 있도록 설치된 검지창, 및 상기 검지창의 상측 및 하측 단부에 위치한 체결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 스크러버.
9. 제8항에 있어서, 외장 캐비닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 스크러버.
10. 제9항에 있어서, 상기 감지 장치는 상기 외장 캐비닛 내에 설치되어 있고, 상기 외장 캐비닛의 외부로부터 상기 감지 장치 내의 상기 고상형 약재의 변색 여부를 확인할 수 있도록 상기 외장 캐비닛 표면 상에 투시창이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 가스 스크러버.
11. 제9항에 있어서, 상기 감지 장치는 상기 외장 캐비닛의 외부에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 가스 스크러버.
12. 제8항에 있어서, 상기 감지 장치 내에 있는 상기 고상형 약재를 촬영하는 카메라를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 스크러버.
13. 제12항에 있어서, 상기 카메라와 연결된 표시장치를 더 포함하고,

    상기 카메라에 의해 얻은 화상은 상기 표시 장치에 표시되어 가스 스크러버 관리자가 상기 표시 장치를 통해 상기 고상형 약재의 변색 상태를 관찰할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 가스 스크러버.
14. 제8항에 있어서, 상기 감지 장치 내에 있는 상기 고상형 약재의 명도를 감지하는 명도 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 스크러버.
15. 제14항에 있어서, 상기 명도 센서에 의해 얻은 명도 신호를 명도값으로 디지털화하고 이 명도값을 예정된 기준값과 비교하여 흡착제의 잔류 수명 및 흡착제의 교체 여부를 판단하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 스크러버.
16. 제15항에 있어서, 상기 제어부와 연결되어 상기 명도값의 데이타를 표시하는 표시 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 스크러버.
17. 제15항에 있어서, 상기 제어부와 연결되어, 상기 명도값이 상기 예정된 기준값 이하로 되는 경우 상기 제어부로부터 신호를 받아 경고 알람을 발하는 경고 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 스크러버.
18. 유해한 배기 가스를 처리하기 위한 가스 스크러버 내에 포함된 흡착제의 잔류 수명을 확인하는 방법에 있어서,

    상기 가스 스크러버 내에 설치된 흡착제 캐니스터를 통과한 배기 가스를 제1항에 의한 감지 장치에 유입시키는 단계, 및

    상기 감지 장치의 상기 검지창을 통해 상기 감지 장치 내의 상기 고상형 약재의 변색 여부를 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 흡착제의 잔류 수명 확인 방법.
19. 제18항에 있어서. 상기 검지창을 통한 상기 고상형 약재의 변색 여부 판단은 상기 검지창을 통한 직접적인 육안 관찰에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 흡착제의 잔류 수명 확인 방법.
20. 제18항에 있어서, 상기 검지창을 통한 상기 고상형 약재의 변색 여부 판단은 상기 감지 장치를 수용하는 외장 캐비닛의 외부에서 상기 외장 캐비닛 표면 상에 형성된 투시창을 통하여 육안으로 관찰함으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 흡착제의 잔류 수명 확인 방법.
21. 제18항에 있어서, 상기 검지창을 통한 상기 고상형 약재의 변색 여부 판단은 상기 가스 스크러버 내에 설치된 카메라에 의해 얻은 상기 고상형 약재의 화상을 관찰함으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 흡착제의 잔류 수명 확인 방법.
22. 제21항에 있어서, 상기 카메라는 표시 장치와 연결되어 있고 상기 카메라에 의해 얻은 상기 고상형 약재의 화상은 상기 표시 장치에 표시되는 것을 특징으로 하는 흡착제의 잔류 수명 확인 방법.
23. 제18항에 있어서, 상기 검지창을 통한 상기 고상형 약재의 변색 여부 판단은 상기 가스 스크러버 내에 설치된 명도 센서 및 상기 명도 센서와 연결된 제어부를 통하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 흡착제의 잔류 수명 확인 방법.
24. 제23항에 있어서, 상기 제어부는 상기 명도 센서로부터 얻은 명도 신호를 명도값으로 디지털화하고 이 명도값을 예정된 기준값과 비교하는 것을 특징으로 하는 흡착제의 잔류 수명 확인 방법.
25. 제24항에 있어서, 상기 제어부는 표시 장치와 연결되어 있고, 상기 제어부에 의해 얻은 상기 명도값의 데이터는 상기 표시 장치에 표시되는 것을 특징으로 하는 흡착제의 잔류 수명 확인 방법.
26. 제24항에 있어서, 상기 제어부는 경고 장치와 연결되어 있고, 상기 제어부는 상기 명도값이 상기 예정된 기준값 이하로 되는 경우 상기 경고 장치로 하여금 경고 알람을 발하게 하는 것을 특징으로 하는 흡착제의 잔류 수명 확인 방법.

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