TWI599536B

TWI599536B - 天花板搬送車

Info

Publication number: TWI599536B
Application number: TW102116203A
Authority: TW
Inventors: 村山繁人
Original assignee: 大福股份有限公司
Priority date: 2012-06-18
Filing date: 2013-05-07
Publication date: 2017-09-21
Also published as: CN103508202B; CN103508202A; TW201400397A; JP2014001043A; JP5794454B2; KR20130142068A; KR102023520B1

Description

天花板搬送車

發明領域

本發明是有關於一種天花板搬送車，該天花板搬送車包含有：行走體，以被引導支撐在排列設在天花板側之行走軌道之狀態下沿行走路徑行走；支撐體，垂吊支撐在行走體且支撐物品；昇降操作機構，操作支撐體相對於行走體昇降移動；連桿機構，設於昇降操作機構，並使上端部連結於行走體之上側連結部，且使下端部連結於支撐體之下側連結部，且於上下方向伸縮自如；及伸縮用驅動部，設於昇降操作機構，且使連桿機構伸縮。

發明背景

如上述之天花板搬送車是構成為以使行走體沿行走路徑行走，且使該行走體停止在與行走路徑上中之搬送對象部位對應之部位之狀態，藉伸縮用驅動部將連桿機構伸縮，使支撐體昇降移動，而將物品搬送到搬送對象部位。以搬送對象部位而言，諸如使用物品之裝置之收受部位或收納物品之收納容器之收納部等。

在日本發明專利申請案公開公報第H10-029793號(專利文獻1)揭示一種如此天花板搬送車一例。在專利文獻1之構成中，將連桿機構具有一對上側連桿體與一對下側連桿體所構成。具體來說，將一對上側連桿體中之長向的中間部彼此擺動自如地連結，且將一對下側連桿體中之長向之中間部彼此擺動自如地連結，以上下方向排列之多數X連桿機構構成連桿機構。

在專利文獻1中，為使以X連桿機構構成之連桿機構做成上下方向伸縮自如，而將上側連桿體相對於上側連結部沿水平方向移動自如地連結，且將下側連桿體相對於下側連結部沿水平方向移動自如地連結。

惟，在上述專利文獻1之連桿機構中，必須將上側連桿體彼此或下側連桿體彼此連結，因此使連桿機構之構成變得複雜，又，必須將上側連桿體相對於上側連結體沿水平方向移動自如地連結，或必須將下側連桿體相對於下側連結部沿水平方向移動自如地連結，或必須將下側連桿體相對於下側連結部沿水平方向移動自如地連結。為此，使連桿機構之上側連結部或下側連結部之連結機構亦變成複雜者。

發明概要

有鑑於上述背景，希望能實現一種可將支撐體昇降移動之連桿機構簡易構成之天花板搬送車。

本發明之天花板搬送車包含有如下元件：行走體，以被引導支撐在配設在天花板側之行走軌道之狀態下沿行走路徑行走；支撐體，垂吊支撐在前述行走體且支撐物品；昇降操作機構，操作前述支撐體相對於前述行走體昇降移動；連桿機構，設於前述昇降操作機構，並使上端部連結於前述行走體之上側連結部，且使下端部連結於前述支撐體之下側連結部，且於上下方向伸縮自如；及伸縮用驅動部，設於前述昇降操作機構，並使前述連桿機構伸縮；在此，前述連桿機構是將上端部擺動自如地連結在前述上側連結部之上側連桿體之下端部、與下端部擺動自如地連結在前述下側連結部之下側連桿體之上端部繞著擺動軸心擺動自如地連結構成；一對前述連桿機構以個別伸縮自如之狀態設置；前述伸縮用驅動部是將成為前述一對連桿機構其中一者即第一連桿機構中之前述上側連桿體、與成為前述一對連桿機構其中另一者即第二連桿機構中之前述上側連桿體相互朝反向擺動，而構造成使前述一對連桿機構分別伸縮者。

即，藉伸縮用驅動部而將一對連桿機構各自的上側連桿體互相朝反向擺動，將一對連桿機構以同步之狀態沿上下方向伸縮，如將X連桿機構於上下方向排列2個之形態，可使支撐體以維持所希望的姿勢之狀態下將支撐體昇降移動。

並且，像以X連桿機構構成連桿機構之形態，沒有必要將上側連桿體彼此或下側連桿體彼此連結，又，沒有必要將上側連桿體滑行移動自如地連結在上側連結部，亦沒有必要將下側連桿體滑行移動自如地連結於下側連結部。因此，可謀求連桿機構之構成的簡化，連桿機構與上側連結部或與下側連結部之連結構造之簡化。

以下針對本發明之合適的實施形態之例。

在本發明之天花板搬送車之實施形態中，前述伸縮用驅動部宜具有驅動前述第一連桿機構中之前述上側連桿體擺動之第一伸縮驅動部、及驅動前述第二連桿機構中之前述上側連桿體擺動之第二伸縮用驅動部，且設有控制前述第一伸縮驅動部及前述第二伸縮驅動部之作動之控制部。

即，藉使第一連桿機構中之上側連桿體以第一伸縮用驅動部朝一方向擺動，且使第二連桿機構中之上側連桿體以第二伸縮用驅動部朝另一方向擺動，可使一對連桿機構各自之上側連桿體互相朝反向擺動。

然後，以第一伸縮用驅動部及第二伸縮用驅動部分別驅動一對上側連桿體個別擺動，因此與以單一伸縮用驅動使一對上側連桿體擺動之形態相比，可使用驅動力小之小型物作為第一伸縮用驅動部或第二伸縮用驅動部。為此，較為容易設置第一伸縮用驅動部或第二伸縮用驅動部。

在本發明之天花搬送車之實施形態中，較佳的是使前述一對連桿機構各自的前述上側連桿體及前述下側連桿體形成為棒狀，且將前述第一連桿機構與前述第二連桿機構在互於相同高度且在沿前述擺動軸心之方向及與前述擺動軸心正交之水平方向每方向相異之部位分別連結於前述上側連結部及前述下側連結部，並使前述一對連桿機構設置成，在前述第一連桿機構及前述第二連桿機構各自縮到最短之狀態下，從沿前述擺動軸心之方向來看，使前述第一連桿機構中之前述上側連桿體與前述第二連桿機構中之上側連桿體交叉，且使前述第一連桿機構中之前述下側連桿體與前述第二連桿機構中之前述下側連桿體交叉者。

即，一對連桿機構分別使用上側連桿體與下側連桿體而形成為ㄑ字形狀(a dog leg shape)。然後，一對連桿機構設置成，在將一對連桿機構各自縮到最短之狀態下，從沿擺動軸心之方向來看，使各自的上側連桿體彼此相互交叉，且使各自的下側連桿體彼此相互交叉者。即，一對連桿機構設置成沿與擺動軸心正交之水平方向相互接近者。因此與排列設置在與擺動軸心正交之水平方向之形態相比，可將形成為ㄑ字形狀(a dog leg shape)之一對連桿機構在沿與擺動軸心正交之水平方向較小空間設置一對連桿機構。

1‧‧‧天花板搬送車

2‧‧‧行走軌道

3‧‧‧行走路徑

4‧‧‧處理裝置

5‧‧‧基板支撐台

5a‧‧‧收受部位

6‧‧‧基板收納容器

6a‧‧‧收納部

8‧‧‧夾持用構件

11‧‧‧行走體

12‧‧‧支撐體

13‧‧‧昇降操作機構

15‧‧‧行走本體部(本體部)

16‧‧‧行走用電動馬達(驅動部)

17‧‧‧驅動輪

18‧‧‧上側連結部

19‧‧‧擺動用電動馬達(驅動部)

21‧‧‧連桿機構

21F‧‧‧前側連桿機構

21R‧‧‧後側連桿機構

22‧‧‧伸縮用驅動部

22F‧‧‧一側伸縮用驅動部(前側用電動馬達)

22R‧‧‧另一側伸縮用驅動部(後側用電動馬達)

23‧‧‧下側連結部

24‧‧‧上側連桿體

25‧‧‧下側連桿體

27‧‧‧擺動部

28‧‧‧支撐部

29‧‧‧旋轉用電動馬達

30‧‧‧切換用電動汽缸

E‧‧‧搬送對象部位

e‧‧‧基板固持部

H1‧‧‧上位控制器

H2‧‧‧控制裝置

L1‧‧‧水平軸心(第1軸心)

L2‧‧‧第2軸心

L3‧‧‧第3軸心

L4‧‧‧第4軸心

L5‧‧‧第5軸心

L6‧‧‧第6軸心

W‧‧‧基板(物品)

X‧‧‧前後方向

Y‧‧‧橫向寬度方向

圖1是物品搬送設備之立體圖。

圖2是天花板搬送車之局部省略側視圖。

圖3是顯示天花板搬送車之主要部位之立體圖。

圖4是顯示將連桿機構縮得最短之狀態之天花板搬送車之立體圖。

圖5是顯示將連桿機構伸得最長之狀態之天花板搬送車之立體圖。

圖6是顯示將基板的姿勢從前後姿勢變換成橫向姿勢之狀態之天花板搬送車之立體圖。

圖7是顯示將基板沿面方向傾斜之狀態之天花板搬送車之立體圖。

圖8是天花板搬送車的傾斜功能之說明圖。

圖9是天花板搬送車的傾斜功能之說明圖。

圖10是天花板搬送車的傾斜功能之說明圖。

圖11為控制方塊圖。

圖12為流程圖。

較佳實施例之詳細說明

以下，根據附圖說明本發明之實施形態。

如圖1所示，物品搬送設備所設置之天花板搬送車1是以設置在天花板之行走軌道2引導支撐之狀態下設置的，沿經由搬送對象部位E之上方之行走路徑3行走，搬送作為物品之形成為板狀之基板W者。此外，在本實施形態中，藉天花板搬送車1搬送作為基板W之用於液晶面板等之玻璃基板之加工之光罩。

另，將沿行走方向之水平方向稱為前後方向，且將與該前後方向正交之水平方向稱為橫向寬度方向進行說明。在圖1中，以箭頭符號X表示前後方向，以箭頭符號Y表示橫向寬度方向。天花板搬送車1是從前後方向之後側(圖1之右上側)到前側(圖1之左下側)單向地行走。

在物品搬送設備設有使用基板W(光罩)進行玻璃基板之加工處理之處理裝置4、或將數枚基板W收納自如之基板收納容器6。

接著，天花板搬送車1是構成為向基板支撐台5之收受部位5a或基板收納容器6之收納部6a遞送基板W，且由收受部位5a或收納部6a收取基板W。

基板支撐台5是設置成相對於處理裝置4沿橫向寬度方向鄰接之狀態，在處理裝置4設有基板搬送裝置(未示於圖中)，俾將基板支撐台5之基板W放入處理裝置4內，且將處理裝置4內之基板W由基板支撐台5取出。

基板支撐台5之收受部位5a是構成為使基板W之表面成為沿前後方向之姿勢(方位)固持基板W。又，基板收納容器6之收納部6a是沿著前後方向設有數個，構成為以使基板W之表面沿橫向寬度方向之姿勢(方位)固持基板W。

另，基板支撐台5或基板收納容器6相當於搬送對象部位E，基板支撐台5之收受部位5a或基板收納容器6之數個收納部6a各相當於基板固持部e。基板固持部e分別位於行走路徑3之正下方。

基板固持部e具有一對夾持用構件8，構成為可將該一對夾持用構件8之狀態自由地切換成插入狀態與夾持狀態。在此，插入狀態為使一對夾持用構件8沿基板W之厚度方向相離，而使藉天花板搬送車1之支撐體12之下降移動而下降之基板W由上側插入自如之狀態。又，夾持狀態為使一對夾持用構件8呈相互接近之狀態，以將插入於一對夾持用構件8間之基板W夾持者。

一對針對夾持用構件8是舉設在收受部位5a所具備之一對夾持用構件8為例說明。如圖1及圖8~10所示，一對夾持用構件8是以排列在橫向寬度方向之狀態設置，設置成以一對夾持用構件8之下端部為支點，使上端部彼此相互遠離或靠近移動(即，接近或者是離開)地擺動自如。如圖8所示，在自然狀態時，一對夾持用構件8之各自的上端部彼此相離，在前後方向來看成為逆八字形(V字形狀)，使一對夾持用構件8之狀態成為插入狀態。然後，如圖9及圖10所示，以所插入之基板W之載重使下端部往下壓，而使一對夾持用構件8分別成為垂直姿勢，使得一對夾持用構件8之狀態切換成夾持基板W之夾持狀態。

在本實施形態中，構成為一對夾持用構件8各自的上下方向之長度形成為基板W之上下方向之長度的1/3程度之長度，藉以一對夾持用構件8以厚度方向夾持基板W之下度之形態固持基板W。

此外，針對收納部6a所設置之一對夾持用構件8，將一對夾持用構件8排列於前後方向之狀態設置之點外，與收受部位5a之一對夾持用構件8同樣構成，因此省略說明。

如圖2及圖4~7所示，天花板搬送車1包含有：以被行走軌道2引導支撐之狀態沿行走路徑3行走之行走體 11、垂吊支撐在行走體11且支撐基板W之支撐體12、及操作支撐體12相對於行走體11昇降移動之昇降操作機構13。

[行走體]

如圖2所示，在行走體11之行走本體部15(相當於本發明中之「本體部」)設有藉行走用電動馬達16驅動旋轉而轉動在行走軌道2之上面之驅動輪17、及抵接於行走軌道2之側面而旋轉自如之導輪(未示於圖中)。接著，藉行走用電動馬達16驅動驅動輪17旋轉，導輪接觸行走軌2而被引導，行走體11藉行走軌道2引導，構成為沿行走路徑3行走者。

如圖2及圖3所示，在行走體11設有昇降操作機構13連結之上側連結部18。該上側連結部18是支撐成相對於行走體11中之行走本體部15繞著沿前後方向(行走體11之行走方向)之第1軸心L1(水平軸心)擺動自如。

然後，在行走體11之行走本體部15設有擺動用電動馬達19，作為使上側連結部18相對於行走本體部15繞第1軸心L1擺動之擺動用驅動部。行走體11構成為藉該擺動用電動馬達19之驅動而將上側連結部18擺動，如圖8~10所示，使連結在上側連結部18之昇降操作機構13繞第1軸心L1擺動。

[昇降操作機構]

昇降操作機構13包含有：連桿機構21，將上端部連結於行走體11之上側連結部18，且將下端部連結於支撐體12之下側連結部23，並沿上下方向伸縮自如；及伸縮用驅動部22，將連桿機構21伸縮。

如圖2及圖3所示，連桿機構21構成為連結上側連桿體24之上端部相對於行走體11之上側連結部18繞第2軸心L2擺動自如，且連結上側連桿體24之下端部與下側連桿體25之上端部繞第3軸心L3擺動自如，連結下側連桿體25之下端部相對於支撐體12之下側連結部23繞第4軸心L4擺動自如。

另，連桿機構21是以使第2軸心L2、第3軸心L3與第4軸心L4成為相互平行之狀態設置，該等第2軸心L2、第3軸心L3及第4軸心L4與第1軸心L1正交，順沿著橫向寬度方向。

然後，一對連桿機構21以各別伸縮自如之狀態設置，一對連桿機構21各自的上側連桿體24及下側連桿體25形成為棒狀。又，一對連桿機構21各使上側連桿體24及下側連桿體25形成相同長度。

另，一對連桿機構21互相前後方向錯開之狀態個別連接在上側連結部18及下側連結部23，為便於說明，將連結於前側(圖2中的左側)之一邊的連桿機構21稱為前側連桿機構21F，將連結於後側(圖2中之右側)之另一邊連桿機構21稱為後側連桿機構21R。前側連桿機構21F相當於本發明中之「第一連桿機構」，後側連桿機構21R相當於本發明中之「第二連桿機構」。

針對連桿機構21之設置再加以說明，在上側連結部18中朝向橫向寬度方向之一側(右側)之面連結有前側連桿機構21F之上側連桿體24，上側連結部18中朝向橫向寬度方向之另一側(左側)之面連結有後側連桿機構21R之上側連桿體24。

又，在下側連結部23中之朝向橫向寬度方向之一側(右側)之面連結有前側連桿機構21F之下側連桿體25，在下側連結部23中之朝向橫向寬度方向之另一側(左側)之面連結有後側連桿機構21R之下側連桿體25。

如此一來，一邊的連桿機構21是以相對於另一邊的連桿機構21橫向寬度向不同的部位分別連結上側連結部18及下側連結部23。

又，前側連桿機構21F之上側連桿體24與後側連桿機構21R之上側連桿體24互以相同高度且前後方向上錯開之部位連結於上側連結部18，前側連桿機構21F之下側連桿體25與後側連桿機構21R之下側連桿體25互以相同高度且前後方向上錯開之部位連結於下側連結部23。

如此構成之後，前側連桿機構21F係以與後側連桿機構21R相同高度，且相對於後側連桿機構21R在前後方向上不同之部位，分別連結於上側連結部18及下側連結部23。即，前側連桿機構21F與後側連桿機構21R互以相同高度，且橫向寬度方向及前後方向各自的方向中相異的部位，連結於上側連結部18及下側連結部23各部。

例如，一對連桿機構21各從橫向寬度方向來看，由上側連桿體24連結於上側連結部18之部位位於正下方之部位上，將下側連桿體25連結於下側連結部23之狀態設置。

一對連桿機構21，從橫向寬度方向來看，以互朝反方向彎曲之狀態設置。在一對連桿機構21各自縮到最短之狀態(參考圖4)及伸到最長之狀態(參考圖5及圖6)中，從橫向寬度方向來看，前側連桿機構21F中之上側連桿體24與後側連桿機構21R中之上側連桿體24互相交叉，且前側連桿機構21F中之下側連桿體25與後側連桿機構21R中之下側連桿體25互相交叉之狀態下設置一對連桿機構21。

另，在一對連桿機構21之各自縮到最短之狀態下，前側連桿機構21F中之上側連桿體24與下側連桿體25之連結部位位於較後側連桿機構21R中之連結於上側連桿體24之上側連結部18之部位或連結於下側連桿體25之下側連結部23之部位更後側，又，後側連桿機構21R中之上側連桿體24與下側連桿體25之連結部位位於較前側連桿機構21F中之連結於上側連桿體24之上側連結部18之部位或連結於下側連桿體25之下側連結部23之部位更前側。

伸縮用驅動部22是構造成藉使前側連桿機構21F中之上側連桿體24與後側連桿機構21R中之上側連桿體24各自互朝反方向擺動，而使一對連桿機構21分別伸縮者。

又，伸縮用驅動部22包含有作為驅動前側連桿機構21F中之上側連桿體24擺動之第一伸縮用驅動部之前側用電動馬達22F、及作為驅動後側連桿機構21R中之上側連桿體24擺動之第二伸縮用驅動部之後側用電動馬達22R。

伸縮用驅動部22，從左側側面來看，構成為藉以前側用電動馬達22F將前側連桿機構21F之上側連桿體24順時針擺動，且藉以後側用電動馬達22R將後側連桿機構21R之上側連桿體24逆時針擺動，而使一對連桿機構21分別伸長者。又，伸縮用驅動部22，從左側側面來看，構成為藉以前側用電動馬達22F將前側連桿機構21F之上側連桿體24逆時針擺動，且以後側用電動馬達22R將後側連桿機構21R之上側連桿體24順時針擺動，而使一對連桿機構21分別縮短者。

然後，昇降操作機構13是構成為藉以伸縮用驅動部22將一對連桿機構21各自伸長，移動支撐體12下降，且，以伸縮用驅動部22而將一對連桿機構21各自縮短，移動支撐體12上昇。

另，前側用電動馬達22F設置成驅動該輸出軸在前側連桿機構21F之上側連桿體24繞第2軸心L2旋轉，後側用電動馬達22R設置成驅動該輸出軸在後側連桿機構21R之上側連桿體24繞第2軸心L2旋轉。

另，藉使前側用電動馬達22F之驅動速度與後側用電動馬達22R之驅動速度相異，可使基板W一邊沿面方向傾斜一邊昇降。又，藉只驅動前側用電動馬達22F或者是後側用電動馬達22R，如圖7所示，可使基板W沿面方向傾斜。在此，將基板W沿面方向傾斜意指，使隨著傾斜之基板W各部之移動方向成為與基板W之面平行之方向而將基板W傾斜者。

[支撐體]

如圖2及圖3所示，支撐體12具有擺動部27。擺動部27是被支撐成相對於連桿機構21之下側連桿體25所連結之下側連結部23而繞著沿前後方向之第5軸心L5擺動自如。接著，擺動部27是支撐支撐基板W之支撐部28，使其繞著沿上下方向之第6軸心L6旋轉自如。

又，在支撐體12設有：旋轉用電動馬達29，驅動支撐部28相對於擺動部27繞第6軸心L6旋轉(參考圖11)、及切換用電動汽缸30，用以切換擺動部27相對於下側連結部23而繞第5軸心L5擺動自如之狀態，與限制擺動部27相對於下側連結部23繞第5軸心L5擺動之狀態(參考圖11)。

然後，構成為藉以旋轉用電動馬達29驅動支撐部28旋轉，如圖6所示，使支撐部28及該支撐部28所支撐之基板W繞第6軸心L6旋轉，可使基板W之姿勢(方向)切換成基板W之表面沿前後方向之前後姿勢(參考圖5)，與基板W之表面沿橫向寬度方向之橫向姿勢(參考圖6)。

另，在將基板W之姿勢變更為前後姿勢之狀態下，構成為將天花板搬送車1沿行走路徑3行走移動，且將基板W遞給基板支撐台5之收受部位5a。又，在將基板W之姿勢變更為橫向姿勢之狀態下，構成為將基板W遞給基板收納容器6之收納部6a。

又，雖然省略了詳細說明，切換用電動汽缸30設置成可將設在下側連結部23側之接觸構件(未示於圖中)昇降移動。成為一種切換成下列狀態之構成，即，藉以切換用電動汽缸30將接觸構件下降移動到接觸於擺動部27之限制位置，而限制擺動部27相對於下側連結部23擺動之狀態，又，藉以切換用電動汽缸30將接觸構件上昇移動到離開擺動部27之限制解除位置，而解除擺動部27之擺動限制，使擺動部27相對於下側連結部23自由擺動之狀態。

接著，在解除擺動部27之擺動限制之狀態下，如圖9及圖10所示，即使因擺動用電動馬達19之作動使連桿機構21繞第1軸心L1擺動，藉由擺動部27繞第5軸心L5擺動，基板W之姿勢亦不變，維持在基板W之表面沿垂直方向之姿勢。

如圖11所示，在天花板搬送車1設以控制裝置H2。控制裝置H2控制行走用電動馬達16、擺動用電動馬達19、前側用電動馬達22F、後側用電動馬達22R、旋轉用電動馬達29及切換用電動汽缸30之作動。控制裝置H2是構成為根據來自設置於地上側之上位控制器H1之控制指令，控制設於天花板搬送車1之電動馬達之作動，以執行將基板W遞給搬送對象部位E之遞交處理、及由搬送對象部位E收取基板W之收取處理。

另，因基板支撐台5或基板收納容器6之設置誤差，會有搬送對象部位E相對於行走路徑3由正下方位置沿橫向寬度方向偏離之情況。針對像這樣位置偏離之搬送對象部位E，記憶為位置偏離部位，對於作為該位置偏離部位而所記憶之搬送對象部位E，事先記憶相對於行走路徑3之搬送對象部位E之在橫向寬度方向之偏離量及搬送對象部位E與天花板搬送車1之高低差所求出之補正擺動量。

根據圖12所示之順序說明遞交處理。

首先，執行行走控制，將支撐基板W之天花板搬送車1停止在對應於搬送對象部位E之停止位置。接著，在搬送對象部位E為基板收納容器6之收納部6a時，執行旋轉控制，使旋轉用電動馬達29作動，使支撐體28相對於擺動部27繞第6軸心L6旋轉90°。又，在搬送對象部位E為位置偏離部位時，執行傾斜控制，使切換用電動汽缸30作動，切換成限制解除狀態，使擺動用電動馬達19作動，使上側連結部18相對於行走本體部15繞第1軸心L1擺動補正擺動量之後，使切換用電動汽缸30作動，切換成限制狀態。然後，執行伸長控制，使前側用電動馬達22F及後側用電動馬達22R作動，將一對連桿機構21伸長，藉此將基板W移動到基板固持部e。

另，收取處理為以與遞交處理相反之順序進行之處理，因此省略說明。

[其他實施形態]

(1)在上述實施形態中，是以伸縮用驅動部22具有驅動一邊的連桿機構21(第一連桿機構)中之上側連桿體24擺動之第一伸縮驅動部、及驅動另一邊的連桿機構21(第二連桿機構)中之上側連桿體24擺動之第二伸縮驅動部之構成為例說明，但伸縮用驅動部22亦可藉驅動一邊的連桿機構21中之上側連桿體24與另一邊的連桿機構21中之上側連桿體24擺動之兩側伸縮驅動部構成。另，此時，將兩側伸縮驅動部與一對上側連桿體24經由齒輪等之連動機構連結連動，以使一對上側連桿體24互相朝反向擺動。

(2)在上述實施形態中，是針對在將一對連桿機構21縮到最短之狀態下，從沿擺動軸心之方向來看，將一對上側連桿體24彼此相互交叉，且將一對下側連桿體25 彼此相互交叉之構成為例說明，亦可在將一對連桿機構21各自縮到最短之狀態下，從沿擺動軸心之方向來看，將一對連桿機構21於與擺動軸心正交之水平方向排列設置，使一對上側連桿體24彼此不重疊，且使一對下側連桿體25彼此不重疊。

(3)在上述實施形態中，是以基板固持部e是以一對夾持用構件8之下端部為支點而將上端部彼此相互遠近移動，而使一對夾持用構件8之狀態切換成插入狀態與夾持狀態之構成為例說明，亦可採用基板固持部e使一對夾持用構件8整體相互遠近移動，將一對夾持用構件8之狀態切換成插入狀態與夾持狀態之構成。

又，在上述實施形態中，是以藉所插入之基板W之自重使一對夾持用構件8之狀態從插入狀態切換成夾持狀態之構成為例說明，或亦可採用設置操作驅動一對夾持用構件8之驅動機構，藉該驅動機構之驅動，使一對夾持用構件8之狀態從插入狀態切換成夾持狀態之構成。

(4)在上述實施形態中，是以搬送作為基板之光罩之構成為例進行說明，但亦可搬送作為基板之液晶玻璃基板或有機EL面板等其他基板。又，以物品來說，除了基板以外，亦可為紙盒(carton case)、容器(container)或收納有數枚基板之基板收納容器等。