TWI598991B

TWI598991B - Drive and adhesive chuck device

Info

Publication number: TWI598991B
Application number: TW102148255A
Authority: TW
Inventors: Yoshikazu Ohtani; Kenji Sato; Hiroshi Minamoto; Kazunari Aoki; Yuji NOBUYASU
Original assignee: Shin-Etsu Engineering Co Ltd; Irie Koken Co Ltd
Priority date: 2012-12-25
Filing date: 2013-12-25
Publication date: 2017-09-11
Also published as: JPWO2014102913A1; JP5395313B1; KR20150099607A; CN104919189A; CN104919189B; WO2014102913A1; KR101991990B1; TW201442145A

Description

驅動器及黏附卡盤裝置

本發明係有關一種驅動器及具備該驅動器之黏附卡盤裝置，該驅動器例如在液晶顯示器(LCD)、有機EL顯示器(OLED)、電漿顯示器(PDP)、可撓性顯示器等平板顯示器(FPD)之製造過程中，被使用於包含黏附保持在玻璃基板或樹脂基板等板狀工件並進行貼合之基板貼合機之基板組裝裝置、輸送該種基板等絕緣體、導電體或半導體晶圓等工件(被處理體)之基板輸送裝置等。

以往，作為該種黏附卡盤裝置，有如下基板組裝裝置，其在上方之加壓板上設置有複數個開孔，在該等開孔內具備驅動器，在自驅動器朝向下方延伸之軸之前端設置有黏附構件，黏附構件藉由驅動器之動作而在開孔內上下移動，用黏附構件保持上基板，在真空腔室單元之內部，進行上下兩個基板之對位之後進行貼合，當自被貼合之上基板剝下黏附構件時，若藉由驅動器使黏附構件在開孔內上升(後退)，則加壓板之開孔之周緣部阻止上基板之移動，因此使黏附構件和上基板輕鬆地分離(例如參照專利文獻1)。

並且，還有如下基板組裝裝置，其在上方之加壓板上設置有複數個開口，在該等開口內分別具備旋轉用驅動器和上下驅動用驅動器，在自旋轉用驅動器朝向下方延伸之旋轉軸之前端安裝有黏附構件，在真空腔室單元之內部，一邊進行上下兩個基板之對位一邊進行貼合，當使黏附構件在加壓板內後退時，藉由旋轉用驅動器將黏附構件相對於基板面一邊扭轉或者扭轉之後藉由上下驅動用驅動器使其後退，從而將黏附構件自上基板上剝下(例如參照專利文獻2)。

[先前技術文獻] [專利文獻]

專利文獻1：日本專利公開2001-133745號公報(第5頁、圖7)

專利文獻2：日本專利公開2003-273508號公報(第3-5頁、圖1-圖5)

但是，在平板顯示器之基板貼合機等中，將一對基板以微米級之高精度相互對位，並且保持著該等之對位狀態，以高精度進行基板彼此之貼合。

然而，在該種習知之黏附卡盤裝置及用於該黏附卡盤裝置之驅動器中，專利文獻1之情況，在驅動自驅動器延伸之軸時，該軸在與該軸方向交叉之方向上亦稍微發生徑向振擺，因此在完成上下基板之貼合之後自上基板剝下黏附構件時，若用驅動器使軸及黏附構件上升(後退)，則由軸之徑向振擺而導致上基板相對於下基板引起位置偏移。

因此，存在基板彼此之貼合精度下降，成品率變差之問題。

並且，專利文獻2之情況，在完成上下基板之貼合之後自上基板剝下黏附構件時，用旋轉用驅動器一邊扭轉旋轉軸或扭轉之後藉由上下驅動用驅動器使其後退，因此存在隨著黏附構件之旋轉移動，上基板相對於下基板容易引起位置偏移之問題。

另外，專利文獻2之情況，使環狀之密封件與旋轉軸之外周面抵接來上下移動自如且旋轉自如地密封旋轉軸，同時防止旋轉軸之軸振擺。但是，每當旋轉軸進行上下移動及旋轉移動時旋轉軸與密封件相互摩擦，因此由該等之磨損而容易產生塵埃。

因此，當在真空腔室單元等密閉空間內進行基板彼此之貼合時，存在有可能造成因旋轉軸與密封件之磨損而產生之塵埃混入基板彼此之貼合部位等惡劣影響之問題。

本發明係以解決該種問題作為課題者，其目的為以非接觸狀態無徑向振擺地驅動可動件等。

為實現該種目的，基於本發明之驅動器，其特徵在於包括：伸縮部，其係向內外呈同心狀配置複數個金屬波紋管，且可伸縮變形，上述複數個金屬波紋管具有將內周端及外周端分別交替地固著而成之蛇腹部；升降部，其遍及上述金屬波紋管之一端而設置；基部，其遍及上述金屬波紋管之另一端而設置，且具有通孔；以及可動件，其自上述升降部通過上述伸縮部之中心空間而朝向上述基部之上述通孔設置；且上述驅動器係伴隨著上述伸縮部之伸縮變形而使上述可動件在上述基部之上述通孔內往復移動。

具有上述之特徵之基於本發明之驅動器中，向內外以同心狀配置具有蛇腹部之複數個金屬波紋管作為伸縮部，藉由使金屬波紋管伸縮變形，從而金屬波紋管之蛇腹部將各自之內周端及外周端個別地交替固定，而伸縮部整體全然不會向伸縮變形方向以外之方向變形，因此可動件經由遍及金屬波紋管之一端而設置之升降部在伸縮部之中心空間及基部之通孔內向伸縮變形方向以外之方向無徑向振擺地往復移移動。

因此，能夠以非接觸狀態無徑向振擺地驅動可動件。

其結果，與由軸之驅動而容易產生徑向振擺之習知之驅動器相比，即使在平板顯示器之基板貼合機等中在完成貼合之後使用於剝離黏附，亦不會使基板彼此之貼合精度下降，能夠提高成品率。

另外，與因軸之驅動而在密封件之間產生摩擦之習知之驅動器相比，不會伴隨著可動件之驅動而產生塵埃，因此即使在真空腔室單元等密閉空間內進行基板彼此之貼合，亦能夠防止塵埃等異物混入基板彼此之貼合部位等惡劣影響。並且，不存在由摩擦而磨損之密封部份，因此即使長期使用亦不會引起徑向振擺，穩定性優異。

尤其是，當使用多數個薄壁金屬板之內周端和外周端個別地交替焊接而形成之焊接波紋管作為向內外以同心狀配置之複數個金屬波紋管時，向其軸方向伸縮變形，但由於剛性較高而不會向除此以外之方向變形、移動，並且藉由向內外以同心狀配置複數個焊接波紋管，剛性進一步得到提高，因此能夠澈底防止可動件之徑向振擺。

10‧‧‧伸縮部

11、11'‧‧‧金屬波紋管

11a、11a'‧‧‧蛇腹部

11b、11b'‧‧‧內周端

11c、11c'‧‧‧外周端

12‧‧‧中心空間

13‧‧‧環狀空間

20‧‧‧升降部

21‧‧‧下表面

22‧‧‧上表面

30‧‧‧基部

31‧‧‧通孔

32‧‧‧貫通孔

40‧‧‧可動件

41‧‧‧前端

50‧‧‧止動部

51‧‧‧側壁部

51a‧‧‧下限止動部

52‧‧‧頂板

52a‧‧‧上限止動部

60‧‧‧卡盤本體

60a‧‧‧保持面

61‧‧‧供給部

61a‧‧‧供給路

62‧‧‧連通孔

63‧‧‧安裝部

63a‧‧‧卡止孔

63b‧‧‧緊固件

64‧‧‧供給孔

70‧‧‧黏附構件

A‧‧‧驅動器

F‧‧‧驅動用流體

W‧‧‧工件

W1‧‧‧表面

圖1係表示本發明之實施形態之驅動器及黏附卡盤裝置之整體構成之說明圖，(a)係表示驅動前之狀態之縱剖面前視圖，(b)係表示驅動後之狀態之縱剖面前視圖。

圖2係沿圖1之(2)-(2)線之橫剖面平面圖。

以下，依據圖式對本發明之實施形態進行詳細說明。

本發明之實施形態之驅動器A係在包含平板顯示器之基板貼合機等之基板組裝裝置、基板輸送裝置等中使用之原動機。

如圖1~圖2所示般，與包含玻璃基板、樹脂基板等之板狀之工件W對向且按規定間隔個別地分散配置複數個驅動器A，藉此構成本發明之實施形態之黏附卡盤裝置。

若詳細說明，則本發明之實施形態之驅動器A具備以下作為主要構成要件：能夠伸縮變形之伸縮部10，向內外以同心狀配置具有蛇腹部11a、11a'之複數個金屬波紋管11、11'，且能夠向Z方向伸縮變形；升降部20，遍及金屬波紋管11、11'之一端而設置；基部30，遍及金屬波紋管11、11'之另一端而設置；以及可動件40，自升降部20通過伸縮部10之中心空間12朝向基部30之中心而設置。

在成為伸縮部10之複數個金屬波紋管11、11'中，被沖切加工成環狀之多數個薄壁金屬板之內周端11b、11b'和外周端11c、11c'個別地交替固定而被相連結成剖面呈波狀，藉此形成能夠伸縮變形之蛇腹部11a、11a'。

伸縮部10備有複數個具有不同直徑尺寸之蛇腹部11a、11a'之金屬波紋管11、11'，該伸縮部藉由將該等金屬波紋管11、11'個別地配置成使蛇腹部11a、11a'之中心處於相同之位置而構成。

在該等複數個金屬波紋管11、11'中，在成為伸縮部10之中心之最小徑之蛇腹部11a之內部區隔形成有中心空間12。在複數個金屬波紋管11、11'中之大小蛇腹部11a、11a'之間區隔形成有氣密性優異之環狀空間13。

作為金屬波紋管11、11'之具體例，使用多數個薄壁金屬板之內周端11b、11b'和外周端11c、11c'個別地被交替焊接而形成之焊接波紋管為較佳。

另外，圖1(a)、(b)及圖2所示之例子中，形成為圓筒狀之兩個金屬波紋管11、11'沿其徑方向在同心圓上個別地配置有複數個。

並且，雖未圖示其他例子，但作為金屬波紋管11、11'可以使用被形成為圓筒狀以外之角筒狀之者，或者亦能夠將三個以上之金屬波紋管11、11'配置成使各自之中心處於相同之位置。

升降部20由遍及金屬波紋管11、11'之一端(上端)以氣密狀連結之板材或其他形狀之構件構成，其被支撐為伴隨著金屬波紋管11、11'之伸縮變形而向Z方向往復移動自如。

另外，升降部20藉由與其他構件接觸而限制成為伸縮部10之金屬波紋管11、11'之伸縮變形範圍為較佳。

基部30由遍及金屬波紋管11、11'之另一端(下端)以氣密狀連結之板材或其他形狀之構件構成，其支撐金屬波紋管11、11'。

在基部30之中心部貫穿開鑿有後述之可動件40所插通之通孔31。

另外，在基部30上開鑿與在複數個金屬波紋管11、11'(蛇腹部11a、11a')之間形成之環狀空間13連通之貫通孔32為較佳。

可動件40由自升降部20之中心通過成為伸縮部10之中心之中心空間12朝向基部30之通孔31延伸之剖面呈圓形或剖面呈矩形等之其他形狀之棒材構成，其被懸掛支撐為伴隨著成為伸縮部10之金屬波紋管11、11'之伸縮變形，與升降部20聯動地在伸縮部10之中心空間12及基部30之通孔31內向Z方向往復移動。

另外，可動件40被配置成與該升降部20之連結部位之相反側之前端41與工件W對向，且被配置成在藉由金屬波紋管11、11'之伸縮變形向Z方向往復移動過程中使前端41相對於工件W之表面W1間接或直接接觸。

在如圖1(a)、(b)所示之例子中，後述之黏附構件70被固定於可動件40之前端41，藉由介隔黏附構件70與工件W之表面W1接觸來裝卸自如地保持工件W。

並且，雖未圖示其他例子，但亦能夠使前端41與工件W之表面W1面接觸來對工件進行按壓移動，而不是將黏附構件70固定於可動件40之前端41。

另外，本發明之實施形態之驅動器A還具備止動部50，該止動部被設置成與升降部20對向且伴隨著成為伸縮部10之金屬波紋管11、11'之伸縮變形而與升降部20抵接，該止動部構成為藉由使升降部20與止動部50抵接而使可動件40停止移動為較佳。

亦即，使升降部20伴隨著成為伸縮部10之金屬波紋管11、11'之伸縮變形而向Z方向移動，從而升降部20與止動部50對接而限制可動件40之移動範圍。

止動部50具有用於設定升降部20及可動件40之下限位置之下限止動部51a、以及用於設定升降部20及可動件40之上限位置之上限止動部52a。

如圖1(a)、(b)及圖2所示時，下限止動部51a沿著被設置成包圍成為伸縮部10之金屬波紋管11、11'之外周之側壁部51之內表面形成為階梯狀，被構成為藉由使升降部20之下表面21抵接而使可動件40停止下方移動。

如圖1(a)、(b)及圖2所示時，上限止動部52a沿著被設置成遍及側壁部51之上端面覆蓋升降部20之頂板52之下表面形成為面狀，被構成為藉由使升降部20之上表面22抵接而使可動件40停止上方移動。

另外，本發明之實施形態之驅動器A還具備供給部61，該供給部用於朝向在複數個金屬波紋管11、11'(蛇腹部11a、11a')之間形成之環狀空間13供給驅動用流體F，構成為藉由自供給部61向環狀空間13供給驅動用流體F而使金屬波紋管11、11'同時伸縮變形為較佳。

亦即，成為伸縮部10之金屬波紋管11、11'藉由自供給部61向環狀空間13供給驅動用流體F而同時伸長變形，與此相反，金屬波紋管11、11'藉由使驅動用流體F自環狀空間13返回到供給部61而同時縮短變形。

供給部61具有包含壓縮空氣等氣體或液體之驅動用流體F所貯留之供給源(未圖示)、自驅動用流體F之供給源遍及金屬波紋管11、11'之間之環狀空間13而形成之供給路61a、以及用於經過供給路61a遍及供給源及環狀空間13而將驅動用流體F僅向一個方向供給或者向兩個方向進出之泵等驅動機構(未圖示)。

在圖1(a)、(b)及圖2所示之例子中，在後述之黏附卡盤裝置之卡盤本體60之內部區隔形成供給路61a作為供給部61，供給部61之供給路61a和環狀空間13經由開鑿在基部30上之貫通孔32連通。

在圖1(a)所示之狀態下，蛇腹部11a、11a'藉由金屬波紋管11、11'及升降部20之自重以及金屬波紋管11、11'所具有之彈性力而向Z方向壓縮變形，且升降部20與止動部50(下限止動部51a)抵接，藉此可動件40因下限限制而停止。

在圖1(b)所示之狀態下，供給部61之驅動機構作動，驅動用流體F自供給源經過供給路61a被供給至環狀空間13而環狀空間13之內壓上升，從而使金屬波紋管11、11'同時向Z方向膨脹而伸縮變形，升降部20與止動部50(上限止動部52a)抵接，藉此可動件40因上限限制而停止。

其後，環狀空間13內之驅動用流體F經過供給路61a逆流至供給源，或者自其他釋放通路(未圖示)抽出而使環狀空間13之內壓下降，從而蛇腹部11a、11a'向Z方向壓縮變形而恢復圖1(a)所示之狀態。

並且，雖未圖示其他例子，但代替卡盤本體60內之供給路61a、基部30之貫通孔32，亦能夠對被配置在外側之金屬波紋管11'之蛇腹部11a'、升降部20直接配管連接供給部61之供給管路等，作為供給部61與黏附卡盤裝置之卡盤本體60無關地向環狀空間13供給驅動用流體F。

基於該種本發明之實施形態之驅動器A，向內外以同心狀配置具有蛇腹部11a、11a'之複數個金屬波紋管11、11'作為伸縮部10，因此藉由使金屬波紋管11、11'伸縮變形，從而金屬波紋管11、11'之蛇腹部11a、11a'將各自之內周端11b、11b'及外周端11c、11c'個別地交替固定而伸縮部10整體全然不會向伸縮變形方向(Z方向)以外之XYθ方向變形。

因此，可動件40經由遍及金屬波紋管11、11'之一端而設置之升降部20在伸縮部10之中心空間12及基部30之通孔31內向伸縮變形方向(Z方向)以外之XYθ方向無振擺地往復移動。

因此，能夠以非接觸狀態無徑向振擺地驅動可動件40。

尤其是，當使用多數個薄壁金屬板之內周端11b、11b'和外周端11c、11c'個別地交替焊接而形成之焊接波紋管作為向內外以同心狀配置之複數個金屬波紋管11、11'時，向其軸方向(Z方向)伸縮變形，但由於剛性較高而不會向除此以外之XYθ方向變形、移動，並且藉由向內外以同心狀配置複數個焊接波紋管，剛性進一步得到提高，因此能夠澈底防止可動件40之徑向振擺。

另外，還具備止動部50，該止動部被設置成與升降部20對向且伴隨著伸縮部10之伸縮變形而與升降部20抵接，當構成為藉由升降部20與止動部50抵接而使可動件40停止移動時，使升降部20伴隨著伸縮部10之伸縮變形而移動，從而升降部20與止動部50對接而限制可動件40之移動範圍。

因此，能夠以簡單之結構限制可動件40之移動範圍。

其結果，能夠防止可動件40與工件W等碰撞，不會發生破損事故等，安全性得以提高。

並且，還具備朝向在金屬波紋管11、11'之間形成之環狀空間13供給驅動用流體F之供給部61，當構成為藉由自供給部61向環狀空間13供給驅動用流體F而使金屬波紋管11、11'同時伸縮變形時，金屬波紋管11、11'藉由自供給部61向環狀空間13供給驅動用流體F而同時伸長變形，與此相反，金屬波紋管11、11'藉由使驅動用流體F自環狀空間13返回到供給部61而同時縮短變形。

因此，能夠以簡單之結構使可動件40無徑向振擺地順暢往復移動。

其結果，即使長期使用亦可得到穩定之作動，作動性優異。

並且，使用該種驅動器A之本發明之實施形態之黏附卡盤裝置構成為複數個驅動器A與工件W對向且按規定間隔個別地被分散配置在卡盤本體60上，且介隔黏附構件70裝卸自如地保持工件W。另外，黏附卡盤裝置配備在真空氣氛、達到規定真空度之氣氛或大氣氣氛等中。

此外，在圖1(a)、(b)及圖2所示之例子中，對於黏附卡盤裝置之卡盤本體60僅配置一個驅動器A，與此同樣地亦配置其他驅動器A，因此圖式上省略其他驅動器A。

卡盤本體60例如由用金屬、陶瓷等剛體被形成為不發生撓曲變形之厚度之板狀之平板等構成，具有複數個連通孔62，該複數個連通孔被設置成至少與驅動器A之基部30之通孔31連通而使可動件40通過。

驅動器A進行如下控制：伴隨著成為伸縮部10之金屬波紋管11、11'之伸縮變形，使所有可動件40之前端41自卡盤本體60之保持面60a同時突出而使其個別地與工件W之表面W1接觸，伴隨著成為伸縮部10之金屬波紋管11、11'之相反之伸縮變形，使所有可動件40之前端41同時進入卡盤本體60內而個別地自工件W之表面W1分離。

亦即，在被分散配置在卡盤本體60上之複數個驅動器A中，藉由使成為伸縮部10之金屬波紋管11、11'伸縮變形，所有可動件40之前端41貫穿連通孔62自卡盤本體60之保持面60a同時突出，藉由可動件40之前端41分別與工件W之表面W1接觸，進行藉由黏附構件70之黏附保持等，與此相反，藉由使成為伸縮部10之金屬波紋管11、11'伸縮變形，所有可動件40之前端41同時進入卡盤本體60之連通孔62內，可動件40之前端41分別自工件W之表面W1分離，藉此進行與黏附構件70之剝離開放等。

在圖1(a)、(b)及圖2所示之例子中，在複數個驅動器A之可動件40之前端41個別地設置有片狀之黏附構件70。

在圖1(a)所示之狀態下，伴隨著藉由伸縮部10之縮短變形之可動件40之下方移動，黏附構件70自卡盤本體60之保持面60a同時突出移動，使所有黏附構件70同時黏接在工件W之表面W1上，從而黏附保持工件W。

在圖1(b)所示之狀態下，伴隨著藉由伸縮部10之伸長變形之可動件40之上方移動，黏附構件70同時進入移動到卡盤本體60之連通孔62內，將所有黏附構件70自工件W之表面W1同時剝下，從而開放工件W。

並且，雖未圖示其他例子，但亦能夠不在可動件40之前端41設置黏附構件70，而是在卡盤本體60之保持面60a上之連通孔62之周緣或其附近設置黏附構件70，伴隨著藉由伸縮部10之伸長變形之可動件40之進入移動，使卡盤本體60之黏附構件70黏接在工件W之表面W1來黏附保持工件W，伴隨著藉由伸縮部10之縮短變形之可動件40之突出移動，將工件W之表面W1自卡盤本體60之黏附構件70按壓剝離，從而開放工件W。

基於該種本發明之實施形態之黏附卡盤裝置，在被分散配置在卡盤本體60上之複數個驅動器A中，藉由使伸縮部10伸縮變形，所有可動件40之前端貫穿連通孔62自卡盤本體60之保持面60a同時突出而分別與工件W接觸，藉此進行藉由黏附構件70之黏附保持等，與此相反，藉由使伸縮部10伸縮變形，所有可動件40之前端同時進入卡盤本體60之連通孔62內而分別與工件W分離，藉此進行與黏附構件70之剝離開放等。

因此，能夠用複數個可動件40無徑向振擺地且裝卸自如地黏附保持工件W。

其結果，與因藉由驅動器之軸之驅動而容易產生徑向振擺之習知之黏附卡盤裝置相比，即使在平板顯示器之基板貼合機等中在完成貼合之後使用於黏附剝離，由驅動器引起之基板彼此之貼合精度亦不會降低，能夠提高成品率。

另外，與因藉由驅動器之軸之驅動而在密封件之間產生摩擦之習知之黏附卡盤裝置相比，不會伴隨著可動件40之驅動而產生塵埃，因此即使在真空腔室單元等密閉空間內進行基板彼此之貼合，亦能夠防止塵埃等異物混入基板彼此之貼合部位等惡劣影響。

[實施例]

接著，依據圖示對本發明之一實施例進行說明。

如圖1(a)、(b)及圖2所示般，該實施例係藉由將黏附卡盤裝置安裝成使驅動用流體F之供給部61與貫通孔32連通而構成成為複數個驅動器A之伸縮部10之驅動路徑之驅動用流體F之網絡者，該驅動用流體F之供給部61係使複數個驅動器A之基部30個別地相對於卡盤本體60氣密接合而形成於卡盤本體60之內部，該貫通孔32被設置成在驅動器A之基部30與環狀空間13連通。

黏附卡盤裝置之卡盤本體60具有形成於其內部之驅動用流體F之供給部61、被安裝成與驅動器A之基部30接觸之複數個安裝部63、個別地被開設成與安裝在安裝部63上之驅動器A之基部30之通孔31連通之複數個連通孔62、以及個別地被開設成朝向安裝在安裝部63上之驅動器A之基部30之貫通孔32與供給部61連通之複數個供給孔64。

驅動用流體F之供給部61中之供給路61a被形成為將對卡盤本體60安裝之複數個驅動器A相互連結，供給路61a之一部份經由泵等驅動機構而與驅動用流體F之供給源配管連接。

驅動器A之安裝部63係用於將驅動器A之基部30相對於卡盤本體60個別地進行定位之固定機構。

在圖1(a)、(b)及圖2所示之例子中，作為安裝部63具備開設在卡盤本體60上之複數個卡止孔63a、以及自驅動器A之基部30朝向卡止孔63a插通而卡合之螺紋、螺釘等緊固件63b。藉由使插通至驅動器A之基部30之緊固件63b與卡止孔63a卡合(螺合)，從而將驅動器A之基部30相對於卡盤本體60氣密狀連結。

並且，雖未圖示其他例子，但作為安裝部63，代替卡止孔63a及緊固件63b，亦能夠使用除此以外之連結構件將驅動器A之基部30相對於卡盤本體60氣密狀連結。

基於該種本發明之實施例之黏附卡盤裝置，將複數個驅動器A安裝成使各自之基部30相對於卡盤本體60中之複數個安裝部63接觸，從而各驅動器A之基部30之通孔31與卡盤本體60之連通孔62連通，各驅動器A之基部30之貫通孔32與卡盤本體60之供給孔64連通，驅動用流體F自卡盤本體60之供給部61被供給至金屬波紋管11、11'之間之環狀空間13，藉此各驅動器A之金屬波紋管11、11'個別地伸長變形。

因此，能夠同時進行複數個驅動器A之設置以及對於該等之驅動配管。

其結果，即使是保持一邊為數米之大型工件之黏附卡盤裝置，亦無需在多數個驅動器A之驅動路徑上進行複雜之配管接合等，能夠在短時間內且可靠地確保驅動路徑，具有作業性優異之優點。

另外，如圖1(a)、(b)及圖2所示般，在複數個驅動器A之可動件40之前端41設置黏附構件70，當伴隨著藉由伸縮部10之伸長變形之可動件40之進入移動而自黏附構件70剝下並開放工件W時，雖未圖示，但與伴隨著藉由伸縮部10之縮短變形之可動件40之突出移動而自被設置於卡盤本體60之保持面60a上之黏附構件70按壓剝離工件W之情況相比，黏附構件70與工件W黏接之黏接面積減小，因此即使在一邊限制工件W之變形量一邊縮短可動件40之移動衝程亦能夠可靠地剝離開放工件W。

因此，能夠徹底消除可動件40之徑向振擺。

另外，即使是工件W為有機EL顯示器(OLED)、高精細液晶顯示器(LCD)等在一對基板之間被夾入無墊片之液材者，亦能夠防止伴隨可動件40之按壓剝離之壓破。

此外，在前面所示之實施例中，使與卡盤本體60之供給部61連通之供給孔64與驅動器A之基部30之貫通孔32個別地氣密狀連通，但不限於此，亦可將供給部61之供給管路直接配管連接成貫穿驅動器A中之外側之蛇腹部11a'、升降部20而與環狀空間13連通等，作為供給部61與卡盤本體60無關地向環狀空間13供給驅動用流體F。