CN104919189A - 驱动器及粘附卡盘装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种以非接触状态无径向振摆地驱动可动件的驱动器及粘附卡盘装置。本发明的驱动器中，向内外以同心状配置具有蛇纹部(11a、11a′)的多个金属波纹管(11、11′)作为伸缩部(10)，通过使金属波纹管(11、11′)伸缩变形，从而金属波纹管(11、11′)的蛇纹部(11a、11a′)将各自的内周端(11b、11b′)及外周端(11c、11c′)相互交替固定而伸缩部(10)整体全然不会向伸缩变形方向即Z方向以外的XYθ方向变形，因此可动件(40)经由遍及金属波纹管(11、11′)的一端而设置的升降部(20)在伸缩部(10)的中心空间(12)及底座部(30)的通孔(31)内向伸缩变形方向即Z方向以外的XYθ方向无径向振摆地往复移动。

Description

驱动器及粘附卡盘装置

技术领域

本发明涉及一种驱动器及具备该驱动器的粘附卡盘装置，该驱动器例如在液晶显示器(LCD)、有机EL显示器(OLED)、等离子显示器(PDP)、可挠性显示器等平板显示器(FPD)的制造过程中，被使用于包含粘附保持玻璃基板或树脂基板等板状工件并进行贴合的基板贴合机的基板组装装置、输送这种基板等绝缘体、导电体或半导体晶片等工件(被处理体)的基板输送装置等。

背景技术

以往，作为这种粘附卡盘装置，有如下基板组装装置，其在上方的加压板上设置有多个开孔，在这些开孔内具备驱动器，在从驱动器朝向下方延伸的轴的前端设置有粘附部件，粘附部件通过驱动器的动作而在开孔内上下移动，用粘附部件保持上基板，在真空腔室单元的内部，进行上下两个基板的对位之后进行贴合，当从被贴合的上基板剥下粘附部件时，若通过驱动器使粘附部件在开孔内上升(后退)，则加压板的开孔的周缘部阻止上基板的移动，因此使粘附部件和上基板轻松地分离(例如参考专利文献1)。

并且，还有如下基板组装装置，其在上方的加压板上设置有多个开口，在这些开口内分别具备旋转用驱动器和上下驱动用驱动器，在从旋转用驱动器朝向下方延伸的旋转轴的顶端安装有粘附部件，在真空腔室单元的内部，一边进行上下两个基板的对位一边进行贴合，当使粘附部件在加压板内后退时，通过旋转用驱动器将粘附部件相对于基板面一边扭转或者扭转之后通过上下驱动用驱动器使其后退，从而将粘附部件从上基板上剥下(例如参考专利文献2)。

以往技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利公开2001-133745号公报(第5页、图7)

专利文献2：日本专利公开2003-273508号公报(第3-5页、图1-图5)

发明内容

发明要解决的技术课题

但是，在平板显示器的基板贴合机等中，将一对基板以微米级的高精度相互对位，并且保持着它们的对位状态，以高精度进行基板彼此的贴合。

然而，在这种以往的粘附卡盘装置及用于该粘附卡盘装置的驱动器中，专利文献1的情况，在驱动从驱动器延伸的轴时，该轴在与该轴向交叉的方向上也稍微发生径向振摆，因此在完成上下基板的贴合之后从上基板剥下粘附部件时，若用驱动器使轴及粘附部件上升(后退)，则由轴的径向振摆而导致上基板相对于下基板引起位置偏移。

因此，存在基板彼此的贴合精度下降，成品率变差的问题。

并且，专利文献2的情况，在完成上下基板的贴合之后从上基板剥下粘附部件时，用旋转用驱动器一边扭转旋转轴或扭转之后通过上下驱动用驱动器使其后退，因此存在随着粘附部件的旋转移动，上基板相对于下基板容易引起位置偏移的问题。

另外，专利文献2的情况，使环状的密封件与旋转轴的外周面抵接来上下移动自如且旋转自如地密封旋转轴，同时防止旋转轴的轴振摆。但是，每当旋转轴进行上下移动及旋转移动时旋转轴与密封件相互摩擦，因此由这些磨损而容易产生尘埃。

因此，当在真空腔室单元等密闭空间内进行基板彼此的贴合时，存在有可能造成因旋转轴与密封件的磨损而产生的尘埃混入基板彼此的贴合部位等恶劣影响的问题。

本发明以解决这种问题作为课题，其目的在于以非接触状态无径向振摆地驱动可动件等。

用于解决技术课题的手段

为实现这种目的，基于本发明的驱动器，其特征在于，具备：能够伸缩变形的伸缩部，向内外以同心状配置具有蛇纹部的多个金属波纹管，所述蛇纹部是内周端及外周端个别地交替固定而形成；升降部，遍及所述金属波纹管的一端而设置；底座部，遍及所述金属波纹管的另一端而设置，且具有通孔；以及可动件，从所述升降部通过所述伸缩部的中心空间朝向所述底座部的所述通孔而设置，所述驱动器使所述可动件随着所述伸缩部的伸缩变形而在所述底座部的所述通孔内往复移动。

发明效果

具有前述的特征的基于本发明的驱动器中，向内外以同心状配置具有蛇纹部的多个金属波纹管作为伸缩部，通过使金属波纹管伸缩变形，从而金属波纹管的蛇纹部将各自的内周端及外周端个别地交替固定，而伸缩部整体全然不会向伸缩变形方向以外的方向变形，因此可动件经由遍及金属波纹管的一端而设置的升降部在伸缩部的中心空间及底座部的通孔内向伸缩变形方向以外的方向无径向振摆地往复移移动。

因此，能够以非接触状态无径向振摆地驱动可动件。

其结果，与由轴的驱动而容易产生径向振摆的以往的驱动器相比，即使在平板显示器的基板贴合机等中在完成贴合之后使用于剥离粘附，也不会使基板彼此的贴合精度下降，能够提高成品率。

另外，与因轴的驱动而在密封件之间产生摩擦的以往的驱动器相比，不会随着可动件的驱动而产生尘埃，因此即使在真空腔室单元等密闭空间内进行基板彼此的贴合，也能够防止尘埃等异物混入基板彼此的贴合部位等恶劣影响。并且，不存在由摩擦而磨损的密封部分，因此即使长期使用也无径向振摆地不会引起，稳定性优异。

尤其是，当使用多个薄壁金属板的内周端和外周端个别地交替焊接而形成的焊接波纹管作为向内外以同心状配置的多个金属波纹管时，向其轴向伸缩变形，但由于刚性较高而不会向除此以外的方向变形、移动，并且通过向内外以同心状配置多个焊接波纹管，刚性进一步得到提高，因此能够彻底防止可动件的径向振摆。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式的驱动器及粘附卡盘装置的整体结构的说明图，(a)是表示驱动前的状态的纵截面主视图，(b)是表示驱动后的状态的纵截面主视图。

图2是沿图1的(2)-(2)线的横截面俯视图。

具体实施方式

以下，根据附图对本发明的实施方式进行详细说明。

本发明的实施方式所涉及的驱动器A是在包含平板显示器的基板贴合机等的基板组装装置、基板输送装置等中使用的原动机。

如图1～图2所示，与包含玻璃基板、树脂基板等的板状的工件W对置且按规定间隔个别地分散配置多个驱动器A，由此构成本发明的实施方式所涉及的粘附卡盘装置。

若详细说明，则本发明的实施方式所涉及的驱动器A具备以下作为主要构成要件：伸缩部10，向内外以同心状配置具有蛇纹部11a、11a′的多个金属波纹管11、11′，且能够伸缩变形的能够向Z方向伸缩变形；升降部20，遍及金属波纹管11、11′的一端而设置；底座部30，遍及金属波纹管11、11′的另一端而设置；以及可动件40，从升降部20通过伸缩部10的中心空间12朝向底座部30的中心而设置。

在成为伸缩部10的多个金属波纹管11、11′中，将被冲切加工成环状的多个薄壁金属板的内周端11b、11b′和外周端11c、11c′个别地交替固定而相连结成截面呈波状，由此形成能够伸缩变形的蛇纹部11a、11a′。

伸缩部10备有多个具有不同直径尺寸的蛇纹部11a、11a′的金属波纹管11、11′，该伸缩部通过将这些金属波纹管11、11′个别地配置成使蛇纹部11a、11a′的中心处于相同的位置而构成。

在这些多个金属波纹管11、11′中，在成为伸缩部10的中心的最小径的蛇纹部11a的内部区划形成有中心空间12。在多个金属波纹管11、11′中的大小蛇纹部11a、11a′之间区划形成有气密性优异的环状空间13。

作为金属波纹管11、11′的具体例，优选使用多个薄壁金属板的内周端11b、11b′和外周端11c、11c′个别地被交替焊接而形成的焊接波纹管。

另外，图1(a)、(b)及图2所示的例子中，形成为圆筒状的两个金属波纹管11、11′沿其径方向在同心圆上个别地配置有多个。

并且，虽未图示其他例子，但作为金属波纹管11、11′可以使用被形成为圆筒状以外的角筒状的波纹管，或者也能够将三个以上的金属波纹管11、11′配置成使各自的中心处于相同的位置。

升降部20由遍及金属波纹管11、11′的一端(上端)以气密状连结的板材或其他形状的部件构成，其被支承为随着金属波纹管11、11′的伸缩变形而向Z方向往复移动自如。

另外，升降部20优选通过与其他部件接触而限制成为伸缩部10的金属波纹管11、11′的伸缩变形范围。

底座部30由遍及金属波纹管11、11′的另一端(下端)以气密状连结的板材或其他形状的部件构成，其支承金属波纹管11、11′。

在底座部30的中心部贯穿开凿有后述的可动件40所插通的通孔31。

另外，在底座部30上优选开凿与在多个金属波纹管11、11′(蛇纹部11a、11a′)之间形成的环状空间13连通的贯穿孔32。

可动件40由从升降部20的中心通过成为伸缩部10的中心的中心空间12朝向底座部30的通孔31延伸的截面呈圆形或截面呈矩形等的其他形状的棒材构成，其被悬挂支承为随着成为伸缩部10的金属波纹管11、11′的伸缩变形，与升降部20联动地在伸缩部10的中心空间12及底座部30的通孔31内向Z方向往复移动。

另外，可动件40被配置成与该升降部20的连结部位的相反侧的顶端41与工件W对置，且被配置成在通过金属波纹管11、11′的伸缩变形向Z方向往复移动过程中使顶端41相对于工件W的表面W1间接或直接接触。

在如图1(a)、(b)所示的例子中，后述的粘附部件70被固定于可动件40的顶端41，通过经由粘附部件70与工件W的表面W1接触来装卸自如地保持工件W。

并且，虽未图示其他例子，但也能够使顶端41与工件W的表面W1面接触来对工件进行按压移动，而不是将粘附部件70固定于可动件40的顶端41。

另外，本发明的实施方式所涉及的驱动器A还具备制动器50，该制动器被设置成与升降部20对置且随着成为伸缩部10的金属波纹管11、11′的伸缩变形而与升降部20抵接，优选该制动器构成为通过使升降部20与制动器50抵接而使可动件40停止移动。

即，使升降部20随着成为伸缩部10的金属波纹管11、11′的伸缩变形而向Z方向移动，从而升降部20与制动器50对接而限制可动件40的移动范围。

制动器50具有用于设定升降部20及可动件40的下限位置的下限制动器51a、以及用于设定升降部20及可动件40的上限位置的上限制动器52a。

如图1(a)、(b)及图2所示时，下限制动器51a沿着被设置成包围成为伸缩部10的金属波纹管11、11′的外周的侧壁部51的内表面形成为阶梯状，被构成为通过使升降部20的下表面21抵接而使可动件40停止下方移动。

如图1(a)、(b)及图2所示时，上限制动器52a沿着被设置成遍及侧壁部51的上端面覆盖升降部20的顶板52的下表面形成为面状，被构成为通过使升降部20的上表面22抵接而使可动件40停止上方移动。

另外，本发明的实施方式所涉及的驱动器A还具备供给部61，该供给部用于朝向在多个金属波纹管11、11′(蛇纹部11a、11a′)之间形成的环状空间13供给驱动用流体F，优选构成为通过从供给部61向环状空间13供给驱动用流体F而使金属波纹管11、11′同时伸缩变形。

即，成为伸缩部10的金属波纹管11、11′通过从供给部61向环状空间13供给驱动用流体F而同时伸长变形，与此相反，金属波纹管11、11′通过使驱动用流体F从环状空间13返回到供给部61而同时缩短变形。

供给部61具有包含压缩空气等气体或液体的驱动用流体F所贮留的供给源(未图示)、从驱动用流体F的供给源遍及金属波纹管11、11′之间的环状空间13而形成的供给路61a、以及用于经过供给路61a遍及供给源及环状空间13而将驱动用流体F仅向一个方向供给或者向两个方向进出的泵等驱动机构(未图示)。

在图1(a)、(b)及图2所示的例子中，在后述的粘附卡盘装置的卡盘主体60的内部区划形成供给路61a作为供给部61，供给部61的供给路61a和环状空间13经由开凿在底座部30上的贯穿孔32连通。

在图1(a)所示的状态下，蛇纹部11a、11a′通过金属波纹管11、11′及升降部20的自重以及金属波纹管11、11′所具有的弹性力而向Z方向压缩变形，且升降部20与制动器50(下限制动器51a)抵接，由此可动件40因下限限制而停止。

在图1(b)所示的状态下，供给部61的驱动机构动作，驱动用流体F从供给源经过供给路61a被供给至环状空间13而环状空间13的内压上升，从而使金属波纹管11、11′同时向Z方向膨胀而伸缩变形，升降部20与制动器50(上限制动器52a)抵接，由此可动件40因上限限制而停止。

其后，环状空间13内的驱动用流体F经过供给路61a逆流至供给源，或者从其他释放通路(未图示)抽出而使环状空间13的内压下降，从而蛇纹部11a、11a′向Z方向压缩变形而恢复图1(a)所示的状态。

并且，虽未图示其他例子，但代替卡盘主体60内的供给路61a、底座部30的贯穿孔32，也能够对被配置在外侧的金属波纹管11′的蛇纹部11a′、升降部20直接配管连接供给部61的供给管路等，作为供给部61与粘附卡盘装置的卡盘主体60无关地向环状空间13供给驱动用流体F。

基于这种本发明的实施方式所涉及的驱动器A，向内外以同心状配置具有蛇纹部11a、11a′的多个金属波纹管11、11′作为伸缩部10，因此通过使金属波纹管11、11′伸缩变形，从而金属波纹管11、11′的蛇纹部11a、11a′将各自的内周端11b、11b′及外周端11c、11c′个别地交替固定而伸缩部10整体全然不会向伸缩变形方向(Z方向)以外的XYθ方向变形。

因此，可动件40经由遍及金属波纹管11、11′的一端而设置的升降部20在伸缩部10的中心空间12及底座部30的通孔31内向伸缩变形方向(Z方向)以外的XYθ方向无径向振摆地往复移动。

因此，能够以非接触状态无径向振摆地驱动可动件40。

尤其是，当使用多个薄壁金属板的内周端11b、11b′和外周端11c、11c′个别地交替焊接而形成的焊接波纹管作为向内外以同心状配置的多个金属波纹管11、11′时，向其轴向(Z方向)伸缩变形，但由于刚性较高而不会向除此以外的XYθ方向变形、移动，并且通过向内外以同心状配置多个焊接波纹管，刚性进一步得到提高，因此能够彻底防止可动件40的径向振摆。

另外，还具备制动器50，该制动器被设置成与升降部20对置且随着伸缩部10的伸缩变形而与升降部20抵接，当构成为通过升降部20与制动器50抵接而使可动件40停止移动时，使升降部20随着伸缩部10的伸缩变形而移动，从而升降部20与制动器50对接而限制可动件40的移动范围。

因此，能够以简单的结构限制可动件40的移动范围。

其结果，能够防止可动件40与工件W等碰撞，不会发生破损事故等，安全性得以提高。

并且，还具备朝向在金属波纹管11、11′之间形成的环状空间13供给驱动用流体F的供给部61，当构成为通过从供给部61向环状空间13供给驱动用流体F而使金属波纹管11、11′同时伸缩变形时，金属波纹管11、11′通过从供给部61向环状空间13供给驱动用流体F而同时伸长变形，与此相反，金属波纹管11、11′通过使驱动用流体F从环状空间13返回到供给部61而同时缩短变形。

因此，能够以简单的结构使可动件40无径向振摆地顺畅地往复移动。

其结果，即使长期使用也可得到稳定的动作，动作性优异。

并且，使用这种驱动器A的本发明的实施方式所涉及的粘附卡盘装置构成为多个驱动器A与工件W对置且按规定间隔个别地被分散配置在卡盘主体60上，且经由粘附部件70装卸自如地保持工件W。另外，粘附卡盘装置配备在真空气氛、达到规定真空度的气氛或大气气氛等中。

此外，在图1(a)、(b)及图2所示的例子中，对于粘附卡盘装置的卡盘主体60仅配置一个驱动器A，与此同样地也配置其他驱动器A，因此附图上省略其他驱动器A。

卡盘主体60由例如用金属、陶瓷等刚体形成为不发生挠曲变形的厚度的板状的平板等构成，具有多个连通孔62，该多个连通孔被设置成至少与驱动器A的底座部30的通孔31连通而使可动件40通过。

驱动器A进行如下控制：随着成为伸缩部10的金属波纹管11、11′的伸缩变形，使所有的可动件40的顶端41从卡盘主体60的保持面60a同时突出而使其个别地与工件W的表面W1接触，随着成为伸缩部10的金属波纹管11、11′的缩短变形，使所有的可动件40的顶端41同时进入卡盘主体60内而个别地从工件W的表面W1分开。

即，在被分散配置在卡盘主体60上的多个驱动器A中，通过使成为伸缩部10的金属波纹管11、11′伸缩变形，所有的可动件40的顶端41贯穿连通孔62从卡盘主体60的保持面60a同时突出，通过可动件40的顶端41分别与工件W的表面W1接触，进行通过粘附部件70的粘附保持等，与此相反，通过使成为伸缩部10的金属波纹管11、11′缩短变形，所有的可动件40的顶端41同时进入卡盘主体60的连通孔62内，可动件40的顶端41分别从工件W的表面W1分开，由此进行与粘附部件70的剥离开放等。

在图1(a)、(b)及图2所示的例子中，在多个驱动器A的可动件40的顶端41个别地设置有片状的粘附部件70。

在图1(a)所示的状态下，随着通过伸缩部10的缩短变形的可动件40的下方移动，粘附部件70从卡盘主体60的保持面60a同时突出移动，使所有的粘附部件70同时粘接在工件W的表面W1上，从而粘附保持工件W。

在图1(b)所示的状态下，随着通过伸缩部10的伸长变形的可动件40的上方移动，粘附部件70同时进入移动到卡盘主体60的连通孔62内，将所有的粘附部件70从工件W的表面W1同时剥下，从而开放工件W。

并且，虽未图示其他例子，但也能够不在可动件40的顶端41设置粘附部件70，而是在卡盘主体60的保持面60a上的连通孔62的周缘或其附近设置粘附部件70，随着通过伸缩部10的伸长变形的可动件40的进入移动，使卡盘主体60的粘附部件70粘接在工件W的表面W1来粘附保持工件W，随着通过伸缩部10的缩短变形的可动件40的突出移动，将工件W的表面W1从卡盘主体60的粘附部件70按压剥离，从而开放工件W。

基于这种本发明的实施方式所涉及的粘附卡盘装置，在被分散配置在卡盘主体60上的多个驱动器A中，通过使伸缩部10伸缩变形，所有的可动件40的顶端贯穿连通孔62从卡盘主体60的保持面60a同时突出而分别与工件W接触，由此进行通过粘附部件70的粘附保持等，与此相反，通过使伸缩部10缩短变形，所有的可动件40的顶端同时进入卡盘主体60的连通孔62内而分别与工件W分开，由此进行与粘附部件70的剥离开放等。

因此，能够用多个可动件40无径向振摆地且装卸自如地粘附保持工件W。

其结果，与因通过驱动器的轴的驱动而容易产生径向振摆的以往的粘附卡盘装置相比，即使在平板显示器的基板贴合机等中在完成贴合之后使用于粘附剥离，由驱动器引起的基板彼此的贴合精度也不会降低，能够提高成品率。

另外，与因通过驱动器的轴的驱动而在密封件之间产生摩擦的以往的粘附卡盘装置相比，不会随着可动件40的驱动而产生尘埃，因此即使在真空腔室单元等密闭空间内进行基板彼此的贴合，也能够防止尘埃等异物混入基板彼此的贴合部位等恶劣影响。

实施例

接着，根据附图对本发明的一实施例进行说明。

如图1(a)、(b)及图2所示，该实施例通过将粘附卡盘装置安装成使驱动用流体F的供给部61与贯穿孔32连通而构成成为多个驱动器A的伸缩部10的驱动路径的驱动用流体F的网络，该驱动用流体F的供给部61是使多个驱动器A的底座部30个别地相对于卡盘主体60气密接合而形成于卡盘主体60的内部，该贯穿孔32被设置成在驱动器A的底座部30与环状空间13连通。

粘附卡盘装置的卡盘主体60具有形成于其内部的驱动用流体F的供给部61、被安装成与驱动器A的底座部30接触的多个安装部63、个别地被开设成与安装在安装部63上的驱动器A的底座部30的通孔31连通的多个连通孔62、以及个别地被开设成朝向安装在安装部63上的驱动器A的底座部30的贯穿孔32并与供给部61连通的多个供给孔64。

驱动用流体F的供给部61中的供给路61a被形成为将对卡盘主体60安装的多个驱动器A相互连结，供给路61a的一部分经由泵等驱动机构而与驱动用流体F的供给源配管连接。

驱动器A的安装部63是用于将驱动器A的底座部30相对于卡盘主体60个别地进行定位的固定机构。

在图1(a)、(b)及图2所示的例子中，作为安装部63具备开设在卡盘主体60上的多个卡止孔63a、以及从驱动器A的底座部30朝向卡止孔63a插通而卡合的螺纹、螺钉等紧固件63b。通过使插通至驱动器A的底座部30的紧固件63b与卡止孔63a卡合(螺合)，从而将驱动器A的底座部30相对于卡盘主体60气密状连结。

并且，虽未图示其他例子，但作为安装部63，代替卡止孔63a及紧固件63b，也能够使用除此以外的连结部件将驱动器A的底座部30相对于卡盘主体60气密状连结。

基于这种本发明的实施例所涉及的粘附卡盘装置，将多个驱动器A安装成使各自的底座部30相对于卡盘主体60中的多个安装部63接触，从而各驱动器A的底座部30的通孔31与卡盘主体60的连通孔62连通，各驱动器A的底座部30的贯穿孔32与卡盘主体60的供给孔64连通，驱动用流体F从卡盘主体60的供给部61被供给至金属波纹管11、11′之间的环状空间13，由此各驱动器A的金属波纹管11、11′个别地伸长变形。

因此，能够同时进行多个驱动器A的设置以及对于它们的驱动配管。

其结果，即使是保持一边为数米的大型工件的粘附卡盘装置，也无需在多个驱动器A的驱动路径上进行复杂的配管接合等，能够在短时间内且可靠地确保驱动路径，具有作业性优异的优点。

另外，如图1(a)、(b)及图2所示，在多个驱动器A的可动件40的顶端41设置粘附部件70，当随着通过伸缩部10的伸长变形的可动件40的进入移动而从粘附部件70剥下并开放工件W时，虽未图示，但与随着通过伸缩部10的缩短变形的可动件40的突出移动而从被设置于卡盘主体60的保持面60a上的粘附部件70按压剥离并开放工件W的情况相比，粘附部件70与工件W粘接的粘接面积减小，因此即使在一边限制工件W的变形量一边缩短可动件40的移动冲程也能够可靠地剥离开放工件W。

因此，能够彻底消除可动件40的径向振摆。

另外，即使是工件W为有机EL显示器(OLED)、高精细液晶显示器(LCD)等在一对基板之间被夹入无垫片的液材，也能够防止伴随可动件40的按压剥离的压破。

此外，在前面所示的实施例中，使与卡盘主体60的供给部61连通的供给孔64与驱动器A的底座部30的贯穿孔32个别地以气密状连通，但并不限定于此，也可将供给部61的供给管路直接配管连接成贯穿驱动器A中的外侧的蛇纹部11a′、升降部20而与环状空间13连通等，作为供给部61与卡盘主体60无关地向环状空间13供给驱动用流体F。

符号说明

A-驱动器，10-伸缩部，11、11′-金属波纹管，11a、11a′-蛇纹部，11b、11b′-内周端，11c、11c′-外周端，12-中心空间，13-环状空间，20-升降部，30-底座部，31-通孔，32-贯穿孔，40-可动件，50-制动器，60-卡盘主体，60a-保持面，61-供给部，62-连通孔，63-安装部，64-供给孔，70-粘附部件，F-驱动用流体，W-工件。

Claims (5)

1.一种驱动器，其特征在于，具备：

能够伸缩变形的伸缩部，向内外以同心状配置具有蛇纹部的多个金属波纹管，所述蛇纹部是内周端及外周端分别地交替固定而形成；

升降部，遍及所述金属波纹管的一端而设置；

底座部，遍及所述金属波纹管的另一端而设置，且具有通孔；以及

可动件，从所述升降部通过所述伸缩部的中心空间朝向所述底座部的所述通孔而设置，

随着所述伸缩部的伸缩变形，使所述可动件在所述底座部的所述通孔内往复移动。

2.根据权利要求1所述的驱动器，其特征在于，

所述驱动器还具备制动器，所述制动器被设置成与所述升降部对置且随着所述伸缩部的伸缩变形而与所述升降部抵接，并且构成为通过所述升降部与所述制动器抵接而使所述可动件停止移动。

3.根据权利要求1或2所述的驱动器，其特征在于，

所述驱动器还具备供给部，所述供给部朝向在所述金属波纹管之间形成的环状空间供给驱动用流体，并且构成为通过从所述供给部向所述环状空间供给所述驱动用流体而使所述金属波纹管同时伸缩变形。

4.一种粘附卡盘装置，其中，权利要求1、2或3所述的驱动器与工件对置且分别地被分散配置在卡盘主体上，且经由粘附部件装卸自如地保持所述工件，所述粘附卡盘装置的特征在于，

所述卡盘主体具有多个连通孔，所述连通孔被设置成与所述驱动器的所述底座部连通而使所述可动件通过，

所述驱动器进行如下控制：随着所述伸缩部的伸缩变形，使所有的所述可动件的顶端从所述卡盘主体的保持面突出而与所述工件接触，随着所述伸缩部的缩短变形，使所有的所述可动件的顶端进入所述卡盘主体内而与所述工件分开。

5.根据权利要求4所述的粘附卡盘装置，其中，权利要求3所述的驱动器与工件对置且分别地被分散配置在卡盘主体上，且经由粘附部件装卸自如地保持所述工件，所述粘附卡盘装置的特征在于，

所述驱动器具有贯穿孔，所述贯穿孔被设置成在所述底座部上与所述环状空间连通，

所述卡盘主体具有：所述驱动用流体的所述供给部，形成于所述卡盘主体的内部；多个安装部，被安装成与所述驱动器的所述底座部接触；多个连通孔，分别地被开设成与被安装在所述安装部上的所述驱动器的所述底座部的所述通孔连通；以及多个供给孔，分别地被开设成朝向被安装在所述安装部上的所述驱动器的所述底座部的所述贯穿孔并与所述供给部连通。