TWI597152B - 光照射裝置 - Google Patents

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TWI597152B
TWI597152B TW103141512A TW103141512A TWI597152B TW I597152 B TWI597152 B TW I597152B TW 103141512 A TW103141512 A TW 103141512A TW 103141512 A TW103141512 A TW 103141512A TW I597152 B TWI597152 B TW I597152B
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豪雅冠得光電股份有限公司
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Description

光照射裝置
本發明係關於一種光照射裝置，其對於沿著圓柱狀捲筒外側面的一部分密合移動的片狀照射目標物照射光線；特別係關於一種可射出多種不同波長之光線的光照射裝置。
以往，為了在玻璃基板、塑膠基板或是薄膜基板上形成既定圖案或微細構造，而廣泛使用紫外線硬化樹脂。此種紫外線硬化樹脂，例如，係以藉由照射波長在365nm附近之紫外光而硬化的方式所設計，並使用照射紫外光的光照射裝置(所謂的紫外線照射裝置)，進行紫外線硬化樹脂的硬化。
在基板上形成微細構造的技術，例如，奈米壓印法。奈米壓印法對於在基板表面上產生奈米尺寸之微細構造圖案來說非常優異，特別是從量產性及脫膜性的觀點來看。為了轉印並複製微細構造圖案，有人提出使用滾筒狀模具的結構。此種結構的圖案形成裝置，記載於例如，專利文獻1。
專利文獻1中所記載的圖案形成裝置，係將表面塗佈有紫外線硬化樹脂的薄膜，捲附於外側面上形成有微細構造圖案的滾筒狀模具，再從光照射裝置對模具外側面照射紫外光以使樹脂硬化之後，將其從模具剝離，藉此連續(重複)地將微細構造圖案轉印至薄膜上。
以此方法所得到之微細構造圖案的轉印品質，係根據以紫外光所進行之樹脂的硬化步驟所決定，故為了提升轉印品質(亦即，為了得到正確的微細構造圖案)，要求在薄膜處於與模具密合之狀態時，確實地使樹脂硬化。於是，為了更確實地使樹脂硬化，亦有人提出射出多種波長之紫外光的構成(例如，專利文獻2)。
專利文獻2中所記載的圖案形成裝置，係將紫外線硬化樹脂呈線狀塗佈於基板上，再以紫外光將其硬化的裝置。首先，照射短波長的紫外光，僅使樹脂的表面部分硬化，接著照射容易滲透到樹脂內部的長波長的紫外光，以使樹脂內部硬化，藉此確實地使線狀塗佈的樹脂硬化。
【先前技術文獻】 【專利文獻】
【專利文獻1】日本特開2013-086388號公報
【專利文獻2】日本特開2012-143691號公報
如專利文獻1所記載之圖案形成裝置，在以滾筒狀模具(亦即，捲筒)產生微細構造圖案的情況中，必須因應所需要的微細構造圖案以及所使用的薄膜，來替換相應的模具本體。因此為了可對應各種外徑的模具，並能確保模具替換時的作業空間，要求一種與模具外側面相對的光射出面為平面狀的光照射裝置。
因此，在將專利文獻2所記載之結構(亦即，照射多種波長之紫外光的結構)應用於專利文獻1所記載的圖案形成裝置的情況中，期望將射出不同波長之紫外光的光學單元，相對模具之外側面排列成平面狀。
然而，若將不同波長之光學單元相對模具外側面排列成平面狀，則使得從各光學單元至模具的距離各自不同，導致各波長都有不同峰值強度的紫外光射入模具上的樹脂。如此，在依照各波長而峰值強度不同的紫外光射入樹脂的情況下，樹脂的硬化會受到峰值強度低的紫外光的影響，無法精準地轉印微細構造圖案，而具有轉印品質及製品可靠度明顯降低的問題。另外，如果配合峰值強度低的紫外光將轉印速度變慢並使積分光量(integral of light)增加，雖可提升轉印品質，但此方法具有生產效率明顯下降的問題。
本發明係鑒於上述情事所完成者，其目的係在於提供一種光照射裝置，其一方面採用將射出不同波長之紫外光的光學單元相對於模具(亦即，捲筒)外側面排列成平面狀的構成，另一方面可射出峰值強度在各波長間一致的紫外光。
為了達成上述目的，本發明之光照射裝置，係對於沿著圓柱狀捲筒外側面的一部分密合移動的片狀照射目標物照射光線的光照射裝置，包含：複數光學單元，其具有以複數發光元件所構成的光源部，該發光元件係在基板上沿著與捲筒之中心軸平行的第1方向且隔著第1既定間隔並排n個(n為2以上的整數)，並沿著與第1方向垂直的第2方向且隔著第2既定間隔並排m列(m為1以上的整數)，且以使該光軸方向與和該基板面垂直的第3方向一致的方式配置；及矩形的一對反射鏡，其以從第2方向夾住複數發光元件之光軸的方式在第1方向及第3方向上延伸，並且以反射面相對的方式配置；來自光源部的光線係由一對反射鏡所引導，進而對捲筒外側面的一部分射出既定發散角及光量的光線；複數的光學單元，係由射出N種(N為2以上的整數)不同波長之光線的N×M個(M為1以上的整數)光學單元所構成，N×M個光學單元的各射出面，配置於以第1方向與第2方向所規定的既定基準平面上；各光學單元之一對反射鏡之間的距離，係根據從光軸的基準平面至捲筒外側面的距離來設定。
根據此構成，雖形成N×M個光學單元相對捲筒外側面排列為平面狀的結構，但因為係分別根據從光軸之基準平面至捲筒外側面的距離，來設定各光學單元的一對反射鏡之間的距離，故可射出峰值強度在N種的各波長間一致的紫外光。
又，在將N×M個光學單元之中，從光軸的基準平面至捲筒外側面的距離最長的光學單元作為第1號光學單元，並沿著第2方向依序從第1號開始定義至第N×M號光學單元時，使第i號(i為1以上N×M以下的整數) 光學單元的一對反射鏡間之距離為ai，使從光軸之基準平面至捲筒外側面的距離為bi，使光源部在第2方向上的尺寸為c，使位於第2方向兩端的反射鏡之間的距離為d，並使捲筒的直徑為e時，期望滿足下式(1)、(2)及(3)。
ai>c．．．(1)
ai×bi=k(k為既定常數)．．．(2)
d<e．．．(3)
又，在N×M個光學單元之中，具備一對延長鏡，在將從光軸的基準平面至捲筒外側面之距離最長的光學單元作為第1號光學單元，並沿著第2方向依序從第1號開始定義至第N×M號光學單元時，從位於第2方向兩端之各反射鏡的前端部略平行地延伸至捲筒外側面附近，並分別反射從第1號及第N×M號光學單元所射出之光線；在使第1號光學單元與一對反射鏡之間的距離為a1、使從第1號光學單元之光軸的基準平面至捲筒外側面的距離為b1、使第N×M號光學單元與一對反射鏡之間的距離為a(N×M)、使從第N×M號光學單元之光軸的基準平面至捲筒外側面的距離為b(N×M)、使第i號(i為2以上(N×M-1)以下的整數)光學單元的一對反射鏡間的距離為ai、使第i號光學單元之光軸的基準平面至捲筒外側面的距離為bi、使光源部在第2方向上的尺寸為c、使位於第2方向兩端之反射鏡間的距離為d、並使捲筒的直徑為e時，期望滿足下式(4)、(5)及(6)。
a1、a(N×M)、ai>c．．．(4)
a1×b1/2=a(N×M)×b(N×M)/2=ai×bi=k(k為既定的常數)．．．(5)
d≦e．．．(6)
又，期望N×M個光學單元的各射出面，沿著第2方向等間隔配置。
又，N×M個光學單元，期望以使照射目標物隨著該照射目標物之移動，依序接收短波長至長波長之光線的方式，依照各波長群組化配置。根據這種構成，在紫外線硬化樹脂塗佈於照射目標物表面的情況下，可在使該紫外線硬化樹脂表面硬化之後，使其內部硬化。
又，複數的發光元件，係具有略正方形發光面的LED(Light emitting diode)，期望將其以該發光面的兩邊與第1方平行的方式配置。
又，複數的發光元件，係具有略正方形發光面的LED，期望將其以發光面一邊的對角線與第1方向平行的方式配置。根據這樣的構成，使從LED所射出之光線以及從與LED相鄰之LED所射出之光線，在第1方向及第2方向上互相重疊，故可在照射目標物上，得到更均勻的光量分布。
又，m為2以上，在複數的發光元件之中，期望僅以第1既定間隔的1/2的距離，使第2方向上的第v列(v為1以上(m-1)以下的整數)發光元件相對第(v+1)列發光元件在第1方向上錯開的方式進行配置。根據此結構，因為第v列的各線狀光線與第(v+1)列的各線狀光線，其光量變低的部分互相抵消，而可在照射目標物上，得到於第1方向上大致均勻的光量分布。
又，發光元件，期望為至少具有1個以上的LED晶片的構成。
又，N種不同波長的光，期望為含有「對於塗佈在照射目標物表面之紫外線硬化型樹脂具有作用之波長」的光線。
又，一對反射鏡，在從第2方向觀察時，期望分別具有矩形的形狀。
如以上所述，根據本發明之光照射裝置，即便係使射出不同波長的紫外光的光學單元相對捲筒外側面排列成平面狀的結構，亦可對於捲筒射出峰質強度在各波長之間一致的紫外光。
100、200、300、400‧‧‧光照射裝置
101‧‧‧基板
105‧‧‧覆蓋玻璃
110、110A、110B‧‧‧第1LED單元
112、122、132‧‧‧光源部
113、123、133‧‧‧LED元件
113a‧‧‧發光面
113b‧‧‧LED晶片
114a、114b、124a、124b、134a、134b‧‧‧反射鏡
120、120A、120B‧‧‧第2LED單元
130、130A、130B‧‧‧第3LED單元
210、230‧‧‧延長鏡
a‧‧‧區域
a1、a2、a3‧‧‧間隔
PH‧‧‧X軸方向間距
PV‧‧‧Y軸方向間距
AX1~AX3‧‧‧光軸
P1、P2‧‧‧照射目標物
D1‧‧‧大徑捲筒
D2‧‧‧小徑捲筒
R1、R3‧‧‧反射路徑
E1、E2、E3‧‧‧區域
O2‧‧‧中心軸
【圖1】係本發明之第1實施態樣的光照射裝置的前視圖。
【圖2】係本發明之第1實施態樣的光照射裝置的左側視圖。
【圖3】係圖1中A所示之區域的放大圖。
【圖4】係說明從本發明之第1實施態樣的光照射裝置射出之紫外光與捲筒的照射區域之關係的圖。
【圖5】係顯示從本發明之第1實施態樣的光照射裝置所射出之紫外光在捲筒上的強度分布的圖表。
【圖6】係說明從本發明之第1實施態樣的光照射裝置所射出之紫外光與捲筒的照射區域之關係的圖。
【圖7】係顯示從本發明之第1實施態樣的光照射裝置所射出之紫外光在捲筒上的強度分布的圖表。
【圖8】係說明本發明之第2實施態樣的光照射裝置之結構的左側視圖。
【圖9】本發明之第2實施態樣的光照射裝置所射出之紫外光在捲筒上的強度分布的圖表。
【圖10】係說明本發明之第3實施態樣的光照射裝置所具備的第1LED單元、第2LED單元及第3LED單元之結構的圖。
【圖11】係說明本發明之第4實施態樣的光照射裝置所具備的第1LED單元、第2LED單元及第3LED單元之結構的圖。
以下，參照圖式，詳細說明本發明的實施態樣。此外，對於圖中相同或是相當的部分賦予相同的符號，並且不重複其說明。
(第1實施態樣)
圖1為本發明之第1實施態樣的光照射裝置100的前視圖。圖2為本發明之第1實施態樣的光照射裝置100的左側視圖。另外，圖3為圖1中A所示之區域的放大圖。本實施態樣的光照射裝置100，組裝至圖案形成裝置等(以下稱「本體裝置」)，其係使塗佈於照射目標物之表面的紫外線硬化樹脂硬化的裝置，如後所述，對於沿著配置於本體裝置的捲筒外側面之一部分密合移動的片狀照射目標物照射光線。配置於本體裝置的捲筒，係以可因應期望的微細構造圖案及所使用的薄膜特性、規格進行更換的方式所構成，如圖2所示，本實施態樣的光照射裝置100，對於沿著大徑捲筒D1密合移動的片狀照射目標物P1及沿著小徑捲筒D2密合移動的片狀 照射目標物P2照射光線。此外，如圖2所示，本實施態樣中，照射目標物P1、P2，係在大徑捲筒D1、D2上以一定速度在箭號方向(亦即逆時針旋轉)上移動者，以下進行說明。另外，本說明書中，將大徑捲筒D1及小徑捲筒D2統稱為「捲筒」，將照射目標物P1及P2統稱為「照射目標物」。
如圖1~3所示，光照射裝置100具備：矩形狀的基板101，其沿著大徑捲筒D1的中心軸(圖中未顯示)及小徑捲筒D2的中心軸O2平行延伸；第1LED(Light emitting diode)單元110、第2LED單元120及第3LED單元130，其在該基板101上等間隔地並排配置，分別射出線狀的紫外光；及覆蓋玻璃105等。此外，實際的光照射裝置100中，基板101、第1LED單元110、第2LED單元120、第3LED單元130及覆蓋玻璃105收納並固定於殼體(圖中未顯示)中，但在圖1~3中，為了使圖式容易解讀，故省略殼體。此外，本說明書中，將光照射裝置100之基板101的長邊方向定義為X軸方向(第1方向)，短邊方向定義為Y軸方向(第2方向)，與X軸及Y軸垂直的方向(亦即，與基板101表面垂直的方向)定義為Z軸方向(第3方向)以進行說明。
又，本實施態樣的第1LED單元110、第2LED單元120及第3LED單元130(以下亦具有將該等單元統稱為「LED單元」的情況)中，除了各LED單元所射出之紫外光的波長不同，以及各LED單元所具有之一對反射鏡(於後段中詳細敘述)之間隔不同以外，其他結構皆為相同，故以下主要說明第1LED單元110的結構以作為代表。
第1LED單元110，具備：光源部112，其配置在X軸方向上延伸的基板101上；一對反射鏡114a、114b，其以從Y軸方向夾住光源部112的方式配置，並在X軸方向上延伸。
如圖1及圖3所示，本實施態樣的第1LED單元110的光源部112，其係由6.8mm(X軸方向長度)×6.8mm(Y軸方向長度)之矩形的複數LED元件(發光元件)113所構成，該LED元件113在中心部具有正方形的發光面113a。本實施態樣的LED元件113，以其兩邊與X軸方向平行的配向，在基板101上配置為2列(Y軸方向)×85個(X軸方向)的2維正方格狀，並與基板101電性連接。基板101為玻璃環氧樹脂、陶瓷等所構成的電子電路基板，與圖中未顯示的LED驅動電路連接，使得來自LED驅動電路的驅動電流透過基板101被供給至各LED元件113。
如圖3所示，本實施態樣的LED元件113，其內部具備配置成正方格狀的4個LED晶片113b。若將驅動電流供給至各LED元件113，則各LED晶片113b以與驅動電流對應的光量發光，進而從各LED元件113射出既定光量的紫外光。此外，本實施態樣中，各LED晶片113b，係以接受來自LED驅動電路之驅動電流的供給，而射出波長365nm之紫外光的方式所構成。亦即，以既定的光量從各LED元件113射出波長365nm的紫外光。
此外，係以使本實施態樣的各LED元件113射光量大致相同之紫外光的方式，調整供給至各LED元件113的驅動電流；第1LED單元110所射出的線狀紫外光，在X軸方向上具有大致均勻的光量分布。另外，如圖3 所示，本實施態樣中，各第1LED單元110在X軸方向上的間距PH，及在Y軸方向上的間距PV皆設定為約8mm。
一對反射鏡114a、114b，分別配置於X-Z平面上，其係引導從光源部112射出之紫外光的鏡子，其以反射面朝向內側(即反射面相對)，而從Y軸方向夾住光源部112的方式，隔著間隔a1平行配置(圖3)。另外，如圖2所示，再從X軸方向觀察時，一對反射鏡114a、114b的基端側係以接近光源部112的方式配置，而前端側係以接近覆蓋玻璃105的方式配置，從光源部112所射出之紫外光係由一對反射鏡114a、114b所引導，從覆蓋玻璃105(亦即，從第1LED單元110)，射出在Z軸方向上具有既定發散角且與X軸平行的線狀紫外光。此外，如上所述，本實施態樣的一對反射鏡114a、114b，因為與X軸方向平行配置，故從覆蓋玻璃105所射出之紫外光在Z軸方向上的發散角，約略等於從LED元件113所射出之紫外光在Z軸方向上的發散角，本實施態樣中，係以Z軸方向為0°，形成射出發散角約為±50°之紫外光的態樣。此外，圖2的AX1，係表示第1LED單元110的光軸(亦即，從第1LED單元110所射出之紫外光的光路中心)。另外，詳細內容雖於後段中敘述，第1LED單元110的一對反射鏡114a、114b之間隔a1，被設定為比第2LED單元120之一對反射鏡124a、124b之間隔a2更為狹窄(圖3)。
如上所述，第2LED單元120，與第1LED單元110為相同的結構，其在Y軸方向上，從第1LED單元110隔著既定距離配置。第2LED單元120，具備：光源部122，配置於基板101上；一對反射鏡124a、124b，以從Y軸方向夾住光源部122的方式配置，並在X軸方向上延長。光源部 122，亦與光源部112相同，係由2列(Y軸方向)×85個(X軸方向)的LED元件123所構成，但其係以從各LED元件123(亦即，光源部122)射出波長405nm之紫外光的方式構成，此點與光源部112不同。亦即，光源部122所射出之波長405nm的紫外光，係由一對反射鏡124a、124b所引導，而從覆蓋玻璃105(亦即，從第2LED單元120)，射出在Z軸方向上具有約±50°之發散角且與X軸平行的線狀紫外光。此外，圖2的AX2係表示第2LED單元120的光軸(亦即，從第2LED單元120所射出之紫外光的光路中心)。另外，詳細內容雖於後段中敘述，但第2LED單元120的一對反射鏡124a、124b之間隔a2，係設定為比第1LED單元110的一對反射鏡114a、114b之間隔a1，以及第3LED單元130的一對反射鏡134a、134b之間隔a3更寬(圖3)。另外，一般而言，紫外光雖係指波長360~400nm的光線，但本說明書中，波長405nm的光，亦包含於紫外光之中。
又，第3LED單元130，亦為與第1LED單元110及第2LED單元120相同的結構，其係在Y軸方向上，從第2LED單元120隔著既定距離配置。第3LED單元130，具備：光源部132，配置於基板101上；及一對反射鏡134a、134b，係以從Y軸方向夾住光源部132的方式配置，並在X軸方向上延長。光源部132，亦與光源部112、122相同，係由2列(Y軸方向)×85個(X軸方向)的LED元件133所構成，但係以從各LED元件133(亦即，光源部132)射出波長為385nm之紫外光的方式所構成，此點與光源部112、122不同。亦即，光源部132所射出之波長385nm的紫外光，被一對反射鏡134a、134b所引導，而從覆蓋玻璃105(亦即，從第3LED單元130)，射出在Z軸方向上具有約±50°的發散角且與X軸平行的線狀紫外光。此外，圖2的AX3表示第3LED單元130的光軸(亦即，從 第3LED單元130射出之紫外光的光路中心)。另外，詳細內容雖於後段中敘述，第3LED單元130的一對反射鏡134a、134b之間隔a3，係以比第2LED單元120的一對反射鏡124a、124b之間隔a2更窄，且約略等於第1LED單元110的一對反射鏡114a、114b之間隔a1的方式設定(圖3)。
如此，本實施態樣的第1LED單元110、第2LED單元120及第3LED單元130，係以沿著Y軸方向等間隔配置、並且分別沿著Z軸方向平行射出不同波長之紫外光的方式所構成。因此，可對於配置在第1LED單元110、第2LED單元120及第3LED單元130之光路上、沿著捲筒外側面密合移動的片狀照射目標物，依序照射不同波長的紫外光。因此，可使塗佈於照射目標物表面的紫外線硬化樹脂，從其表面至內部確實地硬化。
又，本實施態樣的第1LED單元110、第2LED單元120及第3LED單元130的各射出面，係沿著X-Y平面(亦即，覆蓋玻璃105)平面狀地配置。因此，可對應外徑不同的各種捲筒，另外可充分確保更換捲筒時的作業空間。
然而，若如同本實施態樣，使第1LED單元110、第2LED單元120及第3LED單元130沿著Y軸方向平面狀地配置，從各LED單元至照射目標物的距離並非固定，故即便使從各LED單元所射出之紫外光的強度一致，亦具有對照射目標物射入依照各波長而峰值強度不同的紫外光的情形。於是，本實施態樣中，根據各LED單元與照射目標物(亦即，捲筒)之間的距離，調整各LED單元的一對反射鏡之間隔，藉此解決此一問題。
圖4係用以說明此問題的圖式，其係在將第1LED單元110、第2LED單元120及第3LED單元130的一對反射鏡設定為相同間隔的情況下，光照射裝置100的左側視圖。此外，圖4中，為了方便說明，省略基板101及照射目標物P1。另外，圖4中，係示意地將被第1LED單元110照射的大徑捲筒D1之外側面區域表示為區域E1(粗實線所示的部分)、將被第2LED單元120照射的大徑捲筒D1之外側面區域顯示為區域E2(粗虛線所示的部分)、將被第3LED單元130照射的大徑捲筒D1之外側面區域顯示為區域E3(粗實線所示的部分)。
圖4中，第1LED單元110、第2LED單元120及第3LED單元130，在Y軸方向上，以32mm之間隔配置。另外，一對反射鏡114a與114b、124a與124b、134a與134b之間隔分別設定為23mm。另外，大徑捲筒D1的直徑φ為400mm；第2LED單元120，係以其光軸AX2與大徑捲筒D1之外側面的法線約略一致的方式配置。另外，從第2LED單元120的光軸AX2的射出面(亦即，覆蓋玻璃105的前端面)至大徑捲筒D1之外側面的距離(以下，將從各光軸AX1、AX2、AX3的覆蓋玻璃105的前端面至大徑捲筒D1之外側面的距離稱為「行進距離WD」)，係設定為5.0mm，第1LED單元110及第3LED單元130的行進距離WD為7.6mm。
圖4中，如點線的箭號所示，第1LED單元110、第2LED單元120及第3LED單元130，若分別朝向大徑捲筒D1之外側面射出在Z軸方向上具有約±50°之發散角的紫外光，則大徑捲筒D1之外側面的區域E1被第1LED單元110所照射，大徑捲筒D1之外側面的區域E2被第2LED單元120所照射，大徑捲筒D1之外側面的區域E3被第3LED單元130所照 射，但如上所述，因為第2LED單元120的行進距離WD最短，故區域E2在圓周方向上的長度變得比區域E1及區域E3在圓周方向上的長度更短。因此，在從第1LED單元110、第2LED單元120及第3LED單元130射出強度相同的紫外光的情況中，每單位面積之紫外光的強度，在區域E2中變得最高，另外，峰值強度亦在區域E2中變得最高。亦即，第2LED單元120所射出之波長405nm的紫外光的峰值強度，變得比第1LED單元110所射出之波長365nm的紫外光的峰值強度，及第3LED單元130所射出之波長385nm的紫外光的峰值強度更高。
圖5係藉由模擬圖4之大徑捲筒D1上的紫外光強度分布而求得的結果。圖5(a)，係各波長的紫外光在X軸方向上的強度分布，横軸係表示大徑捲筒D1上的X軸方向的位置(使長度600mm之大徑捲筒D1的中心位置為0mm時的位置)，縱軸係顯示紫外光的強度(mW/cm2)。另外，圖5(b)係在大徑捲筒D1的圓周方向上的強度分布，横軸係顯示大徑捲筒D1之外側面的圓周方向的位置(使第2LED單元120的光軸AX2與大徑捲筒D1之外側面交接之位置為0mm時的位置)，縱軸係表示紫外光的強度(mW/cm2)。如圖5(a)及(b)所示，可得知從第2LED單元120所射出之波長405nm的紫外光的峰值強度，變得比從第1LED單元110所射出之波長365nm的紫外光的峰值強度，及從第3LED單元130所射出之波長385nm的紫外光的峰值強度更高。
因此，在將依照各波長而峰值強度不同的紫外光照射至捲筒，以使其入射至與捲筒密合配置之照射目標物(圖4中未顯示)表面的紫外線硬化樹脂的情況中，樹脂的硬化受到峰值強度低的紫外光影響，無法精準地轉印 微細構造圖案，而發生轉印品質及製品的可靠度明顯降低的問題。另外，藉由配合峰值強度低的紫外光使轉印速度變慢而使積分光量增加，雖可提升轉印品質，但此方法具有生產效率明顯降低這樣的問題。於是，本實施態樣為了解決此問題，根據各LED單元與照射目標物(即捲筒)之間的距離，調整各LED單元的一對反射鏡之間的距離。具體而言，為了使區域E1及區域E3之每單位面積的紫外光強度，與區域E2之每單位面積的紫外光強度大致相等，以使一對反射鏡114a、114b之間隔a1、及一對反射鏡134a、134b之間隔a3變窄，並以使區域E1及區域E3在圓周方向上的長度大致等於區域E2在圓周方向上之長度的方式進行調整。
此處，討論使區域E1及區域E3在圓周方向上的長度等於區域E2在圓周方向上的長度的條件，首先，必須使從各LED單元的光源部所射出之紫外光全部進入一對反射鏡之間，故分別使第1LED單元110、第2LED單元120、第3LED單元130的各一對反射鏡之間隔為a1、a2、a3，光源部在Y方向上的尺寸(亦即，從第1列的LED元件上端至第2列的LED元件下端的距離)為c，則可導出以下的條件式(7)。
a1、a2、a3>c．．．(7)
又，因為從各LED單元，與Z軸方向平行地射出相同發散角的紫外光，故各區域E1~E3在圓周方向上的長度，與各LED單元的行進距離WD成正比，且與各一對反射鏡之間隔(亦即、a1~a3)成正比。因此，若分別使第1LED單元110、第2LED單元120、第3LED單元130的行進距離 WD為b1、b2、b3，則可導出以下的條件式(8)。
a1×b1=a2×b2=a3×b3=k(k為既定常數)．．．(8)
又，因為必須使從各LED單元所射出之紫外光全部入射捲筒，故若使位於Y軸方向兩端的反射鏡間的距離(亦即，第1LED單元110的反射鏡114a與第3LED單元130的反射鏡134b之間的距離)為d，而使捲筒的直徑為e，則可導出以下的條件式(9)。
d<e．．．(9)
亦即，在滿足條件式(7)、(8)及(9)時，從第1LED單元110所射出之波長365nm的紫外光的峰值強度，及從第3LED單元130所射出之波長385nm的紫外光的峰值強度，略等於從第2LED單元120所射出之波長405nm的紫外光的峰值強度。
圖6係將圖4的結構中，第1LED單元110的一對反射鏡114a、114b之間隔a1，及第3LED單元130的一對反射鏡134a、134b之間隔a3調整後，光照射裝置100的左側視圖，第1LED單元110的一對反射鏡114a、114b之間隔a1，及第3LED單元130的一對反射鏡134a、134b之間隔a3，係根據上述條件式(7)、(8)及(9)，而設定為15mm，此點與圖4的結構不同。亦即，圖6的結構中，為了使區域E1及區域E3的每單位面積的紫外光強度，略等於區域E2之每單位面積的紫外光強度(亦即，使區域E1 及區域E3在圓周方向上之長度略等於區域E2在圓周方向上之長度)，調整一對反射鏡114a、114b之間隔a1及一對反射鏡134a、134b之間隔a3。
圖7係模擬圖6的大徑捲筒D1上的紫外光強度分布所求得的結果。圖7(a)係各波長的紫外光在X軸方向上的強度分布，横軸係表示大徑捲筒D1上的X軸方向的位置(在使長度為600mm之大徑捲筒D1的中心位置為0mm時的位置)，縱軸係表示紫外光的強度(mW/cm2)。另外，圖7(b)係大徑捲筒D1在圓周方向上的強度分布，横軸係表示大徑捲筒D1之外側面的圓周方向的位置(在使第2LED單元120的光軸AX2與大徑捲筒D1之外側面交接之位置為0mm時的位置)，縱軸係表示紫外光的強度(mW/cm2)。如圖7(a)及(b)所示，可得知從本實施態樣的第1LED單元110所射出之波長365nm的紫外光的峰值強度，及從第3LED單元130所射出之波長385nm的紫外光的峰值強度，變得與從第2LED單元120所射出之波長405nm的紫外光的峰值強度大致相同。
如此，本實施態樣的光照射裝置100，係以下述方式所構成：藉由將第1LED單元110、第2LED單元120及第3LED單元130沿著Y軸方向平面狀地配置，且調整第1LED單元110的一對反射鏡114a、114b之間隔a1，及第3LED單元130的一對反射鏡134a、134b之間隔a3，而使從各LED單元所射出之紫外光的峰值強度在照射目標物上大致相等。因此，若將本實施態樣的光照射裝置100應用於圖案形成裝置，並不會導致生產效率降低，而可精準地轉印微細構造圖案。
以上雖說明本實施態樣，但本發明並非係限定於上述構成者，可在本 發明之技術思想的範圍內進行各種變化。
本實施態樣中，第1LED單元110的光源部112、第2LED單元120的光源部122及第3LED單元130的光源部132雖分別具備2列(Y軸方向)×85個(X軸方向)的LED元件113、123、133，但並不限定於這樣的結構，只要是沿著X軸方向隔著既定間隔並排n個(n為2以上的整數)，沿著Y方向隔著既定間隔並排m列(m為1以上的整數)的結構即可。
本實施態樣中，雖係由3個不同波長的紫外照射光線構成，但並不僅限於此種結構，本發明亦可應用於照射N種(N為2以上的整數)不同波長之紫外光線的光照射裝置100。另外，本實施態樣中，雖係從1個第1LED單元110射出波長365nm的紫外光、從1個第2LED單元120射出波長405nm的紫外光、從1個第3LED單元130射出波長385nm的紫外光的結構，但並不限定於此結構，亦可為具有複數個射出各波長之紫外光的LED單元。亦即，本實施態樣的光照射裝置100，可為具備射出N種(N為2以上的整數)不同波長之光線的N×M個(M為1以上的整數)LED單元的構成。另外，此情況中，N×M個LED單元係沿著Y軸方向並排，只要滿足上述條件式(7)、(8)及(9)，會產生與本實施態樣相同的效果，則並未特別需要等間隔並排。亦即，上述條件式(7)，(8)及(9)，可如同下述的條件式(10)、(11)及(12)一般化。
ai>c．．．(10)
ai×bi=k(k為既定常數)．．．(11)
d<e．．．(12)
此處、ai為N×M個光學單元之中，將行進距離WD最長的光學單元(亦即，位於Y軸方向兩端的光學單元的任一方)作為第1號光學單元，沿著Y軸方向依序定義第1號至第N×M號光學單元時，第i號(i為1以上N×M以下的整數)LED單元的一對反射鏡之間隔。另外、bi為第i號LED單元的行進距離WD(亦即，LED單元的光軸的射出面至捲筒外側面的距離)，c為光源部在Y軸方向上的尺寸。另外，d為位於Y軸方向兩端之反射鏡間的距離，e為捲筒的直徑。
又，本實施態樣中，雖係沿著Y軸方向依序配置第1LED單元110、第2LED單元120及第3LED單元130，且隨著照射目標物移動依序對其照射波長365nm的紫外光、波長405nm的紫外光、波長385nm的紫外光的構成，但只要可使塗佈於照射目標物上的紫外線硬化樹脂確實硬化，則該順序並未特別限定。此外，由於搭載本實施態樣之光照射裝置100的圖案形成裝置，必須先使紫外線硬化樹脂的表面硬化之後，再使其內部硬化，較能夠形成高精度的圖案，故期望以依序對照射目標物照射短波長至長波長之光線的方式，配置各LED單元；在使用上述N×M個LED單元的情況下，期望以依照各波長(即N種)進行群組化的方式進行配置。
又，本實施態樣的LED元件113雖具備配置為正方形格子狀的4個LED晶片113b，但並不限定於此結構，只要具備至少1個以上的LED晶片即可。
(第2實施態樣)
圖8係說明本發明之第2實施態樣的光照射裝置200的結構的左側視 圖。本實施態樣的光照射裝置200，係對於小徑捲筒D2照射紫外光的裝置，其具備從覆蓋玻璃105往小徑捲筒D2之外側面延伸的一對延長鏡210、230，且將第2LED單元120的一對反射鏡124a、124b之間隔設定為25mm，此點與第1實施態樣的光照射裝置100不同。本實施態樣中，小徑捲筒D2的直徑φ為100mm，第2LED單元120的行進距離WD為5.0mm，第1LED單元110及第3LED單元130的行進距離WD為16.6mm。此外，圖8中，與圖6相同，為了方便說明，省略基板101及照射目標物P1。另外，圖8中，亦與圖4相同，示意地將被第1LED單元110照射的小徑捲筒D2之外側面的區域表示為區域E1(粗實線所示的部分)、將被第2LED單元120照射的小徑捲筒D2之外側面的區域表示為區域E2(粗虛線所示的部分)、將被第3LED單元130照射的小徑捲筒D2之外側面的區域表示為區域E3(粗實線所示的部分)。
第1LED單元110、第2LED單元120及第3LED單元130所射出之紫外光，因為具有既定的發散角，故若如同本實施態樣，小徑捲筒D2的直徑變細，使得第2LED單元120的行進距離WD2與第1LED單元110及第3LED單元130的行進距離WD1、WD3的差值變大，導致從第1LED單元110及第3LED單元130所射出之紫外光的一部分，照射至小徑捲筒D2的外側。於是，本實施態樣中，以使在Y軸方向上最外側的第1LED單元110的反射鏡114a與第3LED單元130的反射鏡134b夾住覆蓋玻璃105並且各自延長的方式，設置一對延長鏡210、230。
延長鏡210，係在X軸方向延長的矩形反射鏡，其反射面朝向第1LED單元110的光軸AX1側，且與反射鏡114a配置於同一平面上。從X 軸方向觀察時，延長鏡210的基端部，以接近覆蓋玻璃105的方式配置，前端部則配置於小徑捲筒D2之外側面附近。因此，如上所述，從第1LED單元110所射出之紫外光，雖沿著Z軸方向以既定的發散角展開，但欲往反射鏡114a側(亦即，圖8的上側)展開的紫外光，因為延長鏡210而反射至小徑捲筒D2之外側面(圖8：反射路徑R1)，而照射區域E1。因此，來自第1LED單元110的直接光線與來自延長鏡210的反射光線射入區域E1。此處，從第1LED單元110所射出之紫外光，因為一對反射鏡114a、114b而混合，進而成為均勻的強度，使得來自第1LED單元110的直接光線與來自延長鏡210的反射光線為相同強度。因此，若來自第1LED單元110的直接光線與來自延長鏡210的反射光線入射區域E1，則該峰值強度成為大約2倍。亦即，入射本實施態樣之區域E1的紫外光的峰值強度，大約成為入射第1實施態樣的區域E1之紫外光的峰值強度的2倍。
延長鏡230，亦與反射鏡210相同，係在X軸方向上延長的矩形反射鏡，其反射面朝向第3LED單元130的光軸AX3側，且配置在與反射鏡134b相同的平面上。從X軸方向觀察時，延長鏡230的基端部係以接近覆蓋玻璃105的方式配置，而前端部則配置於小徑捲筒D2之外側面附近。因此，如上所述，從第3LED單元130所射出之紫外光，雖沿著Z軸方向以既定的發散角展開，但欲展開至反射鏡134b側(亦即，圖8的下側)的紫外光，因為延長鏡230而被反射至小徑捲筒D2的外側面(圖8：反射路徑R3)，進而照射區域E3。如此，來自第3LED單元130的直接光線與來自延長鏡230的反射光線射入區域E3。因此，與上述的區域E1相同，射入本實施態樣之區域E3的紫外光的峰值強度，大約成為射入第1實施態樣之區域E3的紫外光之峰值強度的2倍。
如此，從本實施態樣的第1LED單元110及第3LED單元130所射出之紫外光，在小徑捲筒D2之外側面上的峰值強度，相較於第1實施態樣，大約成為2倍。因此，本實施態樣中，將上述的條件式(7)及(8)變更為以下的條件式(13)及(14)，藉由根據條件式(13)及(14)，設定第2LED單元120的一對反射鏡124a、124b之間隔a2，而使得從各LED單元所射出之紫外光的峰值強度大致相等。
a1、a2、a3>c．．．(13)
a1×b1/2=a2×b2=a3×b3/2=k(k為既定的常數)．．．(14)
又，根據本實施態樣的光照射裝置200，可藉由一對延長鏡210、230，使本來照射至小徑捲筒D2外側的紫外光，返回小徑捲筒D2側，故捲筒徑最多可縮小至一對延長鏡210、230之間隔距離。亦即，若使一對延長鏡210、230之間隔(亦即，第1LED單元110的反射鏡114a與第3LED單元130的反射鏡134b之間的距離)為d，並使捲筒的直徑為e，則可導出以下的條件式(15)。
d≦e．．．(15)
如此，本實施態樣中，在滿足條件式(13)、(14)及(15)時，從第1LED單元110所射出之波長365nm的紫外光的峰值強度、從第2LED單元120所射出之波長405nm的紫外光的峰值強度以及從第3LED單元130所射出 之波長385nm的紫外光的峰值強度分別變得大致相等。
圖9係模擬圖8之小徑捲筒D2上的紫外光的強度分布而求得的結果。圖9(a)係各波長的紫外光在X軸方向上的強度分布，横軸係表示小徑捲筒D2上的X軸方向的位置(在使長度為600mm的小徑捲筒D2的中心位置為0mm時的位置)，縱軸係表示紫外光的強度(mW/cm2)。另外，圖9(b)係小徑捲筒D2在圓周方向上的強度分布，横軸係表示小徑捲筒D2之外側面在圓周方向上的位置(使第2LED單元120的光軸AX2與小徑捲筒D2之外側面交接之位置為0mm時的位置)，縱軸係表示紫外光的強度(mW/cm2)。如圖9(a)及(b)所示，可得知與第1實施態樣相同，本實施態樣的第1LED單元110所射出之波長365nm的紫外光的峰值強度、第2LED單元120所射出之波長405nm的紫外光的峰值強度以及第3LED單元130所射出之波長385nm的紫外光的峰值強度，分別大致相同。
如此，本實施態樣的光照射裝置200中，亦與第1實施態樣相同，係以各LED單元所射出之紫外光的峰值強度在照射目標物上變得大致相等的方式所構成。因此，若將本實施態樣的光照射裝置200應用於圖案形成裝置，則可在不降低生產效率的情況下，精準地轉印微細構造圖案。
此外，本實施態樣的光照射裝置200，具備一對延長鏡210、230，且第2LED單元120的一對反射鏡124a、124b之間隔不同，此點與第1實施態樣的光照射裝置100不同。因此，只要係以可裝卸的方式構成一對延長鏡210、230，並以可調整第2LED單元120之一對反射鏡124a、124b的方式構成，則可因應所使用之捲筒的外徑，切換本實施態樣的光照射裝置 200與第1實施態樣的光照射裝置100以進行使用。
此外，本實施態樣的光照射裝置200，與第1實施態樣的光照射裝置100相同，亦可為具備射出N種(N為2以上的整數)不同波長之光線的N×M個(M為1以上的整數)的LED單元的構成。因此，若仿效第1實施態樣，將上述條件式(13)、(14)及(15)一般化，則如以下所述。
a1、a(N×M)、ai>c．．．(16)
a1×b1/2=a(N×M)×b(N×M)/2=ai×bi=k(k為既定的常數)．．．(17)
d≦e．．．(18)
此處，a1為N×M個光學單元之中，將行進距離WD最長的光學單元作為第1號光學單元，沿著Y軸方向依序定義第1號至第N×M號光學單元時，第1號LED單元的一對反射鏡之間的間隔。另外、b1為第1號LED單元的行進距離WD。另外、a(N×M)為第N×M號LED單元的一對反射鏡之間的間隔、b(N×M)為第N×M號LED單元的行進距離WD。另外、ai為第i號(i為2以上(N×M-1)以下的整數)的LED單元的一對反射鏡之間的間隔、bi為第i號LED單元的行進距離WD。另外，d為位於Y軸方向兩端之反射鏡間的距離，e為捲筒的直徑。
(第3實施態樣)
圖10係說明本發明之第3實施態樣的光照射裝置300所具備的第1LED單元110A、第2LED單元120A及第3LED單元130A的結構的圖。本實施態樣的第1LED單元110A、第2LED單元120A以及第3LED單元130A中，各LED單元上所配置的LED元件113、123、133係配置為格紋 狀(亦即，僅以間距PH之1/2的距離，使第1列的85個LED元件相對第2列的85個LED元件偏離而互相錯開)，此點與第1實施態樣的光照射裝置100不同。
若將LED元件113、123、133如此配置，則第1LED單元110A、第2LED單元120A以及第3LED單元130A所射出之2列的線狀的紫外光，分別在X軸方向上，僅以LED元件113、123、133之間距PH的1/2的距離，相對地偏離。因此，因為互相抵消了各線狀之紫外光之中光量分布變低的部分，故可在照射目標物上，得到在X軸方向大致均勻的光量分布。
(第4實施態樣)
圖11係說明本發明之第4實施態樣的光照射裝置400所具備之第1LED單元110B、第2LED單元120B以及第3LED單元130B的結構的圖。本實施態樣的第1LED單元110B、第2LED單元120B以及第3LED單元130B中，各LED單元上所配置的LED元件113、123、133，係以其一邊的對角線與X軸方向平行的方式配置，此點與第1實施態樣的光照射裝置100不同。
若將LED元件113、123、133如此配置，則各LED元件所射出之紫外光以及從與各LED元件鄰接之LED元件所射出的紫外光，在X軸方向及Y軸方向上互相重疊，故可在照射目標物上得到更均勻的光量分布。
此外，本次所揭示的實施態樣，所有的點皆為例示，不應被認為係限制本發明者。本發明之範圍，並非僅為上述之說明，更包含在申請專利範圍所表示的範圍內，以及與申請專利範圍均等的意義及範圍內的所有變化。
100‧‧‧光照射裝置
105‧‧‧覆蓋玻璃
110‧‧‧第1LED單元
113、123、133‧‧‧LED元件
114a、114b、124a、124b、134a、134b‧‧‧反射鏡
120‧‧‧第2LED單元
130‧‧‧第3LED單元
AX1、AX2、AX3‧‧‧光軸
D1‧‧‧大徑捲筒
E1、E2、E3‧‧‧區域

Claims (22)

  1. 一種光照射裝置，係對於沿著圓柱狀之一捲筒外側面的一部分密合移動之片狀照射目標物照射光線之光照射裝置，該光照射裝置包含：複數光學單元，包含：以複數發光元件所構成的一光源部，該些發光元件係在一基板上以沿著與該捲筒之中心軸平行的一第1方向隔著一第1既定間隔並排n個(n為2以上的整數)，沿著與該第1方向垂直的一第2方向隔著一第2既定間隔並排m列(m為1以上的整數)，且以使一光軸方向與和該基板面垂直之第3方向一致的方式配置；及一對反射鏡，以從該第2方向夾住該些發光元件之光軸的方式，在該第1方向及該第3方向上延伸，並以反射面相對的方式配置，且來自該光源部的光線係由該一對反射鏡所引導，以對於該捲筒外側面的一部分射出既定發散角及光量的光線；其中，該些光學單元係由射出N種(N為2以上的整數)不同波長之光線的N×M個(M為1以上的整數)光學單元所構成；該N×M個光學單元的各射出面係配置於以該第1方向與該第2方向所定義的既定基準平面上；各該光學單元的該一對反射鏡之間的距離，係根據從該光軸的該基準平面至該捲筒外側面的距離所設定，以使從各該光學單元所射出之光線的峰值強度在該照射目標物上都大致相等。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之光照射裝置，其中，在該N×M個光學單元之中，在將該光軸的該基準平面至該捲筒外側面的距離最長的光學單元作為一第1號光學單元，且沿著該第2方向依序定義第1號至第N×M號光學單元時，使第i號(i為1以上N×M以下的整數)的光學單元的該一對反射鏡間的距離為ai、使該光軸的該基準平面至該捲筒外側面的距離為bi、使該光源部的該第2方向的尺寸為c、使位於該第2方向的兩端之反射鏡之間的距離為d且使該捲筒的直徑為e時，滿足下式(1)、(2)及(3)：ai>c．．．(1) ai×bi=k(k為既定常數)．．．(2)d<e．．．(3)
  3. 如申請專利範圍第1項所述之光照射裝置，其中更包含： 一對延長鏡，在該N×M個光學單元之中，將從該光軸的該基準平面至該捲筒外側面的距離最長的光學單元作為一第1號光學單元，而沿著該第2方向依序從第1號開始定義至第N×M號光學單元時，其從位於該第2方向兩端的各反射鏡之前端部大致平行地延伸至該捲筒外側面附近，並分別反射該第1號及第N×M號光學單元所射出之光線；在使該第1號光學單元的該一對反射鏡之間的距離為a1，使該第1號光學單元的該光軸的該基準平面至該捲筒外側面的距離為b1，使該第N×M號光學單元的該一對反射鏡間的距離為a(N×M)，使該第N×M號光學單元的該光軸的該基準平面至該捲筒外側面的距離為b(N×M)，使第i號(i為2以上(N×M-1)以下的整數)的光學單元的該一對反射鏡間的距離為ai，使該第i號光學單元的該光軸的該基準平面至該捲筒外側面的距離為bi，使該光源部的該第2方向的尺寸為c，使位於該第2方向兩端的反射鏡間的距離為d，並使該捲筒的直徑為e時，滿足下式(4)、(5)及(6)：a1、a(N×M)、ai>c．．．(4) a1×b1/2=a(N×M)×b(N×M)/2=ai×bi=k(k為既定常數)．．．(5) d≦e．．．(6)
  4. 如申請專利範圍第1至3項中任一項所述之光照射裝置，其中，該N×M個光學單元的各射出面，沿著該第2方向等間隔配置。
  5. 如申請專利範圍第1至3項中任一項所述之光照射裝置，其中，該N×M個光學單元，係以使該照射目標物隨著該照射目標物的移動依序接受短波長至長波長之光線照射的方式，依照各波長群組化配置。
  6. 如申請專利範圍第4項所述之光照射裝置，其中，該N×M個光學單元，係以使該照射目標物隨著該照射目標物的移動依序接受短波長至長波長之光線照射的方式，依照各波長群組化配置。
  7. 如申請專利範圍第1至3項中任一項所述之光照射裝置，其中，該些發光元件係具有實質上為正方形之發光面的LED(Light emitting diode)，其係以該發光面的兩邊與該第1方向平行的方式配置。
  8. 如申請專利範圍第4項所述之光照射裝置，其中，該些發光元件係具有實質上為正方形之發光面的LED(Light emitting diode)，其係以該發光面的兩邊與該第1方向平行的方式配置。
  9. 如申請專利範圍第5項所述之光照射裝置，其中，該些發光元件係具有實質上為正方形之發光面的LED(Light emitting diode)，其係以該發光面的兩邊與該第1方向平行的方式配置。
  10. 如申請專利範圍第6項所述之光照射裝置，其中，該些發光元件係具有實質上為正方形之發光面的LED(Light emitting diode)，其係以該發光面的兩邊與該第1方向平行的方式配置。
  11. 如申請專利範圍第1至3項中任一項所述之光照射裝置，其中，該些發光元件，係具有實質上為正方形之發光面的LED，其係以該發光面一邊的對角線與該第1方向平行的方式配置。
  12. 如申請專利範圍第4項所述之光照射裝置，其中，該些發光元件，係具有實質上為正方形之發光面的LED，其係以該發光面一邊的對角線與該第1方向平行的方式配置。
  13. 如申請專利範圍第5項所述之光照射裝置，其中，該些發光元件，係具有實質上為正方形之發光面的LED，其係以該發光面一邊的對角線與該第1方向平行的方式配置。
  14. 如申請專利範圍第6項所述之光照射裝置，其中，該些發光元件，係具有實質上為正方形之發光面的LED，其係以該發光面一邊的對角線與該第1方向平行的方式配置。
  15. 如申請專利範圍第7項所述之光照射裝置，其中，該些發光元件，係具有實質上為正方形之發光面的LED，其係以該發光面一邊的對角線與該第1方向平行的方式配置。
  16. 如申請專利範圍第8項所述之光照射裝置，其中，該些發光元件，係具有實質上為正方形之發光面的LED，其係以該發光面一邊的對角線與該第1方向平行的方式配置。
  17. 如申請專利範圍第9項所述之光照射裝置，其中，該些發光元件，係具有實質上為正方形之發光面的LED，其係以該發光面一邊的對角線與該第1方向平行的方式配置。
  18. 如申請專利範圍第10項所述之光照射裝置，其中，該些發光元件，係具有實質上為正方形之發光面的LED，其係以該發光面一邊的對角線與該第1方向平行的方式配置。
  19. 如申請專利範圍第1至3項中任一項所述之光照射裝置，其中，該m為2以上；該些發光元件之中，僅以該第1既定間隔的1/2的距離，使該第2方向的第v列(v為1以上(m-1)以下的整數)的發光元件相對第(v+1)列的發光元件在該第1方向上錯開配置。
  20. 如申請專利範圍第1至3項中任一項所述之光照射裝置，其中，該發光元件具有至少1個以上的LED晶片。
  21. 如申請專利範圍第1至3項中任一項所述之光照射裝置，其中，該N種不同波長的光線，係包含對塗佈在該照射目標物表面之紫外線硬化型樹脂具有作用之波長的光線。
  22. 如申請專利範圍第1至3項中任一項所述之光照射裝置，其中，該一對反射鏡，在從該第2方向觀察時，分別具有矩形的形狀。
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