TWI589375B - 金屬粉末製造用電漿裝置及金屬粉末的製造方法 - Google Patents

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前川雅之
清水史幸
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Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107745120B (zh) 2014-06-20 2019-08-20 昭荣化学工业株式会社 碳被覆金属粉末、导电性糊剂及层叠电子部件、以及碳被覆金属粉末的制造方法
KR101699879B1 (ko) * 2015-08-13 2017-01-25 서울대학교산학협력단 금속 미세입자의 형상 제어 방법
CN106735279B (zh) * 2016-11-30 2020-08-28 江永斌 循环冷却连续量产高纯纳米级金属粒子的装置
CN106623957B (zh) * 2016-11-30 2020-01-21 江永斌 连续量产超细纳米级金属粒子的纳米粒子生长器
CN106941153B (zh) * 2017-01-19 2021-04-27 江永斌 棉絮状单质硅纳米线团/碳复合负极材料及制备方法和用途
CN107055543A (zh) * 2017-03-27 2017-08-18 江永斌 一种连续量产硅纳米线团或硅棉絮状颗粒团的装置
CN109648093A (zh) * 2018-12-18 2019-04-19 江苏博迁新材料股份有限公司 一种超细金属镍粉表面处理方法
CN109513917A (zh) * 2018-12-18 2019-03-26 江苏博迁新材料股份有限公司 一种pvd生产镍粉的降碳方法
CN111185595A (zh) * 2020-03-19 2020-05-22 阳江市高功率激光应用实验室有限公司 一种制备包覆粉末的装置及包覆粉末的方法
CN112846206A (zh) * 2020-12-29 2021-05-28 江苏博迁新材料股份有限公司 一种脉冲式金属粉制备冷凝方法
CN214184130U (zh) * 2021-01-08 2021-09-14 江苏博迁新材料股份有限公司 一种制备超细粉粒子成形过程中的不良品回收结构
WO2022156217A1 (zh) * 2021-01-25 2022-07-28 钟笔 一种超微粉粒子聚集冷却管式结构及超微粉粒子成形方法
CN112742305A (zh) * 2021-01-25 2021-05-04 钟笔 一种用于控制超微粉粒子成型的控制器
US12330126B2 (en) * 2021-01-25 2025-06-17 Jiangsu Boqian New Materials Stock Co., Ltd. Ultrafine powder particle aggregation and cooling tank-type structure and ultrafine powder particle forming method
CN216421070U (zh) * 2021-10-19 2022-05-03 江苏博迁新材料股份有限公司 一种物理气相法制备超细粉体材料用的金属蒸气成核装置
CN114566327B (zh) * 2021-11-11 2024-03-26 江苏博迁新材料股份有限公司 合金粉生产方法及该方法制备的合金粉、浆料和电容器
CN115383124A (zh) * 2022-09-02 2022-11-25 杭州新川新材料有限公司 超细金属粉末的冷却设备
CN115770882A (zh) * 2022-11-02 2023-03-10 杭州新川新材料有限公司 超细球形金属粉末的制造方法及装置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5854166B2 (ja) 1981-12-17 1983-12-03 科学技術庁金属材料技術研究所長 金属微粒子の製造法およびその製造装置
US6379419B1 (en) * 1998-08-18 2002-04-30 Noranda Inc. Method and transferred arc plasma system for production of fine and ultrafine powders
GB2359096B (en) * 2000-02-10 2004-07-21 Tetronics Ltd Apparatus and process for the production of fine powders
RU2263006C2 (ru) 2000-02-10 2005-10-27 Тетроникс Лимитед Плазменно-дуговой реактор и способ получения тонких порошков
CN1189277C (zh) * 2001-09-04 2005-02-16 宜兴市华科金属纳米材料有限公司 常压下制备细粉或超细粉的方法
CN2503475Y (zh) * 2001-09-14 2002-07-31 沈三立 分析气体冷却装置
CN2629878Y (zh) * 2003-07-25 2004-08-04 浙江省新昌县恒升金属纳米材料有限公司 纳米金属粉生产装置
JP5824906B2 (ja) * 2011-06-24 2015-12-02 昭栄化学工業株式会社 金属粉末製造用プラズマ装置及び金属粉末製造方法

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