TWI571445B - Glass substrate manufacturing method and cooler - Google Patents

Description

玻璃基板之製造方法及冷卻器

本發明係關於一種玻璃基板之製造方法及冷卻器。

先前，作為製造玻璃基板之方法，使用有溢流下拉法。於溢流下拉法中，係藉由使自成形體溢流之熔融玻璃沿著成形體之兩側面流下後，於成形體之下端部附近合流，而使玻璃板成形。成形後之玻璃板一面向下方被拉長一面被冷卻。冷卻後之玻璃板被切斷成特定之尺寸，從而獲得玻璃基板。

於溢流下拉法中，對成形後之玻璃板進行冷卻時，使用用控制玻璃板之冷卻速度之技術。例如，於專利文獻1(國際公開第2012/018072號小冊子)中，公開有如下方法，即，於成形體下方之空間，沿著玻璃板之行進方向配置複數個冷卻速度控制構件，向各個冷卻速度控制構件吹送特定溫度之氣體，藉此控制玻璃板之溫度。又，為了使成形後之玻璃板更快速地達到最終厚度，於專利文獻2(日本專利特表第2009-502706號公報)中，公開有對剛自成形體下端離開之玻璃板進行快速冷卻之方法。

背景技術文獻 專利文獻

專利文獻1：國際公開第2012/018072號小冊子

專利文獻2：日本專利特表第2009-502706號公報

然而，於對剛自成形體下端離開之玻璃板進行快速冷卻時，使用專利文獻1所公開之冷卻速度控制構件之方法中，冷卻玻璃板之能力並不充分。又，該方法中，由於向冷卻速度控制構件吹送之氣體於玻璃板寬度方向上之細微流量差，導致產生玻璃板之溫度差。又，該方法中，由於向冷卻速度控制構件吹送之氣體之一部分意外地漏出而與玻璃板碰撞，導致產生玻璃板之溫度差。而且，因玻璃板之溫度差，有可能導致玻璃板之板厚偏差增加。

本發明之目的在於提供一種於對成形後之玻璃板進行冷卻之空間可有效且控制性優異地與玻璃板進行熱交換之玻璃基板之製造方法、及於存在熱源之空間可有效地與熱源進行熱交換之冷卻器。

本發明之玻璃基板之製造方法包括成形步驟、冷卻步驟、及切斷步驟。成形步驟中，使熔融玻璃自成形體溢流而成形玻璃板。冷卻步驟中，使成形後之玻璃板一面向下方被拉長一面被冷卻。切斷步驟中，將冷卻後之玻璃板切斷而獲得玻璃基板。於使自成形體離開之玻璃板冷卻至緩冷點附近之空間之至少一部分，設置有冷卻速度控制構件。冷卻速度控制構件與玻璃板之寬度方向之中央區域之表面相對向。隔著冷卻速度控制構件而位於玻璃板之相反側之後方冷卻空間係由沿著玻璃板之行進方向配置之冷卻室構成。冷卻室之至少一部分係利用冷卻器來進行冷卻。冷卻步驟中，玻璃板藉由一面與接觸冷卻室之冷卻速度控制構件對向一面沿著行進方向移動，而階段性或連續性被冷卻。冷卻器之至少一部分包含隔熱板、冷卻劑管。隔熱板對於冷卻室與沿著行進方向鄰接於冷卻室之空間之間之熱移動進行抑制。冷卻劑管藉由使液體冷卻劑於內部流動來冷卻冷卻室。

該玻璃基板之製造方法中，剛自成形體下端離開之玻璃板藉由 冷卻器而急冷至緩冷點附近。冷卻器係由隔熱板與冷卻劑管構成。隔熱板係沿著玻璃板之行進方向、即鉛垂方向而用來將後方冷卻空間區劃成複數個冷卻室之間隔壁。冷卻劑管於內部流動之液體冷卻劑、與被隔熱板隔開之2個空間之一者之間，利用輻射熱傳遞及自然對流熱傳遞而進行有效之熱交換。冷卻器可藉由調節冷卻劑管內部之液體冷卻劑之流量、或者變更液體冷卻劑之溫度，控制熱交換量。再者，於希望進一步擴大冷卻速度可調整範圍之情形時，必需增減冷卻劑管之往返次數來變更冷卻劑管之表面積、或者變更供給至冷卻劑管之液體冷卻劑之溫度。

所以，該玻璃基板之製造方法於對成形後之玻璃板進行冷卻之空間可有效且控制性優異地與玻璃板進行熱交換。

又，冷卻步驟中較佳包含第1冷卻步驟與第2冷卻步驟。第1冷卻步驟中，以第1平均冷卻速度對玻璃板進行冷卻，直至玻璃板之中央區域之溫度達到緩冷點。第2冷卻步驟中，以第2平均冷卻速度對玻璃板進行冷卻，直至玻璃板之中央區域之溫度自緩冷點起達到比應變點低50℃之溫度。第1平均冷卻速度較佳大於第2平均冷卻速度。

第1冷卻步驟中，玻璃板之中央區域之溫度為1200℃~緩冷點，熱縮率之影響小。該溫度區域內，由於玻璃分子容易移動，故難以產生應變。另一方面，第2冷卻步驟中，玻璃板之中央區域之溫度為緩冷點~應變點附近，熱縮率之影響大，故較佳為儘量緩慢地冷卻。該溫度區域內，與第1冷卻步驟相比，玻璃分子之移動所需之時間長，容易產生應變。因此，第1平均冷卻速度較佳大於第2平均冷卻速度。

又，冷卻步驟中，較佳利用冷卻速度控制構件控制行進方向上之玻璃板之冷卻速度。冷卻速度控制構件可以使玻璃板之寬度方向之溫度均勻。

又，於對自成形體離開之玻璃板進行冷卻之空間，較佳設置對 玻璃板之寬度方向之端部進行冷卻之端部冷卻裝置。冷卻步驟中，利用端部冷卻裝置，使玻璃板之端部以大於玻璃板之中央區域之速度予以冷卻之方式，對玻璃板進行冷卻。端部冷卻裝置可抑制玻璃板之寬度方向之收縮。

又，於冷卻速度控制構件之與玻璃板之對向面為相反側之面上，較佳沿著玻璃板之寬度方向設置保溫構件。冷卻步驟中，利用保溫構件控制玻璃板之寬度方向之厚度及/或翹曲。

又，冷卻步驟中，較佳於玻璃板之中央區域之溫度達到軟化點附近之空間之至少一部分，利用保溫構件之尺寸之變更，根據玻璃板之寬度方向之板厚分佈，控制玻璃板之厚度。

冷卻步驟中，可藉由使用保溫構件而控制玻璃板之寬度方向之溫度分佈。藉此，冷卻步驟中，可實現適於減少玻璃板之板厚偏差及翹曲之玻璃板之溫度分佈。

又，於冷卻步驟中，較佳為，控制玻璃板之厚度後，藉由變更保溫構件之尺寸，形成自玻璃板之中央區域朝端部而玻璃板之溫度呈階段性或連續性下降之溫度分佈，以平面度處於特定範圍內之方式控制玻璃板之翹曲。

本發明之冷卻器用來冷卻空間，該冷卻器包括隔熱板、及冷卻劑管。隔熱板將空間分割成複數個冷卻室，且抑制鄰接之冷卻室之間之熱移動。冷卻劑管藉由於內部流動液體冷卻劑來冷卻冷卻室。

該冷卻器中，冷卻劑管於流動於內部之液體冷卻劑、與被隔熱板隔開之2個空間之其中一者之間，利用輻射熱傳遞及自然對流熱傳遞而進行有效之熱交換。該冷卻器可以藉由調節冷卻劑管內部之液體冷卻劑之流量、或變更液體冷卻劑之溫度，以及變更冷卻劑管之往返次數變更冷卻劑管之表面積，從而控制熱交換量。

因此，該冷卻器可於存在熱源之空間內有效且控制性優異地與 熱源進行熱交換。

又，冷卻劑管較佳為，配置成隔開其外徑以上之間隔進行複數次往返，且形成包含往返之冷卻劑管之行之平面即管平面。隔熱板構成冷卻室之壁面內之一面，且設置成與管平面平行且與管平面接觸地，利用其自重設置於冷卻劑管之行上。

該冷卻器能實現與周圍氣氛接觸之冷卻管之較大表面積，因此，於存在熱源之空間內可更有效地與熱源進行熱交換。又，由於冷卻管於鉛垂方向之尺寸小，因此，該冷卻器即便於鉛垂方向之設置空間尺寸受限時亦可不降低熱交換效率地設置。

又，冷卻器較佳具有如下剛性，即，於其兩端部被支撐之狀態下，因長度方向之中央部之自重產生之變形量無關於長度方向之長度而為20mm以下。因此，該冷卻器之長度方向之中央部無需被支撐。

本發明之玻璃基板之製造方法於對成形後之玻璃板進行冷卻之空間內可有效且控制性優異地與玻璃板進行熱交換。本發明之冷卻器於存在熱源之空間內可有效地與熱源進行熱交換。

10‧‧‧成形體

12‧‧‧槽

14‧‧‧玻璃供給管

20‧‧‧上部間隔構件

30‧‧‧冷卻滾筒

40‧‧‧冷卻單元

41a~41f‧‧‧冷卻速度控制構件

42‧‧‧端部冷卻裝置

42a‧‧‧水冷板

42b‧‧‧供水管

42c‧‧‧排水管

43‧‧‧保溫構件

51a~51f‧‧‧冷卻器

52b‧‧‧隔熱板

53b‧‧‧冷卻劑管

54b‧‧‧支撐部

60‧‧‧下部間隔構件

62a‧‧‧彎折部

62b‧‧‧彎折部

62c‧‧‧彎折部

63a‧‧‧主部

70‧‧‧下拉滾筒

80‧‧‧熔融玻璃

90‧‧‧玻璃板

90a‧‧‧中央區域

90b‧‧‧兩端部

91‧‧‧角管

92‧‧‧長彎頭

93‧‧‧流入管

94‧‧‧流出管

95‧‧‧管平面

100‧‧‧玻璃基板製造裝置

151b‧‧‧冷卻器

152b‧‧‧隔熱板

153b‧‧‧冷卻劑管

154b‧‧‧支撐部

191‧‧‧圓管

192‧‧‧長彎頭

193‧‧‧流入管

194‧‧‧流出管

200‧‧‧熔解槽

300‧‧‧澄清槽

400‧‧‧成形裝置

410‧‧‧成形體收容空間

420‧‧‧冷卻空間

422‧‧‧後方冷卻空間

422a~422f‧‧‧冷卻室

430‧‧‧緩冷空間

h‧‧‧尺寸

t‧‧‧厚度

w‧‧‧尺寸

圖1係本實施液體之玻璃基板製造裝置之概略構成圖。

圖2係成形裝置之前視圖。

圖3係圖2之III-III線之成形裝置之剖面圖。

圖4係冷卻速度控制構件之外觀圖。

圖5係冷卻速度控制構件附近之圖2之放大圖。

圖6係端部冷卻裝置之外觀圖。

圖7係冷卻器之外觀圖。

圖8係冷卻器之側視圖。

圖9係變化例A之冷卻器之俯視圖。

圖10係變化例A之冷卻器之側視圖。

(1)玻璃基板製造裝置之全體構成

一面參照圖式一面說明本發明之玻璃基板之製造方法及冷卻器之實施形態。圖1係本實施形態中使用之玻璃基板製造裝置100之概略構成圖。如圖1所示，玻璃基板製造裝置100包括熔解槽200、澄清槽300、及成形裝置400。於熔解槽200中，玻璃原料被加熱而生成熔解玻璃。於澄清槽300中，將於熔解槽200內生成之熔融玻璃所含之氣泡除去。於成形裝置400中，自於澄清槽300內已被除去氣泡之熔融玻璃利用溢流下拉法連續地成形玻璃板。成形後之玻璃板被切斷成特定尺寸，獲得製品尺寸之玻璃基板。玻璃基板經過端面加工步驟、清洗步驟及檢查步驟等，被捆包並出廠。

利用玻璃基板製造裝置100製造之玻璃基板可用於製造液晶顯示器、電漿顯示器及有機EL顯示器等平板顯示器(FPD)。該玻璃基板具有例如0.2mm~0.8mm之厚度，且具有縱680mm~2200mm及橫880mm~2500mm之尺寸。

(2)成形裝置之詳細構成

圖2係成形裝置400之前視圖。圖2係沿著與利用成形裝置400成形之玻璃板90之表面垂直之方向觀察到之成形裝置400之外觀圖。圖3係圖2之III-III線之成形裝置400之剖面圖。成形裝置400主要包括成形體10、上部間隔構件20、冷卻滾筒30、冷卻單元40、冷卻器51a~51f、下部間隔構件60、下拉滾筒70、及控制裝置(未圖示)。

(2-1)成形體

如圖3所示，成形體10具有大致楔狀且為五邊形之剖面形狀。成形體10係由耐火磚成形，且設置於作為上部間隔構件20上方之空間之成形體收容空間410內。成形體10以大致楔狀之剖面形狀之尖端位於 下端之方式設置。

於成形體10之上端面，沿著成形體10之長度方向而形成有槽12。於成形體10之長度方向之端部，安裝有與槽12連通之玻璃供給管14。槽12形成為隨著自與玻璃供給管14連通之一端部起朝向另一端部，而逐漸變淺。

自澄清槽300送來之熔融玻璃經由玻璃供給管14而流入槽12。自成形體10之槽12溢流之熔融玻璃80沿著成形體10之兩側面流下，並於成形體10之下端附近合流。合流後之熔融玻璃80變成玻璃板90。玻璃板90係連續地成形，並於上部間隔構件20之下方、且下部間隔構件60之上方之空間即冷卻空間420內一面流下一面被冷卻。

(2-2)上部間隔構件

上部間隔構件20係設置於成形體10之下端附近之一對板狀之隔熱構件。如圖3所示，上部間隔構件20係設置於玻璃板90之厚度方向之兩側。上部間隔構件20於鉛垂方向上被間隔成成形體收容空間410與冷卻空間420。成形體收容空間410係供成形體10設置之空間。冷卻空間420係玻璃板90一面流下一面被冷卻之空間。上部間隔構件20遮斷自成形體收容空間410向冷卻空間420之熱移動。

(2-3)冷卻滾筒

冷卻滾筒30係用來對於冷卻空間420內流下之玻璃板90進行急冷之構件。如圖2所示，冷卻滾筒30對玻璃板90之寬度方向之兩端部進行冷卻。如圖3所示，冷卻滾筒30設置於玻璃板90之厚度方向之兩側。因此，玻璃板90係由2對冷卻滾筒30隔著其寬度方向之兩端部而進行急冷。

(2-4)冷卻單元

冷卻單元40係一面調節於冷卻空間420內流下之玻璃板90之冷卻速度，一面將玻璃板90冷卻至緩冷點附近之單元。此處，緩冷點附近 係自玻璃板90之緩冷點上加100℃後之溫度起，至玻璃板90之應變點加上玻璃板90之緩冷點後除以2所得之溫度為止之溫度區域。冷卻單元40以使玻璃板90沿著玻璃板90之流下方向階段性或連續性冷卻之方式進行控制。冷卻單元40主要包括冷卻速度控制構件41a~41f、端部冷卻裝置42、及保溫構件43。

(2-4-1)冷卻速度控制構件

於本實施形態中，如圖3所示，6對冷卻速度控制構件41a~41f係設置於上部間隔構件20之下方之冷卻空間420。冷卻速度控制構件41a~41f係沿著玻璃板90之流下方向、即鉛垂方向而設置。冷卻速度控制構件41a~41f於鉛垂方向上無縫隙地排列。再者，配置於鉛垂方向上之冷卻速度控制構件41a~41f之數量可根據成形裝置400之尺寸、及至玻璃板90之緩冷點附近為止之冷卻步驟中想要設定之不同之冷卻速度式樣的數量等而適當地決定。

冷卻速度控制構件41a於6個冷卻速度控制構件41a~41f內相對於玻璃板90之流下方向而設置於最上游。冷卻速度控制構件41f於6個冷卻速度控制構件41a~41f內相對於玻璃板90之流下方向而設置於最下游。冷卻速度控制構件41a鄰接於上部間隔構件20之下方而設置，冷卻速度控制構件41f大致設置於下部間隔構件60之上方。各冷卻速度控制構件41a~41f具有相同構成。其次，以冷卻速度控制構件41a為例，說明冷卻速度控制構件41a~41f之構成。

一對冷卻速度控制構件41a分別設置於玻璃板90之兩表面附近。冷卻速度控制構件41a係於玻璃板90之寬度方向、即水平方向上延伸之構件。如圖2所示，冷卻速度控制構件41a設置於與玻璃板90之寬度方向之中央區域90a之表面對向之位置上。以下，玻璃板90之中央區域90a係包含板厚均勻之對象之部分之區域，玻璃板90之端部90b係包含製造後被切斷之對象之部分之區域。冷卻速度控制構件41a之長度 方向之長度比玻璃板90之寬度方向之長度短。

圖4係冷卻速度控制構件41a之一部分之外觀圖。冷卻速度控制構件41a係經彎折加工後之板狀之金屬構件。該金屬構件較佳為，於大氣中具有600℃以上之耐熱性，具有至少30W/m．K以上之熱導率，於使用溫度區域內具有0.85以上之輻射率特性。冷卻速度控制構件41a之金屬構件例如為純鎳。

如圖4所示，冷卻速度控制構件41a係包含彎折部62a及主部63a之導槽(槽形鋼)。彎折部62a係位於冷卻速度控制構件41a之鉛垂方向之兩端部，由金屬構件彎折而形成之水平部。主部63a係彎折部62a以外之鉛垂部。主部63a具有與玻璃板90對向之面。主部63a之鉛垂方向之尺寸h例如為50mm~250mm。主部63a較佳具有例如4mm以上之厚度t。彎折部62a之水平方向之尺寸w例如為40mm~90mm。

圖5係冷卻速度控制構件41a附近之圖2之放大圖。圖5中省略了端部冷卻裝置42。如圖3所示，冷卻速度控制構件41a藉由螺釘固定而與於鉛垂方向上鄰接之冷卻速度控制構件41b連結。具體而言，冷卻速度控制構件41a之下側之彎折部62a藉由螺釘固定而與冷卻速度控制構件41b之上側之彎折部62b連結。同樣地，冷卻速度控制構件41b之下側之彎折部62b藉由螺釘固定而與冷卻速度控制構件41c之上側之彎折部62c連結。

於圖3中，後方冷卻空間422係隔著冷卻速度控制構件41a~41f而位於玻璃板90之相反側之空間。即，自玻璃板90側觀察，後方冷卻空間422係位於冷卻速度控制構件41a~41f之後方之空間。後方冷卻空間422係冷卻空間420之一部分。於冷卻空間420內，後方冷卻空間422係與後方冷卻空間422以外之空間隔開。具體而言，玻璃板90之寬度方向上之後方冷卻空間422之兩側部被具有與冷卻速度控制構件41a~41f相同形狀之導槽等構件隔開。後方冷卻空間422之與冷卻速度控制 構件41a~41f對向之側部被成形裝置400之內壁或隔熱構件隔開。後方冷卻空間422之上部及下部分別被冷卻器51a及下部間隔構件60隔開。後方冷卻空間422利用冷卻器51b~51f而沿著玻璃板90之行進方向被分割成複數個冷卻室422a~422f。

(2-4-2)端部冷卻裝置

端部冷卻裝置42於冷卻空間420內係對玻璃板90之寬度方向之兩端部進行冷卻之單元。如圖2所示，端部冷卻裝置42於玻璃板90之寬度方向之兩端部90b設置於與玻璃板90之兩表面對向之位置上。端部冷卻裝置42於玻璃板90之寬度方向上設置於冷卻速度控制構件41a~41f之兩側。又，如圖2所示，複數個端部冷卻裝置42係沿著玻璃板90之流下方向而設置。

圖6係端部冷卻裝置42之外觀圖。端部冷卻裝置42主要包括水冷板42a、供水管42b、及排水管42c。水冷板42a係由熱導率較高、耐氧化性及耐熱性優異之構件構成。於本實施形態中，水冷板42a係利用不鏽鋼而成形。水冷板42a於內部具有供冷卻水流動之流路。供水管42b及排水管42c與水冷板42a之流路連通。水冷板42a具有與玻璃板90之表面對應之表面。端部冷卻裝置42具有可相對於玻璃板90接近或背離之構造。

冷卻水通過供水管42b而供給至水冷板42a之流路。通過水冷板42a之流路後被加熱之冷卻水自排水管42c排出。玻璃板90之寬度方向之兩端部90b藉由來自水冷板42a之輻射熱傳遞而被冷卻。

利用冷卻速度控制構件41a~41f及端部冷卻裝置42，玻璃板90之兩端部90b以大於玻璃板90之中央區域90a之速度被冷卻。藉此，端部冷卻裝置42可抑制玻璃板90之寬度方向之收縮，且可於玻璃板90之寬度方向上形成所需之溫度分佈。

(2-4-3)保溫構件

如圖5所示，保溫構件43係固定於冷卻速度控制構件41a之下側之彎折部62a。即，保溫構件43係設置於後方冷卻空間422內。冷卻速度控制構件41a上沿著其長度方向而安裝有複數個保溫構件43。保溫構件43於玻璃板90之中央區域90a之溫度達到軟化點附近之空間之至少一部分，根據玻璃板90之壁厚分佈形狀，而於玻璃板90之寬度方向上間歇或不規則地配置。此處，軟化點附近係自於玻璃板90之軟化點上加100℃後之溫度起，直至自玻璃板90之軟化點減100℃後之溫度為止之溫度區域。為了於玻璃板90之中央區域90a之溫度比軟化點低之空間內，形成自玻璃板90之寬度方向之中央區域90a朝向兩端部90b而玻璃板90之溫度階段性或連續性下降之溫度分佈，保溫構件43於玻璃板90之寬度方向上大致規則且無縫隙地配置。其他各冷卻速度控制構件41b~41f亦與冷卻速度控制構件41a同樣安裝有複數個保溫構件43。

保溫構件43抑制自冷卻速度控制構件41a~41f之散熱。保溫構件43例如為陶瓷纖維板及橡皮布。利用保溫構件43控制玻璃板90之厚度及翹曲。例如，於玻璃板90之寬度方向之中央區域90a之溫度冷卻至軟化點附近之空間之至少一部分，適當地調節保溫構件43之尺寸，藉此根據玻璃板90之寬度方向之板厚分佈控制玻璃板90之厚度。

又，藉由使用保溫構件43，可控制玻璃板90之寬度方向之溫度分佈。藉此，可實現適於減少玻璃板90之板厚偏差及翹曲之玻璃板90之溫度分佈。

又，藉由適當地調節保溫構件43之尺寸，可形成自玻璃板90之中央區域90a朝向兩端部90b而玻璃板90之溫度階段性或連續性下降之溫度分佈。藉此，以平面度處於特定範圍內之方式控制玻璃板90之翹曲。為了形成此種溫度分佈，例如，將設置於冷卻速度控制構件41b~41f之長度方向之中央部之保溫構件43，形成厚於或高於設置於兩端部之保溫構件43。

(2-5)冷卻器

冷卻器51a~51f係沿著玻璃板90之行進方向而於鉛垂方向上分割後方冷卻空間422之構件。如圖3所示，一對後方冷卻空間422分別利用5個冷卻器51b~51f而被分割成6個冷卻室422a~422f。自玻璃板90側觀察，冷卻室422a~422f分別為位於冷卻速度控制構件41a~41f後方之空間。冷卻室422a於6個冷卻室422a~422f內相對於玻璃板90之流下方向而位於最上游。冷卻室422f於6個冷卻室422a~422f內相對於玻璃板90之流下方向而位於最下游。再者，冷卻室422a~422f之至少一部分被冷卻器51a~51f冷卻便可。

如圖3所示，冷卻器51a設置於冷卻速度控制構件41a上側之彎折部62a之高度位置上。冷卻器51b設置於冷卻速度控制構件41a與冷卻速度控制構件41b之間之高度位置上。即，冷卻器51b設置於對應於冷卻速度控制構件41a之冷卻室422a、與對應於冷卻速度控制構件41b之冷卻室422b之間之高度位置上。同樣地，冷卻器51c設置於冷卻速度控制構件41b與冷卻速度控制構件41c之間之高度位置上。即，冷卻器51c設置於對應於冷卻速度控制構件41b之冷卻室422b、與對應於冷卻速度控制構件41c之冷卻室422c之間之高度位置上。其他冷卻器51d~51f亦相同。

冷卻室422a被冷卻速度控制構件41a、冷卻器51a及冷卻器51b包圍，冷卻室422b被冷卻速度控制構件41b、冷卻器51b及冷卻器51c包圍。關於冷卻室422c~422e亦相同。冷卻室422f被冷卻速度控制構件41f、冷卻器51f及下部間隔構件60包圍。

各冷卻器51a~51f具有相同構成。其次，說明冷卻器51b之構成。再者，以下說明亦適用於其他冷卻器51a、51c~51f。冷卻器51b主要包括隔熱板52b、冷卻劑管53b、及支撐部54b。圖7係自下方觀察冷卻器51b之外觀圖。圖8係冷卻器51b之側視圖。

(2-5-1)隔熱板

隔熱板52b於玻璃板90之寬度方向上具有與冷卻速度控制構件41a~41f大致相同之長度。隔熱板52b抑制被冷卻器51b隔開之冷卻室422a與冷卻室422b之間之熱移動。

隔熱板52b安裝於冷卻器51b之上部。即，圖7係自下方觀察設置於後方冷卻空間422內之冷卻器51b之外觀圖。隔熱板52b之長度方向與冷卻速度控制構件41a~41f之長度方向、及玻璃板90之寬度方向平行。隔熱板52b較佳具有0.07m²．K/W以上之熱阻。

(2-5-2)冷卻劑管

冷卻劑管53b安裝於冷卻器51b之下部。冷卻劑管53b係內部流動有冷卻水之管。冷卻劑管53b安裝於隔熱板52b之下表面。冷卻劑管53b主要包括複數個角管91、複數個長彎頭92、流入管93、及流出管94。於本實施形態中，如圖7所示，冷卻劑管53b包括4根角管91、及3個長彎頭92。再者，角管91、長彎頭92、流入管93及流出管94使用市售不鏽鋼管及銅管等。角管91具有大致正方形之剖面形狀。長彎頭92、流入管93及流出管94具有大致圓形之剖面形狀。

4根角管91沿著隔熱板52b之長度方向而安裝於隔熱板52b之下表面。4根角管91隔開特定間隔而相互平行地設置。鄰接之角管91間之間隔為角管91之外徑以上。如圖7所示，長彎頭92係將鄰接之角管91之端部彼此連結之U字形之管。流入管93及流出管94連結於設置於隔熱板52b兩端之2根角管91之端部。未連結於流入管93及流出管94之2根角管91利用長彎頭92而於其兩端部連結彼此不同之2根角管91。長彎頭92之剖面積與流入管93及流出管94之剖面積大致相等。角管91之剖面積未達流入管93及流出管94之剖面積之4倍。

於冷卻劑管53b內部流動之水自流入管93供給，於角管91及長彎頭92內交替流動，並自流出管94排出。如圖7所示，於冷卻劑管53b內 部流動之水於隔熱板52b之長度方向上往返複數次。

(2-5-3)支撐部

支撐部54b安裝於冷卻器51b之兩側部。一對支撐部54b分別連結於4根角管91之端部。如圖8所示，角管91藉由導熱水泥96而固定於支撐部54b上。如圖8所示，4根角管91之上端面包含於管平面95。管平面95係包含4根角管91之上端面之虛擬平面。管平面95係與隔熱板52b之下表面平行之平面。隔熱板52b於與管平面95接觸之狀態下，利用其自重支撐於4根角管91之上端面。即，4根角管91之上端面係與隔熱板52b之下表面接著之面。

支撐部54b固定於構成冷卻空間420之壁面上。冷卻器51b以其兩端部被一對支撐部54b支撐之狀態而設置於後方冷卻空間422內。冷卻器51b具有因其長度方向之中央部之自重引起之變形量為20mm以下之剛性。

(2-6)下部間隔構件

下部間隔構件60係設置於冷卻單元40下方之板狀之隔熱構件。如圖3所示，下部間隔構件60係設置於玻璃板90之厚度方向之兩側。下部間隔構件60於鉛垂方向上將冷卻空間420、與冷卻空間420之下方之緩冷空間430隔開。下部間隔構件60阻斷自冷卻空間420向緩冷空間430之熱移動。

(2-7)下拉滾筒

如圖2及圖3所示，下拉滾筒70係設置於緩冷空間430內，用於將玻璃板90下拉之構件。緩冷空間430係玻璃板90一面被下拉滾筒70下拉一面逐漸地被冷卻之空間。下拉滾筒70係設置於玻璃板90之厚度方向之兩側、及玻璃板90之寬度方向之兩端部。下拉滾筒70係利用馬達驅動而旋轉。藉由下拉滾筒70之旋轉，玻璃板90被往下拉。

玻璃板90之中央區域90a之溫度達到緩冷點前之玻璃板90之平均 冷卻速度，大於玻璃板90之中央區域90a之溫度自緩冷點達到比應變點低50℃之溫度前之玻璃板90之平均冷卻速度。玻璃板90之中央區域90a之溫度被冷卻至緩冷點為止之空間為冷卻空間420。玻璃板90之中央區域90a之溫度自緩冷點冷卻至比應變點低50℃之溫度為止之空間為緩冷空間430之一部分空間。

(2-8)控制裝置

控制裝置主要包括CPU、RAM、ROM及硬碟等。控制裝置係與冷卻滾筒30、端部冷卻裝置42、冷卻器51a~51f及下拉滾筒70等連接。控制裝置例如調節冷卻滾筒30及下拉滾筒70之旋轉速度。控制裝置例如調節通過端部冷卻裝置42之水冷板42a之冷卻水之流量。控制裝置例如調節通過冷卻器51a之冷卻劑管53a之冷卻水之流量。

(3)玻璃基板製造裝置之動作

自成形體10之槽12溢流之熔融玻璃80沿著成形體10之兩側面流下，並於成形體10之下端附近合流。合流後之熔融玻璃80變成玻璃板90。玻璃板90係連續地成形，一面於冷卻空間420及緩冷空間430內流下一面被冷卻。

於冷卻空間420內，首先利用冷卻滾筒30對玻璃板90之寬度方向之兩端部進行急冷。其次，利用冷卻單元40，一面調節玻璃板90之冷卻速度一面使玻璃板90冷卻至緩冷點附近為止。緩冷空間430內，玻璃板90係一面被下拉滾筒70下拉一面逐漸地被冷卻。冷卻後之玻璃板90被切斷成特定尺寸，從而獲得製品尺寸之玻璃基板。

(4)玻璃基板製造裝置之特徵

(4-1)

於本實施形態之冷卻器51b(以下關於其他冷卻器51a、51c~51f亦相同)中，角管91之剖面積未達長彎頭92、流入管93及流出管94之剖面積之4倍，於流入管93與角管91之連結部、角管91與長彎頭92之 連結部、及角管91與流出管94之連結部，冷卻劑管53b之流路剖面積之變化率控制為未達特定值。即，冷卻劑管53b之流路全體不具有流路剖面積急劇擴大之部分、及流路剖面積急劇縮小之部分。

於內部流動有用於熱交換之液體冷卻劑之冷卻劑管具有流路剖面積急劇變化之部分之情形時，冷卻劑管之內部產生冷卻劑之流動滯停之部分。於冷卻劑滯停之部分，流動於冷卻劑管之冷卻劑、與冷卻劑管周圍之氣氛之熱交換效率下降。又，冷卻劑之清潔度低之情形時，於冷卻劑滯停之部分，冷卻劑所含之雜質沈澱及堆積，有可能變成冷卻劑管堵塞之原因。又，於流路剖面積急劇變化等冷卻劑管之流路形狀複雜之情形時，向冷卻劑管內注滿冷卻劑時冷卻劑管內部之空氣有可能未完全去除。藉此，未與冷卻劑接觸之冷卻劑管之壁面被局部加熱及氧化，有可能導致破損。

於本實施形態中，如上述般，冷卻劑管53b不具有流路剖面積急劇變化之部分，從而能抑制冷卻劑滯停之部分之產生。因此，抑制流動於冷卻劑管53b內部之冷卻劑、與冷卻劑管53b之周圍之氣氛之熱交換之效率下降，且抑制冷卻劑管53b因冷卻劑所含之雜質堵塞之情形。又，由於抑制冷卻劑管53b內部產生空氣滯留之部分，從而能抑制冷卻劑管53b之壁面被局部加熱而破損之情形。

因此，本實施形態之冷卻器51a~51f可抑制熱交換效率之下降，因此具備冷卻器51a~51f之玻璃基板製造裝置100於對成形後之玻璃板90進行冷卻之冷卻空間420內可有效地與玻璃板90進行熱交換。

(4-2)

於本實施形態之冷卻器51b中，構成冷卻劑管53b之4根角管91之上端面包含於同一管平面95。隔熱板52b係被4根角管91支撐。隔熱板52b將冷卻器51b上方之冷卻室422a、與冷卻器51b下方之冷卻室422b分離開。因此，於冷卻室422a與冷卻室422b之間不產生氣體移動，從 而阻斷熱移動。

藉此，進行安裝於隔熱板52b下表面之冷卻劑管53b、與冷卻器51b下方之冷卻室422b之氣氛之間之熱交換。另一方面，冷卻劑管53b、與冷卻器51b上方之冷卻室422a之氣氛之間之熱交換被隔熱板52b抑制。即，冷卻器51b可不影響與冷卻室422a接觸之冷卻速度控制構件41a之溫度，而調節與冷卻室422b接觸之冷卻速度控制構件41b之溫度。

因此，冷卻器51a~51f分別可僅調節冷卻速度控制構件41a~41f之溫度。藉此，例如藉由使用控制裝置控制通過各冷卻器51a~51f之冷卻劑之流量，可獨立地調節各冷卻速度控制構件41a~41f之溫度。

因此，本實施形態之冷卻器51a~51f可經由冷卻速度控制構件41a~41f而有效且控制性優異地與玻璃板90進行熱交換。藉此，冷卻器51a~51f可適當地控制玻璃板90之冷卻速度。

(4-3)

於本實施形態之冷卻器51b中，4根角管91係隔開間隔而相互平行地配置。各角管91之上端面係黏結於隔熱板52b之下表面。因此，冷卻器51b之各角管91之上端面以外之3個面接觸冷卻室422b之氣氛。這樣，藉由將4根角管91隔開間隔而配置，與冷卻室422b接觸之角管91之表面積較大，因此冷卻器51b之熱交換效率提昇。

因此，本實施形態之冷卻器51a~51f具有高熱交換效率，故具備冷卻器51a~51f之玻璃基板製造裝置100於對玻璃板90進行冷卻之冷卻空間420內可有效地與玻璃板90進行熱交換。又，藉由將4根角管91隔開間隔而配置之構成，可實現冷卻器51b之輕量化。

(4-4)

於本實施形態之冷卻器51b中，佔據冷卻劑管53b之流路之大部分之角管91係安裝於隔熱板52b之下表面，且如圖8所示，僅長彎頭 92、流入管93及流出管94自角管91之下端面向下方突出。長彎頭92、流入管93及流出管94係連結於角管91之端部。因此，除冷卻器51b之長度方向之兩端部外，冷卻器51b之高度尺寸係控制於將隔熱板52b之高度尺寸、與角管91之高度尺寸合在一起後之值以內。

因此，本實施形態之冷卻器51a~51f除了其長度方向之兩端部外，可控制高度尺寸。因此，於冷卻空間420之高度尺寸受限之情形時，亦可不降低熱交換效率地設置複數個冷卻器51a~51f。

(4-5)

於本實施形態之冷卻器51b中，構成冷卻劑管53b之角管91、長彎頭92、流入管93及流出管94係使用市售不鏽鋼管及銅管等。又，為了組裝冷卻劑管53b，將角管91與長彎頭92之連結部、角管91與流入管93之連結部、及角管91與流出管94之連結部全周焊接便可。

因此，本實施形態之冷卻器51a~51f具備具有簡單構造之冷卻劑管53b，故能抑制用於組裝冷卻劑管53b之工時及成本。

(4-6)

於本實施形態之冷卻器51b中，角管91之兩端部係利用導熱水泥96而固定於一對支撐部54b上。導熱水泥96具有高熱導率，因此，支撐部54b容易被於角管91內部流動之冷卻劑冷卻。

支撐部54b之一端部係位於冷卻速度控制構件41b附近，因此容易因流下之玻璃板90之熱而被加熱。若支撐部54b被加熱而氧化，則有可能產生支撐部54b之破損及熱變形。

於本實施形態中，支撐部54b利用於角管91內部流動之冷卻劑而容易被冷卻，因此能抑制支撐部54b之破損及熱變形。

(4-7)

本實施形態之冷卻器51b係以其兩端部被一對支撐部54b支撐之狀態而設置。冷卻器51b具有無關於其長度方向之尺寸，因其長度方 向之中央部之自重引起之變形量為20mm以下之剛性。因此，即便於僅冷卻器51b之兩端部被一對支撐部54b支撐之狀態下，冷卻器51b之中央部大致上不會因自重而垂下。即，冷卻器51b之中央部無需被其他支撐構件支撐。

因此，冷卻器51b之長度方向之中央部無需被其他支撐構件支撐，故能抑制熱交換效率之下降。又，冷卻器51b不妨礙對其長度方向之中央部附近之空間之存取。因此，可於冷卻器51b之長度方向上有效地利用設置有冷卻器51b之後方冷卻空間422。

(4-8)

於本實施形態之玻璃基板製造裝置100中，冷卻空間420內沿著玻璃板90之流下方向而設置有複數個冷卻速度控制構件41a~41f。冷卻速度控制構件41a~41f分別與冷卻室422a~422f接觸。冷卻室422a~422f分別被冷卻器51a~51f冷卻。即，冷卻器51a~51f分別調節冷卻速度控制構件41a~41f之溫度。藉此，能控制一面流下一面被冷卻之玻璃板90之冷卻速度。

於先前之玻璃基板製造裝置中，例如使用如下方法，即，為了使剛自成形體之下端離開之玻璃板快速冷卻，向冷卻速度控制構件吹送冷卻用氣體，來調節玻璃板之溫度。然而，該方法中，因向冷卻速度控制構件吹送之氣體於玻璃板寬度方向上之細微流量差，而產生玻璃板之溫度差，故難以調節玻璃板之溫度。又，因向冷卻速度控制構件吹送之氣體之一部分意外漏出而與玻璃板碰撞，有可能產生玻璃板之溫度差。因此，該方法中，難以調整玻璃板之冷卻速度，故存在玻璃板之板厚偏差增加之問題。

於本實施形態之玻璃基板製造裝置100中，冷卻器51a~51f分別可獨立地調節冷卻速度控制構件41a~41f之溫度。因此，冷卻器51a~51f可以沿著玻璃板90之流下方向容易地將玻璃板90之冷卻速度調 節成所期望之值。因此，玻璃基板製造裝置100可有效地量產玻璃板90而不增加玻璃板90之板厚偏差。

(5)變化例

(5-1)變化例A

於本實施形態之冷卻器51b(以下關於其他冷卻器51a、51c~51f亦相同)中，內部流動有熱交換用冷卻劑之角管91係具有大致正方形之剖面形狀之管。然而，亦可代替角管91而使用具有大致圓形之剖面形狀之圓管。

圖9及圖10表示作為本實施形態之冷卻器51b之變化例之冷卻器151b。圖9係冷卻器151b之俯視圖。圖10係冷卻器151b之側視圖。冷卻器151b主要包括隔熱板152b、冷卻劑管153b、及支撐部154b。再者，冷卻器151b配置於與本實施形態之冷卻器51b相同之位置上，且具有相同效果。

冷卻器151b之隔熱板152b及支撐部154b分別具有與本實施形態之冷卻器51b之隔熱板52b及支撐部54b相同之構成。冷卻器151b之冷卻劑管153b具有與本實施形態之冷卻器51b之冷卻劑管53b不同之構成。如圖9所示，冷卻劑管153b包括4根圓管191、3個長彎頭192、流入管193、及流出管194。圓管191之剖面積係與長彎頭192、流入管193及流出管194之剖面積大致相同。長彎頭192、流入管193及流出管194係利用導熱水泥196而固定於支撐部154b上。

4根圓管191係隔開間隔而相互平行地配置。各圓管191之上端黏結於隔熱板152b之下表面。流入管193及流出管194係連結於設置於隔熱板152b兩端之2根圓管191之端部。未連結於流入管193及流出管194之2根圓管191利用長彎頭192而於其兩端部連結彼此不同之2根圓管191。

於本變化例中，如圖10所示，長彎頭192及流入管193設置於與 圓管191相同之高度位置上。流出管194除了與圓管191之連結部以外之部分係位於比圓管191低之高度位置上。

於冷卻劑管153b之內部流動之冷卻水自流入管193流入，於圓管191及長彎頭192內交替流動，並自流出管194流出。如圖9所示，於冷卻劑管153b之內部流動之冷卻水於隔熱板152b之長度方向上往返複數次。

於本變化例中，冷卻器151b之冷卻劑管153b具有圓管191。與本實施形態之角管91相比，圓管191與隔熱板152b之黏結面積小。然而，利用將4根圓管191隔開間隔而配置之構成，與隔熱板152b之下方之冷卻室接觸之圓管191之表面積大。因此，冷卻器151b與本實施形態之冷卻器51b同樣地具有高熱交換效率。

(5-2)變化例B

於本實施形態之冷卻器51b中，冷卻劑管53b係以隔開間隔而往返複數次之方式配置。具體而言，於冷卻劑管53b內部流動之冷卻劑通過4根角管91，藉此沿著隔熱板52b之長度方向而往返兩次。然而，冷卻劑管53b之往返次數亦可根據角管91之剖面積及隔熱板52b之尺寸等而適當地變更。

又，角管91之剖面積亦可適當地變更。於本實施形態中，角管91之剖面積未達流入管93及流出管94之剖面積之4倍。然而，角管91之剖面積較佳為與流入管93及流出管94之剖面積大致相同。藉此，能抑制角管91與流入管93之連結部等之冷卻劑管53b之流路剖面積之變化率，從而更難以產生冷卻劑之流動滯停之部分。

(5-3)變化例C

於本實施形態之冷卻器51b中，冷卻劑管53b之角管91係由不鏽鋼管及銅管等成形。角管91之上端面以外之3個面接觸冷卻室422b之氣氛。因此，亦可於角管91之上端面以外之3個面上塗佈高輻射率塗 料。藉此，角管91之熱輻射之吸收率增加，故於角管91內部流動之冷卻劑、與冷卻室422b之氣氛之熱交換效率提昇。

再者，於向角管91之表面塗佈高輻射率塗料前，亦可對角管91之表面進行噴砂加工。藉此，角管91表面之高輻射率塗料之附著性提昇。

(5-4)變化例D

於本實施形態之冷卻器51b中，冷卻劑管53b具有4根角管91。然而，4根角管91內位於靠近熱源之位置上而容易被加熱之角管91亦可替換成「變化例A」之圓管191。具體而言，位於最靠近冷卻速度控制構件41a~41f之位置上之角管91亦可替換成圓管191。

於位於最靠近冷卻速度控制構件41a~41f之位置上之角管91中，於作為與冷卻速度控制構件41a~41f對向之面之對向面、與相對於對向面直角連結之面之間，因熱輻射熱傳導所接受之熱量差異大。因此，該角管91上根據其表面而產生大之溫度差，因此，由於此溫度差引起之熱變形，角管91之角部有可能產生較大應力。藉此，角管91有可能破損。因此，位於靠近熱源之位置上之角管91較佳替換成圓管191。

(5-5)變化例E

於本實施形態中，冷卻速度控制構件41a~41f之材料係使用純鎳，但亦可使用熱導率高之其他材料、例如鉬、燒結SiC、再結晶SiC、人造石墨、鐵及鎢。

然而，鉬較佳於非氧化氣氛下使用。又，於氧化氣氛下使用鉬之情形時，較佳對冷卻速度控制構件41a~41f實施耐氧化塗佈。又，燒結SiC及再結晶SiC可於氧化氣氛下使用，人造石墨、鐵及鎢可於非氧化氣氛下使用。

(5-6)變化例F

於本實施形態中，冷卻速度控制構件41a~41f係使用導槽(槽形鋼)，但亦可使用具有其他形狀之金屬構件。該情形時，較佳構成為，使於鉛垂方向上鄰接之冷卻速度控制構件41a~41f彼此最小限度地接觸，藉此抑制鄰接之冷卻速度控制構件41a~41f彼此之熱傳導。

(5-7)變化例G

於本實施形態中，作為用於對寬度方向之長度為2200mm之玻璃板90進行冷卻之玻璃基板製造裝置100，例示了冷卻速度控制構件41a~41f之長度方向之長度、及冷卻速度控制構件41a~41f之數量。然而，亦可根據由玻璃基板製造裝置100製造之玻璃板90之寬度方向之長度及厚度等，變更冷卻速度控制構件41a~41f之長度方向之長度、及冷卻速度控制構件41a~41f之數量。

(5-8)變化例H

於本實施形態中，冷卻速度控制構件41a之主部63a係於鉛垂方向上延伸，但例如亦可相對於鉛垂方向傾斜、或沿著鉛垂方向而形成凹凸部。藉此，可抑制沿著玻璃板90表面產生之上升氣流，抑制鉛垂方向上之玻璃板90之冷卻速度之差。因此，本變化例中，於冷卻空間420內可以大致固定之速度對玻璃板90進行冷卻。

(5-9)變化例I

於本實施形態中，後方冷卻空間422係藉由5個冷卻器51b~51f而沿著玻璃板90之行進方向被分割成6個冷卻室422a~422f。然而，後方冷卻空間422只要至少一部分被冷卻器51a~51f分割，則亦可利用其他隔熱構件等進行分割。

(5-10)變化例J

於本實施形態中，冷卻室422a~422f分別被冷卻器51a~51f冷卻。然而，冷卻室422a~422f只要至少一部分被冷卻器51a~51f冷卻，則例如亦可利用具有與本實施形態之冷卻器51a~51f不同之構成 之冷卻器、及其他冷卻裝置來進行冷卻。

51b‧‧‧冷卻器

52b‧‧‧隔熱板

53b‧‧‧冷卻劑管

54b‧‧‧支撐部

91‧‧‧角管

92‧‧‧長彎頭

93‧‧‧流入管

94‧‧‧流出管

Claims (11)

1. 一種玻璃基板之製造方法，其包括：成形步驟，其係使熔融玻璃自成形體溢流而成形玻璃板；冷卻步驟，其係使成形後之上述玻璃板一面向下方被拉長一面進行冷卻；及切斷步驟，其係將冷卻後之上述玻璃板切斷而獲得玻璃基板；於使自上述成形體離開之上述玻璃板冷卻至緩冷點附近之空間之至少一部分中，設有與上述玻璃板之寬度方向之中央區域之表面對向之冷卻速度控制構件，隔著上述冷卻速度控制構件而位於上述玻璃板之相反側之後方冷卻空間包含沿著上述玻璃板之行進方向配置之冷卻室，上述冷卻室之至少一部分利用配置於上述冷卻室之外側之冷卻器而被冷卻，上述冷卻步驟中，上述玻璃板一面與接觸於上述冷卻室之上述冷卻速度控制構件對向一面沿著上述行進方向移動，藉此階段性或連續性地被冷卻，上述冷卻器之至少一部分包含：隔熱板，其抑制上述冷卻室與沿著上述行進方向而鄰接於上述冷卻室之空間之間之熱移動；及冷卻劑管，其藉由於內部流動液體冷卻劑而冷卻上述冷卻室；上述隔熱板與上述冷卻劑管接觸，且隔著上述冷卻劑管而設置於上述冷卻室之相反側。
2. 如請求項1之玻璃基板之製造方法，其中上述冷卻步驟包含： 第1冷卻步驟，其係於上述玻璃板之上述中央區域之溫度達到緩冷點前以第1平均冷卻速度對上述玻璃板進行冷卻；及第2冷卻步驟，其係於上述玻璃板之上述中央區域之溫度自緩冷點達到比應變點低50℃之溫度前以第2平均冷卻速度對上述玻璃板進行冷卻；且上述第1平均冷卻速度大於上述第2平均冷卻速度。
3. 如請求項1或2之玻璃基板之製造方法，其中於上述冷卻步驟中，利用上述冷卻速度控制構件控制上述行進方向上之上述玻璃板之冷卻速度。
4. 如請求項1或2之玻璃基板之製造方法，其中於對自上述成形體離開之上述玻璃板進行冷卻之空間內，設有對上述玻璃板之寬度方向之端部進行冷卻之端部冷卻裝置，於上述冷卻步驟中，利用上述端部冷卻裝置，使上述玻璃板之上述端部以大於上述玻璃板之上述中央區域之速度予以冷卻之方式，對上述玻璃板進行冷卻。
5. 如請求項1或2之玻璃基板之製造方法，其中於上述冷卻速度控制構件之與上述玻璃板之對向面為相反側之面上，沿著上述玻璃板之寬度方向而設置有保溫構件，上述冷卻步驟中，利用上述保溫構件控制上述玻璃板之寬度方向之厚度及/或翹曲。
6. 如請求項5之玻璃基板之製造方法，其中於上述冷卻步驟中，於上述玻璃板之上述中央區域之溫度達到軟化點附近之空間之至少一部分中，藉由變更上述保溫構件之尺寸，而根據上述玻璃板之寬度方向之板厚分佈控制上述玻璃板之厚度。
7. 如請求項6之玻璃基板之製造方法，其中上述冷卻步驟中，於控制上述玻璃板之厚度後，藉由變更上述保溫構件之尺寸，形成 自上述玻璃板之上述中央區域朝向上述端部而上述玻璃板之溫度階段性或連續性下降之溫度分佈，以平面度處於特定範圍內之方式控制上述玻璃板之翹曲。
8. 一種玻璃基板之製造方法，其包括：成形步驟，其係使熔融玻璃自成形體溢流而成形玻璃板；冷卻步驟，其係使成形後之上述玻璃板一面向下方被拉長一面進行冷卻；及切斷步驟，其係將冷卻後之上述玻璃板切斷而獲得玻璃基板；於使自上述成形體離開之上述玻璃板冷卻至緩冷點附近之空間之至少一部分中，設有與上述玻璃板之寬度方向之中央區域之表面對向之冷卻速度控制構件，隔著上述冷卻速度控制構件而位於上述玻璃板之相反側之後方冷卻空間包含沿著上述玻璃板之行進方向配置之冷卻室，上述冷卻室之至少一部分利用冷卻器而被冷卻，上述冷卻步驟中，上述玻璃板一面與接觸於上述冷卻室之上述冷卻速度控制構件對向一面沿著上述行進方向移動，藉此階段性或連續性地被冷卻，上述冷卻器之至少一部分包含：隔熱板，其抑制上述冷卻室與沿著上述行進方向而鄰接於上述冷卻室之空間之間之熱移動；及冷卻劑管，其藉由於內部流動液體冷卻劑而冷卻上述冷卻室；於上述冷卻速度控制構件之與上述玻璃板之對向面為相反側之面上，沿著上述玻璃板之寬度方向而設置有保溫構件，上述冷卻步驟中，藉由上述保溫構件控制上述玻璃板之寬度 方向之厚度及/或翹曲。
9. 一種玻璃基板之製造裝置，其係使熔融玻璃自成形體溢流而成形玻璃板，並使成形後之上述玻璃板一面向下方被拉長一面進行冷卻，且將冷卻後之上述玻璃板切斷而獲得玻璃基板，該玻璃基板之製造裝置包括：冷卻速度控制構件，於使自上述成形體離開之上述玻璃板冷卻至緩冷點附近之空間之至少一部分中，與上述玻璃板之寬度方向之中央區域之表面對向；及冷卻器，配置於冷卻室之外側，對上述冷卻室之至少一部分進行冷卻，上述冷卻室構成隔著上述冷卻速度控制構件而位於上述玻璃板之相反側之後方冷卻空間，且沿著上述玻璃板之行進方向配置；上述玻璃板一面與接觸於上述冷卻室之上述冷卻速度控制構件對向一面沿著上述行進方向移動，藉此階段性或連續性地被冷卻，上述冷卻器之至少一部分包含：隔熱板，其抑制上述冷卻室與沿著上述行進方向而鄰接於上述冷卻室之空間之間之熱移動；及冷卻劑管，其藉由於內部流動液體冷卻劑而冷卻上述冷卻室；上述隔熱板與上述冷卻劑管接觸，且隔著上述冷卻劑管而設置於上述冷卻室之相反側。
10. 如請求項9之玻璃基板之製造裝置，其中上述冷卻劑管以隔開其外徑以上之間隔往返複數次之方式配置，且形成作為包含往返之上述冷卻劑管之行之平面的管平面，上述隔熱板構成上述冷卻室之壁面內之一面，且一面與上述 管平面平行且接觸上述管平面，一面利用其自重而設置於上述冷卻劑管之行上。
11. 如請求項9或10之玻璃基板之製造裝置，其中上述冷卻器具有如下剛性：於其兩端部被支撐之狀態下，因長度方向之中央部之自重而產生之變形量無關於長度方向之長度而為20mm以下。