KR101643803B1 - 유리 기판의 제조 방법 및 냉각기 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따른 유리 기판의 제조 방법은, 성형된 유리 시트가 냉각되는 공간에 있어서, 유리 시트와 효율적이고 또한 제어성이 우수한 열교환을 행할 수 있다.
본 발명에 따른 유리 기판의 제조 방법에서는, 성형체(10)로부터 이격된 유리 시트(90)가 서냉점 근방까지 냉각되는 공간의 적어도 일부에 있어서, 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f)가 설치된다. 냉각 속도 제어 부재를 끼워서 유리 시트(90)의 반대측에 있는 후방 냉각 공간(422)은 유리 시트(90)의 진행 방향을 따라 배치되어 있는 냉각실(422a 내지 422f)로 구성된다. 냉각실(422a 내지 422f)은 냉각기(51a 내지 51f)에 의해 냉각된다. 냉각기(51b)는, 단열판(52b)과, 냉매관(53b)을 갖는다. 단열판(52b)은 냉각실(422b)과, 진행 방향을 따라 냉각실(422b)에 인접하는 공간과의 사이의 열 이동을 억제한다. 냉매관(53b)은 액체 냉매가 내부에 흐름으로써 냉각실을 냉각한다.

Description

유리 기판의 제조 방법 및 냉각기{GLASS SUBSTRATE MANUFACTURING METHOD AND A COOLER}

본 발명은 유리 기판의 제조 방법 및 냉각기에 관한 것이다.

종래, 유리 기판을 제조하는 방법으로서 오버플로우 다운드로법이 사용되고 있다. 오버플로우 다운드로법에서는, 성형체로부터 오버플로우한 용융 유리를, 성형체의 양측면을 따라서 유하시킨 후, 성형체의 하단부의 근방에서 합류시킴으로써 유리 시트가 성형된다. 성형된 유리 시트는 하방으로 연장되면서 냉각된다. 냉각된 유리 시트는 소정의 치수로 절단되어서 유리 기판이 얻어진다.

오버플로우 다운드로법에 있어서, 성형된 유리 시트를 냉각할 때에 유리 시트의 냉각 속도를 제어하기 위한 기술이 사용되고 있다. 예를 들어, 특허문헌 1(국제 공개 제2012/018072호 팸플릿)에는, 성형체의 하방의 공간에 있어서, 유리 시트의 진행 방향을 따라 복수의 냉각 속도 제어 부재를 배치하고, 냉각 속도 제어 부재 각각에 소정의 온도의 기체를 분사함으로써 유리 시트의 온도를 제어하는 방법이 개시되어 있다. 또한, 성형된 유리 시트가 최종적인 두께에 보다 신속하게 도달하도록, 특허문헌 2(일본 특허 공표 제2009-502706호 공보)에는, 성형체의 하단부로부터 이격된 직후의 유리 시트를 급속하게 냉각하는 방법이 개시되어 있다.

국제 공개 제2012/018072호 팸플릿 일본 특허 공표 제 제2009-502706호 공보

그러나, 성형체의 하단부로부터 이격된 직후의 유리 시트를 급속하게 냉각하는 경우, 특허문헌 1에 개시되어 있는 냉각 속도 제어 부재를 사용하는 방법에서는, 유리 시트를 냉각하는 능력이 불충분하다. 또한, 이 방법에서는, 냉각 속도 제어 부재에 분사되는 기체의, 유리 시트 폭 방향에 있어서의 약간의 유량차에 기인하여 유리 시트의 온도차가 발생한다. 또한, 이 방법에서는, 냉각 속도 제어 부재에 분사되는 기체의 일부가 의도하지 않게 누출되어서 유리 시트에 충돌하는 것에 기인하여 유리 시트의 온도차가 발생한다. 그리고, 유리 시트의 온도차에 의해 유리 시트의 판 두께 편차가 증가해버릴 우려가 있다.

본 발명의 목적은, 성형된 유리 시트가 냉각되는 공간에 있어서, 유리 시트와 효율적이고 또한 제어성이 우수한 열교환을 행할 수 있는 유리 기판의 제조 방법 및 열원이 존재하는 공간에 있어서, 열원과 효율적인 열교환을 행할 수 있는 냉각기를 제공하는 것이다.

본 발명에 따른 유리 기판의 제조 방법은, 성형 공정과, 냉각 공정과, 절단 공정을 구비한다. 성형 공정은, 성형체로부터 용융 유리를 오버플로우시켜서 유리 시트를 성형한다. 냉각 공정은, 성형된 유리 시트를 하방으로 연장하면서 냉각한다. 절단 공정은, 냉각된 유리 시트를 절단하여 유리 기판을 얻는다. 성형체로부터 이격된 유리 시트가 서냉점(徐冷点) 근방이 될 때까지 냉각되는 공간의 적어도 일부에서, 냉각 속도 제어 부재가 설치된다. 냉각 속도 제어 부재는, 유리 시트의 폭 방향의 중앙 영역의 표면과 대향한다. 냉각 속도 제어 부재를 끼워서 유리 시트의 반대측에 있는 후방 냉각 공간은 유리 시트의 진행 방향을 따라 배치되어 있는 냉각실로 구성된다. 냉각실의 적어도 일부는 냉각기에 의해 냉각된다. 냉각 공정에서는, 유리 시트는 냉각실에 접하는 냉각 속도 제어 부재와 대향하면서 진행 방향을 따라 이동함으로써, 단계적 또는 연속적으로 냉각된다. 냉각기의 적어도 일부는 단열판과 냉매관을 갖는다. 단열판은 냉각실과, 진행 방향을 따라 냉각실에 인접하는 공간과의 사이의 열 이동을 억제한다. 냉매관은 액체 냉매가 내부에 흐름으로써 냉각실을 냉각한다.

이 유리 기판의 제조 방법에서는, 성형체의 하단부로부터 이격된 직후의 유리 시트는 냉각기에 의해 서냉점 근방까지 급냉된다. 냉각기는, 단열판과 냉매관으로 구성된다. 단열판은 유리 시트의 진행 방향, 즉, 연직 방향을 따라, 후방 냉각 공간을 복수의 냉각실로 구획하기 위한 격벽이다. 냉매관은 내부에 흐르는 액체 냉매와, 단열판에 의해 이격된 2개의 공간의 한쪽과의 사이에 있어서, 복사열 전달 및 자연 대류 열전달에 의한 효율적인 열교환을 행한다. 냉각기는, 냉매관 내부의 액체 냉매의 유량을 조절하거나, 액체 냉매의 온도를 변경하거나 함으로써 열교환량을 제어할 수 있다. 또한, 냉각 속도 조정 가능 범위를 보다 확대하고자 하는 경우에는, 냉매관의 왕복 횟수를 증감하여 냉매관의 표면적을 변경하거나, 냉매관에 공급되는 액체 냉매의 온도를 변경할 필요가 있다.

따라서, 이 유리 기판의 제조 방법은, 성형된 유리 시트가 냉각되는 공간에 있어서, 유리 시트와 효율적이고 또한 제어성이 우수한 열교환을 행할 수 있다.

또한, 냉각 공정은, 제1 냉각 공정과 제2 냉각 공정을 갖는 것이 바람직하다. 제1 냉각 공정에서는, 유리 시트의 중앙 영역의 온도가 서냉점이 될 때까지, 제1 평균 냉각 속도로 유리 시트가 냉각된다. 제2 냉각 공정에서는, 유리 시트의 중앙 영역의 온도가 서냉점부터 변형점보다 50℃ 낮은 온도가 될 때까지 제2 평균 냉각 속도로 유리 시트가 냉각된다. 제1 평균 냉각 속도는 제2 평균 냉각 속도보다 큰 것이 바람직하다.

제1 냉각 공정에서는, 유리 시트의 중앙 영역의 온도가 1200℃ 내지 서냉점이며, 열수축률의 영향이 작다. 이 온도 영역에서는, 유리 분자가 용이하게 이동하므로, 변형이 발생하기 어렵다. 한편, 제2 냉각 공정에서는, 유리 시트의 중앙 영역의 온도가 서냉점 내지 변형점 근방이며, 열수축률의 영향이 크므로, 가능한 한 천천히 냉각하는 것이 바람직하다. 이 온도 영역에서는, 제1 냉각 공정과 비교하여, 유리 분자의 이동에 필요로 하는 시간이 길어 변형이 발생하기 쉽다. 따라서, 제1 평균 냉각 속도는 제2 평균 냉각 속도보다 큰 것이 바람직하다.

또한, 냉각 공정에서는, 냉각 속도 제어 부재에 의해, 진행 방향에 있어서의 유리 시트의 냉각 속도가 제어되는 것이 바람직하다. 냉각 속도 제어 부재는, 유리 시트의 폭 방향의 온도를 균일하게 할 수 있다.

또한, 성형체로부터 이격된 유리 시트가 냉각되는 공간에 있어서, 유리 시트의 폭 방향의 단부를 냉각하는 단부 냉각 장치가 설치되는 것이 바람직하다. 냉각 공정에서는, 단부 냉각 장치에 의해, 유리 시트의 단부가 유리 시트의 중앙 영역보다도 큰 속도로 냉각되도록 유리 시트가 냉각된다. 단부 냉각 장치는 유리 시트의 폭 방향의 수축을 억제할 수 있다.

또한, 냉각 속도 제어 부재의, 유리 시트의 대향면과는 반대측의 면에는, 유리 시트의 폭 방향을 따라서 보온 부재가 설치되는 것이 바람직하다. 냉각 공정에서는, 보온 부재에 의해 유리 시트의 폭 방향의 두께 및/또는 휨이 제어된다.

또한, 냉각 공정에서는, 유리 시트의 중앙 영역의 온도가 연화점 근방이 될 때까지의 공간의 적어도 일부에 있어서, 보온 부재의 치수의 변경에 의해, 유리 시트의 폭 방향의 판 두께 분포에 따라 유리 시트의 두께가 제어되는 것이 바람직하다.

냉각 공정에 있어서, 보온 부재를 사용함으로써, 유리 시트의 폭 방향의 온도 분포를 제어할 수 있다. 이에 의해, 냉각 공정에 있어서, 유리 시트의 판 두께 편차 및 휨을 저감하기 위하여 적합한 유리 시트의 온도 분포를 실현할 수 있다.

또한, 냉각 공정에서는, 유리 시트의 두께가 제어된 후, 보온 부재의 치수의 변경에 의해, 유리 시트의 중앙 영역으로부터 단부를 향하여, 유리 시트의 온도가 단계적 또는 연속적으로 내려가는 온도 프로파일이 형성되고, 평면도가 소정의 범위 내로 되도록 유리 시트의 휨이 제어되는 것이 바람직하다.

본 발명에 따른 냉각기는, 공간을 냉각하기 위한 냉각기로서, 단열판과, 냉매관을 구비한다. 단열판은 공간을 복수의 냉각실로 분할하고, 또한, 인접하는 냉각실의 사이의 열 이동을 억제한다. 냉매관은 액체 냉매가 내부에 흐름으로써 냉각실을 냉각한다.

이 냉각기에서는, 냉매관은, 내부에 흐르는 액체 냉매와, 단열판에 의해 이격된 2개의 공간의 한쪽과의 사이에 있어서, 복사열 전달 및 자연 대류 열전달에 의한 효율적인 열교환을 행한다. 이 냉각기는, 냉매관 내부의 액체 냉매의 유량을 조절하거나, 액체 냉매의 온도를 변경하거나 하는 것 및 냉매관의 왕복 횟수를 변경하여 냉매관의 표면적을 변경함으로써, 열교환량을 제어할 수 있다.

따라서, 이 냉각기는, 열원이 존재하는 공간에 있어서, 열원과 효율적이고 또한 제어성이 우수한 열교환을 행할 수 있다.

또한, 냉매관은, 그 외경 이상의 간격을 두고 복수회 왕복하도록 배치되고, 또한, 왕복하는 냉매관이 열로 이루어지는 평면인 관 평면을 형성하는 것이 바람직하다. 단열판은 냉각실의 벽면의 내의 일면을 구성하고, 또한, 관 평면에 평행하게 및 관 평면에 접하면서, 냉매관의 열의 상에 그 자중(自重)을 걸쳐서 설치된다.

이 냉각기는, 주위의 분위기와 접촉하는 냉각관의 표면적을 크게 취할 수 있으므로, 열원이 존재하는 공간에 있어서, 열원과 보다 효율적인 열교환을 행할 수 있다. 또한, 냉각관의 연직 방향의 치수가 작기 때문에, 이 냉각기는, 설치 스페이스의 연직 방향의 치수가 제한되어 있는 경우에 있어서도, 열교환 효율을 저하 시키지 않고 설치할 수 있다.

또한, 냉각기는, 그 양단부가 지지된 상태에 있어서의, 길이 방향의 중앙부의 자중에 의한 휨량이, 길이 방향의 길이에 관계없이 20 mm 이하인 강성을 갖는 것이 바람직하다. 그로 인해, 이 냉각기는, 그 길이 방향의 중앙부에 있어서의 지지를 필요로 하지 않는다.

본 발명에 따른 유리 기판의 제조 방법은, 성형된 유리 시트가 냉각되는 공간에 있어서, 유리 시트와 효율적이고 또한 제어성이 우수한 열교환을 행할 수 있다. 본 발명에 따른 냉각기는, 열원이 존재하는 공간에 있어서, 열원과 효율적인 열교환을 행할 수 있다.

도 1은 본 실시 액체에 관한 유리 기판 제조 장치의 개략 구성도이다.
도 2는 성형 장치의 정면도이다.
도 3은 도 2의 III-III선에 있어서의, 성형 장치의 단면도이다.
도 4는 냉각 속도 제어 부재의 외관도이다.
도 5는 냉각 속도 제어 부재의 근방에 있어서의 도 2의 확대도이다.
도 6은 단부 냉각 장치의 외관도이다.
도 7은 냉각기의 외관도이다.
도 8은 냉각기의 측면도이다.
도 9는 변형예 A에 관한 냉각기의 상면도이다.
도 10은 변형예 A에 관한 냉각기의 측면도이다.

(1) 유리 기판 제조 장치의 전체 구성

본 발명에 따른 유리 기판의 제조 방법 및 냉각기의 실시 형태에 대해서, 도면을 참조하면서 설명한다. 도 1은, 본 실시 형태에서 사용되는 유리 기판 제조 장치(100)의 개략 구성도이다. 유리 기판 제조 장치(100)는 도 1에 도시하는 바와 같이, 용해조(200)와, 청징조(300)와, 성형 장치(400)로 구성된다. 용해조(200)에서는, 유리 원료가 가열되어서 용해 유리가 생성된다. 청징조(300)에서는, 용해조(200)에서 생성된 용융 유리에 포함되는 기포가 제거된다. 성형 장치(400)에서는, 청징조(300)에서 기포가 제거된 용융 유리로부터, 오버플로우 다운드로법에 의해, 유리 시트가 연속적으로 성형된다. 성형된 유리 시트는 소정의 치수로 절단되어 제품 크기의 유리 기판이 얻어진다. 유리 기판은, 단부면 가공 공정, 세정 공정 및 검사 공정 등을 거쳐서, 곤포되어서 출하된다.

유리 기판 제조 장치(100)에 의해 제조되는 유리 기판은, 액정 디스플레이, 플라즈마 디스플레이 및 유기 EL 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이(FPD)의 제조에 사용된다. 이 유리 기판은, 예를 들어 0.2 mm 내지 0.8 mm의 두께를 갖고, 또한, 세로 680 mm 내지 2200 mm 및 가로 880 mm 내지 2500 mm의 치수를 갖는다.

(2) 성형 장치의 상세 구성

도 2는, 성형 장치(400)의 정면도이다. 도 2는, 성형 장치(400)에 의해 성형되는 유리 시트(90)의 표면에 수직인 방향을 따라 본, 성형 장치(400)의 외관도이다. 도 3은 도 2의 III-III선에 있어서의, 성형 장치(400)의 단면도이다. 성형 장치(400)는 주로, 성형체(10)와, 상부 구획 부재(20)와, 냉각 롤러(30)와, 냉각 유닛(40)과, 냉각기(51a 내지 51f)와, 하부 구획 부재(60)와, 끌어내리기 롤러(70)와, 제어 장치(도시하지 않음)로 구성된다.

(2-1) 성형체

성형체(10)는 도 3에 도시된 바와 같이, 대략 쐐기 형상 또한 오각형의 단면 형상을 갖는다. 성형체(10)는 내화 벽돌로 성형되고, 또한, 상부 구획 부재(20)의 상방의 공간인 성형체 수용 공간(410)에 설치된다. 성형체(10)는 대략 쐐기 형상의 단면 형상의 첨단이 하단부에 위치하도록 설치된다.

성형체(10)의 상단부면에는, 성형체(10)의 길이 방향을 따라 홈(12)이 형성되어 있다. 성형체(10)의 길이 방향의 단부에는, 홈(12)과 연통하고 있는 유리 공급관(14)이 설치되어 있다. 홈(12)은 유리 공급관(14)과 연통하고 있는 한쪽의 단부로부터 다른 쪽의 단부로 향함에 따라 서서히 얕아지게 형성되어 있다.

청징조(300)로부터 보내져 온 용융 유리는 유리 공급관(14)을 경유하여, 홈(12)에 유입된다. 성형체(10)의 홈(12)으로부터 오버플로우한 용융 유리(80)는 성형체(10)의 양측면을 타면서 유하하고, 성형체(10)의 하단부의 근방에 있어서 합류한다. 합류한 용융 유리(80)는 유리 시트(90)가 된다. 유리 시트(90)는 연속적으로 성형되고, 상부 구획 부재(20)의 하방, 또한, 하부 구획 부재(60)의 상방의 공간인 냉각 공간(420)에 있어서, 유하하면서 냉각된다.

(2-2) 상부 구획 부재

상부 구획 부재(20)는 성형체(10)의 하단부의 근방에 설치되는 한 쌍의 판상의 단열 부재이다. 상부 구획 부재(20)는 도 3에 도시된 바와 같이, 유리 시트(90)의 두께 방향의 양측에 설치된다. 상부 구획 부재(20)는 성형체 수용 공간(410)과 냉각 공간(420)을 연직 방향으로 구획한다. 성형체 수용 공간(410)은 성형체(10)가 설치되는 공간이다. 냉각 공간(420)은 유리 시트(90)가 유하하면서 냉각되는 공간이다. 상부 구획 부재(20)는 성형체 수용 공간(410)으로부터 냉각 공간(420)으로의 열의 이동을 차단한다.

(2-3) 냉각 롤러

냉각 롤러(30)는 냉각 공간(420)을 유하하는 유리 시트(90)를 급냉하기 위한 부재이다. 냉각 롤러(30)는 도 2에 도시된 바와 같이, 유리 시트(90)의 폭 방향의 양단부를 냉각한다. 냉각 롤러(30)는 도 3에 도시된 바와 같이, 유리 시트(90)의 두께 방향의 양측에 설치된다. 따라서, 유리 시트(90)는 그 폭 방향의 양단부를, 2대의 냉각 롤러(30)에 의해 끼워져서 급냉된다.

(2-4) 냉각 유닛

냉각 유닛(40)은 냉각 공간(420)을 유하하는 유리 시트(90)의 냉각 속도를 조절하면서, 유리 시트(90)를 서냉점 근방까지 냉각하는 유닛이다. 여기서, 서냉점 근방은, 유리 시트(90)의 서냉점에 100℃를 더한 온도부터, 유리 시트(90)의 변형점과 유리 시트(90)의 서냉점을 더해서 2로 제산한 온도까지의 온도 영역이다. 냉각 유닛(40)은 유리 시트(90)의 유하 방향을 따라, 유리 시트(90)를 단계적 또는 연속적으로 냉각하도록 제어된다. 냉각 유닛(40)은 주로, 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f)와, 단부 냉각 장치(42)와, 보온 부재(43)를 갖고 있다.

(2-4-1) 냉각 속도 제어 부재

본 실시 형태에서는, 도 3에 도시된 바와 같이, 6대의 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f)가 상부 구획 부재(20)의 하방의 냉각 공간(420)에 설치되어 있다. 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f)는 유리 시트(90)의 유하 방향, 즉, 연직 방향을 따라서 설치되어 있다. 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f)는 연직 방향에 간극 없이 배열되어 있다. 또한, 연직 방향으로 배치되는 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f)의 수는, 성형 장치(400)의 치수 및 유리 시트(90)의 서냉점 근방까지의 냉각 공정에 있어서 설정하고자 하는, 서로 다른 냉각 속도 패턴의 수 등에 따라 적절하게 결정되어도 된다.

냉각 속도 제어 부재(41a)는 6개의 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f) 중, 유리 시트(90)의 유하 방향에 대하여 가장 상류에 설치되어 있다. 냉각 속도 제어 부재(41f)는 6개의 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f) 중, 유리 시트(90)의 유하 방향에 대하여 가장 하류에 설치되어 있다. 냉각 속도 제어 부재(41a)는 상부 구획 부재(20)의 하방에 인접하여 설치되고, 냉각 속도 제어 부재(41f)는 대략 하부 구획 부재(60)의 상방에 설치되어 있다. 각 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f)는 동일한 구성을 갖고 있다. 이어서, 냉각 속도 제어 부재(41a)를 예로 하여, 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f)의 구성에 대하여 설명한다.

한 쌍의 냉각 속도 제어 부재(41a)는 유리 시트(90)의 양쪽 표면의 근방에 각각 설치되어 있다. 냉각 속도 제어 부재(41a)는 유리 시트(90)의 폭 방향, 즉, 수평 방향으로 연장하고 있는 부재이다. 냉각 속도 제어 부재(41a)는 도 2에 도시된 바와 같이, 유리 시트(90)의 폭 방향의 중앙 영역(90a)의 표면과 대향하는 위치에 설치되어 있다. 이하, 유리 시트(90)의 중앙 영역(90a)은 판 두께를 균일하게 하는 대상의 부분을 포함하는 영역이며, 유리 시트(90)의 단부(90b)는 제조 후에 절단되는 대상의 부분을 포함하는 영역이다. 냉각 속도 제어 부재(41a)의 길이 방향의 길이는, 유리 시트(90)의 폭 방향의 길이 보다도 짧다.

도 4는, 냉각 속도 제어 부재(41a)의 일부의 외관도이다. 냉각 속도 제어 부재(41a)는 절곡 가공된 판상의 금속 부재이다. 이 금속 부재는, 대기 중에서 600℃ 이상의 내열성을 갖고, 적어도 30 W/m·K 이상의 열전도율을 갖고, 사용 온도 영역에서 0.85 이상의 방사율 특성을 갖는 것이 바람직하다. 냉각 속도 제어 부재(41a)의 금속 부재는, 예를 들어 순 니켈이다.

냉각 속도 제어 부재(41a)는 도 4에 도시된 바와 같이, 절곡부(62a)와 주부(63a)를 갖는 채널(홈형 강)이다. 절곡부(62a)는 냉각 속도 제어 부재(41a)의 연직 방향의 양단부에 위치하고, 금속 부재가 절곡되어서 형성된 수평부이다. 주부(63a)는 절곡부(62a) 이외의 연직부이다. 주부(63a)는 유리 시트(90)에 대향하는 면을 갖고 있다. 주부(63a)의 연직 방향의 치수 h는, 예를 들어 50 mm 내지 250 mm이다. 주부(63a)는 예를 들어 4 mm 이상의 두께 t를 갖는 것이 바람직하다. 절곡부(62a)의 수평 방향의 치수 w는, 예를 들어 40 mm 내지 90 mm이다.

도 5는, 냉각 속도 제어 부재(41a)의 근방에 있어서의 도 2의 확대도이다. 도 5에서는, 단부 냉각 장치(42)가 생략되어 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 냉각 속도 제어 부재(41a)는 연직 방향에 인접하고 있는 냉각 속도 제어 부재(41b)와 나사 고정에 의해 연결되어 있다. 구체적으로는, 냉각 속도 제어 부재(41a)의 하측의 절곡부(62a)는 냉각 속도 제어 부재(41b)의 상측의 절곡부(62b)와 나사 고정에 의해 연결되어 있다. 마찬가지로, 냉각 속도 제어 부재(41b)의 하측의 절곡부(62b)는 냉각 속도 제어 부재(41c)의 상측의 절곡부(62c)와 나사 고정에 의해 연결되어 있다.

도 3에 있어서, 후방 냉각 공간(422)은 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f)를 끼우고, 유리 시트(90)의 반대측에 있는 공간이다. 즉, 후방 냉각 공간(422)은 유리 시트(90)측으로부터 보아, 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f)의 후방에 있는 공간이다. 후방 냉각 공간(422)은 냉각 공간(420)의 일부이다. 냉각 공간(420)에 있어서, 후방 냉각 공간(422)은 후방 냉각 공간(422) 이외의 공간과 구획되어 있다. 구체적으로는, 유리 시트(90)의 폭 방향에 있어서의, 후방 냉각 공간(422)의 양측부는, 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f)와 같은 형상을 갖는 채널 등의 부재에 의해 구획되고 있다. 후방 냉각 공간(422)의, 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f)와 대향하는 측부는, 성형 장치(400)의 내벽이나 단열 부재에 의해 구획되고 있다. 후방 냉각 공간(422)의 상부 및 하부는, 각각, 냉각기(51a) 및 하부 구획 부재(60)에 의해 구획되고 있다. 후방 냉각 공간(422)은 냉각기(51b 내지 51f)에 의해, 유리 시트(90)의 진행 방향을 따라, 복수의 냉각실(422a 내지 422f)로 분할되어 있다.

(2-4-2) 단부 냉각 장치

단부 냉각 장치(42)는 냉각 공간(420)에 있어서, 유리 시트(90)의 폭 방향의 양단부를 냉각하는 유닛이다. 단부 냉각 장치(42)는 도 2에 도시된 바와 같이, 유리 시트(90)의 폭 방향의 양단부(90b)에 있어서, 유리 시트(90)의 양쪽 표면과 대향하는 위치에 설치되어 있다. 단부 냉각 장치(42)는 유리 시트(90)의 폭 방향에 있어서, 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f)의 양측에 설치되어 있다. 또한, 도 2에 도시된 바와 같이, 복수의 단부 냉각 장치(42)가 유리 시트(90)의 유하 방향을 따라서 설치되어 있다.

도 6은 단부 냉각 장치(42)의 외관도이다. 단부 냉각 장치(42)는 주로, 수냉판(42a)과, 급수관(42b)과, 배수관(42c)으로 구성되어 있다. 수냉판(42a)은 열전도율이 비교적 높고, 내산화성 및 내열성이 우수한 부재로 구성되어 있다. 본 실시 형태에서는, 수냉판(42a)은 스테인리스로 성형되어 있다. 수냉판(42a)은 냉각수가 흐르는 유로를 내부에 갖고 있다. 급수관(42b) 및 배수관(42c)은 수냉판(42a)의 유로와 연통하고 있다. 수냉판(42a)은 유리 시트(90)의 표면과 대응하는 표면을 갖고 있다. 단부 냉각 장치(42)는 유리 시트(90)에 대하여 근접 또는 이반시킬 수 있는 구조를 갖고 있다.

냉각수는 급수관(42b)을 통하여 수냉판(42a)의 유로에 공급된다. 수냉판(42a)의 유로를 통과하여 따뜻하게 데워진 냉각수는 배수관(42c)으로부터 배출된다. 유리 시트(90)의 폭 방향의 양단부(90b)는 수냉판(42a)으로부터의 복사열 전달에 의해 냉각된다.

냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f) 및 단부 냉각 장치(42)에 의해, 유리 시트(90)의 양단부(90b)는 유리 시트(90)의 중앙 영역(90a)보다도 큰 속도로 냉각된다. 이에 의해, 단부 냉각 장치(42)는 유리 시트(90)의 폭 방향의 수축을 억제함과 함께, 유리 시트(90)의 폭 방향에 필요한 온도 분포를 형성할 수 있다.

(2-4-3) 보온 부재

보온 부재(43)는 도 5에 도시하는 바와 같이, 냉각 속도 제어 부재(41a)의 하측의 절곡부(62a)에 고정되어 있다. 즉, 보온 부재(43)는 후방 냉각 공간(422)에 설치되어 있다. 냉각 속도 제어 부재(41a)는 그 길이 방향을 따라, 복수의 보온 부재(43)가 설치되어 있다. 보온 부재(43)는 유리 시트(90)의 중앙 영역(90a)의 온도가 연화점 근방이 될 때까지의 공간의 적어도 일부에 있어서, 유리 시트(90)의 부피 분포 형상에 따라, 유리 시트(90)의 폭 방향에 있어서 간헐적으로, 또한, 불규칙하게 배치되어 있다. 여기서, 연화점 근방은, 유리 시트(90)의 연화점에 100℃를 더한 온도로부터, 유리 시트(90)의 연화점으로부터 100℃를 뺀 온도까지의 온도 영역이다. 보온 부재(43)는 유리 시트(90)의 중앙 영역(90a)의 온도가 연화점보다 낮은 공간에 있어서, 유리 시트(90)의 폭 방향의 중앙 영역(90a)으로부터 양단부(90b)를 향하여 유리 시트(90)의 온도가 단계적 또는 연속적으로 내려가는 온도 프로파일을 형성하기 위해서, 유리 시트(90)의 폭 방향에 있어서 대략 규칙적으로, 또한, 간극 없이 배치되어 있다. 다른 냉각 속도 제어 부재(41b 내지 41f) 각각도, 냉각 속도 제어 부재(41a)와 마찬가지로, 복수의 보온 부재(43)가 설치되어 있다.

보온 부재(43)는 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f)로부터의 방열을 억제한다. 보온 부재(43)는 예를 들어 세라믹 섬유 보드 및 블랭킷이다. 보온 부재(43)에 의해, 유리 시트(90)의 두께 및 휨이 제어된다. 예를 들어, 유리 시트(90)의 폭 방향의 중앙 영역(90a)의 온도가 연화점 근방까지 냉각되는 공간의 적어도 일부에 있어서, 보온 부재(43)의 치수를 적절하게 조절함으로써, 유리 시트(90)의 폭 방향의 판 두께 분포에 따라 유리 시트(90)의 두께가 제어된다.

또한, 보온 부재(43)를 사용함으로써, 유리 시트(90)의 폭 방향의 온도 분포를 제어할 수 있다. 이에 의해, 유리 시트(90)의 판 두께 편차 및 휨을 저감하기 위하여 적합한 유리 시트(90)의 온도 분포를 실현할 수 있다.

또한, 보온 부재(43)의 치수를 적절하게 조절함으로써, 유리 시트(90)의 중앙 영역(90a)으로부터 양단부(90b)를 향하여, 유리 시트(90)의 온도가 단계적 또는 연속적으로 내려가는 온도 프로파일을 형성할 수 있다. 이에 의해, 평면도가 소정의 범위 내로 되도록 유리 시트(90)의 휨이 제어된다. 이러한 온도 프로파일을 형성하기 위해서는, 예를 들어 냉각 속도 제어 부재(41b 내지 41f)의 길이 방향의 중앙부에 설치되는 보온 부재(43)를 양단부에 설치되는 보온 부재(43)보다도 두껍게 하거나 높게 하거나 한다.

(2-5) 냉각기

냉각기(51a 내지 51f)는 유리 시트(90)의 진행 방향을 따라, 후방 냉각 공간(422)을 연직 방향으로 분할하는 부재이다. 한 쌍의 후방 냉각 공간(422) 각각은, 도 3에 도시된 바와 같이, 5개의 냉각기(51b 내지 51f)에 의해, 6개의 냉각실(422a 내지 422f)로 분할되어 있다. 냉각실(422a 내지 422f)은 각각, 유리 시트(90)측으로부터 보아, 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f)의 후방에 있는 공간이다. 냉각실(422a)은 6개의 냉각실(422a 내지 422f) 중, 유리 시트(90)의 유하 방향에 대하여 가장 상류에 위치하고 있다. 냉각실(422f)은 6개의 냉각실(422a 내지 422f) 중, 유리 시트(90)의 유하 방향에 대하여 가장 하류에 위치하고 있다. 또한, 냉각실(422a 내지 422f)의 적어도 일부가 냉각기(51a 내지 51f)에 의해 냉각되어 있으면 된다.

도 3에 도시된 바와 같이, 냉각기(51a)는 냉각 속도 제어 부재(41a)의 상측의 절곡부(62a)의 높이 위치에 설치되어 있다. 냉각기(51b)는 냉각 속도 제어 부재(41a)와 냉각 속도 제어 부재(41b)의 사이의 높이 위치에 설치되어 있다. 즉, 냉각기(51b)는 냉각 속도 제어 부재(41a)에 대응하는 냉각실(422a)과, 냉각 속도 제어 부재(41b)에 대응하는 냉각실(422b)과의 사이의 높이 위치에 설치되어 있다. 마찬가지로, 냉각기(51c)는 냉각 속도 제어 부재(41b)와 냉각 속도 제어 부재(41c)의 사이의 높이 위치에 설치되어 있다. 즉, 냉각기(51c)는 냉각 속도 제어 부재(41b)에 대응하는 냉각실(422b)과, 냉각 속도 제어 부재(41c)에 대응하는 냉각실(422c)의 사이의 높이 위치에 설치되어 있다. 다른 냉각기(51d 내지 51f)에 대해서도 마찬가지이다.

냉각실(422a)은 냉각 속도 제어 부재(41a), 냉각기(51a) 및 냉각기(51b)에 의해 둘러싸이고, 냉각실(422b)은 냉각 속도 제어 부재(41b), 냉각기(51b) 및 냉각기(51c)에 의해 둘러싸여 있다. 냉각실(422c 내지 422e)에 대해서도 마찬가지이다. 냉각실(422f)은 냉각 속도 제어 부재(41f), 냉각기(51f) 및 하부 구획 부재(60)에 의해 둘러싸여 있다.

각 냉각기(51a 내지 51f)는 동일한 구성을 갖고 있다. 이어서, 냉각기(51b)의 구성에 대하여 설명한다. 또한, 이하의 설명은, 다른 냉각기(51a, 51c 내지 51f)에도 적용 가능하다. 냉각기(51b)는, 주로, 단열판(52b)과, 냉매관(53b)과, 지지부(54b)로 구성된다. 도 7은, 냉각기(51b)를 하방으로부터 본 외관도이다. 도 8은, 냉각기(51b)의 측면도이다.

(2-5-1) 단열판

단열판(52b)은 유리 시트(90)의 폭 방향에 있어서, 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f)와 거의 동일한 길이를 갖고 있다. 단열판(52b)은 냉각기(51b)에 의해 이격되어 있는 냉각실(422a)과 냉각실(422b) 사이의 열의 이동을 억제한다.

단열판(52b)은 냉각기(51b)의 상부에 설치된다. 즉, 도 7은, 후방 냉각 공간(422)에 설치되는 냉각기(51b)를 하방으로부터 본 외관도이다. 단열판(52b)의 길이 방향은, 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f)의 길이 방향 및 유리 시트(90)의 폭 방향과 평행하다. 단열판(52b)은 0.07 ㎡·K/W 이상의 열저항을 갖는 것이 바람직하다.

(2-5-2) 냉매관

냉매관(53b)은 냉각기(51b)의 하부에 설치된다. 냉매관(53b)은 내부에 냉각수가 흐르는 관이다. 냉매관(53b)은 단열판(52b)의 하면에 설치된다. 냉매관(53b)은 주로, 복수의 각관(角管)(91)과, 복수의 롱 엘보(92)와, 유입관(93)과, 유출관(94)으로 구성된다. 본 실시 형태에서는, 도 7에 도시된 바와 같이, 냉매관(53b)은 4개의 각관(91)과, 3개의 롱 엘보(92)를 갖고 있다. 또한, 각관(91), 롱 엘보(92), 유입관(93) 및 유출관(94)으로서는, 시판하고 있는 스테인리스 파이프 및 구리 파이프 등이 사용된다. 각관(91)은 대략 정사각형의 단면 형상을 갖는다. 롱 엘보(92), 유입관(93) 및 유출관(94)은 대략 원형의 단면 형상을 갖는다.

4개의 각관(91)은 단열판(52b)의 길이 방향을 따라 단열판(52b)의 하면에 설치되어 있다. 4개의 각관(91)은 소정의 간격을 두고, 서로 평행하게 설치되어 있다. 인접하는 각관(91) 사이의 간격은 각관(91)의 외경 이상이다. 롱 엘보(92)는 도 7에 도시된 바와 같이, 인접하는 각관(91)의 단부끼리를 연결하는 U자형의 관이다. 유입관(93) 및 유출관(94)은 단열판(52b)의 양단에 설치되어 있는 2개의 각관(91)의 단부에 연결되어 있다. 유입관(93) 및 유출관(94)에 연결되어 있지 않은 2개의 각관(91)은 그 양단부에 있어서, 서로 다른 2개의 각관(91)과, 롱 엘보(92)로 연결되어 있다. 롱 엘보(92)의 단면적은, 유입관(93) 및 유출관(94)의 단면적과 거의 동등하다. 각관(91)의 단면적은 유입관(93) 및 유출관(94)의 단면적의 4배 미만이다.

냉매관(53b)의 내부에 흐르는 물은, 유입관(93)으로부터 공급되어서, 각관(91) 및 롱 엘보(92)를 교대로 흘러서, 유출관(94)으로부터 배출된다. 냉매관(53b) 내부에 흐르는 물은, 도 7에 도시된 바와 같이, 단열판(52b)의 길이 방향에 있어서, 복수회 왕복한다.

(2-5-3) 지지부

지지부(54b)는 냉각기(51b)의 양측부에 설치된다. 한 쌍의 지지부(54b)는 각각, 4개의 각관(91)의 단부에 연결되어 있다. 각관(91)은 도 8에 도시된 바와 같이, 열전 시멘트(96)에 의해 지지부(54b)에 고착되어 있다. 4개의 각관(91)의 상단부면은, 도 8에 도시된 바와 같이, 관 평면(95)에 포함된다. 관 평면(95)은 4개의 각관(91)의 상단부면을 포함하는 가상 상의 평면이다. 관 평면(95)은 단열판(52b)의 하면과 평행한 평면이다. 단열판(52b)은 관 평면(95)과 접한 상태에서, 4개의 각관(91)의 상단부면에 그 자중을 걸쳐서 지지되어 있다. 즉, 4개의 각관(91)의 상단부면은, 단열판(52b)의 하면과 접착되는 면이다.

지지부(54b)는 냉각 공간(420)을 구성하는 벽면에 고정되어 있다. 냉각기(51b)는 한 쌍의 지지부(54b)에 의해, 그 양단부가 지지된 상태에서, 후방 냉각 공간(422)에 설치되어 있다. 냉각기(51b)는, 그 길이 방향의 중앙부의 자중에 의한 휨량이 20 mm 이하인 강성을 갖고 있다.

(2-6) 하부 구획 부재

하부 구획 부재(60)는 냉각 유닛(40)의 하방에 설치되는 판상의 단열 부재이다. 하부 구획 부재(60)는 도 3에 도시된 바와 같이, 유리 시트(90)의 두께 방향의 양측에 설치된다. 하부 구획 부재(60)는 냉각 공간(420)과, 냉각 공간(420)의 하방의 서냉 공간(430)을 연직 방향으로 구획한다. 하부 구획 부재(60)는 냉각 공간(420)으로부터 서냉 공간(430)으로의 열의 이동을 차단한다.

(2-7) 끌어내리기 롤러

끌어내리기 롤러(70)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 서냉 공간(430)에 설치되어, 유리 시트(90)를 끌어내리기 위한 부재이다. 서냉 공간(430)은 유리 시트(90)가 끌어내리기 롤러(70)에 의해 끌어내려지면서 서서히 냉각되는 공간이다. 끌어내리기 롤러(70)는 유리 시트(90)의 두께 방향의 양측 및 유리 시트(90)의 폭 방향의 양단부에 설치되어 있다. 끌어내리기 롤러(70)는 모터 구동에 의해 회전한다. 끌어내리기 롤러(70)의 회전에 의해, 유리 시트(90)는 끌어내려진다.

유리 시트(90)의 중앙 영역(90a)의 온도가 서냉점이 될 때까지의 유리 시트(90)의 평균 냉각 속도는 유리 시트(90)의 중앙 영역(90a)의 온도가 서냉점부터 변형점보다 50℃ 낮은 온도가 될 때까지의 유리 시트(90)의 평균 냉각 속도보다 크다. 유리 시트(90)의 중앙 영역(90a)의 온도가 서냉점이 될 때까지 냉각되는 공간은 냉각 공간(420)이다. 유리 시트(90)의 중앙 영역(90a)의 온도가 서냉점부터 변형점보다 50℃ 낮은 온도가 될 때까지 냉각되는 공간은 서냉 공간(430)의 일부의 공간이다.

(2-8) 제어 장치

제어 장치는, 주로, CPU, RAM, ROM 및 하드 디스크 등으로 구성된다. 제어 장치는, 냉각 롤러(30), 단부 냉각 장치(42), 냉각기(51a 내지 51f) 및 끌어내리기 롤러(70) 등과 접속되어 있다. 제어 장치는, 예를 들어 냉각 롤러(30) 및 끌어내리기 롤러(70)의 회전 속도를 조절한다. 제어 장치는, 예를 들어 단부 냉각 장치(42)의 수냉판(42a)을 통과하는 냉각수의 유량을 조절한다. 제어 장치는, 예를 들어 냉각기(51a)의 냉매관(53a)을 통과하는 냉각수의 유량을 조절한다.

(3) 유리 기판 제조 장치의 동작

성형체(10)의 홈(12)으로부터 오버플로우한 용융 유리(80)는 성형체(10)의 양측면을 타고 유하하고, 성형체(10)의 하단부의 근방에서 합류한다. 합류한 용융 유리(80)는 유리 시트(90)가 된다. 유리 시트(90)는 연속적으로 성형되고, 냉각 공간(420) 및 서냉 공간(430)을 유하하면서 냉각된다.

냉각 공간(420)에서는, 처음에, 냉각 롤러(30)에 의해, 유리 시트(90)의 폭 방향의 양단부가 급냉된다. 이어서, 냉각 유닛(40)에 의해, 유리 시트(90)의 냉각 속도가 조절되면서, 유리 시트(90)가 서냉점 근방까지 냉각된다. 서냉 공간(430)에서는, 유리 시트(90)는 끌어내리기 롤러(70)에 의해 끌어내려지면서 서서히 냉각된다. 냉각된 유리 시트(90)는 소정의 치수로 절단되어서, 제품 크기의 유리 기판이 얻어진다.

(4) 유리 기판 제조 장치의 특징

(4-1)

본 실시 형태에 따른 냉각기(51b)(이하, 다른 냉각기(51a, 51c 내지 51f)에 대해서도 마찬가지임)에서는, 각관(91)의 단면적은, 롱 엘보(92), 유입관(93) 및 유출관(94)의 단면적의 4배 미만이고, 유입관(93)과 각관(91)의 연결부, 각관(91)과 롱 엘보(92)의 연결부 및 각관(91)과 유출관(94)의 연결부에 있어서, 냉매관(53b)의 유로 단면적의 변화율이, 소정의 값 미만으로 억제되어 있다. 즉, 냉매관(53b)의 유로 전체는, 유로 단면적이 급격하게 확대되는 부분 및 유로 단면적이 급격하게 축소되는 부분을 갖지 않는다.

열교환에 사용되는 액체 냉매가 내부에 흐르는 냉매관이, 유로 단면적이 급격하게 변화하는 부분을 갖고 있는 경우, 냉매관의 내부에 냉매의 흐름이 체류하는 부분이 발생한다. 냉매가 체류하는 부분에서는, 냉매관을 흐르는 냉매와, 냉매관 주위의 분위기와의 열교환 효율이 저하된다. 또한, 냉매의 청정도가 낮은 경우, 냉매가 체류하는 부분에 있어서, 냉매에 포함되는 불순물이 침강 및 퇴적되어, 냉매관이 막히는 원인이 될 가능성이 있다. 또한, 유로 단면적이 급격하게 변화하는 등, 냉매관의 유로 형상이 복잡한 경우, 냉매관에 냉매를 채우는 때에 냉매관 내부의 공기가 완전히 다 빠지지 않을 우려가 있다. 이에 의해, 냉매에 접하고 있지 않은 냉매관 벽면이 국소적으로 가열 및 산화되어, 파손될 가능성이 있다.

본 실시 형태에서는, 상술한 바와 같이, 냉매관(53b)은 유로 단면적이 급격하게 변화하는 부분을 갖지 않으므로, 냉매가 체류하는 부분의 발생이 억제된다. 그로 인해, 냉매관(53b) 내부에 흐르는 냉매와, 냉매관(53b)의 주위 분위기와의 열교환의 효율이 저하하는 것이 억제되어, 냉매에 포함되는 불순물로 냉매관(53b)이 막히는 것이 억제된다. 또한, 냉매관(53b) 내부에 공기가 체류하는 부분이 발생하는 것이 억제되기 때문에, 냉매관(53b)의 벽면이 국소적으로 가열되어서 파손되는 것이 억제된다.

따라서, 본 실시 형태에 따른 냉각기(51a 내지 51f)는 열교환 효율의 저하를 억제할 수 있으므로, 냉각기(51a 내지 51f)를 구비하는 유리 기판 제조 장치(100)는 성형된 유리 시트(90)가 냉각되는 냉각 공간(420)에 있어서, 유리 시트(90)와 효율적으로 열교환을 행할 수 있다.

(4-2)

본 실시 형태에 따른 냉각기(51b)에서는, 냉매관(53b)을 구성하는 4개의 각관(91)의 상단부면은 동일한 관 평면(95)에 포함된다. 단열판(52b)은 4개의 각관(91)에 의해 지지되어 있다. 단열판(52b)은 냉각기(51b)의 상방의 냉각실(422a)과, 냉각기(51b)의 하방 냉각실(422b)을 분리한다. 그로 인해, 냉각실(422a)과 냉각실(422b)의 사이에 있어서, 기류의 이동이 발생하지 않아, 열 이동이 차단되어 있다.

이에 의해, 단열판(52b)의 하면에 설치되는 냉매관(53b)과, 냉각기(51b)의 하방의 냉각실(422b)의 분위기와의 사이의 열교환이 행해진다. 한편, 냉매관(53b)과, 냉각기(51b)의 상방의 냉각실(422a)의 분위기와의 사이의 열교환은, 단열판(52b)에 의해 억제된다. 즉, 냉각기(51b)는, 냉각실(422a)에 접하고 있는 냉각 속도 제어 부재(41a)의 온도에 영향을 주지 않고, 냉각실(422b)에 접하고 있는 냉각 속도 제어 부재(41b)의 온도를 조절할 수 있다.

그 때문에, 냉각기(51a 내지 51f)는 각각, 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f)의 온도만을 조절할 수 있다. 이에 의해, 예를 들어 제어 장치를 사용하여, 각 냉각기(51a 내지 51f)를 통과하는 냉매의 유량을 제어함으로써, 각 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f)의 온도를 독립적으로 조절할 수 있다.

따라서, 본 실시 형태에 따른 냉각기(51a 내지 51f)는 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f)를 통하여, 유리 시트(90)와 효율적이고 또한 제어성이 우수한 열교환을 행할 수 있다. 이에 의해, 냉각기(51a 내지 51f)는 유리 시트(90)의 냉각 속도를 적절하게 제어할 수 있다.

(4-3)

본 실시 형태에 따른 냉각기(51b)에서는, 4개의 각관(91)이 간격을 두고 서로 평행하게 배치되어 있다. 각 각관(91)의 상단부면은, 단열판(52b)의 하면에 접착되어 있다. 그로 인해, 냉각기(51b)의 각 각관(91)의 상단부면 이외의 3개의 면은, 냉각실(422b)의 분위기에 접하고 있다. 이와 같이, 4개의 각관(91)이 간격을 두고 배치됨으로써, 냉각실(422b)과 접하는 각관(91)의 표면적을 크게 취할 수 있으므로, 냉각기(51b)의 열교환 효율이 향상된다.

따라서, 본 실시 형태에 따른 냉각기(51a 내지 51f)는 높은 열교환 효율을 가지므로, 냉각기(51a 내지 51f)를 구비하는 유리 기판 제조 장치(100)는 유리 시트(90)가 냉각되는 냉각 공간(420)에 있어서, 유리 시트(90)와 효율적으로 열교환을 행할 수 있다. 또한, 4개의 각관(91)이 간격을 두고 배치되어 있는 구성에 의해, 냉각기(51b)의 경량화를 실현할 수 있다.

(4-4)

본 실시 형태에 따른 냉각기(51b)에서는, 냉매관(53b)의 유로의 대부분을 차지하는 각관(91)은 단열판(52b)의 하면에 설치되고, 또한, 롱 엘보(92), 유입관(93) 및 유출관(94)만이, 도 8에 도시된 바와 같이, 각관(91)의 하단부면으로부터 하방으로 돌출되어 있다. 롱 엘보(92), 유입관(93) 및 유출관(94)은 각관(91)의 단부에 연결되어 있다. 그로 인해, 냉각기(51b)의 길이 방향 양단부를 제외하고, 냉각기(51b)의 높이 치수는, 단열판(52b)의 높이 치수와, 각관(91)의 높이 치수를 합한 값 이내에 수습되고 있다.

따라서, 본 실시 형태에 따른 냉각기(51a 내지 51f)는 그 길이 방향의 양단부를 제외하고, 높이 치수를 억제할 수 있다. 그로 인해, 냉각 공간(420)의 높이 치수가 제한되어 있는 경우에 있어서도, 열교환 효율을 저하시키지 않고 복수의 냉각기(51a 내지 51f)를 설치할 수 있다.

(4-5)

본 실시 형태에 따른 냉각기(51b)에서는, 냉매관(53b)을 구성하는 각관(91), 롱 엘보(92), 유입관(93) 및 유출관(94)으로서, 시판하고 있는 스테인리스 파이프 및 구리 파이프 등이 사용된다. 또한, 냉매관(53b)을 조립하기 위해서는, 각관(91)과 롱 엘보(92)의 연결부, 각관(91)과 유입관(93)의 연결부 및 각관(91)과 유출관(94)의 연결부를 전체 주위로 용접하기만 해도 된다.

따라서, 본 실시 형태에 따른 냉각기(51a 내지 51f)는 단순한 구조를 갖는 냉매관(53b)을 구비하므로, 냉매관(53b)을 조립하기 위한 공정수 및 비용을 억제할 수 있다.

(4-6)

본 실시 형태에 따른 냉각기(51b)에서는, 각관(91)의 양단부는, 열전 시멘트(96)에 의해 한 쌍의 지지부(54b)에 고착되어 있다. 열전 시멘트(96)는 높은 열전도율을 가지므로, 지지부(54b)는 각관(91) 내부에 흐르는 냉매에 의해 냉각되기 쉽다.

지지부(54b)의 한쪽의 단부는, 냉각 속도 제어 부재(41b)의 근방에 위치하고 있기 때문에, 유하하고 있는 유리 시트(90)의 열에 의해 가열되기 쉽다. 지지부(54b)가 가열되어서 산화하면, 지지부(54b)의 파손 및 열변형이 발생할 우려가 있다.

본 실시 형태에서는, 각관(91) 내부에 흐르는 냉매에 의해 지지부(54b)가 냉각되기 쉬우므로, 지지부(54b)의 파손 및 열변형이 억제된다.

(4-7)

본 실시 형태에 따른 냉각기(51b)는, 한 쌍의 지지부(54b)에 의해, 그 양단부가 지지된 상태에서 설치되어 있다. 냉각기(51b)는, 그 길이 방향의 치수에 관계없이, 그 길이 방향의 중앙부의 자중에 의한 휨량이 20 mm 이하인 강성을 갖고 있다. 그로 인해, 냉각기(51b)의 양단부만이 한 쌍의 지지부(54b)에 의해 지지되어 있는 상태에 있어서도, 냉각기(51b)의 중앙부는, 자중에 의해 거의 현수되지 않는다. 즉, 냉각기(51b)의 중앙부는, 다른 지지 부재에 의해 지지될 필요가 없다.

따라서, 냉각기(51b)는, 그 길이 방향의 중앙부가 다른 지지 부재에 의해 지지될 필요가 없으므로, 열교환 효율의 저하를 억제할 수 있다. 또한, 냉각기(51b)는, 그 길이 방향의 중앙부의 근방의 공간에의 액세스를 방해할 수 없다. 그로 인해, 냉각기(51b)가 설치되는 후방 냉각 공간(422)을 냉각기(51b)의 길이 방향에 있어서, 효율적으로 이용할 수 있다.

(4-8)

본 실시 형태에 따른 유리 기판 제조 장치(100)에서는, 냉각 공간(420)에 있어서, 유리 시트(90)의 유하 방향을 따라, 복수의 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f)가 설치되어 있다. 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f)는 각각, 냉각실(422a 내지 422f)에 접하고 있다. 냉각실(422a 내지 422f)은 각각, 냉각기(51a 내지 51f)에 의해 냉각된다. 즉, 냉각기(51a 내지 51f)는 각각, 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f)의 온도를 조절한다. 이에 의해, 유하되면서 냉각되는 유리 시트(90)의 냉각 속도가 제어된다.

종래의 유리 기판 제조 장치에서는, 예를 들어 성형체의 하단부로부터 이격된 직후의 유리 시트를 급속하게 냉각하기 위해서, 냉각용의 기체를 냉각 속도 제어 부재에 분사하여, 유리 시트의 온도를 조절하는 방법이 사용되고 있었다. 그러나, 이 방법에서는, 냉각 속도 제어 부재에 분사되는 기체의, 유리 시트 폭 방향에 있어서의 약간의 유량차에 기인하여 유리 시트의 온도차가 발생하기 때문에, 유리시트의 온도를 조절하기 어렵다. 또한, 냉각 속도 제어 부재에 분사되는 기체의 일부가 의도하지 않게 누출되어서 유리 시트에 충돌하는 것에 기인하여 유리 시트의 온도차가 발생할 우려가 있다. 그로 인해, 이 방법에서는, 유리 시트의 냉각 속도를 조정하는 것이 곤란하기 때문에, 유리 시트의 판 두께 편차가 증가해버리는 문제가 있다.

본 실시 형태에 따른 유리 기판 제조 장치(100)에서는, 냉각기(51a 내지 51f)는 각각, 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f)의 온도를 독립하여 조절할 수 있다. 그로 인해, 냉각기(51a 내지 51f)는 유리 시트(90)의 유하 방향을 따라, 유리 시트(90)의 냉각 속도를 원하는 값으로 용이하게 조절할 수 있다. 따라서, 유리 기판 제조 장치(100)는 유리 시트(90)의 판 두께 편차를 증가시키지 않고, 유리 시트(90)를 효율적으로 양산할 수 있다.

(5) 변형예

(5-1) 변형예 A

본 실시 형태에 따른 냉각기(51b)(이하, 다른 냉각기(51a, 51c 내지 51f)에 대해서도 마찬가지임)에서는, 열교환용의 냉매가 내부에 흐르는 각관(91)은 대략 정사각형의 단면 형상을 갖는 관이다. 그러나, 각관(91) 대신에 대략 원형의 단면 형상을 갖는 원관(圓管)이 사용되어도 된다.

도 9 및 도 10은, 본 실시 형태에 따른 냉각기(51b)의 변형예인 냉각기(151b)를 나타낸다. 도 9는, 냉각기(151b)의 상면도이다. 도 10은, 냉각기(151b)의 측면도이다. 냉각기(151b)는, 주로, 단열판(152b)과, 냉매관(153b)과, 지지부(154b)로 구성된다. 또한, 냉각기(151b)는, 본 실시 형태에 따른 냉각기(51b)와 동일 위치에 배치되고, 또한, 동일한 효과를 갖는다.

냉각기(151b)의 단열판(152b) 및 지지부(154b)는 각각, 본 실시 형태에 따른 냉각기(51b)의 단열판(52b) 및 지지부(54b)와 동일한 구성을 갖고 있다. 냉각기(151b)의 냉매관(153b)은 본 실시 형태에 따른 냉각기(51b)의 냉매관(53b)과 상이한 구성을 갖고 있다. 냉매관(153b)은 도 9에 도시된 바와 같이, 4개의 원관(191)과, 3개의 롱 엘보(192)와, 유입관(193)과, 유출관(194)으로 구성된다. 원관(191)의 단면적은, 롱 엘보(192)와, 유입관(193) 및 유출관(194)의 단면적과 거의 동일하다. 롱 엘보(192), 유입관(193) 및 유출관(194)은 열전 시멘트(196)에 의해 지지부(154b)에 고착되어 있다.

4개의 원관(191)은 간격을 두고 서로 평행하게 배치되어 있다. 각 원관(191)의 상단부는, 단열판(152b)의 하면에 접착되어 있다. 유입관(193) 및 유출관(194)은 단열판(152b)의 양단에 설치되어 있는 2개의 원관(191)의 단부에 연결되어 있다. 유입관(193) 및 유출관(194)에 연결되어 있지 않은 2개의 원관(191)은 그 양단부에 있어서, 서로 다른 2개의 원관(191)과, 롱 엘보(192)로 연결되어 있다.

본 변형예에서는, 도 10에 도시하는 바와 같이, 롱 엘보(192) 및 유입관(193)은 원관(191)과 동일한 높이 위치에 설치되어 있다. 유출관(194)은 원관(191)의 연결부를 제외한 부분에 있어서, 원관(191)보다 낮은 높이 위치에 있다.

냉매관(153b)의 내부에 흐르는 냉각수는, 유입관(193)으로부터 유입되고, 원관(191) 및 롱 엘보(192)를 교대로 흘러서, 유출관(194)으로부터 유출된다. 냉매관(153b)의 내부에 흐르는 냉각수는, 도 9에 도시된 바와 같이, 단열판(152b)의 길이 방향에 있어서, 복수회 왕복한다.

본 변형예에서는, 냉각기(151b)의 냉매관(153b)은 원관(191)을 갖고 있다. 원관(191)은 본 실시 형태의 각관(91)과 비교하여, 단열판(152b)과의 접착 면적이 작다. 그러나, 4개의 원관(191)이 간격을 두고 배치되어 있는 구성에 의해, 단열판(152b)의 하방의 냉각실과 접하는 원관(191)의 표면적이 크다. 따라서, 냉각기(151b)는, 본 실시 형태에 따른 냉각기(51b)와 마찬가지로, 높은 열교환 효율을 갖는다.

(5-2) 변형예 B

본 실시 형태에 따른 냉각기(51b)에서는, 냉매관(53b)은 간격을 두고 복수회 왕복하도록 배치되어 있다. 구체적으로는, 냉매관(53b) 내부에 흐르는 냉매는, 4개의 각관(91)을 통과함으로써, 단열판(52b)의 길이 방향을 따라 2회 왕복한다. 그러나, 냉매관(53b)의 왕복 횟수는 각관(91)의 단면적 및 단열판(52b)의 치수 등에 따라 적절하게 변경되어도 된다.

또한, 각관(91)의 단면적도 적절하게 변경되어도 된다. 본 실시 형태에서는, 각관(91)의 단면적은 유입관(93) 및 유출관(94)의 단면적의 4배 미만이다. 그러나, 각관(91)의 단면적은 유입관(93) 및 유출관(94)의 단면적과 거의 동일한 것이 바람직하다. 이에 의해, 각관(91)과 유입관(93)의 연결부 등에 있어서의, 냉매관(53b)의 유로 단면적의 변화율이 억제되므로, 냉매의 흐름이 체류하는 부분이 보다 발생하기 어려워진다.

(5-3) 변형예 C

본 실시 형태에 따른 냉각기(51b)에서는, 냉매관(53b)의 각관(91)은 스테인리스 파이프 및 구리 파이프 등으로 성형되어 있다. 각관(91)의 상단부면 이외의 3개의 면은, 냉각실(422b)의 분위기에 접하고 있다. 그로 인해, 각관(91)의 상단부면 이외의 3개의 면에 고방사율 도료가 도포되어도 된다. 이에 의해, 각관(91)의 열복사의 흡수율이 증가하므로, 각관(91) 내부에 흐르는 냉매와, 냉각실(422b)의 분위기와의 열교환 효율이 향상된다.

또한, 각관(91)의 표면에 고방사율 도료를 도포하기 전에, 각관(91)의 표면을 샌드블라스트 가공해도 된다. 이에 의해, 각관(91)의 표면에 있어서의 고방사율 도료의 부착성이 향상된다.

(5-4) 변형예 D

본 실시 형태에 따른 냉각기(51b)에서는, 냉매관(53b)은 4개의 각관(91)을 갖고 있다. 그러나, 4개의 각관(91) 중, 열원에 가까운 위치에 있어 가열되기 쉬운 각관(91)이 「변형예 A」의 원관(191)으로 치환되어도 된다. 구체적으로는, 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f)에 가장 가까운 위치에 있는 각관(91)이 원관(191)으로 치환되어도 된다.

냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f)에 가장 가까운 위치에 있는 각관(91)에 있어서, 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f)와 대향하는 면인 대향면과, 대향면에 대하여 직각으로 연결되어 있는 면 사이에서는, 열복사 열전도에 의해 받는 열량이 크게 상이하다. 그로 인해, 이 각관(91)에는, 그 표면에 따라서 큰 온도차가 발생하므로, 그 온도차에 기인하는 열변형에 의해, 각관(91)의 코너부에 큰 응력이 발생할 우려가 있다. 이에 의해, 각관(91)이 파손될 우려가 있다. 그로 인해, 열원에 가까운 위치에 있는 각관(91)은 원관(191)으로 치환되는 것이 바람직하다.

(5-5) 변형예 E

본 실시 형태에서는, 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f)의 재료로서, 순 니켈이 사용되고 있지만, 열전도율이 높은 다른 재료, 예를 들어 몰리브덴, 소결 SiC, 재결정 SiC, 인조 흑연, 철 및 텅스텐이 사용되어도 된다.

그러나, 몰리브덴은, 비산화 분위기 하에서 사용되는 것이 바람직하다. 또한, 몰리브덴을 산화 분위기 하에서 사용하는 경우에는, 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f)에 내산화 코트를 실시하는 것이 바람직하다. 또한, 소결 SiC 및 재결정 SiC는, 산화 분위기 하에서 사용할 수 있고, 인조 흑연, 철 및 텅스텐은, 비산화 분위기 하에서 사용할 수 있다.

(5-6) 변형예 F

본 실시 형태에서는, 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f)로서, 채널(홈형 강)이 사용되고 있지만, 다른 형상을 갖는 금속 부재가 사용되어도 된다. 이 경우, 연직 방향으로 인접하고 있는 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f)끼리의 접촉을 최소한으로 함으로써 인접하고 있는 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f)끼리의 열전도가 억제되는 구성이 바람직하다.

(5-7) 변형예 G

본 실시 형태에서는, 폭 방향의 길이가 2200 mm인 유리 시트(90)를 냉각하기 위한 유리 기판 제조 장치(100)로서, 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f)의 길이 방향의 길이 및 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f)의 수를 예시하였다. 그러나, 유리 기판 제조 장치(100)에 의해 제조되는 유리 시트(90)의 폭 방향의 길이 및 두께 등에 따라, 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f)의 길이 방향의 길이 및 냉각 속도 제어 부재(41a 내지 41f)의 수가 변경되어도 된다.

(5-8) 변형예 H

본 실시 형태에 있어서, 냉각 속도 제어 부재(41a)의 주부(63a)는 연직 방향으로 연장되고 있지만, 예를 들어 연직 방향에 대하여 경사지고 또는, 연직 방향을 따라서 요철부가 형성되어도 된다. 이에 의해, 유리 시트(90)의 표면을 따라 발생하는 상승 기류가 억제되어, 연직 방향에 있어서의 유리 시트(90)의 냉각 속도의 차를 억제할 수 있다. 따라서, 본 변형예에서는, 냉각 공간(420)에 있어서, 유리 시트(90)를 거의 일정한 속도로 냉각할 수 있다.

(5-9) 변형예 I

본 실시 형태에 있어서, 후방 냉각 공간(422)은 5개의 냉각기(51b 내지 51f)에 의해, 유리 시트(90)의 진행 방향을 따라, 6개의 냉각실(422a 내지 422f)로 분할되어 있다. 그러나, 후방 냉각 공간(422)은 적어도 일부가 냉각기(51a 내지 51f)에 의해 분할되어 있으면, 다른 단열 부재 등에 의해 분할되어도 된다.

(5-10) 변형예 J

본 실시 형태에 있어서, 냉각실(422a 내지 422f)은 각각, 냉각기(51a 내지 51f)에 의해 냉각된다. 그러나, 냉각실(422a 내지 422f)은 적어도 일부가 냉각기(51a 내지 51f)에 의해 냉각되어 있으면, 예를 들어 본 실시 형태에 따른 냉각기(51a 내지 51f)와 상이한 구성을 갖는 냉각기 및 다른 냉각 수단에 의해 냉각되어도 된다.

10: 성형체
41a 내지 41f: 냉각 속도 제어 부재
42: 단부 냉각 장치
43: 보온 부재
51a 내지 51f: 냉각기
52b: 단열판
53b: 냉매관
80: 용융 유리
90: 유리 시트
95: 관 평면
422: 후방 냉각 공간
422a 내지 422f: 냉각실

Claims (11)

1. 성형체로부터 용융 유리를 오버플로우시켜서 유리 시트를 성형하는 성형 공정과,
   성형된 상기 유리 시트를 하방으로 연장하면서 냉각하는 냉각 공정과,
   냉각된 상기 유리 시트를 절단하여 유리 기판을 얻는 절단 공정
   을 구비하고,
   상기 성형체로부터 이격된 상기 유리 시트가 서냉점(徐冷点)이 될 때까지 냉각되는 공간의 적어도 일부에 있어서, 상기 유리 시트의 폭 방향의 중앙 영역의 표면과 대향하는 냉각 속도 제어 부재가 설치되고,
   상기 냉각 속도 제어 부재를 끼워서 상기 유리 시트의 반대측에 있는 후방 냉각 공간은 상기 유리 시트의 진행 방향을 따라 배치되어 있는 냉각실로 구성되고,
   상기 냉각실의 적어도 일부는 상기 냉각실의 외측에 배치되는 냉각기에 의해 냉각되고,
   상기 냉각 공정에서는, 상기 유리 시트는 상기 냉각실에 접하는 상기 냉각 속도 제어 부재와 대향하면서 상기 진행 방향을 따라 이동함으로써, 단계적 또는 연속적으로 냉각되고,
   상기 냉각기의 적어도 일부는,
   상기 냉각실과, 상기 진행 방향을 따라 상기 냉각실에 인접하는 공간과의 사이의 열 이동을 억제하는 단열판과,
   액체 냉매가 내부에 흐름으로써 상기 냉각실을 냉각하는 냉매관
   을 갖고,
   상기 단열판은, 상기 냉매관과 접하고, 또한 상기 냉매관을 끼워서 상기 냉각실의 반대측에 설치되는,
   유리 기판의 제조 방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 냉각 공정은,
   상기 유리 시트의 상기 중앙 영역의 온도가 서냉점이 될 때까지, 제1 평균 냉각 속도로 상기 유리 시트가 냉각되는 제1 냉각 공정과,
   상기 유리 시트의 상기 중앙 영역의 온도가, 서냉점부터, 변형점보다 50℃ 낮은 온도가 될 때까지, 제2 평균 냉각 속도로 상기 유리 시트가 냉각되는 제2 냉각 공정
   을 갖고,
   상기 제1 평균 냉각 속도는 상기 제2 평균 냉각 속도보다 큰,
   유리 기판의 제조 방법.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 냉각 공정에서는, 상기 냉각 속도 제어 부재에 의해, 상기 진행 방향에 있어서의 상기 유리 시트의 냉각 속도가 제어되는,
   유리 기판의 제조 방법.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 성형체로부터 이격된 상기 유리 시트가 냉각되는 공간에 있어서, 상기 유리 시트의 폭 방향의 단부를 냉각하는 단부 냉각 장치가 설치되고,
   상기 냉각 공정에서는, 상기 단부 냉각 장치에 의해, 상기 유리 시트의 상기 단부가, 상기 유리 시트의 상기 중앙 영역보다도 큰 속도로 냉각되도록 상기 유리 시트가 냉각되는,
   유리 기판의 제조 방법.
5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 냉각 속도 제어 부재의, 상기 유리 시트의 대향면과는 반대측의 면에는, 상기 유리 시트의 폭 방향을 따라서 보온 부재가 설치되고,
   상기 냉각 공정에서는, 상기 보온 부재에 의해 상기 유리 시트의 폭 방향의 두께 및/또는 휨이 제어되는,
   유리 기판의 제조 방법.
6. 제5항에 있어서, 상기 냉각 공정에서는, 상기 유리 시트의 상기 중앙 영역의 온도가 연화점이 될 때까지의 공간의 적어도 일부에 있어서, 상기 보온 부재의 치수의 변경에 의해, 상기 유리 시트의 폭 방향의 판 두께 분포에 따라 상기 유리 시트의 두께가 제어되는,
   유리 기판의 제조 방법.
7. 제6항에 있어서, 상기 냉각 공정에서는, 상기 유리 시트의 두께가 제어된 후, 상기 보온 부재의 치수 변경에 의해, 상기 유리 시트의 상기 중앙 영역으로부터 단부를 향하여, 상기 유리 시트의 온도가 단계적 또는 연속적으로 내려가는 온도 프로파일이 형성되고, 평면도가 소정의 범위 내로 되도록 상기 유리 시트의 휨이 제어되는,
   유리 기판의 제조 방법.
8. 성형체로부터 용융 유리를 오버플로우시켜서 유리 시트를 성형하는 성형 공정과,
   성형된 상기 유리 시트를 하방으로 연장하면서 냉각하는 냉각 공정과,
   냉각된 상기 유리 시트를 절단하여 유리 기판을 얻는 절단 공정
   을 구비하고,
   상기 성형체로부터 이격된 상기 유리 시트가 서냉점이 될 때까지 냉각되는 공간의 적어도 일부에 있어서, 상기 유리 시트의 폭 방향의 중앙 영역의 표면과 대향하는 냉각 속도 제어 부재가 설치되고,
   상기 냉각 속도 제어 부재를 끼워서 상기 유리 시트의 반대측에 있는 후방 냉각 공간은 상기 유리 시트의 진행 방향을 따라 배치되어 있는 냉각실로 구성되어,
   상기 냉각실의 적어도 일부는 냉각기에 의해 냉각되고,
   상기 냉각 공정에서는, 상기 유리 시트는 상기 냉각실에 접하는 상기 냉각 속도 제어 부재와 대향하면서 상기 진행 방향을 따라 이동함으로써, 단계적 또는 연속적으로 냉각되고,
   상기 냉각기의 적어도 일부는,
   상기 냉각실과, 상기 진행 방향에 따라 상기 냉각실에 인접하는 공간과의 사이의 열 이동을 억제하는 단열판과,
   액체 냉매가 내부에 흐름으로써 상기 냉각실을 냉각하는 냉매관
   을 갖고,
   상기 냉각 속도 제어 부재의, 상기 유리 시트의 대향면과는 반대측의 면에는 상기 유리 시트의 폭 방향을 따라 보온 부재가 설치되고,
   상기 냉각 공정에서는, 상기 보온 부재에 의해 상기 유리 시트의 폭 방향의 두께 및/또는 휨이 제어되는,
   유리 기판의 제조 방법.
9. 성형체로부터 용융 유리를 오버플로우시켜서 유리 시트를 성형하고, 성형된 상기 유리 시트를 하방으로 연장하면서 냉각하고, 냉각된 상기 유리 시트를 절단하여 유리 기판을 얻는 유리 기판의 제조 장치로서,
   상기 성형체로부터 이격된 상기 유리 시트가 서냉점이 될 때까지 냉각되는 공간의 적어도 일부에 있어서, 상기 유리 시트의 폭 방향의 중앙 영역의 표면과 대향하는 냉각 속도 제어 부재와,
   상기 냉각 속도 제어 부재를 끼워서 상기 유리 시트의 반대측에 있는 후방 냉각 공간을 구성하고 상기 유리 시트의 진행 방향을 따라 배치되어 있는 냉각실의 적어도 일부를 냉각하고, 상기 냉각실의 외측에 배치되는 냉각기
   를 구비하고,
   상기 유리 시트는, 상기 냉각실에 접하는 상기 냉각 속도 제어 부재와 대향하면서 상기 진행 방향을 따라 이동함으로써, 단계적 또는 연속적으로 냉각되고,
   상기 냉각기의 적어도 일부는,
   상기 냉각실과, 상기 진행 방향을 따라 상기 냉각실에 인접하는 공간과의 사이의 열 이동을 억제하는 단열판과,
   액체 냉매가 내부를 흐름으로써 상기 냉각실을 냉각하는 냉매관
   을 갖고,
   상기 단열판은 상기 냉매관과 접하고, 또한 상기 냉매관을 끼워서 상기 냉각실의 반대측에 설치되는,
   유리 기판의 제조 장치.
10. 제9항에 있어서, 상기 냉매관은, 그 외경 이상의 간격을 두고 복수회 왕복하도록 배치되고, 또한, 왕복하는 상기 냉매관의 열로 이루어지는 평면인 관 평면을 형성하고,
    상기 단열판은 상기 냉각실의 벽면의 내의 일면을 구성하고, 또한, 상기 관 평면에 평행하게 및 상기 관 평면에 접하면서, 상기 냉매관의 열의 위에 그 자중(自重)을 걸쳐서 설치되는,
    유리 기판의 제조 장치.
11. 제9항 또는 제10항에 있어서, 상기 냉각기는, 그 양단부가 지지된 상태에 있어서의, 길이 방향 중앙부의 자중에 의한 휨량이, 길이 방향의 길이에 관계없이 20 mm 이하인 강성을 갖는
    유리 기판의 제조 장치.

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