TWI568672B - 廢矽泥的使用方法及其所得產品 - Google Patents

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Description

廢矽泥的使用方法及其所得產品
本發明係關於一種廢矽泥的使用方法，特別是將廢矽泥再利用以製造各種產品的方法。
廢矽泥來自於電子工業大量使用矽晶片所致。業界有許多回收處理廢矽泥的方法。舉例而言，TW96112970揭露一種利用高溫分離(加熱介於矽及碳化矽熔點之間之溫度約為1420℃至1500℃)，以從廢矽泥中回收矽的方法。TW99118261及TW99118266分別揭露一種從廢矽泥回收碳化矽與矽的方法，其教示將廢矽泥置於裂解爐內以250℃以上之溫度進行蒸餾加熱。TW99133041揭露一種廢矽泥中切削液之回收方法，其係教示將廢矽泥置於貧氧狀態之容室中至切削液汽化。上述之方法所需溫度相當高，有耗費能源的缺點。TW98115605揭露一種從廢矽泥中利用所謂『粒子相轉移』回收矽，其需歷經多次的靜置、離心、乾燥。TW95150091揭露以丙酮清洗矽泥並經由離心處理及乾燥取出矽及碳化矽，再加入浮選劑以將矽及碳化矽分離。以上兩者皆是相當耗時的方法。儘管業界有許多回收處理廢矽泥的方法，惟仍不免有各種缺點，因此需要更創新的技術以儘可能解決各種問題。
本發明係關於一種廢矽泥的使用方法，特別是關於處理一種含切削油與金屬成份的廢矽泥的方法。本發明涉及使用新開發的藥劑先前處理廢矽泥以使其切削油與金屬成份溶入水溶液或是油層中。接著，經適當的固液分離後取得廢矽泥餅。然後使用可與矽反應成矽酸鹽水溶液的藥劑處理廢矽泥餅，藉此產出矽酸鹽與氫氣。本發明至少具有以下特點之其中之一。
利用本發明之方法可將廢矽泥中切削油、金屬、及矽成份移除，以回收實質上不含上述成分或上述成分已經大量去除的產品。本發明係將此回收產品再應用於其他產業，譬如研磨劑產業、化粧品產業等。因此本發明處理廢矽泥可達成實質上無固體廢棄物產出的環保處理程序。
對於含有碳化矽的廢矽泥，本發明可有效將碳化矽與矽分離，可因此取得高純度的碳化矽產品。
本發明之方法，其過程不會造成阻塞。
本發明之方法無操作溫度超過140℃的程序，相較於習知技術更能節省能源。本發明至少包含以下之各種態樣。
一種廢矽泥的使用方法，包含以下步驟：步驟(A)：取得含有切削油及金屬的廢矽泥；步驟(B)：以用於與該切削油反應之第一藥劑處理該廢矽泥；步驟(C)：以用於與該金屬反應之第二藥劑處理該廢矽泥；步驟(D)：分離歷經過該步驟(B)及該步驟(C)的產物以取得固體部分；及步驟(E)：以第三藥劑處理該固體部分以取得矽酸鹽與氫氣。
如前述之廢矽泥的使用方法，其中該切削油為包含礦物油及選自磺酸鹽、胺鹽、或含羥基、含羧酸基、含胺基、或具氮、硫、氯、磷等元素之其中之一的化合物或上述之任何組合，該第一藥劑包含符合結構式(I)之化合物的一種或多種任意組合，結構式(I)：M-X，其中M選自鹼金屬及鹼土金屬且X選自鹵素(halogen)、硫酸根(sulfate)及硝酸根(nitrate)；或M選自C5-C12烷基(alkyl group)且X選自氫及羥基(hydroxyl)。
如前述之廢矽泥的各種使用方法，其中該結構式(I)之化合物係選自以下化合物：氯化鈉、氯化鉀、氯化鈣、硫酸鈉、硝酸鈉、乙醇、正己烷及上述之項目的各種組合。
如前述之廢矽泥的的各種使用方法，其中該金屬係包含鐵，該第二藥劑包含選自無機酸或有機酸之化合物的其中一種或多種任意組合。
如前述之廢矽泥的的各種使用方法，其中該第二藥劑係選自以下化合物：草酸、檸檬酸及醋酸。
如前述之廢矽泥的的各種使用方法，其中該第一藥劑為氯化鈉水溶液；且該第二藥劑係為草酸及檸檬酸。
如前述之廢矽泥的各種使用方法，其中該步驟(C)更包含依據所選用的該第一藥劑的種類決定所選用該第二藥劑的種類。
如前述之廢矽泥的的各種使用方法，其中當該第一藥劑包含該結構式(I)為：M選自C5-C12烷基(alkyl group)且X選自氫及羥基(hydroxyl)之化合物時，該第二藥劑係選自以下化合物：草酸、檸檬酸及醋酸。
一種矽酸鹽水溶液，其係由前述之各種方法製得。
一種含碳化矽的粉末，其係由所述之各種方法製得，其中該廢矽泥含有碳化矽。
本發明尚包含其他各方面及各種實施例，以解決其他問題並合併上述之各方面詳細揭露於以下實施方式中。
圖1 本發明廢矽泥的使用方法的流程圖。
圖2 本發明所使用廢矽泥的照片。
圖3 本發明所產出的廢矽泥餅照片。
圖4 本發明所產出矽酸鈉水溶液照片。
圖5 本發明所回收實質上不含矽的廢矽泥餅殘留物。
以下將參考所附圖式示範本發明之較佳實施例。所附圖式中相似元件係採用相同的元件符號。應注意為清楚呈現本發明，所附圖式中之各元件並非按照實物之比例繪製，而且為避免模糊本發明之內容，以下說明亦省略習知之零組件、相關材料、及其相關處理技術。
如圖1所示，本發明係揭露一種廢矽泥的使用方法，包含以下步驟：(A)取得含有切削油及金屬的廢矽泥；(B)以用於與該切削油反應之第一藥劑處理該廢矽泥；(C)以用於與該金屬反應之第二藥劑處理該廢矽泥；(D)分離歷經過該步驟(B)及該步驟(C)的產物以取得固體部分；及(E)以第三藥劑處理該固體部分以取得矽酸鹽及氫氣等產品。步驟(B)及(C)之目 的在於前處理廢矽泥，消除廢矽泥於水中的結塊現象，使其各種成份得以分離並且均勻打散在水溶液或油層中，並儘可能使切削油、金屬或其他成分溶於水中或油層中。可視所取得廢矽泥的成分決定執行步驟(B)與(C)的其中之一；或兩者都執行。於選擇步驟(B)與(C)都執行狀況下，可以任何順序或步驟(B)與(C)同時進行，其中優選步驟(B)先進行後再進行步驟(C)。步驟(D)的目的在於將經前處理的廢矽泥固液分離。步驟(E)的目的在於將固體部份中的矽移除。以下詳細描述各步驟。
步驟(A)：取得含有切削油及金屬的廢矽泥。
本發明所採用的廢矽泥主要來自矽晶棒切割成矽晶片過程中產出的殘留物。由此可知，廢矽泥的成份包含矽晶碎屑、切削油、及來自金屬切割線的少量金屬如銅、鐵、鎢、鋅、鋁等。如果用鑽石切刻線則可能不會產生金屬而是少量的鑽石(金剛石)碎屑。廢矽泥也可含有氧化鋁、碳化矽、金剛石、氧化鈰及氧化矽等作為切割用研磨劑的各種成份。切削油基本上是多種碳氫化合物混合的礦物油，譬如混合石蠟基、環烷基及芳香基等幾類不同的油品，其中以石蠟基比例高芳香基比例較少的搭配用來製造切削油較常見。切削油的作用在於潤滑。切削時在矽晶棒切削區會產生不同的熱量和壓力。低黏度油較稀薄，有較好的滲透力及濕潤力，可更快速的擴散到整個切削區，並且因為稀薄，其冷卻清洗能力均較佳。高黏度油較稠密，有較佳的潤滑性及較大的金屬表面隔離能力，但是流動性及冷卻性不如低黏度油。切削油除含礦物油外，也可添加乳化劑、防銹添加劑、極壓劑或其他助劑，其成分可有如磺酸鹽、胺鹽、或含羥基、含羧酸基、含胺基、或具氮、硫、氯、磷等元素之其中之一的化合物或上述之任何組 合的切削油。
步驟(B)：以用於與切削油反應之第一藥劑處理該廢矽泥。
本發明第一藥劑之主要目的在其一：消除廢矽泥於水中的結塊現象；其二處理切削油成份，以期能溶入水溶液或油層中。本發明第一藥劑包含水及符合結構式(I)之化合物的一種或多種任意組合。
結構式(I)：M-X，其中M選自鹼金屬及鹼土金屬且X選自鹵素(halogen)、硫酸根(sulfate)及硝酸根(nitrate)；或M選自C5-C12烷基(alkyl group)且X選自氫及羥基(hydroxyl)。M選自鹼金屬及鹼土金屬之第一藥劑屬無機類型，優選於處理含有磺酸鹽，胺鹽之化合物的切削油。M選自烷基(alkyl group)之第一藥劑屬於有機類型，優選於處理如含羥基、含羧酸基、含胺基、或具氮、硫、氯、磷等元素的之其中之一的化合物或上述之任何組合的切削油，可特別用於處理含極壓劑之切削油。極壓劑一般為硫化脂肪酸酯或氯代烷或磷酯或含氮之化合物所組成。
結構式(I)為無機類型的化合物係可溶於水中，水溶解度範圍係1大氣壓下攝氏25度重量百分率濃度至少在1%以上，優選實例為氯化鈉、氯化鉀、氯化鈣、硫酸鈉、硝酸鈉。結構式(I)為有機類型的化合物係可溶於水中(如醇類)或不溶而形成一油層(如烷類)，烷類化合物如正己烷適用於切削油含有氯化石蠟等油溶性極壓劑之狀況下。步驟(B)的優選處理法詳如下。將一種或多種結構式(I)之化合物調配成總重量百分率濃度範圍在10%以內的水溶液以作為第一藥劑，其中可含適量之結構式(I)為有機類型的化合物。然後取適量第一藥劑加入裝有廢矽泥的容器中。第一藥劑對廢矽泥 的重量比範圍為1：2至10：1。可適時加以攪拌或不攪拌。可將加入第一藥劑之廢矽泥的溫度調至高於室溫，較佳為50℃，但不宜超過60℃。處理時間視攪拌與否及處理溫度及廢矽泥本身的特性而異，以100公斤為例通常約需30分鐘至數小時。完成此步驟的判斷標準可為從加入第一藥劑之廢矽泥中取適當樣品，量測其無100微米以上的顆粒，更優選為無1微米以上的顆粒者可視為完成。本發明也包含不進行步驟(B)的實例，適用於廢矽泥之切削油含量低或幾乎不含的狀況。
步驟(C)：以用於與該金屬反應之第二藥劑處理該廢矽泥。
本發明第二藥劑之主要目的在於：處理廢矽泥中的金屬成份，以期能溶入水溶液中。本發明第二藥劑包含水及選自無機酸或有機酸之化合物的其中一種或多種任意組合。
本發明之無機酸化合物或有機酸化合物係可溶於水中，水溶解度範圍係1大氣壓下攝氏25度重量百分率濃度至少在1%以上。優選實例為硫酸、硝酸、草酸、檸檬酸、及醋酸，其中以檸檬酸、醋酸、及草酸為更優的選擇。步驟(C)的詳細優選處理法如下。將一種或多種無機酸化合物或有機酸化合物調配成總重量百分率濃度範圍在10%以內的水溶液製成第二藥劑。然後取適量第二藥劑加入裝有廢矽泥的容器中。第二藥劑對廢矽泥的重量比範圍為1：2至10：1。可適時加以攪拌或不攪拌。可將加入第二藥劑之廢矽泥的溫度調至高於室溫，較佳為30℃，但不宜超過60℃。處理時間視攪拌與否及處理溫度及廢矽泥本身的特性而異，以100公斤為例通常約需30分鐘至數小時。完成此步驟的判斷標準可為從加入第二藥劑之廢矽泥中取適當樣品，去除水分後量測其金屬含量小於或等於150ppm即可。 本發明也包含不進行步驟(C)的實例，適用於廢矽泥之金屬含量低或幾乎不含的狀況。於步驟(B)之第一藥劑與步驟(C)之第二藥劑都加入的狀況下，優選步驟(B)先進行後再進行步驟(C)，且更優選之條件為依據所選用的第一藥劑的種類決定所選用第二藥劑的種類。執行此更優選之條件的好處在於可以避免第一藥劑與第二藥劑衝突造成前處理效果降低。舉例而言，當使用有機類型之第一藥劑(譬如正己烷)來處理廢矽泥時，可避免選用無機類型之第二藥劑，其可達成較佳的前處理效果。有機類型之第一藥劑經常使用於處理極壓劑含量多的廢矽泥。無機酸等第二藥劑如硝酸及硫酸因為具有較高的氧化性，可能會與溶液中的有機成份(如作為極壓劑的硫化脂肪酸酯、乙醇胺類)反應或是與有機類型第一藥劑反應而產生沉澱雜質。
步驟(D)：分離歷經過該步驟(B)及該步驟(C)的產物以取得固體部分。
步驟(D)的目的在於將經上述前處理的廢矽泥固液分離，以取得固體部份(可稱為廢矽泥餅)。可用任何習知合適的手段來進行此步驟，譬如任何合適的過濾或離心設備，包括利用習知的壓濾機、濾鐘或離心機等。
步驟(E)：以第三藥劑處理該固體部分以取得矽酸鹽及氫氣等產品。
步驟(E)之目的在於利用第三藥劑以從廢矽泥餅中移除矽。本發明之第三藥劑包含水及能與矽反應生成矽酸鹽的化合物，其可為一種或多種任意組合。與矽反應生成矽酸鹽的化合物包含在水中會產生氫氧根離子的鹼性物質，譬如鹼金屬強鹼LiOH,NaOH,KOH或鹼土屬強鹼Ca(OH)2 等。第三藥劑典型的代表實例為氫氧化鈉水溶液。步驟(E)的優選詳細處理法如下。將可與矽反應生成矽酸鹽的化合物(如氫氧化鈉)調配成總重量百分率濃度範圍在50%以內的水溶液作為第三藥劑。然後取適量第三藥劑加入裝有廢矽泥餅的容器中(此容器是可為密閉容器及開放式容器)。第三藥劑對廢矽泥餅的重量比例範圍在0.4~6之間。可適時加以攪拌或不攪拌。可將加入第三藥劑之廢矽泥餅的溫度調至高於室溫，較佳為40℃，但不宜超過140℃。可對裝有廢矽泥餅的容器加壓，壓力範圍為1-20kg/cm2。處理時間視攪拌與否及處理溫度及廢矽泥餅本身的特性而異，通常約需30分鐘至數小時。反應過程中可藉由高壓儲存桶收集反應所得的氫氣。藉由分離純化設備得到矽酸鹽水溶液並回收實質上已不含矽或矽晶的廢矽泥餅殘留物。廢矽泥餅殘留物的成份視原廢矽泥的成份而定。通常未經處理的廢矽泥含有碳化矽，經由上述方法處理後廢矽泥餅殘留物的成份可為高純度的碳化矽粉末。
實施例1：首先取含有切削油及金屬的廢矽泥10g置於適當的容器中，如圖2之照片所示。事先檢測廢矽泥所含各成分比例為：含液量45.16wt%，固含量54.84wt%，固含量中有碳化矽36.3wt%、鐵、矽及二氧化矽總共57.3wt%、其他雜質6.4wt%，其有關碳化矽、矽及二氧化矽是以X-射線繞射分析儀(XRD)檢測含量。廢矽泥所含各成分可用其他方法檢測，譬如取適當克數以卡式水分測定儀測含水率，再利用NaOH與廢矽泥反應並搭配拉曼光譜分析，可得成分比例為含水率約為30~33%，矽含量約為40~45%，碳化矽則為22~28%。另外準備第一藥劑：氯化鈉(NaCl)溶液，濃度為0.4wt%(0.2g溶質加入50g水中)。取上述之氯化鈉溶液約50g倒入10g的 廢矽泥中。然後加熱溫度至50℃，攪拌3小時。
比較實施例1：參考實施例1之步驟，不同點在於不使用第一藥劑，改加入約50g的水。
實施例2至9：參考實施例1之步驟，不同點在於第一藥劑分別改為以下成分：實施例2為濃度相同的氯化鉀溶液，實施例3為濃度相同的氯化鈣溶液，實施例4為濃度相同的硫酸鈉溶液，實施例5為濃度相同的硝酸鈉溶液，實施例6為10ml乙醇溶液(工業級乙醇95%)，實施例7為濃度相同的氯化鈉混合氯化鉀溶液(溶質比例各占半)，實施例8為氯化鈉混合乙醇溶液(實施例1之氯化鈉水溶液50.2g並加入工業級乙醇95%3ml)，實施例9為氯化鈉混合正己烷溶液(實施例1之氯化鈉水溶液50.2g並加入正己烷3ml)。
相對於比較實施例1，實施例1至9在第一藥劑的處理下其廢矽泥明顯地可以被均勻地攪開來。比較實施例1則攪動3小時還明顯地有不符合標準的塊狀攪不開。
實施例10：準備第二藥劑：草酸溶液，濃度為0.4wt%(0.2g草酸鈉加入50g水中)。取上述之第二藥劑約50g倒入實施例1之已加入氯化鈉的廢矽泥產物中。加熱溫度至50℃，攪拌3小時，然後將所得產物進行離心，移除上層濾液(取樣量測金屬濃度)，取出固體部分如圖3照片所示之廢矽泥餅。準備第三藥劑：氫氧化鈉溶液，濃度為4wt%。取100g的第三藥劑加入10克的廢矽泥餅中。在壓力10kg/cm2溫度80℃下反應3小時，以產生矽酸鈉及氫氣。藉由分離純化設備得到矽酸鈉溶液(如圖4之照片)並回收實質上已不含矽或矽晶的廢矽泥餅殘留物，如圖5之照片所示，其為含有碳化 矽含量高於原廢矽泥中碳化矽含量的粉末。
實施例11至13：參考實施例10之步驟，不同點在於第二藥劑改為相同濃度之以下成分：實施例11為檸檬酸溶液，實施例12為醋酸溶液，實施例13為草酸與檸檬酸混合溶液(其中草酸與檸檬酸的配比為1：50)。
比較實施例2：此實施例不使用第二藥劑。直接將實施例1之已加入第一藥劑的產物進行離心，移除上層濾液(取樣量測金屬濃度)，取出廢矽泥餅。準備第三藥劑：氫氧化鈉溶液，濃度為4wt%。取100g的第三藥劑加入10克的廢矽泥餅中。在壓力10kg/cm2溫度80℃下反應3小時，以產生含矽酸鈉及氫氣。藉由分離純化設備得到矽酸鈉水溶液並回收實質上已不含矽或矽晶的廢矽泥餅殘留物。
實施例14及15：參考實施例10之步驟，不同點在於第二藥劑改為相同濃度之以下成分：實施例14為硫酸溶液，實施例15為硝酸溶液。
實施例16：準備第二藥劑：檸檬酸溶液，濃度為0.8wt%(0.4g檸檬酸加入50g水中)。取上述之第二藥劑約50g倒入實施例9之已加入氯化鈉及正己烷的廢矽泥產物中。加熱溫度至50℃，攪拌3小時，然後將所得產物進行離心，移除上層濾液(取樣量測金屬濃度)，取出固體部分。準備第三藥劑：氫氧化鈉溶液，濃度為4wt%。取100g的第三藥劑加入10克的廢矽泥餅中。在壓力10kg/cm2溫度80℃下反應3小時，以產生含矽酸鈉及氫氣。藉由分離純化設備得到矽酸鈉水溶液並回收實質上已不含矽或矽晶的廢矽泥餅殘留物，其中含有碳化矽含量高於原廢矽泥中碳化矽含量的粉末。
表一顯示實施例10至16與比較實施例2經三種藥劑處理過之混合液中鐵含量。
比較實施例2顯示不使用第二藥劑處理的混合液內鐵含量高達700ppm以上。可從比較實施例2瞭解未經處理之廢矽泥中鐵的含量。實施例10至15顯示有使用第二藥劑後混合液鐵含量可降到180ppm以下。在此等實施例中，可發現鐵的去除效果優劣順序為草酸加檸檬酸、檸檬酸、醋酸、草酸、硫酸、硝酸。實施例16顯示當使用含有機類型(正己烷)之第一藥劑來處理廢矽泥時，選用有機類型之第二藥劑(檸檬酸)進行後續處理。
應注意以上僅示範較佳實施例，本發明仍包含於發明內容中所載明之各種實施例及其他實施例。而且上述之各實施例係為說明本發明並非用以限定本發明。凡其它未脫離本發明所揭示之精神下所完成之等效改變或修飾，均應包含在下述之申請專利範圍內。

Claims (20)

  1. 一種廢矽泥的使用方法，包含以下步驟：步驟(A)：取得含有切削油及金屬的廢矽泥；步驟(B)：以用於與該切削油反應之第一藥劑處理該廢矽泥，其中該第一藥劑包含符合結構式(I)之化合物的一種或多種任意組合，結構式(I)：M-X，其中M選自鹼金屬及鹼土金屬且X選自鹵素(halogen)、硫酸根(sulfate)及硝酸根(nitrate)；或M選自C5-C12烷基(alkyl group)且X選自氫及羥基(hydroxyl)；步驟(C)：以用於與該金屬反應之第二藥劑處理該廢矽泥且該第二藥劑係為草酸及檸檬酸；步驟(D)：分離歷經過該步驟(B)及該步驟(C)的產物以取得固體部分；及步驟(E)：以第三藥劑處理該固體部分以取得矽酸鹽與氫氣，該第三藥劑為在水中會產生氫氧根離子的鹼性物質。
  2. 如請求項1所述之廢矽泥的使用方法，其中該結構式(I)之化合物係選自以下化合物：氯化鈉、氯化鉀、氯化鈣、硫酸鈉、硝酸鈉、乙醇、正己烷及上述之項目的各種組合。
  3. 如請求項1所述之廢矽泥的使用方法，其中該第三藥劑為鹼金屬強鹼或鹼土金屬強鹼。
  4. 一種矽酸鹽水溶液，其係由如請求項1至3中任一項所述之方法製得。
  5. 一種含碳化矽的粉末，其係由如請求項1至3中任一項所述之方法製得，其中該廢矽泥含有碳化矽。
  6. 一種廢矽泥的使用方法，包含以下步驟：步驟(A)：取得含有切削油及金屬的廢矽泥；步驟(B)：以用於與該切削油反應之第一藥劑處理該廢矽泥，其中該第一藥劑包含該結構式(I)M-X：M選自C5-C12烷基(alkyl group)且X選自氫及羥基(hydroxyl)之化合物，步驟(C)：以用於與該金屬反應之第二藥劑處理該廢矽泥，該步驟(C)更包含依據所選用的該第一藥劑的種類決定所選用該第二藥劑的種類，該第二藥劑係選自以下化合物：草酸及檸檬酸；步驟(D)：分離歷經過該步驟(B)及該步驟(C)的產物以取得固體部分；及步驟(E)：以第三藥劑處理該固體部分以取得矽酸鹽與氫氣，該第三藥劑為在水中會產生氫氧根離子的鹼性物質。
  7. 如請求項6所述之廢矽泥的使用方法，其中該結構式(I)之化合物係選自以下化合物：乙醇、正己烷及上述之項目的各種組合。
  8. 如請求項6所述之廢矽泥的使用方法，其中該第三藥劑為鹼金屬強鹼或鹼土金屬強鹼。
  9. 一種矽酸鹽水溶液，其係由如請求項6至8中任一項所述之方法製得。
  10. 一種含碳化矽的粉末，其係由如請求項6至8中任一項所述之方法製得，其中該廢矽泥含有碳化矽。
  11. 一種廢矽泥的使用方法，包含以下步驟：步驟(A)：取得含有切削油及金屬的廢矽泥；步驟(B)：以用於與該切削油反應之第一藥劑處理該廢矽泥，其中該第一藥劑包含符合結構式(I)之化合物的一種或多種任意組合，結構式(I)：M-X，其中M選自C5-C12烷基(alkyl group)且X選自氫；步驟(C)：以用於與該金屬反應之第二藥劑處理該廢矽泥，該第二藥劑係包含選自無機酸或有機酸之化合物的其中一種或多種任意組合；步驟(D)：分離歷經過該步驟(B)及該步驟(C)的產物以取得固體部分；及步驟(E)：以第三藥劑處理該固體部分以取得矽酸鹽與氫氣，該第三藥劑為在水中會產生氫氧根離子的鹼性物質。
  12. 如請求項12所述之廢矽泥的使用方法，其中該結構式(I)之化合物係正己烷。
  13. 如請求項12所述之廢矽泥的使用方法，其中該第三藥劑為鹼金屬強鹼或鹼土金屬強鹼。
  14. 一種矽酸鹽水溶液，其係由如請求項11至13中任一項所述之方法製得。
  15. 一種含碳化矽的粉末，其係由如請求項11至13中任一項所述之方法製 得，其中該廢矽泥含有碳化矽。
  16. 一種廢矽泥的使用方法，包含以下步驟：步驟(A)：取得含有切削油及金屬的廢矽泥；步驟(B)：以用於與該切削油反應之第一藥劑處理該廢矽泥，其中該第一藥劑包含符合結構式(I)之化合物的一種或多種任意組合，結構式(I)：M-X，其中M選自鹼金屬及鹼土金屬且X選自鹵素(halogen)、硫酸根(sulfate)及硝酸根(nitrate)；步驟(C)：以用於與該金屬反應之第二藥劑處理該廢矽泥且該第二藥劑為檸檬酸；步驟(D)：分離歷經過該步驟(B)及該步驟(C)的產物以取得固體部分；及步驟(E)：以第三藥劑處理該固體部分以取得矽酸鹽與氫氣，該第三藥劑為在水中會產生氫氧根離子的鹼性物質。
  17. 如請求項16所述之廢矽泥的使用方法，其中該結構式(I)之化合物係選自以下化合物：氯化鈉、氯化鉀、氯化鈣、硫酸鈉、硝酸鈉、及上述之項目的各種組合。
  18. 如請求項17所述之廢矽泥的使用方法，其中該第三藥劑為鹼金屬強鹼或鹼土金屬強鹼。
  19. 一種矽酸鹽水溶液，其係由如請求項16至18中任一項所述之方法製得。
  20. 一種含碳化矽的粉末，其係由如請求項16至18中任一項所述之方法製 得，其中該廢矽泥含有碳化矽。
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